TW468092B - Radiation-sensitive resin composition for use in spacer, producing method of spacer, spacer and liquid crystal display element - Google Patents

Radiation-sensitive resin composition for use in spacer, producing method of spacer, spacer and liquid crystal display element Download PDF

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TW468092B
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sensitive resin
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Shoji Ogasawara
Fumiko Yonezawa
Isao Nishimura
Masachika Suzuki
Masayuki Endo
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Jsr Corp
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Description

4 6 8 0 9 2 A7 B7 五、發明說明（h 坊術節_ (諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係闞於間隔板用放射敏感性樹脂組成物，間隔 板及其製法，以及液晶顯示元件。 恝知抟術 向來在液晶面板或觸摸面板為保持二片基板間隔一定 ,使用具有規定粒徑之玻璃珠、塑膠珠等間隔板粒。由 於此等間隔板粒係随機撒佈在玻璃基板上•在有效圖素 部內有上述間隔板存在時，間隔板會滲人，入射光受到 擾亂，而有液晶面板對比降低的問題。為解決此等問題 ，有人倡議利用照相石版法彤成間隔板之方法。此法是 在基板上塗佈放射敏感性樹脂組成物，藉預定光罩，照 射紫外線後》顯像即可形成點狀或條狀間隔板。藉珂在 有效圖素部K外的地方形成間隔板，K解決上述問題。 而且Μ此方法可利用感光性樹脂的塗佈厚度，控晶胞 間隙，故間隙寬度控制容易，精密度高為其特擞。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另方面，在液晶面板或觸摸面板的製造步驟中，於基 體利用感光性樹脂形成間隔板後，形成定向膜之時雖可 利用種種方法，但一般在塗佈定向劑，經乾燥形成定向 劑塗膜後，大多採用實施摩擦的方法。此時，利用摩擦 致使間隔板或定向膜钊雔時，會發生顯示不良，或在定 向瞑上造成放射敏感性樹脂組成物的殘留物時，會產生 液晶定向性的異常。再者，在液晶面板或觸摸面板中， 由於間隔板與液晶直接接觸，若雛子性物質或雜質，從 間隔板溶出時，會造成電壓保持率降低。 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 46 8092 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7_五、發明說明（2) 此等慼光性樹脂形成的間隔板，附摩擦性高，不因摩 瘵而產生顯示不良，而液晶定向亦無不良，霣懕保持率 不會降低。 再者，液晶面板或觸摸面板所用間隔板，必須有不因 熱而變形之附熱尺寸安定性，或不因對液晶面板施加外 力而變形之壓縮強度。 此種可充分應付要求的間隔板用放射敏感性樹脂姐成 物，於皤光時一般必須要高眭量放射嬢，因此必須有新 的設備投資等在成本方面的問匾。尤其是對g射媒和sh 射線要有高度嫌應，迄今未見有人倡議。 软昍躭鱷块的Μ顧 因此，本發明之目的，在於提供一種放射敏感性榭脂 組成物，射摩擦性優，電壓保持率，液晶定向性不會降 低，可形成附热尺寸安定性，強度高的Μ隔板。 本發明另一目的，在於提供一種放射敏感性樹胞姐成 物，在g射嬢和gh射線有高感應，酎摩擦性優，具有充 分的電壓保持率和液晶定向性•可形成射热尺寸安定性 和壓箱強度優良之間隔板。 本發明又一目的，在於提供由本發明放射敏感性樹胞 姐成物形成之間隔板，及其製法。 本發明再一目的，在於提供具有本發明間隔板之液晶 顯示元件。 本發明其他目的和優點，由下述可知。 鏟決Μ顙的方法 -4 * <請先間讀背面之注$項再填寫本頁> ----.訂 ----- 線 • l· · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 168032 A7 B7 五、發明說明（3) 本發明上述目的和優點，按照本發明，第一是藉由顯 示面間隔板用放射敏感性樹脂組成物而達成，其特徵為 包含： [A] 鹼溶性樹脂 [B] 如下通式（I)所示蜜胺類R\/ N·..(工）
CH2〇R基，R表示氫原子或Cl· -C6烷基），和 [C]如下通式（I)所示三鹵甲基三阱cx3._·(工工）
κ -tr 'CX3 (式中X表示鹵素，A衷示CX3或下式所示基團 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .訂------線、 pr. 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 (B)]
(B)m
(B)m 或 c
5 一 (B)： 本紙張尺度適用_國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4 6 8 0·- A7 B7 五、發明說明（4) (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 其中B 、D 、E各自分別表示氫原子，鹵素原子，氰基 ，硝基，羧基，羥基，Ci-Cio烷基，Ci-Cio烷氧基， (；1-(：1〇烷硫基，06-(；1〇芳基，（：6-(：1〇芳氧基，（：6-Ci0芳硫基，二（Ci-Cio烷基）胺基，二（C6-C10芳基） 胺基，（^-(:^烷基羰基，C7-CU芳基親基、C2-C10 烷氧基羰基，或C2-CiD垸基羰氧基，m表示1〜5整數） ,或通式（M)所示銪鹽類 (A) „ Z + Y " ( I ) (式中A定義同上述，Z表示硫或碘，Y表示BF4, PFS, SbF6, AsF6,對甲笨磺酸酷，三氟甲烷磺酸酯 或三氟乙酸酯，η表2或3)。 按照本發明，本發明上述目的和優點，第二是利用一 種放射敏感性樹脂組成物達成，其特徵為包含： [Α]鹼溶性樹脂 [Β]如下通式（I)所示蜜胺類 R1 R2 \/
Ν -R- R …（工） 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製
V (式中R1〜1?6可相同或不同，分別表示氫原子或 -CH2OR基，R表示氫原子或Ci-C6烷基），和 [C ·]如下通式（IV )所示三鹵甲基三阱類 6- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4. 6 8 Ο 9 2 Α7 _Β7 五、發明說明（5)
(式中X表示鹵素原子，R7, R 1(3和R 11各自分別表示 氫原子，鹵素原子，氰基，硝基、羧基，羥基，Ci-C10 烷基，C i -ClD烷氧基，C i -Cio烷硫基，C 6 -C10芳基， C e -Cio芳氧基，C 6 -C10芳硫基，二（C i -C10烷基）胺 基，二（Ce-Cio芳基）胺基，Cz-Cu烷基羰基，C7-Cu 芳基羰基、C2-C1〇烷氧基羰基，或C2-C10芳基錦氧基 ,R8和R9各自分別為Ci-Cio垸基或Ce-Cio芳基，i 表示1〜5之整數。 本發明上述目的和優點，第三，可由本發明放射敏感 性樹脂組成物形成之間隔板方法達成。 本發明上述目的和優點，第四，可由本發明放射敏感 性樹脂組成物形成之間隔板逹成。 本發明上述目的和優點，第五，可由具備本發明間隔 板之液晶顯示元件達成。 在本發明中，「放射媒」指可見先、紫外線、遠紫外 線、X射線、電子線等。 玆就本發明放射敏感性樹脂組成物各成份詳述如下。 [A]鹼溶性樹脂 本發明所用[A]鹼溶性樹脂，只要可溶於鹼水溶液， -7- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------------訂--t---! 1 1^^^ /^- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 46 80 92 A7 _B7_ 五、發明說明（6) 無特別限制，惟Μ含羥基或羧基而賦予鹼溶性之樹脂為 適用。 此等鹼溶性樹脂有含羥基或羧基之自由基聚合性單體 均聚物，或該自由基聚合性單體與其他自由基聚合性單 體之共聚物。 含羥基或羧基之自由基聚合性單體，有例如鄰、間、 對羥基苯乙烯，或其烷基、烷氧基、鹵素、鹵烷基、硝 基、氰基、酿基、羧基取代物；乙烯基氫醒、5-乙烯基 連苯三酚、6-乙烯基連苯三酚、1-乙烯基氟丙三醇等多 羥基乙烯基酚類；鄰、間、對乙烯基苯甲酸，或其烷基 、烷氧基、鹵素、硝基、氰基、醢胺、酷基取代物；異 丁烯酸、丙烯酸，及其α-位的鹵烷基、烷氧基、鹵素 、硝基、氰基取代物；馬來酸、馬來酐、富馬酸、富馬 酐、撺康酸、中康酸、衣康酸、1,4-環乙烯二羧酸等二 元不飽和羧酸，及其酯、乙酯、丙酯、異丙酯、正丁酸 、次丁酯、特丁酯、苯酯、鄰、間、對苯乙烯半酯或半 醢胺。此等含經基或羧基的自由基聚合性單體當中.以 使用間羥基苯乙烯、對羥基苯乙烯、馬來酸、馬來酐、 衣康酸等為佳。凡此可一種或二種Κ上併用。 視需要而用的其他自由基聚合性單體，有例如笨乙烯 ，或苯乙稀之oc、鄰、間、對烧基、院氧基、鹵素、鹵 烷基、硝基、愾基、醸胺、酯基取代物；丁二烯、異戊 間二烯、氯丁二烯等烯烴類；異丁烯酸或丙烯酸之甲基 、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、次丁基、特丁基、 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂-----------線.. 468092 Α7 Β7 五、發明說明（7) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 戊基、新戊基、異戊基己基、環己基、金剛烷基、烯丙 基、丙炔基、笨基、萘基、蒽基、蒽醭基、胡椒基、水 揚基、環己基、苄基、乙氧笨基、甲苯基、縮水甲油基 、1,1,1-三氟乙基、全氟乙基、全氟正丙基、全氟異丙 基、三笨甲基、三環[5,2,1, Ο2,6]癸-8-基（在該技衡範 畴稱二環戊基），枯基、3-(H，N-二甲胺基）丙基、3-(H, 二甲胺基）乙基、呋喃基、糠基酯；異丁烯酸或丙烯 酸之醢替笨胺、醢胺或Ν,Ν-二甲基、Ν,Η-二乙基、Η,Ν-二丙基、Ν,Ν-二異丙基、氨茼酿胺、丙烯腈、丙烯醛、 異丁烯腈、氣乙烯、偏二氯乙烯、氟乙烯、偏二氟乙烯 、乙烯基吡咯烷_、乙烯基咄啶、乙酸乙烯酯、Ν-苯 基馬來醯亞胺、Ν- (4-羥苯基）馬來醯亞胺、Ν-異丁烯醯 呔醯胺、Η-丙烯醢酞胺胺等。其中Μ使用笨乙烯、丁二 烯、二環戊基（甲基）丙烯酸酯等。其中坷一種或二種Κ 上併用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此等其他自由基聚合性單體之共聚合比例，視賦予鹼 溶性基之種類而異。該基為羥基時，其他自由基聚合性 單體之共聚合比，相對於含羥基的自由基聚合性單體和 其他自由基聚合性軍體之合計量，通常為〇〜30重量S5 ,Κ5〜20重畺S；為佳。該基為羧基時，其他自由基聚 合性單體之共聚合比，相對於含羧基的自由基聚合性單 體和其他自由基聚合性單體之合計量，通常為0〜90重 量S： , Μ10〜80重量S：為佳。此等其他自由基聚合性單 體的共聚合比.相對於具有羧基的自由基聚合性單體， -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7_ 五、發明說明（8) 超《前述比例時，有時鐮顔像性不足。 鐮溶性樹脂[Α]合成所用溶劑，有例如甲酵、乙酵、 雙丙酮酵等酵類；四氫呋哺等醚類；乙二醉單甲醚、乙 二酵單乙_等二酵醚類；甲基溶*素乙酸*、乙基溶* 素乙酸醮等乙二酵烷基_乙酸ft類；二乙二酵軍甲醚、 二乙二酵單乙B、二乙二酵二甲醚、二乙二酵二乙醚、二 乙二酵乙甲醚等二乙二醇醚類；丙二酵甲_、丙二酵乙 醚、丙二酵丙醚、丙二酵丁醚等丙二酵單烷基醚類；丙 二酵甲醚乙酸釀、丙二酵乙醚乙酸S、丙二酵丙醚乙酸 _、丙二酵丁醚乙酸_等丙二醇烷基醚乙酸酯類；丙二 酵甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二酵丙醚丙酸酷 、丙二酵丁醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酷類；甲苯 、二甲苯等芳族ffi類；丁鹂、環己酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮等酮等；K及乙_甲_、乙酸乙醣、乙酸丙酯、 乙酸丁》、2-羥基丙酸乙酷、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯 、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲K、羥基乙酸 乙酯、羥基乙酸丁 *、乳酸甲酯、乳酸乙酸、乳酸丙酯 、乳酸丁 _、3-羥基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酷、3-羥 基丙酸丙酗、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯 、甲氣基乙酸甲S、甲氧基乙酸乙_、甲氣基乙酸丙酯 、甲氧基乙酸丁_、乙氧基乙酸甲_、乙氧基乙酸乙酯 、乙氣基乙酸丙酗、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酷 、丙氣基乙酸乙酗、丙氧基乙_丙動、丙氣基乙酸丁醱 、丁氧基乙酸甲_、丁氧基乙酸乙酯、丁氣基乙酸丙_ -10- 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） II - 11— - - — — I— — #.. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) d 6 8 Ο 9 2 A7 B7 五、發明說明（） (請先閱讀背面之注音？事項再%窝'本頁) 、丁氧基乙酸丁酯、2 -甲氧基丙酸甲酯、2 -甲氣基丙酸 乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氣 基丙酸甲酯、2-乙氣基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、 2 -乙氣基丙酸丁酯、2 -丁氧基丙酸甲酯、2 -丁氣基丙酸 乙酯、2 -丁氧基丙酸丙酯、2 -丁氣基丙酸丁酯、3 -甲氧 基丙酸甲酯、3 -甲氣基丙酸乙酯、3 -甲氣基丙酸丙酯、 3 -甲氣基丙酸丁酯、3 -乙氣基丙酸甲酯、3 -乙氧基丙酸 乙酯、3-乙氣基丙酸丙酯、3-乙氣基丙酸丁酯、3-丙氣 基丙酸甲酯、3 -丙氧基丙酸乙酯、3 -丙氣基丙酸丙酯、 3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸 乙酯、3 -丁氣基丙酸丙酯、3 -丁氣基丙酸丁酯等酯類。 反應原料毎1Q0重量份，此等溶劑使用量以2E)〜1000重 量份為佳。 鹼溶性樹脂[A ]製告時所用聚合引發劑，一般己知自 由基聚合引發劑均可用，例如2,2’-偶氪雙異丁腈、2， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2'-偶氮雙（2, 4 -二甲基戊腈）、2,2' -偶氮雙（4 -甲氣基-2,4-二甲基戊腈）等偶®化合物；苯甲醯過氣化物、月 桂醯過氧化物、特丁基過氧恃戊酸酯、1,1' -雙（特丁基 過氧）環己烷等有機過氣化物；以及過氧化氫。使用過氣 化物為自由基聚合引發劑時，亦可為同時使用過氣化物 為還原劑之氣化還原型引發劑。 本發明所用[A ]鹼溶性樹脂之其他合成法，可在獲得 前述含羥基或羧基之自由基聚合性單體中的羥基或羧基 ，以烷基、乙醯基、苯醯甲基等保護基保護過的單體均聚 物，或該單體與其他單體之共聚物後，藉水解等脫保護 -1 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員H消費合作社印製 Λ 6 8092 Α7 _Β7_._五、發明說明（1G) ，賦予鹼溶性之方法合成。 本發明所用[A]鹼溶性樹脂，亦可利用加氫等處理， 修正透明性或軟化點再用。 本發明所用鹼溶性樹脂換算聚苯乙烯之重量平均分子 量，W 2 , 0 0 0 〜1 0 0 , 0 0 0 為佳，而 Μ 3 , 0 0 0 〜5 0 , 0 0 0 更好， 尤Κ5,000〜30,000最佳。在此範圍可賦予圖型形狀、 解析度、顯像性和耐熱性.以及顯像性和感度平衡儍良 之放射敏感性樹脂組成物。 此等鹼溶性樹脂之市售品，有馬爾卡林卡Μ和PHM-C (Μ上為九菩石油化學公司製品），VP_1500(日本曹逹公 司製品）等羥基苯乙稀（共）聚物，及其部份加氫添加物 等。 本發明[A]鹼溶性樹脂除上述外，酚醛樹脂等縮合糸 樹脂可單獨或與前述鹼溶性樹脂混合使用。 酚醛樹脂是由酚類和醛類在酸觸媒存在下聚縮合而得 。此時所用酚類，有例如酚、鄰甲酚、間甲酚、對甲酚 、鄰乙酚、間乙酚、對乙酚、鄰丁酚、間丁酚、對丁酚 、2,3-二甲笨酚、2,4-二甲苯酚、2,5-二甲苯酚、3,4-二甲笨酚、3,5-二甲苯酚、2,3,5-三甲酚、3,4,5-三甲 酚、對笨酚、氫醍、笨鄰二酚、苯間二酚、2-甲基笨間 二酚、連笨二酚、ct-萘酚、桊酚、聯酚A 、二羥基 笨甲酸酯、浸食子酸酿、鄰硝基酚、間确基酚、對硝基 酚、鄰氯酚、間氯酚、對氯酚等。此等化合物當中，以鄰甲酸 間甲酚、對甲酚、2,3-二甲苯酚、2,4-二甲苯酚、2,5- 一 1 2 _ _____.___I___' T • a^i ^1- ^ r n n t» an n w » n —1 (諳先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ft rt ft t 線： / ^· L - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 8092 A7 _B7_五、發明說明（n) 二甲笨酚、2,3,5-三甲鼢、苯間二酚、2-甲基笨間二酚 等為佳。此等酚類坷單獨或二種K上組合使用。 另外，與上述酚類聚縮合之醛類，有例如甲醛、對甲 醛、苄醛、乙醛、丙醛、笨醛、a-笨基丙醛、/3-笨基 丙醛、鄰羥基苄醛、間羥基苄醛、對羥基苄醛、鄰氯苄 醛、間氯苄醛、對氯苄醛、鄰硝基苄醛、間硝基苄醛、 對硝基芣醛、鄰甲基苄醛、間甲基苄醛、對甲基苄醛、 鄰乙基苄醛、間乙基苄醛、對乙基苄醛、對正丁醛、糠 醛、卜萘醛、2-萊醛、2-羥基-卜萘醛等。另外，做為 反懕中生成醛的化合物，三噁烷等亦可與前逑醛同樣使 用，其中尤K甲醛為宜。此等醛類和生成醛之化合物， 可單獨或二種K上組合使用，醛類對酚類通常以0.7〜3 莫耳，更好Μ〇·7〜2莫耳比例使用。 酸觸媒可用鹽酸、硝酸、硫酸、甲酸、乙酸、乙二酸 等。相對於每莫耳酚類，其用量以1X1 0*4〜5X1 莫 耳為佳。 聚縮合反應通常用水為反應觸媒，但聚縮合反應中使 用的酚類不溶於醛類水溶液，從反應初期即呈不均勻系 時，可用親水性有機溶劑為反應媒質。此時所用溶劑， 有例如甲醇、乙醇、丁酵等醇類；四氫呋喃、二噁烷等 環吠醚類。反應原料每100重最份，此等反應媒質之用 量，Μ 20〜100重量份為佳。 縮合之反應溫度可視反應原料之反應性適當調節，惟 通常為10〜20〇υ。聚縮合反應結束後，系内存在的未 -13- (請先閱讀背面之生意事項再填寫未頁) --------訂-----------;; 攔· l· - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（12) 反應原料，為除去酸觸媒和反應媒質，一般升溫至130〜 230 ¾.在減壓下餾除揮發份，回收齡醛榭脂。 又，酚醛樹脂換算聚笨乙烯之重量平均分子量（K下 稱Mw)通常在2,000〜20,000範圍，M3,000〜15, 00 0範 圍為佳。超過20,000時，有時組成物難K均勻塗佈於 晶圓，旦顯像性和感度會降低。 rRl前沭忒ίΤ)所呆密胺 本發明所用蜜胺類Μ上述式（I )表示。上述式（I )中 R1〜Re可相同或不同，分別表示氫原子或-CH2 0R基 。！{為氣原子或Ci-Ce焼基。 K-CH2 0R基表示之烷氧甲基（R為（^ -C6烷基），有 例如甲氧甲基、乙氧甲基、丙氧甲基、丁氧甲基、戊氧 甲基、己氧甲基。R定義中· Ci -Ce烷基可為基鐽狀 或支鍵狀。 上述式（1>所示蜜胺類，有例如六羥甲基蜜胺、六羥 丁基蜜胺、部份羥甲基化蜜胺和烷基化物，四羥甲基苯 並胍胺、部份羥甲基化笨並胍胺及其烷基化物等。其中以 使用六羥甲基蜜胺、部份羥甲基化蜜胺（具有二個羥申 基Μ上之蜜胺）等為佳。此等化合物可單獨或二種K上 混合使用。 此等蜜胺類當中實用上市售品有塞每爾300, 301, 303, 370, 325, 327, 701, 266, 267, 238, 1141, 272, 202, 1156, 1158, 1123, 1170, 1174, UFR65, 300(Κ上為三井氰胺公司製品 >.尼卡拉庫Μχ-7 50 ,-320, -14- 本紙張尺度適用ΐ國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ___, - /—^ , * 一 * >—- * (I ^1* i n ff n i ·ΒΙ^ ^ V n n —c n fl t— 人^I II J— - · I n I ^ \ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -1 - 4-680 α Α7 Β7 五、發明說明（ 13 -706，-708, -40, -31,尼卡拉庫Ms-11,尼卡拉庫 (以上 三和化學公司製品）等很好用。 相對於[A]鹼溶性樹脂100重量份，此等蜜胺類添加 量為1〜100重量份，M5〜50重量份為佳。在此範園内 使用，可賦予形成顯像後殘膜率、附熱性、耐溶劑性平 衡優良之間隔板的放射敏感性樹脂組成物。 [C] 前述式（I)所示三鹵甲基三畊類 式（I)中X表示鹵素，A表示CX3或下列諸式所示
(B)m 、 (B)m 或
(請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) ,1 --------.訂----------線·- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (B)m (BU 另外B 、D 、E各自分別表示氫原子，鹵素原子，氰基 ，硝基，羧基，羥基，Ci-C10烷基，Ci-C10烷氧基， (：1-01〇烷硫基，（：6-(：1〇芳基，（：6-(：1〇芳氧基，（：6-Cio芳硫基，二（Ci-C10烷基）肢基，二（c6-c10芳基） 胺基，C2-Cu烷基羰基，C 7 -C U芳基羰基、C 2 -c10 烷氧基羰基，C2-C10烷基破醢氧基，而m表示1 〜5整數。 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 468092 A7 _B7_ 五、發明說明（14) 表（Π)所示三鹵甲基三啡類有例如：三（2,4,6-三氯 甲基）-3-三阱、2-苯基雙（4,6-三氣甲基）-s-三阱、2-(4-氛苯基）-雙（4,6-三氯甲基）-s-三阱、2-(3-氯苯基） -雙（4,6-三氯甲基）-3-三阱、2-(2-氯苯基）-雙（4,6-三 氯甲基）-s-三阱、2-(4-甲氧基笨基）-雙（4,6-三氯甲基） -s-三阱、2-(3-甲氧基苯基）-雙（4,6-三氣甲基）-5-三 阱、2-(2-甲氧基笨基）-雙（4,6-三氯甲基）-s-三阱、 、2-(4-甲硫基苯基）-雙（4,6-三氯甲基）-3-三阱、2-(3 -甲硫基苯基）-雙（4,6-三氯甲基）-s-三哄、2-(2-甲硫 基苯基）-雙（4,6-三氯甲基）-s-三阱、2-(4-甲氧基萦基） -雙（4,6-三氯甲基）-s-三阱、2-(3-甲氧基萘基）-雙（4, 6-三氯甲基）-s-三阱、2-(2-甲氧基萘基）-雙（4,6-三氯 甲基）1-三阱、2-(4-甲氧基-；8-苯乙烯基）-雙（4,6-三 氛甲基）-s-三阱、2-(3-甲氧基-卢-苯乙烯基）-雙（4,6-三氣甲基）-s-三阱、2-(2-甲氧基- yQ-苯乙烯基 >-雙（4， 6-三氯甲基）-s-三畊、2-(3,4,5-三甲氧基- /9-苯乙烯 基）-雙（4,6-三氯甲基）-s-三阱、2-(4-甲硫基-/8 -苯乙 烯基）-雙（4,6-三氯甲基）-s-三畊、2-(3-甲硫基- /3-笨 乙烯基）-雙（4,6-三氯甲基）-s-三阱、2-(2-甲硫基- /9-苯乙烯基）-雙（4,6-三氛甲基）-s-三畊等。 前怵忒（BI )所沄級播插 式（M)中A定義和上逑式（E)同，Z表示硫（S>或碘 (I) , Y 表示 BF4，PF6 , SbFe , AsF6 ,對甲苯磺酸 酯，三氟甲烷磺酸酯或三氟乙酸酯，η為2或3 。 -16 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 468092 A7 _B7_ 五、發明說明（15 ) 式U)所示錨鹽類可單獨或二種Μ上共同使用。 式（m)所示銳鹽類有例如：二苯基四氟硼酸碘、二苯 基六氟磷酸捵、二苯基六氟砷酸碘、二苯基三氟甲烷磺 酸_、二笨基三氟乙酸碘、二笨基對甲苯磺酸捵、4-甲 氧基笨基笨基四氟硼酸捵、4-甲氧基苯基苯基六氟膦酸 捵、4-甲氧基苯基苯基六氟砷酸換、4-甲氧棊苯基笨基 三氟甲烷磺酸碘、4 -甲氧基笨基笨基三氟乙酸捵、4 -甲 氧基苯基苯基對甲笨裱酸捵、雙（4-特丁基笨基）四氟硼 酸捵、雙（4-特丁基苯基）六氟磷酸銷、雙（4-特丁基苯 基）六氟砷酸捵、雙（4-特丁基苯基）三氟甲烷磺酸碘、 雙（4-特丁基笨基）三氟乙酸捵、雙（4-特丁基苯基）對甲 苯磺酸辨等二芳基捵鹽；三苯基四氟硼酸#、三苯基六 氟膦酸#、三苯基六氟砷酸#、三苯基三氟甲烷磺酸H 、三苯基三氟乙酸三笨基對甲苯磺酸#、4-甲氧基 笨基二笨基四氟硼酸if、4-甲氧基笨基二苯基六氟磷酸 $、4-甲氧基笨基二苯基六氟砷酸舍f、4-甲氧基笨基二 苯基三氟申烷磺酸#、4-甲氧基笨基 二笨基三 氟乙酸1 、4-甲氧基苯基二苯基廚甲基磺酸余f、4-苯基硫苯基二 笨基四氟砸酸鹽、4-苯基硫苯基二笨基六氟膦酸鹽、4-苯基硫笨基二苯基六氟膦酸鹽、4-苯基硫苯基二苯基六 氟乙酸鹽、4-苯基硫苯基二笨基三氟甲烷磺酸鹽、4-苯 基硫苯基二苯基三氟乙酸鹽、4-苯基硫苯基二苯基對甲 苯磺酸鹽等三芳基4鹽等。 此等化合物當中，以2-(3-氮笨基）-雙（4,6-三氯甲基） -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ------- 訂--------J — 線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 d6B〇9- A7 B7 五、發明說明（16) -S-三阱、2-U-甲氧基笨基）-雙（4,6-三氣甲基）-3-三 阱、2-(4-甲基硫苯基）-雙<4,6-三氯甲基）-s-三阱、2-(4-甲氧基-0-苯乙烯基）-雙（4,6-三氯甲基）-3-三阱、 2-(4-甲氧基萘基 >-雙（4,6-三氯甲基）-s-三哄、三苯基 三氟乙酸碘、三苯基三氟甲烷磺酸捵、4-甲氧基笨基苯 基三氟甲垸磺酸捵、4-甲氧基苯基笨基三氣烷磺酸辨、 4-甲氧基笨基笨基三氟乙酸鍥、三笨基三氟甲烷磺酸H 、三苯基三氟乙酸4-甲氧基笨基二苯基三氟甲烷磺 酸4-甲氧基苯基二苯基三氟乙酸多|"、4-苯基硫苯基 二苯基三氟甲烷磺酸鹽、4-苯基硫苯基二苯基三氟乙酸 鹽等為宜。 相對於[A]鹼溶性樹脂100重量份，此等式（H)和 (M)所示化合物添加量M0.001〜10重量份為佳，而K 0.01〜5重量份。添加量在0.001重虽份K下時，因曝光 發生的酸量少，式（I)所示蜜胺類交聯難Μ充分進行， 間隔板的耐熱性、附溶劑性容易降低。添加量超出〗〇重 量份時，暍光發生的酸量過多，式（I)所示蜜胺類交聯 會進行過刺，難以控制顧像後的圖型形狀。 另外，式（I)或（I)所示化合物，可與適當增感劑組 合使用。增感劑有例如在3-位和/或7-位具有取代基的 香豆箠類、黃_類、二苄叉丙酮類、二苄叉環己酮類、 査耳酮類、咕噸類、瞎噸類、紫菜鹼類、吖啶類等。 「(VI前沭式（R/ΐ所示三鹵申某三阱額 式（IV)中X表示鹵素原子。此等鹵素原子有例如氣、 _ 1 8 — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂id------線、 .J. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 46 8092 A7 B7 五、發明說明（17) 氯、溴等。 R 7 , 和R11各自分別表示氫原子.鹵素原子，氰 基，硝基、羧基，羥基，Ci -Cid烷基· C -C10烷氧基 ，Ci-Cio烷硫基，Ce-Ci〇芳基，C6-C10芳氧基，Ce -Cio芳硫基，二（Ci-Cio烷基）胺基，二（Ce-C10芳基） 胺基，C2 -Cu烷基羰基，C7 -Cu芳基羰基、C2 -c10 烷氧基羰基，C2-C10烷基碳醯氧基 R8和R.9各自分別為Ci -Cio烷基或C6 -C10芳基。 而i為1〜5的整數。 R 7 , R10 , R 11的鹵素原子有例如氟、氯、溴。
Ci -Cid烷基有例如甲基、乙基、丙基、戊基、己基 、辛基、癸基等。無論直鏈狀或支鍵狀均可。 C i -C10烷氧基和C 1 -C10烷硫基，均與C工-Ci〇烷基 例中持有的烷基相當，有例如甲氧基、甲硫基等具體例。 C s _C10芳基有例如笨基、甲笨基、桊基等。 C S -Cio芳氧基和C 6 -c10芳硫基，則與c e -c10芳基 例中持有的芳基相當，有例如笨氧基、苯碲基等具體例。 二（Ci -ClD烷基）胺基相當於Cl -ClD烷基例中具有的 烷基栢當，有例如二（甲基）胺基等。此時二個烷基可相 同或不同。 二（C8 -c10芳基）胺基與c6 -c10芳基例中具有的芳基 相當，有例如二（笨基）胺基等具體例。此時二個芳基可 相同或不同。 C2 -Cu垸基羰基與Ci -c10烷基例中具有的烷基相當 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂----------線
Mr 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4- 6 8 0 9 Α? Β7 五、發明說明（18) ，有例如甲基羰基（乙醢基）、乙基羰基（丙醢基）等具體 例。 C7 -Cii芳基羰基與C6 -Cio芳基例中具有的芳基相當 ，有例如苯基羰基等。 C2 -C10烷氧基羰基和C2 -C10烷基碳酿氡基與C 1 - c 1〇 烷基例中具有的烷基相當，有例如甲氧基羰基、乙氧基 羰基等，和甲基羰氧基、乙基羰氧基等具體例。 上述式（IV)所示二鹵甲碁三阱類，有例如2-(4-二乙基 胺基-2-甲基- 苯乙烯基）-4,6-雙（三氛甲基）-s-三畊 、2-(4-二笨基胺基-2-甲基-/3 笨乙烯基>-4,6-雙（三 氛甲基）-s-三阱、2-(2-苯基胺基-4-甲氧基-卢-苯乙烯 基）-4,6-雙（三氯甲基）-s-三畊、2-(4-異丁基胺基-2-甲基-卢-苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-s-三畊、2-U-二甲基胺基-2-氰基-卢-苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-s-三阱、2-(2-二乙基胺基-4 -甲硫基-召-苯乙烯基）-4, 6-雙（三氯甲基）-s-三阱等。 此等化合物當中，最好使用2-(4-二乙基胺基-2-甲基 -/9-苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-s-三阱、2-U-異丁 基胺基-2-甲基-jS -苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-s-三 阱、2-(4 -二苯基胺基-2 -甲基- /9-苯乙烯基）-4,6 -雙 (三氯甲基）-s-三阱等。 相對於醮溶性樹脂1〇〇簠量份，此等式（W)所示 化合物添加量，M0.001〜10重量份為佳，而Κ〇·〇1〜5 重量份更好。在此範圍使用時，可賦予間隔板酎熱性和 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210^ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ-' — 11.---I 訂-丨 j!l--線， 46 80 92 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7
1 Q 五、發明說明（） 附溶商f性，K及顯像後圖型形狀之控制性平衡優異之放 射敏感性樹脂姐成物。 另外，式（IV)所示化合物可與適當增感劑姐合使用。 增感劑有例如在3-位和/或7-位具有取代基之香豆靈類 、黃_類、二苄叉丙酮類、二苄叉環己醣類、査耳酮類 、咕噸類、喀噸類、紫菜鹸類、吖啶類等。 其他成份
本發明主要目的在於改進耐熱性或接觸性，可混配在 分子内含有二個環氧基以上之化合物。此在分子內含有 二個環氧基K上之化合物，有例如聯酚A ,或聯酚F的 縮水甘油醚，Epikote 1001， 1002, 1003， 1004, 1007 ,1009, 1010, 828(油化蜆餃環氧公司製品）等聯酚A 型環氧樹脂；Epikote 807 (油化蜆殻環氧公司製品）等 聯酚F型環氧樹脂；Epikote 152 , 154 (油化規殻瑁氧 公司製品>,EPPN 201, 202 (日本化藥公司製品）等酚糸 酚醛型環氣樹脂；E0CH-102, 103S, 104S, 1020, 1025 ，1027(日本化蔡公司製品Epikote 180S75(油化規 殻環氧公司製品）等甲酚系酚醛型環氧樹脂； CY-1 75 , 177, 179 (汽巴嘉基公司製品}ERL-4234, 4299, 422 1, 4206 (UCC公司製品），紹達因509 (昭和電 工公司製品），阿拉爾戴特CY-1 82, 192, 184 (汽巴瘍基 公司製品），耶比庫隆200, 400(大日本油墨公司製品），
Spikote 871, 872(油化蜆殻環氧公司製品），ED-5661, 5862(西蘭尼塗料公司製品）等環脂族環氧樹脂；耶波賴 -21- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） -------.!-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-1 n n I 4 6 8 〇 3 2 Α7 Β7 20 五、發明說明（
閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 寫.、 本 J 特1 OOMF (共榮社油脂化學工業公司製品），耶比歐爾（日 本油脂公司製品）等脂族聚縮水甘油醚。其中較佳者為 聯酚A型環氧樹脂、聯酚F型環氧樹脂、酚系酚醛型環 氧樹脂、甲酚系酚醛型環氧樹脂、脂族聚縮水甘油醚類 等。此等環氧樹脂換算聚笨乙烯之重童平均分子量Μ 2 , 000 Μ下為佳。 相對於鹼溶性樹脂100重量份，此等分子内含有環氧 基二個Μ上的化合物添加量Κ0.1〜100重量份為佳，而 Κ 1〜30重量份更好。 又，在前述[Α]鹼溶性樹脂中，其他單體採用含有締 水甘油基等環氧基的單體之共聚物時，該鹼溶性樹脂亦 為含有環氧基二個Μ上之化合物，但因鹼溶性樹脂要求 分子量較高為佳，故與分子量小做為耐熱性和接觸性改 良劑之上述環氧化合物不同。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，本發明組成物為改良塗佈性，例如條紋或塗膜形 成後的放射線照射部之顯像性，可混配界面活性劑。界 面活性劑之例有聚氧化乙烯月桂醚、聚氧化乙烯硬脂醚 、聚氧化乙烯油醚等聚氧化乙烯烷基醚類；聚氧化乙烯 辛基笨醚、聚氧化乙烯壬基苯醚等聚氧化乙烯芳基醚類 ,聚乙二醇二月桂酸酷、聚乙二醇二硬脂酸酯等聚乙二 醇二烷基酯類等非離子系界面活性劑，耶弗特普EF301, 303, 352(新秋田化成公司製品），梅格費克F171, 172, 173(大日本油墨公司製品），弗羅賴特FC430, 43 1 (住友 3Μ公司製品），旭格AG710,薩弗隆S-382, SC-101, -22 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 6 8092 A7 _B7__ ? 1 五、發明說明（） 102 , 103,104, 105, 106(旭玻璃公司製品）等氟系界面活性 劑，有機矽氧烷聚合物KP341(信越化學工業公司製品）， 丙烯酸糸或異丁烯酸糸（共）聚合物聚弗隆Ν0.57、95(共 1 榮油脂化學工業公司製品）。此等界面活性劑之混配量 相當於組成物的固體成份，通常在2重童份Μ下，Ml 重量份以下為佳。 為改良本發明組成物與基板之接觸性，亦可混配黏著 助劑。本發明組成物可視需要混配保存安定劑、消泡劑 等。 本發明放射敏感性樹脂組成物，溶於溶劑内調製成溶 液，使固體成份濃度K10〜40重量S：為佳。 此時所用溶劑，可用雙丙酮酵、丙二醇等酵類；乙二 醇單甲醚、乙二醇單乙醚等二酵醚類；甲基溶纖素乙酸 賄、乙基溶缴素乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯類；二乙 二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚等二乙二醇烷基醚類；丙 二酵甲链乙酸_、丙二醇乙魅乙酸醋、、丙二酵丙链乙 酸酯等丙二醇烷甲醚乙酸酯類；甲苯、二甲笨等芳族烴 類；丁酮、瓌己酮、2-庚酮、甲基異丙基甲酮等酮類； 2- 羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙 酸乙酯、2-羥基-2 -甲基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、 氧乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、3 -甲基-3-甲氧 基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、3-甲基- 3- 甲氧基丁基丁酸酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、3-甲氧基 丙酸甲酷、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丁酯等酷 — 23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填”寫本頁) ---------'—訂 i,--- 線' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 468092 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7_ 2 2 五、發明說明（） 類。此等溶劑可單獨或混合使用。 必要時可添加苄基乙醚、二己醚、二乙二醇單甲醚、 二乙二酵單乙醚、二乙二酵單丁醚、丙酮基丙_、異佛 爾酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄醇、乙酸苄酿 、苯甲酸乙酯、乙二酸二乙酯、馬來酸二乙酯、7-丁 内酷、碳酸次乙酯、碳酸次丙酯、苯基溶纖素乙酸酯、 卡必醇乙酸酯等髙沸點溶劑。 如此調製之放射敏感性樹脂組成物溶液，長期貯蔵安 定性優。 按前述調製之組成物溶液，可經孔徑0.2〜0.5w ®左 右的瀘材過濾後使用。 問臈板的形成方法 其次，說明使用本發明放射敏感性樹脂組成物形成本 發明間隔板方法如下。 在基板表面塗佈本發明放射敏感性樹脂組成物，藉加 热除去溶劑，形成塗膜。放射敏感性樹脂組成物在基板 表面之塗佈方法，例如採用嗔塗法、輥塗法、旋塗法等 各種方法。 其次，此塗膜可加熱（預烤）。經加熱使溶劑揮發，而 得無流動性之塗膜。 加熱條件視各成份種類，混配比例等而異，惟通常在 60〜1201C約10〜600秒左右。 所得放射敏感性樹脂組成物的塗膜面，藉具有預定圖 型形吠之光罩，照射放射線。放射線能最，即放射線種 -24" 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
4 6 80 9l2 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 2 五、發明說明（） 類，視所需解析度、放射線敏感性化合之感應波長等適 當決定，通常可用s射線（波長436nn), h射線（波長 405nm), i射線（波長365nm)等紫外線，準分子（KrF, ArF)雷射等遠紫外線，同步加速器放射線等X射線、電 子射線等電荷粒子線，以使用s射線、h射線、i射線 ,gh射線為佳。此等放射線當中，向來的放射敏感性樹 脂組成物必須照射i射線等高能量射線，相對地，本發 明放射敏感性樹脂組成物除i射線外，對s射線、sh射 線等低能量放射線，亦有充分之敏感度。 放射線照射後，在進行鹼顯像之前，進行PEB(曝光後 烘烤）°PEB溫度通常在200C以下，PEB時間通為0.1 〜10分鐘左右。PEB後，利用顯像液顯像，除去不要的 部份。 顯像液可用例如由氫氧化納、氫氧化鉀、碳酸納、矽 酸鈉、矽酸鈉、氨水等無機鹼類；乙胺、正丙胺等伯胺 類；二乙胺、二正丙胺等仲胺類；三乙胺、甲基二乙胺 、H -甲基吡咯烷嗣等叔胺類；二甲基乙醇胺、三乙醇胺 等醇胺類；四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、膽鹼 等季銨鹽；吡咯、哌啶、，1,8-二吖雙環[5.4.0]-7-十 一碳烯、1,5-二吖雙環[4.3.0]-5-壬烷等環狀胺類等之 鹼類形成之鹼水溶液。 上述鹼水溶液可添加適量甲酵、乙醇等水溶性有機溶 劑、界面活性劑等之水溶液，做為顯像液。 顯像時間通常為30〜180秒，顯像方法可用滿液法、 -25 — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 297公釐） (請先閱讀背面之注咅？事項再填—寫本頁) - I-------*1 訂--^ — 111!線、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 468092 A7 _B7_ 五、發明說明（24 ) 浸液法等。顯像後，K流水洗淨30〜90秒，利用壓縮空 氣或壓縮氮加以風乾，除去基板上水份，形成圖型狀被 膜。 接著，利用熱板、烘箱等加熱裝置，在預定溫度，例 如150〜2501C，加熱處理預定時間，例如在熱板上為5 〜30分鐘，烘箱内則為30〜90分鐘，即可得間隔板（圖 型狀交聯被膜）。 窨施例 茲K實施例和比較例具體說明本發明，惟本發明不限 Μ下實施例。 合成例1鹼溶性樹脂[Α-1]之合成 於裝設冷卻管、授拌機和溫度計之燒瓶，充填特丁氣 基苯乙烯176克（0.1莫耳）和偶氮雙丁睛5.8克（0.04莫耳） ，加丙二酵單甲醚250毫升溶解，於751C聚合4小時。 於所得聚特丁氧基苯乙烯溶液混合5重量S!硫酸水溶液 50克，在10〇υ進行水解反應3小時。反應生成物以脫 離子水1000毫升洗三次，乾燥後，加2-庚 500毫升溶 解，得含MW24,000鹼溶性樹脂[Α-1]之溶液。所得聚合 物溶液之固體澹度為27.7¾。 合成例2鹼溶性樹脂[A-2]之合成 於裝設冷卻管、授拌機和溫度計之燒瓶，充填間甲酚 57克（0,6莫耳），對甲酚38克（0.4奠耳），37重虽3!甲醛 水溶液75.5克（甲醛0.93莫耳），草酸二水合物0.63克 ( 0.0 05莫耳），甲基異丁基甲酮264克後，將燒瓶浸於油 -26- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '政--------^—訂i_-------緣 46 8092 A7 B7_ 五、發明說明P ) (請先閱讀背面之注意事項再填^本頁) 浴中，在反應液回流中，攪拌下進行聚缩合4小時。其 次，油浴溫度經3小時升溫，然後，將燒瓶内壓力降到 30〜5〇BiinHg,除去揮發份，將熔態樹脂冷卻到室溫回收 。此樹脂溶於乙酸乙酯，使樹脂成份為3 Q X ，然後加此 溶液重量1.3倍蛋的甲醇和0.9倍量的水，攢拌放置。 其次，取出分離成二層之下層，經濃縮、乾燥，得Mw 8 , 0 0 Q的鹼溶性樹脂[A - 2 1 。 合成例3鹼溶性樹脂〖A - 3 ]之合成 於具備冷卻管、攙拌機之燒板，充填2,21 -偶氪雙（異 丁腈）5重蛋份，雙丙酮醇20卩重量份，接箸加入苯乙 烯30重量份，異丁烯酸25重量份，二環戊基異丁烯酸酯 40重量份，經氮排淨，再加1,3 -丁二烯5重量份，開始 緩缓攪拌。溶液溫度上升至於此溫度保持4小時 ，得含鹼溶性樹脂[A - 3 ]的溶液。所得聚合物溶液的固 體成份濃度為35.6ί。 合成例4 _溶性樹脂[A - 4 1之合成 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 於具備冷卻管和攪拌機的燒瓶，充填2, 2’-偶氮雙<2, 4-二甲基戊腈）5重量份，二乙二醇乙基甲艇200重量 份。接著充镇苯乙烯25重量份，異丁烯酸4Q重量份， 二環戊基異丁烯酸酯30重量份，經氮排淨後，充填1,3-丁二烯5重量份，開始緩緩攪拌。溶液溫度上升至70 °C ,在此溫度保持4小時，得含共聚物[A-4]之聚合物溶 液。所得聚合物溶液的固體成份濃度為33.53^ 合成例5鹼溶性樹脂[A - 5 ]之合成 -27- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 468092 A7 _B7_ 2 β 五、發明說明（） 於具備冷卻管和授拌機的焼瓶，充填2,2'-偶氮雙（2, 4-二甲基戊腈）7重量份，二乙二醇乙基甲醚200重量 份。接著充填苯乙烯10重最份，異丁烯酸20重量份、異 丁烯酸縮水甘油酯45重量份，二環戊基異丁烯酸酯25重 量份，經氮排淨後，開始媛緩授拌。溶液溫度上升至70¾ ，保持此溫度5小時，得含共聚物U-5]之聚合物溶液 。所得聚合物溶液之固體成份濃度為33.5¾。 合成例6液晶定向劑溶液之合成 取苯均四酸21.8克和二胺基二苯基甲烷19.8克，溶於 H -甲基吡咯烷酮374克，在室溫反應6小時。其次，將 反應混合物注人大量過剰之甲酵内，使反應生成物沈澱 。然後，用甲醇洗淨，減壓下，在40¾乾燥15小時，得 聚醢胺酸。取所得聚醢胺酸5克溶於N-甲基-2-吡咯烷 成為固體湄度4重量S：之溶液，此溶液用孔徑 的濾材過漶，調製成液晶定向劑溶液。 宵倫俐1 协射敏感忡榭脃昍成物夕綑製 取合成例1所得鹼溶性樹脂[A-1] 100重量份，做為 成份[B]的賽梅爾300(三弗氰胺公司製品）20重量份， 以及做為成份[C]的2-(4-甲氧基- β -苯乙烯基）-雙（4, 6-三氯甲基>-s-三阱0.2重量份，做為分子內含環氧基 二個以上之化合物的Epikote 152(油化蜆殻環氧公司製 品）10重量份，做為界面活性劑的梅格費克F172(日本油 墨公司製品）0.04重量份，加以混合，溶於3 -乙氧基丙 _ 2 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---l· II . i,訂 i:------ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 468092 A7 _B7_ 9 7 五、發明說明（） 酸乙酯，使固體成份濃度為35重量S：,用孔徑0.5M1B的 微胞孔漶材過濾，調製放射敏感性樹脂組成物之溶液 (S-1)。 (I )間隔扳圖梨之形狀 在玻璃基板上使用旋塗器塗佈上述組成物溶液（S-1) 後，在801C熱板上預烤5分鐘，形成塗膜。 於上述所得塗膜，使用預定圖型之光罩，以在365 nm 的強度為10 mV/cm2的紫外線照射10秒。此時紫外線照 射是在氧氛圍下（空氣中）進行。紫外線照射後，於150¾ 熱板進行PEB處理2分鐘。其次，K四甲基氫氧化銨 2.38重童！S水溶液，在25它顯像30秒後，用純水淋洗1 分鐘。藉此操作除去不要部份，即可解析lOwmXlOwm 的間隔板圖型（殘餘）。 將上述形成的間隔板圖型在烘箱中，於20()1^加熱60 分鐘硬化，得髙5wm的間隔板画型。 (I )間隔板強度評估 上述（I)所得間隔板圃型的強度，使用微小壓縮試驗 器（MCTM-200,島津製造公司製品）評估。利用直徑50w m 的平面壓件，Μ —定速度加負荷於間隔板（〇.27gh/sec) ,把間隔板分裂，測量發生破壞時的負荷（破壞負荷）， 變形（破壞變形：Μ間隔板高度（直徑）除破壊時壓縮移 位之值，M3；表示），測定時溫度20*C。結果如表1所 示。 (皿）間隔板截面形狀評估 —2 9 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
Ja---L----*|訂· — ---- 聲 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 8 0 9 2 A7 ___B7_
Ο Q 五、發明說明（） 上述（I)形成的間隔板圖型豳面彤狀，用掃描型電子 顯微鏡観察。斷面形狀的評估基準如第1圖所示。形狀 如A或B所示長方形或梯形時評為良好（Ο),與A或B 不同的C所示肜狀時評為不良（X)。 (IV) 附熱變形的評價 上述（I)所形成間隔板圖型在烘箱中，Μ20〇υ加熱 SO分鐘。在加熱前後，圖形髙度尺寸變化率5XK内， 斷面形吠無變化時為〇,尺寸變化率超過5¾，或圖％ 斷面形狀在上述（Π)中變肜為A 、B Μ外者，為X。 (V) 定向性，電壓保持率，耐摩檫性之評估 ①將上述組成物溶液（S-1),利用旋塗法塗在附有 ΙΤ0膜所製透明電搔的玻璃基板之透明電極面，在80Ό 熱板上預烤5分鐘，彤成塗膜。 於上述所得塗膜，使用預定圔型光罩，Κ 365ίΐ!Β時強 度為10mW/Cm 2的紫外線照射10秒。此時的紫外線照射 是在氧氣氛圍下（空氣中）進行。紫外線照射後，在150¾ 熱板上，進行PEB處理2分撞。其次，K四甲基氫氧化 垵2.38重量S：水溶液，在251顯像30秒後，藉純水淋洗 1分鏡，經壓縮氮氣乾燥。利用此等操作，除去不要部 ,K間隔3〇〇 tt m的格狀形成10w mx 10w m間隔板圖型。 上逑所得間隔板圖型在烘箱中，K 200 C加熱60分鐘， 得高5wra的間隔板圖型。 其次，取液晶定向劑A-3 046 (傑斯阿爾公司製品），使 用液晶定向膜塗佈用印刷機，塗佈於上述形成間隔板之 -30- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 「Ja--------11訂-丨^--- 線、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 46 8092 Λ7 Α7 Β7
9 Q 五、發明說明（） 基板，在180ΊΟ乾燥1小時，形成乾燥膜厚0.05/iia的塗 膜。 此附帶間隔板之塗膜，利用摩擦機，具有輥子，捲繞 尼龍布，Μ輥子轉數500 rpn,階台移動速度1cm /秒，進 行摩擦處理，此時，進行耐摩檫性評估，間隔板圖犁從 基板剝落，間隔板被削平而降低間隔板高度時評為不良 (X)*間隔板未钊落亦未被削平時評為良好（〇）。 ②液晶定向劑Αί304δ (傑斯阿爾公司製品），使用液晶 定向膜塗佈用印刷機，塗佈於附有ΙΤ0膜製成的透明電 極之玻璃基板透明電極面，在180t；乾煉1小時，形成 乾燥膜厚0.05wb塗膜。 於此塗膜，利用摩檫機，具有輥子，捲繞尼龍布，Μ 輥子轉數50〇rpm,階台移動速度lcm /秒，進行摩擦處理。 上述①②所得基板具有液晶定向膜之外緣，分別Μ絹 印塗佈摻入直徑5w ηι的玻纖之環氧樹脂格膠後，將一對 基板K液晶定向膜面相向，但摩擦方向正交重*壓接， 使黏膠硬化。 其次，將向列型液晶（默克公司製品ZLI-4792)由液晶 注入口充填於一對基板間後，用環氧糸黏膠在液晶注入 口封閉，在基板外側兩面貼合偏光板，使偏光板的偏向 方向分別與基板的液晶定向膜之摩擦方向一致，製成液 晶顯示元件。評估所得液晶顯示元件之電壓保持率、定 向性。液晶顯示元件的電壓保持率評估，係在對液晶顯 示元件施加5V電壓後，開啟電路，測悬16.7微秒後的保 -31- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
Ja—-—^ I-訂 i,—.—線、 d 6 δΟ 9 2 Α7 Β7 7 〇五、發明說明（） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 持 電 壓 〇 又 » 液 晶 顯 示 元 件 的 定 向 性 評 估 » 係 用 偏 光 顯 微 鏡 觀 察 電 壓 導 通 和 斷 通 時 ， 液 晶 胞 中 有 無 異 常 域 + 若 看 不 出 異 常 域 評 為 良 (〇）， 看 出 異 常 域 時 評 為 不 良 (X ) c 筲 椭 例 2 和 實 胞 例 1 同 樣 調 製 並 評 估 組 成 物 溶 液 (S -2 ) * 惟 成 份 [B] 的 寶 梅 爾 300 ( 三 井 氛 胺 公 司 製 品 )改用資梅爾1 170 (Ξ 三井氰胺公司製品） 〇 結 果 如 表 1 所 示 ΰ 官 m 例 3 和 實 施 例 2 同 樣 調 製 並 評 估 組 成 物 溶 液 (S -3) 1 惟 分 子 內 含 環 氧 基 二 個 上 的 化 合 物 Ep ik 0 t e 152 (油 化 蜆 殻 環 氧 公 司 製 品 )改用E Pi k 〇 t e 1 828 (油化蜆殼環氧公司製 品 )< >結果如表1 所不c ) 管 施 例 4 和 實 胞 例 1 同 樣 調 製 並 評 估 組 成 物 溶 液 (S -4) t 惟 鹼 溶 性 樹 脂 [A -1 ] 100 重 量 份 改 用 m 溶 性 樹 脂 [A "1 ] 80 重 里 份 和 鹼 溶 性 樹 脂 [A * 2 ] 20 重 量 份 之 混 合 物 〇 結 果 如 表 1 所 示 〇 C 實 和 -Κίΐ- 實 -iL 施 例 1 同 樣 調 製 組 成 物 溶 液 (S -5 ) 惟 鹼 溶 性 樹 脂 [Α *" 1 ] 改 用 共 聚 物 [A -4] 溶 液 > Μ 二 乙 二 酵 甲 乙 醚 稀 釋 〇 使 用 N- 甲 基 喊 啶 1 . 0 重 量 % 水 溶 液 為 顯 像 液 加 Μ 評 估 〇 結 果 如 表 1 所 示 〇 官 裥 例 和 實 施 例 1 同 樣 調 製 組 成 物 溶 液 (S -6 ) 惟 JtA> m. 溶 性 樹 -32- ----r--------!α---- (請先閱讀背面之注意事項再氣寫本頁) 訂1,--- 線·^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） 468092 A7 _B7 五、發明說明（） 脂U-1]改用共聚物[A-5]溶液，Μ二乙二醇甲乙醚稀 釋。使用Η -甲基哌啶1.0重量SK水溶液為顯像液加以評 估。結果如表1所示。 當嵌例7 和實施例1同樣評估，惟液晶定向劑改用合成例6所 得聚藤胺酸溶液。結果如表1所示。 參..考....例J. 使用粒徑m的微珍珠SP-205(積水精细化學公司製 品）為間隔板，進行壓縮試驗。结果如表1所示。 (請先間讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 'ίΛ^---- b 訂' 0, 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -33- 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 d6 8092 _B7 3 2 五、發明說明（） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 壓縮試驗结果 附熱 變形 形狀 摩擦 耐性 電壓 保持率 (¾) 液晶 定向性 破壊負荷 (gf) 破壞變形 ⑻ 實施例1 7.0 30 〇 〇 〇 99.1 〇 實施例2 6.5 35 〇 〇 〇 99.4 〇 實施例3 7.1 30 〇 〇 〇 99.2 〇 實施例4 7.8 31 〇 〇 〇 99.1 〇 實胞例5 8.2 50 〇 〇 〇 99.0 〇 實施例6 8.0 45 〇 〇 〇 99.1 〇 實胞例7 6.9 30 〇 〇 〇 99.3 〇 參考例1 3.1 60 一 — — — — - ,1/ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 「一^---------訂 i,--
n n I J.. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） d 6 8 0 9 2 A7 B7 五、發明說明（ 33 當淪例8 协射敏感件樹脂組成物之調靱 成份[A]使用合成例1所得聚合物溶液（相當於鹼溶 性樹脂[A-1] 100重量份（固體成份）），成份[B]使用 賽梅爾300(下式（V)所示化合物混合物： (CH2OCH3)k …（V) (CH3〇CH2)mN^ ''N(CH2〇CH3) j 式中k = 1或2 , m = 1或2 , k + m S 2 , j = 0至2的整數，三井 氛胺公司製品）30重量份，成份[C]使用2-(4-二乙基胺 基-2-甲基-芦-笨乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-s-三畊 3.0重量份，增感劑使用1,7-雙（羥基-3-甲氧基苯基）-1,6 -庚二烯-3,5-氧化物3重里份，含環氧基2個以上 的化合物使用耶波賴特1 0 0MF (相當於下式（VI >):
ch2— ο—ch2—ch—ch2 I /0\ ch3— ch2—c —o—ch2—ch—ch2 /0\ ch2—〇一ch2_ch—ch2 (VI) ^ ^ 1 ^---Γ---^-1 訂i,-------線' .....} (請先闓讀背面之注意事項再填寫本頁) m:. β. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (共榮社油脂化學工業公司製品）20重量份，界面活性劑 使用梅格費克F-172(大日本油墨公司製品）0.04重量份t 混合並加3 -乙氧基丙酸乙酯溶解，使固體成份濃度為 1 7 . 0重童％ ,用孔徑0 . 2 w m的微细孔滤材過濾，調製成 放射敏感性樹脂組成物溶液（S-8)。 一 3 5 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 468092 A7 _B7_五、發明說明（34) 在玻璃基板上使用旋塗器塗佈上述組成物溶液（S-8) 後，在lOOt：熱板上預烤90秒，彤成塗膜。 於上述所得塗膜，使用預定画型之光罩，Μ在436nm 的強度為2*5mW/cm 2的紫外線U射線）照射4分鐘。此 時紫外線照射是在氧氛圍下（空氣中）進行。紫外線照射 後，於110¾熱板進行PEB處理90秒。其次，以四甲基 氫氧化銨0.1 4重童丨水溶液，在25¾顯像120秒後，用 純水流洗1分鐘。藉此操作除去不要部份，即可解析 10w ntx 10w π角的圖形0 將上述形成的間隔板圃型茌烘箱中，於200·ϊ：加熱30 分鐘（ΡΕΒ)硬化，得髙的間隔板圖型。 感光麽 於s射線階台使用5i/mX5Wm光罩加Μ曝光時，可形 成5// βΧ5μ m圖型之暍光虽，做為感光度。結果如表2 所不 〇 而肉的嗥厚均句忡 在上述間隔板形成過程中，在面内25點測最顯像後的 瞑厚，算出平均膜厚，在測定值當中最大值和最小值由 下式⑴計算，均匀性Μ約95¾〜105¾範圍内為佳。結果 如表2所示。 均勻性=(測定處的瞑厚）/ (平均膜厚）X 100¾ 式⑴ 硓瞭率夕評估 在上述間隔板形成過程中，在面内25點逐一測量顯像 後和PEB後的膜厚，分別求出平均值，就各平均值由下 -36- (請先闓讀背面之注意事項再填寫本頁) '11^----„------ 訂 ij-------線、 義..
I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） Δ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 8092 A7 _B7_
3 R 五、發明說明（） 式¢2)算出殘膜率。算出的殘膜率（¾)在80¾ Μ上時，殘 膜率視為良好。結果如表2所示。 殘膜率=(顯像後的膜厚）/(ΡΕΒ後膜厚）χιο〇3； —-式（2) 間隔板強麻.間隔板斷而形狀和耐熱幾形之評估 此等評估完全和實施例1同樣進行。結果如表2所示。 耐瞠擦件、雷眍傑持率、宙向件^評估 ①將上述組成物溶液（S-8),利用旋塗法塗在附有 ΙΤ0膜所製透明電極的玻璃基板之透明電極面，在ιοου 熱板上預烤90秒，形成塗膜。 於上述所得塗膜，使用預定圖型光罩，Κ 436ηΠι時強 度為2.5mW/cm2的紫外線照射4分鐘。此時的紫外線照 射是在氧氣氛圍下（空氣中）進行。紫外線照射後，在 11〇υ熱板上，進行PEB處理90秒。其次，K四甲基氫 氧化銨0.14重量Si水溶液，在25t：顯像120秒後，藉純 水流洗1分鐘，然後，經壓縮氮氣乾燥。利用此等操作 ，除去不要部分，W間隔30wm的格狀形成lOwmXlOwra 間隔板圖型。上述所得間隔板圖型在烘箱中，以20〇υ 加熱60分鐘，得高5wm的間隔板圖型。 其次，取液晶定向劑AL-3 0 46 (傑斯法爾公司製品），使 用液晶定向膜塗佈用印刷機，塗佈於上述形成間隔板之 基板，在180¾乾燥1小時，形成乾燥膜厚O.OSAtm的塗 膜。 此附帶間隔板之塗膜，利用摩擦機，具有輥子，捲繞 后龍布，Μ輥子轉數500 rprj,階台移動速度lcm /秒，進 -37 — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^ -----|}1^--------訂 i,-------線}.4· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) :、 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 468092 A7 _B7_ 五、發明說明（36 ) 行摩擦處理，此時，進行耐摩擦性評估，間隔板圖型從 棊板剝落，間隔板被削平而降低間隔板髙度時評為不良 (X ),間隔板未剝落亦未被削平時評為良好（〇）。结果 如表2所示。 ②另外，將液晶定向劑AL3S46 (傑斯將法爾公司製品），使 用液晶定向膜塗佈用印刷機，UN條線塗佈機G-15KS(納 間公司製品），塗佈於附有IT0瞑製成的透明電極之玻 璃基板透明電極面，在180 C乾燥1小時，形成乾燥膜 厚0.05// m塗膜。 於此塗膜，利用摩擦機，具有輥子，捲繞尼龍布，Μ 輥子轉數500rpm,階台移動速度lcin /秒，進行摩擦處理。 上述①②所得基板具有液晶定向膜之外緣，分別K絹 印塗佈摻入直徑5/ζια的玻纖之環氧樹脂格膠後，將一對 基板以液晶定向膜®相向，但摩檫方向正交重II壓接， 使黏膠硬化。 其次，將尚列型液晶（默克公司製品ZL 1-4792)由液晶 注入口充填於一對基板間後，用環氧糸黏膠在液晶注入 口封閉，在基板外側兩面貼合偏光板，使偏光板的偏向 方向分別與基板的液晶定向膜之摩檫方向一致，製成液 晶顧示元件。評估所得液晶顯示元件之電壓保持率、定 向性。液晶顯示元件的電壓保持率評估，係在對液晶顯 示元件沲加5\?電壓後，開啟電路，測虽16.7微秒後的保 持電壓。又，液晶顯示元件的定向性評估，係用偏光顯 微鏡觀察電壓導通和斷通時，液晶胞中有無異常域，若 -3 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^---Λ-----訂'-------線 468092 A7 B7 五、發明說明（ 37 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 看不出異常域評為良好（Ο),看出異常域時評為不良（X) 結果分別如表2所示。 管瓶例9 和實施例8同樣調製並評估組成物溶液（S-9),惟成 份[A]使用合成例1所得溶液（相當於鹼溶性樹脂[A-1] 80重量份（固體成份））與合成例 2 所得鹼溶 性樹脂[A-2] 20重量份之混合物，[B]成份的賽梅爾 300添加量為35重量份，不使用含環氧基二個K上的化 合物。 和實胞例8同樣進行各種評怙，惟實施例8評估中所 用放射敏感性樹脂組成物溶液（S-8)改用（S-9)。評估 结果如表2所示》 當_例1 0 放射敏感拌榭瞄組成物之調製 成份[Α]使用合成例3所得聚合物溶液（相當於鹼溶 性樹脂U-3] 100重量份（固體成份）），成份[Β]使用 賽梅爾300 25重量份，成份[C]使用2-(4-二乙基胺基-2-甲基-jS -苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-s-三畊5.0重量 份，含環氧基二涸Μ上的化合物使用Epikote 828(相當 於下式（VB ):
(式中n = 184〜194),油化蜆殼環氧公司製品）1.0重最 -3 9 — *(VII) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ~ ϋ n t ϋ l· ϋ )δϋ Ε ϋ ϋ n 線、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 468092 B7_ 五、發明說明（38 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 份，界面活性劑使用梅格費克F172(大日本油墨公司製 品）0.04重量份，混合並加雙两酮醇溶解，使固體濃度 為17.0重量a；,以孔徑0.2/im微胞孔滤材過漶，調製成 放射敏感性樹脂組成物溶液（S-10)。 和實胞例8同樣進行各種評估，惟實施例8評估中所 用放射敏感性樹脂組成物溶液（S-8)改用（S-10),顯像 液則使用N -甲基哌啶1.0重量％水溶液。評估結果如表 2所示。 g倫例1 1 和實施例8同樣調製放射敏感性樹脂組成物溶液（S-11),惟成份[A]使用馬爾卡林卡PHM-C 100重量份代 替含[A-1]的溶液，含環氧基二個Μ上的化合物耶波賴 特100MF添加量為3.0重量份。 和實施例8同樣進行各種評估，惟實施例8評估中所 用放射敏感性樹脂組成物溶液（S-8)改為（S-11)。評估 结果如表2所示。 hh齩例1 和實施例8同樣調製故射敏感性樹脂組成物（R-1), 惟不添加[B]成份。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在實施例8中，放射敏感性樹脂姐成物溶液（S-8)改 用（R-1),進行同樣評估，但在上述間隔板形成步驟中 ，顯像接著進行在2 0 0 Τΰ加熱3 0分鐘後，未有間隔板圖 型殘膜，其他評估無法進行。结果如表2所示。 -4 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格（210 X 297公釐） 468092 A7 B7 五、發明說明) »-&「—」»71|激臶遨Μ。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 趙 渣 1-* as m m 1-k Η·"4 M m 宜 g n CO n m 宜 〇〇 扑 Ο 合 a o t71 g gv 1： m g法 1 CO ς〇 1 1-1 2 CO 0〇 l s 茬 \ g <〇 0〇 H-1 容 藏 s? i? 1 CD to §§ oo cn ^ m 谢 1 Οϊ CO -a oo o ST難薄 3鄣莼 m 茹 睡 JSV 1 w w to S?嗯离 w涝键 1 CO CO Cd 11 ! h-1 N? to 55 s 4 m 缴 m 1 Od D> D5 涝 η 1 〇 〇 〇 〇 聲礙 1 CO ς〇 Ca5 to CO * CO JD jn4 S|g [ 〇 〇 〇 〇 g ^ S Sm »2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) „ Γ ★ a I— ^ I ί /1 線' 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 468092 A7 B7 五、發明說明（4Q) 按照本發明可提供一種放射敏感性樹脂組成物，對S 射線和gh射線的有高度感度，耐摩擦性優良，具有充分 電懕保持率和液晶定向性，可形成耐熱尺寸安定性和壓 縮強度儍良之間隔板。 圓式簡屋說明 第1圖為表示間隔板斷面形吠之說明圖。 (諝先閱讀背面之生悫事項再填窝本頁) |--------訂-----------線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 42- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

  1. -re- 8 0 9 3 公告 A8 9¾ 7· β 修 Β8 寻月β — C8 I 一;占. D8
    A’ , 六、申請專利範圍 第88114046號「間隔板用放射敏感性樹脂組成物，間隔 板之製法，間隔板及其液晶顯示元件」專利案 (90年7月16日修正） 六申請專利範圍： 1 ·—種間隔板用放射敏感性樹脂組成物，其特徵爲包含： [A] 鹼溶性樹脂 [B] 如下式（I )所示之蜜胺類 U) 基，R表示氫原子或q-C6烷基），和 [c]下式（n)所示三鹵甲基三畊 * _·(1!) (式中X表不鹵素，A表ttcCX3或下式所示基圃 ----Τ----1-----，裝——„-----—訂· —-------竣、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
    、〆0 C
    (B), (B): 翰
    、(B)m Μ氏張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公筮） 468092 AS B8 C8 D8 六、申請專利範圍 或
    (B)m (B)m 而B、D、E各自分別表示氣原子，鹵素原子，氧基， 硝基，羧基，羥基，。烷基，CVC,。烷氧基， 。烷硫基，C6-C1D芳基，C6-Cie芳氧基，(：6-(：10芳 硫基，二（h-C,。烷基）胺基，二（C6-C1Q芳基）胺基， CVCu烷基羰基，C2-Cn芳基羰基、C2-Q。烷氧基羰 基，或C2-C1Q烷基羰氧基，m表示1〜5整數），或 下式（m)所示之鐵鹽類 (Α)η ζ+ γ- ( m ) (式中a之定義同上述，z表示硫或碘，y表示bf4, PF6，SbFfi，AsF6，對甲苯磺酸酯，三氟甲烷磺酸酯 或三氟乙酸酯，η表2或3 )者。 一種間隔板用放射敏感性樹脂組成物，其特徵爲包含： [A j鹼溶性樹脂 [B]如下式（I )所示之蜜胺類 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) :裝---^----訂 i_--- 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R\/
    •(工） -2- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 468092 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 ch2or基，r表示氫原子或Cl-c6烷基），和 [C ]如下式（jy)所示之三鹵甲基三哄類
    (式中X表示鹵素原子，R8和R9各自分別爲Ci-Cu 烷基或Cs-C1()芳基，R 11 , R1Q和R11各自分別表示氫 原子，鹵素原子，氰基，硝基、羧基，羥基 烷基，CVCu烷氧基，（^-(^烷硫基，C6-CiQ芳基， CVC!。芳氧基，c6-C1Q芳硫基，二（CVC^o烷基）胺基， 二（C6-Clfl芳基）胺基，c2-cn烷基羰基，C7-Cn芳基 羰基、C2-C1Q烷氧基羰基，或C2-C1Q芳基羰氧基，而 i表示1〜5之整數者。 3.如申請專利範圍第1項之間隔板用放射敏感性樹脂 組成物，其另包含[D]在分子內含二個以上環氧基 之化合物。 4 .如申請專利範圍第2項之間隔板用放射敏感性樹脂 組成物，其另包含[D]在分子內含二個以上環氧基 之化合物》 5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之間隔板用放 射敏感性樹脂組成物，其中[A]鹼溶性樹脂爲含酚 性羥基之樹脂。 6. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之間隔板用 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（210 X 297公1〉 (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) 裝.------I 訂·-'----I--靖 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印制农 6 80 92 韶 C8 _ D8 六、申請專利範圍 放射敏感性樹脂組成物，其中[A]鹼溶性樹脂爲含 羧基之樹脂。 7. —種間隔板之形成方法，其係使用如申請專利範圍 第1至6項中任一項之間隔板用放射敏感性樹脂組 成物。 8 . —種間隔板，其以如申請專利範圍第1至3項中任 一項之間隔板用放射敏感性樹脂組成物所形成。 9. 一種液晶顯示元件，其具有以如申請專利範圍第1 至3項中任一項之間隔板用放射敏感性樹脂組成物 所形成之間隔板。 (諳先聞讀背面之注意事項再填窝本頁) ---^----^—訂—·--- 經濟部智.«財產局員工消費合作社印制4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
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