TW495614B - Testing device and testing method and cell thereof - Google Patents

Description

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技術領域 本务明係有關於電路基板之導電 技術背_t T电iSJ案的&查 項要針對=路基板時，當在基板上實施完導電 查方法，已知有讓端以；Ϊ; -端側的二：的端子將電氣信號供給到導電圖 ^ n,, I則接受該電氣信號，藉此進行導 通j f的接觸式的檢查方法。 逐導電圖案的高密度化’而 使用端子，各導電圖案，因此乃提出- _沪θ i s不與導電圖案發生接觸的情形 七號的非接觸式的檢查方法。 該非接觸式的檢查方法 配置在成為檢查味"寻與绔電圖案 侧配置一可以' v電圖案的—端侧外， (―)，之後方式來接近導電圖案的 供认到# ; 則精由將可隨著時間而變化 仏…到柒子，而檢測經由二 電電容而出現在感測哭1f =電圖案與感測 斷線等的情形。^ 、叩、電乳^ #b，而來檢查 因由Γ只需要使端子接觸於導電圖宰 但是以往的非；：、=電圖案的優點。 圖案後，必 路。 圖案的兩端 案，而從另 電圖案的導 很難將端子 在接受側不 下接受電氣 接觸的端子 也在另一端 感測器 的電氣信號 器之間的靜 導電圖案的 的一端側， 觸-端側，因此不心、檢查方法’由於必須 不此夠元全以非接觸方式來進 要讓端子接 行檢查，而

495614 五、發明說明（2) 對於導電圖案的高密度化更加進行八 範園會有極限的顧慮。 7而言’則有適用 又，一般而言，在導電圖案的一 子接觸的墊（pad)，而設置原本不需 ' <、要設置一讓端 提高安裝密度。 、墊，反而有礙於 、因此，本發明的目的在於提供_種可r a 式來檢查導電圖案的檢查裝置及二=完全以非接觸方 _之揭示 杈查方法、檢查單元。 根據本發明，提供一檢查裝置，复 ^ 觸方式來檢查電路基板之導電圖案^ = ^十對-以非接 於： 〜展置’其特徵在 備有：互相隔離被被置之多個具 將隨時間變化的檢查信號供給到上 :，的單元、用以 巧理在上述單元所出現之輸出信號的；：2:機構、用 述早7L個別地連接到上述供給機械構、將各上 機；手：及二：r]上述切換機構的控=機構的切換 忒手羧，猎由使上述單元接近於再 ”合。'此，當將上述檢查信號：：到：得兩者 早凡％，則會對應於該檢查信號，在個的上述 更L’义：Γ…單元也會出現信號(:出π 在此，錯由上述切換機構，將夂 Ώ七旒）。 上…機構或上述處理機構，；此: 而元全在非接觸的情形下進行導電圖案的檢杳冑'而子’ 又’根據本發明，提供一檢查單元：其主；針對—以非

\\312\2d-code\90-04\90102458.ptd 第5頁 五、發明說明（3) Ϊ:方式來檢查電路基板之導電圖案的檢查單元，其特徵 入針對上述1目隔離破配置之多個具有導電性的單元、被輸 述單元之作=之撿查信號的輸入端子、用以輸出來自上 制信號的』u出端子、被輸入用來選擇上述單元之控 單元個別地連接而=、以及根據上述控制信號，可將各上述 構。 1上述輸入端子或上述輪入端子的切換機 該手段，山At 的電容結合。9由使上述單元接近於導電圖案，而使得兩者 單元時，°二合因此，當將上述檢查信號供給到一個的上述 更者，連才^對應於該檢查信號，在導電圖案出現信號， 在此，#其他的上述單元也會出現信號（輸出信號）。 上述供給:彳切換機構，將各上述單元個別地連接到 而完全在非接^ 2處理機構’藉此，可以不使用端子’ 又，舻姑接觸的^形下進行導電圖案的檢查。 接觸方^來i ΐ明提供一檢查方法，其主要是針對一以非 在於··松查電路基板之導電圖案的檢查方法，其特徵 案來配置:勺：：電:生的單元互相隔離，而沿著上述導電圖 少一個的卜^ ^:隨著時間而變化的檢查信號供給到至 號、而經由：：：：：、用以檢測藉由供給上述檢查信 號的步,驟、j^根據:=現☆其他之上述單元之輸出信 電圖案的步驟。χ欢出的上述輸出信號來檢查上述導

丄"+ 五、發明說明（4) 口亥手^又’藉由沿著導電圖案配置上 的電容結☆。因此’藉由將上述檢查二:二，兩者 述單兀，卩將檢查信號供給到導電圖^紅、，、5到—個的上 查信號，在導電圖案出現信號，更了、。又，對應於該檢 元也會出現信號(輸出信號），藉此，可=二：：=上述單 因此，能夠不使用端子，而完全以非：：：：案。 圖案。 μ要觸方式來檢查導電 之最佳形熊 圖1為表示與檢查電路基板1〇〇之導 實施形態相關之檢查褒置A之構成圓; 元1之構成的圖。 圖2為表不檢查單 《檢查裝置A的構成》 元1的備有^ ^查單兀丨、將檢查信號供給到檢查單 =2 從處理單元1所送出之輸出信號的''處 浐ΐ r，士以及根據榀查單兀1的控制及來自處理電路3的 輸出^虎來判定電路基板100的導電圖案有無發生斷線、 短路等的電腦4。 檢查單7L 1備有··互相隔離被配置的多個的單元丨丨、被 輸=來自信號源2之檢查信號的輸入端子丨2、用以輸出來 自單元11之輸出指號的輸出端子、被輸入來自電腦4之 控制信號的控制端子1 4、連接到GND的GND端子丨5、以及用 以切換各單元11與輸入端子12、輸出端子13*GND端子15 之間之連接的切換電路1 6。 才欢查單元1，則如使單元11露出的面面向電路基板丨〇 〇之

\\312\2d-code\90-04\90102458.ptd 第7頁 ^014 五、發明說明（5) ‘電圖案被配置而使用，單元丨丨與導電圖案的間隔最好大 約在0.、05mm到〇· 5關的範圍内。此外，圖j的電路基板1〇〇 ，雖然只是在單面設置導電圖案，但是當在兩面皆設置時 ’則可以使用2個檢查單元丨，而如夾住電路基板般地 加以檢查。 榀查裝置A，如之後說明其原理般地，藉由將檢查信 供給到某個單元11，除了在導電圖案上會產生電氣信號外 ，也根據因為在該導電圖案上的電氣信號而在其他的單元 11所出現的信號（以下稱為輸出信號）來檢查其導電圖案。 々在檢查單元1中，各單元11係由具有導電性的材料所構 。：：其材料可以是鋁、銅等的金屬或半導體等。又，檢查 早兀1，可配合電路基板丨〇 〇的形狀，將各單元丨1配置 面亦或立體。 卞 各単1的形狀，如圖2所示，最好全部的形狀皆統一 2此疋口為將檢查信號供給到導電圖案以及接受在導電 圖案所出，之信號必須在各單元丨丨中一致地進行。 而丨5丄ΐ s 511 ’如圖2所示’最好是分別在行方向以及 列方向寻間隔地各設詈8個姓 置8個以構成矩陣。如此一來，除了 可以減低在面向導雷圖崇夕久 冰 Κ ^ 电α荼之σ早位面積的單元數目的變動 外’也可以使得在各單 #，π 0 1~ 間之相對的位置關係變得清 ί所：ίί;出各單元11的位置來。但是，也可以對應 於所才双查之電路基板的形狀聲 仏杰π ― η , 板0仏狀4如圖3所示，只配置1列ο 才双查早7L 1 1，雖鈇單元]1的 I方# 1日Η h 總數為64個，但是此為為了 要方便5兄明本貫施形態而定 現 上，可以在5至5mm對角

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的範圍内配置20萬到200萬的單元。如 开1 1的士 ， 如此一來，在設定罩 兀U的大小、間隔等，為了要實現 曰早 設定成針對導雷R安&岭# 勺才双查，隶好是 小、間隔 見大概可以包含2個單元的大 器等所構成。圖4 、切換電路1 6可以例如由多工器、解 為切換電路1 6的内部方塊圖。 =電路16 ’則對應於來自電腦4的控制信號，將各單 =T別地連接到輸人端子12、冑出端子13^nd端子Η 刀：：Γ以下’則將單元U連接到輸入端子12稱之$

心、U、電」，而將連接到輸出端子1 3稱之為「切換4 文電」。 一 貝施形態中，由於只設置一個輸出端子1 3，而將連 接到輸士端子13的單元U限定成i個，但是也可以以各單 元11為單位設置輸出端子1 3，而可以從多個的元11 取得信號。 $ a此外，之所以要將各單元11連接到G N D端子1 5則是因為 當從任何一個的單元11取得輸出信號時為了要提高其S/N 比之故。而即使未連接到G n D端子1 5也可以得到足夠的s / n 比時’則可以不設置GND端子1 5，而只將各單元丨丨設成開 放（open) | i也力口以十刀才奐〇 仏號源2係用來經常產生交流信號、脈衝信號等之會隨 著日守間而變化的檢查信號，在本實施形態中，則為電壓會 王週期性地變化的電氣信號。檢查信號的電壓變化的週期 最好例如是5 0 0kHz到1 0MHz。此外，在本實施形態中，雖

五、發明說明（7) 然是-將信號源2設成獨立的構成， 電腦4產生檢查信號。 一也可以構成為^ 處理電路3則是為了要使來自各 ‘、、、從 在電腦4中被處理而進行信號處理兀=輪出信號容易 輸出信號放大的增幅器3a，至於1 乂所示，備有將 路、A/D轉換器等。 /、1 則可以設置濾波電 電月“除了將控制信號送出到切換電 將那一個單元11連接到那一個端子（12、丨，而設定要 ΪΪ來自各單元U的輸出信號等來判定導電圖 15宰I益也會 斷線、短路、或是短缺。 电圈案有無發生 更者，電腦4 ’則具有可根據來自各單元"的輸 ::將作為檢查對象的導電圖案的晝：:旒 的功能。 a ”、、貝不為4 a上 《檢查的基本原理》 圖5為表示檢查之基本原理的圖。 成ί圖5中\單元Ua被切換成供電，而單元nb則被切換 文電。在單元lla與位在其正下方之電路基板100上之導 二圖案1 0 1、之間，由於是以空氣、或檢查環境的氣體作為 二電，而被電容結合，因此，當從信號源2將檢查信號輸 入到單元1 1 a時，則根據該檢查信號之電壓的變化，會在 導電圖案1 0 1產生電流。 人另一方面’由於單元llb與導電圖案1〇ι之間也被電容結 合’因此’流到導電圖案丨〇1的電流也會流入單元丨丨b(輸 出信號）。 495614 五 、發明說明（8) 強：外可：ΓίΠΓ言號的強度(例如其電壓的振幅)的 《檢查方法;丨疋在導電圖案101是否產生斷線。 〈斷線檢查> 檢Ϊ1]Α對導電圖案進行斷線檢查來加以 (以虛線來表象广導電圖案101a以及1m 中，XI $ Η ”各早兀11之位置關係的圖。又，在圖6 標。以下二表用來特定任何-個單元"的座 中位在座標（X1、Υ1)的單元。 、1心未者在早兀11 當推測進行導電圖案101 =配置在導電圖_la上之單元心中百；擇；;:4 供電的一個或一群的單元u、以及切換成：：:刀換成 個的單元U。在選擇時，則儘可能地選擇位在=多 〇 1 a之兩端附近的單元n。該 0案 成供電的單元η與切換成受電之單元於切換 圖案l〇la的部分進行檢查。 門之項域的導電 選擇的結果，當將切換成供電者 將切換成受電者設成單元(X7、Y6)時成=2-、/2)’而 連接到輸入端子12，將單元（χ7、Υ6)連接到=Χ2、Υ2) 而將剩下來的單元"連結到GND端 别出端子13， 個;刀換成供電的單元_，雖然可以將該？同= ’但是當選擇多個切換成受電的單^ i時 =1切換 切換，而是依序地切換所選擇的單元丨丨。、5 %進行

五、發明說明（9)__ 於是，來自信號源2的柃 ，而在導電圖案101&產生R說信號被輸入到單元（X2、Y2) 產生輸出信號。所產斗電/泉，更者，則從單元（X 7、Y 6 ) 被送出到電腦4，電腦4則 出彳§號，則通過處理電路3而 發生斷線。 、根據輪出信號的強度來判斷是否 電腦4，則根據輸出信 為高或低，而來判斷導電^度較事先所設定的臨限值 圖7所示，若導電圖幸1〇 ° *1〇la是否發生斷線。例如如 單元（X7、Y6)之輸出俨/沾中途產生中斷時’由於來自 判斷為發生斷線土：二f度會相對地變低’因此可以 時，由於來自置-rY7圖所示，若導電圖案101a相連 高，因此可以判:為未=出: = = = ^ 二圖：來無發生斷線的臨限值’則事先利用虛 實驗來設定。χ據电生斷線與未發生斷線的情形進行預備 ，；夂，針對多個的導電圖案進行上述檢查 將各松查中之輸出信號的強度互相比對，與相對低者有 關的導電圖案判斷為斷線，而與高者有關之導電圖荦則判 斷為未發生斷線。 守电口木則判 《短路檢查》 “下丄查裝置"對導電圖案的短路檢查來加以 成月。虽針對圖6中之導電圖案1〇la與導電圖案⑺几之間 第12頁 \\312\2d-code\90-04\90102458.ptd 495614 五、發明說明（I〇) :首先，電腦會從被配置在導電圖_a 個或：m上的單元11之中來選擇切換成供電的-j j。 ο早凡1丨、與切換成受電之一個或多個的單元 ，ΐ ξ +的ΐ果，例如當將切換成供電者設成單元（χ2、γ2) 控制信f# ϊ Ϊ，1者Ϊ成單元（Χ2、Υ6)時，則電腦4會將 Υ2)連接儿至丨1^至1核查單兀1的切換電路16，而將單元（Χ2、 13，而將^水二 字早7^(Χ2、Y6)連接到輸出端子 遮夕 、下來的早元11連接到G N D端子1 5。士卜々卜，舍、g 夕個切換成供電的單元11時，雖麸可將，此’田& 換’但是當選擇多個切換成受電的些同時加以切 行切，而是依序來切換所選擇的=;;日；’則不同時進 於疋來自信號源2的檢查信號祐於 。此時，如圖8所示，當導電圖荦^輪^到單元⑴、Υ2) 生短路時，則電流會通過該些的、與導電圖案10113發 、γ6)產生輸出信號。所產生的^電圖案，而在單元（X2 路3而被送出到電腦4，電腦4則‘ H破，則通過處理電 斷是否發生短路。 \媒輸出信號的強度來判 電腦4，則與斷線檢查的情形 強度強事先所設定的臨限值高或低7 、根據輸出化號的 查中之輸出信號的強度進行比辦，—或與在其他之短路檢 101a與導電圖案101b之間是否發生來判斷在導電圖案 發生短路的情形，之所以會產生 ^。此外，即使在未 生斷線之圖案之間也被電容結合^故^號，則推測是連發

\\312\2d-code\90-04\90l02458.ptd 第13胃

495614 五、發明說明（12) 圖，1 0 1 a等與單元丨〇之大致上的位置關係，因此，選擇位 ，V電圖案1 〇 1 a上的多個的單元丨丨而同時切換成供電，且 選擇位在虛設導電圖案丨02上的多個的單元丨丨而依序切換 成=電。在圖10中，則將在被粗線所包圍之領域2〇1中的4 單元1 1切換成供電，而將在領域2 〇 2中之合計1 8個單元 Π依序切換成受電。 =是，來自信號源2的檢查信號被輸入到位在領域2〇 2中 ，早兀11，而在導電圖案l〇la以及1〇2產生電流，且從位 項域202中的各單元i j得到輸出信號。所產生的輸出信 就’則通過處理電路3被送出到電腦4。 電4貝丨根據輸出“號來辨識虛設導電圖案1 〇 2的位置 在而可以特疋出各單元1 1與導電圖案1 0 1 a及1 0 1 b的位置關 ^ % 電^4，則以來自各單元1 1的輸出信號當作晝素 晝像資料，且可將其顯示在顯示器4a上。圖11 :^的顯示例，各畫素30 0則分別對應於各單元11 囷安1〇?旦素（X8、Y8)以及晝素（X8、Y1)則表示虛設導電 二：：可此知時以 者來t^， 由電腦4來自動辨識，而是由檢查 者末k視那個晝素30 0對應於虛設 =可=以設置2個虛設導電圖二 =開可以辨識出〇方向的位置關係以及方向的位置關係 《斷線檢查》 以下’則針對檢查裝置A對導電圖案的短路檢查來加以

W312\2d-code\90-04\901〇24SR 第15頁 五、發明說明（13) 說明。 圖12為表示當檢查發生斷線的導電圖案1〇1&時，導電圖 案l〇la及101b與各單元η之位置關係的圖。此外，則賓略 了虛設導電圖案。 首先，電腦4會從被配置在導電圖案1〇1&上的單元η之 中選擇切換成供電的一個或一群的單元丨丨。在此，則設成 選擇單元（Χ2、Υ2)。接著，切換成受電的單元丨丨，則選擇 被配置在導電圖案l01a上及其邊界上的單元u。在此，則 選擇位在被粗線所包圍之領域2〇4中的單元n。 在作選擇而特定出單元1丨時，則當然可以根據由上述 〈導電圖案之座標檢測〉的處理所得到的導電圖案與單元 之位置關係的情報以及導電圖案資料來進行。 ，腦則^控制信號送出到檢測單元i的切換電路16， 广接到輸入端子12，將領域204中的單元 GND端子15妾到輸出端子13，而將剩下來的單元11連接到 於是，來自信號源2的檢查信號被輪 生電流，而從領域=各單』 丄:Λ: 所產生的輸出信號，則通過處理電 :被运出爿電腦4 ’電腦4則比對各輪 一貝枓，以所定的臨限值作為基準來 :、V ^ ΰ木 特定出其位置。臨限值當然可= = 生斷，以及 〈斷線檢查〉的情形同樣地來設^。^欢一方法1的 又’電腦4，則以輸出信號作為晝素信號，而產生表示 495614 五、發明說明（14) 所檢出之導電圖案的位置、形狀的晝像資料。在此，根據 上述臨限值將晝素信號予以2值化而產生晝像資料，且將 與邊晝像資料有關的晝像顯示在顯示器4 a上。圖1 3為表示 其顯示例的圖。 導電圖案1 0 1 a，如圖1 2所示，雖然是在單元（X 5、γ 4 )的、、 周邊發生斷線，然參照圖1 3的顯示例，可知晝像從晝素 0( 5、γ 4 )的周邊的部分發生中斷而斷線以及斷線的位置。 此外，雖然是針對將晝素信號予以2值化的情形加以說 明’但是當然也可以予以多值化。 〈短路檢查〉 以下’則針對檢查裝置A對導電圖案的短路檢查來加以 春 說明。 1 0 1 a時，導電圖 a上或導電圖案 個或一群的單元 著，切換成受電 上或導電圖案 為粗線所包圍之 ❿ 的切換電路1 6， 在領域20 5中的 來的單元1 1連接 圖14為表示當檢查發生斷線之導電圖案 案1 〇 1 a及1 〇 1 b與各單元11的位置關係的圖 首先，電腦4會從被配置在導電圖案ι〇1 l〇lb上的單元π之中選擇切換成供電的一 11。在此，則設成選擇單元（X2、γ2)。接 的單7L 11，則選擇被配置在導電圖案丨〇 i a 1 ◦ 1 b上的單元1 1。在此，則設成選擇位在 領域205中的單元1 j。 ，腦4，則將控制信號送出到檢查單元1 ^單元（X2、Y2)連接到輸入端子12，將位 單元11依序連接到輸出端子1 3，而將剩下 到G N D端子1 5。 495614 五、發明說明（15) 於是，來自信號源2的檢查信號被輪入到單元（χ2、^) :如圖電圖案1〇Ia與導電圖案_發生短路 Γ二貝111： id而從被配置在導電圖案i〇i b上的 各早元11依序產生輸出5虎。所居在 處理電路3被送出到電腦4，電腦4則比對1輸^言號^通過 電圖案資料，以所定的臨限值作& Λ " 路以及特定出其位置。值作為基準來判斷是否發生短 又，電腦4，則將輸出信號當作晝素信號， 所檢出之導電圖案的位4、形狀的晝素:不 像資料有關的晝像顯示在顯示器钧上。圖：：將亥畫 例的圖。 μ 〇為表不其顯示 導電圖案101a與導電圖案1〇1 單元…、⑸的周邊發生短路，因此 ' 是在 示例中，可知在與導電圖案1〇lb對應的領域2 =顯 路處之晝素（Χ5、γ4)的周邊的部分會出 及為电生短 路以及短路位置。 旦‘，而發生短 〈短缺檢查〉 說=了’則針對檢查裝置八對導電圖案的短路檢查來加以 所W的缺損係指導電圖案雖缺是連續，Η 部分缺漏的情形。 、 、仁疋在途中卻一 016為表示當檢查發生缺損之電 案101a及l〇ib、斑各里】、 ' la時，導電圖 首先，雷^八 之位置關係的圖。 t\ 甸4曰從被配置在導電圖案1〇1& <早元11之 90102458.ptd 第18頁 ^014 五、發明說明（】6) 中遥擇切換成供電的一個或一 抑 選擇單元（X2、Y2)。接著:切施^、早兀。在此，則設成 被配置在導電圖宰10a:及^受電的單元11，則選擇 赤1 @, Γ Γ 其周圍的單元11。在此，則設 成k擇位在為粗線所包圍的領域20 6中的單元〗1。 蔣?月1貝了將&制號送出到檢查單元1的切換電路1 6， 二早元X2 Y2)連接到輸出端子12 ’將位在領域2〇6中的 :二依二連接到輸出端子13，而將剩下來的單元11連接 於疋，來自心號源2的檢查信號被輸入到單元（X 2、γ 2) 而電抓在導電圖案丨〇丨a中流動，從被配置在導電圖案 l〇la上的各單元依序產生輸出信號。而 ^ 理電路3被送出到電腦4，而電腦4則=^^^^ 圖，料，以所定的臨限值作為基準來判斷 在導電圖案101a疋否有缺損以及特定出其位置。 又，電腦4，則將輸出信號當作晝素信號，而產生 Ϊ = 案的位置、形狀的畫像資_，將與該晝像 二 顯示在顯示器4&上。圖17為表示其顯示例 導電圖案101a，則如圖16所示，由於在單元（χ4 周邊產生短缺，因此，即使是在圖丨7的顯示例中， 氣 發生缺損位置的晝素（Χ4、Υ2)並沒有畫像，而网 案l〇la發生缺損以及其發生的位置。 導電圖 產業上之可 如上所述，根據本發明，可以完全以非接觸的方式來檢 90102458.ptd 第19頁 495614 五、發明說明（17) 查導電圖案。 元件編號之說明

A 檢查裝置 1 檢查單元 2 信號源 3 處理電路 4 電腦 11 單元（ce 1 1 ) 12 輸入端子 13 輸出端子 14 控制端子 15 GND端子 16 切換電路 100 檢查電路基板 101a 導電圖案 101b 導電圖案 102 虛設導電圖案 4a 顯示器 205 領域 206 領域 301 領域 \\312\2d-code\90-04\90102458.ptd 第20頁 495614 圖式簡單說明 圖1為表示本發明之一實施形態之檢查裝置A之構成的 圖。 圖2為表示檢查單元1之構成的圖。 圖3為表示檢查單元1之其他例之構成的圖。 圖4為表示切換電路16之内部方塊（block)的圖。 圖5為表示檢查之原理的圖。 圖6為表示成為檢查對象之導電圖案101a以及101b與各 單元1 1之位置關係的圖。 圖7為在圖6中，表示當在導電圖案101a發生斷線時的 圖。 圖8為在圖6中，表示當在導電圖案101a與101b之間發生 短路時的圖。 圖9為表示當附設2個虛設導電圖案1 0 2的電路基板1 0 0的 圖。 圖1 0為表示在檢測出導電圖案之座標時之導電圖案1 0 1 a 等與各單元11之關係的圖。 圖11為在檢測出導電圖案之座標時之顯示器4 a的顯示 例。 圖12為在檢查導電圖案之斷線時之導電圖案101a等與各 單元1 1之關係的圖。 圖1 3為在檢查導電圖案之斷線時之顯示器4a的顯示例。 圖14為在檢查導電圖案之短路時之導電圖案101a等與各 單元11之關係的圖。 圖1 5為在檢查導電圖案之短路時之顯示器4a的顯示例。

\\312\2d-code\90-04\90102458.ptd 第21頁 495614 圖式簡單說明 圖16為在檢查導電圖案之缺損時之導電圖案101a等與各 單元1 1之關係的圖。 圖1 7為在檢查導電圖案之缺損時之顯示器4a的顯示例。

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Claims (1)

1. 495614 六、申請專利範圍 1 · 一種檢杳梦罟，甘a — ' '〜'〜 導^圖案者，其特徵為包U接觸方式來檢查電mm 相隔離配置之具有多 用以將隨時間變化的檢杳；；：：單元； 構… 5虎供給到上述單元之供給機 用來處理在卜；七结一 將各上述單元個別地m:=二信號的處理機構; 構的切換機構；以及 給機構或上述處理檣 用來控制上述切換機構的控 構.二請專利範圍第1項之檢查裳置。 冓：用以根據上述輸出信號，來-：其更具有判定機 、或短路之至少其中一者。疋上述導電圖案之斷線 3·中請專利範圍第2項之 係f檢查上述斷線或上述短路t 其中上述判定機 、強度是否超出所定的臨限值來判：：根據上述輸出信號 如申請專利範圍第2項之檢疋述斷線或短路。 構，係在檢查上述斷線或上述短n ，其中上述判定機 電圖案進行檢查’並藉由互相 ”針對不同的上述導 信號的強度來加以判定。 乂在各檢查中之上述輸出 5. 如申請專利範圍第！項之檢 構，用以s己憶與上述導電圖案、置，其更具有記憶機 圖案。 置以及形狀有關的導電 6. 如申請專利範圍第5項之 構，係根據上述導電圖案資料，、置」其中上述控制機 ” 特疋出根據上述切換機 ----- \\312\2d-code\90-04\90102458.ptd 第23頁

   裝置， 時，會 的上述 之導電 上述單 來控制 裝置， 有關之 像資料 、短路 檢查 缺損 一個 其中 以 六、申請專利範圍 1 2 ·如申請專利範圍第7項之 構’係在檢查上述導電圖案之 檢查之上述導電圖案上的至少 七、給機構，而一邊將位在該所 其周圍上而連接到上述供給機 凡依序連接到上述處理機構的 立13·如申請專利範圍第7項之 憶與上述導電圖案之位置以及 f憶機構，且具有藉由比對上 貧料，來判定上述導電圖案之 中 者的機構。 九1 4 ·如申請專利範圍第7項之 憶與上述導電圖案的位置以及 f憶機構，且具有藉由比對上 貧料，來檢測所檢查之上述導 ^ 15·如申請專利範圍第14項3 係根據特殊形狀的上述導電圖 圖案來進行。 上述控制機 邊將位在所 連接到上述 上以及位於 外的上述單 切換機構。 具有用以記 圖案資料的 述導電圖案 陷之至少其 檢查裝置’其更具有用以资 形狀有關之導電圖案資料白< 述晝像資料與上述導電圖堯 電圖案之位置偏移的機構。 :檢查裝置，其中上述比對 案或事先所實施之虛設導電 16·、如申請專利範圍第1至15項中任一項之檢查裝置，其 上述切換機構可將各上述單元個別地連接到上述供給機 =、上述處理機構、或GND，而上述控制機構，係以將未 連接到上述供給機構或上述處理機構之任一者的上述單元 連接到GND的方式來控制上述切換機構。 1 7.如申請專利範圍第〗項之檢查裝置，其中上述處理機

   \\312\2d-code\90-04\90]02458.pid 第25頁 495614 六、申請專利範圍 構，係設在每個上述單元或多個上一 1 8· —種檢查單元，其係以非接觸早^上。 之導電圖案者，其特徵為包含有： 式來檢查電路基板 互相隔離配置之具有多個導電性的扣一· 輸人有針對上述單元之檢查信號的二=二 二以=出f自上述單元之信號的輸出端；子’ 輸入有用來選擇上述單元之控制信號’ 根據上述控制信號，可將各上述叩、工制纟而子；以及 輸入端子或上述輸出端子的切換機:=個別地連接到上述 1 9 ·如申請專利範圍第丨8項之檢查 連接到GND的GND端子，上述切換機構將、中更具有被 子之任一者。 j出舄子、或上述GND端 其中上述單元 其中上述單元 其中各上述單 20·如申請專利範圍第18項檢 乃呈平面地被配置。 2 1 ·如申請專利範圍第2 0項之檢查單元 乃被配置成矩陣狀。 2 2 ·如申請專利範圍第1 8項之檢查單元 元為相同的形狀。 23.如申請專利範圍第18至22項中任一項之檢查 其中上述單元的材料為金屬材料。 — ’ 2 j.種核查方法，其係以非接觸方式來檢查電路美# 之導電圖案者’其特徵為包含有： 尾路基板 使具有多個導電性的單元互相隔離，且沿著上述導電圖

   495614 六、申請專利範圍 案來配置的步驟； 將隨著時間而變化的檢查信號供給到至少一個上述單元 的步驟； 藉由上述檢查信號之供給，並經由上述導電圖案而檢測 出在其他之上述單元出現之輸出信號的步驟；以及 根據所檢出的上述輸出信號來檢查上述導電圖案的步 驟0

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