KR100464093B1 - 인쇄회로기판에 집적된 자계검출소자 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR100464093B1 KR10-2002-0013524A KR20020013524A KR100464093B1 KR 100464093 B1 KR100464093 B1 KR 100464093B1 KR 20020013524 A KR20020013524 A KR 20020013524A KR 100464093 B1 KR100464093 B1 KR 100464093B1
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Abstract

인쇄회로기판(Print Circuit Board)에 집적된 자계검출소자가 개시된다. 자계검출소자는 PCB기판에 폐자로를 구성하도록 두 개의 바 형태의 연자성코어를 형성하고, 두 바를 '8'자 형태로 권선한 형상을 갖는 결합형 구조 또는 각 바를 분리하여 권선한 형상을 갖는 분리형 구조를 갖도록 금속막으로 여자코일을 형성한다. 그리고 여자코일 위에 적층하여 두 바를 솔레노이드 형태로 한꺼번에 권선한 구조 또는 각 바를 분리하여 권선한 구조를 갖도록 금속막으로 자계변화검출용코일을 형성한다. 이와 같은 PCB기판 내에 집적된 자계검출소자는 양산성이나 비용면에서 우수하고, 초소형이면서도 폐자로를 구성하기 때문에 자속의 누설을 최소화 할 수 있으면서, 차동 구동을 이용한 자계 검출을 통해 고감도 특성을 갖는다.

Description

인쇄회로기판에 집적된 자계검출소자 및 그 제조방법{Fluxgate sensor integrated in print circuit board and method for manufacturing the same}
본 발명은 자계를 검출하는 소자에 관한 것으로서, 특히, PCB기판에 집적된 자계검출소자에 관한 것이다.
자계검출소자는 눈이나 귀와 같은 사람의 감각기관으로 직접 느낄 수는 없지만 다양한 물리적 현상을 통해 그 존재가 입증된 자기에너지를 사람이 간접적으로 느낄 수 있도록 구현한 장치이다. 그러한 자계검출소자로서, 연자성체와 코일을 이용한 자기센서가 오래전부터 이용되어 왔다. 자기센서는 비교적 큰 봉형의 코어(core) 또는 연자성리본으로 형성된 환형 코어에 코일을 감아 구현한다. 또한, 측정자계에 비례하는 자계를 얻기 위해서 전자회로가 이용된다.
그러나 종래의 자계검출소자는 큰 봉형의 코어 또는 연자성 리본에 의한 링형의 코어에 코일이 권선되어 이용되기 때문에 고가의 제작비를 필요로 하며, 시스템의 부피가 커지는 문제점이 있었다. 또한 여자코일에 의해 발생하는 자속변화 및 검출자계는 코어에 의한 자속누설을 피할 수 없기 때문에 고감도의 자계 검출에 어려움이 따르는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 초소형이면서 보다 정확하게 자계를 검출할 수 있도록 PCB기판상에 집적한 고감도의 자계검출소자 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 외부 측정자계가 영(zero)일 때, 자속변화 검출용 코일에 유도파형이 나타나지 않도록 하는 데 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 자계검출소자를 모식적으로 나타낸 도면,
도 2a 내지 도 2f는 도 1에 보인 자계검출소자의 동작을 설명하기 위한 파형도,
도 3a 내지 및 도 3m은 도 1에 보인 모식적인 자계검출소자의 Y-Y'선에 따른 제조공정 단면도,
도 4a는 동일 평면상에 평행하게 형성한 두개의 연자성코어에 '8'자 형태의 결합형 구조를 갖는 여자코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도,
도 4b는 도 4a의 두 연자성코어에 솔레노이드 형태로 자계변화검출용코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도,
도 4c는 동일 평면상에 형성한 사각링 형태의 연자성코어에 '8'자 형태의 결합형 구조를 갖는 여자코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도,
도 4d는 도 4c의 연자성코어에 솔레노이드 형태로 자계변화검출용코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도,
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 따른 PCB기판에 집적된 자계검출소자를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 6a는 동일 평면상에 평행하게 형성한 두개의 연자성코어에 각각 분리하여 권선한 형태의 분리형 구조를 갖는 여자코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도,
도 6b는 도 6a의 두 연자성코어를 솔레노이드 형태로 감고 있는 자계변화검출용코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도,
도 6c 동일 평면상에 형성한 사각링 형태의 연자성코어의 양 변에 각각 분리하여 권선한 형태의 분리형 구조를 갖는 여자코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도, 그리고
도 6d는 도 6c의 연자성코어 양 변을 솔레노이드 형태로 감고 있는 자계변화검출용코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1, 2: 연자성코어 3: 여자코일
4: 자계변화검출용코일 21, 23, 26, 30, 33: 동판
22, 25, 29, 32: 프리프래그(prepreg)
24: 연자성체막 25, 28: 감광성도포제
27, 31: 관통홀 34: 패드
35: 금(gold)
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 자계검출소자는, PCB기판에 폐자로를 구성하도록 형성된 연자성코어; 상기 연자성코어를 권선한 형태의 금속막으로 형성된 여자코일; 및 상기 여자코일에 적층하여 상기 연자성코어를 권선한 형태의 금속막으로 형성된 자계변화검출용코일;을 포함한다.
여기서, 상기 연자성코어는 동일 평면상에 평행한 두개의 바 형태로 형성한다. 그리고, 상기 두 바는 길이방향이 자계검출축 방향으로 위치하도록 형성한다. 한편, 상기 연자성코어는 사각링의 형태로 형성할 수 있으며, 이때, 상기 연자성코어는 두개의 바 형태로 형성한 경우와 마찬가지로, 길이방향을 자계검출축 방향으로 형성한다.
상기 여자코일은 상기 두 바를 교번하면서 '8'자 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성할 수 있으며, 또 다르게는 상기 두 바를 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성할 수 있다. 한편, 상기 연자성코어를 사각링의 형태로 형성한 경우, 상기 여자코일은 자계검출축방향으로 위치한 대향된 양 변을 교번하면서 '8'자 형태로 권선한 구조 또는 상기 대향된 양 변을 각각 권선한 구조를 갖도록 형성할 수 있다.
상기 자계변화검출용코일은 상기 연자성코어를 이루는 상기 두개의 바 또는 상기 사각링의 자계검출축방향으로 형성된 양 변을 교번하면서 '8'자 형태로 권선하거나 상기 두 바 또는 상기 사각링의 양 변을 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖는 여자코일에 적층하여 상기 두개의 바 또는 상기 사각링의 양 변을 한꺼번에 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한다. 또 다르게는 상기 자계변화검출용코일은 상기 두개의 바 또는 상기 사각링의 자계검출축방향으로 형성된 양 변을 '8'자 형태로 권선하거나 상기 두 바 또는 상기 사각링의 양 변을 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖는 여자코일에 적층하여 상기 두개의 바 또는 상기 사각링의 양 변을 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성할 수 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 자계검출소자의 PCB제조방법은, 제1 금속판 위에 프리프레그와 연자성체막을 접합하는 단계; 상기 연자성체막을 에칭하여 연자성코어를 형성하는 단계; 상기 연자성코어 상부로 프리프레그와 제2 금속판을 접합하여 제1 기판을 형성하는 단계; 상기 제1 기판의 상기 연자성코어로부터 연장된 양측에 각각 제1 관통홀을 형성하는 단계; 상기 제1 관통홀 각각을 도금하는 단계; 상기 기판의 양면에 에칭을 통해 여자코일을 형성하는 단계; 상기 여자코일 상부로 프리프레그와 제3 금속판을 접합하여 제2 기판을 형성하는 단계; 상기 제2 기판의 상기 제1 관통홀 외곽으로 제2 관통홀을 형성하는 단계; 상기 제2 관통홀을 도금하는 단계; 상기 제2 기판 양면에 에칭을 통해 자계변화검출용코일을 형성하는 단계; 상기 자계변화검출용코일 상부로 프리프레그와 제4 금속판을 접합하여 제3 기판을 형성하는 단계; 및 상기 제3 기판 양면의 에칭을 통해 전기적인 통전을 위한 패드를 형성하는 단계;를 포함한다.
여기서, 상기 각 기판 상의 자계검출소자를 이루는 각 부품을 형성하기 위한 에칭과정 이전에 감광성 도포제와 노광현상을 이용한 상기 각 부품의 패턴을 형성하는 단계;가 더 포함된다. 또한, 상기 패드를 형성한 후, 상기 패드에 금을 도금하는 단계;를 더 포함한다.
이상과 같은 본 발명의 PCB기판에 집적된 자계검출소자 및 그 제조방법에 의하면, 연자성코어를 검출측 방향으로 길게 형성하여 반자계성분을 감소시킬 수 있게 되며, 자계변화검출용코일이 연자성코어를 감고 있는 여자코일 위에 적층되어 권선된 구조를 통해 자속변화검출용 코일에서 유도파형이 나타나지 않게 된다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 PCB기판에 집적된 자계검출소자를 모식적으로 나타낸 도면이다. 자계검출소자는 두개의 평행한 바 형태의 제1 및 제2 연자성코어(1)(2)를 여자코일(3)이 '8'자 형태로 권선되어 있으며, 자계변화검출용코일(4)이 여자코일(3) 위로 제1 및 제2 연자성코어(1)(2)를 한꺼번에 감고있다.
위와 같이 두개의 바를 '8'자 형태로 권선한 구조를 편의상 '결합형 구조'라 명명한다. 그리고 하기에 설명되는 또 다른 실시예의 형태인 사각링의 형태의 연자성코어에 대해서도 동일한 권선구조에 대하여 '결합형 구조'로 명명한다. 또한, 위의 두개의 바 또는 사각링의 대향된 양 변 각각을 권선한 구조를 '분리형 구조'라고 명명한다.
도 2a 내지 도 2f는 도 1에 보인 자계검출소자의 동작을 설명하기 위한 타이밍도이다. 도 2a는 제1 연자성코어(1)에서 발생된 자계의 파형도, 도 2b는 제2 연자성코어(2)에서 발생된 자계의 파형도, 도 2c는 제1 연자성코어(1)에서 발생된 자속밀도의 파형도, 도 2d는 제2 연자성코어(2)에서 발생한 자속밀도의 파형도, 그리고 도 2e 및 도 2f는 자계변화검출용코일에 유기되는 제1 및 제2 유기전압(Vind1,Vind2)과 제1 및 제2 유기전압의 합(Vind1+Vind2)을 각각 나타낸파형도이다.
자계검출소자는 도 1과 같이 여자코일(3)이 2개의 연자성코어(1)(2)에 '8'자 형태로 감기면, 교류의 여자전류에 의해 각 코어(1)(2) 내부의 자계 'Hext(외부자계) + Hexc(여자코일에 의한 자계)'와 'Hext - Hexc' 및 자속밀도 'Bext(외부자계에 의한 자속밀도) + Bexc(여자코일에 의한 자속밀도)'와 'Bext - Bexc'가 서로 역방향으로 발생한다(도 2a, 2b, 2c, 2d 참조). 한편, 자계변화검출용코일(4)은 2개의 코어(1)(2) 각각에서 발생하는 자속변화의 합을 취하도록 감겨있으며, 여자교류전류에 의한 전자유도에 의해 발생하는 자속변화를 검출한다. 이때, 자계변화검출용코일(4)에서 검출되는 유기전압은, 2개의 코어(1)(2) 각각의 내부 자계가 역방향이기 때문에 대칭적으로 발생한 두 유기전압 'Vind1', 'Vind2'의 발생전압이 상쇄되어 검출된다(도 2f). 즉, 각 코어(1)(2) 축방향으로부터 외부자계 'Hext'는 두 코어(1)(2)에 대해 동일방향으로 가해지기 때문에, 여자자계 'Hexc'라고 할 때, 두 코어(1)(2) 각각의 내부 자계는, 'Hext + Hexc'와 'Hext - Hexc'가 된다. 이때, 도 2e에 나타낸 것처럼 자계변화검출용코일에 각각 전압(Vind1, Vind2)이 유기되며, 유기전압(Vind1, Vind2)을 측정하므로서, 외부자계 'Hext'의 크기를 알 수 있다.
위와 같이 PCB기판에 집적된 자계 검출소자에 있어서는, 2개의 연자성코어(1)(2)와 '8'자 형태의 결합형 구조를 갖는 여자코일(3)과, 2개의 연자성코어(1)(2)에서 발생하는 자속변화의 합을 얻도록 솔레노이드 형태로 감은 구조의 자계변화검출용코일(4)을 여자코일(3) 위로 적층하는 구조가 중요하다. 여기서, 자계변화검출용코일(4)은 여자코일(3) 위로 2개의 연자성코어(1)(2)를 각각 권선한구조를 갖도록 형성할 수 있다. 위와 같은 자계검출소자의 구조는, 외부자계 'Hext'가 없을 때, 연자성코어(1)(2)로부터 발생된 자계에 의한 유기파형을 상쇄하며, 여자코일에 의해서 발생된 자속은 연자성코어에서 폐자로를 형성하기 때문이다.
한편, 도 1에 보인 연자성코어는 사각링(retangular-ring)의 형태를 가질 수 있으며, 사각링의 양 변에 '8'자 형태로 여자코일을 권선하고, 자계변화검출용코일을 사각링의 양 변에 솔레노이드 형태로 권선하여 동일한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 자계변화검출용코일을 사각링의 양 변에 각각 솔레노이드 형태로 권선할 수도 있다.
여기서, 하나의 바 형태의 코어에 여자코일과 자계변화검출용코일을 배치하는 것으로도 자계검출은 가능하지만, 이 경우에는, 외부자계가 없어도 검출코일에는 큰 여자코일에 의한 유기전압 파형이 발생하여 증폭, 필터링 등의 검출코일 출력에 대한 신호처리가 번거롭게 된다. 따라서 두개의 바 코어나 하나의 사각링 형태 코어를 사용하는 것이 신호처리상에 큰 장점이 있다.
도 3a 내지 도 3m은 자계검출소자의 PCB 기판 집적과정을 설명하기 위한 공정도로서, 도 1에 보인 모식적인 자계검출소자의 Y-Y'선 단면에 대한 제조공정도이다. 자계검출소자는, 먼저, 제1 동판(21) 위에 프리프레그(prepreg: 22)와 연자성체막(24)을 접합한다(도 3a). 그리고 연자성체막(24) 위에 감광성도포제(25)와 노광현상을 이용하여 연자성코어(1)(2)의 패턴을 형성한 후(도 3b), 감광성도포제를 이용하여 연자성체막을 에칭하는 것으로, 연자성코어(1)(2)의 형상을 구현한다(도3c). 이때, 연자성코어(1)(2)는 자계검출축 방향으로 길이방향을 형성한다. 이후, 연자성코어 (1)(2) 상부로 다시 프리프레그(25)와 동판(26)을 접합한다(도 3d). 그리고 연자성코어가 형성된 제1 기판에 제1 및 제2 연자성코어(1)(2) 각각의 양측으로 드릴링을 통해 제1 관통홀(27)을 형성하고(도 3e), 형성된 제1 관통홀(27)의 벽을 도금한다(도 3f). 이후, 외부동판 양면에 감광성도포제(28)와 노광현상을 이용하여 여자코일패턴을 형성하고(도 3g), 감광성도포제를 이용하여 동판(26)을 에칭하는 것으로, 여자코일 배선을 형성한다(도 3h). 이때, 여자코일은 두 연자성코어를 '8'자 형태로 감은 결합형 구조를 갖도록 형성한다. 이후, 여자코일 양면에 다시 프리프레그(29)와 동판(30)을 부착한다(도 3i). 그리고, 제1 관통홀(27) 형성위치 외곽으로 제2 관통홀(31)을 형성하고, 제2 관통홀의 벽을 도금하며, 감광성도포제와 노광현상을 이용하여 자계변화검출용코일배선을 형성한다(도 3j). 이때, 자계변화검출용코일은 여자코일에 적층하여 두 연자성코어를 함께 솔레노이드 형태로 감은 구조를 갖도록 형성한다. 그리고 프리프레그(32)와 동판(33)을 다시 부착하고(도 3k), 노광현상과 에칭을 통해 외부와의 통전을 위한 패드(34)를 형성한다(도 3l). 그리고 동판으로 형성된 패드(34) 위에 금(35)을 도금한다(도 3m).
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 PCB기판상에 구현된 자계검출소자의 평면도이다. 도 4a는 동일 평면상에 평행하게 형성한 두개의 연자성코어에 결합형 구조의 여자코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도이며, 도 4b는 도 4a의 연자성코어에 솔레노이드 형태로 자계변화검출용코일이 감긴 모습을 나타낸 평면도이다. 그리고 도 4c는 동일 평면상에 형성한 사각링 형태의 연자성코어에 결합형구조로 여자코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도이며, 도 4d는 도 4c의 연자성코어에 솔레노이드 형태로 자계변화검출용코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 따른 PCB기판에 집적된 자계검출소자를 모식적으로 나타낸 도면이다. 자계검출소자는 두개의 평행한 바 형태의 제1 및 제2 연자성코어(1)(2)에 여자코일(3)이 분리된 형태로 감겨 있으며, 즉, 분리형 구조를 하고 있으며, 자계변화검출용코일(4)이 여자코일(3) 위로 제1 및 제2 연자성코어(1)(2)를 한꺼번에 감고있다. 이때, 자계변화검출용코일(4)이 여자코일(3) 위로 제1 및 제2 연자성코어(1)(2)를 각각 권선된 구조로 형성할 수 있다. 한편, 도 5에 보인 연자성코어는 사각링(retangular-ring)의 형태를 가질 수 있으며, 사각링의 자계변화검출축으로 위치한 양 변에 분리된 형태로 권선된 결합구조로 여자코일을 형성하고, 자계변화검출용코일을 사각링의 양 변에 솔레노이드 형태로 권선하여 유기전압을 상쇄시키는 동일한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 자계변화검출용코일을 사각링의 양 변에 각각 솔레노이드 형태로 권선할 수도 있다.
위의 제2 실시예에 따른 자계검출소자는 자계변화검출용코일에서 검출되는 유기전압이 제1 실시예에 따른 여자코일의 결합형 구조에서 검출되는 유기전압과 유사하며, 외부자계가 영(zero)일 때, 제1 실시예와 마찬가지로 유기전압을 상쇄시키게 된다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 PCB기판에 구현된 자계검출소자의 평면도이다. 도 6a는 동일 평면상에 평행하게 형성한 두개의 연자성코어에 분리형 구조의 여자코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도이며, 도 6b는 도 6a의 연자성코어에 솔레노이트 형태로 자계변화검출용코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도이다. 그리고 도 6c 동일 평면상에 형성한 사각링 형태의 연자성코어에 분리형 구조의 여자코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도이며, 도 6d는 사각링 형태의 연자성코어에 솔레노이드 형태로 자계변화검출용코일이 형성된 모습을 나타낸 평면도이다.
이상과 같은 자계검출소자는, 지구자기 검출에 따른 네비게이션 시스템, 지자기 변동 모니터(지진예측), 생체 자기계측, 금속재료의 결함검출 등에 이용될 수 있다. 그리고 자기 엔코드, 무접점 포텐션미터, 전류센서, 토크센서, 변위센서 등에 간접적으로 응용할 수 있다.
이상과 같은 기판에 집적할 수 있는 자계검출소자는, 다른센서 및 회로와의 집적이 가능하여 시스템의 크기를 크게 감소시킬 수 있으며, 초소형임에도 불구하고 각 코어 또는 각 변으로부터 유기되는 전압을 차동적으로 구동하여 외부자계에 따른 유기전압을 검출하게 되어 고감도로 미약한 외부자계를 검출할 수 있다.
또한, 고가의 봉형코어나 환형 코어에 비해 낮은 단가로 제조할 수 있으며, 대량생산이 용이하다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

Claims (36)

  1. PCB기판에 폐자로를 구성하도록 형성된 연자성코어;
    상기 연자성코어를 권선한 형태의 금속막으로 형성된 여자코일; 및
    상기 여자코일에 적층하여 상기 연자성코어를 권선한 형태의 금속막으로 형성된 자계변화검출용코일;을 포함하는 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 연자성코어는 동일 평면상에 평행한 두개의 바 형태로 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 두 바는 길이방향을 자계검출축 방향으로 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 여자코일은 상기 두 바를 교번하며, '8'자 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 두 바를 함께 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 두 바 각각을 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  7. 제 3항에 있어서,
    상기 여자코일은 상기 두 바 각각을 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 두 바를 함께 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 두 바를 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 연자성코어는 동일 평면상에 사각링(Rectangular-ring) 형태로 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 사각링은 길이방향을 자계검출축 방향으로 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 여자코일은 상기 사각링의 대향된 양 변을 교번하며, '8'자 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 대향된 양 변을 함께 솔레노이드 형태로 감은 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 대향된 양 변을 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  15. 제 11항에 있어서,
    상기 여자코일은 상기 대향된 양 변을 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층되며, 상기 대향된 양 변을 함께 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  17. 제 15항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층되며, 상기 대향된 양 변을 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자.
  18. 제1 금속판 위에 프리프레그와 연자성체막을 접합하는 단계;
    상기 연자성체막을 에칭하여 연자성코어를 형성하는 단계;
    상기 연자성코어 상부로 프리프레그와 제2 금속판을 접합하여 제1 기판을 형성하는 단계;
    상기 제1 기판의 상기 연자성코어로부터 연장된 양측에 각각 제1 관통홀을 형성하는 단계;
    상기 제1 관통홀 각각을 도금하는 단계;
    상기 기판의 양면에 에칭을 통해 여자코일을 형성하는 단계;
    상기 여자코일 상부로 프리프레그와 제3 금속판을 접합하여 제2 기판을 형성하는 단계;
    상기 제2 기판의 상기 제1 관통홀 외곽으로 제2 관통홀을 형성하는 단계;
    상기 제2 관통홀을 도금하는 단계;
    상기 제2 기판 양면에 에칭을 통해 자계변화검출용코일을 형성하는 단계;
    상기 자계변화검출용코일 상부로 프리프레그와 제4 금속판을 접합하여 제3 기판을 형성하는 단계; 및
    상기 제3 기판 양면의 에칭을 통해 전기적인 통전을 위한 패드를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 연자성코어는 동일 평면상에 평행한 두개의 바 형태로 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 두 바는 길이방향을 자계검출축 방향으로 형성한 것을 특징으로 하는자계검출소자의 제조방법.
  21. 제 20항에 있어서,
    상기 여자코일은 상기 두 바를 교번하며, '8'자 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  22. 제 21항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 두 바를 함께 솔레노이드 형태로 감은 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  23. 제 21항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 두 바를 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  24. 제 20항에 있어서,
    상기 여자코일은 상기 두 바를 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  25. 제 24항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 두 바를 함께 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  26. 제 24항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 두 바를 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  27. 제 18항에 있어서,
    상기 연자성코어는 사각링(Rectangular-ring) 형태로 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  28. 제 27항에 있어서,
    상기 사각링은 길이방향을 자계검출축 방향으로 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  29. 제 28항에 있어서,
    상기 여자코일은 상기 사각링의 대향된 양 변을 교번하며, '8'자 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  30. 제 29항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 대향된 양 변을 함께 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  31. 제 29항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 대향된 양 변을 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  32. 제 28항에 있어서,
    상기 여자코일은 상기 대향된 양 변을 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  33. 제 32항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 대향된 양 변을 함께 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  34. 제 32항에 있어서,
    상기 자계변화검출용코일은 상기 여자코일에 적층하여 상기 대향된 양 변을 각각 솔레노이드 형태로 권선한 구조를 갖도록 형성한 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  35. 제 18항에 있어서,
    상기 자계검출소자를 이루는 각 부품을 형성하기 위한 에칭과정 이전에 감광성 도포제와 노광현상을 통해 상기 각 부품의 패턴을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
  36. 제 18항에 있어서,
    상기 패드에 금을 도금하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자계검출소자의 제조방법.
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