465044 A7 B7 五、發明説明（1 ) 〔發明領域〕 本發明關於一種切割機，例如用於切割半導體晶圓之 切塊機。 〔習用技術說明〕 尙未實審之日本專利公開案第1 9 9 9 一 2 6 4 0 2 號及1 9 9 9 — 7 4 2 2 8號各揭示一種沿著格狀花紋內 的切割切割半導體晶圓之切塊機。在切塊機中設有一盒子 承載區，一等待區，一夾掣台，一切割區，以及一淸理區 經濟部智慧財產局員工消资合作社印製 。在盒子承載區設有盒子支撐裝置，在等待區設有暫時支 撐裝置，在淸理區設有淸理裝置。切塊機亦有可在夾掣台 與切割區之間實質上水平移動的一個夾掣台，將夾在置於 夾掣台內的夾掣台的工件切割之切割裝置，以及第一，第 二及第三輸送裝置。在盒子支撐裝置上承載一個容納多個 工件之盒子，進一步言之，藉由一安裝帶在一架體的中央 孔裝設多半導體晶圓。第一輸送裝置將盒子內的工作移出 到暫時支撐裝置上，之後工作被第二輸送裝置移到夾掣區 而夾掣在夾掣台上。工作連同夾掣台被移到夾掣區，工作 在該處被切割裝置切割。之後，被切割的產品連同夾掣台 被移到夾撃區，再將產品由夾挈區被第二輸送裝置移到淸 理區。接著在淸理區的淸理裝置淸理產品，再由第二輸送 裝置將產品由淸理區移到暫時支撐裝置。再來將暫時支撐 裝置上的產品利用第一輸送裝置移入盒子。 上述傳統切塊機之問題爲盒子承載區，等待區，夾掣 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X 297公釐） 465044 A7 B7__ 五、發明説明（2 ) 區’切割區，及淸理區並非必須之合理，整個機器無法在 體積上減小。爲了高效率切割工作，有需要設置二切割裝 置’亦即第一和第二切割裝置，並使二者對單一工作作用 ’如前述尙未審查之日本專利公開案第1 9 9 9 — 26402號及1999-74228號。然而，特別是 設有第一和第二切割裝置時，第一切割裝置及/或第二切 割裝置的部分局部突出，使得機器安裝空間無法變小。如 已知者，切塊機通常需安置在俗稱淸淨室者，在此方面也 強烈地需要讓切塊機體積越小越好。 〔發明槪述〕 · 本發明主要目的在於改進切割機（例如切塊機）個別 區之安排，使整個機器體積縮小。 本發明的另一目的係在不造成問題下達到主要目的， 使得已切割並淸理之工作不會被切屑再度污染。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 本發明人進行深入硏究，發現上述主要目的之達成可 藉由將盒子承載區，夾掣區，及淸理區依序設置在預定方 向延伸的一第一直線（平面觀之），並將夾掣區及切割區 設在與第一直線垂宜的方向延伸之第二直線（平面觀之） 0 亦即，本發明提供（爲達到主要目的之切割機）一切 割機，包括設在一盒子承載區來支撐容納多個工作之盒體 支撐裝置：可在一夾掣區與一切割機之間水平移動之一夾 掣台；設在一淸理區內之淸理裝置；將夾掣在切割區內的 本纸乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） .g . 4650 4 A7 B7 五、發明説明（3 ) 夾掣台上的工件切割之切割裝置；以及工件輸送裝置，其 中： (請先閱讀背面之注象事^<填寫本頁) 盒子承載區，夾掣區，及淸理區依序設置在預定方向 延伸的一第一直線（平面觀之），而且夾掣區及切割區設 在與第一直線垂直的方向延伸之第二直線（平面觀之）； 以及 盒子內的工作被工件輸送裝置移出到夾掣區，被夾掣 在夾掣區的夾掣台上，與夾掣台一起被送到切割區，被切 割區內的切割裝置切割，之後與夾掣台一起被送回夾掣區 ，被工件輸送裝置從夾掣台輸送到淸理區，被淸理裝置淸 理，之後被工作輸送裝置從淸理裝置送到夾'掣區，以及被 工作輸送裝置送入盒子內。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 若有需要，可在夾掣台設置暫時支撐工作之暫時支撐 裝置，使要被切割之工作（已移出盒子）開始可先載放在 暫時支撐裝置上，之後後暫時支撐裝置移到夾掣台上，之 後，已切割及淸理之工件可由淸理裝置移到暫時支撐裝置 ，然後移入盒子。暫時支撐裝置最好是由置於夾掣區內夾 掣台上方的一對支撐構件所組成，而且此對支撐構件可在 一操作位置與一不操作位置之間移動》在操作位置時，支 撐構件彼此相隔一既定空隙；而且工件被支撐構件支撐之 方式得以橋接支撐構件之間的空隙；在不操作位置時，支 撐構件已離開操作位置而彼此遠離，而工件得以由支撐構 件之間的空隙落下。 爲了達到上述另一目的，工件輸送裝置最好包括第一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐} -6- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4· 6 5 ◦ 4 丄! A7 _B7 五、發明説明（4 ) ，第二，及第三輸送裝置；第一輸送裝置將要切割的工件 從盒子移出到暫時支撐裝置，並將切割和淸理後已移至暫 時支撐裝置之工件從暫時支撐裝置移入盒子；第二輸送裝 置將已移出盒子且被支撐在暫時支撐裝置上的要被切割之 工件從暫時支撐裝置移到夾掣台上，並將已切割和淸理後 的工件從淸理裝置移到暫時支撐裝置；以及第三輸送裝置 將切割後已連同夾掣台回到夾掣區之工件從夾掣區送到淸 理裝置。 在較佳實施例中，工件包括一半導體晶圓，而切割裝 置切割半導體晶圓。切割裝置最好包括第一和第二切割裝 置，二者各有一轉軸，轉軸上設有一切割刀·片；二轉軸縱 排，且平行於第一直線延伸；切割切片設在轉軸端部且面 向對方。 〔圖式簡介〕 圖1係本發明之切割機以切塊機做爲實施例之立體圖 〇 圖2係圖1中切塊機部分立體圖，其罩框剖開。 圖3爲一立體圖，其中要被圖1中切塊機切塊之半導 體晶圓利用一裝設帶裝設在一架體上。 元件對照表 2 罩框 4 主體部 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） 批衣 訂 線 ..... '} (請先閱讀背面之注意事^:填寫本頁) 二 4 6 5 0 4 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、 發明説明（5 ) 6 凹部 8 上突部 A 盒子承載區 B 夾掣區 C 淸理區 a 中心 b 中心 c 中心 L 1 直線 L 2 直線 D 切割區 1 0 盒子支撐區 1 2 上壁 1 4 孔 1 6 . 升降站 1 8 導軌 1 9 外螺紋軸 2 0 電動馬達 2 2 工件 2 4 盒子 2 6 架體 2 8 裝設帶 3 0 半導體晶圓 3 2 格道
(請先閱讀背面之注意事爭寻填寫本頁J 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） ” 8 - 465044 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、 發明説明（6 ) 3 4 側壁 3 6 容槽 3 8 上壁 4 0 圓孔 4 2 圓孔 4 4 細長孔 4 6 細長孔 4 8 暫時支撐裝置 5 0 支撐構件 5 2 夾掣台 5 4 支撑座 5 6 支撐塊 5 8 導軌 6 0 滑塊 6 4 外螺紋軸 6 6 支撐構件 6 8 夾掣構件 7 0 夾緊機構 7 2 可動夾緊件 7 4 中空保護管 7 6 淸理裝置 7 8 隔板 8 0 夾掣機構 8 2 升降站 (請先閔讀背面之注意事爹-ft填寫本頁) 裝· 訂 線 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 4 6 5 0 4 4 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（7 ) 114a 電動馬達 114b 電動馬達 116a 耦合架 116b 耦合架 118a 切割單元 118b 切割單元 120a 殼體 1 2〇b 殼體 12 2a 轉軸 122b 轉軸 124b 切刀 126a 電動馬達 126a 電動馬達 128a 成像裝置 128b 成像裝置 1 3 2 第一輸送裝置 134 第二輸送裝置 136 第三輸送裝置 140 外螺紋軸 14 4 電動馬達 14 6 滑臂 14 8 夾緊裝置 15 2 滑臂 15 3 側壁 (請先閱讀背面之注意事填寫本頁) -裝.
1T 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（2丨ΟΧ25»7公釐> -10- 465044 A7 B7 經濟部智B財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（8 ) 154 支撐構件 84 夾掣構件 8 6 夾緊機構 8 8 可動夾緊件 9 0 噴嘴 9 2 支撐底板 9 3 缺口 94a 第一切割裝置 94b 第二切割裝置 9 6 導軌 9 8a 滑塊 9 8b 滑塊 10 0a 外螺紋軸 100b 外螺紋軸 10 2a 軸承構件 10 2b 軸承構件 10 4a 電動馬達 10 4b 電動馬達 10 6a 導軌 10 6b 導軌 108a 升降塊 108b 升降塊 110a 導軌 110b 導軌 {請先鬩讀背面之注意事^：填寫本頁) 裝_ 訂 線 表紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -11 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 5 0 4 4 A7 ____B7 五、發明説明（9 ) 112a 外螺紋軸 112b 外螺紋軸 15 5 槽孔 156 升降構件 158 連接構件 160 板狀構件 162 吸附設備 1 6 4 支撐臂 16 6 垂直部 16 7 槽孔 16 8 水平部 16 9 突伸件 1 7 0 吸附設備 1 3 2 A 虛線 1 3 2 B 虛線 1 5 2 A 虛線。 〔較佳實施例詳述〕 下文中配合所附圖式·來說明本發明切割機之一較佳實 施例之切塊機。 請參閱圖1 ，所示之切塊機有一罩框2，罩框2有一 幾近長方體之主體部4 ’主體部4 一半部的前部有一幾近 方形之凹部6 ’主體4另一半部則有一幾近長方體之上突 部8。罩框2的半部依序設有一盒子承載區众’―夾掣區 n I I 1—^衣 ϋ ' —i I —i n 線 、. (請先閱讀背面之注意事t填寫本買) 本紙張史度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2 S 0 X 297公瘦} - 12 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 5 0 4 4 A7 _B7 五、發明説明（1〇 ) B >以及一淸理區C。盒子承載區A在罩框2半部的前部 (因此係在凹部6中），夾掣區B在罩框2半部的中間部 ，而淸理區C在罩框2半部的後部。盒子承載區A，夾掣 區B，和淸理區C從平面觀之係位於前後方向延伸的一條 直線上，進一步言之，盒子承載區A的中心a，夾掣區B 的中心b，以及淸理區C的中心c從平面觀之係位於前後 方向延伸的一條直線L 1上。罩框2另一半部的上突部8 設有一切割區D，從平面觀之，通過切割區D和夾掣區B 的一直線大致上垂直於通過盒子承載區A，夾掣區B，以 及淸理區C的直線，此爲重要的一點。進一步言之，重點 是通過切割區D的中心d和夾掣區B的中心· b的直線L 2 與直線L 1垂直。爲便於說明，在本說明書中，直線L 2 的延伸方向爲X軸方向，直線L 1的延伸方向稱爲Y軸方 向，而垂直方向稱爲Z軸方向= 請參閱圖1和2，盒子支撐裝置10係設在盒子承載 區A，盒子支撐裝置1 〇 (形狀可爲已知者）有一個能經 過罩框2凹部6上壁12的孔14上下移動之升降站16 。如圖2所示，罩框2中固設大致上垂直延伸之二導軌 1 8，而升降站1 6則設有導槽，升降站1 6的導槽與導 軌1 8滑接，藉此讓升降站1 6能沿導軌1 8上下移動。 罩框2中設有可轉動之垂直延伸的外螺紋軸1 9，而升降 站1 6設有與外螺紋軸1 9螺接之內螺紋構件（未示出） 。外螺紋軸1 9與一電動馬達2 0耦合，電動馬達2 0使 外螺紋軸19正常轉動或反轉，使升降站16升降。 . H ^ I n I H i I— I ^ 1' . .· (請先閱讀背面之注意事t填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -13- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 5 0 4 4 A7 B7 五、發明説明（11 ) 盒子支撐裝裝置10升降站16上載有容納多個工件 2 2之盒子2 4，所示實施例（如圖3所示）工件2 2包 括利用一裝設帶2 8安裝在中心有一安裝孔的架體2 6上 之半導體晶圓3 0。半導體晶圚3 0表面形成格子狀（亦 即格道3 2 )之切割線，格道3 2劃分的各長方形區構成 形成一電子電路之一個晶片。盒子2 4有一對側壁3 4 ’ 側壁3 4內表面成水平延伸且上下有既定間隔設置之多個 容槽3 6。各架2 6兩側緣部插入側壁3 4容槽3 6，使 得工作2 2容置方式係呈上下既定間隔且水平延伸（圖1 ，2中僅示出一工件22以簡化圖面）。藉由使升降站 1 6升降，盒子24各對容槽3 6被帶到一預定高度。要 切割的工件2 2由位於預定高度的各對容槽3 6取出，稍 後再詳述。之後，已切割和淸理之工件2 2再度被置入位 於預定高度的該對容槽3 6內。 如圖1中淸楚所示，罩框2半部的上壁3 8形成與夾 掣區B和淸理區C分別對應之大圓孔4 0和4 2。從盒子 承載區A到圓孔4 0亦形成在Y軸方向延伸的一個細長孔 44，從圓孔4 0到圓孔4 2亦有在Y軸方向延伸的一個 細長孔4 6。在上壁3 8上與夾掣區B接合（因此與圓孔 4 0接合）處設有一暫時支撐裝置4 8。暫時支撐裝置 4 8包括一對在X軸方向隔開的支撐構件5 0，該對支撐 構件5 0係裝設而可在X軸方向，而且選擇性地位於圖1 中實線所示的不操作位置和虛線所示的操作位置。當支撐 構件5 0在操作位置時，被取出盒子2 4的工作2 2之承 ----------批衣------1T------A (諳先閲讀背面之注意事^;填寫本頁) '·... 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -14- 4 6 5 0 4 4 A7 B7 五、發明説明（12 ) (請先鬩讀背面之注意事^--¾填寫本貫) 載方式係將二支支撐構件5 0之間的間隔橋接（換言之’ 工作2 2內的架體2 6二側緣部被該對支撐構件5 0支擦 )，稍後會詳述。當該對支撐構件5 0彼此相對遠離到不 操作位置，即可將工件2 2經由支撐構件5 0之間的間和 圓孔4 0上下移動。 請參閱圖1和2，罩框2內設有可在夾掣區B與切割 區D之間大致上水平延伸的一夾掣台5 2 >詳細言之，罩 框2內設有大致上水平延伸的一固定支撐座5 4 =支撐座 5 4上於X軸方向固設隔開的一對支撐塊5 6 (圖中僅示 出其中一者）。在該對支撐瑰56之間於Y軸方向固設隔 開的一對導軌5 8，在該對導軌5 8上設有'一滑塊6 0， 滑塊6 0下表面形成在X軸方向延伸的~對導槽（未示出 )。該對導槽與該對導軌58結合，藉此滑塊60可在X 軸方向沿導軌5 8移動=在該對支撐塊5 6之間亦設有在 X軸方向延伸的可活動的一外螺紋軸6 4。滑塊6 0下表 面固設一內螺紋件（未示出），內螺紋構件與外螺紋軸 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 4螺合。一電動馬達（未示出）耦合外螺紋軸6 4，電 動馬達可正轉及反轉，使滑塊6 0沿導軌5 8在X軸方向 移動。滑塊6 0上固設一圓柱狀支撐構件6 0 1支撐構件 6 4上設有可繞一大致上垂直延伸的中央軸旋轉的一夾掣 構件6 8。支撐構件6 6內設置使夾掣構件6 8轉動的一 個旋轉驅動源（未示出），其可爲一電動馬達。圓碟狀之 夾掣構件6 8係用多孔材料製成，例如多孔陶瓷。夾掣構 件6 8設有在X軸方向突伸的一對夾緊機構7 0，各夾緊 -15- 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 五、發明説明（13 ) 機構7 〇有一可動夾緊件7 2 ’而可動.夾緊件7 2被一致 動裝置（未示出），例如一氣動式致動件，選擇性地帶到 圖2中所示之不夾緊位置，以及於旋轉方向且在不夾緊位 置內部的一個夾緊位置。當夾掣台5 2定位在圖2所示的 夾掣區B內時，夾掣構件6 8係定位且對齊罩框2上壁 3 8的孔4 0。滑塊6 0設有一中空保護管7 4，中空保 護管7 4可依滑塊6 0之移動而可從圖2中實線所示的狀 態適當地變形到虛線位置，反之亦可。由多孔材料形成之 夾掣構件6 8經由支撐構件6 6，滑塊6 0以及中空保護 .管7 4內的一吸道（未示出）而選擇性地與一適當吸力源 (未示出）連通。使夾緊機構7 0的可動夾‘緊件7 2移動 之致動裝置的電線亦在支撐構件6 6，滑塊6 6與中空保 護管7 4內延伸。 在淸理區C內設有淸理裝置7 6，如圖2所示 > 淸理 裝置7 6 (其本身可爲習用形式）包括固定在支撐座5 4 上的一圓筒狀隔板7 8，以及設在隔板7 8內的可旋轉之 夾掣機構8 0。夾掣機構8 0包括一升降站8 2，其可在 圖2中所示的一上升位置與從上升位置下移一預定量之下 降位置之間上下移動==升降站8 2上端固設一圓碟狀夾掣 構件8 4，夾掣構件8 4係由多孔材料製成，例如陶瓷材 料，而且可經由設在升降站8 2內的一吸道（未示出）而 與一適當吸力源（未示出）連通。各夾緊機構8 6包括一 可動夾緊件8 8，可動夾緊件8 8被致動裝置（未示出） ，例如一電磁線圏，由圖2中所示的不夾緊位置選擇性地 I---------^-- (請先閣讀背面之注意事i,+.填寫本頁)
、tT 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2iOX297公釐} _ 16 - 4^5〇44 A7 B7 五、發明説明（u ) 移到在不夾緊位置內且在其旋轉方向的夾緊位置。淸理裝 置7 6有一噴嘴9 0以將淸理液（可爲去離子水）噴出。 噴嘴9 0有一個從支撐座5 4大致上往上垂直延伸的基部 ，以及從基部呈幾近U形延伸之彎曲部。在淸理操作時， 淸理液從噴嘴9 0末端朝吸附在夾掣構件8 4上的工件 2 2噴出，稍後再述。時時，噴嘴9 0可往復地繞噴嘴 9 0基部中心軸轉動。淸理裝置7 6的夾掣構件8 4係定 位而與罩框2上壁3 8內的孔4 2' (圖1 )對齊。 請參閱圖2，在Y軸方向延伸的一直立支撐底板9 2 係固定在支撐座5 4上，支撐底板9 2中央有一大缺口 9 3以容納夾掣台5 2，支撐底板9 2上裝·設一對切割裝 置，亦即第一切割裝置9 4 a和第二切割裝置9 4 b。進 一步言之，支撐底板9 2內表面設有一對在Y軸方向延伸 的導軌9 6。第一切割裝置9 4 a的一滑塊9 8 a外表面 以及第二切割裝置9 4 b的一滑塊9 8 b外表面形成在Y 軸方向延伸的一對導槽（未示出）。導槽與導軌9 6結合 ，藉此滑塊98a ，98b裝設在導軌96上而可在Y軸 方向滑動。支撐底板9 2前表面利用軸承構件1 0 2 a， 1 0 2 b以可轉動方式安裝二支在Y軸方向延伸的外螺紋 軸l〇〇a ，100b ，外螺紋軸100a ，100b安 裝在一條直線上。滑塊98a ’ 98b的後表面固設內螺 紋構件（未示出），內螺紋構件分別螺接外螺紋構件 100a，100b，而電動馬達 l〇4a ’ 104b 分 別連接外螺紋軸l〇〇a，100b。當外螺紋軸 (請先聞讀背面之注項Λ填寫本頁) 裝· 訂 經濟部智惡財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) A4規格（21 〇 X 297公釐） -17- 465044 A7 __B7 五、發明説明（Ί5 ) 100a ，l〇〇b被電動馬達l〇4a ，l〇4b驅動 時，滑塊9 8 a ，9 8 b沿該對導軌9 8 a ，9 8 b在Y 軸方向移動。各滑塊9 8 a ，9 8 b前表面設有在Y軸方 向間隔設置且大致上在垂直方向（亦即Z軸方向）延伸的 一對導軌106a，106b。各升降塊l〇8a， _1 0 8 b外表面形成在Z軸方向延伸的一對導槽。利用導 槽與導軌結合，升降塊1 0 8 a ，1 〇 8 b安裝在滑塊 9 8 a，9 8 b上而可在Z軸方向上下移動。滑塊9 8 a ，9 8 b上更設有在Z軸方向延伸之可轉動的外螺紋軸 112a，112b，升降塊 l〇8a，108b 後表面 固設內螺紋軸（未示出），內螺紋構件分別螺接外螺紋軸 112s ，112b < 電動馬達 114a ，114b 分別 連接外螺紋軸1 1 2 a ，1 1 2 b。當電動馬達1 1 4 a ，1 1 4 b使外螺紋軸1 1 2 a ，1 1 2 b轉動時，升降 塊108a，108b沿導軌ll〇a，110b上下移 動。 升降塊108a ，108b利用耦合架116a ， 1 1 6 b分別安裝切割單元1 1 8 a ’ 1 1 8 b ’切割單 元118a，118b包括幾近長方體之殼體120a ’ 120b。各殻體120a ’ 120b設有在Y軸方向延 伸的一支可轉動的轉軸（圖2中僅示出設在殼體1 2 0 b 的轉軸1 2 2 b )，轉軸係縱排。轉軸內端（亦即互相面 對的端部）固設切刀（圖2中僅示出固設在轉軸1 2 2 b 上的切刀1 2 4 b )。切刀由含有鑽石硏磨粒之薄碟狀物 ---------t--- (請先閲讀背面之注意事填寫本頁) 訂_ 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297公釐） -18 - 0 6 Q14 4 A7 _________ B7 五、發明説明（16 ) ~ 所組成。轉軸1 2 2 a ，1 2 2 b外端與電動馬達 126a ，126b連接。殼體120a ， 120b亦設 有包含顯微鏡之成像裝置1 2 8 a ，1 2 8 b。 §靑參閱圖1，所示切塊機亦有第一輸送裝置132， 第二輸送裝置1 3 4，以及第三輸送裝置1 3 6。至於第 一輸送裝置1 3 2，上述支撐座5 4上固設在Y軸方向延 伸的一條導軌（未示出），而且設有可轉動的在γ軸方向 延伸的一支外螺紋軸1 4 0，外螺紋軸1 4 0 —端連接一 電動馬達144。第一輸送裝置1 32包括一滑臂146 ’滑臂1 4 6內形成有在Y軸方向延伸的一導槽（未示出 )，以及在Y軸方向延伸的一個內螺孔（未‘示出）。藉由 導槽與導軌結合，以及內螺孔與外螺紋軸1 4 0螺接，滑 臂1 4 6可在Y軸方向滑動。當外螺紋軸1 4 0被電動馬 達1 4 4轉動，滑臂1 4 6可在Y軸方向滑動往復。滑臂 1 4 6前端裝設夾緊裝置1 4 8，夾緊裝置1 4 8有一對 夾緊片來分別夾緊工件2 2架體2 6內的一緣部。 第二輸送裝置1 3 4有一滑臂1 5 2，罩框2突伸部 8的一側壁1 5 3有在Y軸方向延伸的一個槽孔1 5 5。 突伸部8中形成安裝成在可Y軸方向滑動，其係利用與第 一輸送裝置13 2滑臂1 4 6相同的裝設及驅動裝置（未 示出，以避免圖太複雜）做爲裝設及驅動裝置。滑臂 1 5 2底部利用一電動馬達的正轉及反轉而可在γ軸方向 往復移動。滑臂1 5 2前端部下表面固設一支撐構件 154，支撐構件154上設有一升降構件156，支撐 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------.—^—I (#先聞讀背面之注意事填寫本頁) 訂 -線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -19- 4 650 4 4 A7 __ B7 五、發明説明（17 ) 構件1 5 4與升降構件1 5 6之間設有一升降裝置（未示 出），其可爲氣動缸式機構。升降裝置使升降構件156 升降。升降構件1 5 6下端固設在X軸方向延伸的一假板 狀構件1 5 8，連接構件1 5 8二端固設在Y軸方向延伸 之板狀構件1 6 0。各板狀構件1 6 0下表面兩端設有吸 附設備1 6 2，各吸附設備1 6 2經由一適當吸道（未示 出）而選擇性地與吸力源（未示出）連通。 第三輸送裝置1 3 6包括一支撐臂1 6 4，支撐臂 1 6 4有大致上在垂直方向延伸的一個垂直部1 6 6，以 及從垂直部1 6 6上端大致上水平延伸的一水平部1 6 8 。支撐座5 4上形成在Y軸方向延伸的一假細長槽孔 1 6 7，支撐臂1 6 4垂直部1 6 6向下延伸穿過槽孔 167。罩框2下部設一滑塊（未示出，以簡化圖），支 撐臂1 6 4垂直部1 6 6的下端部係設在滑塊上而可上下 移勖，亦設有使支撐臂1 6 4升降之升降裝置（未示出） 。支撐臂1 6 4垂直部1 6 6的安裝方式可包括一導軌以 及與其結合之導槽。支撐臂1 6 4的升降裝置可包括一外 螺紋軸以及螺接之內螺紋構件。供支撐臂1 6 4垂直部 1 6 6裝設的滑塊本身係安裝成可在Y軸方向活動，而且 亦設有使滑塊在Y軸方向滑動之滑動裝置。滑塊之安裝方 式可包括一導軌以及與其結合之導槽，滑塊的滑動裝置包 括一外螺紋軸以及螺接之內螺紋構件。依據此一結構，支 撐臂1 6 4在Y軸方向滑動，亦在垂直方向（亦即Z軸方 向）稍微上下滑動。支撐臂1 6 4前端形成在Y軸方向延 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 2〇 - ----------裝-- .、·， (請先閱讀背面之注意事一填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 465044 Α7 Β7 五、發明説明（18 ) 伸之—突伸片1 6 9，突伸片1 6 9下表面二端設有吸附 δ又備1 7 0 ’各吸附設備1 7 0係經由一適當吸道（未示 出）而選擇性地與一吸力源（未示出）連通。 以下槪述上述切塊機之作動。盒子支撐裝置1 〇的升 降台1 6被升（或降）到所要高度，而承載於升降台1 6 上的盒子2 4內之多個工件2 2中特定一者定位在一預定 商度°在此狀態下，第一輸送裝置1 3 2被移到圖1中虛 線1 3 2 Α位置。第一輸送裝置13 2的夾緊裝置1 4 8 被致動而將盒子2 4特定工件2 2內的架體2 6 —端緣夾 緊。之後，第一輸送裝置1 3 2被移到圖1中虛線1 3 2 B所示位置。據此動作，被夾緊裝置1 4 8，夾住的工件 2 2在暫時支撐裝置4 8的該對支撐構件5 0上從盒子承 載區A移至夾掣區B，而支撐構件5 0係定位在圖1中虛 線所示之操作位置。由是，工件2 2定位在夾掣區B內的 暫時支撐裝置4 8上。之後，第一輸送裝置1 3 2的夾緊 裝置2 2離開工件2 2，第一輸送裝置1 3 2被移到實線 所示之等待位置。此時，第二輸送裝置1 3 4在Y軸方向 移動到夾掣區B，在夾掣區B內，吸附設備1 6 2下降並 與工件2 2架體2 6緊接，之後，吸附設備1 6 2與吸力 源連通，將工件2 2吸附在吸附設備1 6 2上。接著，暫 時支撐裝置4 8的該對支撐構件5 0被移到實線所示的不 操作位置，並從工件2 2下方退出。之後，第二輸送裝置 1 3 4的吸附設備1 ,6 2下降，吸附在吸附設備1 6 2上 的工件2 2被定位在夾掣台5 2夾掣構件6 8上。接著， '... 諳先閱讀背面之注意事t填寫本页) .裝'
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 4 6 5 0 44 A7 ____B7_ 五、發明説明（19 ) 夾掣構件6 8與吸力源連通，藉此工件2 2內的半導體晶 圓3 0吸附在夾掣構件6 8上。同樣地，夾掣構件6 8上 的該對夾緊機構7 0之可動夾緊件7 2移到夾持位置而夾 住架體2 6。第二輸送裝置1 3 4的吸附設備1 6 2與吸 力源切斷連通而將工件2 2放開，之後上升。 之後，夾掣台5 2移到圖2中虛線5 2 A所示位置。 在切割單元118a，118b中，附設成像裝置 128a，128b的顯微鏡移到面向夾掣構件6 8上的 半導體晶圓3 0表面之位置。半導體晶圓3 0表面的影像 被照相，依據此影像，夾掣構件6 8上的半導體晶圓3 0 足夠地且精確地對齊第一切割裝置9 4 a的·切刀（.未示出 )以及第二切割裝置94b的切刀1 24b。對齊時，夾 掣構件6 8必要時在X軸方向移動，並繞其中心軸轉動。 接著夾掣台5 2移到切割區D，在此處對吸附在夾掣構件 6 8上的半導體晶圓3 0進行切塊。切塊之時，夾掣構件 6 8在X軸方向移動，而第一切割裝置9 4 a的切刀和第 二切割裝置9 4b的切刀1 24b對半導體晶圓3 0作用 (同時或有時間差），以沿著在X軸方向延伸的格道3 2 將半導體晶圓3 0切割。第一切割裝置9 4 a的切割單元 1 1 8 a與第二切割裝置9 4b的切割單元1 1 8b被定 位在所需高度，並且在Y軸方向周期地加標記。完成沿著 在X軸方向延伸的格道3 2切割之時，夾掣構件6 8轉 9 0度。之後，開始沿著在Y軸方向延伸的格道3 2切割 。如此，夾掣構件6 8上的半導體晶圓3 0沿著格狀安排 成張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） · 22 - 一~ (請先閲讀背面之注意事产.4,填寫本頁) -裝 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 5 0 4 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（20 ) 的格道3 2切割。設在架體2 6與半導體晶圓3 0之間的 裝設帶3 0並未被切割，所以在半導體晶圓3 0切割後， 架體2 6，裝設帶2 8和切塊後的半導體晶圓3 0保持一 體。 當夾掣台5 2回到夾掣區b，已位於圖1中等待位置 的第三輸送裝置1 3 6在Y軸方向移動到夾掣區B (與夾 掣台52之復位同時或之後）。接著，第三輸送裝置 1 3 6稍微下移，使其吸附設備17 0緊接工件2 2架體 2 6。使吸附設備1 7 0與吸力源連通以將工件1 7 0吸 附在吸附設備1 7 0上。此時，夾掣構件6 8與吸力源切 斷連通，釋放半導體晶圓3 0吸附在夾掣構件6 8上之吸 力。而且，夾掣構件6 8上的該對夾掣構件7 0之可動夾 緊件7 2回到不夾緊位置而放掉對架體2 6之夾持。之後 ，第三輸送裝置1 3 6，稍微上移，而且在第一輸送裝置 i 3 2下方且在Y軸方向移動到淸理區C。接著，第三輸 送裝置1 3 6下降，吸附在吸附設備1 7 0上的工件2 2 承載在淸理裝置7 6中的夾掣構件8 4上。使夾掣構件 8 4與吸力源連通，以將工件2 2吸附在夾掣構件8 4。 同時，第三輸送裝置1 3 6的吸附設備1 7 0與吸力源之 間的連通切斷，使工件2 2由吸附設備1 7 0放掉。接著 ，第三輸送裝置1 3 6稍微上移，再於Y軸方向移動到等 待區。淸理區C內，工件2 2吸附在上面的夾掣構件8 4 與吸力源連通，將半導體晶圓3 0吸附在夾掣構件8 4上 ，而且，夾掣構件8 4上的夾緊機構8 6之可動夾緊件 (請先閲讀背面之注意事；#填寫本頁) .裝. 訂 線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -23- A7 B7 _ 五、發明説明（21 ) 請 先 閱 讀 背 之 注 I f 8 4移到夾持位置而將架體2 6夾持。再來，工件2 2吸 附在上面的夾掣禱件8 4下降到所要位置。噴嘴9 0往復 轉動，淸理液（可爲去離子水）從噴嘴9 0朝工件2 2噴 出。此外，夾掣構件84轉速約爲6 0 0 r pm。如此’ 工件2 2上的切廣（切割時產生）被淸除。之後停止從噴 嘴9 0噴出淸理液，夾掣構件8 4在約3 0 0 0 r p m轉 速下將工件2 2乾燥。 經濟部智慧財產局員工消资合作社印製 完成淸理後，夾掣構件8 4上升到圖2中所示位置1 之後夾掣構件8 4與吸力源之間的連通切斷，放掉對半導 體晶圓3 0之吸力。而且夾緊機構8 6的可動夾緊件8 8 回到不夾持位置而放掉對架體2 6之夾持，·藉此放掉夾掣 構件84對工件22之握持。此時，第二輸送裝置134 在Υ軸方向移到淸理區C，之後第二輸送裝置1 3 4的吸 附設備1 6 2下降而緊接工件2 2內的架體2 6。接著， 使吸附設備1 6 2與吸力源連通，將工件2 2吸附在吸附 設備1 6 2上。之後第二輸送裝置1 3 4的吸附設備 1 6 2升到所要高度，並在Υ軸方向移動到夾掣區Β。再 來，第二輸送裝置1 3 4的吸附設備1 6 2下降，並且置 放的方式將在圖1中虛線所示的不操作位置之暫時支撐裝 置4 8的該對支撐構件5 0之間的間隔橋接。之後，使吸 附設備1 6 2與吸力源之間的連通切斷，再使吸附設備 1 6 2下降。 已如上述切割及淸理之工件2 2係放置在暫時支撐裝 置48上，第一輸送裝置1 3 2從圖1中實線所示的等待 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） _ 24 - 4 6 5 0 4 Λ ' Α7 ___Β7 五、發明説明（22 ) (請先閲讀背面之注意事項我填寫本頁) 位置移到圖1中虛線1 3 2 B所示之位置。第一輸送裝置 1 3 2的夾緊裝置1 5 0被致動而將暫時支撐裝置4 8上 的工件2 2內的架體2 6邊緣夾持。接著第一輸送裝置 1 3 2移到圖1中虛線1 3 2A所示位置，藉此工件2 2 插入盒子2 4。之後，第一輸送裝置1 3 2的夾緊裝置 1 5 0離開工件2 2 ’且第一輸送裝置1 3 2回到實線所 不之等待位置。 在前一工件2 2在淸理區C內淸理時，下一個要被切 割的工件2 2 (已容納在盒子2 4內）從盒子2 4取出到 暫時支撐裝置4 8。之後要切割的工件2 2夾在夾掣台 52，在對齊後，工件22與夾掣台52 —·起移到.切割區 D，在切割區D內啓動第一和第二切割裝置94a ， 9 4 b之切割。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在上述切塊機內’將切割區D內工件2 2切割的第一 和第二切割裝置9 4 a，9 4b最好是與盒子承載區A， 夾掣區B，淸理區c和切割區D —起安排。因此，請注意 整個切塊機構造較緊湊。請特別注意到與曰本尙未實審的 第 1999 — 26402 和 1999 — 7 4 228 號專利 公開案，所揭示的切塊機相比較之下，並無特別局部突伸 者，不需要設置所稱之等待區，所以機器較緊湊。此外， 在工件切割後淸理前（亦即工件上有切屑）僅有第三輸送 裝置1 3 6用來輸送工件。另一方面，在切割前及淸理後 (亦即工件上無切屑），不用第三輸送裝置136來輸送 工件，而是用第一和第二輸送裝置。由是，在切割前淸理 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A 7 __ Β7 五、發明説明（23 ) 後，切屑不會經由輸送裝置移轉到工件上，此亦應注意。 參照所附圖式已說明以特定切塊機做爲本發明切割機 —較佳實施例，請了解本發明不限於此種切塊機1在不偏 離本發明的精神和範圍下仍可有許多變化及修改。 I IM, 裝 H 訂 線 •-' (請先閲讀背面之注意事祝"填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度逋用中國國家標準（CMS ) A4規格（210 X 297公釐） -26 -