TW423093B

TW423093B - Method for transferring wafer cassettes after checking whether process equipment is in a suitable mode

Info

Publication number: TW423093B
Application number: TW087100868A
Authority: TW
Inventors: Sang-Yong Kim
Original assignee: Samsung Electronic
Priority date: 1997-04-17
Filing date: 1998-01-22
Publication date: 2001-02-21
Also published as: KR19980077234A; JP3709265B2; JPH10303270A; KR100272252B1; US6175777B1

Description

經濟部中央標準局I工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 ) 發明背景發明之技術範圍本發明大致上係於關一種用於半導體製造設施中，在一自動導引機具（AGV)與處理設備之間移送卡匣的方法。更確切而言，本發明係關於一種方法，其包括數步驟以檢查該處理設備所處之模式，並於必要時改變該模式，使之更適合於即將進行之移送》相關技術在半導趙裝置的製程中，所使用的處理方法已經逐漸地自動化。然而，一直到最近，半導體晶圓卡匣在處理設備的各部分間之移送，仍然是一個涉及人員操作的手動過程。隨著各種半導體裝置的日益整合，由人體所產生的微粒，在過去並不被認為是困擾的，也已經成為主要的汙染原；因而有許多從事於自動化的晶圓卡匣移送之研究與發展。自動導引機具（AGVs)被開發用於電腦的遙控過程中傳送卡匣；雖然已有很大的進展，然而現有的系統仍然具有某些缺點。舉例而言，如果處理設備在卡匣移送單元抵達時並未處於正確模式，該移送仍有可能會被啟動。結果是該卡匣可能根本未被移送，或者更糟，該卡匣可能被拋落，而晶園則掉出並摔破。第1圖為一現有的晶圓移送系統之示意圖，係於一 AGV及其控制器之間，以及該AGV和某一半導體製造處理設備之間，使用通訊連路。該系統包括移送設備10, 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X29?公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .—表.

,1T 篡 423093 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 A7 B7 五'發明説明（2 ) 處理設備20’及一主機30»該移送設備1〇包含一控制器 11 ’其本身連接至主機30’並受該主機3〇控制。該移送設備10尚包含一 AGV 13,其係受控制器1丨藉由一箭號 12所示之無線電連路的無線控制下運轉，該處理設備2〇則於同時，經由一第二控制器（未圈示）為主機3〇所控制。該主機30係依半導體設備通信標準（SEcs)，與該移送控制器11及該處理設備控制器（未囷示）相連。該AGV 13 藉由一以另一個箭號15所示之通訊連路和該處理設備2〇連接。在該現有系統中’一光耗合並行輪入/輪出（ρρΙ〇) 連路係用作通訊連路15。卡匣之移送發生在當一晶圓卡匣（未圖示）自該AGV 13被裝載至該處理設備20時，或是當一晶圓卡匣自該處理設備20被卸下到該AGV 13時》該處理設備20包括一裝/卸卡匣座21(圊2)，供於晶圓卡匣在該處理設備2〇及該AGV 13之間被移送時之用。第2囷所示為該處理設備20的該裝/卸卡匣座21之示意圊。該卡匣座21包含一感應器si，可以在卡匣被置於該卡匣座21上之一較佳位置人時，檢測該卡匣的存在。該現有卡匣移送系統之操作，將參照第1及第2圊加以敘述。由第1圖開始’一移送晶圓卡匣的命令由主機3〇發出，其係經由依照SECS之與該移送設備11的通訊及與該處理設備20之控制器（未圖示）的通訊來傳達命令。該移送設備控制器11接著利用無線電連路12指示該AGV 13移向該處理設備20，使得該AGV 13抵達鄰接於其裝/ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公廣） n I- - - n ^—I I - - - — ! - - I I- - n I— - -- - * (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4^3〇 93 A7 —___________B7 五、發明説明（3 ) 卸卡匣座21之該處理設備20。該AGV 13在抵達該處理設備2〇之後，即開始藉由連路15與該處理設備2〇聯通。在ppI〇連路的場合，通信協定是由半導體設備與材料國際標準（SEMI)所界定。該處理設備20具有一内部構件（未圖示係必須設置為一特定的型式以供裝/卸操作。例如，該處理設備2〇可能具有一個必須被打開的門，或者該處理設備2〇可能具有 —支機械手臂，其於裝卸操作時必須是展開的。此外，該卡匣座21必須要被一個卡匣所佔用，以允許卸下動作的發生’或者該卡匣座21必須是空的，以允許裝卡匣的動作發生。以上各種内部構件的狀態，以及該卡匣座21的被佔用狀態，構成了該處理設備20的移送模式。在第1 圖所示之傳統的晶圓移送系統中，無論該晶圓移送系統是否真的準備好裝卸卡匣，當該AGV 13到達並開始進行連通時’該處理設備20即被視為處於一適當的，可依該主機所下指令進行移送的模式中。然而，基於各種原因’當該AGV開始通訊時，該處理設備20可能並非處於一適當的移送模式下。當移送在該處理設備20未處於適當模式時即開始進行，例如，假使門沒有完全打開，或是機械手臂沒有完全伸展，則該卡匣可能不會被置於第2囷所示之該卡匣座21的較佳位置 A上β 第2圖所示為’當一個卡匣被置於卡匣座21上的較佳位置Α時，感應器S1可以偵測到它的存在》然而，如本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 6 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本買) 装- A7 B7 ^423093 五、發明説明（4 ) --------Γ— - - - ! ! ί - I -- - n I [[ - i、π - f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 果該卡E被置於接近該較佳位置處，但並不在該感應器S1 的視野内，則感應器S1可能會指示處理設備控制器，該卡匣座是空的》在這種情況下，處理設備控制器在收到主機的裝匣命令時，將不會清除卡匣座。當該Agv 13試圖執行裝1£動作時，該等卡反互撞而致移送操作失敗。這種對卡匣座21之被佔用狀態的錯誤彳貞測，是移送操作失敗的一個主因 '此外，卡匣也可能和—扇未開啟的門或一隻未伸展的機械手臂互撞》以上任何一個原因都可能使卡匡在移送操作失敗時掉落，而晶圓可能會摔出來。目前的系 OA查多邋晶^±^匣炙霞电唐筠大匣座2丄的被_站用^ 、態」或一是該處琴里備構件是否有問題。因此，一個當處理設備未處於適當模式時，即不會移送卡匣的晶圓卡匣移送系統有其存在的必要。發明概要經濟部中央榇隼局員工消費合作杜印製如前所述，本發明係指向一種於半導體製造設施中，在一 AGV及處理設備之間移送一晶圓卡]£的方法。該方法包含自該AGV傳送一第一訊號至該處理設備，指示一卡匣移送請求；檢查該處理設備對於該移送請求是否為處於適當模式；如果該處理設備並未處於適當的模式下，下一步驟即為將該處理設備設定至適當的模式，然後該AGV 和該處理設備之間的卡匣移送才會發生。於本發明之另一態樣中，該方法包含於實際的移送發生前，將一第二訊號自該處理設備送出，以指示許可該卡一，本紙張尺家標準(CNsTa4^ ( 210X297/^ ) —‘ 7 ^23093 A7 __B7^ 五、發明説明（5 ) 匣之移送。而在另一態樣中，該檢查步驟則更進一步包含使用複數個感應器來感知在該處理設備之一卡匣座上的卡匣所在位置之步驟。本發明之另一方針係關於一使用該方法，以於一 AGV 及處理設備之間交換一卡匣之系統，其包含一主機、一 AGV控制器、一 AGV、處理設備、以及該AGV和該處理設備間之一通訊連路。該處理設備包括一卡匣座，和用以偵測該卡匣在該卡匣座上之任一處的配置之複數個卡匣感應器。本發明提供數個特徵，使得在移送發生前即確保該處理設借係處於一適當模式，而得以大幅降低失敗率。此外，藉著使用複數個感應器，即使卡匣並未被置於該卡匣座的較佳位置上，也能夠確定卡匣座的被佔用狀態。圖示說明上述内容及其他目的、態樣與優點，可藉由以下之發明的實施例，並參考各囷示而獲得更佳之瞭解，其中：第1圊為使用現有實例的晶圓卡匣移送系統之示意經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ESI · 圍，第2圖所示為第1圖中之處理設備的一個裝/卸卡匣座之示意圖；第3A圖為使用本發明之實施例的晶圓卡匣移送系統之示意圖；第3B圊為使用本發明另一實施例的晶圓卡匣移送系本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 23〇93 A7 —-· _________B7 五、發明説明（6 ) ~~ 統之示意圖； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第4圖所示為根據本發明之第3a及3B圖的經變更之處理設備的裝/卸卡匣座的一個實施例之示意圖。第5圖之流程圖所示為根據本發明之一實施例以移送晶圓卡匣之方法》第6圓之裝匣操作的時程圖所示者，為根據本發明之一實施例，在該處理設備和該AGV之間通過該通訊連路的通訊》第7圖之時程圖與第6圖同，但為一卸匣操作。發明的詳細說明本發明指向一種方法及系統，係用以在處理設備處於適當模式時移送半導體晶圓卡匣。經濟部中央標準局員工消費合作社印製第3A圖所示為執行本發明之方法的一個實施例之系統°基本上，該晶圓卡匣移送系統所具有的元件與前述第 1囷所示者相同，惟其處理設備係經變更，而於接收由該 AGV 13經過該通訊連路15，及由該主機30傳來的通訊時，以不同的方式執行•在如后所述之其他的實施例中，例如於第3B圖所示者，該AGV 53亦經變更，而以不同的方式執行，而且該通訊連路55係於該處理設備40和該經變更的AGV 53間傳遞不同的資訊。第4圖所示為本發明之經變更的處理設備40上之裝/ 卸卡匣座。在一實施例中，額外的感應器被加入，以偵測該卡匣座41上的卡匣之位置；在該較佳實施例中，係另 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） Α7 Β7 4 230 q2 五、發明説明（7 ) (請先聞讀背面之注意事項再填寫本I) 外加入感應器S2和S3。該等附加的偵測器可以是光束型光學感應器’各具有一放射部及一摘測部，以债測因未被置於較佳位置A而無法被第一感應器S1偵測到的卡g之位置。於該較佳實施例中，該感應器S2及S3係被置於卡匣座41的附近，而毋須為該卡匣座41的一部份。茲說明根據本發明之方法的移送系統之操作》為求簡化，將同時說明.第3Α和3Β圖的實施例，亦即參考第3Α 圖中的AGV 13及第3Β圖中的經變更之AGV 53 » 經濟部中央標準局員工消費合作社印製如第5圖之流程圖所示，本發明的方法由步驟si〇開始，在該步驟中AGV 13 ’ 53係使用例如，一個在較佳實施例中的ΡΡΙΟ連路，以啟動一個與處理設備40的通訊連路（第3Α圖中的15，及第3Β圖中的55)。接著，在步驟S20中，該AGV 13，53傳送一個請求訊號至該處理設備40。在該較佳實施例中，該訊號會以一個卡匣座號瑪來指定—^匣座41。在步称S30中，該處理設備40設定使其自身處在一適當模式下，亦即，該處理設備40設定該指定卡匣座41及相關的内部構件，如果有的話，使之處於適合該主機30或AGV 13,53所指示之移送類型（裝或卸）的狀態。開始時，步驟S30可能在AGV 13，53到達之前即根據來自主機30的命令而執行。在步驟S40中，該處理設備40係藉由使用較佳實施例中所提供的感應器’例如S1、S2、S3，來檢查卡匣座41的被佔用狀態，以及藉由檢査内部構件，如果在該經變更處理設備40中有提供任何諸如此類的檢查，以決定是否完全設定在適當本紙張尺度適用中國國家標窣（CNS ) Α4規格（2Ϊ0Χ297公釐） -1〇 4 2 3 0 9 3 - at B7 五、發明説明（8 ) 模式下。如果步驟S40的結果是該處理設備40並未處於適當模式下，則步驟S30將被重做*並接著再執行另一次的步驟S40。該循環可以重複，直到在步驟S40中該處理設備40被確認為處於適當模式下。在步驟S40中，當該處理設備40被確定係處於適當模式時，接著於步驟S50中，一晶圓卡匣會在AGV 13， 53與處理設備40間被移送。步驟S50的執行可以被設為發生在步驟S40確定該處理設備40係處於適當模式之後，其係藉著延遲步驟S50，直到如較佳實施例中之該經變更的AGV 53收到由該處理設備40經通訊連路55傳來的授權訊號。或者，該未經變更之AGV 13所需的延遲，可以根據與該處理設備40間的通訊，由主機30預先決定或提供。最後，該方法結束於當該通訊連路15，55在步驟S60 及S70中被取消時。在較佳實施例中，步驟S60包括移除指定卡匣座號碼的訊號；而步驟S70包括該PPIO連路之終結。經濟部中央標準局員工消費合作社印製根據第3B圖所示之較佳實施例，將一晶圓卡匣裝載至該處理設備40的方法，將參照第6圖更詳細地說明。參照第3B圊，該裝載操作係先由主機30根據SECS 發出一裝載指令至該移送設備50的控制器11及該處理設備40的控制器（未圖示）。該控制器Π經由無線電連路12 控制該經變更的AGV53之移動，使之移到要被裝載之該處理設備40;因而該經變更的AGV 53即抵達該處理設 11 I m n - ^^—1 - - I —^^1 I ^r — - - 1 m. n - * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） :4 2 3 0 9 3 A7 B7 ----- ----- ——-- 五、發明説明（9 ) 備40,鄰接在其裝/卸卡匣座41之旁》該經變更的AGV 53於抵達該處理設備40後，開始經由通訊連路55與該處理設備40連通。此與第5圖的步驟S10相當。經過通訊連路55的通訊，以不同訊號的時程圖示於第6圖。第6囷中，由第3B圖中之經變更的AGV 53所發出的訊號後面都加上字母（A)，而由第3B圖之處理設備40發出的訊號後面則加上（P)。於時程’a’，該經變更的 AGV傳送一 Cs-No訊號以指定一卡匣座號碼。該Cs-N〇訊號以Cs_0、Cs_l、Cs_2等等來代表卡匣座號碼。不久之後，於時程’b’，該經變更的AGV傳送一個高層次的’’VALID”狀態訊號，指示該狀態為’ΌΝ”。一個’’VALID ON”的訊號意指由CS-No所傳送的卡匣號碼，對目前位在經變更的AGV 53旁邊之處理設備40而言是有效的。該Cs-No訊號和VALID ON訊號相當於第5圖中的步驟 S20。經濟部中央標準局員工消費合作社印製其間，該處理設備40已經開始將其自身設定為隨時可裝匣的狀態。在較佳實施例中，步驟S30是根據來自主機的初始通訊，或根據第5圖中之步驟40傳來的後繼返回控制而開始。例如，在步驟30中，假使該處理設備 40包括一扇門，而該門是開的；如果包括一具械手臂，則該機械手臂是伸展開的。在步驟30中，感應器S卜S2、 S3球認--^匣是否位於卡匣座41上的任一處：而如果是的話，則在處理設備控制器（未圖示）的控制下，該處理設 12 1 - - -- s I *^^1 HI n an n^i .^κ I - ...... - (請先聞讀背面之注意事項再填寫本I ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐）經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 4230 93 A7 _____ B7 五、發明説明（10 ) 備4〇即將該卡匣移走。

接收自該經變更的AGV 53傳來的VALID 〇N 訊號之後，如果該處理設備40具有門的感應器和機械手臂的感應器，則這些感應器會偵測門及機械手臂的狀態，並且將結果提供給處理設備控制器（未圖示）。卡匣座感應器S1， S2，S3偵測卡匣座41的被佔用狀態，並將結果提供給該處理設備控制器。，該處理設備控制器即根據這些結果確定處理設備是否處於適當模式，亦即即時可裝匣之狀態。如果控制器確定處理設備非處於隨時可裝匣之狀態，該方法即退回控制給步驟S30。舉例而言，假如門沒打開，或機械手臂沒有伸展，或卡匣座41不是空的，控制就退回到步驟S30。由於附加感應器S2及S3 ,即使卡匣並非置於第4圖之卡匣座41上的較佳位置a，本發明之較佳實施例仍會查出卡匣座41不是空的。當處理設備40非處於隨時可裝匣之狀態時，狀態訊號L—REQ維持在一低層次，指示l_REQ OFF。當一L_REQ OFF訊號被傳送出時’該方法裝匣的下一步驟（S5〇)即不會被執行。因此，移送失誤，像是在裝匣操作中，卡匣與半關的門或半伸展的機械手臂，或其他已經佔用一個卡匣座41的卡匣等相撞的情形，便可以避免。在時程’c’，當該處理設備40被確定係處於隨時可裝匣狀態時，即藉由送出一個高層次訊號，將L_REQ的狀態訊號轉換為L_REQ ON。此係相當於第5圖中之步驟S40 的結果。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0'X2r/公釐） 13 (請先閲讀背面之注^^項再填寫本買) 哀' 訂 4230 93 A7 B7 五、發明説明（11 ) 在較佳實施例中，第5圖的步驟S50始於該經變更的AGV 53在時程’d’將TR—REQ的狀態訊號由低層次轉為高層次以指示TR_REQ ON;意指該經變更的AGV 53 差不多要將晶圓卡匣移送到處理設備40 了。該處理設備 40則於時程’e’，藉著將一 READY的狀態訊號由一指示 READY OFF的低層次訊號轉為指示READY ON的高層次訊號，以為回應β在接著時程’e’的時程’Γ，從該經變更之AGV 53到該處理設備40的物理移送開始，而狀態訊號BUSY則從一低層次指示BUSY OFF轉換為高層次訊號指示BUSY ON。經濟部中央標準局負工消費合作社印装 ^^^1 ^^^1 —^^1 — - - -n^i In I n • {諳先閱讀背面之注^^項再填寫本頁) 當裝匣操作完成時，置於卡匣座41上的晶圓卡匣，被感應器SI、S2、S3其中之一或更多個偵測到。此時，在時程，g’，處理設備40將正被送往該經變更之AGV 53 的狀態訊號L_REQ，由指示L_REQ ON的高層次訊號轉換為指示L_REQ OFF的低層次訊號；而在時程’h’，該經變更之AGV 53則將送往處理設備40的狀態訊號BUSY，由一指示BUS Y ON的高層次訊號轉換為指示BUSY OFF 的低層次訊號以為回應。同樣在時程’h’ ’自該經變更之 AGV 53送往處理設備40的狀態訊號COMPT，也由指示 COMPT OFF的低層次訊號被轉換為指示COMPT ON的高層次訊號，以表示裝匣操作已經完成。此相當於第5圓步驟S50之完成。作為COMPT ON訊號之回應，在時程M’，該處理設備40將送往該經變更之AGV 53的狀態訊號READY由本紙張尺走適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0X297公釐） -14 - ^4230 93 A? B7 五、發明説明（12 ) 指示READY ON的高層次訊號轉換為指示READY OFF 的低層次訊號。為回應READ Y OFF訊號，在時程’j’，該變更之AGV 53將送往處理設備40的BUSY、VALID、Cs-No等訊號* 分別由指示高層次轉換為指示BUS Y OFF、VALID OFF、 Cs-No OFF等的低層次訊號。在時程’j’，成為Cs-No OFF 的轉換變，相當於第5圖之步驟S60中的移除卡匣座號碼之指定。當卡匣座號碼之指定被移除，該經變更的AGV 53依第5圖之步驟S70即終止與該處理設備40的PPIO連路；在該處理設備40沒有任何後績移送的情形時，該經變更之AGV 53即從該處理設備40移開。依較佳實施例從處理設備40卸下晶圓卡匣的方法，將參照第3B及第7圖更詳細地說明。該方法與上述的裝匣操作相同，其細節亦相似；只是，使用一不同的狀態訊號，以U_REQ取代L_REQ，而適當模式則是隨時可卸匣，而隨時可裝匣。經濟部中央標準局員工消費合作社印製如上所述與第3B圖所示，經變更之AGV 53抵達鄰接於其裝/卸卡匣座41的處理設備40;於抵達該處理設備40後，經變更之AGV 53即開始透過通訊連路55與處理設備40通訊。此相當步驟S10。在卸匣操作期間通過通訊連路55的通訊，以第7圖之不同訊號的時程圖表示。第7圖中，由經變更之AGV 53 15 ^^1 r^n — 編 - I —^ϋ I m I I - - -- - \OJ _ I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X29?公釐） ^423093 A7 ___：_5Z__ 五、發明説明（13 )

所產生的訊號，後面加上括號A;而由處理設備40產生的訊號，後面則加上括號P。在時程’a’ ’該經變更的AGV 傳送一 Cs-No訊號來指定--^匣座號碼。Cs-No訊號以

Cs_0、Cs_l、Cs_2等等來代表卡匣座號碼。在時程’b’，經變更的AGV傳送一個VALID狀態訊號’其於一高層次係指示狀態為ON。一 VALID ON訊號代表以CS-No所傳送的卡匣號碼，對目前鄰接在該經變更之AGV 53的處理設備40來說是正確的。這一對訊號對應步驟S20。其間，該處理設備40已經開始進行步驟S30，以設定其自身於隨時可卸匣的模式。在較佳實施例中，步驟S30 係根據來自主機的初始通訊，或根據一步驟40來的後讀返回控制而開始β 舉例而言’在步驟30中，如果包括有一扇門，則該門是開的；若包括有一機械手臂，則該機械手臂是伸展開的。在步驟30中，感應器S1、S2、S3破認一卡匣是否位於卡匣座41上的任一處；而，如果不是，則在處理設經濟部中央標準局員工消費合作社印製備控制器（未標示）的控制下，一卡匣被該處理設備40置於卡E座41上》當接收自該經變更的AGV 53傳來的VALID ON訊號後’如果該處理設備40有門的感應器和機械手臂的感應器，這些感應器即會偵查該門及機械手臂的狀態，並且將結果提供給處理設備控制器（未標示）。卡匣座感應器S1， S2，S3偵查卡匣台41的佔用狀況，並且將結果提供給處理設備控制器。根據這些結果，該處理設備控制器確定處 16 --1 I - I ' ! ! : ---Λ'-"^-—^1 ^^1 HI I— i . ...... *- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公瘦〉 r4 2 3 0 9 3 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製五、發明説明（14 ) 理設備40是否處於適當模式，亦即，隨時可卸匣之狀態。如果控制器痒定該處理設備非處於隨時可卸E&態，該方法即把控制退回步驟S30。例如，門沒打開，或機械手臂沒有伸展，或卡匣座41未被佔用，控制即退回步驟由於有附加的感應器S2及S3，即使一卡匣並未置被於卡匣座41的較佳位置A ,本發明之較佳實施例仍會偵測出卡匣座41是被佔用著的》當處理設備40非處於隨時可卸匣狀態時，狀態訊號 U_REQ保持在低層次’指示u reQ OFF»當一U_REQ OFF 訊號被傳送出時，卸匣的下一步驟（S50)將不會被執行。因此’在卸匣操作中，諸如卡匣與半關的門或半摺疊的機械手臂相撞，或卡匣座上沒有卡匣可卸等的移送失誤便可以避免。當確定該處理設備40係處於隨時可卸匣狀態時，在時程’k’藉由傳送出一高層次訊號，將u_REQ狀態訊號變換為U_REQ ON。此係與步驟S40相當。在較佳實施例中，步驟S50(第5圈）係在時程’d’，始自該經變更的AGV 53將TR_REQ狀態訊號由一低層次轉為一高層次以指示TR-REQ ON。表示該經變更的AGV 53 已經要從處理設備40移送晶圓卡匣了。在時程’e’ ’該處理設備40將一 READY狀態訊號，由一低層次READY OFF 訊號轉為一高層次READY ON訊號以為回應。在時程’e’ 後的時程T中，由該處理設備40至該經變更之AGV 53 的卡匣之物理移送開始進行；而且狀態訊號BUSY由一本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐） 17 n^i H ^^^1 Kn I I ^^^1 n «^^^1 J. ^i * _ (諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ε. ^30 93 五、發明説明 A7 B7 (15 低層次指示BUSY OFF被轉換為一高層次訊號指示BUSY 〇N 〇 (請先閱讀背面之注意"項再填寫本頁)

在卸匣操作完成時，所有的感應器SI、S2、S3都感應到該卡匣座41上沒有卡匣。此時，即時程，m’，該處理 4〇將被送往該經變更之AGV 53的狀態訊號 U〜ReQ，由-高層次訊號指示U一REQ ON轉換為-低層 '欠訊婕指示U_ _REQ OFF;而於時程，h’，該經變更之AGV 53 則將送往該處理設備40的狀態訊號BUSY，由一高層次訊敢指示BUSY ON轉換為一低層次訊號指示BUSY

Opp Γ ’以為回應。也是在時程，h，，從該經變更之AGV 53 送往該處理設備 40的狀態訊號COMPT，被由一低層次訊就指示COMPT OFF轉換為一高層次訊號指示COMPT ’以表示裝匣操作已經完成。此相當於步驟S50之完成。在時程’i，，為回應COMPT ON訊號，該處理設備40 將送往該經變更之AGV 53的狀態訊號READY由一高層鯉濟部中夬榡準局員工消費合作杜印製次訊鱿指示READY ON轉換為一低層次訊號指示READY OFF。在時程，j，，為回應READY OFF訊號，該經變更之AGV 53將送往該處理設備40的BUSY、VALID及Cs-No等訊號，分别由高層次轉為低層次訊號指示BUSY OFF、VALID 〇FF及Cs-No OFF。在時程’j’，轉換為Cs-No OFF係相當於步驟S60中的移除卡匣座號碼之指定e 當卡匣座號碼之指定被移除後，該經變更之AGV 53 18 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐}

S Α7 Β7 五、經濟部中央標隼局員工消費合作社印黎發明説明（16 ) 即依步驟S70終結與該處理設備40的PPIO連路。在與該處理設備40間沒有其他後續移送操作的情形下，該經變更之AGV 53即從該處理設備40移開。如上所述，本發明之方法藉於執行移送前檢查處理設備40是否處於適當模式，而避免許多晶圓卡匣移送過程中的失誤。本發明之可供執行該方法之較佳實例的一系統具體例需要在處理設備40的裝/卸卡匣座41旁設置附加的感應器S2、S3 ;該等附加之感應器S2及S3係用以偵測如圓4之未被置於卡匣座41上之較佳位置A的某一卡匣之位置。在本發明的應用上可以預期有多種變更。尤其，用以偵測卡匣之位置的感應器可以在較佳位置以外的位置做大幅的變化；而且，在AGV和處理設備間來回傳送的狀況訊號數也可以和較佳實施例中所述的八個不同。此外，也可以使用PPIO連路以外的通訊連結。對熟悉此項技藝人士而言，可顯而易見地於不脫離本發明之精神或範疇的情形下，對本發明的系統及方法作各種變更。因此，本發明係涵蓋衍生自本發明之申請專利範圍及其均等物而為之修改與變更。國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 19

Claims

AS ΓΑ 2 3 0 S 3 cl D8 六、申請專利範圍 i. 一種在半導體製造設施中將一晶圓卡匣在一自動導引機具（AGV)與處理設備之間移送的方法’該方法包括之步驟為：自該AGV傳送一第一訊號至該處理設備，指示一卡匣移送請求；由該處理設備檢查該處理設備是-否處衿該移送聲参的適當模式；在該檢查步驟之後’若該處理設備並未處於適當模式，則設定該處理設備於該適當模式；及在該AGV及該處理設備之間移送該卡匣。 2·如申請專利範圍第1項之方法，進一步包括：在該檢査步騍之後及該移送步驟之前，當該處理設備係處於適當模式時，由該處理設備傳送一第二訊號到 AGV，指示卡匣移送之許可；而且，若該處理設備在檢查步驟中尚未處於適當模式’則該第二訊號係於該設定步驟之後及該移送步驟之前被傳送。經濟部中央標準局負工消費合作社印製 3.如專利申請範圍第2項之方法，其中，至少有一移送步驟係使用無線通訊連路來執行》 4_如專利申請範圍第3項之方法，其中，該無線之通訊連路為一光耦合並行輸入/輸出連路。 5‘如專利申請範圍第1項之方法，該檢查步驟進一步包括以下步驟： 20 —^1 ^^1 .In-. ^^1* ί _ 1^1 ^^1 - -1 *» (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度it财關家縣（⑽> Α4胁（2歐挪公爱），4 23〇 AS B8 C8 D8 六、申請專利範圍使用複數個感應器以偵測處於該處理設備之—座上的卡匣之位置。 ---·—.----策 ------訂 ** (請先閱讀背面之注意事項再填寫本灵) 6.如專利申請範圍第5項之方法，其中，該複數個感應器中的第一個感應器係楨測一位於該座上之一較佳位置的卡£位置。 7·—種在半導體製造設施中用以處理一晶圓卡匣並在一自動導引機具（AGV)與一處理設備之間交換該卡匣系化系統，其包括：一主機；一連接至該主機之一 AGV控制器；一與該AGV控制器相連之AGV ; 一與該主機連接之一處理設備；一卡匣座，設置於該處理設備中，以於交換過程中支撐該卡匣；複數個卡匣偵測器’以偵測該座上任一處之該卡匣的位置；以及一在該AGV及該處理設備之間的通訊連路。經濟部中央揉準局員工消費合作社印裝 8. 如專利申請範圍第7項之系统’其中，該通訊連路為一無線之通訊連路。 9. 如專利申請範圍第8項之系統，其中該無線之通訊速路為_光耗合並行輸入/輸出連路。 10.如專利申請範圍第7項之系统，其中，該複數個卡匣感應器中之一第一感應器係於該卡匣被置於一較佳位置時，偵測該卡匣的位置。 21 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210Χ：297公釐〉