TW437268B - Double slit-valve doors for plasma processing - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -3 72 β 8 Α7 ___Β7 五、發明說明（1 ) ' 發明領域 本發明係與基板製程中用於沈積及移去材料所用之眞空製 程室之結構有關。一種使用某特定内襯之特別的室結構被 發表出來。 發明背景 通常，用於基板製程之眞空製程室包含_基板傳送開口， 通稱之爲一狹縫閥。一狹縫通道與該狹縫閥有關，常被使 用在製程循環間基板進出該製程室之傳送。通常，一機械 手臂自一组工具中伸出經過一狹缝閥開口穿過該狭縫閥通 道以運送基板至製程室之製程位置上被處理或移去製程室 中製程位置上被處理之基板。一旦完成該基板至基板製程 位置上之傳送’該機械手臂經過該狹縫閥開口被收回至該 组工具中。通常藉一阻塞板將該狹縫閥開口封於該室主體 外之表面上，該板在機械手臂之移動及基板進出該製程室 間之協網運轉中移動越過該狹缝閥開口。通常於製程室中 使用電漿用以擴大製程之執行。一眞空製程室之典型安排 中’係利用電漿來啓動或擴大製程之活性，使該製程室及 暴露於電製及化學副產品之所有内部服務受到影響而能變 成覆蓋著化學副產品之該製程被執行。 典型地，製程室之牆壁至少需幾吋厚用以提供一製程活 動用之艙室牆。如此’製程室旁邊之開口可允許傳送基板 進出於該室，該狹縫閥通道展現一以隧道之大開口用以在 製程室内部表面上產.生一幾何不連續性。一大穴洞（基板 傳送通道之開口）之出現鄰接至中央製程位置之空間允許 -4- 本紙張K/又週用甲囤國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） !;---^--------裝------！tr---------線 (請先閲讀背面之注意事項再V.寫本頁) ' , 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 43 726 8 i A7 ____B7 _ 五、發明說明（2 ) * 在電漿製程期間出現於基板製程位置之電漿外罩擴大至狹 缝閥通道之润中。擴大至狹缝閥通道洞中之電漿外罩在電 漿鄰接至該穴洞所坐落之部分產生失眞使得流過基板靠近 狹縫閥通道區域中之電漿受影響，如此在那個區域中發生 之沈積或蝕刻與基板中未出現如此失眞之其他區域作比較 是不平地。 進一步，狹縫閥通道之内部表面，包含狹缝閥門内部 (氣程至所面對之邊），也將如發生於室中之來自化學製程 之沈積及累積。狹缝閥通道及狹缝閥門内部表面上之沈積 物使得該室之任何清理工作（不論是濕式或乾式）需要擴大 至包含這類表面在内。一徹底清潔之狹縫閥門需要將門也 移去使得門至封限之整個區域被清潔。在大部分之例子 中，清潔門需要將該组工具從服務中移去使得一室之清潔 不會引起由該组工具所服務之某室帶至同組工具所服務之 第二室之潛在性污染。 從製程室主體及它的内襯之吃重任務之堅固結構中發現 來自狹縫閥通道所導致之開口穴洞之問題並未準備好答 案。在組織所有先前技藝之門所造就製程室中微粒上升2 朵構，直到今天仍沒有答案來克服先前技藝裝置之這些不 正常。 發明概述 根據本發明之架構藉由提供一内部狹縫通道門可克服先 前技藝之缺點，其精巧結構改善基板(製程位置上電漿之一 致性及阻止狹縫閥通道中化學副產品（如聚合物）之沈積。 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — — — — — I- t - il — ί — -·一 • y (請先閱讀背面之注意事項再#寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 43 726 8 a? B7 五、發明說明（3 ) 此第二"内部"狹縫通道門被組織作爲該室内襯組合之—部 分’因此取代該室内襯或對其執行濕式清潔時，該門同時 被取代及清潔。 根據本發明之某架構包含一附著一基板製程位置空間之 室主禮。該室主體包含一狹缝通道係由主體外部表面擴大 至基板製程位置空間’該狹缝通道設定成一基板可通過之 尺寸。定位一外部狹縫閥門於靠近基板傳送通道外用以封 住到該室之狹縫通道外部末端。定位一内部狹缝通道門於 基板傳送通道内用以阻塞靠近鄰接至基板製程位置之基板 傳送狹縫通道。 根據本發明定義之另一架構與眞空製程室中一内襯環繞 著基板製程位置有關，該内襯由此包含一基板傳送開口。 可選擇性地移動一内襯門從被處理基板可通過之開口位置 至該内襯門近乎關閉之關閉位置，但不碰到基板傳送開口 旁環繞之内襯使得門邊重疊基板傳送開口邊。該重疊最好 接近半吋。四週介於門完全關閉位置及環繞内襯間之間隙 是位於幾個一英吋分之千分之十範圍内（幾個乘0.254毫 米）’且該門在操作時未曾碰到該内襯。彎曲該門來配合曲 線内襯之架構，例如，一圓形内襯架構。垂直地移動該門 且選擇性地支撐及控制該門穿過作爲製程室眞空限制之一 系列風箱。該門之垂直運轉阻制係由一套可防止門碰到内 襯之軟式栓塞來作精確之設定。 爲了降低微粒污染機會，該門之底部及頂部形成斜面用以 配合另一邊該内部内襯之斜面部分。使用這樣之架構阻塞 -6 - 本紙張反度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公f ) — 1^---7-------裝--------訂---------線 • V (請先閱讀背®之注意事項再对寫本頁) ^3 726 8 A7 B7 五、發明說明（4 ) ' 該門内部表面之沈積材料將不會干擾到門之舉起，而門及 内襯間之清理將隨該門從它完全關閉位置移向打開位置之 每一增加距離而增加。 本發明進-步包含-種用以降低於基板傳送通道上製程副 產品之阻塞及改善眞空製程室中電裝之一致性之方法，其 運用步膝有·.提供-可移動之門用以選擇性地阻塞眞空製 私主中鄰接至基板製程位置上之基板傳送通道，以及當一 基板被送至基板製程位置或從基板製程位置取走時將可移 動之門移出該基板傳送通道該門及門之支撑結構可在門 打開及關閉位置間移動而在製程室之眞空限制内任何二零 件間沒有摩擦性接觸。 孩門與外部狹縫閥門同時被打開用以允許一基板通行進 出該室（例如，藉由一機械手臂薄片）。該門之支撑物阻止 該門之側移及幫助它面對猛烈之停止可精確地定位於它下 面之位置0 圖式簡述 圖1是根據本發明之製程室透視圖，其展示該室外及一用 於製程之基板可通過之狹縫閥開口 ： 圖2是圖1中該室頂部之部分分解透視圖，分別展示該製 程室頂部邊緣之内部狹缝閥門及它的螺線管； 圖3A及3B是根據本發明之内部狹缝通道門螺線管及狹 縫閥門之組件分解透視圖； 圖4是根據本發明之狹縫通道門及螺線管機械裝置之俯 視圖； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ---------------- I ^ (請先閉讀背面之注意事項#-.式寫本頁) 訂， -線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制^ 43 A7 -----B7 _ 五、發明說明（5 ) ' 圖5是根據本發明之眞空製程室架構之某橫切面邊圖， 其展π使用一外邵狹縫閥門及内部狹缝通道門與製程室之 基板製程位置之關係； 圖6是根據本發明用於内部狹縫通道門之螺線管機械裝 置之門上方位置之橫切面圖： 圖7是根據本發明如圖6中所展示之螺線管機械裝置之該 狹缝通道門位於下方關閉位置之橫切面圖； 圖8、9、及1〇是根據本發明爲了移動該狹缝通道門至 位置上及關緊至螺線管之進—步組合步騍所展示之安装步 裸及該内邵狭縫閥門間之清理工作與爲了承受門内部狹縫 閥所架構之内襯； 圖11是根據本發明之一狹缝通道門之橫切面圖展示著連 在上述螺線管之舉桿之位置及架構； 圖1 2及1 3分別展示狹縫通道門及舉桿間之連接，圖1 2 展示一固定連接而圖13展—浮接方式；及 圖1 4展示狹縫閥門之俯視圖，其展示門浮接舉桿用之插 槽開口。 詳細描述 圖1展示一典型半導體晶圓製程室20之透视圖。一框架 22支撑一室主體24。該室主體24在它的前面有一具有外 狹縫閥門（未見於圖1)之狹縫閥通道2 8用以密封該及一室 頂部組合2 6。鄰接至該室頂部組合2 6是一已移去它的蓋 子所展示之内部狹縫.通道門螺線管单合3 0。注意該内部 狹縫通道門螺線管組合3 0是與該狹縫閥通道2 8在該室主 — II--!!裝！ |訂|----線 - - ' (請先閱讀背面之注意事項再寫本W) -8- ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公楚） 437268 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ___B7_ 五、發明說明（6 ) ' 禮2 4之同侧及該外部狹縫閥門（未能見到）使晶圓穿過它 進出該室20。 圖2是包含該内部狹缝通道門螺線管組合3〇之室内襯及 頂部凯合40之部分分解透視圖。_室頂板（或邊緣）42在 它中央支撐一頂板電極蓋44及在旁鄰著狹缝閥通道支撑 著由釘孔4 6、4 S定位之内部狹缝通道門螺線管組合3 〇。 一對門舉桿，左桿係固定之左舉桿200及右桿係浮動之舉 桿2〖0 ’通過室頂板4 2中他們各自之洞以搭配内部狹缝通 道門6 0之洞中。如圖2所見之彎曲該内部狹缝通道門6 〇以 配合該室内襯組合5 0之半徑。該内部狹缝通道門6 〇分別 由一桿固定螺釘72及一肩部螺釘82缚至舉桿200 '210。該 内部狹縫通道門6 0搭配室内襯组合5 〇中狹縫門凹片5 4使 得該内部狹縫通道門60在下方位置時，它蓋住及重疊於 内襯组合5 0之狹縫開口 5 2。 圖3Α及3Β展示部分之該内部狭縫通道門及垂直螺線 管組合3 0之分解透視圖。俯視之组合螺線管組合3 〇於圖4 中展示’而該螺線管組合之細部橫切面圖在圖6中展示。 下列描述中，應參考所有之圖形用以徹底了解在内部狹縫 門6 0移上移下時，該門支撑桿2〇〇 ' 21〇是如何地支撑及精 確地定位該内部狹縫通道門6 〇。 一螺線管基座1〇〇被固定於室頂板42上（例如，如圖2中所 示）*該基座包含一大插釘186及一小插釘丨88(圖6)來分別搭 配室頂板42中之大小螺釘孔46、48。（該插釘緊密配合這些 洞及他們二不同之尺寸來避開不正確之安裝。該螺線管基 — — — IIB^II — 1 — — — -11!1111 >111[(11> (請先閱讀背面之注意事項拜#寫本頁) -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗〇 X 297公髮） A7 437268 B7___ 五、發明說明（7 ) ' ^ 〇之下方表面包含一套=0形環槽，每個只有一 〇形環封 (例如，132、134)環繞舉桿2〇〇、21〇通過螺線管基座1〇〇底 部開口。套一風箱架設管i 〇2、刚與基座刚整合從基座 之底部垂直擴展用以提供一套样舉起風箱組合i 2〇、刚一 圈之封閉。每個桿舉起風箱组合（例如120、140)包含一套複 雜之組件使其在舉桿移上移下時可操作每個舉桿及限制他 們側面之運轉來保持直空密封來橫過該風箱而沒有任何摩 擦之零件。每個桿舉起風箱组合（例如丨2〇、丨4〇)包含一沿著 組合頂邵伸展至它的底部之風箱中央桿丨28。該組合底部， 一下桿承受部分12 1包含一用以承受其中一個門舉桿（例如 200、210)之上方末端（例如202)之穿透孔。該中央桿128之 下方部分121向下伸展至一從中央桿128向外側伸展之下方 風箱邊緣122。在下方風箱邊緣122周圍有一套圓柱形皺摺 狀之圓柱風箱連至該邊緣121之周圍。該圓柱風箱123上方 末端被接合至一上方風箱邊緣124 »該上方風箱邊緣124之 周圍向外延伸超過風箱架設管102之頂部末端及包含一朝下 朝内之凹片來搭配風箱架設管102之抬起之内部壁架/密封 邊緣114(圖3A),面向一密封〇形環1〇6定位。該風箱邊緣 124在它中央包含一朝上伸展之操作軸支撑管126。一緊密 配合之下方桿操作軸125被支撑在操作軸支撑管126之下方 末端，而一上方風箱桿操作軸127被支撑在該管之上方。一 移動式塞管組合150包含一下邊緣152及一管槽部154。下邊 緣152坐落及密封於上方風箱邊緣124衣風管架設管102之上 方表面上。該移動式塞管組合150環繞著操作軸支撐管 10- ΐ紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X297公i) II1IIIIIIIII. ^ illl — ΙΙ — — — — — /- (請先閱讀背面之注意事項Α-ή寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 43 7268 ______ B7 ___ ’ 五、發明說明（8 ) 126 °移動式塞管組合150之管槽部154延伸至一具有〇形環 槽156之管槽末端丨58。一 〇形環168置於該Ο形環槽156中， 如同保險桿之作用來減少螺線管組合與移動式塞管组合15 〇 之末端158接觸時之阻塞震動。該移動式塞管組合ι5〇如急 刹車般地阻止内部狹縫通道門6 0進一步向下運轉之動作。 連接風箱中央桿（例如128)上方末端至浮接點1 74，該接點 限制垂直運轉（Z軸），但允許X - Y軸運轉且該接點之二半邊 門呈銳角（圓形傾斜）。此浮接點能容忍少許偏差而不產生 能阻礙一易於操作之垂直撞擊之任何束缚力。 在風箱中央桿12S之底部末端之固定舉桿200之頂部末端包 含一穿過風箱中央桿121下方洞中之螺紋部，同時也包含— 作用如栓塞般之邊緣用以緊緊地控制與風箱中央箱128相關 之固定舉桿2 00的整個垂直方向。該邊緣作用於垂直定位 (留間距）中用以獲得微小間距，本架構中，這是非常重要 的，可使零件間維持一特定間隙卻不發生零件之碰觸。如 稍後將仔細討論所展示之架構，該二中央桿下方是由固定 螺釘7 2及肩部螺釘8 2固定於内部狹缝通道門6 〇。 比較上述左邊之样舉起風箱組合12〇，該右邊之桿舉起風 钿组合140包含典型之裝置及由一〇形環丨〇8(圖3A)密封至 右邊密封邊緣116。該右邊桿舉起風箱組合140之頂部末端 也由一移動式塞管組合160所包圍，該组合160包含一 〇形環 保險桿170於它的頂部表面及該中央風箱桿之右邊（浮接邊） 可連至一右邊浮接點176。 t 该二浮接點174、176頂部末端被連接至一橫舉桿片丨8〇， -11 - 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規柊（210x 297公釐） --------------裝--------訂---------線 - ▲ ί請先閲讀背面之注意事項再ΐ寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 437^6 8 , A7 ------ B7 五、發明說明（9 ) " 該橫片由一氣腔螺線管連接螺線182嚴格地固定至一氣腔螺 線管基座1 10之氣腔螺線管圓柱之氣腔螺線管桿112上。向 上垂直運轉限制是受氣腔螺線管丨10限制及氣腔桿丨12之運 轉限制所設定。通常使用高壓空氣（例如，60至80磅/每吋 (psi)(0.414至0.551百萬帕）來移動螺線管所需之上或下動 作。使用這樣之高壓，該力量將快速作用以及該氣腔螺線 桿112之剛性沿著它緊合之夾板至橫舉桿片18〇，藉著使用 浮接點174及176來阻礙那裏之任何束缚致使發生該門舉桿 或該風箱之中央桿沒有與該氣腔螺線管112對準之結果。 圖6圖示内襯組合5 〇中位於狹縫開口 5 2上緣上之内部狹 縫通道門6 0中最上面之位置。 圖7展示如圖6中螺線管組合之相同裝置，但該内部狹縫 通道門60是表現它下面位置及所有螺線管元件位置與該 橫舉桿片180接觸之每個用以防止門60進一步下降之移動式 管組合150、160之頂部時他們之相關位置。本架構中可見 藉著約半吋之等量環繞使内部狹縫通道門6 〇重疊於内襯5 2 之狹縫開口邊緣。 該製程室之眞空限制延伸至螺線管組合中。該〇形環 132、134對室頂板42之頂部提供一道密封來封住螺線管基 座100之底部。由架構於上風箱邊緣（例如124)及風箱架設管 102(圖3 A)之頂部末端邊緣/嘴口 114間之0形環1 〇6、108提 供第二道密封。該圓柱風箱皺摺（例如123)接合於下風箱邊 緣122及上風箱邊緣124間來完成大氣异眞空間之密封/分開 而仍允許實際之垂直移動而沒有任何微粒產生致使該眞空 12- 本紙張尺度遺用中囤國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） --I I I I---1111 --------..訂--------" {請先閲讀背面之注意事項再4寫本頁) · 4 3 7268 a? —----- 五、發明說明（1〇 ) ' 至内二組件有摩擦。風箱组合中線性操作軸（例如丨25、丨2乃 操作之中央桿（例如128)被置於大氣中，如此產生之微粒不 會影響眞空室内正進行之製程。 内部狹缝通道門6 0之元件之正確位置及它的移動針對基 座來説是微小之間距。使用一整合性大基座，其被安置及 保留之間距是非常微小（大部分例子中是一吋分之幾千）用 以確保内部狹縫通道門6 〇及相鄰之内襯組合5 〇間能維持 正確之空間關係。 圖4係一俯視圖，其展示内部狹縫通道門6 〇之彎曲架構 與螺線管级合3 0之基座100上所定位之風箱組合丨2〇、丨4〇 之二桿舉起軸之關係。 圖5展示一具有基板製程位置22〇之立視橫切面圖，該位 置220被置於基板傳送通道222對面使得通道外之狹縫閥門 224及内部狹縫通道門6 〇可阻擋一基板從室外至該基板製 程位置220上之通行。該狹縫通道螺線管組合3 〇被置於内 邵狹縫通道門6 0上（本圖中未展示該螺線管組合之某些内 部元件）。 崾濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖8、9及1 0展示進一步安裝該門6 〇之順序係利用橫切 面圖中沿著該垂直洞通道穿過與門舉桿2〇〇、21 〇配對之 門。圖8中，展示收回（上）位置之舉桿21〇與室頂板42之關 係。 該内邵狹縫通道門6 0具有一下方對稱螺絲孔6 1、一有 穿透孔63及一上桿承受洞6 5。組合期間，該内部狹縫通 道門6 0移至内襯組合5 0之門舉桿之位置下。 -13- 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 43 7268 ______B7__ 五、發明說明（11 ) ' 該内部狹縫通道門6〇之結構使門之厚度有一致之厚度面 區域64(這在此之展示是直線的（也就是垂直的），但在另 一改變之架構中可能是小銳角或小傾斜的）且一上傾斜面 6 6那裏之門厚度向頂部增加，其厚度（更特別地是在它前 面位置）從上改變到下造就狹縫通道門6 〇之底部有一下傾 斜面62 °該傾斜面配合内襯内牆部分94、96之下84及上 80傾斜面處於圖1〇所展示之位置時，介於內部狹縫通道 門60前面（62、66)及面向内襯上下面間（如料、86)之間隙 (如88、90)大約爲幾個一吋分之千分之十（幾個乘〇 254毫 米）。 該間隙空間（例如88、89)被維持來阻止任何電漿（及如聚 合物般之製程副產品）如同它先前技藝所作的移至基板傳送 通道222。進一步此間隙大得足以使門在操作時接觸（摩擦） 内襯之風險被減至最小因此不產生微粒，但是該間隙亦夠 小使得電漿被阻塞而化學副產品（製程之副產品傾向於覆蓋 在面向該製程室之表面上）無法通過。進一步在内部通道門 60表面上沈積建互之薄膜有一極小效果於内概及搭配之頂 部與底部之表面上形成傾斜及於狹縫閥門裝置處於完全關 閉位置時在内襯及門之間最接近該門裝置中形成部分斜 面。一旦有任何運轉移至打開位置，例如圖9及1 0中所展 示之間隙’圖1 0中之間隙空間9 〇驚人地增加成圖9中之間 隙空間9 2。 圖3 Β展示該上下室内襯部分94、96丨之傾斜方向與他們對 應之表面8 4 ' 8 6之透視圖。該狭縫開口 5 2之末端5 6位於 -14 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再妓寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 43 7268 五、發明說明（12 ) 内襯組合50之凹片54之短邊上使得一旦該内部狹縫通道 門60被置於門末端時，其位置重疊狹缝52之末端56如上 述約等於頂部與底部邊緣重疊之距離。 進一步之組合展示於圖8、9、10。該收回之門舉桿承受 著内部狹縫通道門及固定螺釘被插入與緊栓著使門可接著 動作。具有舉桿200、210之門之前視圖如圖II所展示地被 期待，鋁製之門將隨溫度之改變而擴張與收縮，如任何材 料所製之門般有一熱膨脹係數會隨著建立之空間關係及提 供之溫度範圍於舉起之组件上產生結合。 位置正確性及熱膨脹自由度之需求是由一門支撐桿所提 供，在此爲左桿2〇〇，例如，一固定桿使得該桿2〇〇之末端 如圖1 2中所展示緊緊夾住狹縫閥門之固定洞架構中。該機 器螺釘7 2讓桿末端緊夾住桿2〇〇末端至内部狹缝通道門6 〇 之窄穿透洞6 3之肩部。此緊緊之夾住可提供一從門至地 之良好電流路徑，因此降低或消除產生弧光之可能性，進 —步設定門某端之水平及垂直位置。此夾住作用似一支撑 或樞軸使門及門之支撐之其他浮接端可園著它移動。 圖1 3展示右邊样，浮接桿21〇 ^它的桿承受洞68被延長 於側面方向（例如圖1 4)用以當該样下面末端垂直地由—肩 部螺絲8 2對著浮接桿21 〇之底部末端夾緊來固定時可允許某 些程度之擴張及收縮。狹窄之插槽6 8阻止側面（放射狀）之 運轉。注意桿末端及桿穿透洞6 3之向内凸出邊緣（肩部）間 有一間隙7 4。該浮接桿可由此傾斜，|且由肩部螺絲8 2之末 端邊緣（頭）垂直固定用以允許在溫度變化發生於固定舉桿 -15- 本纸張K度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----..--------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再硪寫本頁) 43 726 8 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（13) 200之固定中央軸時，該狹縫通道門6 〇可自由地收縮及擴 張。因溫度變化僅約100至15〇度左右及二舉桿洞間之距離 約6吋’故具此架構之擴張將相當易於管理。 如上述根據本發明之架構典型地包含一外部（密封室）狹縫 闕組合。本發明提供一内部狹缝通道門用以阻塞聚合物之 沈積及室内製程之其他副產品沈積在製程宣之牆上。此架 構中’該外部狹缝閥門之内部在正常清潔該製程室時不需 要清理。所以若其中一室須被清潔時，一组工具之傳送室 間之密封不受影響’然而在過去，室之清潔總意味著該組 工具及它的傳送室會被丟棄。如同在此所描述之一使用内 邵狹縫通道門架構之另一好處是改善介於室中基板製程位 置所處理之基板邊緣及用於限制電漿外罩超過基板環繞在 内襯間之距離之一致性。傳統架構室内襯中有一大洞可允 許電漿擴大至該内襯。該擴大之電漿於電漿流過被處理之 基板上產生失真及在基板製程中最接近基板傳送通道之一 邊至另一邊之變化皆被注意到。根據本發明之某個架構， 電漿流因狹縫傳送通道產生之不連續性已被消除，故由一 門取代相同之電位差來作為内视用以產生介於被處理基板 邊緣及内襯所襯之製程室鄰接至基板之牆間之一近乎一致 之距離。該架構完成這個在實際上並沒有因一乾式門移動 或因一具有覆蓋著製程副產品之暴露表面之門之移動而增 加室中產生微粒之風險。該風箱组合密封提供乾式密封， 並沒有微粒之介入，.而門之巧妙彎哞及/或傾斜表面及它 面對之内襯表面降低在操作時聚合物剝落及脫離之風險。 -16 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) --------1 訂— I;------—^ 4 3 72 6 8 A7 B7 五、發明說明（14 ) 該門可輕易地移動及清潔如該内襯組合之 化達到一清潔室所需之维喵击 心·’由此成 產。 ·..叹步驟而儘快地恢復該室之生 當本發明描述特定之且_ # + 7+ A . Ab 00 ^ 具體實施例時，那些熟知本技銳之 人士能明白於形式及細筋μΛλ v i ^ ^ p上所作《改變並未偏離本發明之 精神及範圍。 I ί ί'ί!·裝.I . (請先閲讀背面之注意事項^-¾寫本頁) 訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中囤國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 經濟部智慧財產局員工湞費合作社印製 . A、申請專利範圍 - L —種基板製程室包含： —附著一基板製程位置空間之室主體，其中該室主體 包含一狹缝通道從該主體之外部表面伸展至該基板製 程位置空間，該狹縫通道被定成一基板由此通過之 寸； —外部狹縫閥門被置於該基板傳送通道之外部用以 選擇性地封住該基板傳送通道；以及 —内部狹缝通道門被置於該基板傳送通道之内部用 以選擇性地阻塞該基板傳送通道，其中該内部位曹比 該外部位置更接近該基板製程位置空間。 2 .如申請專利範圍第1項之基板製程室， 其中該内部狹縫通道在置於阻塞該基板轉送通道位曹 時會擴展超越該通道邊緣約·一重叠距離。 3 .如申請專利範園第2項之基板製程室， 其中該重疊距離至少爲1/4吋（6.35毫米）。 4 .如申請專利範圍第2項之基板製程室， 其中該重疊距離約爲1/2吋（12.7毫米）。 5，如申請專利範圍第1項之基板製程室， 其中該内部狹縫通道門被彎曲來配合一室内觀之外 形。 6，如申請專利範圍第2項之基板製程室， 其中該内部狹縫通道門被彎曲來配合一室内视之外 形。 « 7 ·如申請專利範園第3項之基板製程室， -18- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNSM4規格（210 X 297公釐> ---- ---------裝--------訂----------線 (請先閱讀背面之注意事項再/¾本頁) 8θ88 AKCD 43 7268 ^ 六、申請專利範圍 ’ 其中該内部狹縫通道門被彎曲來配合一室内襯之外 形。 8 .如申請專利範園第1項之基板製程室， 其中該内部狹缝通道門是在垂直方向移動以及選擇性 地被控制著穿過一提供给該門支撐之風箱組合之移動。 9 .如申請專利範圍第8項之基板製程室， 其中該内部狹縫通道門是由二支撐桿所支撐。 10. 如申請專利範圍第9項之基板製程室， 其中第一個該二支撐桿透過一緊緊夾住之接合來固定 於該内部狹缝通道門，而第二個該二支撐桿是透過浮接 方式來連接至該内部狹.缝通道門，其浮接方式維持該内 部狹縫閥門定於垂直方向及近乎垂直於該門長轴之方 向，以及允許該桿以近乎沿著該門長軸之方向移動。 11, 如申請專利範圍第1項之基板製程室， 其中一關閉位置之該内部狹縫通道門坐落在距鄰著該 狹縫通道打開位置之表面處幾個—时分之千分之十之門 隙。 " 12·如申請專利範圍第8項之基板製程室， 其中該内部狹缝通道門垂直方向移動之限制是由至少 一軟栓塞來精確地設定。 13. 如申請專利範圍第2項之基板製程室， 其中該内部狹縫通道門之頂部及底部形成實曲來配合 他們面到1該室之表面部分之另一邊『 14. 如申請專利範圍第1 3項之基板製程室， -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------裝--------訂---------線 . - (請先閱讀背面之注意事項再寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 437268! 麗 D8 六、申請專利範圍 其中該内郅狹縫通道門之中央部分形成彎曲來配合該 狹缝通道延伸至該室之表面部分之有角度之表面。 15. 如申請專利範圍第1項之基板製程室， 其中該内部狹縫通道門及該外部狹縫通道門同時打開 用以允許一基板進出該室之通行。 16. —種基板眞空製程室内襯包含： 一内襯環繞眞空製程室中之基板製程位置，其中該内 襯包含一基板傳送開口，及 一内襯門選擇性地從一製程中基板能通過該基板傳送 開口之一開口位置移至一關閉位置，此處之内襯門是定 位於緊接近但未碰到圍在基板傳送開口四週之該内襯及 該内襯門阻塞該基板傳送開口及該門之邊緣重疊該基板 傳送開口之邊緣。 17. 如申請專利範圍第1 6項之基板眞空製程室内襯， 其中該内襯門被彎曲來配合一彎曲内襯之外形。 18. 如申請專利範圍第1 6項之基板眞空製程室内襯， 其中該門之移動是垂直的及可選擇性地被控制透過一 風箱組合。 19. 如申請專利範圍第1 6項之基板眞空製程室内襯， 其中該内襯門在置於阻塞該基板傳送開口位置時會擴 展超過該開口邊緣約一重疊距離。 20. 如申請專利範圍第1 9項之基板眞空製程室内襯， 其中該重疊距離至少應爲1/4吋（(6,35毫米）。 21. 如申請專利範圍第1 9項之基板眞空製程室内襯， -20- 本纸張尺度迫用中囤國家標準（CNS>A4規格（210 X '297公釐） -------------裝--------訂---------線 > - (請先閱讀背面之注急事項再丨寫本頁) 4 726q 頜 CS ____ DS 六、申請專利範圍 其中該重疊距離約爲1/2吋（12_7毫米）。 22·如申請專利範圍第丨6項之基板眞空製程室内襯， 其中該内襯門由二支撐桿所支撐。 23. 如申請專利範圍第22項之基板眞空製程室内襯， 其中第一個該二支撐桿透過一夾緊之接合來固定於該 内部狹缝通道門，而第二個該二支撐捍是透過浮接方式 來連接至該内部狹縫通道門，其浮接方式維持該内部狹 縫閥門定於垂直方向及近乎垂直該門長軸之方向，以及 允許該桿以近乎沿著該門長軸之方向移動。 24. 如申請專利範圍第1 6項之基板眞空製程室内襯， 其中一關閉位置之該内襯門係坐落在距鄰著該狭缝通 道開口表面處幾個一对分之千分之十之間隙。 25. 如申請專利範圍第項之基板眞空製程室内襯， 其中該内襯門垂直方向移動之限制是由至少一軟拾塞 來精確地設定。 2匕如申請專利範圍第丨6項之基板眞空製程室内襯， 其中該内襯門之頂部及底部形成彎曲來配合他們面對 該内觀表面部分之另一邊。 27·如申請專利範圍第1 6項之基板眞空製程室内襯， 其中該内襯門之中央部分形成彎曲來配合該開口延伸 至該内襯表面部分之有表度之表面。 28.如申請專利範圍第i 6項之基板眞空製程室内櫬， 其中該内襯門及有關該内襯開口,之室外狹縫通道門同 時打開用以允許一基板進出該室之通行。 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------^---I I---^--------- > ' (請先閱讀背面之注意事項再本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8B8C8D8 ^26 8 ^ 申請專利範圍 g通道表面上之阻 皂含之步驟 29_ —種用以降低製程副產品在一基板 塞及改善電裂在一眞空製程室之. 有： 提供一可移動式門用以選擇性地在鄰接至該篇/空製禾 室中之該基板製程位置上阻塞該基板傳送通道； 當一基板被送入或傳出該基板製程位置時，將該可毛 動式門移出該基板傳送通道。 30,如申請專利範圍第29項之方法， 其中提供該門之步驟中，該門及門支撐結構可 打開位置及一門關閉位置間移動，且在該製程室〜尸 阻制中沒有在任何二項零件間發生摩擦接 至 < 眞竺 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製