TW498480B - Checking device for substrate conveyer - Google Patents

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498480 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（1 ) 【技術領域】 本發明係操作有關液晶面板和半導體晶圓等的基板之 基板處理裝置，特別是相關使用於基板處理裝置内之基板 搬運機的動作精確度及為測量或檢查狀態之檢查裝置者。 【技術背景】 葉片式複處理室型半導體製造裝置係設有搬運室和配 置在其周邊的複數個處理室，以一貫的方式進行各半導體 製造處理。此類半導體製造裝置在通常以於搬運室内設晶 圓搬運機，對各處理室之半導體晶圓（以下簡稱「晶圓」） 搬入或搬出。 習知一般的晶圓搬運機係水平放置晶圓於細長平板狀 之平板’由機械臂組合所構成支撐此平板且做水平方向的 伸縮及回轉之連桿機構。 再者，為在無開放空氣的搬運室及處理室中搬入半導 體製造裝置内或搬出此處，於搬運室連接承載固定室。在 承載固定室内，放置複數片晶圓於上下方向具一定間隔的 容納晶盒。晶盒係以在稱為盒標計的位置組合裝置的晶盒 σ上支撐’以垂直方向上下移動。據此，對應晶盒内所要 的晶圓於晶圓搬運機的平板，可合併其位置，也可收入、 取出晶圓。 晶盒係至少開放一面的箱體，於相互對向的1對側板， 為了容納晶圓的溝槽而形成垂直方向一定間隔。各溝槽係 曰曰益載置於晶盒台上時，和晶盒台的表面平行形成，通常 是水平狀態。再者，上下的溝槽間之間隔係平板以水平方 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 > mb* I I « n i_i n n tmm§

498480 A7 _ 1 I mill" _ 五、發明說明（2 ) 向直線插入晶盒時，設定容納的晶圓沒有接觸平板，可容 納多個晶圓，比平板的最大厚度再大些許的程度。 晶圓搬運機的平板與晶盒的溝槽，應與盒標計的晶圓 盒表面呈水平，即使非完全水平，兩者也應相互平行。但 是’依裝置的製造誤差及組裝誤差，存有妨害兩者間平行 度的情形。為此’以習知方法’需定期或必要地在容許範 圍内，進行晶圓盒表面和晶圓搬運機的平板間之平行度的 調整校準作業。 然而，習知校準作業係依據目視而造成大誤差，有無 法正確進行的問題。於晶盒台的表面對應的平板平行度產 生誤差的情形係因為晶盒的上下的溝槽間較狹小，晶圓取 出及容納時有故障的危險。 此外，依據晶圓搬運機的組裝狀態和經長期間的使 用，平板產生下垂的狀態（往頂端下方的彎曲），也有在直 線的移動時產生上下移動和左右榣擺（總稱「搖擺」）的狀 況。此類的「下垂」、「搖擺」在過大的情形，例如為取 出晶圓，平板插入晶盒時，發生平板的頂端與晶圓接觸等 弊害。為此，進行定期的檢查、判定晶圓搬運機的健全狀 態，在判定為不良的狀況，進行調整及更換零件等維修工 程，但在習知情形，此定期檢查也是以目視進行，因此存 在無法進行正確判定的問題。 相關的問題不限於設置晶圓搬運機的複處理室型半導 體製造裝置，在平·板上運載液晶面板等基板之其他的基板 處理裝置用的基板搬運機也存在同樣問題。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公董) ^ ~ irL-----丨·-裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----訂------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 498480 A7 B7 五、發明說明（3) 本發明係有鑑於上述情形而產生，其目的為提供一種 能夠正確測定基板搬運機的平板之動作精確度及狀態，正 確檢查基板搬運機健全狀態之檢查裝置。 【解決課題手段】 為達成上述目的，本發明係提供一種在複處理室型半 導體製造裝置的基板處理裝置内，在施行於具有供載置基 板且可進行實際水平移動之平板的基板搬運機的檢查之檢 查裝置内，設置可測量基板處理裝置内的實際地水平基準 面’和移動於該基準面上方之平板間垂直方向距離的非接 觸式距離檢測者。 此結構係可用距離檢測對預定的基準面之平板垂直方 向位置進行測定，因此可以檢查平板的下垂與搖擺狀態。 再者，距離檢測係裝設於保持器上，而該保持器係載 置於該基準面上較理想。據此，本檢查裝置可在基板處理 中從基板處理裝置拆卸，不必對基板處理裝置進行改造等 工程。 距離檢測於沿平板直線進行特定之軌道上，至少並設2 個以上的情形，可確認平板的上下移動。此外，距離檢測 於沿平板直線進行特定之軌道上，至少以2列並設3個的情 形，可看見左右的搖擺和平板的彎曲度。 還有，根據本發明的檢查裝置係設置顯示依距離檢測 所測量的距離數據之顯示手段較好。 此外，根據本發明的檢查裝置係如設有檢查平板水平 方向位置之平板位置檢查手段，基於其資料和依該距離檢 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公爱^7 Π------^裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨丨—訂-------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 498480 A7 B7 五、發明說明（4) 測所測量的距離數據，可以自動判定基板搬運機的狀態。 [------,_裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明作為應用可能之基板處理裝置係如上述之複處 理室型半導體製造裝置，即為基板搬運機的搬送室、連接 該搬送室並處理屬於該基板之半導體晶圓的處理室、連接 該搬運室並設有容納複數片半導體晶圓之晶盒的承載固定 室。在此類型複處理室型半導體製造裝置的情形，該基準 面則為裝設於該承載固定室之盒標計之晶盒台上表面較 妤。 本發明的上述目的及其他的特徵與優點，請參照附圖 並閱讀以下的詳細說明，該業者應可明白了解。 【圖式簡單說明】 第一圖係依據本發明的檢查裝置可應用的半導體製造裝置 之概略示意圖。 第二圖係第一圖的半導體製造裝置的控制系之區域示意 圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第三圖係以一個本發明的檢查裝置的檢查對象，概略的表 示盒標計的結構之立體示意圖β 第四圖係依據本發明的檢查裝置的一實施態樣之斜視示意 圖。 第五圖係第四圖的檢查裝置之底面圖。 第六圖係基於由距離檢測數據之平板直線前進時的平板上 下移動之示意圖。 第七圖係基於由各距離檢測數據之平板直線前進時的平板 左右搖擺之示意圖。 ________$--- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 498480 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（5) 【發明實施較佳態樣】 以下，根據附圖，對本發明之理想實施態樣進行詳細 說明。 第一圖係依據本發明的檢查裝置可應用的半導體製造 裝置之示意圖。此半導體製造裝置係為葉片式複處理室 型。在第一圖中，符號10係鋁製主機體，形成搬運室12於 其内部。在搬運室12係連接至少一個，於圖示實施態樣係 兩個承載固定室14、16。承載固定室14、16係半導體晶圓W 的搬運之起點或終點，容納複數枚的晶圓W於上下方向具一 定間隔的晶盒18，構成可從承載固定門20通往外部放置的 情形（在第一圖中，晶盒18係僅放置於室16内）。再者，在 搬運室12的周圍，連接施行濺鍍和CVD等成膜處理之處理室 22。另外，各室22、14、16與搬運室12之間係連結開口部 24(僅示於室14 · 16)，各開口部24係依狹閥門開關，保持 各室内的特定真空度。 室間的晶圓搬運係以設於搬運室12内的晶圓搬運機26 進行。晶圓搬運機26係設置在設於搬運室12的中心之支持 管28的水平方向所裝備可回轉且伸縮的機械臂組合30。機 械臂組合30係由在支持管28的外周上設置可回轉的一對原 動臂32、34，與對應原動臂32、34的頂端支撐的一對從動 臂36、38，與各從動臂36、38的頂端支撐的平板支持平板 40所構成。平板支持平板40係支撐晶圓W水平載置的平板狀 平板42。在此類型結構中，原動臂32、34以相互接近的方 向回轉，平板42由支持管28的離去方向進行水平移動，相 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ----訂--- # 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 498480 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（6) 反的原動臂32、34以相互離去的方向回轉，平板42則接近 支持管28。再者，原動臂32、34以同一方向動作時，平板 42則以支持音28為中心回轉。依進行此類操作，平板42可 插入在搬運室12的周圍所配置的任一個室14、16、22 ,可 進行晶圓W的出入。 原動臂32、34的回轉係依設於支持管28内的步進馬達 (第一圖無表示）進行。步進馬達係關於原動臂32、34的種 種所没，如第二圖所示，各步進馬達46、48係對應由控制 裝置50的脈衝控制信號而回轉回轉軸，相對應的原動臂 32、34經磁輕合進行回轉。連接於各步進馬達46、48的回 轉軸之旋轉編碼器52、54，由此編碼器52、54產生的輸出 信號係輸入於為進行反饋控制的控制裝置5〇。 在此，控制裝置50係擔任半導體製造裝置全體的系統 控制，基本上由輸入部56、輸出部58、中央處裡器60及記 憶部62所構成。步進馬達46、48係連接於控制裝置5〇的輸 出部58 ’旋轉編碼器52、54係連接於輸入部56。此外，輸 入部56係為輸入傳送内容的決定與開始、終了的操作命令 等，連接於開關和鍵盤等輸入機器64，輸出部58連接監控 器66及警報器68等。 再者’在各承載固定室14、16内，如第三圖概略的表 示，配置承載晶盒18 (參照第一圖）且上下移動的盒標計 70 ^此盒標計70係由垂直方向延伸的升降軸72，及與此升 降軸72平行延伸且和升降軸72為一體的螺母零件74螺合的 傳遞螺絲76，及回轉於傳遞螺絲76的步進馬達78，及固定 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 --丨丨訂·丨丨丨--— -- 498480 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（7 於升降軸72上方，為載置晶盒18的晶盒台8〇為主所構成。 控制步進馬達78，回轉傳遞螺絲76的正反任一亨向，升降 軸72以及晶盒台80即上昇或下降。據此，載置於晶金台⑽ 上的晶盒18内的各晶圓w可選擇移載位置，即可配置晶圓搬 運機26的平板42之變化位置高度。 步進馬達78係與在晶圓搬運機26的步進馬達46、48 — 樣’連接於控制裝置50的輸出部58。另外，裝設在步進馬 達78的回轉軸之旋轉編碼器82係連接於控制裝置5〇的輸入 部56，以進行反饋控制。 在晶盒台80的上面，為進行晶盒is的位置決定而形成H 形的溝84，以在晶盒18的底面形成的η形突起進行嵌合。再 者’晶盒18雖無圖示，但眾所皆知的，在相對的側板之内 面，具在上下方向以一定間隔形成的溝槽，可插入一枚晶 圓W於各成對的溝槽中。 在此類型結構的半導體製造裝置中為檢查晶圓搬運機 26，依據本發明之檢查裝置86係設置在承載固定室14、16 内的晶盒台80。還有，於第一圖中，表示設置在單方承載 固定室14内的狀態。如第四圖和第五圖所示，此檢查裝置 86係設置數個距離檢測S(為明瞭化，添加字al、a2、a3、 bl、b2、b3)，與保持此距離檢測S的保持器88。保持器88 係具備有，下板88a、與對下板88a平行配置的上板88]3、與 和下板88a及上板88b連結且相互對向的一對側板88c、 8 8 d ’此保持器8 8的殘餘相互對向的一對側板部份為開口狀 態0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閱 讀 背 © 之 注 意 事 S·丨 填零·5裝 i I I I I 翁訂 # 498480 A7 __ B7 五、發明說明（8) 下板88a的底面面積及形狀和晶盒18的底面面積及形 狀近似’可載置保持器88於晶盒台80的上面。載置保持器 88於晶盒台80的情形係，下板88a的下面與晶盒台80的上面 平行。再者，在晶盒台80上的保持器88係以特定的位置及 方向’對晶盒台80的Η形溝84合適地形成嵌合的突起 90a〜90c於下板88a(參照第五圖）。此外，晶盒台80的η形溝 84係根據機種而尺寸不同，如第五圖所示，突起9〇b、9〇c 可限在保持器内，最好在下板88a設置多數的保持器穴92 , 可對應各式各樣的Η形溝84。 配置保持器88在晶盒台80的上面的特定位置時，保持 器88的一面開口 94係正對與搬運室12間的開口部24，另一 開口 96係正對承載固定室門20。因此，可從開口 94插入平 板42。在此，稱開口 94為前部開口，另一開口 96則為後部 開口。 距離檢測S係裝設於保持器88上板88b的底面。此距離 檢測S係非接觸式，測量插入在保持器88内的平板42與保持 器83的下板88a間之距離。在本實施態樣，距離檢測s係雷 射式，安裝於保持器的上板88b，由照明零件射出的雷射離 子實際地以直角入射於保持器88的下板88a。 雖然考慮種種距離檢測S的安裝位置，但如以第五圖所 示，以2列並設3個的地點Pal〜Pa3、pbl〜pb3為測量點安裝最 為適當。配置保持器88在晶盒台80上的特定位置時，連繫 測量點Pal〜Pa3及測量點Pbl〜Pb3的各直線係，與晶圓搬運機 26的平板42插入保持裔88内時的平板直線方向平行，相互 本紙張尺度適用_國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ~ — 卜 ------.·!裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 498480 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（9) 對稱地配置。再者，連繫測量點pal和pbl、測量點匕2和pb2 以及測量點Pa3和Pb3的各直線係，對該平板直線方向直交的 方向延伸。 在圖示實施態樣中，距離檢測S係連接與保持器88分別 準備的控制器組合98。控制器組合98係具有由連接的6個距 離檢測S中’任意選擇2個距離檢測S的檢測切換開關1Q0 , 由選擇的距離檢測S之照明零件的離子射出的操控，與從該 距離檢測S的照明零件射出的信號處理，可由據此信號處理 得到距離數據的數位顯示器102進行顯示。距離顯示係以了 板88a的上面為基準，顯示橫越從選擇的距離檢測s的雷射 離子之平板42的上面與保持器下板88a的上面之間的距 離。此外，保持器88係裝設於晶盒台80時，保持器下板88a 的上面與晶盒台80的上面為平行，該距離係表示以晶盒台 80的上面為基準面的距離。 其次，說明關於以前述的檢查裝置86，檢查平板42的 靜止狀態及動作狀態於晶圓搬運機2 6之檢查方法。 首先’開啟單方承載固定室14的承載固定門2〇,載置 檢查裝置86的保持器88於晶盒台80上面，決定位置於喪合 保持器88底面之突起90 a〜90c在晶盒台80上的溝84。之後， 控制盒標計70的驅動用步進馬達78，上下移動晶盒台8〇 , 保持器88的前部開口 94係配置高度位置於搬運室12與承載 固疋至14之間的開口部2 4之正面。自然，其位置係在晶圓 搬運機26的平板42插入保持器88内時，不接觸檢杳裝置86 之任一構成要素的位置❶ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -10 - —rill·----1 —Αν ^--------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 498480 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（10 ) 此後，或之前，進行各距離檢測s的原點調整。此係數 位顯示為「〇mm」作為無插入平板42時的距離資料之作業。 此類型原點調整係對不吻合距離檢測S的位置，特別是如下 述的可對保持益8 8拆卸之距離檢測§，在必要時應變更裝置 位置的情形所造成的位置不吻合為重要。原點調整係例 如，按下設於控制器組合98的裝置開關1〇4即可進行。 距離檢測S的原點調整之後，開啟開口部24的狹閥門， 以控制裝置50控制晶圓搬運機26的驅動用步進馬達46、 48，1對原動臂32、34以同方向回轉，使平板42正對開口部 24。而後，原動臂32、34以相互接近的方向回轉來控制步 進馬達46、48，平板42從搬運室12通過狹閥門而插入保持 器88的前部開口 94。此時平板42的位置係依據特定提供給 步進馬達46、48之脈衝信號的脈衝數，所費之脈衝數係顯 示於連接在控制裝置50的監控器66。 提供特定脈衝數給步進馬達46、48 ,平板42左右的頂 端若裝設在保持器前部開口 94旁的距離檢測sal、Sbl的正下 方’則由該距離檢測Sai、Sbl的輸出係顯示切換控制器組合 98的檢測切換開關1〇〇，讀取顯示於數位顯示器1〇2的數 據，同時記錄輸入脈衝數。其次，輸入特定脈衝數的脈衝 於步進馬達46、48，平板42僅直線進行，而後停止，記錄 再度由該距離檢測Sal、Sbl的輸出值及平板停止時的輸入脈 衝數。依序反覆進行此步驟，平板42的頂端若裝設在中間 的距離檢測Sa2、Sb2的正下方，由中間的距離檢測Sa2、Sb2 的輸出值也顯示，操作可記錄之檢測切換開關100。之後， 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事

項fk I I I I I I I 訂 # 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 498480 A7 B7 五、發明說明（11 ) 以同樣的順序反覆進行，最後平板42移動至承載固定室14 的承載固定門20的附近，若裝設於保持器後部開口 96旁的 距離檢測Su、Sm的正下方，也讀取此距離檢測sa3、Sb3的 距離數據。另外，此平板42的舉動也可由保持器88的後部 開口 96的作業員進行目視。 例如，下表係表示在承載固定室14設置檢查裝置86， 一面間歇性的移動平板42，一面以一邊距離檢測sal〜Sa3所 得到的距離數據。此外，第六圖係表示基於此第一表的平 板42的移動軌跡之圖表。 第一表 平板位置 脈衝數 保持器下板與平板間距離 (mm ) Sal Sa2 Sa3 1 10770 6.35 0 0 2 11000 6.29 0 0 3 12000 6.40 0 0 4 13000 6.45 0 0 5 14000 6.39 0 0 6 15000 6.40 6.39 0 7 16000 6.42 6.33 0 8 17000 6.28 6.44 0 9 18000 6.34 6.48 0 10 19000 6.39 6.54 0 11 20000 6.35 6.46 0 12 20710 6.39 6.38 6.36 % 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 由此第一表及第六圖可了解，測量值並非為直線。此 因平板42在水平移動時於上下方向搖擺。對此搖擺（振幅） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -------. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 498480 A7 — B7 五、發明說明（12) 大小，須採取晶圓搬送機26的保養及更換零件等措施。 此外’脈衝數在20710的距離檢測Sal及距離檢測Sa3之測 量值差距係表示，對應保持器下板88a的上面之平板42靜止 時的傾斜度。保持器下板88a的上面係和晶盒台80的上面平 行，所以此差距係以晶盒台80的上面作為基準面之平板42 的傾斜度。傾斜度在超過容許範圍時，有必要進行晶圓搬 送機26及盒標計70的晶盒台80之校準、保養及更換零件等 措施。再者，由脈衝數在20710的距離檢測Sal〜Sa3的測量 值，可得知平板42的彎度或曲度之狀態。 而後，以下的第二表係在保持器前部開口 94面的距離檢 測Sal、Sbl所得到的距離數據，第七圖係表示基於此第二表 的平板42的搖擺狀態之圖表。 第二表 保持is下板與平板 平板位置 脈衝數 (mm ) Sal 1 10770 6.35 — 6.29 2 11000 6.29 6.24 3 12000 6.40’ — 6,30 4 13000 6.45 — 6.32 5 14000 6.391 - 6.32 6 15000 6.40 - 6.34 7 16000 6.42 - 6.30 8 17000 6.28 6.31 9 18000 6.34 6.30 10 19000 6.39 6.33 11 20000 6.35 — 6.39 12 207101； 1 6.39 6.40 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13· .丨卜丨」 丨丨·裝 (請先閱讀背面之注意事項#'填寫本頁) ----訂-------- A7

五、發明說明（l3 ) 由此第二表及第七圖，可了解平板42在前進時產生的 左右搖擺情況。此情形也是對此搖擺（振幅）大小，須採取 晶圓搬送機26的保養等措施。此外，在各脈衝數位置的距 離檢測sal、sbl之測量值差距係表示，對應保持器下板88a 的上面，即是晶盒台80的上面之平板42的傾斜度。此情形 和上述不同，係與平板進行方向的直交方向傾斜度。此差 距也是訂定校準及保養的時機。 自然，進行校準作業及更換零件作業等時，以此檢查 裝置86可正確地確認作業後的平行度或傾斜度及平板的下 垂、搖擺等狀況® 以上的作業最好必須按照晶盒台8〇的上下位置而進行 適當變更。據此，可檢查盒標計70的健全性。此外，對另 一承載固疋室16内的盒標計70也同樣，進行檢查且設置檢 查裝置86的步驟。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述實施態樣，一面監控控制半導體裝置的控制裝 置50的監控器66，一面進行間歇性移動平板42的作業，如 第二圖所示，輸入由控制器組合98至各距離檢測s的信號到 控制裝置50，可自動判定在控制裝置50的晶圓搬送機26之 平板狀態。即是，在控制裝置50中，為管理動作於平板42 的脈衝信號，在收到由控制器組合98至各距離檢測S的距離 資料時，可自動製成該第一表、第二表，求出平板42的傾 斜度和下垂、搖擺的大小，可判斷其是否於容許範圍内。 而且，不須間歇性的移動平板42即能收集大致連續的資 料，因此可正確測量平板42的舉動。在控制裝置50，依據 本紙張尺i適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐） ； -- • 14- 498480 A7

五、發明說明（14 ) 適當的程式，在監控器66顯示類仞 ’似判定結果及第六圖及第 七圖的圖表，可用三次元的圖表 1 I 〇 Λ ^ 許範圍外的動作情形係，可發動警報器⑼。此外，提供特 定的脈衝數時，由距離檢測S的信號可判斷平板似否在應 有的位置上，因此也可檢測步進 ,〇 ^ ^ ^ /逆馬達46、48的異常’例如 脫離等情形。 如此，於控制裝置50係可具有檢查出+板伽水平方 向位置之平板位置檢查方法，與基於依距離檢測3測量的距 離數據及平板位置檢查方法所得的位置數據而判定搬運機 26的狀態的判定方法之機能。 以上，雖對本發明之較佳實施態樣進行詳細說明，惟 本發明係不限於該實施態樣。例如，在該實施態樣中，雖 安裝β個距離檢測S於保持器88，但距離檢測s在7個以上亦 可’只用2個或3個、變更位置也可以。例如，若僅檢查平 板4 2的下垂狀況’僅須距離檢測$ a ^、S a 3即可，若檢查左右 的搖擺狀況，僅須距離檢測sal、sbl即可。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此外，依距離檢測S所得的距離數據的顯示方法亦不限 於數位顯示器10'2，顯示於連接在控制器組合98的示波計與 個人電腦的CRT亦可。用個人電腦的情形係可輸入由半導體 製造裝置的控制裝置50提供給步進馬達46、48之脈衝信號 的相關資料至個人電腦内，可於個人電腦進行如該圖表之 表示及自動判定。 再者，本發明之適用對象係不限於在半導體製造裝置 的晶圓搬運機，於平板上載置及搬運基板的基板搬運機也 -15- 本紙張尺度適用尹國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 498480 A7

五、發明說明（15 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 可適用，例如為檢查在液晶顯示器製造裝置的液晶顯示器 搬運機也可適用。 還有，保持器88的形狀係於該實施態樣以外，也有多 種考量，例如下板88a無逆U字形亦可。在該實施態樣，雖 測量對保持器的下板88a之距離及間接地測量對晶盒台8〇 上面的平行度等’但在具有去除下板88a的逆U字形之保持 器的情形係可直接進行對晶盒台8〇上面的平行度等之檢 查。 再者’為見平板42的平行度等的基準面係得以按基板 處理裝置的形態做適宜變更。 【產業上可利用性】 如以上所述’若依據本發明係可正確檢查與把握基板 (晶圓）搬運機的平板的靜止狀態和動作狀態，及更進一步 的裝置之健全性。從而，可高密度地進行如盒標計和機械 平板的校準（平行度調整）。此外，不必花費無謂的時間在 是否需要保養裝置的判斷上，可抑制最低限度的裝置之停 止時間，也有助於運轉率的提高。 據此，也對為半導體製造等的基板處理的效率提高有 所貢獻。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -16- —U----1------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 1β種基板搬運機之檢查裝置，係對具有供載置基板且可 進行實際水平移動之平板的基板搬運機進行檢查的檢查 裝置，其特徵在於： 具有距離檢測者；而該距離檢測係具備可測量實際 上水平基準面，與移動於此基準面上方的該平板之間垂 直方向距離的非接觸式距離檢測者。 2·如申請專利範圍第1項所述基板搬運機之檢查裝置，其 中，該距離檢測係裝設於保持器上；而該保持器係載置 於該基準面上，且使該平板進行出入動作者。 3.如申請專利範圍第2項所述基板搬運機之檢查裝置，其 中，該保持器係具備有載置於該基準面上的下板、與對 該下板具特定間隔平行配置的上板、與連結該下板及該 上板且相互對向的一對侧板；而該距離檢測則安裝於該 上板的底面者。 4·如申請專利範圍第1項所述基板搬運機之檢查裝置，其 中，該距離檢測係沿該平板直線進行特定之軌道上，至 少並設2個以上者。 5.如申請專利範圍第1項所述基板搬運機之檢查裝置，其 中，該距離檢測係沿該平板直線進行特定之軌道上，至 少以2列並設3個者。 , 6·如申請專利範圍第1項所述基板搬運機之檢查裝置，更 進一步設置有顯示手段者，俾供顯示依距離檢測所測量 的距離資料。 7·如申請專利範圍第1項所述基板搬運機之檢查裝置，更 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) « 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- 498480 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 進一步具備有： 檢查出該平板水平方向位置的平板位置檢查手段； 與 基於依該距離檢測所測量的距離數據及依該平板位 置檢查手段所獲得之位置數據，而判斷該基板搬運機之 狀態的判斷手段。 8·如申請專利範圍第1項所述基板搬運機的檢查裝置，其 中’該基準面係該基板搬運機之該平板進行出入的基板 處理裝置内之一面者。 9·如申請專利範圍第8項所述基板搬運機之檢查裝置，其 中，該基板處理裝置係一種複處理室型半導體製造裝 置，而該複處理室型半導體製造裝置係具備有設置於該 基板搬運機的搬運室、連接該搬運室並處理屬該基板之 半導體晶圓的處理室、連接該搬運室並設有容納複數片 半導體晶圓之晶盒的承載固定室；而該基準面則為裝設 於該承載固定室之盒標計之晶盒台上表面者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ 裝 ----訂---------線« 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑵Q χ 297公爱 -18-