TW580521B - An improved method of, and apparatus for delivering an organometallic compound to a plurality of epitaxial reactor sites - Google Patents

An improved method of, and apparatus for delivering an organometallic compound to a plurality of epitaxial reactor sites Download PDF

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Description

580521 年 复號8rnum__ 五、發明綱（1) " "~^L 修正^ 本發明係有關於一種運 ^- 膜反應器位址的改良方法和裝置ί ί化合物到諸多個晶 入裝有有機金屬化合物的容器遞送氣體被引 形成亂體混合⑼，然後氣體混 ：金屬化合物並 或多個反應器位址中，_合物分送到-個 當需要時，也可以藉由壓力差或在在貯存器内， 應器位址。 π具二下被抽送到各個反 在半導體工業中，去,1田π Ρ 來生產電子裝置是—種普通氣= ”、(C VD ) 的）放在鼓泡器内，在使用時，#姆貝（液體或固體 浸潰管打成氣泡，並與先質浐人:=虱肽通過鼓泡器内之 體與蒸氣混合物就在控制的速率進，t，然後，遞送氣 種系統是用於生產矽和化合物半導體，：=應器内，這 利用個別的反應器來進行的。 在早d的版本中是 而隨著對半導體的需求增加， 要引用大量的分送系統，其中中央貯存，f =的領域，需 器供料’各個鼓泡器則靠近各個反應器泡 甲石夕烧（TE〇S)的供應商積極銷售S;旦是 僅止於應用在分送液體而已。 裡乐、·死也 但是，現今許多使用於生產半導體的先質，已經可以 以氣相形式從鼓泡器中被運送到反應器，至目前為止，這 種運送方式已可在個別運送的基礎下完成，但是這種運送 方式卻有顯而易見的缺點’例如：為了更換設於個別反應 器旁邊的鼓泡器時，其機器停工的時間長，以及在進行局
580521
棟取時’具所增"πν %，工可對各個 器旁邊設置控制設備之相關費用，成本高。 把先質從鼓泡器運送到反應器位址=生產 別設計，使其能夠適合用於生產半導體之具有潛 ^特 的化學品，例如··三曱基鎵、三甲基銦、三甲基鋁二二i 基鋅和三乙基鎵，這些化學品所具有的潛在危ς性之== 是它們的自燃性（即為一與空氣接觸到，就會自發性地= 火燃燒）。 本發明的主要目的，係在提供一種運送有機金屬化合 物到諸多個晶膜反應益位址的改良方法和裝置，可減少更 換個別$支泡器k其機裔停工之時間，且其他鼓泡器仍可繼 縯運作’並可降低在進行局部揀取時，其所增加的複雜性 和控制設備之費用，可降低成本者。 本發明的主要特徵係在提供一種運送有機金屬化合物 到諸多個晶膜反應器位址的改良方法，係把遞送氣體引入 1有有機金屬化合物的容器，棟取遞送該氣體中的有機金 屬化合物並形成氣體混合物，輸送該氣體混合物至貯存器 ’然後再做選擇性地分送該氣體混合物到一個或多個反應 裔位址中，此方法不包括濃縮該氣體混合物的步驟。 本發明之另一特徵是在提供一種運送有機金屬化合物 到諸多個晶膜反應器位址的改良裝置，該裝置係設有一個 可將遞送氣體引入裝有有機金屬化合物的容器内的入口， 一個用來儲存該有機金屬化合物和遞送氣體的氣體混合物 的貯存裔，和一個可選擇性地分送該氣體混合物到一個或 多個反應器位址中的出口 ，該裝置不包括用來濃縮該氣體 580521 j號8912應 五、發明說明（3) 混合物的濃縮器。 為了能夠明瞭本發明 效執行，提供下列說明及 首先，請參閱第一、 大里分送裝置，可將容器 式的有機金屬化合物運送 2 0位址，一種遞送氣體（ 氣體）以大量流動 /父/貝官3流入鼓泡器1内 個晶膜反應器1 2、1 4、U 泡器1設於溫度控制油浴 ，以顯示遞送氣體流入的 氫氣2在鼓泡器1内 蒸氣相形式的氣流，會被 加入的氫氣2由另一大量 其流動速率是依據大量流 ，第二次的稀釋主要是為 =度之下，藉以確定先質 藉由加熱鼓泡器1的方法 氣相形式通過本裝置，再 以達到此目的；第二個大 動控制器4㈣，使二種 著相同的速率。 曰 修正 ’以及更清楚顯示出本發明的有 圖式作為範例以供參考： 二圖所示，本發明是在提供一種 (可設為鼓泡氣1 )内蒸氣相形 到多個反應器1 2、1 4、1 6、1 8、 一般是氫氣2 ，但也有可能是其 控制器4所設定的流動速率通過 ，遞送氣體内含有要運送到諸多 、18、20的有機金屬化合物，鼓 器5内部，並設有高度警報器6 高度。 揀取有機金屬化合物，然後形成 另一種後加入的氫氣2稀釋，後 流動控制器7設定其流動速率，
動控制器4 66、、* t I 的μ動速率來設定的 了降低蒸_、、塗$ ；；、虱/辰度使之維持在飽 月"瘵氣相形式通過本裝置，另 者，同時ΐ 化合物能以蒸 量泣動用上述二種方法也可 里/爪動控制哭7盘哲 #摻洛》 f 一苐一個大量流 遞迗虱體的冷^ 的/瓜動，彼此一直保持 580521 f號 89121074 五、發明說明（4) 輸出是以壓力控制器1 0來設定主要的氫氣2所流經大量产 動控制器4 ,流動速率，t央貯存器9内部的氣體混合= 可利用濃度監視益δ來測得其濃度，藉由在真空下或利用 麼力差，氣體混合物可自中央貯存器9 一致性ς供給到各 反應态1 2、1 4、1 6、1 8、2 0，再經各反應器！ 2、1 4、1 6、 18、20的大量流動控制器12a 、Ha 、16a 、18a、2〇a所 設定的流動速率，抽送到各個反應器丨2、i 4、ι 6、i 8、％ 中，·以往此種把大量物質以蒸氣相形式儲存的方 使用於運送有機金屬化合物到反應器12、14、ΐ6:ΐ8 了 = 這方面，關於此點，在習知的做法中，則是把大 液相或固相形式儲存起來。 、 、高人ί發！用ί楝取有機金屬化合物的遞送氣體可為任何 ::的水久氧體，例如氫氣2，而本發 用，運送有機金屬化合物到諸多個反應器12方：和= 位址中，這點已經很明白，但是 11二I: 量分送有機金屬化合物，包括三甲基鎵、:nt用於大 基鋁:二甲基鋅和三乙基鎵。 —甲基銦、三甲 很重要的是，本發明的方法 速率進行蒸氣式地連續性的揀取，並流動 )内僅殘留2 %的剩餘有機金屬化合物：二(鼓泡器1 、14、16、18、二=;於可運送到諸多個反應器12 2 〇位址的有機金屬化人^金 、， 所成，可以由單-氣體』視ΪΓ:;;合 相形ΐ 使屬化合物之化學物=氣 夹貝丁存益9中被運达到諸多個反應外、“ 580521 五 、發明說明（5) 1^89121074 16、18、20 位址
“类：來凌有機金屬化合物的容器最 1的樣^，遞送氣體可以經由浸潰管3 而鼓泡器1係設於、、四声扯 丁0又於/皿度控制油浴器5内 視其内先質高度的梦蓄r ll 没的衣置（此點是可以達 尚度吕報器6 、蘇舌哭a在^ _丄― 秤重器或氣體濃度監視 好疋设计為鼓泡器 引入鼓泡器1内， ’政泡器1具有監 到的’例如：利用 器8 /總量計算器 本發明所 1的個別反應 時間，更進一 增加的複雜性1 4、1 6、1 8、 本，而且，具 物的'能力，而 機金屬化合物 濃度的有機金 全性。 經由本發 屬化合物進行 動速率進行連 流動速率。 綜上所述 的，且更已解 之申請要件， 符合發明專利 提供的重要優點之一， 器 1 2、1 4、1 6、工 8、2 〇 步的優點是能夠降低在 和針對各個化學物品所 2〇旁設置的控制裝置之 有可運送蒸氣相形式的 因為與使用於大量液體 (要100 % )不同，此 屬化合物（低於5 %)， 明的方法和裝置可以對 連續性的揀取，更棒的 續性的揀取，例如：每 ’本發明確實能達到所 決習用方法存在之問題 又本案於申請前更未曾 之申請要件，爰依法提 是 時 進 需 費 I 分 並 遞 B 疋 預 能夠在更 ’減少機 行局部揀 在各個反 用，可大 燃性有機 送所需的 氣氣體中 可增加本 換鼓泡器 器停工的 取時，所 應器1 2、 為降低成 金屬化合 高濃度有 僅包含低 系統的安 送氣體中的有機金 能夠以大範圍的流 分鐘〇至1 〇公升的 期之功效及使用目 實已符合發明專利 知、公用，當已能 專利申請，懇請早
第9頁 580521
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580521 _案號89121074_年月日__ 圖式簡單說明 第一圖所示係為本發明裝置之實施例中之部件示意圖。 第二圖所示係為本發明裝置之鼓泡器立體圖，鼓泡器的前 部被剖開以顯示置於其内之浸潰管。 圖式中之編號說明： 1 鼓泡器 1 0壓力控制器 1 2、1 4、1 6、1 8、2 0 反應器 1 2 a、1 4 a、1 6 a、1 8 a、2 0 a大量流動控制器
2氫氣 3浸'潰管 4、7大量流動控制器 5 溫度控制油浴器 6高度警報器 8 濃度監視器 9中央貯存器
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Claims (1)

  1. 580521
    _案號 89121Π74 六、申請專利範圍 反應裔位址。 7、如申請專利範圍第1項所述一種運送有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改艮方法，其中對於該遞 送氣體中的有機金屬化合物所進行的楝取，是保持連續性 的揀取。 8、 如申請專利範圍第7項所述一種運送有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改艮方法，其中連續性的 揀取遞送氣體中的有機金屬化合物，以每分鐘〇至i 〇公升 之大範圍流動速率來進行。 9、 如申請專利範圍第1項所述一種運送有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改艮方法，其中該遞送氣 體為氫氣。 10、 一種運送有機金屬化合物创諸多個晶膜反應器位 址的改良裝置，該裝置係設有一侗 < 將遞送氣體引入裝有 有機金屬化合物的容器内的入口 ，〆個用來儲存該有機金 屬化合物和遞送氣體的氣體混合物的貯存為’和一個可選 擇性地分送該氣體混合物到一個戒多個反應器位址中的出 口，該裝置不包括用來濃縮該氣H滿合濃、=器。 11、 如申請專利範圍第1 〇項所述运有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改良装置’其中一個或多 個大量流動控制器是用來控制通過該装置的遞送氣體以及 遞送氣體混合物之流動速率。 1 2、如申請專利範圍第11項所述，種運送有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改良装置，其中第一個大
    580521 __案號 89121074 六、申請專利範圍 年月曰___ ΐ流動控制器的位置可控制該遞送氣體引入容器内之流動 速率。 1 3、如申請專利範圍第1 〇項所述一種運送有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改良裝置，其中進一步包 含··另設有裝置可在揀取有機金屬化合物之後，將第二種 來源的遞送氣體引入該氣體混合物中。 1 4、如申請專利範圍第丨丨項或第丨3項所述一種運送有 機金屬化合物到諸多個晶膜反應器位址的改良裝置，其中
    第二個大量流動控制器是用來控制所加入的第二種來源的 遞送氣體的流動速率。 1 5、如申請專利範圍第丨丨項所述一種運送有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改良裝置，其中第二個大 量流動控制器與第一個大量流動控制器相連。 1 6、如申請專利範圍第丨〇項所述一種運送有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改良裝置，其中貯存哭# 有壓力控制器。 w <
    1 7、如申請專利範圍第1 〇項所述一種運送有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改良裝置，其中另設有穿 置可允許該氣體混合物在真空下或藉由壓力差，自貯存器 内被抽送到各個反應器位址。 σσ 項所述一種運送有機金屬化 的3良裝置，其中各個反應 制為可控制該氣體混合物 1 8、如申請專利範圍第1 0 合物到諸多個晶膜反應器位址 器位址擁有自己的大量流動控 進入該反應器的流動速率。
    第14頁 580521 案號 89121074 曰 修正 六、申請專利範圍 1 9、如申請專利範圍第1 0項所述一種運送有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改良裝置，其中裝有有機 金屬化合物的容器為鼓泡器，該遞送氣體是藉由浸潰管被 引入該鼓泡器内。 2 0、如申請專利範圍第1 9項所述一種運送有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改良裝置，其中該鼓泡器 係設於溫度控制油浴器内。 2 1、如申請專利範圍第1 9項所述一種運送有機金屬化 合物到諸多個晶膜反應器位址的改良裝置，其中該鼓泡器 設有高度警報器以監視其内有機金屬化合物的高度。
    第15頁
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