TW557415B - Inorganic substance containing photosensitive resin composition and formation method of inorganic pattern - Google Patents
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Description
557415 A7 B7 五、發明説明( [技術領域] 機形 無之 有案 含圖 的機 用無 有與 上, 案法 圈方 櫬造 無製 畑其 微及 成 Μ 形物 在成 S 組 有脂 係樹 明性 發光 〇 本感法 之方 質成 景 背 術 技 微介煅料高 機 ,經漿及 無上 ,性 充材後光 填基 内於 脂布 榭塗 性料 光漿 感性 於光 有感 知種 已此 ,Μ 料 〇 材料 成漿 形性 之光 案感 圓之 機子 無粒 於 至 膜 掩 消高 分可 罩成求 tM% 9S 要 的機被 定有係 指使 , 由燒内 影感靈 顯種髙 ,此有 光於具 曝 。且 案案 , 晒圈分 行櫬成 進無櫬 膜成無 塗形充 對而填 丨失度 解 率 充 填 /V 度度 敏濃 於 , 性 而特 然光 〇 感 度與 析丨 中 料 漿 性 光 感 析 解 或 度 敏 9 之闞 子的 粒反 微相 櫬有 $ V) 無等 ’度 有片 ο 除基低 去自降 行會度 進案析 在圖解 則機且 ,無化 小 ,變 較大狀 率縮形 充收案 填稹圈 之H時 子其同 粒 ,, 微時低 機燒降 無煅性 若熱著 , 加附 此之使 因分 , 。 成離 係機剝 一 _ 另子 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 解成 時形 乃 同 粒 , 櫬低 無變 對度 由敏 , 靈 時而 率 · 有射 含散 之或 子射 粒反 微 櫬收 無吸 高被 提畲 若線 面的度矩 使對足 此 方光析高為有不 Μ 因 足 不 仍 性 異 差 光亦形 的 度 〇 精難 高 困* 欲有 , 實 料案 漿圈 性櫬 光無 感的 述细 前微 Μ 之 • 比 此徑 因 長 〇 高 0 且 降性 度散 析分 解 · 或而 度然 敏 〇 靈出 菩提 改被 並事 高一 提理 性處 散面 分表 之行 子進 粒子 微粒 機櫬 無無 性 之 解1 溶 多 之 較 液 有 影 含 顬 使 對 即 /V 種 比 Τ 對 。 度供^ » ®解係 光ί , — 其 Ϊ *菩吣 罾足W 光卩發 曝 並 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(2!0>< 297公釐) 1 310313 r557415 .A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明( 2 ) 1 無 櫬 成 分 1 亦 可 形 成 高 靈 敏 度 及 解 析 度 無 櫬 圈 案 之 含 有無 1 mJ 1 櫬 質 之 感 光 性 樹 脂 組 成 物 及 其 製 造 方 法 9 與 無 櫬 圖 案 之形 1 1 I 成 方 法 0 -V 諸 1 1 本 發 明 之 另 一 S 的 f 係 提 供 在 形 成 高 長 徑 比 $ 高 矩形 閱 背 面 之 注 意 事 1 1 性 之 無 櫬 圖 案 上 有 用 的 含 有 無 機 質 之 感 光 性 樹 脂 組 成 物及 1 1 其 製 造 方 法 $ 與 無 櫬 1 案 之 形 成 方 法 〇 1 1 [發明之掲示] 項 i i! 本 發 明 人 等 9 為 達 成 前 逑 巨 的 經 精 心 檢 討 的 结 果 ,發 本 頁 ’裝 I 現 若 將 感 光 性 樹 脂 Λ 加 水 分 解 聚 合 性 有 櫬 金 屬 化 合 物 、與 1 I 具 有 反 應 性 或 感 光 性 等 官 能 基 之 無 機 微 粒 子 加 Μ 組 合 ,可 1 1 I 使 無 櫬 成 分 之 分 散 性 提 高 $ 則 即 使 高 度 填 充 無 機 成 分 亦可 1 1 保 持 高 靈 敏 度 及 解 析 度 f 而 完 成 本 發 明 0 <·: 訂 1 亦 即 $ 本 發 明 之 含 有 無 櫬 質 之 感 光 性 樹 脂 組 成 物 ,係 1 由 (Α)慼光性有櫬寡聚物或聚合物、 (B)加水分解聚合性有 1 1 機 金 属 化 合 物 或 其 縮 合 物 及 (C)具有官能基之無機填料所 .丄 1 1 構 成 0 前 述 (Α)感光性有櫬寡聚物或聚合物, 係由寡聚物 或 聚 合 物 與 感 光 劑 所 構 成 9 (B)加水分解聚合性有機金靨 1 I 化 合 物 , 係 可 由 含 矽 化 物 或 具 有 感 光 性 基 之 矽 烷 偁 合 劑或 1 該 等 的 縮 合 物 等 所 構 成 〇 刖 述 (C)無櫬填料之官能基可為 1 1 感 光 性 基 $ (C)無櫬填料為平均粒子徑2至 100η η之單分散 1 1 的 膠 態 二 氧 化 矽 亦 可 〇 1 1 於 本 發 明 » 亦 包 含 有 • • 將 (A)感光性有櫬寡聚物或聚 1 I 合 物 (Β)加水分解聚合性有櫬金羼化合物或其縮合物及( 1 1 I C>具有官能基之無機填料混合 $ 製 造 含 無 櫬 質 之 慼 光 性樹 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(⑽)M規格(歸慶) 2 3 1 03 1 3 557415 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 .A7 . B7 五、發明説明(3 ) 脂組成物的方法,Μ及將前述含無櫬質之感光性樹脂組成 物塗布於基材上,經曝光、顯影、形成圓案後,煅燒而形 成無機_案之方法。 實施發明的最佳形式 [感光性聚合物] (Α)感光性有機寡聚物或聚合物(以下簡稱為感光性聚 合物),係可為(Α1)本身具有感光性之寡聚物或聚合物, 亦可為(Α2>由寡聚物或聚合物與感光劑構成之感光性樹脂 組成物。通常,多利用後者的感光性樹脂組成物(Α2)。 (Α1)具有感光性之寡聚物或聚合物,可例示如含有重 氮_鐮基之聚合物、含有叠氮基之聚合物、具有聚桂皮酸 乙烯酯等桂皮醢基或亞桂皮基等光二躉化型官能基之聚合 物等。 (Α2)至於構成感光性聚合物之寡聚物或聚合物,可使 用具有極性或非極性基之各種聚合物。較宜的感光性聚合 物,係含有極性基,例如羥基、烷氧基、羧基、酯基、醚 基、碳酸醮基、醸胺基或Ν -取代釀胺基(-NGC(0)-,〉HC(0) -等)、腈基、縮水甘油基、鹵原子。感光性聚合物可為具 有(甲基)丙烯醢基、烯丙基等聚合性基之聚合性寡聚物或 聚合物。 至於含有羥基之聚合物及其衍生物,可例示如聚乙烯 酵系聚合物、聚乙烯縮醛、乙烯-乙烯酵共聚物、酚樹脂 、酚醛淸漆樹脂、羥甲基三聚氰胺該等之衍生物(例如, 縮醛化物或六甲氧基甲基三聚氰胺);至於含有羧基之聚 (請先閱讀背面之注意事項再m本頁) -裝- 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X29?公釐) 3 310313 557415 ,A7 · B7 五、發明説明(4 ) 合物及其衍生物,可例示有:含(甲基)丙烯酸、順丁烯二 酸酐、伊康酸等聚合性不鉋和羧酸之均聚物或共聚物及此 等之酷類等;至於含有醣基之聚合物,可例示有:含有醋 酸乙烯_等之乙烯K、甲基丙烯酸甲酯等之(甲基)丙烯酸 酿等單體之均聚物或共聚物(例如聚醱酸乙烯_、乙烯-醋 酸乙烯_共聚物、(甲基)丙烯酸糸樹腊等)、飽和聚酯、 不飽和聚醆、乙烯_榭脂、苯二甲酸二烯丙酯樹脂、纖維 素酯等。具有醚基之聚合物、例如包含有:聚氧化烯、聚 烷二酵、聚乙烯醚、矽樹腊等;至於含有碳酸酯基之聚合 物,可例示有:雙酚A型聚碳酸酯等。 至於具有前述釀胺基或取代釀胺基之聚合物,可例示 有:聚垮唑啉、聚伸烷基亞胺之N-釀基化物(對應於前述 聚垮唑啉之聚合物、例如有H-乙醢胺、N-聚丙釀胺基等N-釀基胺基之聚合物);聚乙烯基吡咯烷萌及其衍生物;聚 胺_系聚合物;聚脲;酎綸或聚醢胺系聚合物;具有縮二 脲鍵结之聚合物;具有脲基甲酸酯鍵结之聚合物、明膠等 的蛋白類等。 至於前逑聚鸣唑啉之單體,可舉出有:2 -11琴唑啉,於 呜唑啉環之2-位置上有取代基的2-取代-2-鸣唑咐(例如具 有Ci-4烷基、二氯甲基、三氣甲基、五氟乙基等鹵烷基、 苯基、4 -甲基苯基、4 -氯苯基等取代基之苯基,其有Ci-4烷氧基-羰基等取代基之啤唑啉類 >等。聚鸣唑啉可為均 聚物亦可為共聚物.聚垮唑啉可一種或二種Μ上混合使用 。再者,聚枵唑啉亦可為於其他聚合物上Μ 唑啉接枝聚 (請先閱讀背面之注意事項再本頁)
訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X 297公釐) 4 310313 557415 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(5 ) 合的共聚物。於前述聚胺醣系聚合物中,包含例如由聚異 氰酸酯c例如甲苯二異氰酸醮、乙撐二異氰酸酯、異佛爾 萌二異氣酸_等)、與多元例如乙二酵、丙二酵、丁二 酵、丙三酵等多元酵;二乙二酵、聚乙二酵、二丙二酵、 聚丙二酵等聚_多元聚_多元酵等)反應而生成的聚 胺而聚脲中,包含例如由聚異氰酸酷與多元胺c例如 乙二胺、二乙三胺)反應而生成的聚合物等;而於附綸或 聚醢胺系聚合物中,包含例如採用內醢胺成分、二羧酸成 分或二胺成分之聚醢胺(耐綸66、耐狳6、酎綸610、耐綸 611、附綸612或其改質附綸等)、聚(甲基)丙烯醢胺系聚 合物、聚胺基酸等。且,聚醢胺亦包含有星芒枝狀體( Star burst deneriaer) (D*A. Ton alia· e t . a 1 ., Polymer Journal, 17, 117(1985))〇 具有縮二脲鍵结之聚合物,包括由前述聚異氰酸酯與 具有胺_鍵结之化合物反應而生成之聚合物,具有脲基甲 酸脂鍵结之聚合物、包含由前述聚異氰酸與具有尿素鍵结 之化合物反應而生成的聚合物。 具有腈基之聚合物,包含丙烯腈系聚合物、而具有縮 水甘油基之聚合物,例如可例示有:環氧樹脂、(甲基)丙 烯酸縮水甘油_之均聚物或共聚物等。含有齒素之聚合物 ,例如包含有聚氱乙烯、氱乙烯-醸酸乙烯_共聚物、偏 二氱乙烯系聚合物、氱化聚丙烯等。 至於其他的有櫬聚合物,例如可舉出有:聚乙烯、聚 丙烯、羧基改質聚烯烴等聚烯烴系樹脂;聚苯乙烯、苯乙 (請先閱讀背面之注意事項再ΙΡτ本頁) •裝·
、1T 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 5 310313 557415 A7 ____B7 _五、發明説明(6 ) 烯-丙烯腈共聚物、丙烯猜-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物等 苯乙烯系樹脂等。此等可單獨使用亦可合併二種K上使用 乙 聚 有 示 例 可 内 物 聚 寡 性 合 聚 之 基 性 合 聚 有 具 於 及酿 旨酸 Μ 0 樹 -3 氧Μ 環基 由甲 /-V 如第 例釀 ί 聚 _ 、 f ) 基8 二 環 酸的 稀成 > 而 基等 甲應 /V 反 生嫌 酚基 烯甲 _ 胺 聚 e 脂 樹 _ 聚 和 飽 不 等 _ 酸 分氰 成異 等 酵二 酯 聚 或 酵二 烷 聚 酵 二 二 苯 由甲 如4-例2, I—I /(\ 酯酯 酸酸 烯氰 丙異 ΧΪ/ ·* ^ 聚 之 基 羥 有 含 及 Μ 等物 胺 合 釀化 烯之 丙基 基和 甲飽 羥不 Η-性 , 合 _ 聚 乙及 反 性生 合應 基 甲 羥 鑛 2 酸 烯 丙 基 甲 /V 0 單 基 、 羥酯 有酞 具基 由乙 ; 羥 物酸 之稀 成丙 酸 氰 異 苯 甲二 等 物 成 生 之 應 酯反 酸 _ 氰胺 異二 )¾等 等酯 _ 酸 基氰 丙異 烯二 二 苯 烷甲 丙 二 基4-甲 2 羥 , 三醣 物等 合物 聚成 系生 酵之 烯應 乙反 聚胺 性醢 合烯 聚丙 、 基 例 (請先閲讀背面之注意事項再貢) 裝· 訂 酸 其體 或單 酸性 羧合 元聚 酐 0 基 丙 烯 5 VI/ 4 等 四 苯 行:醢酸 進如聚甲 z例 及 ·一. 酵物 烯合 乙聚 聚系 由胺 等 酐二 含 的 成 生 而 應 反 甲 羥 多 由 如 之及 基 、 羥酷 有之 含基 及羧 丨有 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 等物 氛聚· 醢預 硫的 β(成 劑 bss 彳而 鹵 應 的 β反 3 νϊ/ 鹵等 醢醚 成基 換苯 轉二 基基 羧胺 將二 於* 用,ρ Ρ , ί> 時胺 要二 必與 合 聚 之 基烯 羧乙 有 、 含物 順 等 胺 基 丙 烯 成 構 物 烯 順 或 酸 烯 丙等 丨物 基聚 甲 < 共 (5RIT(二 聚 共 之 酸二 烯 0 單 性 合 聚 之 基 胺 有 含 與 等 物 合 聚 型 脂 樹 氧 矽 酯 胺 有 含 包 者 ]>佳 等較 物物 成合 生聚 之或 應物 反聚 丨寡 之 烯 丙 \1/ 基 甲 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X 297公釐) 6 310313 557415 A7 B7 五、發明説明( 前述之(A1)(A2)感光性聚合物,必要時,亦可與具有 寡 或 體 單 性 合 聚 ο 用 併 物 聚 寡 或 體 單 性 合 聚 之 基 性 合 聚 光 能 官 多 或 性 能 官 單 有 含 包 Η 聚 聚 光 之 有 具 所 物 合 化 性 合 聚 光 於 丙基、 \17 ^3 基醚 烯 丙 \ 基 醢 基 胺 烯 單 酸 烯 基 甲 性烯 能丙 官丨 、 酸 _ 烯 已丙 *£) J 基 2 ( 酸 、 烯 _ 丙 基 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 至 ο 物 合 化 性 合 聚 光 的性 、炔 ,丙 性合以乙物:: 烯 甲 /V ·· 有 示 例 可 基 (請先閲讀背面之注意事項再ϋΐ本頁) 硫 烯 乙 基 醚 烯 乙 基 按 基 sig水聚甲¥a已乙 in縮光酸 {環基 基 油 甘 合 化 性 合酯 基 甲 等 基 和 0 不 性 丙丙 vly Λ—/ 基基 甲 甲 /V /IV : Λ 有酯 示 丁 例酸 可烯 烷 酸 烯 丙 \1/ 基 甲 /IV 等 _ 桂 月 酸 烯 丙 -裝-
甲 丨甲 基ί 甲 、 (β 、酵 父 卡 酸 烯 丙 基 甲 /-V 酷 芳 酸 烯 丙 基 甲 /|\ _ 醱
Avc 酸li酸 胺 基 甲二 酸 烯 丙 基 丙 基 胺 藤U 嫌嫌 ί丙 酯 丙 羥- 2 酸 烯 丙 基 甲 yf\ % 0 乙 羥 胺 醢 烯 丙 \1/ 基 甲 /V r 酯 油 甘 水 縮 基 甲 羥 甲基 } 甲 基 ί 甲 ✓tv 丙二 基 嫌 乙 苯 Λ 胺 等 醑 烷 咯 基 烯 性 能 官 多 於 至 _ 酵二 乙 酸 烯 丙 基 酵二 乙 三 酸 烯 丙 \ϊ/ 基 二 丙 聚 酸 烯 丙 \ιχ 基 甲 基 甲 、 (β 二 酵、二 酸 烯 丙 基 甲 /IV二 _ 三酵 、 四 _ 戊 酵季 四酸 戊烯 甲 等 基 甲二 撐 甲 胺I 8 脯 醢 f 0 0 ^ f 丙 丙 > 烷 丙四 基用 甲使 羥可 三亦 酸 甲丨 1二 辭…丨51者 ϊί聚一 戊嫌丙再 0 Κ 光 i、 !?:新丙S)。 基 甲 物 合 化 性 合 乙 - N r 酯 烯 乙 酸 0 甲 /f\二 如 示 例 可 如 例 甲 /|\二 酯 酵二 乙二 酸 烯 丙 VI/ 基 甲 二 基 甲 基 甲 /V二 二 酷 、 酵 酯.二 酵· 了二 4 乙1, 聚 酸 烯 丙 酸 烯 丙 二 _ 、酵 _ 四 酵戊 二季 基酸 基 甲 丙 基 甲 /IV 三 已季 6-酸 1,烯 酸丙 烯丨 線 脂 基 甲 丙羥 )0 基酸 i 31 四丙 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210 X 297公釐) 7 310313 557415 A7 B7 五、發明説明(8 ) (請先閱讀背面之注意事項再?本頁) 甲基甲烷_、2,2,5,5-四羥基甲基瓖戊酮之(甲基)丙烯酸 醮、酞酸二縮水甘油之(甲基)丙烯酸_ , N , N , tT , N ’ -肆( /9-羥乙基)乙二胺之(甲基)丙烯酸_、三丙三酵與丙烯酸 甲醮之酯交換反應的生成物、胺_型(甲基)丙烯酸酯、多 元羧酸之不飽和醣、不飽和酸醢胺與無櫬酸形成之酷及金 屬塩、具有乙炔性不飽和基之單«、具有縮水甘油基之單 體等。 胺酯型丙烯__,可列舉有:聚異氰酸酯(2,4 -二甲 苯二異氰酸_等)與含有羥基之單艚(甲基丙烯酸2-羥乙基 醮等)反應之生成物、使聚異氰酸酯(2,4-二甲苯二異氰酸 酯等)之一部分的異氰酸酿基與含有羥基之單體(甲基丙烯 酸2-羥乙_等)反應後再使殘餘的異氰酸酯基與烷酵胺(三 乙酵胺等)反應所得之反應生成物、使聚異氰酸酯(2,4-二 甲苯二異氰酸_等)與含有羥基之單嫌(甲基丙烯酸2-羥乙 酯等)反應而得的反應生成物等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 至於多元羧酸之不飽和_,可例示有:多元羧酸(酞酸 、苯偏三酸、苯均四酸等)經含有羥基之單體(烯丙酵、甲 基丙烯酸2 -羥乙酯等)酷化的多官能性單體,例如,酞酸 二烯丙酯、異酞酸二烯丙_、順丁烯二酸二烯丙酯、氯橋 酸二烯丙ft、已二酸二烯丙酯、二羥乙酸二烯丙酯、三聚 氰酸三烯丙酯、二乙二酵雙烯丙基碳酸酯、甲基丙烯酸2-羥乙酯之酞酸酯、烯丙基酵之苯儎三甲酸酯、對一羥苯甲 酸以(甲基)丙烯醢氯酷化,再進行加成反應使成為Μ含環 氣基之單《(甲基丙烯酸縮水甘油酯)加成的化含物等。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210 X 297公釐) 8 310313 557415 A7 B7 五、發明説明(9 ) 至於不飽和酸醣胺,例如Ν,Ν’-伸甲基雙丙烯醢胺、 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 伸己基雙丙烯醢胺等伸烷基雙丙烯醢胺之外,可例示有: 多元胺及不飽和酸之鏞合物、具有羥基之不飽和醢胺(例 如Η-羥甲基丙烯釀胺)與多元羧酸、多元環氧基等之反應 生成物等。再者,亦包含有在Ν-羥甲基丙烯釀胺之酸性化 合物存在下的反應生成物、1,3,3-三甲基-卜丙烯醢胺甲 基-5-丙烯醢胺基瓖己烷、六氫_1,3,5-三丙烯基-S-三姘, Ν -丙烯釀基羥基乙基順丁烯二釀亞胺、ε-已內醸胺與伸 丁二胺反應而得的寡聚物與氛化丙烯酸反應而得的雙丙烯 醢胺、Η,Η’-雙Le-丙烯醢基羥乙)苯胺,Η-羥甲基丙烯醯 胺與二乙二酵二嫌水甘油醚之反應生成物等。 至於與無櫬酸之酯或金屬塩,可例示有:丙烯酸鋅及 酵溶性聚醢胺樹脂、磷酸之雙(甲基丙烯酸2-羥乙酯)酯等 Ο 至於具有乙炔性不飽和基之單體,可舉出有:由憩醌 與1-甲氧基丁 -3-烯合成的9-(W-甲氧基丁烯基)憩醌,2, 4-已二烯-1,6-二酵與異氰酸酯己酿反應而得的胺酯等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 至於具有縮水甘油基之單體,例如可舉出有:雙酚-A-二縮水甘油_。 具有光聚合性基之聚合性單體或寡聚物之使用量,對 前述感光性聚合物100重量份,為5至500重量份,宜於10 至300重ft份之範園内選擇。 前述(A2)感光性聚合物之感光劑,因應感光性樹脂組 成物之型式,可使用各種光增感劑或光聚合引發劑等。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) 9 310313 557415 Α7 Β7 五、發明説明(10) 感光劑,因應慼光性聚合物之種類(正片型或負片型) ,可自慣用的感光劑或增感劑,例如重氮絲塩(重氮絲塩 、雙簠氮錄塩、多重氮絲塩等)、醌二叠氮類(二偁氮苯醌 衍生物、二偁氮萘醌衍生物等)、叠氮化合物、哌喃絲塩 、|«哌喃鑰塩、光二量化增感劑、光聚合引發劑[例如嗣 類(乙醸苯醑、丙醢苯嗣、憩醌、9-氧二苯并硫哌喃、二 苯基嗣或此等之衍生物)、安息香醚或其衍生物(安息香甲 醚等)、氧化醢基膦等]等加Μ選擇。 感光劑使用董,例如對感光聚合物1至100重量份,係 在0.1至20重量份,宜在1至10重量份之範圍内選擇。 [加水分解聚合性有機金屬化合物或其縮合物] (Β)加水分解聚合性有機金靥化合物或其縮合物通常 係包含鐮土類金雇、過渡金羼、稀土類金靥、或週期表第 Β至V族金靥元素。較宜的金羼元素,係週期表第lb族, 第IVa族及第Wb族金饜元素,例如鋁、钛、錐、矽、尤指 鋁及矽(其中更指矽)。此等金靨可於前述化合物或縮合物 内單獨存在或二種以上併存。 至於加水分解聚合性基,可例示如甲氧基、乙氧基丙 氧基、異丙氧基、丁氧基、異丁氧基、戊氧基、己氧基等 Ci-iO烷氧基、鹵原子(溴、氣原子等),Cl-4烷氧基、特 別是甲氧基、乙氧基、丙氧基(其中以甲氧基、乙氧基)為 宜。前述化合物或縮合物,可具有一個或數個相異的加水 分解聚合性基。且,為賦與縮合性或聚合性,加水分解聚 合性有櫬金羼化合物通常具有二個Μ上的加水分解聚合性 本紙張尺度適用中國国家標準(CNS ) Α4規格(210X 297公釐) 1〇 310313 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) -?-口 經濟部智慧財產局員工消費合作社印t 557415 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(12 ) 1 佳 的 化 合 物 1 可 例 示 有 ♦ 四 甲 氧基 矽 烷 、 四 乙 氧 基 矽 烷等 1 1 I 四 Ci -4 焼 氧 基 矽 焼 9 甲 基 三 甲 氧基 矽 烷 \ 乙 基 三 甲 氧 基矽 1 烷 甲 基 三 乙 氧 基 矽 烷 乙 基 三乙 氧 基 矽 烧 等 單 Ci -4 烷基 -V 1 I 請 1 I Ci -4 烷 氧 基 矽 烷 $ 二 甲 基 二 乙氧 基 矽 焼 等 二 Ci 賺4 烷 基二 先 閱 1 I 讀 1 1 Ci -4 烷 氧 基 矽 烷 苯 基 三 甲 氧 基矽 烷 苯 基 三 乙 氧 基 矽烷 背 面 1 1 之 1 I 等 單 芳 香 基 三 C 1 -4 烷 氧 基 矽 烷 、二 苯 基 二 甲 氧 基 矽 烷 、二 注 意 1 I 苯 基 二 乙 氧 基 矽 烷 等 二 芳 香 基 二 C 1 -4 焼 氧 基 矽 焼 等 〇 事 項 再 1 1 I 前 述 有 櫬 金 羼 化 合 物 1 Μ 具有 感 光 性 基 者 為 宜 ,感光 9 本 1 裝 I 性 基 包 含 ^ Am 刖 述 例 示 之 感 光 性 基 (重氮鎗塩基、 叠氮基、 桂 頁 1 1 皮 醸 基 亞 桂 皮 基 聚 合 性 基 等)、 特別是聚合性基((甲 1 1 基 )丙烯醢基、 烯丙基、 乙烯基等) 〇 1 1 至 於 具 有 聚 合 性 基 之 加 水 分解 聚 合 性 有 機 金 羼 化 合物 if 訂 I 可 例 示 如 具 有 聚 合 性 基 之 矽 烷 化合 物 例 如 1 具 有 (甲基) 1 I 丙 烯 醢 基 及 加 水 分 解 性 基 之 化 合物 [Ν -(3- (甲基) 丙 烯 氧-2 1 1 I -淫丙基)-3 -胺基丙基三乙氧基矽烷、 3-(甲 基 )丙烯氧丙 1 1 • 線 基 二 甲 基 甲 氧 基 矽 烷 3- (甲基)丙 烯 氧 丙 基 二 甲 基 乙 氧基 1 矽 烷 3- (甲基) 丙 烯 基 丙 基 甲 基二 乙 氣 基 矽 烷 % 3- (甲基) 1 ' 1 丙 烯 氧 丙 基 三 甲 氧 基 矽 烷 3- (甲基) 丙 烯 氧 丙 基 甲 基 雙( 1 1 三 甲 基 矽 氧 基 )矽烷、 3·( 甲 基 )丙烯氧丙基參(三 甲 基 矽氧 | 基 )矽烷、 3 -( 甲 基 )丙烯氧基丙基參( 甲 氧 乙 氧 )矽烷、 3-( 1 I 甲 基 )丙烯氧基丙基甲基二氯矽烷、 3 -( 甲 基 )丙烯氧基丙 1 1 I 基 三 氣 矽 烷 3- (甲基) 丙 烯 氧 基丙 基 二 甲 基 氛 矽 焼 (甲 1 1 I 基 )丙烯氧基丙烯基三甲氧基矽烷等]、 具 有 烯 丙 基 及 加水 1 1 分 解 性 基 之 化 合 物 [烯丙基三氯矽烷、 烯丙基三乙氧基矽 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 310313 557415 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(1 3 ) 烷、烯丙基三甲氧基矽烷、烯丙基參(三甲基矽氧基)矽烷 等]、具有乙烯基及加水分解性基之化合物[乙烯基二甲基 氯矽烷、乙烯基二甲基乙氧基矽烷、乙烯基乙基二氯矽烷 、乙烯基甲基雙(甲基乙基蹰羥亞胺)矽烷,乙烯基甲基雙 (三甲基矽氧基)矽烷、乙烯基甲基二乙醢氧基矽烷、乙烯 基甲基二氛矽烷、乙烯基甲基二乙基矽烷烯基三乙醯氧基 矽烷、乙烯基三氯矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三 乙氧基矽烷、乙烯基三異丙氧基矽烷、乙烯基參一第三丁 氧基矽烷、乙烯基三甲基矽烷、乙烯基三苯氧基矽烷、乙 烯基參(第三丁基過氧基)矽烷、乙烯基參異丙氧基矽烷、 乙烯基參(2-甲氧基乙氧基)矽烷等]、ΚΒΜ1003(商品名; 信越化學工業股份有限公司製造)、ΚΒΜ 1 0 6 3 (商品名;信 越化學工桊股份有限公司製造)、ΚΒΜ1103(商品名;信越 化學工業股份有限公司製造)、ΚΒΜ 1 403 (商品名;信越化 學工業股份有限公司製造)、ΚΒΜ5 03 (商品名;信越化學工 粟股份有限公司製造)、ΚΒΜ50 2 (商品名;信越化學工業股 份有限公司製造)、ΚΒΜ5103(商品名;信越化學工業股份 有限公司製造)、ΚΒΜ5102(商品名;信越化學工業股份有 限公司製造)、ΚΒΜ5403(商品名;信越化學工業股份有限 公司製造)等。 且,加水分解聚合性有櫬金羼化物或其縮合物可單獮 使用或二種以上混合使用。又,加水分解聚合性有機金鼷 化合物亦可使用已預縮合的繽合物。尤其,具有慼光性基 (尤其聚合性基)之加水分解聚合性有櫬金屬化合物,可與 (請先閱讀背面之注事項再H本頁) -裝- 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ 297公釐) 13 310313 557415 A7 B7 五、發明説明(14 ) 非感光性(聚合性)之加水分解聚合性有櫬金羼化合物縮合 後使用。例如,可使用由具有(甲基)丙烯醯基等聚合性基 (請先閱讀背面之注意事項再頁) 之烷氧基矽烷化合物及烷氧基矽烷化合物縮合之具有感光 性基之縮合物。再者,為調整交聯密度或生成物之特性等 ,可添加三烷基單烷氧基矽烷等亦可進行縮合。 加水分解聚合性有機金靥化合物,係利用煅燒而構成 無櫬相。且為提高貯存安定性,及保謅加水分解性基(例 如矽烷酵基)、可添加保護劑(例如,第三丁酵、異丙醇等 酵)或使之反應(醚化等)亦可。又,賴由中和等操作亦可 有效降低成為加水分解觸媒之酸或鐮(例如,塩酸、氨等) 的濃度。 [具有官能基之無機填料] (C)具有官能基之無櫬填料,係可由無機微粒子(C1)及 導入於此無機撤粒子之官能基(C2)所構成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 至於無櫬微粒子(C1),因應無機圖案之機能可使用諸 如金饜單體、無櫬氧化物、無櫬碳酸塩、無機硫酸塩、磷 酸塩等各種微粒子。至於無櫬氧化物、可例示有二氧化矽 (膠體二氧化矽、氧溶矽等),氧化鋁、氧化钛、氧化鍤、 氧化鋅、鈦酸鋇、鈮酸鋰、氧化錫、氧化絪、In2〇-SnO等 ,碳酸塩可例示有碳酸鈣、碳酸鎂等,硫酸塩,可例示有 硫酸鋇、硫酸鈣等。磷酸塩包含磷酸鈣、磷酸鎂等。 無機微粒子之形狀,不限於球狀,亦可為椭圓形狀、 扁平狀、棒狀或纖維狀。無櫬微粒子之平均粒徑,因應於 無機園案之微细化之程度等例如可於Ini至10/iin,宜於 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 14 310313 557415 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(15) 5nm至5μπ之範園內選擇,欲形成微细的無機圖案,以採 用由BET法W測得平均粒徑約為2至lOOna(宜為5至50ηπι, 更宜為7至30nm)之已單分散的無櫬微粒子(尤指膠髓二氧 化矽)為較有利。已單分散的無機微粒子(尤指膠體二氧化 矽)係以有機溶膠(有櫬二氧化矽溶除)方式銷售著,例如 購自日產化學工業股份有限公司等之「Snowt ex Colloidal Silica」,尤其是「Methanol Silicasol」。 無櫬填料,M具有反應性基或感光性基(尤指聚合性 的慼光性基)為官能基(C2>者為宜。至於反應性基或感光 性基,可例示有與前述相同的加水分解聚合性基或感光性 基(尤指(甲基)丙烯釀基、烯丙基、乙烯基等聚合性基)。 前述官能基可利用無機微粒子(C1)及具有前述加水分解聚 合性基及/或感光性基之有襪金羼化合物(尤指前述加水分 解聚合性有機金屬化合物、其中有矽烷偁合劑或钛偁合劑 等)問之反應,Μ表面接枝聚合法,CVD法等,將其導至無 櫬微粒子(C1)內。 至於具有加水分解聚合性基及/或感光性基之有櫬金 羼化合物,可使用前述(Β)加水分解聚合性金靥化合物或 其縮合物(尤指含矽之有機化合物)等,Μ具有前述例示的 感光性基之加水分解聚合性有櫬金屬化合物(尤指具有聚 合性基之矽烷化合物)為宜。 於無櫬填料(C)中,對無櫬微粒子(C1)而言,官能基( C2)之導入量,Μ具有官能基之化合物換算,對無櫬微粒 子(Cl)100重董份為0.1至1〇〇重董份,宜為〇·5至50重量份 (請先閱讀背面之注意事項再e本頁) •裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) 15 310313 557415 A7 B7 五、發明説明(16 ) ,更宜為可自1至20重董份之範園內。 [各成分之比例] (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 於本發明之感光性樹脂組成物、前述(A)至(C)成分之 比例,係在不損及靈敏度、無櫬圖案之解析度或附熱性等 之範園予Μ選擇,通常以固形分換算,成分(C)之量較前 逑成分(Α)(Β)之合計量為多C(A + B)<C]。例如,Μ固形分 換算(不包括由煅燒所生成的成分(縮合水或酵等))、對(Α )感光性有機寡聚物或聚合物1重量份,(Β)加水分解聚合 性有櫬金羼化合物或其縮合物為1至25重量份(宜為2至20 重量份,更宜為5至15重量份),尤其在由成分(A)(B)(C) 構成的組成物中,成分(C)之含有董為,例如50至90重量 %,宜為50至90重量%。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 含有無櫬質之感光性樹脂組成物,視必要可含有光反 應促進劑(聚合促進劑等),例如二烷基胺基苯甲酸或其衍 生物、三苯基膦、三烷基膦等。再者,於組成物内亦可添 加抗氧化劑等安定劑、可塑爾、界面活性劑、溶解促進劑 、染料或顔料等著色劑等各種添加劑。再者,感光性樹脂 組成物為改菩塗布性等作桊性,亦可含有溶劑(水、醇類 、二酵類、2-乙氧乙酵類、萌類、醮類、醚類、醸胺類、 烴類等有機溶劑)。 本發明含有無櫬質之感光性樹脂組成物,係籍由慣用 的方法,例如將(A)感光性聚合物,(B)加水分解聚合性有 櫬金靥化合物或其縮合物及具有(C)官能基之無機填料混 合而予製備。含有無櫬質之感光性樹脂組成物,通常含有 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 16 310313 557415 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(17 ) 1 溶 劑 (尤指酵類等親水性溶劑) 0 各 成 分 (Α)至(C) 可 同 時 混 1 1 | 合 f 亦 可 依 遘 當 順 序 混 合 0 且 I 各 成 分 (Α)至(C) Μ 分 別 為 1 I 溶 劑 或 分 散 髖 之 情 形 居 多 0 1 I 請 1 I 於 本 發 明 之 圖 案 形 成 方 法 $ 係 將 前 述 含有 無 機 質 之 感 先 閱 1 I 讀 1 I 光 性 樹 組 成 物 塗 布 於 基 體 上 費 形 成 感 光 層 後, 對 指 定 的 圖 背 1 | 之 1 案 曝 光 並 顯 影 而 形 成 圖 案 9 其 次 $ 利 用 缎 燒, 可 形 成 解 析 注 意 玄 1 | 度 及 長 徑 比 較 大 的 矩 形 之 無 機 圖 案 〇 Ψ 項 再 1 .I 至 於 基 體 9 因 應 無 機 圈 案 之 特 性 或 用 途可 由 金 屬 玻 本 頁 ^^ •裝 璃 陶 瓷 塑 膠 等 適 當 加 以 選 揮 $ 亦 可 為 砂晶 圓 等 基 片 〇 1 1 且 $ 基 體 亦 可 利 用 参 例 如 前 述 矽 焼 偁 合 劑 (具有聚合性基 1 1 之 加 水 分 解 聚 合 性 矽 烷 偁 合 劑 等 )等預先進行表面處理。 1 1 塗 布 可 利 用 慣 用 的 塗 布 方 法 9 例 如 旋 塗法 9 浸 沾 法 > 、,· 訂 澆 鐮 法 等 進 行 • 視 必 要 時 9 藉 由 乾 煉 去 除 溶劑 可 形 成 感 光 1 餍 〇 圈 案 曝 光 費 係 介 由 指 定 的 光 罩 利 用 照射 光 線 或 曝 光 1 1 I 而 進 行 〇 至 於 光 線 9 因 應 無 櫬 圖 案 之 微 细 度等 可 利 用 各 種 1 « ht 光 線 (例如鹵燈、 高壓水銀燈、 UV燈、 激發體雷射、 電子 1 I 束 X射線等放射光等) $ 通 常 可 利 用 波 長 100至 500 η η 之 光 1 線 $ 尤 其 是 紫 外 線 等 0 且 t 曝 光 能 量 係 因 應前 述 含 有 無 機 Ί J 質 之 感 光 性 樹 脂 組 成 物 之 感 光 特 性 (光硬化性等) 而 予 選 擇 I % 曝 光 時 間 通 常 由 0 . 1秒至20分鐘之範園内選擇。 \ 1 I 圃 案 曝 光 之 後 Η 慣 用 的 方 法 使 感 光 層顯 影 $ 可 形 成 1 1 I 高 解 析 度 之 園 案 〇 於 顯 影 時 Λ 因 應 前 述 含 有無 機 質 之 感 光 1 1 I 性 樹 脂 組 成 物 之 種 類 (尤指負片型或正片型)可 使 用 各 種 顯 1 1 影 液 (水、 «(性溶液、 有櫬溶劑、 或此等之混合液等)。 顯 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) 17 310313 557415 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 __B7_ 五、發明説明(18 ) 影法並無特別限制,例如可採用漿葉(半月形)法、浸沾法 、噴布法等。 且,由含有無櫬質之感光性樹脂組成物之塗布至圖案 形成的步驟中,可用遘當的溫度加熱處理塗膜(感光層)。 例如,在曝光後,視必要時亦可進行加熱處理。又,將由 顯影而形成的圖案加熱處理,再供煅燒步驟亦可。 煅燒係在逋當的溫度,例如300至1 000 C進行,宜為 約40 0至60 0 ¾之溫度。煅燒,因應無機圖案之特性,可在 惰性氣體簏軍或含有氧氣之氣體(空氣等)籠罩下進行,在 常壓或必要時亦可於減壓下進行。在煅燒時溫度可階段性 或連績性升溶。煅燒時間並未予特別限制,可於1至24小 時,尤其是5至24小時之範圍内選擇。利用此種锻燒,可 形成無機化的微细的圈案,無機質圔案對基體之附奢性亦 高。 本發明含有無櫬質之感光性樹脂組成物(感光性組成 物),係K感光性有櫬/無櫬混成材料作成,其作用兼具有 機質及無櫬質之長處。因此,在形成絕緣性、介電性、導 電性、透明性、附熱性、硬度、耐磨耗性、強度等方面優 越的無櫬圈案上係有用的。又,可適用於諸如絕緣性電子 組件(例如形成於電漿顯示面板之背面基片的阻隔壁等)、 印刷版材料、紫外線硬化塗料或油墨等各種用途。 [產業上之可利用性] 於本發明,即使無櫬成份之含有董較多,亦可形成高 靈敏度及解析度之無櫬圃案。因此可用於形成高長徑比、 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 18 310313 557415 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(19 ) 高矩形性之無櫬圖案。 [實施例] Μ下以實施例更詳细的說明本發明,惟本發明並非受 此等實施例所限定者。 [實施例1] 1.含有無櫬質之感光性樹脂組成物之製備 (1) 感光聚合物(有櫬成分)之製備 於50 C下,使共聚合耐綸(To ray股份有限公司製造, CM8000 ) 2 g溶解於甲酵8g中,俟冷却至室溫後添加安息香 甲醚0.12g,伸甲基雙丙烯醢胺0.4g,搅拌至成均勻透明 為止。 (2) 加水分解聚合性有機金羼化合物(無機成分)之製 備 在室溫下將四乙氧基矽烷10.4g及3 -甲基丙烯醢氧基 丙基三甲氧基矽烷13.95g及0.05N之塩酸水溶液6.3g攪拌 1小時以進行加水分解反應。 (3) 有櫬/無櫬混成溶液之製備 將上述步驟(1)所得的有櫬成分溶液7.llg及前述步驟 (2)所得的無機成分溶液12.89g在室溫下混合,而製備有 櫬/無機混成溶液。 (4) 含有感光性二氧化矽微粒子之分散體之製備 於二氧化矽微粒子(日產化學工業股份有限公司製造, Methanol Silicasol,平均粒徑10至20nm,固形分30重 董%)258内加入3-甲基丙烯氧丙基三甲氧基矽烷1.275g、 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 裝· 、\一'口 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) 310313 557415 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(20) 甲酵lllg, «由在室溫下攪拌24小時,於二氧化矽微粒子 之表面上導入感光性基。其後,調整甲酵含有量使粒子之 固形分重量調整為30重董%。 (5) 感光性二氧化矽之C13-N MR光譜测定 為確認感光性基已導入至二氧化砂微粒子之表面上, 採用日本電子股份有限公司製造JNM-GSX270C13-HMR測定 裝置,在固體狀態測定感光性二氧化矽微粒子之光譜,其 结果,發現有源自3-甲基丙烯氧丙基三甲氧基矽烷之丙基 (10,16,24ppm),甲氧基(50ppm)、甲基(66ppm)、羰基( 168ppm)之碳原子吸收,而確認有感光性基被導至二氧化 矽微粒子之表面上。 (6) 含有無櫬質之感光性樹脂組成物(有機/無櫬/感光 性微粒子混合液)之製備 在室溫下於前述步驟(3)製備的有櫬/無機混成溶液20 8;中混入前述步驟(4)製備的含有感光性二氧化矽微粒子之 分散艘25g,製備含有無機質之感光性樹脂組成物(有櫬/ 無機/感光性二氧化矽微粒子混合液)。 2 .圈案化 (1)基板之前處理 於含有蒸皤水5s之乙酵溶液95g中,加入3-甲基丙烯 氧基丙基三甲氧基矽烷2g及0.05H塩酸溶液0.05g並在室溫 攢拌30分鐘。 於此溶液中將作為基板之pyrex玻璃M5.0nm/sec之浸 沾拉提速度浸沾塗布後,在801C之烘箱内加熱乾燥此基板 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) •裝-
、1T 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X 297公釐) 20 310313 557415 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(21 ) 1 5分鐘進行前處理。 (2) 塗布 採用旋塗器(Milcasa股份有限公司製造1H-DX2型)將 前述步驊1-(6)所製備的含無機質之感光性樹脂組成物, M500rpn/20秒塗布於經前述步驟(1)前處理的基板上。其 次,乾燥後所得塗膜係無色透明,顯示出良好的成膜性。 Μ電子顯微練测定膜厚時,為約IOmdu (3) 曝光及顯影 以具有250w超髙壓水銀燈之曝光装置(Mikasa股份有 限公司製造Mask alligner M-ZL型)介由测試光罩,對前 述步驟(2)形成的塗膜(複合膜)進行5分鐘附著曝光。其後 ,用甲酵進行唄布顯影。以電子顯微鏡觀察顯影後的塗膜 時,幾乎未發現由於顯影而引起的薄膜減少,碓認出解度 為 1 0 /i η。 3.由加熱煅燒形成無櫬膜 顯影後之圖案化膜在空氣中Μ自室溫經12小時升溫至 57〇π之條件煅燒。煅燒後,觀察膜之紅外線吸收光譜,幾 無源自有櫬成分之吸收,而確認出幾乎已完全無機化。又 ,以«子顬微縯觀察煅燒後之膜厚為約 [實施例2及比較例] 除改變實施例1中步驟1-(3)所製備的有機/無櫬混成 溶液與步»1-(4)所製備的含有感光性二氧化矽微粒子之 分敗«的配合比率外,餘與實施例1相同順序•將塗膜予 以圈案化後加熱煅燒。合併實施例1之结果,示於下表。 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 裝· 、11 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) 21 310313 557415 A7 B7 五、發明説明(22 ) 表 實施例1 實施例2 比較例 蟇蜃/(f)機混合 20 20 20 化 25 50 0 II馨獲燒塗膜間 良好 良好 幾乎剝離 煅燒後之圖案 良好 良好 無法觀察 由上表明顯可知,實施例與比較例相較,前者與基板 間的附著性良好且以較高的精度形成矩形性良好的無機圖 案。 (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) 22 310313
Claims (1)
- 557415附件二 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 申請專利範圍修正本 (91年8月30日) 1. 一種含有無機質之感光性樹脂組成物,係由(A)由寡聚 物或聚合物、單官能性或多官能性的光聚合性化合物 與感光劑所構成之感光性有機寡聚物或聚合物、(B)加水 分解聚合性有機金屬化合物或其縮合物係由選自Cw烷氧基及 鹵原子的至少二個加水分解聚合性基,與具有至少一個聚合性 基之矽烷偶合劑或其縮合物及(C)由無機氧化物微粒子(C1) 及經予導入此無機氧化物微粒子之(甲基)丙烯醸基(C2)構 成,該無機氧化物微粒子之平均粒徑爲111111至1〇)^ m,且係 由(甲基)丙烯醯基官能基(C2)對無機氧化物微粒子(C1)之 導入量,以具有官能基之化合物換算、對無機氧化物微粒 子(C 1)100重量份爲0.1至100重量份之具有官能基之無機 塡料所構成; 其中以固形分換算計對(A)感光性有機寡聚物或聚 合物1重量份而言,含有(B)有機金靥化合物或其縮合 物0.5至25重量份及(C)具有官能基之無機塡料0.5至20 重量份。 2. 如申請專利範圍第1項之含有無機質之感光性樹脂組成 物,其中(B)之有機金靥化合物係具有感光性基者。 3. 如申請專利範圍第2項之含有無機質之感光性樹脂組成 物,其中之感光性基至少一種係由(甲基)丙烯醸基、 烯丙基及乙烯基選出的聚合性基。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 1 310313 557415 ___H3_ 4. 如申請專利範圍第1項之含有無機質之感光性樹脂組成 物,其中無機氧化物微粒子(C1)爲平均粒徑2至lOOnm之 已單分散的膠體二氧化矽。 5. 如申請專利範圍第1項之含有無機質之感光性樹脂組成 物,其中無機氧化物微粒子(C1)爲平均粒徑5nm至50nm 之已單分散的膠體二氧化矽。 6. 如申請專利範圍第1項之含有無機質之感光性樹脂組成 物,其中(C)具有官能基之無機塡料之量係較(A)感光 性有機寡聚物或聚合物及(B)有機金屬化合物或其縮合 物之合計量爲多。 7β如申請專利範圍第1項之含有無機質感光性樹脂組成物 ,其中以固形分換算計對(A)感光性有機寡聚物或聚合 物1重量份而言,含有(B)有機金屬化合物或其縮合物1 至25重量份及(C)具有官能基之無機塡料1至20重量份。 8. 如申請專利範圍第1項之含有無機質之感光性樹脂組 成物,其中(A)感光性有機寡聚物或聚合物、(B)有機 金屬化合物或其縮合物及(C)具有官能基之無機塡料之 全量中,成分(C)之含有量爲50至95重量%。 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 9. 如申請專利範圍第1項之含有無機質之感光性樹脂組成 物,其中(A)感光性有機寡聚物或聚合物係由寡聚物或 聚合物與感光劑以及單官能基或多官能基之光聚合化 合物所構成,(B)加水分解聚合性有機金屬化合物或其 縮合物係由選自Cm烷氧基及鹵原子的至少二個加水 分解聚合性基、與具有至少二個聚合性基之矽烷偶合 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 x297公釐) 2 310313 557415 Η3 劑或其縮合物,(C)具有官能基之無機塡料爲具有(甲 基)丙烯醸基之平均粒徑7nm至30nm之已單分散的膠體 二氧化矽,且對前述膠體二氧化矽而言(甲基)丙烯醯 基官能基之導入量以具有官能基之化合物換算、對無 i 機氧化物微粒子(Cl)lOO重量份,爲0.5至50重量份。 10. 如申請專利範圍第1項之含有無機質之感光性樹脂組 成物,以固形分換算計,對(A)感光性有機寡聚物或聚 合物1重量份、含有(B)有機金屬化合物或其縮合物2至 20重量份及(C)具有官能基之無機塡料2至18重量份。 11. 一種含有無機質之感光性組成物之製造方法,係將(A) 感光性有機寡聚物或聚合物、(B)有機金屬化合物或其 縮合物及(C)具有官能基之無機塡料混合而成;其中, 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 (A)爲由寡聚物或聚合物與單官能性或多官能性的光 聚合性化合物與感光劑所構成之感光性有機寡聚物或聚 合物、(B)加水分解聚合性有機金屬化合物或其縮合物係由 選自Cm烷氧基及鹵原子的至少二個加水分解聚合性基,與具 有至少一個聚合性基之矽烷偶合劑或其縮合物之加水分解 聚合性有機金屬化合物或其縮合物及(C)由無機氧化物微 粒子(C1)及經予導入此無機氧化物微粒子之(甲基)丙烯醸 基(C2)構成,該無機氧化物微粒子之平均粒徑爲lnm至10 μιη,且(甲基)丙烯醸基官能基(C2)對無機氧化物微粒子 (C1)之導入量,以具有官能基之化合物換算、對無機氧化 物微粒子(C 1)100重量份爲0.1至100重量份之具有官能基 之無機塡料所構成; 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 x 297公釐) 3 310313 557415 H3 其中以固形分換算計對(A)感光性有機寡聚物或聚 合物1重量份而言,含有(B)有機金屬化合物或其縮合 物0.5至25重量份及(C)具有官能基之無機塡料0.5至20 重量份。 12.—種形成無機圖案之方法,係將申請專利範圍第1項之 含有無機質之感光性樹脂組成物塗布於基體上,經曝 光、顯影形成圖案後,經煅燒而成。 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 x 297公釐) 4 310313
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