JP3560457B2 - 気相成長用液体原料の気化容器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、化合物半導体を製造するためのMOCVD(Metalorganic Chemic−al Vapor Deposition)によるエピタキシャル気相成長用の液体原料の気化容器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、III−V族及びII−VI族の化合物半導体が、半導体発光素子、マイクロ波トランジスタ等の広い分野に用いられるようになり、それらの優れた特性を利用して、高速コンピュータ用集積回路、オプトエレクトロニクス用集積回路等にも使用されるようになった。
【0003】
これら広範な用途に利用される化合物半導体を製造する場合の結晶成長法として、有機金属化合物等を用いたMOCVD法が主として採用される。MOCVD法は、化合物半導体あるいは混晶半導体のエピタキシャル薄膜を形成する上で多く用いられる結晶成長法のひとつで、例えば、トリメチルガリウム、トリメチルアルミニウム、ジメチル亜鉛のような有機金属化合物や、アルキルホスフィン、アルキルアルシンのような有機V族化合物を気化し、基体上での熱分解反応を利用して薄膜の結晶成長を行う方法である。
【0004】
この方法の場合、エピタキシャル成長させている間に、基体上に供給されるキャリアガス中の有機金属化合物等の混合比が変動すると、得られる半導体の電気的あるいは光学的特性に著しい悪影響が生じる。高性能素子を得るためには、一定濃度の気相成長用原料が安定的に供給されることが必要である。
【0005】
液体原料を気化するには、通常、キャリアガス導入管とガス導出管とを密閉容器にそれぞれ接続した気化容器が用いられる。キャリアガス導入管から水素ガスなどのキャリアガスを密閉容器内に導入して液体原料中でバブリングさせると、液体原料が気化してキャリアガスに飽和した混合ガスがガス導出管から排出される。
【0006】
従来、これら気相成長用液体原料をキャリアガスによりバブリング同伴する容器としては、例えば特開昭59−191699、実開昭62−46639、実開昭62−196331等に記載された底部が平坦な気化容器が用いられていた。しかし、このような底部が平坦な気化容器を用いてキャリアガスによりバブリング同伴を行う場合、容器内の気相成長用液体原料の残量が減少すると、残量がほとんどなくなるまで混合ガスを放出し尽くすことはできないという欠点があった。これは、キャリアガスと液体原料との気液接触が十分できないことによるものと推定される。
【0007】
そこで、上記問題を改善するために、実開平6−20951において容器の底部が球面状の気化容器、特開平1−168331、特開昭63−11598、特開平2−26017において容器本体中央より下部の径がテーパー状に徐々に絞られた形状の気化容器等も提案されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、近年は大型の気化容器が用いられるようになり、前述した問題点がさらに顕著化しており、上記のような従来の気化容器では依然として解決できないでいる。例えば、容器本体中央より下部の径がテーパー状に絞られた形状の気化容器の場合、内部の液体原料が少なくなって液面がテーパー状の部分にかかると、気化する液体原料の濃度が徐々に低くなるという欠点があった。これは、液面の表面積が減少するためと考えられる。また、テーパー状の部分の存在により、大きさが同じ他の容器に比べて充填できる液体原料の量が少なくなるので、容器の大型化による充填量の増加効果が十分に得られないという問題もあった。
【0009】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、簡単な構造で、容器内残液がほとんどなくなるまで安定したガス濃度で気相成長用液体原料を気化導出することができる気化容器を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本願の請求項1記載の発明は、底部に溝が形成された密閉容器と、下端が密閉容器底部の溝に達して開口するとともに上部が密閉容器上部を貫通して密閉容器外部に開口したキャリアガス導入管と、下端が密閉容器上部を貫通して密閉容器内部に開口するとともに上部が容器外部に開口したガス導出管とを有し、密閉容器内に充填した気相成長用液体原料を気化してガス導出管から導出することを特徴とする気相成長用液体原料の気化容器であって、密閉容器の底部に形成された溝が円筒状であり、該円筒状の溝の直径が5〜50mmφ、深さが5〜50mmであることを特徴とする気相成長用液体原料の気化容器を提供する。
【0011】
本願の請求項2記載の発明は、底部に溝が形成された密閉容器と、下端が密閉容器底部の溝に達して開口するとともに上部が容器上端壁を貫通して密閉容器外部に開口したキャリアガス導入管と、下端が密閉容器上部を貫通して密閉容器内部に開口するとともに上部が密閉容器外部に開口したガス導出管とを有し、密閉容器内に充填した気相成長用液体原料を気化してガス導出管から導出することを特徴とする気相成長用液体原料の気化容器であって、密閉容器の底部に形成された溝が多角柱状であり、該多角柱状の溝の対角線長さが5〜50mm、深さが5〜50mmであることを特徴とする気相成長用液体原料の気化容器を提供する。
【0015】
本願の請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の気化容器において、気化容器に充填する気相成長用液体原料が、一般式(I)
【化4】
(R1〜R3はそのうちの1個以上が1種又は2種以上の炭素数1から3のアルキル基で他は水素原子である基群を表し、M1は3価の金属元素を表す。)で示される有機金属化合物、または一般式(II)
【化5】
(R4及びR5はそのうちの1個又は2個が1種又は2種の炭素数1から3のアルキル基で他は水素原子である基群を表し、M2は2価の金属元素を表す。)で示される有機金属、または一般式(III)
【化6】
(R6〜R8はそのうちの1個以上が1種又は2種以上の炭素数1から10のアルキル基で他は水素原子である基群を表し、M3はリン又はヒ素を表す。)で示されるアルキルホスフィン又はアルキルアルシンであることを特徴とする気相成長用液体原料の気化容器を提供する。
【0016】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の実施形態の一例を示す。この気化容器は、底部に溝4が形成された密閉容器1と、下端7が容器底部の溝4に達するとともに上端が容器上部を貫通して容器外部に開口しているキャリアガス導入管2と、下端が容器上部を貫通して容器内部に開口するとともに上部が容器外部に開口しているガス導出管3とを有している。キャリアガス導入管2及びガス導出管3の上部(容器外部に突出している部分)にはそれぞれバルブ6、5が設けられている。
【0017】
密閉容器1の底部に設けられた溝4は、好ましくは円筒状又は多角柱状であり、キャリアガス導入管2の開口した先端7が溝4の底部付近まで達している。
【0018】
このような構成の気化容器により気相成長用液体原料を気化供給させるには、まず気相成長用液体原料を容器1内に充填し、バルブ6を開けてキャリアガス導入管2より水素等のキャリアガスを導入して気相成長用液体原料をバブリングすると、気相成長用液体原料が気化する。ここで、ガス導出管3のバルブ5を開けると、ガス導出管3から気化した気相成長用原料がキャリアガスに同伴して導出される。
【0019】
気相成長用液体原料の気化を続けると次第に液体原料は減少し、液面が溝4内のキャリアガス導入管2の先端7付近まで下がると、原料液体の気化はそれ以上できなくなるが、溝4内に残る気相成長用液体原料の残液量は極僅かである。
【0020】
密閉容器全体の大きさは特に限定されないが、通常この分野で使用される容器として、直径は30mmφ〜500mmφ、高さは50mm〜500mmの範囲でそれぞれ選べばよい。
【0021】
溝4の寸法は、円筒状の場合は直径5mm〜50mmφ、多角柱状の場合はその対角線の長さが5mm〜50mm程度であるのが好ましい。溝4の寸法が直径5mmφ又は対角線長さ5mmより小さい場合は、バブリングの勢いが強い場合に液体原料がバブリングによって飛散してしまい、より良い効果が得られなくなる恐れがある。一方、溝4の寸法を直径50mmφ又は対角線長さ50mmより大きくしても、残液量が多くなってしまい不経済である。また、溝4の深さは、キャリアガスと気相成長用液体原料とが十分気液接触できるだけの液深を取ることができる程度あれば良いが、好ましくは5mm〜50mmである。5mmより浅い場合は十分な気液接触が行われない恐れがあり、飽和した混合ガスが得られなくなることが予想される。一方、50mmより深くしても容器寸法が無用に縦長となるだけで不経済であり、効果的とは言えない。
【0022】
また、ここで使用される気液成長用液体原料としては、一般式(I)
【化7】
(R1〜R3はそのうちの1個以上が1種又は2種以上の炭素数1から3のアルキル基で他は水素原子である基群を表し、M1は3価の金属元素を表す。)で示される有機金属化合物、または一般式(II)
【化8】
(R4及びR5はそのうちの1個又は2個が1種又は2種の炭素数1から3のアルキル基で他は水素原子である基群を表し、M2は2価の金属元素を表す。)で示される有機金属、または一般式(III)
【化9】
(R6〜R8はそのうちの1個以上が1種又は2種以上の炭素数1から10のアルキル基で他は水素原子である基群を表し、M3はリン又はヒ素を表す。)で示されるアルキルホスフィン又はアルキルアルシンが挙げられる。
【0023】
より具体的には、有機金属化合物としては、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリメチルガリウム、トリエチルガリウム、ジメチル亜鉛、ジエチル亜鉛、トリエチルインジウム等が挙げられる。また、アルキルホスフィンとしてターシャリーブチルホスフィン、アルキルアルシンとしてターシャリーブチルアルシンがそれぞれ挙げられる。
【0024】
上述のように、本発明の気相成長用液体原料の気化容器を用い、トリメチルガリウム等の液体原料をキャリアガスにより気化同伴することで、エピタキシャル成長を行うことにより、気化量の変動なく、残量がほとんど無くなるまで安定したガス濃度の供給ができる。
【0025】
【実施例】
以下に本発明の実施例を示す。
【0026】
(実施例1)
図1に示した気化容器を用い、この気化容器による液体原料の安定供給が可能であるか試験を行った。この気化容器は、密閉容器1本体は外径90mmφ×高さ160mmの円筒状で、空間内容量が約700mlである。また、底部に直径20mmφ、深さ20mmの円筒状の溝4を有する。密閉容器1の上端壁をキャリアガス導入管2が貫通し、その下端7は円筒状の溝4の底から5mm上方の位置で開口している。さらに、密閉容器1の上端壁にはガス導出管3が貫通して開口している。これらキャリアガス導入管2及びガス導出管3の上部にはそれぞれバルブ6、5が設けられている。
【0027】
この気化容器内にトリメチルガリウム500gを充填した。このトリメチルガリウムの入った気化容器を恒温槽内に取り付け、キャリアガスとして高純度ヘリウムを用い、キャリアガス導入管2より高純度ヘリウムを導入してバブリングし、ガス導出管3より高純度ヘリウムに同伴してトリメチルガリウムを導出した。ガス導出管3より得られたガス相をガス濃度計(アプリオリ社製)にて測定した。
【0028】
図5は、フィード量(トリメチルガリウムの全充填量に対する導出量の割合)とトリメチルガリウムの濃度との関係を示す。フィード量は経時とともに増加し、100%に近いほど残量が少ないことを意味する。図5の実施例1に示すように、本実施例の気化容器によれば、長時間濃度が安定して供給できるとともに、気化量の低下により使用できずに残る液量が極めて少ないことが確認された。使用できずに残った液量は8g(充填量に対して約2%)と少なかった。
【0029】
(実施例2)
図1に示す気化容器において、底部の溝4を直径30mmφ、深さ30mmの円筒状としたこと以外は実施例1と同様の気化容器を使用し、実施例1と同様の試験を行った。その結果、実施例1と同様に長時間安定して供給でき、使用できずに残った液がほとんどなかった。残った液量は12g(充填量に対して約2%)と少なかった。
【0030】
(実施例3)
図1に示す気化容器において、密閉容器1を外径165mmφ、高さ205mmとしたこと以外は実施例1と同様の気化容器を使用し、実施例1と同様の試験を行った。その結果、実施例1と同様に長時間安定して供給でき、使用できずに残った液がほとんどなかった。残った液量は10g(充填量に対して約2%)と少なかった。
【0031】
(実施例4)
図1に示す気化容器において、底部の溝4を対角線長さ30mm、深さ30mmの四角柱状としたこと以外は実施例1と同様の気化容器を使用し、実施例1と同様の試験を行った。その結果、実施例1と同様に長時間安定して供給でき、使用できずに残った液がほとんどなかった。残った液量は13g(充填量に対して約3%)と少なかった。
【0032】
(実施例5)
実施例1と同じ気化容器を使用し、トリメチルガリウムに替えてターシャリーブチルホスフィンを使用した以外は実施例1と同様の試験を行った。その結果、実施例1と同様に長時間安定して供給でき、使用できずに残った液がほとんどなかった。残った液量は7g(充填量に対して約1%)と少なかった。
【0033】
(比較例1)
図2に示すように、底部が平坦で溝がない構造となっている気化容器を使用し、実施例1と同様にトリメチルガリウムによる供給試験を行った。その結果、図5の比較例1に示すように最後まで安定供給することができず、残った液量は83g(充填量に対して約17%)と多かった。
【0034】
(比較例2)
図3に示すように、底部が球面状内面8を有する構造となっている以外は実施例1と同様の気化容器を使用し、実施例1と同様にトリメチルガリウムによる供給試験を行った。その結果、比較例1の平坦な底部を有する気化容器に比べて改善が見られるものの、依然として最後まで安定供給することができず、残った液量は34g(充填量に対して約7%)と多かった。
【0035】
(比較例3)
図4に示すように、底部の内径が徐々に細くなったテーパー状内面9を有する構造となっている以外は実施例1と同様の気化容器を使用し、実施例1と同様にトリメチルガリウムによる供給試験を行った。その結果、図5の比較例3に示すように、比較例1の平坦な底部を有する気化容器に比べて改善が見られるものの、残液が少なくなって液面がテーパー状内面9にかかると徐々にその濃度が低下し、最後まで安定供給することができなかった。残った液量は25g(充填量に対して約5%)と多かった。
【0036】
【発明の効果】
以上説明した通り本発明によれば、簡単な構造で、容器内残液がほとんどなくなるまで安定したガス濃度で気相成長用液体原料を気化導出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の気化容器の一例を示す断面図である。
【図2】従来の気化容器の一例を示す断面図である。
【図3】従来の気化容器の一例を示す断面図である。
【図4】従来の気化容器の一例を示す断面図である。
【図5】フィード量(トリメチルガリウムの全充填量に対する導出量の割合)とトリメチルガリウムの濃度との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
1 密閉容器
2 キャリアガス導入管
3 ガス導出管
4 溝
5,6 バルブ
7 キャリアガス導入管の下端
Claims (3)
- 底部に溝が形成された密閉容器と、下端が密閉容器底部の溝に達して開口するとともに上部が容器上端壁を貫通して密閉容器外部に開口したキャリアガス導入管と、下端が密閉容器上部を貫通して密閉容器内部に開口するとともに上部が密閉容器外部に開口したガス導出管とを有し、密閉容器内に充填した気相成長用液体原料を気化してガス導出管から導出することを特徴とする気相成長用液体原料の気化容器であって、密閉容器の底部に形成された溝が円筒状であり、該円筒状の溝の直径が5〜50mmφ、深さが5〜50mmであることを特徴とする気相成長用液体原料の気化容器。
- 底部に溝が形成された密閉容器と、下端が密閉容器底部の溝に達して開口するとともに上部が容器上端壁を貫通して密閉容器外部に開口したキャリアガス導入管と、下端が密閉容器上部を貫通して密閉容器内部に開口するとともに上部が密閉容器外部に開口したガス導出管とを有し、密閉容器内に充填した気相成長用液体原料を気化してガス導出管から導出することを特徴とする気相成長用液体原料の気化容器であって、密閉容器の底部に形成された溝が多角柱状であり、該多角柱状の溝の対角線長さが5〜50mm、深さが5〜50mmであることを特徴とする気相成長用液体原料の気化容器。
- 気化容器に充填する気相成長用液体原料が、一般式(I)
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JP36646397A JP3560457B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | 気相成長用液体原料の気化容器 |
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JP36646397A JP3560457B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | 気相成長用液体原料の気化容器 |
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JPH11189491A JPH11189491A (ja) | 1999-07-13 |
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JP36646397A Expired - Fee Related JP3560457B2 (ja) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | 気相成長用液体原料の気化容器 |
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GB9929279D0 (en) * | 1999-12-11 | 2000-02-02 | Epichem Ltd | An improved method of and apparatus for the delivery of precursors in the vapour phase to a plurality of epitaxial reactor sites |
-
1997
- 1997-12-24 JP JP36646397A patent/JP3560457B2/ja not_active Expired - Fee Related
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