JP2007298509A - 改善された励磁コイルを有するフラックスゲート型マイクロ磁力計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のフラックスゲート型マイクロ磁力計は、所定の主平面を有する支持体と、所定の主方向の少なくとも1つの第1磁気コアと、前記第1磁気コアに平行な少なくとも1つの第2磁気コアと、を備えた磁気回路と、直列に接続された一連の導電部材で形成された少なくとも1つの励磁コイルと、前記一連の導電部材に励磁信号を与える手段と、を含む。前記励磁コイルは、前記所定の主方向に対してゼロではない角度を形成する方向に延長し、前記支持体の前記主平面に対して平行な平面にそれぞれ位置する互いに平行な平坦な導電領域を含む。
【選択図】図6
Description
101 積層体
102 第1磁気コア
104 第2磁気コア
107 誘電材料層
230、232、240、242 導電接触部
302、304、402、404、502、504、602、604 コア
410 励磁コイル
411、412、413、414 導電領域
420 検出コイル
418 第1導電リンク
419 第2導電リンク
Claims (15)
- 所定の主平面を有する支持体(100−101)と、
所定の主方向の少なくとも1つの第1磁気コア(102)と、前記第1磁気コアに平行な少なくとも1つの第2磁気コア(104)と、を備えた磁気回路と、
直列に接続された一連の導電部材で形成された少なくとも1つの励磁コイル(110、410)と、
前記一連の導電部材に励磁信号を与える手段と、を含み、
前記励磁コイルは、前記所定の主方向に対してゼロではない角度を形成する方向に延長し、前記支持体の前記主平面に対して平行な平面にそれぞれ位置する互いに平行な平坦な導電領域(411、412、413、414)を含み、
複数の第1の平坦な導電領域(411、413)は、前記第1コアに対向して位置し、
複数の第2の平坦な導電領域(412、414)は、前記第2コアに対向して位置し、
前記励磁コイルの少なくともいくつかの導電部材は、前記複数の第1の平坦な導電領域に属する第2の平坦な導電領域(412)に接続され、前記第2の平坦な導電領域として前記支持体の前記主平面に直交する前記同一平面に位置する前記複数の第2の導電領域に属する少なくとも1つの第1の平坦な導電領域(411)でそれぞれ形成され、
前記励磁コイルの前記導電部材は、前記コア(102、104)を囲う閉じられた外形部を与え、前記第1の平坦な導電領域(411)と前記第2の平坦な導電領域(412)とを含む導電部分で形成される、薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。 - 前記励磁コイルの前記導電部材は、前記導電部分に接続され、前記一連の導電部材の前の導電部材または前記励磁信号を与える手段からの電流を送るための第1導電連結部(418)と、前記導電部分に接続され、前記一連の導電部材の次の導電部材または前記励磁信号を与える手段から電流を送るための第2導電連結部と、でそれぞれさらに形成される、請求項1に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 前記複数の第1の平坦な導電領域の前記平坦な導電領域と前記複数の第2の平坦な導電領域の前記平坦な導電領域は、前記所定の主方向に直交する方向に沿って方向付けられている、請求項1または2に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 前記第1の平坦な導電領域(411)と前記第2の平坦な導電領域(412)は、前記支持体の前記主平面に平行な第1平面に位置し、前記第2の平坦な導電領域は、前記第1の平坦な導電領域に接続されて位置合わせされている、請求項1から3の何れか一項に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 前記閉じられた導電外形部は、第3の平坦な導電領域(413)と、前記第3の平坦な導電領域に接続されて位置合わせされている第4の平坦な導電領域(414)と、を追加的に含み、
前記コアが前記第1平面と前記第2平面との間に位置するように、前記第3の平坦な導電領域と前記第4の平坦な導電領域は、前記第1の平坦な導電領域(411)と前記第2の平坦な導電領域(414)にそれぞれ接続されると共に前記支持体の前記主平面に平行な第2平面に位置する、請求項1から4の何れか一項に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。 - 前記第3の平坦な導電領域(413)と前記第4の平坦な導電領域(414)は、前記第1の平坦な導電領域(411)と前記第2の平坦な導電領域(412)として前記支持体の前記主平面に直交する前記同一平面に位置する、請求項5に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 閉じられた外形部を与える前記導電部分は、前記第1コアを部分的に囲う第1導電部と前記第2コアを部分的に囲う第2導電部とで形成され、前記第1導電部と前記第2導電部は同一である、請求項1から6の何れか一項に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 前記第1導電接続部(418)と前記第2導電接続部(419)は、コア(102、104)の間に位置し、前記所定の主方向に平行な方向に方向付けられ、前記第2接続部と前記第1接続部は、前記コアが前記第1平面と前記第2平面との間に位置するように、前記支持体の前記主平面に平行な第1平面と前記支持体の前記主平面に平行な第2平面にそれぞれ位置する、請求項1から7の何れか一項に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 前記磁気回路は、互いに平行であると共に前記第1コア及び前記第2コアに平行な1つ又は複数の他の並置されたコアをさらに含み、前記励磁コイルのいくつかの導電部材は、前記第1の平坦な導電領域と前記第2の平坦な導電領域として、前記所定の主方向に対してゼロではない角度を形成する方向に延長し、前記支持体の前記主平面に直交する前記同一平面に位置する複数の平坦な導電領域でそれぞれさらに形成される、請求項1から8の何れか一項に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 前記磁気回路は、互いに平行であると共に前記第1コア及び前記第2コアに平行な1つ又は複数の他の並置されたコアをさらに含み、前記導電部分は、前記他方のコアを囲う、請求項1から9の何れか一項に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 前記コア(102、104)の周囲に巻かれる少なくとも1つの検出コイル(420)をさらに含む、請求項1から10の何れか一項に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 前記検出コイル(120、520)と前記励磁コイル(110、510)は、インターレースされている、請求項11に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 前記検出コイルは、前記コアが前記第1平面と前記第2平面の間に位置するように、前記支持体の前記主平面に平行な第1平面の全ての前記コア(102、104)に対向すると共に前記支持体の前記主平面に平行な第2平面の全てのコア(102、104)に対向して交互にそれぞれ通過する一連の巻線で形成される、請求項11または12に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 前記検出コイルは、直列に接続される一連の導電巻線で形成され、前記検出コイルの複数の巻線は、互いに平行で、前記支持体の前記主平面に平行な平面の前記磁気回路の前記コアに対向してそれぞれ位置し、前記所定の主方向に対してゼロではない角度を形成する方向にそれぞれ延長する複数の平坦な導電領域をそれぞれ含み、前記検出コイル(420)の前記平坦な導電領域は、前記励磁コイル(410)の前記平坦な導電領域の幅(lc)より大きい幅(l’c)を有する、請求項11から13の何れか一項に記載の薄膜内に実現されるフラックスゲート型マイクロ磁力計。
- 第1の主方向に沿って方向付けられるコアを備えた請求項1から14の何れか一項に記載の第1のフラックスゲート型マイクロ磁力計と、前記第1の主方向に対して直交する第2の主方向に沿って方向付けられたコアを備えた請求項1から14の何れか一項に記載の少なくとも1つの第2のフラックスゲート型マイクロ磁力計と、を含む、薄膜内に実現される装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0651615A FR2900735B1 (fr) | 2006-05-04 | 2006-05-04 | Micromagnetometre de type fluxgate a bobinage d'excitation ameliore |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007298509A true JP2007298509A (ja) | 2007-11-15 |
Family
ID=37564131
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007116045A Ceased JP2007298509A (ja) | 2006-05-04 | 2007-04-25 | 改善された励磁コイルを有するフラックスゲート型マイクロ磁力計 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7414399B2 (ja) |
EP (1) | EP1852707B1 (ja) |
JP (1) | JP2007298509A (ja) |
FR (1) | FR2900735B1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2928006B1 (fr) * | 2008-02-26 | 2011-03-04 | Univ Claude Bernard Lyon | Procede de fabrication d'un capteur de champ magnetique et capteur de champ magnetique obtenu |
JP5866706B2 (ja) * | 2011-09-09 | 2016-02-17 | 国立大学法人九州大学 | 磁界センサ |
FR3008190B1 (fr) | 2013-07-08 | 2015-08-07 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de mesure d'un champ magnetique au moyen d'excitations synchronisees |
US10459040B2 (en) | 2015-05-27 | 2019-10-29 | Texas Instruments Incorporated | Integrated fluxgate magnetic gradient sensor |
US9577185B1 (en) * | 2016-04-28 | 2017-02-21 | Texas Instruments Incorporated | Fluxgate device with low fluxgate noise |
US10184991B2 (en) * | 2016-05-11 | 2019-01-22 | Texas Instruments Incorporated | Dual-axis fluxgate device |
CN106324542B (zh) * | 2016-08-30 | 2018-11-09 | 中国人民解放军海军工程大学 | 一种三轴去耦自调零磁通门磁强计零点测量电路 |
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Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3096413B2 (ja) * | 1995-11-02 | 2000-10-10 | キヤノン電子株式会社 | 磁気検出素子、磁気センサー、地磁気検出型方位センサー、及び姿勢制御用センサー |
FR2802649B1 (fr) * | 1999-12-17 | 2002-02-08 | Commissariat Energie Atomique | Micromagnetometre a porte de flux a detection perpendiculaire et son procede de realisation |
-
2006
- 2006-05-04 FR FR0651615A patent/FR2900735B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-04-25 JP JP2007116045A patent/JP2007298509A/ja not_active Ceased
- 2007-04-30 US US11/741,951 patent/US7414399B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-05-02 EP EP07107309.2A patent/EP1852707B1/fr not_active Not-in-force
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7414399B2 (en) | 2008-08-19 |
FR2900735B1 (fr) | 2008-08-22 |
US20070257669A1 (en) | 2007-11-08 |
FR2900735A1 (fr) | 2007-11-09 |
EP1852707A1 (fr) | 2007-11-07 |
EP1852707B1 (fr) | 2013-09-11 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
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