JP5449221B2 - 有機金属前駆物質を複数のエピタキシャル・リアクター部にバルク供給するための方法 - Google Patents
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Description
(a)前駆物質の完全な利用を助けるために、容器の基部または基部に近い位置に設けられた細径部、
(b)ディップ・パイプに対してほぼ垂直に延び、ディップ・パイプと流体連通し、各部材それぞれに前駆物質の取込みを助けるための穴が明けられている1本またはそれ以上の中空部材。
図1は、本発明の実施形態に係る、バルク容器1から複数のリアクター容器(12、14、16、18、20)に前駆物質を気相で供給するためのバルク供給装置を示すものである。一般的には水素(ただし、いかなる永久ガスでも可)であるキャリヤーガスの流れ2は、流量制御装置4により設定された流量で、ディップ・パイプ3を通して、複数のエピタキシャル・リアクターに供給されるべき前駆物質の入ったバルク・バブラー1内に送り込まれる。バルク・バブラー1は油浴5内により温度制御されており、また充填状態を表示するレベル警報器6を備える。バルク・バブラーの内部構造(図2参照)は、広範囲の流量(0〜10リットル/分)において確実に一定した取込みを行うことができ、かつ、入っている化学物質を(最後の2%まで)ほぼ完全に使用できるようになっている。
[1]キャリヤーガスを有機金属化合物の容器に導入し、前記化合物をガス中に取込んでガス状混合物を調製し、前記ガス状混合物を貯蔵部に搬送し、複数のリアクター部の1つまたはそれ以上に選択的に供給する工程を含むことを特徴とする有機金属化合物を複数のリアクター部に供給するための方法であって、前記ガス状混合物を凝縮させる工程を含まない方法。
[2]前記キャリヤーガスとキャリヤーガス/有機金属混合物の流量の制御が可能である[1]に記載の方法。
[3]更に、前記有機金属化合物を取込んだ後の前記ガス状混合物に第2のキャリヤーガスを導入することを含む[1]または[2]に記載の方法。
[4]蒸気濃度を飽和状態以下に保つために前記第2のキャリヤーガスの追加が監視されるものである[3]に記載の方法。
[5]更に、前記ガス状混合物を加熱する工程を含む[1]から[4]のいずれかに記載の方法。
[6]前記ガス状混合物が、貯蔵部から各リアクター部へ真空または圧力差の手段により引き出されるものである[1]から[5]のいずれかに記載の方法。
[7]前記キャリヤーガスへの前記有機金属化合物の取込みが一定に保たれるものである[1]から[6]のいずれかに記載の方法。
[8]0〜10リットル/分の範囲の流量に対して一定した前記有機金属化合物の取込みが実現されるものである[7]に記載の方法。
[9]前記キャリヤーガスが水素である[1]から[8]のいずれかに記載の方法。
[10]有機金属化合物の容器(1)にキャリヤーガス(2)を導入するための入口と、前記化合物と前記キャリヤーガスのガス状混合物を貯蔵するための貯蔵部と、前記ガス状混合物を複数のリアクター部(12、14、16、18、20)の1以上に選択的に供給するための出口とを含むことを特徴とする有機金属化合物を複数のリアクター部に供給するための装置であって、前記ガス状混合物を凝縮させるための凝縮器を含まない装置。
[11]前記装置内での前記キャリヤーガスと前記キャリヤーガス状混合物の流量を制御するために1以上の流量制御装置(4)を備えるものである[10]に記載の装置。
[12]前記容器(1)への前記キャリヤーガスの流量を制御するために、第1の流量制御装置(4)が設置される[11]に記載の装置。
[13]更に、前記有機金属化合物の取込み後に前記ガス状混合物に第2のキャリヤーガスを導入するための手段を含むものである[10]、[11]または[12]に記載の装置。
[14]第2の流量制御装置(7)が前記第2のキャリヤーガスの追加を監視するために設置されている[13]に記載の装置。
[15]前記第2の流量制御装置(7)が前記第1の流量制御装置(4)に連動するものである[14]に記載の装置。
[16]前記貯蔵部(9)が圧力制御装置(8)を備えるものである[10]から[15]のいずれかに記載の装置。
[17]真空または圧力差によって、前記ガス状混合物が前記貯蔵部(9)から各リアクター部(12、14、16、18、20)に引き出されることを可能にする手段を備えるものである[10]から[16]のいずれかに記載の装置。
[18]前記各リアクター部(12、14、16、18、20)が、そのリアクターへの前記ガス状混合物の流入量を決めるためにそれぞれの流量制御装置(12a、14a、16a、18a、20a)を備えるものである[10]から[17]のいずれかに記載の装置。
[19]前記有機金属化合物の容器(1)がバブラーであり、キャリヤーガスがディップ・パイプ(3)により前記バブラーに導入されるものである[10]から[18]のいずれかに記載の装置。
[20]前記バブラーが温度制御された油浴(5)に取り囲まれている[19]に記載の装置。
[21]前記バブラーがその中の前記有機金属化合物のレベルを監視するための手段(6)を備えることを特徴とする[19]または[20]に記載の装置。
[22]前記バブラーが、有機金属化合物の完全な利用を助けるために、その基部または基部に近い位置に細径部を有する、[19]から[21]のいずれかに記載の装置。
[23]前記バブラーの基部に細径部が設けられている、[22]に記載の装置。
[24]前記バブラーが、前記ディップ・パイプ(102)から垂直に延び、前記ディップ・パイプと流体連通し、それぞれに前記有機金属化合物の取込みを助けるための穴(106)が明けられている1本またはそれ以上の中空部材(104a、104b、104c)を有する、[19]から[21]のいずれかに記載の装置。
[25]前記バブラーの基部にバブラーに比べて小さい容器が組み込まれている[24]に記載の装置。
[26]前記ディップ・パイプの端が前記細径部または前記小容器内の位置にある[23]または[25]に記載の装置。
[27]前記各中空部材(104a、104b、104c)が前記ディップ・パイプの基端にある[24]に記載の装置。
[28]前記各部材が、その1以上の側面に複数の穴(106)を備えるものである[24]または[27]に記載の装置。
[29]前記ディップ・パイプがその基端に中空の十字部材を備えるものである[24]、[27]または[28]に記載の装置。
[30]前記十字部材の各部が複数の穴を有するものである[29]に記載の装置。
[31]前記穴が各部の同じ側に設けられている[30]に記載の装置。
Claims (16)
- 有機金属化合物を複数のリアクター部にバルク供給するための方法であって、
有機金属化合物を含有するバブラーに、キャリヤーガスをディップ・パイプにより導入すること、
該有機金属化合物を該キャリヤーガス中に取込んで、キャリヤーガス/有機金属化合物のガス状混合物を調製すること、
該ガス状混合物を貯蔵部に搬送すること、及び
複数のリアクター部の1つまたはそれ以上に該ガス状混合物を選択的に供給すること
を含み、該ガス状混合物を凝縮させる工程を含まない、方法。 - 前記キャリヤーガスとキャリヤーガス/有機金属化合物ガス状混合物の流量の制御が可能である請求項1に記載の方法。
- 更に、前記有機金属化合物を取込んだ後の前記ガス状混合物に第2のキャリヤーガスを導入することを含む請求項1または2に記載の方法。
- 蒸気濃度を飽和状態以下に保つために前記第2のキャリヤーガスの追加が監視されるものである請求項3に記載の方法。
- 更に、前記ガス状混合物を加熱する工程を含む請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 前記ガス状混合物が、貯蔵部から各リアクター部へ真空または圧力差の手段により引き出されるものである請求項1から5のいずれかに記載の方法。
- 前記キャリヤーガスへの前記有機金属化合物の取込みが一定の濃度に保たれるものである請求項1から6のいずれかに記載の方法。
- 0〜10リットル/分の範囲のキャリヤーガスの流量に対して一定した取込みが実現されるものである請求項7に記載の方法。
- 前記キャリヤーガスが水素である請求項1から8のいずれかに記載の方法。
- 前記バブラーが、有機金属化合物の完全な利用を助けるために、その基部または基部に近い位置に設けられた細径部を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記バブラーの基部にバブラーに比べて小さい容器が組み込まれている、請求項1に記載の方法。
- 前記ディップ・パイプの端が前記細径部または前記小容器内の位置にある、請求項10または11に記載の方法。
- 前記バブラーが、前記ディップ・パイプ(102)から垂直に延び、前記ディップ・パイプと流体連通し、それぞれに前記有機金属化合物の取込みを助けるための穴(106)が明けられている1本またはそれ以上の中空部材(104a、104b、104c)を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記各中空部材(104a、104b、104c)が前記ディップ・パイプの基端にある、請求項13に記載の方法。
- 前記ディップ・パイプがその基端に中空の十字部材を備え、該十字部材の各部が複数の穴を有するものである、請求項1に記載の方法。
- 前記穴が前記中空の十字部材の各部の同じ側に設けられている、請求項15に記載の方法。
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