JP6169422B2 - 流量調整器具 - Google Patents

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Description

本発明は、チューブを流れる流体の流量を調整するための流量調整器具に関する。
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。このように構成された半導体ウエーハは、研削装置によって裏面が研削され所定の厚さに形成された後、切削装置やレーザー加工装置等によってストリートに沿って個々のデバイスに分割される。
半導体ウエーハ等のウエーハの裏面を研削する研削装置は、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する回転スピンドルに装着された研削ホイールを備えた研削手段と、該研削手段によって研削されたウエーハを洗浄する洗浄手段等を具備している（例えば、特許文献１）。
また、ウエーハを個々のデバイスに分割する切削装置は、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する回転スピンドルに装着された切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段によって切削されたウエーハを洗浄する洗浄手段等を具備している（例えば、特許文献２）。
上述した研削装置や切削装置等の加工装置においては、チャックテーブルを含む多くの手段はチューブを介して吸引源に連結され、またスピンドルユニットを含む多くの手段はチューブを介して高圧エアー源に連結されている。
上述したように吸引源または高圧エアー源にチューブを介してそれぞれの手段に供給されるエアーは、機能に応じて必要とする流量に調整する必要があり、このため適宜の絞り弁を介して吸引源または高圧エアー源に接続されている。
特開２００５−１５３０９０号公報 特開２００１−７０５８号公報
而して、吸引源または高圧エアー源に接続する流体経路にそれぞれ絞り弁を配設することは、比較的高価な絞り弁を各種揃えて加工装置を構成する必要があるため、コスト高となるという問題がある。
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、チューブを流れる流体の流量を容易に調整することができる安価な流量調整器具を提供することにある。
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、チューブを流れる流体の流量を調整する流量調整器具であって、
該チューブを接続するための３つの接続穴を備えた継手本体と、該継手本体の接続穴の内周面に装着され接続穴に挿入された該チューブの外周面を係止する係止爪を備えた係止手段とを具備するチューブ連結継手と、
該チューブの内径に対応した外径を有し該チューブの先端部内側に嵌入して該係止手段の係止爪による係止力を増大させるためのインナースリーブと、を具備し、
該インナースリーブが嵌入された該チューブの先端部が該インナースリーブと該係止爪とによって挟まれて係止力が増大されることにより抜けが防止され、
該インナースリーブは、流す流体の流量に対応して各種の内径に形成されるものであって、該インナースリーブが該チューブに配設されることにより一の接続穴から導入された流体の流量と、該流体が他の二つの接続穴に分岐される際の流量とが調整される、
ことを特徴とする流量調整器具が提供される。
上記インナースリーブは、内径ごとに色分けされていることが望ましい。
本発明による流量調整器具は、上記したような構成を備え、チューブの内径に対応した外径を有しチューブの先端部内側に嵌入して係止手段の係止爪による係止力を増大させるためのインナースリーブが流す流体の流量に対応して各種の内径に形成されているので、絞り弁を各種揃えて加工装置を構成する必要がなく、加工装置のコストダウンを図ることができる。
本発明に従って構成された流量調整器具の構成部材を分解して示す斜視図。 本発明に従って構成された流量調整器具を構成するチューブ連結継手の断面図。 本発明に従って構成された流量調整器具の断面図。
以下、本発明に従って構成された流量調整器具の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
図１には本発明に従って構成された流量調整器具の構成部材を分解して示す斜視図が示されており、図２には本発明に従って構成された流量調整器具を構成するチューブ連結継手の断面図が示されており、図３には本発明に従って構成された流量調整器具の断面図が示されている。
図示の実施形態における流量調整器具は、チューブ２aと２bと２cを連結するためのチューブ連結継手３を具備している。このチューブ連結継手３は、適宜の合成樹脂によって形成され３個の接続穴３１１a,３１１b,３１１cを備えた継手本体３１を具備しており、３個の接続穴３１１a,３１１b,３１１cは図示の実施形態においては内径が同一に形成されているとともに互いに連通されている。継手本体３１に形成された３個の接続穴３１１a,３１１b,３１１cの内周面には、それぞれチューブ２a,２b,２cが挿入された状態でチューブ２a,２b,２cの外周面を係止する係止手段３２a,３２b,３２cが配設されている。この係止手段３２a,３２b,３２cは、それぞれチューブ２a,２b,２cの外周面と係合する複数の係止爪３２１と、該係止爪３２１を接続穴３１１a,３１１b,３１１cの内周面に保持する爪押え部３２２とからなっている。
上記チューブ連結継手３を構成する継手本体３１に設けられた３個の接続穴３１１a,３１１b,３１１cの端部には、それぞれ上記係止爪３２１のチューブ２a,２b,２cの外周面との係合を解除するための筒状のリリースブッシュ３３a,３３b,３３cが軸方向に摺動可能に配設されている。このリリースブッシュ３３a,３３b,３３cの外周面にはそれぞれ係止部３３１が設けられており、該係止部３３１が継手本体３１に設けられた３個の接続穴３１１a,３１１b,３１１cの端部に形成された抜け止め部３１２と当接することにより抜け止めされる。なお、上述した継手本体３１と、係止爪３２１と爪押え部３２２とからなる係止手段３２a,３２b,３２cと、リリースブッシュ３３a,３３b,３３cの構成は、従来公知の構成でよく、更に詳細な説明は省略する。
図１および図３を参照して説明を続けると、図示の実施形態における流量調整器具は、上記チューブ２a,２b,２cの内径に対応した外径を有しチューブ２a,２b,２cの先端部内側に嵌入して上記係止手段３２a,３２b,３２cの係止爪３２１による係止力を増大させるためのインナースリーブ４a,４b,４cを具備している。このインナースリーブ４a,４b,４cは、それぞれチューブ２a,２b,２cの先端部内側に嵌入するチューブ保持部４１と、該チューブ保持部４１の一端に径方向に形成されたフランジ部４２とからなっている。このように形成されたインナースリーブ４a,４b,４cは、流す流体の流量に対応して各種の内径に形成されている。図示の実施形態においては、インナースリーブ４aの内径はφ８mmに設定され、インナースリーブ４bの内径はφ６mmに設定され、インナースリーブ４cの内径はφ４mmに設定されている。なお、インナースリーブ４a,４b,４cは、アルミ合金やステンレス鋼等の金属材料或いは適宜の合成樹脂によって形成することができる。また、インナースリーブ４a,４b,４cは、それぞれ内径ごとに色分けすることが望ましい。
図示の実施形態におけるチューブ連結継手３は以上のように構成されており、チューブ２a,２b,２cを連結するには、チューブ２a,２b,２cの先端部にそれぞれインナースリーブ４a、４b、４cのチューブ保持部４１を嵌入する。このとき、インナースリーブ４a,４b,４cが内径ごとに色分けしていれば、間違えることなく確実に所定のチューブ２a,２b,２cに嵌入することができる。次に、図３に示すようにインナースリーブ４a,４b,４cのチューブ保持部４１が嵌入されたチューブ２a,２b,２cの先端部をそれぞれリリースブッシュ３３a,３３b,３３cを通して接続穴３１１a,３１１b,３１１cに挿入することにより、それぞれ係止手段３２a,３２b,３２cの係止爪３２１がチューブ２a,２b,２cの外周面に係合する。この係止爪３２１がチューブ２a,２b,２cの外周面に係合することにより、チューブ２a,２b,２cの抜けが防止される。
以上のように構成された流量調整器具においては、流体源からチューブ２aに導かれた流体はインナースリーブ４aを通して導入され、インナースリーブ４b,４cを通してチューブ２b,２cから所定の装置に導かれる。図示の実施形態においては、インナースリーブ４aの内径はφ８mmに設定され、インナースリーブ４bの内径はφ６mmに設定され、インナースリーブ４cの内径はφ４mmに設定されているので、チューブ２aに３２．５リットル／分のエアーが供給されインナースリーブ４aを通して導入されると、インナースリーブ４bを通して２２．５リットル／分のエアーがチューブ２bに導かれ、インナースリーブ４cを通して１０．０リットル／分のエアーがチューブ２cに導かれる。
なお、チューブ２a,２b,２cを継手本体３１から抜き取る場合には、それぞれリリースブッシュ３３a,３３b,３３cを係止爪３２１側に摺動させて係止爪３２１とチューブ２a,２b,２cの外周面との係合を解除することにより、チューブ２a,２b,２cを容易に抜き取ることができる。
以上のように図示の実施形態における流量調整器具は、チューブ２a,２b,２cの内径に対応した外径を有しチューブ２a,２b,２cの先端部内側に嵌入して上記係止手段３２a,３２b,３２cの係止爪３２１による係止力を増大させるためのインナースリーブ４a,４b,４cが流す流体の流量に対応して各種の内径に形成されているので、絞り弁を各種揃えて加工装置を構成する必要がなく、加工装置のコストダウンを図ることができる。
以上、本発明を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で種々の変形は可能である。例えば、上述した実施形態においては、エアーの流量を調整する流量調整器具に適用した例を示したが、本発明による流量調整器具は水や油等の他の流体の流量調整に適用してもよい。
２ａ,２ｂ,２ｃ：チューブ
３：チューブ連結継手
３１：継手本体
３１１ａ,３１１ｂ,３１１ｃ：接続穴
３２ａ,３２ｂ,３２ｃ：係止手段
３２１：係止爪
３３ａ,３３ｂ,３３ｃ：リリースブッシュ
４ａ,４ｂ,４ｃ：インナースリーブ

Claims (2)

  1. チューブを流れる流体の流量を調整する流量調整器具であって、
    該チューブを接続するための３つの接続穴を備えた継手本体と、該継手本体の接続穴の内周面に装着され接続穴に挿入された該チューブの外周面を係止する係止爪を備えた係止手段とを具備するチューブ連結継手と、
    該チューブの内径に対応した外径を有し該チューブの先端部内側に嵌入して該係止手段の係止爪による係止力を増大させるためのインナースリーブと、を具備し、
    該インナースリーブが嵌入された該チューブの先端部が該インナースリーブと該係止爪とによって挟まれて係止力が増大されることにより抜けが防止され、
    該インナースリーブは、流す流体の流量に対応して各種の内径に形成されるものであって、該インナースリーブが該チューブに配設されることにより一の接続穴から導入された流体の流量と、該流体が他の二つの接続穴に分岐される際の流量とが調整される、
    ことを特徴とする流量調整器具。
  2. 該インナースリーブは、内径ごとに色分けされている、請求項１記載の流量調整器具。
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