JP2003270307A - プリント回路基板に集積された磁界検出素子及びその製造方法 - Google Patents
プリント回路基板に集積された磁界検出素子及びその製造方法Info
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- JP2003270307A JP2003270307A JP2002362951A JP2002362951A JP2003270307A JP 2003270307 A JP2003270307 A JP 2003270307A JP 2002362951 A JP2002362951 A JP 2002362951A JP 2002362951 A JP2002362951 A JP 2002362951A JP 2003270307 A JP2003270307 A JP 2003270307A
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 量産性や費用面において優れ、超小型であり
ながらも閉磁路を構成して磁速の漏洩を最小化すること
ができ、且つ差動駆動を用いた磁界検出を通じて高感度
特性を有するプリント回路基板（Print Circuit Boar
d）に集積した磁界検出素子を提供する。 【解決手段】 磁界検出素子は、ＰＣＢ基板に閉磁路を
構成するように２つの棒状の軟磁性コア体を設け、両棒
体を‘8’の字形に巻線した構造を有する結合型構造、
または各棒体を分離して巻線した形状を有する分離型構
造を有するように金属膜で励磁コイルを設ける。そし
て、励磁コイルの上に積層して両棒体をソレノイド状に
一度に巻線した構造、または各棒体を分離して巻線した
構造を有するように金属膜で磁界変化検出用コイルを設
ける。
ながらも閉磁路を構成して磁速の漏洩を最小化すること
ができ、且つ差動駆動を用いた磁界検出を通じて高感度
特性を有するプリント回路基板（Print Circuit Boar
d）に集積した磁界検出素子を提供する。 【解決手段】 磁界検出素子は、ＰＣＢ基板に閉磁路を
構成するように２つの棒状の軟磁性コア体を設け、両棒
体を‘8’の字形に巻線した構造を有する結合型構造、
または各棒体を分離して巻線した形状を有する分離型構
造を有するように金属膜で励磁コイルを設ける。そし
て、励磁コイルの上に積層して両棒体をソレノイド状に
一度に巻線した構造、または各棒体を分離して巻線した
構造を有するように金属膜で磁界変化検出用コイルを設
ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁界検出素子に関
し、特にＰＣＢ基板に集積された磁界検出素子及びその
製造方法に関する。
し、特にＰＣＢ基板に集積された磁界検出素子及びその
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁界検出素子は、目や耳のような人の感
覚器官で直接的に感じることはできないが、様々な物理
的現象を通じてその存在が立証された磁気エネルギーを
人が間接的に感じることができるように具現した装置で
ある。かかる磁界検出素子として、軟磁性体とコイルを
用いた磁気センサーが長い間利用されてきた。磁気セン
サーは、比較的大きな棒状のコア体（core）または軟磁
性リボンからなる環状コア体にコイルを巻線することで
具現する。また、測定磁界に比例する磁界を得るために
電子回路が用いられる。
覚器官で直接的に感じることはできないが、様々な物理
的現象を通じてその存在が立証された磁気エネルギーを
人が間接的に感じることができるように具現した装置で
ある。かかる磁界検出素子として、軟磁性体とコイルを
用いた磁気センサーが長い間利用されてきた。磁気セン
サーは、比較的大きな棒状のコア体（core）または軟磁
性リボンからなる環状コア体にコイルを巻線することで
具現する。また、測定磁界に比例する磁界を得るために
電子回路が用いられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の磁界検
出素子は、大きな棒状のコア体または軟磁性リボンによ
る環状のコア体にコイルが巻線され利用されるため、製
造コストが高く、またシステムの体積が増加するという
問題点があった。また、励磁コイルにより発生する磁束
変化及び検出磁界は、コア体による磁束漏れを避けるこ
とができないため、高感度の磁界検出が困難であるとい
う問題点があった。
出素子は、大きな棒状のコア体または軟磁性リボンによ
る環状のコア体にコイルが巻線され利用されるため、製
造コストが高く、またシステムの体積が増加するという
問題点があった。また、励磁コイルにより発生する磁束
変化及び検出磁界は、コア体による磁束漏れを避けるこ
とができないため、高感度の磁界検出が困難であるとい
う問題点があった。
【０００４】そこで、本発明は、前記のような問題点を
解決するためのものであり、超小型で、かつより正確に
磁界が検出できるようにＰＣＢ基板上に集積された高感
度の磁界検出素子及びその製造方法を提供することを目
的とする。
解決するためのものであり、超小型で、かつより正確に
磁界が検出できるようにＰＣＢ基板上に集積された高感
度の磁界検出素子及びその製造方法を提供することを目
的とする。
【０００５】本発明は、また、外部測定磁界が零（zer
o）である時、磁束変化検出用コイルに誘導波形が現れ
ないようにすることを目的とする。
o）である時、磁束変化検出用コイルに誘導波形が現れ
ないようにすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明による磁界検出素子は、ＰＣＢ基板上に閉磁
路を構成するように設けられた軟磁性コア体と、前記軟
磁性コア体を巻線した形態の金属膜で形成される励磁コ
イルと、前記励磁コイルに積層し、前記軟磁性コア体を
巻線した形態の金属膜で形成される磁界変化検出用コイ
ルとを含む。
に、本発明による磁界検出素子は、ＰＣＢ基板上に閉磁
路を構成するように設けられた軟磁性コア体と、前記軟
磁性コア体を巻線した形態の金属膜で形成される励磁コ
イルと、前記励磁コイルに積層し、前記軟磁性コア体を
巻線した形態の金属膜で形成される磁界変化検出用コイ
ルとを含む。
【０００７】ここで、前記軟磁性コア体は、同一平面上
に平行する２つの棒状に形成した棒体である。そして、
前記２つの棒体は、その長さ方向が磁界検出軸方向に向
けるように設ける。一方、前記軟磁性コア体は、四角リ
ング状に形成することができ、この時、前記軟磁性コア
体は、２つの棒状に形成した場合と同様に、その長さ方
向を磁界検出軸方向にする。
に平行する２つの棒状に形成した棒体である。そして、
前記２つの棒体は、その長さ方向が磁界検出軸方向に向
けるように設ける。一方、前記軟磁性コア体は、四角リ
ング状に形成することができ、この時、前記軟磁性コア
体は、２つの棒状に形成した場合と同様に、その長さ方
向を磁界検出軸方向にする。
【０００８】前記励磁コイルは、前記２つの棒体を交互
に‘8’の字形に巻線した構造を有するように設けるこ
とができ、また他には、前記２つの棒体をそれぞれソレ
ノイド状に巻線した構造を有するように設けることがで
きる。一方、前記軟磁性コア体を四角リング状に形成し
た場合、前記励磁コイルは、磁界検出軸方向に位置する
対向する両辺を交互に‘8’の字形に巻線した構造、ま
たは前記対向する両辺をそれぞれ巻線した構造を有する
ように設けることができる。
に‘8’の字形に巻線した構造を有するように設けるこ
とができ、また他には、前記２つの棒体をそれぞれソレ
ノイド状に巻線した構造を有するように設けることがで
きる。一方、前記軟磁性コア体を四角リング状に形成し
た場合、前記励磁コイルは、磁界検出軸方向に位置する
対向する両辺を交互に‘8’の字形に巻線した構造、ま
たは前記対向する両辺をそれぞれ巻線した構造を有する
ように設けることができる。
【０００９】前記磁界変化検出用コイルは、前記軟磁性
コア体をなす前記２つの棒体または前記四角リング体の
磁界検出軸方向に形成された両辺を交互に‘8’の字形
に巻線するか、または前記２つの棒体または前記四角リ
ング体の両辺をそれぞれソレノイド状に巻線した構造を
有する励磁コイルに積層し、前記２つの棒体または前記
四角リング体の両辺を一緒にソレノイド状に巻線した構
造を有するように設ける。また他には、前記磁界変化検
出用コイルは、前記２つの棒体または前記四角リング体
の磁界検出軸方向に形成された両辺を‘8’の字形に巻
線するか、または前記２つの棒体または前記四角リング
体の両辺をそれぞれソレノイド状に巻線した構造を有す
る励磁コイルに積層し、前記２つの棒体または前記四角
リング体の両辺をそれぞれソレノイド状に巻線した構造
を有するように設けることができる。
コア体をなす前記２つの棒体または前記四角リング体の
磁界検出軸方向に形成された両辺を交互に‘8’の字形
に巻線するか、または前記２つの棒体または前記四角リ
ング体の両辺をそれぞれソレノイド状に巻線した構造を
有する励磁コイルに積層し、前記２つの棒体または前記
四角リング体の両辺を一緒にソレノイド状に巻線した構
造を有するように設ける。また他には、前記磁界変化検
出用コイルは、前記２つの棒体または前記四角リング体
の磁界検出軸方向に形成された両辺を‘8’の字形に巻
線するか、または前記２つの棒体または前記四角リング
体の両辺をそれぞれソレノイド状に巻線した構造を有す
る励磁コイルに積層し、前記２つの棒体または前記四角
リング体の両辺をそれぞれソレノイド状に巻線した構造
を有するように設けることができる。
【００１０】前記目的を達成するべく、本発明による磁
界検出素子のＰＣＢ製造方法は、第１の金属板の上にプ
リプレグと軟磁性体膜とを接合する段階と、前記軟磁性
体膜をエッチングして軟磁性コア体を形成する段階と、
前記軟磁性コア体の上部にプリプレグと第２の金属板と
を接合して第１の基板を形成する段階と、前記第１の基
板の前記軟磁性コア体から延びた両側にそれぞれ第１の
貫通孔を形成する段階と、前記第１の貫通孔のそれぞれ
にメッキを施す段階と、前記基板の両面にエッチングに
より励磁コイルを形成する段階と、前記励磁コイルの上
部にプリプレグと第３の金属板とを接合して第２の基板
を形成する段階と、前記第２の基板の前記第１の貫通孔
の外郭に第２の貫通孔を形成する段階と、前記第２の貫
通孔にメッキを施す段階と、前記第２の基板の両面にエ
ッチングにより磁界変化検出用コイルを形成する段階
と、前記磁界変化検出用コイルの上部にプリプレグと第
４の金属板とを接合して第３の基板を形成する段階、及
び前記第３の基板の両面のエッチングにより電気的な通
電のためのパッドを形成する段階とを含む。
界検出素子のＰＣＢ製造方法は、第１の金属板の上にプ
リプレグと軟磁性体膜とを接合する段階と、前記軟磁性
体膜をエッチングして軟磁性コア体を形成する段階と、
前記軟磁性コア体の上部にプリプレグと第２の金属板と
を接合して第１の基板を形成する段階と、前記第１の基
板の前記軟磁性コア体から延びた両側にそれぞれ第１の
貫通孔を形成する段階と、前記第１の貫通孔のそれぞれ
にメッキを施す段階と、前記基板の両面にエッチングに
より励磁コイルを形成する段階と、前記励磁コイルの上
部にプリプレグと第３の金属板とを接合して第２の基板
を形成する段階と、前記第２の基板の前記第１の貫通孔
の外郭に第２の貫通孔を形成する段階と、前記第２の貫
通孔にメッキを施す段階と、前記第２の基板の両面にエ
ッチングにより磁界変化検出用コイルを形成する段階
と、前記磁界変化検出用コイルの上部にプリプレグと第
４の金属板とを接合して第３の基板を形成する段階、及
び前記第３の基板の両面のエッチングにより電気的な通
電のためのパッドを形成する段階とを含む。
【００１１】ここで、前記各基板上の磁界検出素子をな
す各部品を形成するためのエッチング過程の以前に感光
性塗布剤と露光現象を用いた前記各部品のパターンを形
成する段階が更に含まれる。また、前記パッドを形成し
た後、前記パッドにゴールドのメッキを施す段階を更に
含む。
す各部品を形成するためのエッチング過程の以前に感光
性塗布剤と露光現象を用いた前記各部品のパターンを形
成する段階が更に含まれる。また、前記パッドを形成し
た後、前記パッドにゴールドのメッキを施す段階を更に
含む。
【００１２】上述のような本発明のＰＣＢ基板に集積さ
れた磁界検出素子及びその製造方法によると、軟磁性コ
ア体を検出軸方向に長く形成して反磁界成分を減少する
ことができ、また、磁界変化検出用コイルを、軟磁性コ
ア体を巻線している励磁コイルの上に積層して巻線した
構造にすることにより、磁束変化検出用コイルで誘導波
形が現れなくなる。
れた磁界検出素子及びその製造方法によると、軟磁性コ
ア体を検出軸方向に長く形成して反磁界成分を減少する
ことができ、また、磁界変化検出用コイルを、軟磁性コ
ア体を巻線している励磁コイルの上に積層して巻線した
構造にすることにより、磁束変化検出用コイルで誘導波
形が現れなくなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面を参照し、本
発明を詳細に説明する。図１は、本発明の第１の実施形
態によるＰＣＢ基板に集積された磁界検出素子を模式的
に示す図である。磁界検出素子では、２つの平行する棒
状の第１及び第２の軟磁性コア体１、２を励磁コイル３
が‘８’の字形に巻線しており、磁界変化検出用コイル
４が励磁コイル３上で第１及び第２の軟磁性コア体１、
２を一緒に巻線している。
発明を詳細に説明する。図１は、本発明の第１の実施形
態によるＰＣＢ基板に集積された磁界検出素子を模式的
に示す図である。磁界検出素子では、２つの平行する棒
状の第１及び第２の軟磁性コア体１、２を励磁コイル３
が‘８’の字形に巻線しており、磁界変化検出用コイル
４が励磁コイル３上で第１及び第２の軟磁性コア体１、
２を一緒に巻線している。
【００１４】前記のように、２つの棒体を‘８’の字形
に巻線した構造を便宜上、‘結合型構造’と称する。そ
して、下記で説明するまた他の実施の形態である四角リ
ング状の軟磁性コア体においても同一の巻線構造に対し
て‘結合型構造’と称する。また、上記の２つの棒体ま
たは四角リング体の対向する両辺のそれぞれを巻線した
構造を‘分離型構造’と称する。
に巻線した構造を便宜上、‘結合型構造’と称する。そ
して、下記で説明するまた他の実施の形態である四角リ
ング状の軟磁性コア体においても同一の巻線構造に対し
て‘結合型構造’と称する。また、上記の２つの棒体ま
たは四角リング体の対向する両辺のそれぞれを巻線した
構造を‘分離型構造’と称する。
【００１５】図２（Ａ）乃至図２（Ｆ）は、図１に示し
た磁界検出素子の動作を説明するためのタイミング図で
ある。図２（Ａ）は、第１の軟磁性コア体１で発生した
磁界の波形図、図２（Ｂ）は、第２の軟磁性コア体２で
発生した磁界の波形図、図２（Ｃ）は、第１の軟磁性コ
ア体１で発生した磁束密度の波形図、図２（Ｄ）は、第
２の軟磁性コア体２で発生した磁束密度の波形図、そし
て図２（Ｅ）及び図２（Ｆ）は、磁界変化検出用コイル
に誘導される第１及び第２の誘導電圧（Vind１、Vind
２）と、第１の誘導電圧と第２の誘導電圧の和（Vind１
＋Vind２）をそれぞれ示す波形図である。
た磁界検出素子の動作を説明するためのタイミング図で
ある。図２（Ａ）は、第１の軟磁性コア体１で発生した
磁界の波形図、図２（Ｂ）は、第２の軟磁性コア体２で
発生した磁界の波形図、図２（Ｃ）は、第１の軟磁性コ
ア体１で発生した磁束密度の波形図、図２（Ｄ）は、第
２の軟磁性コア体２で発生した磁束密度の波形図、そし
て図２（Ｅ）及び図２（Ｆ）は、磁界変化検出用コイル
に誘導される第１及び第２の誘導電圧（Vind１、Vind
２）と、第１の誘導電圧と第２の誘導電圧の和（Vind１
＋Vind２）をそれぞれ示す波形図である。
【００１６】磁界検出素子は、図１のように、励磁コイ
ル３が２つの軟磁性コア体1、２を‘８’の字形に巻線
すると、交流の励磁電流により各コア体１、２の内部の
磁界‘Hext（外部磁界）＋Hexc（励磁コイルによる磁
界）’と‘Hext−Hexc’及び磁速密度‘Bext（外部磁界
による磁速密度）＋Bexc（励磁コイルによる磁速密
度）’と‘Bext−Bexc’が互いに逆方向に発生する（図
２（Ａ）、２（Ｂ）、２（Ｃ）、２（Ｄ）参照）。一
方、磁界変化検出用コイル４は、２つのコア体１、２の
それぞれから発生する磁速変化の和をとるようにして巻
線されており、励磁交流電流による電子誘導により発生
する磁速変化を検出する。この時、磁界変化検出用コイ
ル４で検出される誘導電圧は、２つのコア体１、２のそ
れぞれの内部磁界が逆方向であるため、対称的に発生し
た両誘導電圧‘Vind１’、‘Vind２’の発生電圧が相殺
され検出される（図２（Ｆ））。即ち、各コア体１、２
の軸方向から外部磁界‘Hext’は両コア体１、２に対し
同一方向に印加されるため、励磁磁界‘Hexc’とする
時、両コア体１、２のそれぞれの内部磁界は、‘Hext＋
Hexc’と‘Hext−Hexc’になる。この時、図２（Ｅ）に
示したように、磁界変化検出用コイルにぞれぞれ電圧
（Vind１、Vind２）が誘導され、誘導電圧（Vind１、Vi
nd２）を測定することにより、外部磁界‘Hext’の大き
さが分かる。
ル３が２つの軟磁性コア体1、２を‘８’の字形に巻線
すると、交流の励磁電流により各コア体１、２の内部の
磁界‘Hext（外部磁界）＋Hexc（励磁コイルによる磁
界）’と‘Hext−Hexc’及び磁速密度‘Bext（外部磁界
による磁速密度）＋Bexc（励磁コイルによる磁速密
度）’と‘Bext−Bexc’が互いに逆方向に発生する（図
２（Ａ）、２（Ｂ）、２（Ｃ）、２（Ｄ）参照）。一
方、磁界変化検出用コイル４は、２つのコア体１、２の
それぞれから発生する磁速変化の和をとるようにして巻
線されており、励磁交流電流による電子誘導により発生
する磁速変化を検出する。この時、磁界変化検出用コイ
ル４で検出される誘導電圧は、２つのコア体１、２のそ
れぞれの内部磁界が逆方向であるため、対称的に発生し
た両誘導電圧‘Vind１’、‘Vind２’の発生電圧が相殺
され検出される（図２（Ｆ））。即ち、各コア体１、２
の軸方向から外部磁界‘Hext’は両コア体１、２に対し
同一方向に印加されるため、励磁磁界‘Hexc’とする
時、両コア体１、２のそれぞれの内部磁界は、‘Hext＋
Hexc’と‘Hext−Hexc’になる。この時、図２（Ｅ）に
示したように、磁界変化検出用コイルにぞれぞれ電圧
（Vind１、Vind２）が誘導され、誘導電圧（Vind１、Vi
nd２）を測定することにより、外部磁界‘Hext’の大き
さが分かる。
【００１７】前記のように、ＰＣＢ基板に集積された磁
界検出素子においては、２つの軟磁性コア体１、２と
‘８’の字形の結合型構造を有する励磁コイル３と、２
つの軟磁性コア体１、２で発生する磁速変化の和が得ら
れるようにソレノイド状に巻線した構造の磁界変化検出
用コイル４を励磁コイル３上に積層する構造が重要であ
る。ここで、磁界変化検出用コイル４は、励磁コイル３
の上に２つの軟磁性コア体１、２をそれぞれ巻線した構
造を有するように設けることができる。前記のような磁
界検出素子の構造は、外部磁界‘Hext’がない時、軟磁
性コア体１、２から発生した磁界による誘導波形を相殺
し、励磁コイルにより発生した磁速は、軟磁性コア体で
閉磁路を形成するためである。
界検出素子においては、２つの軟磁性コア体１、２と
‘８’の字形の結合型構造を有する励磁コイル３と、２
つの軟磁性コア体１、２で発生する磁速変化の和が得ら
れるようにソレノイド状に巻線した構造の磁界変化検出
用コイル４を励磁コイル３上に積層する構造が重要であ
る。ここで、磁界変化検出用コイル４は、励磁コイル３
の上に２つの軟磁性コア体１、２をそれぞれ巻線した構
造を有するように設けることができる。前記のような磁
界検出素子の構造は、外部磁界‘Hext’がない時、軟磁
性コア体１、２から発生した磁界による誘導波形を相殺
し、励磁コイルにより発生した磁速は、軟磁性コア体で
閉磁路を形成するためである。
【００１８】一方、図１に示した軟磁性コア体は、四角
リング（Retangular−ring）の形態を有することがで
き、四角リング体の両辺に‘８’の字形に励磁コイルを
巻線し、磁界変化検出用コイルを四角リング体の両辺に
ソレノイド状に巻線して同一の効果を得ることができ
る。また、磁界変化検出用コイルを四角リング体の両辺
にそれぞれソレノイド状に巻線することもできる。
リング（Retangular−ring）の形態を有することがで
き、四角リング体の両辺に‘８’の字形に励磁コイルを
巻線し、磁界変化検出用コイルを四角リング体の両辺に
ソレノイド状に巻線して同一の効果を得ることができ
る。また、磁界変化検出用コイルを四角リング体の両辺
にそれぞれソレノイド状に巻線することもできる。
【００１９】ここで、１つの棒状のコア体に励磁コイル
と磁界変化検出用コイルを配設することによっても磁界
検出は可能であるが、この場合には、外部磁界がなくて
も検出コイルには励磁コイルによる大きな誘導電圧波形
が発生し、増幅、フィルタリングなどの検出コイル出力
に対する信号処理が煩わしくなる。従って、２つの棒状
コア体や１つの四角リング状コア体を使用することが信
号処理上において大きな長所となる。
と磁界変化検出用コイルを配設することによっても磁界
検出は可能であるが、この場合には、外部磁界がなくて
も検出コイルには励磁コイルによる大きな誘導電圧波形
が発生し、増幅、フィルタリングなどの検出コイル出力
に対する信号処理が煩わしくなる。従って、２つの棒状
コア体や１つの四角リング状コア体を使用することが信
号処理上において大きな長所となる。
【００２０】図３（Ａ）乃至図３（Ｍ）は、磁界検出素
子のＰＣＢ基板への集積過程を説明するための工程図で
あって、図１に示した模式的な磁界検出素子のＹ−Ｙ’
線に沿う断面に対する製造工程図である。磁界検出素子
は、先ず、第１の銅板２１の上にプリプレグ（prepre
g）２２と軟磁性体膜２４を接合する（図３（Ａ））。
そして、軟磁性体膜２４の上に感光性塗布剤と露光現象
を用いて軟磁性コア体１、２のパターンを形成した後
（図３（Ｂ））、感光性塗布剤を用いて軟磁性体膜をエ
ッチングすることで軟磁性コア体１、２の形状を具現す
る（図３（Ｃ））。この時、軟磁性コア体１、２は、磁
界検出軸方向を長さ方向とする。この後、軟磁性コア体
１、２の上部に更にプリプレグ２５と銅板２６を接合す
る（図３（Ｄ））。そして、軟磁性コア体が形成された
第１の基板に、第１及び第２の軟磁性コア体１、２のそ
れぞれの両側にドリル加工を通じて第１の貫通孔２７を
形成し（図３（Ｅ））、その形成された第１の貫通孔２
７の壁にメッキを施す（図３（Ｆ））。その後、外部銅
板の両面に感光性塗布剤２８と露光現象を用いて励磁コ
イルパターンを形成し（図３（Ｇ））、感光性塗布剤を
用いて銅板２６をエッチングすることで励磁コイル配線
を形成する（図３（Ｈ））。この時、励磁コイルは、両
軟磁性コア体を‘８’の字形に巻線したような結合型構
造を有するように設ける。この後、励磁コイルの両面に
更にプリプレグ２９と銅板３０を取付ける（図３
（Ｉ））。また、第１の貫通孔２７形成位置の外郭に第
２の貫通孔３１を形成し、第２の貫通孔の壁にメッキを
施し、感光性塗布剤と露光現象を用いて磁界変化検出用
コイル配線を形成する（図３（Ｊ））。この時、磁界変
化検出用コイルは、励磁コイルに積層して両軟磁性コア
体を一緒にソレノイド状に巻線したような構造を有する
ように設ける。そして、プリプレグ３２と銅板３３を更
に取付け（図３（Ｋ））、露光現象とエッチングを通じ
て外部との通電のためのパッド３４を形成する（図３
（Ｌ））、また、銅板からなるパッド３４の上にゴール
ド３５のメッキを施す（図３（Ｍ））。
子のＰＣＢ基板への集積過程を説明するための工程図で
あって、図１に示した模式的な磁界検出素子のＹ−Ｙ’
線に沿う断面に対する製造工程図である。磁界検出素子
は、先ず、第１の銅板２１の上にプリプレグ（prepre
g）２２と軟磁性体膜２４を接合する（図３（Ａ））。
そして、軟磁性体膜２４の上に感光性塗布剤と露光現象
を用いて軟磁性コア体１、２のパターンを形成した後
（図３（Ｂ））、感光性塗布剤を用いて軟磁性体膜をエ
ッチングすることで軟磁性コア体１、２の形状を具現す
る（図３（Ｃ））。この時、軟磁性コア体１、２は、磁
界検出軸方向を長さ方向とする。この後、軟磁性コア体
１、２の上部に更にプリプレグ２５と銅板２６を接合す
る（図３（Ｄ））。そして、軟磁性コア体が形成された
第１の基板に、第１及び第２の軟磁性コア体１、２のそ
れぞれの両側にドリル加工を通じて第１の貫通孔２７を
形成し（図３（Ｅ））、その形成された第１の貫通孔２
７の壁にメッキを施す（図３（Ｆ））。その後、外部銅
板の両面に感光性塗布剤２８と露光現象を用いて励磁コ
イルパターンを形成し（図３（Ｇ））、感光性塗布剤を
用いて銅板２６をエッチングすることで励磁コイル配線
を形成する（図３（Ｈ））。この時、励磁コイルは、両
軟磁性コア体を‘８’の字形に巻線したような結合型構
造を有するように設ける。この後、励磁コイルの両面に
更にプリプレグ２９と銅板３０を取付ける（図３
（Ｉ））。また、第１の貫通孔２７形成位置の外郭に第
２の貫通孔３１を形成し、第２の貫通孔の壁にメッキを
施し、感光性塗布剤と露光現象を用いて磁界変化検出用
コイル配線を形成する（図３（Ｊ））。この時、磁界変
化検出用コイルは、励磁コイルに積層して両軟磁性コア
体を一緒にソレノイド状に巻線したような構造を有する
ように設ける。そして、プリプレグ３２と銅板３３を更
に取付け（図３（Ｋ））、露光現象とエッチングを通じ
て外部との通電のためのパッド３４を形成する（図３
（Ｌ））、また、銅板からなるパッド３４の上にゴール
ド３５のメッキを施す（図３（Ｍ））。
【００２１】図４Ａ及び図４Ｂは、本発明の第１の実施
形態によるＰＣＢ基板上に具現された磁界検出素子の平
面図である。図４Ａは、同一平面上に平行して設けた２
つの軟磁性コア体に結合型構造の励磁コイルが設けられ
た模様を示す平面図であり、図４Ｂは、図４Ａの軟磁性
コア体にソレノイド状に磁界変化検出用コイルが巻線さ
れている模様を示す平面図である。また、図４Ｃは、同
一平面上に設けた四角リング状の軟磁性コア体に結合型
構造にて励磁コイルが設けられた模様を示す平面図であ
り、図４Ｄは、図４Ｃの軟磁性コア体にソレノイド状に
磁界変化検出用コイルが設けられた模様を示す平面図で
ある。
形態によるＰＣＢ基板上に具現された磁界検出素子の平
面図である。図４Ａは、同一平面上に平行して設けた２
つの軟磁性コア体に結合型構造の励磁コイルが設けられ
た模様を示す平面図であり、図４Ｂは、図４Ａの軟磁性
コア体にソレノイド状に磁界変化検出用コイルが巻線さ
れている模様を示す平面図である。また、図４Ｃは、同
一平面上に設けた四角リング状の軟磁性コア体に結合型
構造にて励磁コイルが設けられた模様を示す平面図であ
り、図４Ｄは、図４Ｃの軟磁性コア体にソレノイド状に
磁界変化検出用コイルが設けられた模様を示す平面図で
ある。
【００２２】図５は、本発明の第２の実施形態によるＰ
ＣＢ基板に集積された磁界検出素子を模式的に示す図で
ある。磁界検出素子は、２つの平行する棒状の第１及び
第２の軟磁性コア体１、２に励磁コイル３が分離された
形態で巻線されており、即ち、分離型構造をなしてお
り、磁界変化検出用コイル４が励磁コイル３の上で第１
及び第２の軟磁性コア体１、２を一緒に巻線している。
この時、磁界変化検出用コイル４が励磁コイル３の上で
第１及び第２の軟磁性コア体１、２をそれぞれ巻線した
構造に設けることができる。一方、図５に示した軟磁性
コア体は、四角リング（rectangular-ring）の形態を有
することができ、四角リング体の磁界変化検出軸方向に
位置した両辺に、分離された形態で巻線された結合構造
にて励磁コイルを設け、磁界変化検出用コイルを四角リ
ング体の両辺にソレノイド状に巻線して誘導電圧を相殺
させると同様な効果を得ることができる。また、磁界変
化検出用コイルを四角リング体の両辺にそれぞれソレノ
イド状に巻線することもできる。
ＣＢ基板に集積された磁界検出素子を模式的に示す図で
ある。磁界検出素子は、２つの平行する棒状の第１及び
第２の軟磁性コア体１、２に励磁コイル３が分離された
形態で巻線されており、即ち、分離型構造をなしてお
り、磁界変化検出用コイル４が励磁コイル３の上で第１
及び第２の軟磁性コア体１、２を一緒に巻線している。
この時、磁界変化検出用コイル４が励磁コイル３の上で
第１及び第２の軟磁性コア体１、２をそれぞれ巻線した
構造に設けることができる。一方、図５に示した軟磁性
コア体は、四角リング（rectangular-ring）の形態を有
することができ、四角リング体の磁界変化検出軸方向に
位置した両辺に、分離された形態で巻線された結合構造
にて励磁コイルを設け、磁界変化検出用コイルを四角リ
ング体の両辺にソレノイド状に巻線して誘導電圧を相殺
させると同様な効果を得ることができる。また、磁界変
化検出用コイルを四角リング体の両辺にそれぞれソレノ
イド状に巻線することもできる。
【００２３】前記した第２の実施形態による磁界検出素
子は、磁界変化検出用コイルで検出される誘導電圧が、
第１の実施形態による励磁コイルの結合型構造で検出さ
れる誘導電圧と類似し、外部磁界が零である時、第１の
実施形態と同様に誘導電圧を相殺させるようになる。
子は、磁界変化検出用コイルで検出される誘導電圧が、
第１の実施形態による励磁コイルの結合型構造で検出さ
れる誘導電圧と類似し、外部磁界が零である時、第１の
実施形態と同様に誘導電圧を相殺させるようになる。
【００２４】図６Ａ及び図６Ｂは、本発明の第２の実施
形態によるＰＣＢ基板に具現された磁界検出素子の平面
図である。図６Ａは、同一平面上に平行して設けた２つ
の軟磁性コア体に分離型構造の励磁コイルが設けられた
模様を示す平面図であり、図６Ｂは、図６Ａの軟磁性コ
ア体にソレノイド状に磁界変化検出用コイルが設けられ
た模様を示す平面図である。そして、図６Ｃは、同一平
面上に設けた四角リング状の軟磁性コア体に分離型構造
の励磁コイルが設けられた模様を示す平面図であり、図
６Ｄは、四角リング状の軟磁性コア体にソレノイド状に
磁界変化検出用コイルが設けられた模様を示す平面図で
ある。
形態によるＰＣＢ基板に具現された磁界検出素子の平面
図である。図６Ａは、同一平面上に平行して設けた２つ
の軟磁性コア体に分離型構造の励磁コイルが設けられた
模様を示す平面図であり、図６Ｂは、図６Ａの軟磁性コ
ア体にソレノイド状に磁界変化検出用コイルが設けられ
た模様を示す平面図である。そして、図６Ｃは、同一平
面上に設けた四角リング状の軟磁性コア体に分離型構造
の励磁コイルが設けられた模様を示す平面図であり、図
６Ｄは、四角リング状の軟磁性コア体にソレノイド状に
磁界変化検出用コイルが設けられた模様を示す平面図で
ある。
【００２５】
【発明の効果】以上のように、本発明による磁界検出素
子は、地球磁気検出によるナビゲーションシステム、磁
気変動モニタ（地震予測）、生体磁気計測、金属材料の
欠陥検出などに利用され得る。また、磁気エンコーダ
ー、無接点ポテンションメーター、電流センサー、トル
クセンサー、変位センサーなどに間接的に応用できる。
子は、地球磁気検出によるナビゲーションシステム、磁
気変動モニタ（地震予測）、生体磁気計測、金属材料の
欠陥検出などに利用され得る。また、磁気エンコーダ
ー、無接点ポテンションメーター、電流センサー、トル
クセンサー、変位センサーなどに間接的に応用できる。
【００２６】前記のようなプリント回路基板に集積する
ことができる磁界検出素子は、他のセンサー及び回路と
共に集積されるため、システムの大きさを大きく低減さ
せることができ、超小型であるにも拘わらず、各コア体
または各辺から誘導される電圧を差動的に駆動すること
で微弱な外部磁界を高感度に検出することができる。
ことができる磁界検出素子は、他のセンサー及び回路と
共に集積されるため、システムの大きさを大きく低減さ
せることができ、超小型であるにも拘わらず、各コア体
または各辺から誘導される電圧を差動的に駆動すること
で微弱な外部磁界を高感度に検出することができる。
【００２７】また、高価の棒状コア体や環状コア体に比
べて低価で製造することができ、大量生産が容易であ
る。
べて低価で製造することができ、大量生産が容易であ
る。
【００２８】以上では、本発明の好ましい実施形態につ
いて図面を参照しながら説明したが、本発明は、前記の
実施形態に限られず、当該発明の属する技術分野におけ
る通常の知識を有する者であれば、誰でも以下の請求範
囲で請求する本発明の要旨を逸脱することなく、本発明
の請求範囲内において様々な変更例が可能であることは
言うまでもない。また、そのような変形は請求範囲の記
載範囲内にあるものとみなす。
いて図面を参照しながら説明したが、本発明は、前記の
実施形態に限られず、当該発明の属する技術分野におけ
る通常の知識を有する者であれば、誰でも以下の請求範
囲で請求する本発明の要旨を逸脱することなく、本発明
の請求範囲内において様々な変更例が可能であることは
言うまでもない。また、そのような変形は請求範囲の記
載範囲内にあるものとみなす。
【図１】 本発明の第１の実施形態による磁界検出素子
を模式的に示す図。
を模式的に示す図。
【図２】 図１に示した磁界検出素子の動作を説明する
ための波形図。
ための波形図。
【図３】 図１に示した模式的な磁界検出素子のＹ-
Ｙ’線に沿う製造工程断面図。
Ｙ’線に沿う製造工程断面図。
【図４Ａ】 同一平面上に平行して設けた２つの軟磁性
コア体に‘８’の字形の結合型構造を有する励磁コイル
が設けられた模様を示す平面図。
コア体に‘８’の字形の結合型構造を有する励磁コイル
が設けられた模様を示す平面図。
【図４Ｂ】 図４Ａの２つの軟磁性コア体にソレノイド
状に磁界変化検出用コイルが設けられた模様を示す平面
図。
状に磁界変化検出用コイルが設けられた模様を示す平面
図。
【図４Ｃ】 同一平面上に設けた四角リング状の軟磁性
コア体に‘８’の字形の結合型構造を有する励磁コイル
が設けられた模様を示す平面図。
コア体に‘８’の字形の結合型構造を有する励磁コイル
が設けられた模様を示す平面図。
【図４Ｄ】 図４Ｃの軟磁性コアにソレノイド状に磁界
変化検出用コイルが設けられた模様を示す平面図。
変化検出用コイルが設けられた模様を示す平面図。
【図５】 本発明の第２の実施形態によるＰＣＢ基板に
集積された磁界検出素子を模式的に示す図。
集積された磁界検出素子を模式的に示す図。
【図６Ａ】 同一平面上に平行して設けた２つの軟磁性
コア体にそれぞれ分離して巻線した形態の分離型構造を
有する励磁コイルが設けられた模様を示す平面図。
コア体にそれぞれ分離して巻線した形態の分離型構造を
有する励磁コイルが設けられた模様を示す平面図。
【図６Ｂ】 図６Ａの２つの軟磁性コア体をソレノイド
状に巻線している磁界変化検出用コイルが設けられた模
様を示す平面図。
状に巻線している磁界変化検出用コイルが設けられた模
様を示す平面図。
【図６Ｃ】 同一平面上に設けた四角リング状の軟磁性
コア体の両辺にそれぞれ分離して巻線した形態の分離型
構造を有する励磁コイルが設けられた模様を示す平面
図。
コア体の両辺にそれぞれ分離して巻線した形態の分離型
構造を有する励磁コイルが設けられた模様を示す平面
図。
【図６Ｄ】 図６Ｃの軟磁性コア体の両辺をソレノイド
状に巻線している磁界変化検出用コイルが設けられた模
様を示す平面図。
状に巻線している磁界変化検出用コイルが設けられた模
様を示す平面図。
１，２…軟磁性コア体
３…励磁コイル
４…磁界変化検出用コイル
２１…第１の銅板
２２…プリプレグ
２５…感光性塗布剤
２７…第１の貫通孔
フロントページの続き
(72)発明者 羅 敬遠
大韓民国京畿道龍仁市水枝邑竹田里（番地
なし） 現代１次アパート101−201
(72)発明者 崔 相彦
大韓民国京畿道水原市八達區永通洞（番地
なし） 住公アパート904−1804
(72)発明者 姜 明杉
大韓民国忠清南道燕岐郡東面鳴鶴里581
三星電機株式會社
(72)発明者 朴 建陽
大韓民国忠清南道燕岐郡東面鳴鶴里581
三星電機株式會社
Ｆターム(参考） 2G017 AA01 AC06 AD04 AD05
Claims (36)
- 【請求項１】 ＰＣＢ基板に閉磁路を構成するように設
けられた軟磁性コア体と、 前記軟磁性コア体を巻線した形態の金属膜で形成される
励磁コイルと、 前記励磁コイルに積層し、前記軟磁性コア体を巻線した
形態の金属膜で形成される磁界変化検出用コイルとを含
むことを特徴とする磁界検出素子。 - 【請求項２】 前記軟磁性コア体は、同一平面上に平行
する２つの棒状に形成した棒体であることを特徴とする
請求項１に記載の磁界検出素子。 - 【請求項３】 前記２つの棒体は、その長さ方向を磁界
検出軸方向にしたことを特徴とする請求項２に記載の磁
界検出素子。 - 【請求項４】 前記励磁コイルは、前記２つの棒体を交
互に‘８’の字形に巻線した構造を有するように設けた
ことを特徴とする請求項３に記載の磁界検出素子。 - 【請求項５】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励磁
コイルに積層し、前記２つの棒体を一緒にソレノイド状
に巻線した構造を有するように設けたことを特徴とする
請求項４に記載の磁界検出素子。 - 【請求項６】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励磁
コイルに積層し、前記２つの棒体のそれぞれをソレノイ
ド状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴と
する請求項４に記載の磁界検出素子。 - 【請求項７】 前記励磁コイルは、前記２つの棒体のそ
れぞれをソレノイド状に巻線した構造を有するように設
けたことを特徴とする請求項３に記載の磁界検出素子。 - 【請求項８】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励磁
コイルに積層し、前記２つの棒体を一緒にソレノイド状
に巻線した構造を有するように設けたことを特徴とする
請求項７に記載の磁界検出素子。 - 【請求項９】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励磁
コイルに積層し、前記２つの棒体をそれぞれソレノイド
状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴とす
る請求項７に記載の磁界検出素子。 - 【請求項１０】 前記軟磁性コア体は、同一平面上に四
角リング状に形成した四角リング体であることを特徴と
する請求項１に記載の磁界検出素子。 - 【請求項１１】 前記四角リング体は、その長さ方向を
磁界検出軸方向にしたことを特徴とする請求項１０に記
載の磁界検出素子。 - 【請求項１２】 前記励磁コイルは、前記四角リング体
の対向する両辺を交互に‘８’の字形に巻線した構造を
有するように設けたことを特徴とする請求項１１に記載
の磁界検出素子。 - 【請求項１３】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記対向する両辺を一緒にソレノイ
ド状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴と
する請求項１２に記載の磁界検出素子。 - 【請求項１４】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記対向する両辺をそれぞれソレノ
イド状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴
とする請求項１２に記載の磁界検出素子。 - 【請求項１５】 前記励磁コイルは、前記対向する両辺
をそれぞれソレノイド状に巻線した構造を有するように
設けたことを特徴とする請求項１１に記載の磁界検出素
子。 - 【請求項１６】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記対向する両辺を一緒にソレノイ
ド状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴と
する請求項１５に記載の磁界検出素子。 - 【請求項１７】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記対向する両辺をそれぞれソレノ
イド状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴
とする請求項１５に記載の磁界検出素子。 - 【請求項１８】 第１の金属板の上にプリプレグと軟磁
性体膜とを接合する段階と、 前記軟磁性体膜をエッチングして軟磁性コア体を形成す
る段階と、 前記軟磁性コア体の上部にプリプレグと第２の金属板と
を接合して第１の基板を形成する段階と、 前記第１の基板の前記軟磁性コア体から延びた両側にそ
れぞれ第１の貫通孔を形成する段階と、 前記第１の貫通孔のそれぞれにメッキを施す段階と、 前記基板の両面にエッチングにより励磁コイルを形成す
る段階と、 前記励磁コイルの上部にプリプレグと第３の金属板とを
接合して第２の基板を形成する段階と、 前記第２の基板の前記第１の貫通孔の外郭に第２の貫通
孔を形成する段階と、 前記第２の貫通孔にメッキを施す段階と、 前記第２の基板の両面にエッチングにより磁界変化検出
用コイルを形成する段階と、 前記磁界変化検出用コイルの上部にプリプレグと第４の
金属板とを接合して第３の基板を形成する段階と、 前記第３の基板の両面のエッチングにより電気的な通電
のためのパッドを形成する段階とを含むことを特徴とす
る磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項１９】 前記軟磁性コア体は、同一平面上に平
行する２つの棒状に形成した棒体であることを特徴とす
る請求項１８に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項２０】 前記２つの棒体は、その長さ方向を磁
界検出軸方向にしたことを特徴とする請求項１９に記載
の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項２１】 前記励磁コイルは、前記２つの棒体を
交互に‘８’の字形に巻線した構造を有するように設け
たことを特徴とする請求項２０に記載の磁界検出素子の
製造方法。 - 【請求項２２】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記２つの棒体を一緒にソレノイド
状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴とす
る請求項２１に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項２３】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記２つの棒体をそれぞれソレノイ
ド状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴と
する請求項２１に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項２４】 前記励磁コイルは、前記２つの棒体を
それぞれソレノイド状に巻線した構造を有するように設
けたことを特徴とする請求項２０に記載の磁界検出素子
の製造方法。 - 【請求項２５】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記２つの棒体を一緒にソレノイド
状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴とす
る請求項２４に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項２６】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記２つの棒体をそれぞれソレノイ
ド状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴と
する請求項２４に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項２７】 前記軟磁性コア体は、四角リング状に
形成した四角リング体であることを特徴とする請求項１
８に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項２８】 前記四角リング体は、その長さ方向を
磁界検出軸方向にしたことを特徴とする請求項２７に記
載の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項２９】 前記励磁コイルは、前記四角リング体
の対向する両辺を交互に‘８’の字形に巻線した構造を
有するように設けたことを特徴とする請求項２８に記載
の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項３０】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記対向する両辺を一緒にソレノイ
ド状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴と
する請求項２９に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項３１】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記対向する両辺をそれぞれソレノ
イド状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴
とする請求項２９に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項３２】 前記励磁コイルは、前記対向する両辺
をそれぞれソレノイド状に巻線した構造を有するように
設けたことを特徴とする請求項２８に記載の磁界検出素
子の製造方法。 - 【請求項３３】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記対向する両辺を一緒にソレノイ
ド状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴と
する請求項３２に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項３４】 前記磁界変化検出用コイルは、前記励
磁コイルに積層し、前記対向する両辺をそれぞれソレノ
イド状に巻線した構造を有するように設けたことを特徴
とする請求項３２に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 【請求項３５】 前記磁界検出素子をなす各部品を形成
するべく、エッチング過程の以前に感光性塗布剤と露光
現象を通して前記各部品のパターンを形成する段階を更
に含むことを特徴とする請求項１８に記載の磁界検出素
子の製造方法。 - 【請求項３６】 前記パッドにゴールドのメッキを施す
段階を更に含むことを特徴とする請求項１８に記載の磁
界検出素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2002-0013524A KR100464093B1 (ko) | 2002-03-13 | 2002-03-13 | 인쇄회로기판에 집적된 자계검출소자 및 그 제조방법 |
| KR2002-013524 | 2002-03-13 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007029707A Division JP2007121318A (ja) | 2002-03-13 | 2007-02-08 | プリント回路基板に集積された磁界検出素子 |
Publications (2)
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|---|---|
| JP2003270307A true JP2003270307A (ja) | 2003-09-25 |
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Family
ID=27764642
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|---|---|---|---|---|
| JP2007298509A (ja) * | 2006-05-04 | 2007-11-15 | Commiss Energ Atom | 改善された励磁コイルを有するフラックスゲート型マイクロ磁力計 |
Families Citing this family (22)
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|---|---|---|---|---|
| KR100464098B1 (ko) * | 2002-03-14 | 2005-01-03 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판에 집적된 자계검출소자 및 그 제조방법 |
| KR100691467B1 (ko) * | 2005-10-19 | 2007-03-09 | 삼성전자주식회사 | ＣｏＮｂＺｒ 자성코어를 포함하는 플럭스게이트 센서 및그 제작 방법 |
| EP2071346A1 (en) * | 2007-12-14 | 2009-06-17 | Liaisons Electroniques-Mecaniques Lem S.A. | Thin film fluxgate sensor |
| DE102009028854B4 (de) | 2009-08-25 | 2024-04-25 | Robert Bosch Gmbh | Spulendesign für miniaturisierte Fluxgate-Sensoren |
| US9455084B2 (en) | 2012-07-19 | 2016-09-27 | The Boeing Company | Variable core electromagnetic device |
| US9568563B2 (en) * | 2012-07-19 | 2017-02-14 | The Boeing Company | Magnetic core flux sensor |
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| US9389619B2 (en) | 2013-07-29 | 2016-07-12 | The Boeing Company | Transformer core flux control for power management |
| DE102012214892A1 (de) * | 2012-08-22 | 2014-02-27 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Magnetfeldsensor |
| CN102981131B (zh) * | 2012-11-16 | 2015-06-17 | 上海交通大学 | 基于主辅线圈双重激励的低噪声微型平面磁通门传感器 |
| US9651633B2 (en) | 2013-02-21 | 2017-05-16 | The Boeing Company | Magnetic core flux sensor |
| US9291648B2 (en) | 2013-08-07 | 2016-03-22 | Texas Instruments Incorporated | Hybrid closed-loop/open-loop magnetic current sensor |
| CN105068026A (zh) * | 2015-08-27 | 2015-11-18 | 无锡伊佩克科技有限公司 | 一种磁通门传感器 |
| CN105137370A (zh) * | 2015-08-27 | 2015-12-09 | 无锡伊佩克科技有限公司 | 一种低功耗的微型磁通门传感器 |
| CN106405452A (zh) * | 2015-11-20 | 2017-02-15 | 北京纳特斯拉科技有限公司 | 一种芯片级封装的微型三轴磁通门磁力仪 |
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| US10914796B2 (en) * | 2016-02-05 | 2021-02-09 | Texas Instruments Incorporated | Integrated fluxgate device with three-dimensional sensing |
| US9771261B1 (en) * | 2016-03-17 | 2017-09-26 | Texas Instruments Incorporated | Selective patterning of an integrated fluxgate device |
| US9618541B1 (en) * | 2016-04-20 | 2017-04-11 | Neilsen-Kuljian, Inc. | Apparatus, method and device for sensing DC currents |
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Family Cites Families (37)
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|---|---|---|---|---|
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| JPS58154477U (ja) * | 1982-04-09 | 1983-10-15 | 株式会社日立製作所 | フラツクスゲ−ト形磁気ヘツド |
| DE3776359D1 (en) * | 1986-02-13 | 1992-03-12 | Sony Corp | Duennschichtmagnetkopf. |
| DE3738455A1 (de) * | 1986-11-25 | 1988-06-01 | Landis & Gyr Ag | Anordnung zum messen eines flussarmen magnetfeldes |
| JPH03501159A (ja) * | 1987-04-14 | 1991-03-14 | イギリス国 | ロールの影響を受けない磁力計システム |
| JPH01219580A (ja) | 1988-02-26 | 1989-09-01 | Tokai Rika Co Ltd | 磁気センサ |
| JPH02213781A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-24 | Shimadzu Corp | 磁力計センサ |
| JPH02236181A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-19 | Shuhei Asanuma | フラックスゲート・センサー |
| US5199178A (en) * | 1991-10-23 | 1993-04-06 | Apac, Inc. | Thin film compass and method for manufacturing the same |
| US5370766A (en) * | 1993-08-16 | 1994-12-06 | California Micro Devices | Methods for fabrication of thin film inductors, inductor networks and integration with other passive and active devices |
| JP2587596B2 (ja) | 1993-09-21 | 1997-03-05 | 松下電器産業株式会社 | 回路基板接続材とそれを用いた多層回路基板の製造方法 |
| JP3545074B2 (ja) | 1994-12-27 | 2004-07-21 | 独立行政法人 科学技術振興機構 | 半導体基板に集積される磁気検出素子及び磁気検出モジュール |
| JPH08233927A (ja) * | 1995-02-27 | 1996-09-13 | Shimadzu Corp | 薄膜フラックスゲート磁気センサ及びその製造方法 |
| JP3353533B2 (ja) | 1995-04-19 | 2002-12-03 | 株式会社島津製作所 | 磁力計 |
| US5672967A (en) * | 1995-09-19 | 1997-09-30 | Southwest Research Institute | Compact tri-axial fluxgate magnetometer and housing with unitary orthogonal sensor substrate |
| KR100250225B1 (ko) * | 1996-11-19 | 2000-04-01 | 윤종용 | 집적회로용 인덕터 및 그 제조방법 |
| US6483304B1 (en) * | 1997-03-13 | 2002-11-19 | Ricoh Company, Ltd. | Magnetic field probe having a shielding and isolating layers to protect lead wires extending between a coil and pads |
| JPH1123683A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-01-29 | Shimadzu Corp | ２軸フラックスゲート型磁気センサ |
| JP3600415B2 (ja) * | 1997-07-15 | 2004-12-15 | 株式会社東芝 | 分布定数素子 |
| JPH11118892A (ja) | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Citizen Watch Co Ltd | 磁気センサ |
| US6270889B1 (en) * | 1998-01-19 | 2001-08-07 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Making and using an ultra-thin copper foil |
| KR100480749B1 (ko) * | 1998-07-07 | 2005-09-30 | 삼성전자주식회사 | 차동 솔레노이드형 자계검출소자 및 그 제조방법 |
| KR100468833B1 (ko) * | 1998-07-28 | 2005-03-16 | 삼성전자주식회사 | 차동스파이어럴형자계검출소자및이를채용한자계검출모듈 |
| JP3341237B2 (ja) * | 1999-03-31 | 2002-11-05 | ミネベア株式会社 | 磁気センサ素子 |
| JP3341036B2 (ja) * | 1999-03-31 | 2002-11-05 | ミネベア株式会社 | 磁気センサ |
| US6571639B1 (en) * | 1999-03-01 | 2003-06-03 | Luna Innovations, Inc. | Fiber optic system |
| US6417665B1 (en) * | 1999-03-05 | 2002-07-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Spatially integrating fluxgate manetometer having a flexible magnetic core |
| US6278272B1 (en) * | 1999-03-05 | 2001-08-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Integrating fluxgate magnetometer |
| JP2001004726A (ja) * | 1999-06-22 | 2001-01-12 | Tdk Corp | 磁界センサ |
| FR2802649B1 (fr) * | 1999-12-17 | 2002-02-08 | Commissariat Energie Atomique | Micromagnetometre a porte de flux a detection perpendiculaire et son procede de realisation |
| JP2001296127A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-10-26 | Aichi Steel Works Ltd | 磁場検出装置 |
| JP2001358419A (ja) | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Mitsubishi Electric Corp | プリント配線板およびその製造方法、ならびにその配線板を用いた半導体装置 |
| KR100464097B1 (ko) * | 2002-03-14 | 2005-01-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체기판에 집적된 자계검출소자 및 그 제조방법 |
| KR100503455B1 (ko) * | 2003-06-04 | 2005-07-25 | 삼성전자주식회사 | 아몰포스 자성코어를 사용하여 제조된 마이크로플럭스게이트 센서 및 그 제조 방법 |
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