TW530321B - Automatic slit/gate valve - Google Patents

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530321 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7_ 五、:發明說明（) 發明領域： . 本發明係關於提供一種封閉一開孔之方法及設備。 本發明更殊勝處係關於一種門之裝置，例如：一氣門閥 或一開縫閥，該門裝置用以封閉一半導體製造工具之處 理室。 發明背景： 半導體晶圓以包含複數個處理室之自動化製造工具 進行處理，其中該處理室之設計用以自該自動化製造工 •具（例如：一真空阻絕室）上裝載或卸載晶圓、或晶圓-輸送或晶圓處理。典型來說，必須將每一處理室及其鄰 近處理室之環境作選擇性之隔離，以防止處理室間交互 污染情形的發生，並確保各種處理室在執行時可依欲執 行之不同製程而維持在不同之壓力下。必須將該真空阻 絕室與外界設備所處之環境作選擇性隔離。為達到上述 選擇性隔離之目的，在每一處理室準備一開孔（例如： 一開縫），晶圓操作裝置經由該開孔處可輸送晶圓至該處 理室或從該處理室中將晶圓輸送出。藉由一活動門（通 常以一真空裝置之開縫閥及一非真空裝置之氣門閥者為 佳）可選擇性封閉該開縫。 因此，改善一開縫/氣門閥使其具有一較大之封閉作 用力及一較小之運作軌跡有迫切之必要性。 第4頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t ) -----^—一 —----------------- (請先閱讀背面之注意事項再填冩本頁) 530321 A7 B7

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) *裝--------訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 530321 A7 B7 五、:發明說明（) 第3 A-3C圖所示者為本發明第1圖及第2圖中該開縫/氣 門閥的連續側面示意圖；及 第 4圖所示者為一自動化半導體元件製造工具的平面 圖，該自動化半導體元件製造工具係採用本發明 之開縫/氣門閥者。 圖號 對 昭 說 明 ： 11 開 縫 /氣鬥 丨閥 15 連 結 機 構 17 密 閉 表 面 19 開 縫 20 表 面 21 延 伸 軸 部 位 23 門 板 25 單 一 滾 珠 軸 承 27 裝 置 板 29 致 動 器 3 1 桿 3 3 第 -— 連 桿 35 第 — 連 桿 37 接 頭 39 第 一 連 桿 之 第 一 部位 41 第 一 連 桿 之 第 二 邵位 43 槓 桿 作 用 表 面 47 固 定 式 導 軌 49 垂 直 止 動 裝 置 51 風 箱 101 白 動 化 半 導 體 元 件 103 第 一 轉 換 處 理 室 製 造 工 具 105 第 二 轉 換 處 理 室 107 第 晶 圓 操 作 裝 置 109 第 二 晶 圓 操 作 裝 置 111 真 空 阻 絕 室 113 真 空 阻 絕 室 115 輸 送 處 理 室 117 輸 送 處 理 室 119 處 理 室 121 處 理 室 123 處 理 室 125 處 理 室 第6頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----^----1--^^襄--------訂·-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 530321 — A7 B7 五、:發明說明（) 1 3 1 控制器 1 3 3處理器 · 1 3 5 記憶體 發明詳細說明： 本發明之開縫/氣門閥的一密閉表面可在運作過程 時，選擇性封閉或不封閉一處理室中一開孔以改變該處 理室之内部環境（例如：抽真空時）。為達到選擇性封閉 或不封閉一處理室之開孔之目的，該密閉表面必須可上 升或下降至鄰接該開孔之位置或自該位置上升或下降， 且必須可向前行進以接觸並封閉該表面周遭之開孔，也-必須可向後行進以不封閉該表面周遭之開孔。 為使本發明之開縫/氣門閥以其預定行進路徑移動， 採用以下裝置：一致動器用以選擇性施加一提升或下降 作用力，一垂直止動裝置（鄰接該開孔處）用以阻止該 密閉表面行進，及一連結系統用以將該連續的垂直致動 作用（接觸該垂直止動裝置後，一垂直致動作用始以啟 動）轉換成水平方向之移動。其中該連結系統包含一連 桿3 5，該連桿3 5與該密閉表面17耦合（非直接經由一 臂2 Γ)並與一裝置板27耦合；一連桿33與該連桿35 耦合，也與該致動器、該裝置板27耦合。固定該裝置板 27於一對導執41之間滑移，且裝置板27可滑移至一槓 桿作用表面43上。該槓桿作用表面43係指位於該開孔 處一固定距離之一表面。該連桿耦合（間接經由該裝置 板27 )至該槓桿作用表面43。由於該槓桿作用表面 43 第7頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼裝--------訂--- 530321 經濟部智慧財產局員工消費合作社印副π A7 B7 五、:發明說明（) 係以水乎方式固定，因此該連桿之水平移動 ’T' J目該積 桿作用表面處43往外延伸及往内朝該槓桿 ,τ卬用表面 43 收縮，於下列再作進一步說明。此外，也可省略該槓桿 作用表面43，該導執41可提供充分的水平固定方式y干 本發明之一開縫/氣門閥u構件如第N3圖所示。 第1圖所不者為該開縫/氣門閥u之側視圖及第2圖所 示者為該開縫/氣門閥1 1之前視圖。第3A-3C圖所示者 為該開縫/氣門閥1 1之連續側視圖。該開縫/氣門閥1丨包 含一活動門裝置（該裝置之構件於下列說明之）與一連結 機構1 5耦合，其中該連結機構丨5可使該垂直致動作用（例一 如：移動）轉換成該活動門裝置水平移動方式，以下說明 之。 孩活動門裝置至少包含一密閉表面1 7，該密閉表面 用以阻塞及封閉一表面2〇之一開缝，一長臂21可在 該密閉表面2 1處往下延伸且一門板23位於該長臂2丨上 方。一第一單一滾珠軸承2 5可使該密閉表面1 7與該活 動門裝置其餘部位耦合。該單一滾珠軸承2 5係用以自由 放置該密閉表面1 7於任何方位，確保該該密閉表面！ 7 可完全封閉該開縫丨9。因此，該單一滚珠軸承25在該 益閉表面17接觸該開縫19之周圍表面後，可自行校正 (self-align)該密閉表面丨了的位置。 本發明之開縫/氣門閥丨丨也包含一装置板27 (諸多 該開縫/氣門閥11之構件於下列說明之）及一致動器29 (例如·一氣柱），其中該欵動器29具有一活塞（未顯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規^^ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一一 t°J·1111111 530321 — A7 B7 五、:發明說明（) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 示）及一桿3 1用以向上移動該開縫/氣門閥1 1，以置放 該活動門裝置之該密閉表面1 7於可封閉該開縫1 9之一 位置（例如··與該開縫19同一高度處）。該桿3 1也用於 使該開縫/氣門閥1 1向下移動，因而得以暴露出該開縫， 基材可從該開縫處通過而達到輸送基材之效用。 該致動器2 9之桿3 1與該連結機構1 5耦合以提升及 降低該連結機構1 5，使該連結機構15可於一提升位置 與一下降位置間移動。請參閱第3 B圖，圖中該提升位置 係指該密閉表面1 7與該開縫1 9位於同一高度者；再請 參閱第3 A圖，圖中該下降位置係指該密閉表面1 7之高， 度較該開縫 19為低者，因而暴露出該開縫1 9。該連結 機構15包含一第一連桿33及一第二連桿35,該連桿33、 35藉由一接頭 37而旋轉耦合，至少一個以上之第一連 桿3 3部位可從該接頭3 7之一第一側邊處進行延伸且至 少一.個以上之第二連桿3 5部位可從該接頭3 7 —第二側 邊處進行延伸。該第一連桿3 3包含一第一部位3 9及一 第二部位4 1，其中該接頭3 7被置放於該第一部位3 9與 該第二部位41間。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 當該致動器29(與第一連桿33之第二部位41耦合） 之桿31垂直向上移動時，該第一連桿3 3用以樞設至一 封閉之延伸位置（如第3 C圖所示），且當該桿3 1垂直向 下移動時，第一連桿3 3則係樞設至一未封閉之收縮位置 (如第3 A及第3 B圖所示者。圖中該未封閉之收縮位置 係指該第一連桿3 3 其中一位置，該位置係位於該封閉 第9頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 530321 五、〉

示之（如第3C圖所示）；第 位置時，該第一連桿j3之第 > 〇 a θ t水平方位較低處。 延伸置 «時，該第一連桿33 μ —連桿3 3在該封閉之延伸位置 弟一 的々火平距離以距離Χ表 >筮部技39與第二部位41間之水十 弟一部 惠桿33在該未封閉之收縮 部位39與第二部位41間 / ,觉3 Β圖所示）。從該圖 之皮羊辟離以距離γ表示之（如弟 、、 芡水千距離 # #第一連桿33位於該 例中顧千该水平距離X (例如：當 ^ ^ 例中顯π汲 ，Α银離Υ (例如：當該 封閉之延伸位置時）較大於該水平。 筮一 $ # 3 3位於該未封閉之收縮位置時） 連样 ，甘^ p 39逛該裝置板27固接 今筮〆連桿33以其第一部位39抖 弟 人☆你兮第一連桿3 3水平 式轉合。该第一連桿33之耦合致使 , a f t —々火乎距離處。上述搞 固定於與該欲封閉開孔相隔一疋 ' 、太μ 1， &，、抽穿批27耦合且將該裝置 合方式係以將該連桿33與孩裝置板 T 4 no A主二知入各々含。該槓桿作用表面 板27與/水平式固疋表面搞合為晋 43及/¾該導軌47用以提供上述水平式固接方式。本發 明之實施例中，該第一連桿3 3經由該裝置板27與孩槓 桿作用表面43耦合至該接頭37之第〆側邊。該槓桿作 用表面43以一可支撐該致動器29之托架44與該致動器 2 9搞'合。該槓桿作用表面43包含一水乎式固定表面’ 該水平表面係指在該密閉表面1 7欲封閉之開孔一固定距 離處所形成一表面。該槓桿作用表面43作為一水平式固 定位置，該連桿從該水平固定位置進行延伸或收縮至一 位置，以使該密閉表面1 7封閉或不封閉該開孔。該第二 連桿較好是以一第二單一滾珠軸承與位於接頭3 7第二側 第10頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公餐） (請先閱讀背面之;i意事項再填寫本頁) -laj- I I 111 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 530321 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7___五、:發明說明（) 邊的活動門裝置搞合。因為該第一連桿3 3於該接頭37 處與該第二連桿3 5耦合’且該第二連桿3 5與該活動門 裝置耦合（例如：以一第二單一滾珠軸承45為之者）， 該第二連桿35及該活動門裝置朝向該表面20水平移動， 當該第一連桿3 3在未封閉之收縮位置（如第3 A圖所示） 與該封閉之延伸位置（如第3 c圖所示）間（X-Y距離） 移動時，該槓桿作用表面43將不具槓桿作用（leverage off。） 本發明之開縫/氣門閥Π更包含一固定式導軌47， 其中該活動門裝置與該導軌47滑移耦合，亦即該活動門# 裝置沿著該導軌47向上及向下滑移。本發明之另一態樣 中，該活動門裝置、位於連桿3 3、3 5間之該接頭3 7及 該裝置板27係可操作式地與該固定式導軌47耩合’以 便當該致動器29被啟動時，上述裝置即可沿著該導軌47 滑移。當該開縫/氣門閥1 1向上行進時，該裝置板2 7與 一垂直止動裝置49相接觸’以制止該裝置板27進一步 垂直移動。當該裝置板27停止垂直向上移動時’該第 連桿33之該第一部位39(與該裝置板27固接式辨合）、 該第二連桿35 (與該第一連桿33 ί禹合）及該活動門裝 置（與第二連桿35耦合）也同樣停止垂直移動。 在本發明之一態樣中，該垂直止動裝置49位於該裝 置板27上方。但一般來說，該垂直止動裝置49的位置 係能使當該裝置板27接觸該止動裝置49時’該' 裝置之該密閉表面1 7之位置（即’與該開縫19 、 第π頁 I紙張尺度適以酬家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 響裝---- 訂------- ·%· 530321 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 —----— B7____ 五、:發明說明（) 同南度）可與該開縫19相鳴合。因而該垂直止動裝置49 可作為一基準點用以校準本發明該開縫/氣門閥1 1精確 方位’以幫助更精確地將該密閉表面17置於適當位置， 其中該適當位置係指相對於該開縫1 9之位置者。 一風箱5 1係位於鄰接該垂直止動裝置1 9處，該風 箱51與該活動門裝置之該門板2 3耦合，以便將該延伸 超出本發明開縫/氣門閥Π其餘部分之長臂2 1包納於其 中°因此’該被包納於其中之長臂21之部份可在產生最 少量粒子的控制環境下移動，且本發明開縫/氣門閥11 之其餘部位將位於該控制環境外部/下方。當該活動門裝# 置往上垂直移動時，該氣箱51擴張之；該活動門裝置向 下垂直移動時，該氣箱5 1收縮之；且當開縫/氣門閥11 構件移動並相互接觸時，該氣箱5 1可用以收納產生之粒 子。 請參閱第3A-3C圖之連續示意圖。圖中所示者為該 開縫/氣門閥11之運作方式的說明，顯示出該開縫/氣門 閥11之移動方式。該活動門裝置一開始係位於較低位置 (例如：該密閉表面1 7其高度低於該開縫19者，以便 暴露出該開縫19)且該第一連桿33 —開始係位於未封 閉之收縮位置（例如：該第一連桿3 3其位置較低於該封 閉之延伸水平位置者），如第3 A圖所示。 運作過程中，供給該致動器2 9能量且該桿3丨垂直 向上移動’該桿31藉由該第一連桿33之第二部位々I而 帶動該連結機構1 5移動，該連結機構丨5垂直向上移動 第12頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) <l:eJ·1111111 530321 • A7 B7 五、:發明說明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 至如第3B圖所示之該提升位置。當該連結機構15垂直 向上移動時，該裝置板27及該活動門裝置二者皆與該連 結機構15耦合，上述二者也會沿著該固定式導軌47垂 直向上移動。當該門板垂直向上移動通過該垂直止動裝 置49時，該風箱51擴張之。 當本發明之開缝/氣門閥1 1垂直向上移動時，該裝 置板27最後會與該垂直止動裝置49 ‘相接觸，以防止該 裝置板27再進一步向上移動。該第一連桿33之第一部 位39、第二連桿35及該活動門裝置也因而無法再進一 步向上移動。當該裝置板27接觸該垂直止動裝置49時，-該活動門裝置之密閉表面1 7其位置與該開縫1 9嚙合（位 於相同之高度），如第3B圖所示。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 當該桿3 1持續垂直向上移動時，促使該第一連桿3 3 經由該第二部位41與該桿3 1耦合，亦即該第一連桿3 3 從該未封閉之收縮位置（如第3 B圖所示者）樞設至該封 閉之延伸位置（如第3 C圖所示者）。經由該接頭3 7，當 該第一連桿3 3從該未封閉之收縮位置樞設至該封閉之延 伸位置，該第一部位3 9端點與第二部位41端點間之水 平距離增加，亦即由該距離Y變化成該距離X，之後再 透過接頭 3 7，使該第二連桿3 5及該活動門裝置（與該 第二連桿3 5耦合）朝向該開縫19水平移動。當該活動 門裝置朝向該開縫1 9水平移動時，該封孔表面1 7係以 極大之封閉作用力被固鎖於該開縫1 9上，致使該第一連 桿3 3之第一部位3 9、第二連桿3 5及上述二者之間的接 第13頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 530321 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、:發明說明（) 頭37位於如第3C圖所示之位置。 ’ 之後，如欲開啟該開縫 1 9，將該致動器 2 9反向， 使該桿3 1垂直向下移動並帶動與其耦合之第一連桿的第 二部位41移動；使該第一連桿3 3從該封閉之延伸位置 (如第3 C圖所示者）樞設至該未封閉之收縮位置（如第3 B 圖所示）。當該第一連桿3 3移動至該未封閉之收縮位置 時，該第二連桿3 5及該活動門裝置水平移動而遠離該開 縫1 9處，如第3 B圖所示。該密閉表面17開啟該開縫19 且也水平移動而遠離該開縫1 9處。該桿3 1接續垂直向 下移動使該連結機構 1 5、該活動門裝置及該裝置板27 一 垂直向下移動至更低位置（如第 3 A圖所示），該開縫 1 9 因而再次暴露，使一晶圓操作裝置得以通過該開縫1 9而 輸送晶圓。 第4圖所示者為一自動化半導體元件製造工具101 之平面示意圖，圖中該製造工具1 0 1係採用本發明之開 縫/氣門閥1 1者。該製造工具1 0 1包含一第一轉換處理 室103及一第二轉換處理室105，上述二處理室分別具 有一第一晶圓操作裝置107及一第二晶圓操作裝置109。 操作該第一轉換處理室1 0 3與一對真空阻絕室1 1 1，1 1 3 及一對輸送處理室1 1 5、1 1 7耦合。其它處理室（例如： 抽真空處理室或冷卻處理室）也可耦合至該第一處理室 103。該第二處理室150與該輸送處理室115,117及複數 個處理室119、12卜123、125耦合。其中上述處理室119、 1 2 1、1 2 3、1 2 5用以進行各種半導體製程，例如：化學 第14頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂 *--------*5^^— A7 B7 530321 五、:發明說明（) 氣相沉積法、濺鍍法等。 該製造工具1〇1之每一處理室可用本發明之一或多 個開缝/氣門閥11進行密閉。當該開縫/氣門閥11用以密 閉如第4圖所示之一處理室系統時，與該第一密閉板方 向呈反向面對之第二活動門及連結機構連接至相同之該 致動器上以達成兩方向之密閉。 一控制器1 3 1包含一處理器1 3 3 ·及記憶體1 3 5 ’其 係可操作式地連接該控制器1 3 1與該第一及第二晶圓操 作裝置1 〇 7、1 〇 9，該真空阻絕室111、11 3及本發明之開 縫閥1 1，以選擇性地密閉該真空阻絕室m、π 3、該輸-送處理室115、117及處理室U9、121、123、125。該控 制器1 3 1因而得以控制該製造工具1 0 1内部之晶圓輸送 及處理流程。任何製造工具内部皆可採用本發明之開縫 閥11，且該開缝閥11對於該旋轉式輸送處理室之密閉具 有特殊優越性，上述詳述說明揭露於美國臨時專利申請 案編號 60/217，144 (AMAT No. 5232/L/FET/DV)，申請日 為July 7，2000。在此將該美國臨時專利申請案合併作為 參考資料。 以本發明之開縫閥1 1與傳統開縫閥相比較之，本發 明之開缝閥1 1可具有較小間隙之需求且因而減少該第一 輸送處理室103及第二輸送處理室105之整體運作軌跡， 因而減少清理處理室的成本。本發明之開縫閥1 1更進一 步之優勢包含簡單、低成本之設計、密閉表面自動校正、 可產生接近無限大之封閉作用力、分散性佳之封閉作用 第〖5頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----J----l-------------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 530321 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、:發明說明（) 力（使密閉表面之偏斜程度最小化）且能使用一更薄之密 閉表面。本m另—特殊優勢在於可關閉該氣柱且經 由固鎖連結機構之作用力可維持該密閉狀態。更進一步， 这垂直止動裝置49提供一便利之基準點，使相對於該開 缝19處之密閉表面17位置得以精確控制。 另外，本發明不但可減少該第一輸送處理室1〇3及 第二輸送處理室105之運作軌跡，當.該第一及第二輸送 處理至1 03、1 05維持傳統尺寸時，較小尺寸之該開縫/ 氣門閥11將扼供較寬廣之機器人運作空間且可採用較 長延伸手臂之機器人。 本發明在前述中只針對較佳實施例加以說明。但熟 知該項技術者依據上述本發明範圍所揭露之設備及方法 可輕易對之加以變動及修改。舉例而言：改變各種構件 及特疋耦合物件 < 形狀，藉由改變本發明之該開缝/氣門 閥Π之密閉表面可輕易變動該開缝/氣門閥1丨之尺寸（例 如：使用於200釐米或300釐米之晶圓系統）。 相同地，採用該連結系統15用以產生平移致動作用 轉換成該活動門裝置之垂直方向移動。實際上，該連結 系統、1 5係用以水平致動第一方向之轉換成該活動門裝置 足第二方向（垂直於第一方向）移動。因此，該致動作 用不單獨純粹為水平或垂直移動。同樣地，該開縫/氣門 閥1 1只要包含一水平致動器時也能在水平方向移動，且 當提供一垂直式固定表面時，該連結機構1 5可抵制該垂 直式固定表面而產生槓桿作用。更進—步置放該致動器、 第16頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----- 訂--- 丨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 530321 " A7 ___B7_ 五、:發明說明（） 該連結機構及該槓桿作用表面於最鄰近該表面2 0之該延 伸軸側邊的上方處或其它位置，端視一特定空間需求而 定。 本發明在前述中已進行較佳實施例的說明。本發明 其它實施例之精神及範圍，以下列所附之專利申請範圍 說明之。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 頁 7 第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 530321 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一種閥門裝置，該閥門裝置至少包含： / 一門，該門具有一密閉表面用以封閉一開孔； 一連結機構，該連結機構與該門耦合，用以產生 平移致動作用以將該該連結機構於一第一方向之移動 可轉換成該門之一第二方向的移動；及 一致動器，該致動器與該連結機構耦合且用以移 動該連結機構。 2. 如申請專利範圍第1項所述之閥門裝置，其中上述第 一方向垂直於該第二方向。 3. 如申請專利範圍第1項所述之閥門裝置，其中上述一 第一方向轉換成該門之一第二方向之致動作用至少包 含垂直致動作用而使該門以水平方向移動。 4. 如申請專利範圍第1項所述之閥門裝置，其中上述致 動器也用以提升及降低該連結機構於一提升位置與一 降低位置之間。 5. 如申請專利範圍第1項所述之閥門裝置，其中上述連 結機構至少包含： 一第一連桿； 一第二連桿；及 一接頭，該接頭與該第一連桿及該第二連桿進行 第18頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ --------一*7 ---I------ %· 530321 A8 B8 C8 D8 六、:申請專利範圍 旋轉耦合，致使該第一連桿從該接頭之一第一側邊處 延伸且該第二連桿從該接頭之一第二側邊處延伸。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 6. 如申請專利範圍第5項所述之閥門裝置，其中上述第 一連桿用以在一封閉之延伸位置與一未封閉之收縮位 置間旋轉。 7. 如申請專利範圍第5項所述之閥門裝置，其中上述門 與該第二連桿耦合，且其位置係沿著該接頭之第二側 邊。 8 ·如申請專利範圍第5項所述之閥門裝置，其中上述裝 置進一步包含一單一滾珠軸承，該單一滾珠軸承與該 門耦合，其中該第二連桿依藉該單一滾珠軸承與該門 耦合。 9.如申請專利範圍第5項所述之閥門裝置，其中上述裝 置進一步包含一導軌，其中該門與該導軌滑移耦合， 使該門可沿著該導軌往上及向下滑移。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 0.如申請專利範圍第5項所述之閥門裝置，其中上述裝 置進一步包含一個以上之導軌，其中該門及該接頭與 至少一個以上之導軌進行耦合，使該門及該接頭可沿 著該導軌垂直移動。 第19頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 530321 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 1 1 .如申請專利範圍第5項所述之閥門裝置，其中上述裝 置進一步包含一槓桿作用表面，該槓桿作用表面位於 該接頭第一側邊且與該第一連桿耦合。 1 2.如申請專利範圍第1 1項所述之閥門裝置，其中上述 槓桿作用表面至少包含一水平式固定機構。 1 3 .如申請專利範圍第1項所述之閥門裝置，其中上述裝 置進一步包含一個以上之導軌，其中該門與該導軌滑 移耦合，使該門可沿著該導軌往上及向下滑移。 1 4.如申請專利範圍第1項所述之閥門裝置，其中上述裝 置進一步包含一單一滾珠軸承，該單一滾珠軸承與該 門耦合，其中該第二連桿依藉該單一滾珠軸承與該門 搞合。 1 5.如申請專利範圍第1項所述之閥門裝置，其中上述裝 置進一步包含一止動器，該止動器用以限制該門於第 一方向移動。 1 6.如申請專利範圍第1 5項所述之閥門裝置，其中上述 止動器至少包含一垂直止動器，該垂直止動器用以限 制該門於垂直方向移動。 第20頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ♦裝 n m n ^ ^ fl m fl·— an n 11 Bale n _ 言 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 530321 A8 B8 C8 D8 六 申請專利範圍 1 7. —種閥門裝置，該裝置至少包含： ’ 一門，該門具有一密閉表面用以封閉一開孔； 一連結機構，該連結機構與該門耦合，該連結機 構至少包含： 一第一連桿； 一第二連桿；及 一接頭，該接頭與該第一連桿及該第二連桿 進行旋轉耦合，致使該第一連桿從該接頭之一第一側 邊處延伸且該第二連桿從該接頭之一第二側邊處延 伸； 一垂直止動器，該垂直止動器用以限制該門於垂 直方向移動； 一槓桿作用表面，該槓桿作用表面位於該接頭第 一側邊上且-趙棒第一連桿耦合；及 '翼、、 一致動器該致動器與該連結機構隸合且用以移 動該連結機構 其中該連結%^係可將垂直致動作用轉換成該門 之水平方向的移 1 8. —種封閉一處理室中一開孔之方法，該方法至少包含 下列步驟： 藉由向上移動的方式提升一門之一封閉部位至一 欲封閉開孔之鄰近處； 接觸一垂直致動器； 第21頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----t---U----裝·-------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 530321 A8 B8 C8 D8 六>申請專利範圍 持續向上移動；及 4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 轉變持續向上之移動方式，使該門之該封閉部位 以水平方式移動而封閉該開孔。 19. 如申請專利範圍第18項所述之方法，其中上述藉由 轉變持續向上之移動方式而使該門之該封閉部位以水 平方式移動而封閉該開孔之步驟至少包含固鎖適當之 密閉表面處。 20. 如申請專利範圍第18項所述之方法，其中上述藉由 轉變持續向上之移動方式而使該門之該封閉部位以水 平方式移動而封閉該開孔之步驟至少包含移動一連結 機構於一收縮位置與一延伸位置之間，且其中該連結 機構之槓桿作用在該開孔對面之一表面上時會失效。 2 1.如申請專利範圍第1 9項所述之方法，其中上述固鎖 適當密閉表面處的步少包含移動一連結機構之一 延伸位置，其中該該機構之槓桿作用在該開孔對 面、之一表面上時會失效^ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

   22. —種真空處理室，該處理室至少包含： 該 一圍壁，該壁具有一開孔；及 一閥門裝置，如申請專利範圍第1項所述者 閥門裝置與該開孔耦合。 第22頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）