TW438980B - High performance probe interface for automatic test equipment - Google Patents

Description

43 89 8 0 A7 B7 五、發明説明（/ ) 本發明係關於自動測試裝置而且更特別地關於使用在 自動測試裝置之偵測介面硬體。 自動測試裝置，係熟知的測試器通常使用於決定半導 體裝置是否包含製造缺陷。如圖1所顯示，測試器100通 常包括一包圍數位化控制及資料獲取電路（未顯示）之測 試器主體102，具有許多驅動器及接受器通道（未顯示） 之測試頭104而且介面硬體例如偵測介面模組106 ,該模 組包括許多電子接觸偵測器（未顯示）。在偵測介面模組 106之每個接觸偵測器典型地提供電氣接觸介於測試頭1〇4 之通道及受測裝置108之電子節點（未顯示）間。再者， 在測試頭104之每個通道典型地連接至測試器主體1〇2之 控制及資料存取電路。 早先半導體裝置典型地不是包括數位邏輯就是簡單類 比電路，現今裝置經常包括數位及邏輯電路兩者。這類裝 置係熟知的混合訊號裝置而且測試:裝置之測試器係熟知的 混合訊號測試器。這些混合訊號裝置通常傳送類比訊號， 其不僅包括低訊號位準而且非常高頻率。這些裝置典型地 也以非常高資料速率傳送數位訊號。再者，這些裝置之密 度隨著連續的世代裝置已經增加。 結果，介於測試器電路與受測試裝置間之介面硬體製 造高位準訊號完整逐漸變得重要。這通常意謂該介面硬體 必須具有精確地控制組抗及赤常良好滲漏特色。 改善測試器介面硬體之訊號完整之方法包括關於接觸 偵測器提供同軸屏蔽。這方法係描述於1998年2月9曰公 -——— ___ _ 3___ 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X 297公釐） (」請&讀背面之注意事項#,夺路本頁) -5 r 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 438980 - 五、發明説明（丄） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 告美國專利第4,724，180號，其讓渡於本申請案之相同受 讓人。特別地，兩管狀孔係提供在對於每個接觸偵測器之 介面。兩孔之側壁係以金屬包覆，而且該孔之金屬包覆層 係以電氣連接的。其中一孔係足夠大以接納電介質插入物 ，其也具有孔在其中。訊號接觸偵測器係插入電介質之孔 ，其絕緣該訊號接觸偵測器與較大孔之金屬包覆層。接地 接觸偵測器也插入該較小孔。該偵測器使得電氣連接該較 小孔之包覆層。結果，當該接地接觸偵測器係連接至接地 ，在較大及較小孔之金屬包覆層係導引至接地電壓。在較 大孔之接地金屬包覆層充當一對於訊號接觸偵'測器所傳送 訊號之同軸屏蔽。 雖然提供同軸屏蔽關於電子接觸偵測器之方法已經成 功地用來改善電阻至裝置介面之訊號完整，已經發現一些 缺點。例如，控制金屬包覆層在介面之每組孔的包覆情況 及均勻度。這可導致金屬包覆層之缺陷，其可降低同軸屏 蔽對於阻擋介於訊號接觸偵測器間干擾之效果。這也可使 得控制該接觸偵測器之特徵阻抗變得困難。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 也承認在同軸屏蔽或電子連接介於訊號及接地接觸偵 測器間之孔的缺陷可增加寄生滲漏及電容，因此降低訊號 接觸偵測器之頻寬而且引起訊號損失，特別地對於非常高 頻率訊號。再者，控制該金屬包覆層之包覆性及均勻性之 困難也傾向增加該介面製造成本。 因此具有測試器-裝置介面之測試器是較佳的，該介面 可處理非常高頻率類比及數位訊號。這類介面將具有可控 ------ ---4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 4 3 8 9 8 0 a? B7 五、發明説明（3 ) 制阻抗特性及非常低滲漏及電容。具有容易及廉價製造之 測試器-裝置介面係預期的。 發明摘要 隨著先前背景，本發明目的係提供一可測試高速度， 混合訊號電子電路之測試器。 本發明另一目的係提供具有低滲漏及低電容之測試器-裝置介面之測試器。 本發明另一目.的係提供具有容易製造之測試器-裝置介 風之測試器。 先前及其他目的係藉由提供一具有測試器-裝置介面之 測試器所達成，該介面包括數個同軸接觸偵測組件。每個 偵測組件包括管狀金屬屏蔽、訊號接觸偵測器及環狀絕緣 固定器。訊號接觸偵測器係用來通過而且結合該環狀絕緣 固定器，其插入該管狀金屬屏蔽。每個偵測組件也包括一 第二金屬管及管狀接觸偵測管，其用來通過而且結合該第 二金屬管。該管狀金屬屏蔽係以縱向方式連接至第二金屬 管用來提供介於兩個金屬管間之良好電氣接觸。 在其他實施例中，該測試器-裝置包括至少一具有數個 孔之絕緣固定器，每個孔係用來接納並且結合一同軸接觸 測試組件。 在另一實施例中，訊號接觸訊號係通過而且以摩擦地 結合至少一環狀固定器之孔：該偵測器/固定器組件係隨後 通過而且結合一管狀金屬屏蔽。再者，第二接觸偵測器係 通過而且結合第二金屬管。該管狀金屬屏蔽及第二金屬管 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇X297公釐） (路先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) "° 經濟部智慧財產局員工消賫合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 3 8 9 8 0 A7 _______B7 五、發明説明（+ ) — 係連接在末端以提供良好電氣接觸。絕緣底部係被形成而 且至少一孔被提供。最後，該電氣連接管係通過而且結合 該底部之孔。 仍有進一步目的及優點由考慮隨後描述及圖式將變得 明顯。 圖式簡單說明 本發明將藉由以下更多詳細描述及附屬圖式更被瞭解 ，其中： 圖1係習知測試器之簡化方塊圖； 圖2係本發明偵測介面裝置之等角視圖； 圖3係顯示於圖2中裝置之截面視圖； 圖4係偵測介面裝置之組件的平面圖； 圖5係本發明偵測介面裝置之分解圖；而且' 圖6係圖2裝置之另一實施例之截面視圖。 較佳實施例描述 圖2顯示偵測介面裝置430之較佳實施例之部分210 (圖4及5)。偵測介面部分210包括同軸接觸偵測組件 220及一組絕緣固定器212及214，其包括數個孔例如孔 216及218，該孔固定及維持該接觸偵測組件22〇。 圖3顯示該偵測介面部分210之詳細截面視圖。該接 觸偵測組件220包括一組金屬管344及351。特別地，金 屬管344係與接觸偵測器3彡‘4同軸，該偵測器包括許多筒 狀部分，例如筒狀部分341，343及346及偵測器340及 347，其由管344之另一端延伸》在較佳實施例，雨個絕緣 ______6_______ 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS〉A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 438980 _B7__ 五、發明說明（） 環狀固定器，例如固定器342及345係用來當作中心、固 定及握持該管344之接觸偵測器354。該固定器也以電氣 地隔離該接觸偵測器354及管344。因此，金屬管344當 作對於接觸偵測器354之同軸屏壁，其較佳地輸送介於測 試器及受測試之半導體裝置間之訊號。 相同地，金屬管351係與另一接觸偵測器355同軸， 該偵測器包括一筒狀部分350及偵測器349及352，其由 金屬管351之另一端延伸。當該管344之接觸偵測器354 係藉由絕緣固定器342及345與該管344絕緣，該管351 之接觸偵測器355與管351具有良好電氣接觸。再者，偵 測器349及352兩者使用期間可接觸該接地電壓》因此， 金屬管351可充當一對於同軸屏蔽344之接地參考電壓’ 其係較佳地藉由銲料348及353連接至管351。 在較佳實施例中，筒狀部分341及346具有相同直徑 ，其係小於該筒狀部分343之直徑。再者，該筒狀部分 343直徑細小於該屏蔽344之直徑。結果，接觸偵測器354 係與該屏蔽344隔離。比較下，該筒狀部分350直徑係當 該接觸偵測器355被插入該管351時，接觸偵測器355及 管351具有良好電氣接觸。因爲接觸偵測器355不與管 351隔離，管351之直徑可小於該屏蔽344之直徑。 接觸偵測器354及355兩者係較佳地彈簧負載接觸偵 測器。所以，偵測器34〇及347充當柱塞而且通過該個別 的筒狀部分341及346接觸該筒狀部分343之彈簧（未顯 示）。該彈簧偏移該偵測器340及347由該筒狀部分341 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) " 訂-------!♦ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

及346向外。 相似地，接觸測試器355之測試器349及352充當柱 塞而且通過該筒狀部分350以接觸該筒狀部分350之另一 彈簧（未顯示）。該彈簧也由筒狀部分350向外偏移該測 試器349及352。再者，接觸偵測器354及355較佳地係 相同長度。這確定平均力量分布在測試頭及受測試半導體 裝置之裝置介面板（未顯示）。 在較佳實施例中，絕緣環狀固定器342及345以摩擦 地分別地接合筒狀部分341及346。固定器342及345較 佳地係由TELFON™所製成，然而其他適當絕緣材料可被 使用。再者，固定器342及345之直徑係稍微大於該屏蔽 344之內部直徑。這允許該固定器342及345裝配入該同 軸屏蔽344。 屏蔽344及管351可具有相同長度。再者，屏蔽344 及管351 i較佳地由銅所製成，然而其他適當傳導材料可被 使用。 -銲料348及353較佳地係用來電氣連接該屏蔽344及 管351。在較佳實施例中，銲.料348及353連接在管的個 別末端之屏蔽管344及參考管351，如圖3所示。因爲考 慮關於電磁場，其熟知於習知此技藝者，管344及351使 得良好電氣接觸在個別端係重要的。這確定最佳電流介於 管344及351間。在較佳實施例中，焊料348及353由管 344及管351之個別末端延伸至少0.015英吋。 夾片（未顯示）可用於固定一介於固定器212及214 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 〈.策------丨—訂-------；—線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 438980 A7 B7___ 五、發明説明（Γ]) 間之接觸測試組件220。該夾片係由不是傳導就是非傳導 材料所製成。 孔216及218係分別地提供在絕緣固定器214及212 。每個孔216及218被製造以固定而且握持該屏蔽344及 管351組件，如圖所示。再者，絕緣固定器及214可 藉由注射塑製所形成。 圖4顯示一偵測介面模組406之簡化圖式’其包括八 個相同的偵測介面.裝置43〇以水平截面出現。固定器212 及214之內部及外部壁係同軸地彎曲。再者，八個偵測介 面裝置430係被緊靠以形成該環狀偵測介面模組406 ’其 提供介於測試頭及受測試裝置間之電氣接觸。 圖5顯示該偵測介面裝置430之分解圖。相同數目之 孔被提供於固定器212及214兩者以結合數個接觸測試組 件，其中四個通常以顯示於560。在接合該接觸測試組件 560後，固定器212及214係使用螺釘、鉚釘或其他適合 固定裝置分別附著於開放絕緣框架562之底部及頂部。框 架562也可藉由注射塑製所形成。再者，固定器212及 214大約具有相同厚度，而且固定器212之厚度大約地相 等於屏蔽344及管351之長度。 在典型測試器規格中，在相對屏蔽W4之每個訊號接 觸偵測器354提供電氣接觸介於測試頭及受測試裝置之節 點間之通道。再者，在相對營hi之每個接觸測試器355 使得電氣接觸至裝置介面板及受測試裝置之接地墊間。因 爲環繞個別接觸偵測器354之屏蔽344具有良好電氣接觸 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ，tr 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） —焉. —濟部智慧財產局員工消費合作社印製 43 89 8 0 at __B7________ 五、發明説明（8 ) 相對應的管351通過焊料連接348及353，該屏蔽344提 供良好電氣屏蔽給予該接觸偵測器354。 電氣接觸測試組件220係藉由插入一訊號接觸測試器 354進入一屏蔽所達成以至於該測試器340及347由屏蔽 344延伸。其次，訊號接觸測試器354之每端係通過兩個 絕緣固定器342及345之一，該固定器係隨後裝配至該屏 蔽344。接觸測試器355係隨後被插入一金屬管351例如 該測試器349及352由管351延伸。其次，屛蔽344被焊 接至管351較佳地在銲料位置348及353。 偵測介面裝置430隨後係藉由形成該絕緣固定器212 及214與框架562所製成。其次，適當數目之孔被提供在 固定器212及214兩者。接觸偵測組件220之一端隨後係 插入固定器212及214之每個孔以至於一組測試端340及 349或347及352由該固定器之每個孔延伸。接觸偵測組 件220隨後係通過該框架562而且該組件22〇之另一端係 插入其他固定器之孔以至於一組測試端由固定器之每個孔 延伸。最後，固定器212及214被連接至框架562。至少 -~二良隨j复傻用於固定每」個組件22〇介於固定1212及_ 214 間。 根據以上描述本發明提供許多優點超越習知測試器_裝 置介面。例如，實心銅屏蔽344提供訊號接觸測試器354 優越電氣屏蔽，因此降低訊號雜訊及交互影響。屏蔽344 之尺寸也可精確地設定用來控制該接觸測試器354 & 355 之特徵阻抗，因此減少訊號反射。 -一____m_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ~~^〜 -- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂_ 43898 0 377 五、發明説明（7 ) 而且，實心銅屏蔽344也具有一整體連接至接地電壓 通過該焊接連接348及、管351及接觸測試管355。這 改善藉由訊號測試器354所傳送訊號之完整與該訊號接觸 測試器354之頻寬兩者，而且降低訊號損失。例如，本發 明偵測介面裝置430將提供至少5GHz之3dB頻寬而且具 有在1GHz少於_2〇dB之迴波損耗。 而且，偵測介面裝置430係特別地使用於測試器，其 測試高速、混合訊.號電子電路。如上所述，該屏蔽344提 供優越屏蔽以降低雜訊及交互影響，而且控制接觸測試器 之阻抗以減小訊號反射。這對於測量高速數位訊號例如在 VHF或微波頻率範圍之訊號是重要的。 偵測介面裝置430可用來製造一包括低準位、高速類 比訊號之低滲漏測量。例如，接觸偵測組件220可被規劃 以提供對於每個訊號接觸測試器354之個別驅動保護。驅 動保護可用來製造在類比訊號之低滲漏測量係熟知於熟習 此技藝人士。 特別地，不是連接每個接觸測試器355至接地電壓， 而是每個接觸測試器355可替換地被驅動至相對應訊號接 觸測試器354之相同電壓。這防止任何滲漏電流介於測試 器354及3S5間流出。這規格將達成低瀠漏測量毫微微安 培數量級之電流値。因此，相同接觸偵測組件220可用來 達成一包栝高速數位訊號及低準位類比訊號兩者之測量。 而且，該實心銅屏蔽344及管351分別地提供結構性 支撐至接觸測試器354及355。這意謂該絕緣固定器212 本紙張適用中( CNS > A4規格{ 21GX 29^公楚) ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T -線、 經濟部智慧財產局員工消资合作社印製 η !> -%- Ά

Λ389Β0 五、發明說明（） 或214沿著屏蔽344及管351之長度延伸。這也意謂薄固 定器212及214與中空框架502可用來製造該偵測介面裝 置430，因此減少該全部重量而且便利該偵測介面模組406 之製造β 而且，因爲該屏蔽344及管351係直接接觸，接觸測 試器354及355與先前設計做比較係較緊密被間隔。這不 只改善訊號整體而且增加偵測介面裝置430之接觸測試器 密度。 ’ 具有上述一實施例，許多另一實施例或變化可達成。 例如，在接觸偵測組件220之接觸測試器354及355係彈 簧接觸測試器。然而，這僅是說明例。任何形式電氣接觸 測試器可被使用。 而且，兩個絕緣固定器342及345係用來固定屏蔽 344中該訊號接觸測試器354。然而，這也僅是說明例。一 或多個絕緣固定器可用來定中心、固定及握持該訊號接觸 測試器354在屏蔽344。 而且，單一接觸測試器355係插入該管351。然而，-這僅是說明例。兩個接觸測試器可插入該管351之另一端 。這些接觸測試器兩者可隨後連接至接地電壓。另一方面 ，這些測試器兩者可被驅動至與相對訊號接觸測試器354 相同之電壓以提供一對於低滲漏測量之驅動保護。 而且，接觸測試器組件220包括單一參考管351。然 而’這僅是說明例。如顯示於圖6者，接觸測試器組件 220可與兩個參考管672及674被規劃。因此，單一端接 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） - ------------C.-Ki;-----I 訂-------：！線 * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ 經濟部智.€-財產局員工消費合作社印製 A7 B7 438980 五、發明説明（（丨） 觸測試器670係插入管672，而且另一單一端接觸測試器 676係插入該管674。管672及674兩者係隨後藉由位置 3料及353之銲料以電氣連接至該屏蔽344。管6W及674 之長度係主要地藉由相對測試器670及676所指出。顯示 於圖6之規格將提供與顯示於圖3中規格相同之效能。然 而，圖3規格通常便利該測試器介面裝置430之組件。 而且，銲料係用來以電氣地連接該屏蔽344及參考管 ^1。然而，這僅是說明例。任何其他適當材料可用來提供 一良好連接介於該屏蔽344及管351間。 而且，該偵測介面模組包括8個相同偵測介面裝 置430。然而，這僅是說明例。偵測介面模組4〇6可包括 任何數目測試介面裝置430。 因此，本發明應該只藉由附屬申請專利範圍之精神及 範疇所限制。 ^^^1 ^^^1 i —^n n^i i ^^^1 -- —^ϋ I^i ^^^1 mV TJ - - 一 势 T口 (諳先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS > a4規格（210X 297公釐） 438980 五、發明說明（） [元件符號說明] A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 16 屏蔽管 18 參考管 100 測試器 102 測試器主體 104 測試頭 106 偵測介面模組 108 受測裝置 210 偵測介面部分 212 固定器 214 固定器 216 孔 218 孔 220 接觸偵測組件 340 偵測器 341 筒狀部分 342 固定器 343 筒狀部分 344 金屬管(屏蔽） 345 固定器 346 筒狀部分 347 偵測器 348 銲料 349 偵測器 14 (請先閱讀背面之;i意事項再填寫本頁) ^---------訂--------—線' 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 438980 五、發明說明（ 350 351 352 353 354 355 341,346 430 406 430 560 562 672 674 670 676 筒狀部分 金屬管 偵測器 銲料 接觸偵測器 接觸偵測器 筒狀部分 偵測介面裝置 偵測介面模組 偵測介面裝置 接觸測試組件 絕緣框架， 參考管 參考管 接觸測試器 接觸測試器 \]7 V衣---------訂-------—-娘- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 438980 §_ 六、申請專利範圍 - 1.一種測試器，用來決定受測試裝置是否適當地運轉 ，其包括： 測試主體包括計算機控制及資料存取電路； 測試頭包括驅動器與接收器連接至該測試主體之電路 :而且 介面硬體被連接介於該測試頭及受測試裝置，該介面 硬體包括一底部及數個電氣接觸偵測組件，每個電氣接觸 偵測組件具有 一接觸偵測器係備用來通過而且結合一環狀絕緣固定 器，該固定器係用來通過而且結合一實心管狀屏蔽，而且 實心管狀參考部分， 其中該屏蔽及參考部分係以電氣連接。 2-如申請專利範圍第1項所述之測試器，其中該接觸 偵測器之每端係用來通過而且結合一絕綠固定器。 3.如申請專利範圍第1項所述之測試器，其中該接觸 偵測器以摩擦地接合該固定器。 4_如申請專利範圍第1項所述之測試器，其中該固定 器以摩擦地結合該屏蔽。 5. 如申請專利範圍第1項所述之測試器，其中該屏蔽 及參考部分具有相同長度。 6. 如申請專利範圍第1項所述之測試器，其中該焊料 以電氣地連接該屏蔽至該參考部分。 7. 如申請專利範圍第6項所述之測試器，其中該屏蔽 至該參考部分係以電氣地被連接在個別末端。 1 (請先鬩讀背面之注意事頃再填寫本頁) —衣· 訂 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4389 8 0 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範園 8. —種電氣接觸偵測組件，使用於連接介於測試頭及 受測試裝置間之介面硬體，其包括·· 實心管狀屏蔽； 至少一環狀絕緣固定器係用來通過而且結合該屏蔽； 第一接觸偵測器係用來通過而且 至少一實心管狀參考部分， 其中該屏蔽及至少一參考部分以電氣地連接。 9·如申請專利範圍第8項所述之電氣接觸偵測組件， 其中該第一偵測器係與屏蔽同軸。 1〇·如申請專利範圍第8項所述之電氣接觸偵測組件， 其中第一偵測器之每端係用來通過而且接合一個別固定器 〇 11. 如申請專利範圍第8項所述之電氣接觸偵測組件， 其中該固定器由鐵氟龍（Telfcm)所製造》 12. 如申請專利範圍第8項所述之電氣接觸偵測組件， 其中該屏蔽及參考部分係由銅所製造。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 13. 如申請專利範圍第8項所述之電氣接觸偵測組件， 其中一參考部分係連接至該屏蔽，而且進一步包括用來通 過而且接合該參考部分之第二接觸偵測器。 如申請專利範圍第13項所述之電氣接觸偵測組件 ’其中第一及第二偵測器係彈簧接觸偵測器。 15. 如申請專利範圍第〇項所述之電氣接觸偵測組件 ，其中銲料以電氣地連接該屏蔽至該參考部分。 16. 如申請專利範圍第15項所述之電氣接觸偵測組件 2 本紙張尺度逋用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） A8 B8 CS D8

   「貞測器，與一用 111 器。 括步驟： 438980 、申請專利範圍 ，其中該屏蔽及參考部分以電氣地連接至個別末端。 I7·如申請專利範圍第8項所述之電氣接觸偵測組件， 其中該屏蔽之直徑係大於該參考部分之直徑。 18. 如申請專利範圍第I3項所述之電氣接觸偵測組件 ，其中該屏蔽及參考部分具有相同長度。 19. 如申請專利範圍第8項所述之電氣接觸偵測組件， 其中第一及第二參考係連接至該屏蔽，而且進一步包括— 用來通過及接合第一參考部分之第二 來通過及接合第二參考部分之第三接 20. —種製造測試器-裝置介面之 (a) 製造同軸接觸偵測組件， (al)將第一接觸偵測器通過一環狀絕緣固定器，因 此結合第一偵測器與固定器， (a2)將具有第一接觸偵測器之固定器通過—管狀胃 蔽，因此結合固定器與屏蔽， (a3)將第二接觸偵測器通過一管狀參考部分，因此 結合第二偵測器與參考部分，而且 (a4)銲接該屏蔽至參考部分； (b) 形成一包括絕緣底部提供一孔在底部；而且 (c) 將該偵測器組件通過底部之孔，因此接合該偵'測 器組件與底部。 21·如申請專利範圍第20·項所述製造測試器_裝置介面 之方法，其中在步驟（b)之形成包括步驟爲： (bl)形成一上絕緣固定器， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再#寫本頁) 、言 I 中 央 標 準 局 貝 工 消 費 合 作 社 印 製 43 89 8 0 b8 C8 D8 六、申請專利範圍 (b2)形成一下絕緣固定器， (b3)形成一絕緣框架，而且 (b4)附著該上及下固定器至該框架。 22.如申請專利範圍第21項所述製造測試器-裝置介面 之方法，其中該上及下絕緣固定器被提供相同數目的孔用 來接納及接合數個偵測組件。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公蝥）