TW583691B - Electronic component and method of manufacturing the same - Google Patents
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583691 五 、發明説明( [技術領域] 本發明係有關於一種用於移動通信等電子機器的電子 零件及其製造方法。 [習知背景] 晶片型電子零件中’有積層型電子零件和㈣敷法於基 台等之表面形成導電膜等,再將該導電膜等加工形成元件 邛,並利用保護材包覆該元件部的電子零件等。 特別地’後者係塗布絕緣性焊糊等而形成保護材。當電 子零件尺寸較大時,即使利用塗布焊糊之方法形成保護材 亦無太大問題。近年⑴山職和以⑴咖尺寸之 小型電子零件業已商品化,可預測將來會有更小之〇.4x 〇.2mm尺寸之電子零件出現。 J遺著電子零件之小型[當利用焊糊等形成保護材時, 便會產生保護材形成圓壯道- 題。且,由於塗布:差狀= 叩萌度差故形成於電子零件兩端之端 本=㈣會不均一’對電子零件特性造成不良影響。曰 開公報特開平Η•獅號係揭露藉電鑛法形成保 合、、而’ S僅利用電鍍膜形成電子零件之保護材時 須除去附著於Γ 在形成端子電極時, 頁除去附者於^兩端部之電鍍膜 致::力無法提高。又,除去電鑛膜時,若:Si: =電;造成損傷,便會發生特性惡化或特性Μ基口上 方面,如上述前例中記载者,亦有-方法是利用夹具包覆 ^尺度適财國
-訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -4- 583691 A7 ----------- Β7 五、發明説明() ------ 2 ; 元件之兩端部以免電鑛膜附著於元件之兩端。然而,該方 法會發生電鍍液容易由元件與夹具間之間隙進入,而於元 :牛兩端部形成電鍍膜’導致難以在元件兩端形成端子電極 專問題。若利用焊糊塗布法或電錄法形成保護材,更會有 於保濩材之端部造成凹凸,端子電極之元件中心侧之端部 成為凹凸形狀,而影響組裝性和特性的問題。又,亦有電 子零件愈小型化,保護材之形成厚度也愈薄,導致保護材 與疋件本體之接合強度變弱的問題。 ,因此有效率且高精度地形成保護材,並提高與元件本體 之密接性便成為追求電子零件特性安定、組裝性提高、生 產力提高之重要課題。 [發明之揭示] 本發明係用以提供一種電子零件,包含有··基台;設 置於該基台之膜;設置於該膜與該基台雙方之槽;設置在 形成於該槽底部之凹部内的樹脂部;用以包覆該槽且與該 樹脂部接合之保護材;及設置於該基台兩端俾夹住該保護 材之端子部。 [圖式之簡單說明] 螫 第1圖係顯示本發明一實施型態中電子零件之製造方 法的立體圖。 第2圖係顯示本發明一實施型態中電子零件之製造方 法的截面圖。 第3圖係顯示本發明一實施型態中電子零件之製造方 法的立體圖。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐) C請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .訂— 撕691 A7 五、發明説明 弟4圖係 法的截面圖。 第5圖係 法的立體圖。 第6圖係 法的截面圖。 _示本發明一實施型態中電子零件之製造方 項示本發明一實施型態中電子零件之製造方 顯示本發明一實施型態中電子零件之製造方 第7圖係g員 嘀不本發明一實施型態中電子零件造方 法的立體圖。 ^干又衣& 係顯不本發明一實施型態中電子零件之製造方 第8圖 法的截面圖
Λ請先闕讀背面之法意箏項符填寫本貢J
第9 ®係顯示本發明一實施型態中 法的立體圖。 第10圖係顯示本發明一實施型態中電 法的立體圖。 電子零件之製造方 子零件之製造方 第Η圖係顯示本發明一實施型態中電子零件之製造方 法的截面圖。 第12圖係顯示本發明一實施型態中電子零件之製造方 法的立體圖。 第13圖係顯示本發明一實施型態中電子零件之製造方 法的截面圖。 第14圖係顯示本發日月一實施型態中電子零件之製造方· 法的立體圖。 第15圖係顯示本發明一實施型態中電子零件之製造方 法的截面圖。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) yjy l
A7 B7 發明說明 第1 6圖係顯示本發明一實施型態中電子零件之製造方 去的立體圖。 ----------------------#—— - · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1 7圖係顯示本發明一實施型態中電子零件之製造方 决的戴面圖。 第1 8圖係顯示本發明一實施型態中電子零件之製造方 去的戴面圖。 第19圖係顧示本發明一實施型態中電子零件之製造方 法的戴面圖。 [發明之實施形態] 以下利用圖示具體說明本發明之實施型態。又,圖示為 模式圖,並非依正確尺寸顯示各位置者。
、可I 又’本發明所謂的電子零件係指於基台表面形成元件部 之曰曰片電感器、晶片電阻器、晶片電容器、晶片天線、晶 片電流保險絲等。 首先,如第1圖、第2圖所示,利用壓縮成形、押出法 等製成柱狀基台10。基台10至少為由氧化鋁等陶瓷材料 和樹蟑材料等的絕緣性材料,及鐵光氧磁體等磁性材料所 組<群所選出之-種材料所構成者。可適當地使用板狀 體、柱狀體作為基台1G之形狀,具體言之,可使用圖示之 四角柱狀體、五角柱狀體等多角柱狀體或圓柱狀體等。若 考慮組裝性等,則以多角柱狀體為佳。其中又特別以構造 簡亭之四角柱狀體為佳。又,當使用多角柱狀體時,宜在 角部進行去角。利用去角可防止形成於基台1G上之導電膜 等在角4變得較薄,而可抑制特性惡化,又以至少在基台 阻 他 方 電
f 二請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 583691 五、發明説明 10之側面間構成之角部⑽進行去角為佳。 匕,乃由於將在4基台1G之_部份側面或橫跨全周面形 >、具有電感、電阻、電容其中之_特性的元件部之故。 二如第3圖、第4圖所示,於基台1〇之全表面設置膜 #'㈣㈣或電㈣所構成。例如,當電子裳件 ^片電感器或晶片電容器時’膜2〇是由導電膜所構成, :為晶片電阻器時,則由電阻膜或薄的導電膜所構成。又, 當電子零件為晶片天線時’膜2〇是由導電膜所構成。 又,當電子零件為晶片電流保險絲時冑2〇是由電, 膜或薄的導電膜所構成。膜2G之構成材料可舉金、銀、銅 碳、m、氧化釕、料之導電材料或電阻材料為例< 又,亦可適當地使用該等材料之單體或該等材料與其瓜 凡素之合金等。膜20之製法有無電電解鑛敷法、電解鑛敷 法、蒸鍍法、濺鍍法、於基台1〇塗布焊糊並進行燒杜之 法等。 ^ 又,本實施型態係於基台10之全面設置膜2〇,但依卑 子零件之種類,亦有構造係僅設置橫跨基台1〇之側面全周 者,或僅設置於一部份側面者。 ° 即,至少膜20之一部份侧面是由前述材料及製法所相 成。接著,如第5圖、第6圖所示,避開基台1〇之兩端市 形成元件部30。此乃由於一般是使用基台之兩端部作為海 子部之故。又,若於基台10之中央部或者一方端部等形启 一個或三個以上之端子部時,於該端子部領域以外之部我 則形成元件部30。由於依電子零件的種類等,元件部3 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 583691 A7 ________^_____ 五、發明説明() 6 之構造各有不同,故以下按種類別加以具體說明。 首先’當電子零件為晶片電感器時,前述膜2〇由鋼等 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之導電膜所構成,且至少橫跨基台1 〇之側面全周形成膜 20 〇 如第5圖、第6圖所示,利用雷射加工或研磨加工等之 修整,於膜20或膜20與基台1〇之表面部形成槽7〇。槽 7〇橫跨基台10之側面全周形成螺旋狀,因而膜2〇亦殘留 螺旋狀。 該螺旋狀之膜20之軸心對基台1〇之端面1〇b形成交 叉。利用調整槽寬、繞捲密度等,便可調整電感值。 又’可利用同樣構造形成晶片天線,若以電阻膜取代該 膜亦可利用前述構造形成晶片電阻器。 又,方為晶片電容器時,則預先於基台10上設置膜2〇, 並藉前述修整而設置多數將膜20分割之槽而形成元件部 30 〇 更進一步,若為晶片電流保險絲時,則藉前述修整而設 置環繞狀之槽,且在槽之頂端部間,於膜2〇設置狹幅部(溶 斷部)而形成元件部30。 又,於一個基台10上形成螺旋狀之槽,並且亦形成環 繞狀之槽,藉此可製成線圈與電容器一體化之LC複合電 子零件或LR複合電子零件等的複合電子零件。又,本實 施型態中,無論為任一電子零件時,皆是於膜2〇上藉修整 形成槽而製成元件部30。然而,除修整等之外,亦可預先 藉圖案形成而製成螺旋狀之導電膜而構成晶片電感器或晶 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公爱)一 -- -9- 7 圓 說 故 形
------------------#…: *請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 583691 五、發明説明( 片天線,和藉圖案形成而製成螺旋狀之電阻膜而構成晶片 電阻器。接著,如第7圖、第8圖所示,形成抗餘膜4〇 俾包覆元件全體。 抗姓膜40可使用正型或負形之任一者。又,可適當地 使用紫外線硬化樹脂、紫外線降解樹脂、電子射線硬:樹 脂、電子射線降解樹脂、可見光硬化樹脂、可見光降解樹 脂、X線硬化樹脂、X線降解樹脂、放射線硬化樹脂、放 射線降解樹腊等能量線硬化樹脂和能量線降解樹脂作為抗 钕膜40。具體言之’可舉環氧系樹脂(紛駿清漆型等)和 丙稀酸系樹脂(丙烯酸胺基甲酸s旨等)為例。如前所述般, 使用因能量線導致硬化或降解之材料,可極精確地形成圖 案。又,亦可使用熱硬化型樹脂和熱降解樹脂作為抗姓膜 二具體的材料有丙烯酸系樹脂、聚胺醋系樹脂、環氧系 樹脂、尿素樹脂、美耐皿樹脂等。抗餘膜4〇之形成方法有 塗布後再使其乾燥乾之方法’和藉電鑛法形成後再使其乾 燥乾之方法。特別是由於電鍵法之形成法可形成薄的;充蝕 膜40,且形成於元件角部之抗姓膜4〇不會變成圓狀 尤以電鍍法為佳…抗蝕膜4〇可沿元件之表面輕易形 成。當利用該電鑛法形成抗㈣4G時,宜使其膜厚為3〜3〇 P (尤以5〜20" m為佳)。若膜厚較3❹更小時,便無 法充分包覆元件,且保護材可能附著在不該附著之部分’:、 另一方面,若膜厚較30^m更厚時,抗蝕膜4〇便合略呈 狀二而難以形成高精度之保護材。又,除電鍍法以外, 可藉靜電粉體塗膜、紫外線塗膜等形成抗#臈。接著, 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) -10- 9 面 和 示
•------- ----------#…: (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、可| 583691 五、發明説明( 明使用紫外線降解樹脂作為抗蝕膜4〇之情形。 首先,利用電鍍法於元件上形成抗蝕膜4〇,再以8〇〜12〇 °C之溫度持續5〜1G分鐘使其乾燥。更進—步,利用遮蔽 板等,而僅於第9圖所示之a領域照射紫外線數秒至十數 秒。此時,紫外線係照射在A領域所顯示之元件之側面全 周。該A領域係形成元件部3 0之部分。 B領域係形成端子部之部分。接下來,#利用顯像劑使 紫外線照射後之抗蝕膜40顯像,便可除去抗蝕膜4〇之業 經紫外線照射之部份(大致是A領域)。如前所述般,可 使元件部30露出,且B領域之抗钱膜仂會殘留於元件之 兩端部(參照第10圖、第心)。又,當使用紫外線硬化 樹脂形成抗蝕膜40時,仍會利用遮蔽板等,而僅於第夕 圖所示之B 7員域照射紫外線。而後,藉顯像除去a領域之 抗餘膜40,而殘留b領域之抗蝕膜4〇。 如前所述般可非f精確地於B領域,即成為端子部之 領域殘留抗蝕膜40。因此,可防止後述保護材附著於欲形 成端子部之部份,且可使保護材之元件中心側之端部形成 的凹凸變得極小。又,本實施型態中,雖是於元件之全 形成抗蝕膜40,但當例如利用電鍍法等形成抗蝕膜 後述保護材時,會將具有導電性之夾具構件與第i圖所 之兩端面10b觸接而使製造時之搬送等變得容易。此時, 抗飯膜40 f質上是僅形成於元件之全側面。目此,抗餘膜 仂是以至少形成於元件之側面上為佳。其次,如第Μ圖、 第13圖所示,利用由電鍍膜所構成之保護材5〇包覆元件 本紙張尺度翻巾關家鮮(⑽)A4規格⑽χ297公酱) -11- 9583691 發明説明 :30。此日$ ’保瘦材5〇至少為由丙婦酸系樹脂、環氧系 樹月曰、氟系樹脂、聚胺醋系樹脂、聚酿亞胺系樹脂等樹脂 材料所選出之一種電鍍樹脂膜所構成者。 又,在考慮70件之構成材料、電鍍膜之構成材料、電子 零件用途等之後,才決定選擇陽離子系、陰離子系其中之 -作為電鍍樹脂膜。可層疊不同材料所構成之電鍍膜以形 成保護材50,亦可層疊同一材料之電鍍膜。 又,宜使保護材50之平均膜厚為10" m〜25/zm (尤以 12〜20 // m為佳)。 又’如第12圖、第13圖所示,保護材%之膜厚宜形 成較抗姓膜4〇之膜厚更厚。又,宜以具有在焊劑熔點之 183 C中不燃燒、不蒸發之耐触者作為保護材%之材料。 然後’如第圖及第15圖所示,除去形成於元件兩端 之抗蚀膜40。例如’當以能量線降解樹脂構成抗姓膜扣 Γ除去抗㈣4〇之方法是於抗蚀膜4〇照射紫外線等後, 措顯像劑等顯像。因此,可幾乎1〇〇%地除去抗蝕膜4〇, 而使膜20露出。 、在此時若利用露出於兩端之膜20作為端子部,便可完 成電子零件。更進一步,若欲使其與電路基板等之接合 性丑十^好’宜形成端子電極60。第16圖、第17圖係顯 不形成有端子電極60之例。 端子電極60係形成在露出於元件兩端之膜2〇上。又, 端子電極6G係層疊單—❹數之導電膜而構成者。又’利 用鑛敷法、歲鑛法、蒸鑛法等薄膜形成法或塗布導電性焊 本紙張尺錢用中國國家標準(_ A娜⑵GX297公复)—
.(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .訂| -12- 10 10 五 、發明説明( :再加以燒結之方法等形成端子電極6 中,可-次形成多量之端子電極6〇,且 本貫施型態 50作為圖案㈣敷法(尤其是電解鍍敷ζ)用可以保護材 端子電極6G係至少為單層之耐餘 者’或者至少將其巾任—者層疊 Ύ切中任一 # m的Ti、Ni、W、Cr等μ S 〇且以膜厚0.5〜3
Lr等難以腐餘 材料之合金膜(Ni心等)等❹_相,或該等金屬 單體或Ni合金者,在^ 膜。尤其是使用犯 你付I*生面和成本面等皆 膜或膜2。之上,再形成膜厚5〜1〇"二優八:可_ 中之一之無錯焊劑等)的接合膜。如前所述般構成端子電 極60,可提高耐蝕性或與電路基板等之接合性。 另,形成端子電極60時,宜使其構造成端子電極60 之表面較保護材50之表面突出2//m以上。又,若考慮生 產力等,則該突出量以7㈣以下為佳。當組裝至電路^板 上時,藉前述構造,兩端之端子電極6〇可與電路基板上之 焊接區等相互接觸,而提高組裝性。 如前所述般製成之電子零件係將抗蝕膜4〇形成圖案而 構成保護材50。比起利用習知之藉塗布形成保護材5〇,可 更精確地形成保護材50。且,亦可防止當利用習知電錢法 形成保護材50時等會發生之電鍍膜附著於不需要部位的 問題。因而不需要電鍍膜除去作業,可提高生產力。 又,若藉前述構造,可使保護材50與兩端之膜20之邊 界部或者保護材50與端子電極60之邊界部的凹凸差在7 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐) -13- 583691 A7 ______B7_ 五、發明説明(u ) .(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以下。因此,由於可使成為端子部之膜2〇或者端子電 極60之尺寸精度極高,故可防止元件突立現象等。 又々長為L1’寬為L2 ’高為L3,前述電子零件之形 狀宜構造成如以下所述者。 L1 = 0.2〜2.〇mm (以 〇 2〜1 〇mm 為佳) L2= 0.1〜l.〇mm (以〇」〜〇 5mm為佳) L3= 0.1 〜l.〇mm (以 〇」〜〇 5ιηιη 為佳) 該構造對於小型電子零件特別有用。 更詳而言之係對於如le0x 〇.5mm尺寸之電子零件、〇6 X 0.3mm尺寸之電子零件、〇 4χ 〇 2mm尺寸之電子零件等 所謂0·4χ 0.2mm〜1·〇χ 〇.5mm尺寸範圍的電子零件特別有 用。即,隨著電子零件之小型化,兩端端子部之尺寸精度 尤其會影響組裝性,端子部之尺寸精度惡化便容易引發元 件突立現象等。又,在本實施型態中係說明於基台丨〇之表 面形成元件部30之電子零件之例,但亦適用於須將元件部 30埋設在基台中並設置保護材50之電子零件等。又,在 本實施型態中係橫跨基台10之全側面形成元件部3〇,並 才κ跨基口 10之全侧面设置保護材5〇。另,亦可於基a 之一側面或檢跨數面形成元件部3 〇,於基台1 〇之一侧面 或橫跨數面(並非全周面)設置保護材5〇。例如,亦適用 於所謂的板型電子零件,即,利用將基板1〇構造成板狀, 於基台10側面中之一面形成元件部3〇 ,並在該面上設置 保護材50 〇 第18圖係第11圖中之槽70部份的放大圖。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) -14- 583691
發明説明 12 ------- ----------#…: (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在第11圖中,槽70看似僅形成於膜20上。然而,實 際上是如帛18 ®所示,若利用雷射加卫或研磨加工於膜 2〇上形成槽7G,便同時亦於基台1G上形成槽。此時,形 成於基§ 10之槽70的底冑會產生多數比較大之凹部100。 、由於t知技術係在如前所述般有凹部i 00產生在形成 於基σ 10之槽70底部的狀態下,接著直接形成保護材 5〇,故保護材50與基台10之密接強度低。 其理由在於保護材50是由樹脂材料構成,基台10則是 由陶瓷等無機材料構成,故不太能提高密接強度。如第19 f所示,本實施型態係構造成在形成於基台:10之槽70底 4的凹部1GG中設置樹脂部1G1俾填滿該凹部⑽。接著 _訂_ 右再形成保護材50,冑70全體便可填滿。由於保護材5〇 :、树月曰σ" 〇 1皆為樹脂材料,故接合強度大,可對抗剝離 等又,在本實施型態中係利用抗蝕膜40形成圖案,而當 除去該抗蝕膜40時,可調整一部份之抗蝕膜4〇殘留在言 1 置於基台10之槽的凹部1〇〇中。例如,調整浸潰於顯像劑 之時間,適當地選擇顯像劑之材料等,藉此可於全部或一 部份形成於槽70之凹部1〇〇内殘留抗蝕膜4〇作為樹脂部 101 〇 如前所述般,進行曝光或顯像等後,殘留於基台io之 槽底部的樹脂部1〇1會比較強固地與基台1〇接合。 接著若再形成保護材50,保護材50與樹脂部1〇1便可 強固地接合,即使是薄的保護材50,亦可充分強固地設置 於元件本體上。特別的是於保護材50施加熱處理,藉此可 本紙張尺度適用中關家標準(CNS) A4規格(2歡297公釐) -15 ^ό69\
"發明説明( 13 更確實地接合保護材50與樹脂部ι〇1。 •(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又’在本實施型態中係殘留一部份 脂却iai i 刀又抗蝕膜40構成梱 如邵101。由於可不使用新材料而形 妲^ /风树月日部101,所以可 知向生產力。 另,亦可塗布和抗蚀膜40不同的環氧樹脂等形 部 101 〇 二又,當於膜20形成圖案,並利用蝕刻形成槽等時,基 σ由槽露出之表面亦因蝕刻而多少會形成凹凸。此時,則 在進行姓刻時所產生之凹部内形成樹脂部1〇1。 [元件標號表] .、可| -#- 10···基台 lGa···角部 1〇b··.端面 2〇···膜 30···元件部 4〇··.抗蝕膜 5〇···保護材 60…端子電極 70···槽 100…凹部 101…樹脂部 α···α領域 Β · · · Β領域 本紙張尺度適用中國國家標準(CNs) Α4規格(210X297公釐) 16-
Claims (1)
- 583691 Λ BCD 申叫專利龜圍 l 一種電子零件,包含有: 甘 > · 土 口,設置於該基台之膜;設置於該膜與該基台雙 槽,叹置在形成於該槽底部之凹部内的樹脂部;用 2包覆該槽且與該樹脂部接合之保護材;及設置於該基 台兩端俾夾住該保護材之端子部。 2·^申請專利範圍第1項之電子零件,其中前述樹脂部和 前述保護材為不同之樹脂材料。 3· ^申請專利範圍第1項之電子零件,其中前述樹脂部和 前述保護材為電鍍膜。 4· 一種電子零件之製造方法,包含有: 元件°卩形成步驟’係於基台形成至少具有電感、 電阻、電容其中之一機能的元件部; 〜 抗蝕膜形成步驟,係至少於該基台之一側面上形成 抗蝕膜; 保濩材形成步驟,係將該抗蝕膜形成圖案而除去不 要部份後,於該除去部份形成保護材;及 殘留部份除去步驟,係除去該抗蝕膜之殘留部份。 5· t申請專利範圍第4項之電子零件之製造方法,其更包 有‘子電極没置步驟,係設置與前述元件部電氣連 接之端子電極。 6.如申請專利範圍第4項之電子零件之製造方法,其中前 述元件部形成步驟至少為在前述形成於基台表面之膜 上,藉修整而設置槽的步驟和藉圖案形成而製成前述元 件部的步驟中之任一者。 本紙張尺度_ + A4規格(210χ297公幻- -17 - 583691 A8 B8 C8 申請專利範圍 7.如申請專利範圍第4項之電子零件之製造方法,其係包 含有用以形成前述抗蝕膜之電鍍步驟。 8·如申請專利範圍第4項之電子零件之製造方法,其係包 含有利用能量線降解樹脂形成前述抗姓膜的步驟和於 前述抗蝕膜之不要部份照射能量線後顯像並除去不要 部份的步驟。 9·=申請專利範圍第4項之電子零件之製造方法,其係包 含有用以形成前述保護材之電鍍步驟。 •種電子零件之製造方法,包含有以下步驟: 形成至少於柱狀基台之全部側面連續之膜; 於該膜上藉修整或圖案形成製成元件部; 至少於該基台之全部側面形成抗蝕膜俾包覆該元件 部; 保留該抗蝕膜之基台兩端部而除去其他部分使該元 件部露出; 於該露出之元件部上形成保護材;及 在除去該抗鍅膜之殘留部份後,使形成於該基台兩 端部之膜露出。 11 ·如申清專利範圍第1 〇項之電子零件之製造方法,其係 包含有用以形成前述抗钱膜和前述保護材之電鐘步驟。 12·如申請專利範圍第項之電子零件之製造方法,其係 包含有利用能量線降解樹脂形成前述抗蝕膜的步驟和 於前述抗蝕膜之不要部份照射能量線後顯像並除去不 要部份的步驟。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐)裝 訂-18-
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---|---|---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI623002B (zh) * | 2015-06-25 | 2018-05-01 | Wafer Mems Co Ltd | Mass production method of high frequency inductor |
US10181378B2 (en) | 2015-06-25 | 2019-01-15 | Wafer Mems Co., Ltd | Magnetic core inductor chip and method of making the same |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004197214A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-07-15 | Murata Mfg Co Ltd | めっき膜の形成方法及びチップ型電子部品の製造方法 |
EP1622174A4 (en) | 2003-05-08 | 2009-11-11 | Panasonic Corp | ELECTRONIC COMPONENT AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
US7352662B2 (en) * | 2003-06-13 | 2008-04-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Molded coil device for actuator of disc drive |
US7119635B2 (en) | 2003-08-29 | 2006-10-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electronic component |
JP2005079273A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Lc複合部品 |
WO2008152641A2 (en) * | 2007-06-12 | 2008-12-18 | Advanced Magnetic Solutions Ltd. | Magnetic induction devices and methods for producing them |
JP5287154B2 (ja) * | 2007-11-08 | 2013-09-11 | パナソニック株式会社 | 回路保護素子およびその製造方法 |
US20110089025A1 (en) * | 2009-10-20 | 2011-04-21 | Yageo Corporation | Method for manufacturing a chip resistor having a low resistance |
US8093982B2 (en) * | 2010-03-25 | 2012-01-10 | Qualcomm Incorporated | Three dimensional inductor and transformer design methodology of glass technology |
JP2013201318A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Taiyo Yuden Co Ltd | ポーラスコンデンサ |
DE102012110683A1 (de) * | 2012-11-08 | 2014-05-08 | Conti Temic Microelectronic Gmbh | LC-Modul zum Einbau in einem Kraftfahrzeugsteuergerät |
KR20150080797A (ko) * | 2014-01-02 | 2015-07-10 | 삼성전기주식회사 | 세라믹 전자 부품 |
WO2016013643A1 (ja) * | 2014-07-25 | 2016-01-28 | 株式会社村田製作所 | 電子部品及びその製造方法 |
KR101548879B1 (ko) * | 2014-09-18 | 2015-08-31 | 삼성전기주식회사 | 칩 부품 및 이의 실장 기판 |
KR102052767B1 (ko) * | 2014-12-12 | 2019-12-09 | 삼성전기주식회사 | 칩 전자부품 및 그 제조방법 |
KR101630091B1 (ko) * | 2014-12-24 | 2016-06-13 | 삼성전기주식회사 | 칩 전자부품 및 그 제조방법 |
TWI623247B (zh) * | 2015-06-25 | 2018-05-01 | Wafer Mems Co Ltd | Mass production method of preform of passive component |
KR101719914B1 (ko) * | 2015-07-31 | 2017-03-24 | 삼성전기주식회사 | 코일 전자부품 및 그 제조방법 |
KR101883043B1 (ko) * | 2016-02-19 | 2018-07-27 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 |
TWI628678B (zh) * | 2016-04-21 | 2018-07-01 | Tdk 股份有限公司 | 電子零件 |
KR20220006199A (ko) * | 2020-07-08 | 2022-01-17 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6288399A (ja) | 1985-10-15 | 1987-04-22 | 住友電気工業株式会社 | 集積回路用基板の製造方法 |
JPH02224212A (ja) | 1988-11-11 | 1990-09-06 | Mitsubishi Electric Corp | インダクタンス部品 |
JPH04280407A (ja) | 1991-03-08 | 1992-10-06 | Murata Mfg Co Ltd | モノリシックインダクタ |
JPH05129133A (ja) | 1991-11-05 | 1993-05-25 | Tdk Corp | コイル装置及びその製造方法 |
JPH07272215A (ja) | 1994-03-29 | 1995-10-20 | Yamaha Corp | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
JP3140291B2 (ja) | 1994-04-28 | 2001-03-05 | 松下電器産業株式会社 | インダクタンス素子 |
DE4415984A1 (de) | 1994-05-06 | 1995-11-09 | Bosch Gmbh Robert | Halbleitersensor mit Schutzschicht |
US5764126A (en) * | 1995-06-08 | 1998-06-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Chip coil |
TW342506B (en) | 1996-10-11 | 1998-10-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Inductance device and wireless terminal equipment |
US6084500A (en) * | 1997-03-28 | 2000-07-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Chip inductor and method for manufacturing the same |
JP3097603B2 (ja) | 1997-06-13 | 2000-10-10 | 松下電器産業株式会社 | インダクタンス素子及び無線端末装置 |
US6094123A (en) * | 1998-09-25 | 2000-07-25 | Lucent Technologies Inc. | Low profile surface mount chip inductor |
US6087921A (en) * | 1998-10-06 | 2000-07-11 | Pulse Engineering, Inc. | Placement insensitive monolithic inductor and method of manufacturing same |
JP4039779B2 (ja) * | 1999-01-28 | 2008-01-30 | 太陽誘電株式会社 | チップ状電子部品の製造方法 |
JP3686553B2 (ja) | 1999-04-26 | 2005-08-24 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品 |
CN1178232C (zh) * | 1999-04-26 | 2004-12-01 | 松下电器产业株式会社 | 电子零件及无线终端装置 |
JP3334684B2 (ja) | 1999-06-29 | 2002-10-15 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品及び無線端末装置 |
TW469456B (en) * | 1999-06-30 | 2001-12-21 | Murata Manufacturing Co | LC component |
JP3693542B2 (ja) | 1999-12-24 | 2005-09-07 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品の製造方法 |
US6864774B2 (en) * | 2000-10-19 | 2005-03-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Inductance component and method of manufacturing the same |
-
2001
- 2001-10-03 JP JP2001307269A patent/JP2003115403A/ja not_active Withdrawn
-
2002
- 2002-09-30 TW TW091122542A patent/TW583691B/zh not_active IP Right Cessation
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- 2002-10-02 KR KR1020020060218A patent/KR20030029480A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI623002B (zh) * | 2015-06-25 | 2018-05-01 | Wafer Mems Co Ltd | Mass production method of high frequency inductor |
US10020114B2 (en) | 2015-06-25 | 2018-07-10 | Wafer Mems Co., Ltd. | Method of making a high frequency inductor chip |
US10181378B2 (en) | 2015-06-25 | 2019-01-15 | Wafer Mems Co., Ltd | Magnetic core inductor chip and method of making the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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