TW389898B - The method and apparatus for coating disc-shaped storage media - Google Patents
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Description
經濟部中央揉隼局貝工消费合作社印裝 Α7 Β7 五、發明説明(1 ) 本發明係關於一種使用某種鍍層材料’來鍍資訊儲存 媒體之方法,它們至少是利用一個位在儲存媒禮内部的塗 佈噴嘴,把它們塗佈上去’而且是經由儲存媒體之旋轉所 產生的離心力,讓它們散布開來。本發明也和一種用來執 行這種方法的裝置有關。 碟式的資訊儲存媒體,舉例來說有光碟片(Compact Discs或CD’s )、迷你碟片(Mini Discs )、可讀窝光 碟片(Magneto-Optical Discs )、CD-Rom’s、CD-R’s 、影像和/或動態影像碟片(Photo-CD和/或Video Discs )。在下文中,這些碟片都稱之為碟式資訊儲存媒體,或 簡稱為儲存媒髏》 前面所述這種類型的裝置,是由本發明的申請人所製 造及銷售。圖五所繪的,是這種裝置的示意圖,以及在這 種裝置的每一個處理站上,其鍍層及乾燥流程的示意圖。 在一個配給站1上,碟式資訊儲存媒體2係備妥在一 個抓握裝置3上方一在本案中,它是一個所謂的製程用平 盤抓握器。它面向著配給站1的抓握臂4、5,會把配給 站1上面所準備的資訊儲存媒體2抓住,並且把它運送到 一個處理單元8之鍍層處理站6、7上。當我們利用一種 鍍層材料〜比如說一種鍍層漆,把儲存媒體2加以鍍層之 後’儲存媒體2就會被一個面向著乾燥處理站9的抓握臂 1〇、11,運送到一個接收站12上。在這裡,它將會被 運送到一個乾燥艙13裡去。經過乾燥程序之後,儲存媒 禮2就會從乾燥處理站裡面或上面的一個乾燥艙13,被 本紙張尺制家轉(CNS ) (⑽靡公楚) -4 - %? (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
A7 B7 五、發明説明(2 ) 運送到-個架子U上。在這個位置上,它將會被另—個 抓握臂15抓住,而被送到一個收集站16上β 前述這種用來鍍碟式資訊儲存媒體的裝置,其被應用 來製造這一類儲存媒體時,具有很大的成效。 · 本發明的基本任務,是要繼續改良碟式資訊儲存媒體 之鍍層方法及裝置,尤其是要創造出一種裝置,它可以在 單位時間内,進行更多的鍍層流程,且更為安全,等待的 時間更少,而且特別對鍍層處理站來說,有一個較小的加 工及維修費用。 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印袋 I;-------Q------、玎 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以前面所述的方法為基礎,這項任费係依據本發明以 如下的方式來解決:至少有一個塗佈喷嘴,它在第一個運 動程序時’是快速的移動到鍍層材料的塗佈位置附近,而 在第二個運動程序時,則是緩慢的移動到它塗佈位置上。 經由它第一個、快速的運動程序,就可以讓塗佈嘴嘴以一 .個很短的時間,被帶到鍍層材料的塗佈位置上,以便使錄 層的行程能夠儘可能地縮短,以及讓這種方法的產能能夠 被提高。這種利用快速的運動程序,把塗佈喷嘴準確的擺 到一個位置上的方式,至少在液壓式的驅動裝置上,是不 可能完成的,或者是只有花費高昂的機具費用下,才有可 能完成。在這個位置上,其鍍層材料必須要在儲存媒體的 内部區域内被塗佈上去。如果塗佈喷嘴單方面的,沒有完 全深入到一個我們所預設的、最佳的塗佈位置裡面的話, 儲存媒體上面就會有一個很不情願的區域不會被鍍到。相 反的,如果塗佈喷嘴超過最佳的塗佈位置,而仍然繼績的 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(2丨0Χ297公釐) A7 B7 __ ___ 五、發明説明(3 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 向裡面進行的話,則一個内部被切除的儲存媒禮之内緣, 或者是一個用來做為儲存媒體之极取位置用的儲存媒體内 環區域,就會出現一些我們所不願產生的鍍層。尤其是對 一些新潮的、現代的CD而言,更是如此,因為相對於那 種内部切除了 35 mm直徑的傳統式CD而言,它現在只 剩下15 nun之直徑而已。此外,在CD的内部區域上, 其中的一面具有一道環形的溝槽,而在儲存媒體的另一面 ,則有一道環形的隆起。如果塗佈喷嘴是以第一個快速的 移動,移動到這一道環形溝槽上,或者移到環形隆起物上 的話,則這一道溝槽或是隆起,就會粘上鍍層材料。然後 ’它們就會在加速的程序時,不均勻地分布在儲存媒體的 表面上’而使儲存媒體的表面上,形成條紋及不均勻的鍍 厚》這一項缺點可以利用本發明中的另一個發明特徵,確 實地加以避免一那就是它具有第二個運動程序,而這個程 序是在第一個快速的運動程序之後,讓塗佈喷嘴缓慢的向 .塗怖位置移過去。 經濟部中央揉準局貞工消費合作社印製 基本上,塗佈喷嘴在第一個、和/或第二個運動程序 時的運動速度’是可以隨著環境加以調節及修正的。這樣 一來,在第一個、和/或第二個運動程序時的運動速度, 就可以視其流程,以及不同的儲存媒體和/或鍍層材料, 而個別加以配合。 ml —^1 在另一個非常優良的實施例中,它的第一個、快速的 運動程序,是在靜止的儲存媒體上面進行的,而在第二個 、缓慢的運動程序時,其儲存媒體就已經開始在轉動。因 (CNS ) A4規格(2丨0X297公釐) -6 - A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印褽 五、發明説明(4 此,當塗佈喷嘴被擺到前述的塗佈位置時,它的鍍層材料 就可以馬上被塗上去,並且經由儲存媒體被加速。利用這 種方式,就可以繼續縮短它的塗佈流程。 在一個利用一種鍍層材料,來為碟式資訊儲存媒體做 鍍層的裝置上,這個裝置具有一個可旋轉的、為資訊儲存 媒體而設的托盤,而且至少也具有一個塗佈喷嘴,它具有 一個驅動裝置,用來把塗佈噴嘴從儲存媒體上方運送到鍍 層材料之塗佈位置上_在這樣的一個裝置上,我們所列的 任務也是以如下的方式加以解決:它的驅動裝置具有一個 液壓式的裝備,這個裝備具有一個為塗佈喷嘴之第一快速 運動程序而設的第一液壓活塞,以及一個為其第二緩慢運 動程序而設的第二液壓活塞。那些與本發明方法有關的優 點,也適用於本發明的裝置。 基本上,我們可以採用一個步進馬達,來做為塗佈噴 嘴的驅動装置,而它的驅動速度,是可以操控的。由於這 種目的的步進馬達,比液壓式的裝備還要複雜以及較昂貴 ,所以從經濟的觀點來看,後者也具有很多明顯的優點。 在本發明一個優良的設計中,它的第二個液壓活塞, 會在第一個液壓活塞之驅動結束後,把塗佈喷嘴的驅動接 手過來《有一種應用形式是特別優良的,在這種形式中, b的第一個液壓活塞會在第二個缓慢運動程序中,逆著第 一個液壓活塞運作。也就是說,它的第一個液壓活塞會貫 徹它的運動程序,直到塗佈噴嘴移動到其塗佈位置上、或 是移動到它之前不遠處為止。它的運動僅僅是由第二個液 ί請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} .袭· -訂· 本紙張尺度賴中目轉轉(CNS ) A4規格(21GX297公釐) 經濟部中央標準局貞工消费合作社印製 A7 _- ___B7 五、發明説明(5 ) 一 ^-- 壓活塞加以減速而已》在這種應用形式中,它的第二個液 壓活塞,是做為它第一個液壓活塞的減速活塞之用。 當它的第-個、和/或第二個液壓活塞的活塞運動速 度,是可控制和/或可調節時,它便具有—項優點。因此 ,它的第一個和/或第二個液壓活塞,基本上便具有一個 能相對應加以調節的節流閥。 、 在下文中,本發明將參照一個與附圖相對應的較佳實 施例加以說明。圖上繪的是: 圖一本發明的裝置在第一視角上的圖示; 圖二圖一所示的裝置,以一個與第一视角相差9〇度的 第二視角來觀察; 圖三圖一及圖二所示裝置之俯視圖; 圖四要被鍍層的儲存媒體之示意囷的俯视囷,用來說明 本發明的運動流程,以及 圖五整個鍍層裝置的一個示意囷》 一如圖一至圖三所示的,在一個懸臂2上,有固定一 個塗佈喷嘴1,懸臂上掛了一個滑車滑車3是可滑行 地架在一個滑槽4中。經由這個滑槽4 ,利用液壓活塞5 、6,它就可以在圖示的移動方向7上移動,而使塗佈喷 嘴1可從一個需要被鍍的儲存媒體8邊緣移動到一個塗佈 位置12上(與囷四比較)。在此位置上,塗佈喷嘴j就 會開始作用,而把鍍層材料塗佈在儲存媒體8上面。 在液壓活塞5、6之中,有一個液展活塞是用來做為 第一液壓活塞5或6之用,以便將塗佈喷嘴1以一個餘存 (匸奶}厶4規格(210父297公釐) —^1 1 -I —^1 1--- - It -II - —^1 I - I II ^^1 ——-1- 111^.心 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印装 五、發明説明(6) 媒體8最大的徑向範圍,向外快速地伸展到一個位置10 上。從這個位置開始,塗佈喷嘴1在徑向上的直線運動, 就必須要減缓,直到它靜止在前述儲存媒體8上面的一個 塗佈位置12為止《在最後的這一段運動中,第二個液壓 活塞6或5,是逆於第一個液壓活塞5或6作用的。因此 ,它的作用便是一個減速活塞》 囷四所繪的,是一個塗佈喷嘴1相對於儲存媒體8來 說的運動過程之示意圖。有一片要被鍍層的儲存媒體8 — 比如說一片CD,便是為了這個目的,而以俯视囷被繪出 。當它在進行鍍層程序時,它是躺在一個並沒有繪出的轉 盤上。儲存媒體8在一開始的時候,還不會旋轉,而塗佈 噴嘴1則是利用第一液歷活塞5或6的驅動,以一個直線 運動的過程9,從徑向往儲存媒體8的中心點移去,直到 一個位置10為止。從這個位置開始,它的減速活塞6或 5就會開始作用,而它的第一液壓活塞5或6,以及它的 塗佈喷嘴1之速度,則會減低下來。在圖示的實施例中, 從一個塗佈喷嘴1出現在位置1〇的時間開始,以及從一 個第二液壓活塞6或5開始作用的時間開始,它們就會開 始旋轉。因此,經由塗佈喷嘴丨的直線運動,就可以讓它 在一個與儲存媒體8表面做相對運動的過程u當中,往 鍍層材料的塗佈位置12移過去《這個位置可以很精確地 達到,因為位置10和塗佈位置12之間的運動,是很緩慢 的。當塗佈喷嘴1抵達塗佈位置12的瞬間,我們可以馬 上進行其鍍層材料在儲存媒體8上的塗伟動作,因為它已 各紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X29?公资) • 9 - I. , QI— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T • ml 經濟部中央揉率局貝工消费合作社印裝 389898_Βτ_____ 五、發明説明(7 ) 經開始在旋轉,以便使它的鍍層材料在儲存媒體的表面上 ,均勻地向外加速。 一如圖四所示的,在這個實施例中被用來當做儲存媒 體8的CD,它具有一個被切除的空間13,以及一個用 來做為CD之极取位置的内部環形區域14。而在CD 8之 鍍層的外環區域15對面,則是圍了一道環形的溝槽16, 或是在CD 8另一面,圍了一圈環形的、互補的隆起。 本發明的方法,以及本發明的裝置,係利用一種一開 始是快速’然後在塗佈位置12附近,才慢慢把塗佈喷嘴 1很精準的移到塗佈位置12上的方式,而得以以一個比 較低的設備及維修價格,以及一個比較高的生產速率,來 達到一個簡單、而又精準的儲存媒體8之鍍層。其中,它 一方面可以把環形溝槽16之外的整個區域,可靠地加以 鍍層,而另一方面則可以用來防止鍍層材料跑到這一圈溝 槽16上,或是跑到互補的隆起上去。這種情形會在CD 上面產生條紋。我們也可以確切地保證,不會有鍍層材料 跑到内環區域14上’而使抓握器具不會與鍍層材料相接 觸’也不會受到它們的污染。 在上文中,本發明係參照一個較佳實施例加以敘述。 但是對於專業人士而言,他毋須離開本發明構思的範疇, 即可做出無數的變化和設計。舉例來說,我們可以把第二 減速活塞6或5(它的運作方向與第-液壓活塞5或6是 相逆的),以一個活塞取代,而它大致上會在塗佈喷嘴^ 跑到位置10的時候,把第一液壓活塞的運動接手過來。 本紙張纖用(CNS)从胁(—29,公釐 -- -10- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、tr
Claims (1)
- 389898 ----- 申請專利範固 蓋·Μ1Μ254號專刺蚩申諸卷刺篏同篠π:卞 I —種利用鍍層材料鍍碟式資訊儲存媒體(8)之方法, 其至少是利用一個位在儲存媒體(8)内部,以控制其 運動的方式來操控的塗佈喷嘴(1),將其塗佈上去, 而且是經由儲存媒體(8)之旋轉所產生的離心力,而 散布開來,其特徵為,其塗佈噴嘴(1)在第一以輻射 方向朝向儲存媒體(8)中心點移去的運動程序(9)時 ,是利用第一液壓活塞(5或6),快速的移動到鍍層 材料的塗佈位置(12)附近(1〇),而在第二以輻射方 向朝向儲存媒體(8)中心點移去的運動程序(u)時 ,則是利用第二液壓活塞(6或5),緩慢地移動到塗 伟位置(12)上’第二液壓活塞(6或5),在第二運動 程序時,是逆著第一液壓活塞(5或6)來作用的。 2. 根據申請專利範圍第1項所述之方法’其特徵為,塗体 嘴嘴(1)在第一、和/或第二運動程序(9和u)中的 運動速度,是可調節的。 3. 根據申請專利範圍第1或2項所述之方法,其特徵為, 儲存媒體(8)會在第二運動程序(11)時,開始轉動 〇 4. 一種利用鍍層材料鍍碟式資訊儲存媒體(8)之裝置, 其具有一可旋轉為儲存媒體(8)而設的托盤,而且至 少也有一以控制其運動的方式來操控的塗体嗜 ,以及-驅動裝置(5,6),用來將其從儲:=)) &張幻SL埴用中國Η家梂準(CNS)从胁(21。竹7公着了 1;———————-- ^ II (請先閲讀背面之注$項再填窝本頁} 訂! 經濟部-δ-央梯準工消費合作杜印*.389898 ----- 申請專利範固 蓋·Μ1Μ254號專刺蚩申諸卷刺篏同篠π:卞 I —種利用鍍層材料鍍碟式資訊儲存媒體(8)之方法, 其至少是利用一個位在儲存媒體(8)内部,以控制其 運動的方式來操控的塗佈喷嘴(1),將其塗佈上去, 而且是經由儲存媒體(8)之旋轉所產生的離心力,而 散布開來,其特徵為,其塗佈噴嘴(1)在第一以輻射 方向朝向儲存媒體(8)中心點移去的運動程序(9)時 ,是利用第一液壓活塞(5或6),快速的移動到鍍層 材料的塗佈位置(12)附近(1〇),而在第二以輻射方 向朝向儲存媒體(8)中心點移去的運動程序(u)時 ,則是利用第二液壓活塞(6或5),緩慢地移動到塗 伟位置(12)上’第二液壓活塞(6或5),在第二運動 程序時,是逆著第一液壓活塞(5或6)來作用的。 2. 根據申請專利範圍第1項所述之方法’其特徵為,塗体 嘴嘴(1)在第一、和/或第二運動程序(9和u)中的 運動速度,是可調節的。 3. 根據申請專利範圍第1或2項所述之方法,其特徵為, 儲存媒體(8)會在第二運動程序(11)時,開始轉動 〇 4. 一種利用鍍層材料鍍碟式資訊儲存媒體(8)之裝置, 其具有一可旋轉為儲存媒體(8)而設的托盤,而且至 少也有一以控制其運動的方式來操控的塗体嗜 ,以及-驅動裝置(5,6),用來將其從儲:=)) &張幻SL埴用中國Η家梂準(CNS)从胁(21。竹7公着了 1;———————-- ^ II (請先閲讀背面之注$項再填窝本頁} 訂! 經濟部-δ-央梯準工消費合作杜印*. A8 B8 C8 D8 389898 申請專利範固 上方運送到鍍層材料之塗佈位置(12)上, ::動:置(5,6)具有一液壓式的裝備備 包含一為雜噴嘴⑴以撕方向朝向#存媒體(: 中心點移去的第-快速運動程序而設的第一液壓活 5或6) ’以及-為其以縣方向朝向齡媒體⑻ 心點移去的第二紐運動程序設置的第二液壓活塞(6 或5),而其在第二緩慢的運動程序(12)時,是逆著 第一液壓活塞(5或6)來作用的。 5. 根據申請專利範圍第4项所述之裝置,其特徵為,第二 液壓活塞(6或5),是做為第一液壓活塞(5或6)的 減速活塞之用。 6. 根據申請專利範圍第4或5項中任一項所述之裝置,其 特徵為,第一、和/或第二液壓活塞(5或6 ; 6或5) ’具有一個可調節的節流閥。 丨.„-------^,1¾! (請先聞讀背面之注f項再填寫本頁) 訂 -I乂 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装 本紙張尺度適用中國鬮家梯準(CNS ) A4現格(21_0沒9_7公釐)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19619678A DE19619678C1 (de) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von scheibenförmigen Informationsspeichermedien |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW389898B true TW389898B (en) | 2000-05-11 |
Family
ID=7794449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW086106254A TW389898B (en) | 1996-05-15 | 1997-05-10 | The method and apparatus for coating disc-shaped storage media |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6203849B1 (zh) |
EP (1) | EP0902729B1 (zh) |
JP (1) | JPH11510737A (zh) |
KR (1) | KR100283162B1 (zh) |
AT (1) | ATE192361T1 (zh) |
CA (1) | CA2237719C (zh) |
DE (2) | DE19619678C1 (zh) |
DK (1) | DK0902729T3 (zh) |
ES (1) | ES2147671T3 (zh) |
GR (1) | GR3034067T3 (zh) |
IL (1) | IL124378A (zh) |
TW (1) | TW389898B (zh) |
WO (1) | WO1997043051A1 (zh) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6053675B2 (ja) * | 1978-09-20 | 1985-11-27 | 富士写真フイルム株式会社 | スピンコ−テイング方法 |
DE3044977C2 (de) * | 1979-11-30 | 1986-11-06 | Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Magnetbeschichtungen |
US4451507A (en) * | 1982-10-29 | 1984-05-29 | Rca Corporation | Automatic liquid dispensing apparatus for spinning surface of uniform thickness |
JPS6066500A (ja) * | 1983-09-22 | 1985-04-16 | 松下電器産業株式会社 | 部品装着装置 |
JP2666248B2 (ja) | 1985-08-03 | 1997-10-22 | オリンパス光学工業株式会社 | 光学的情報記録再生装置 |
US5079043A (en) * | 1990-12-03 | 1992-01-07 | The Perkin-Elmer Corporation | Method for spraying a coating on a disk |
US5658615A (en) | 1993-03-25 | 1997-08-19 | Tokyo Electron Limited | Method of forming coating film and apparatus therefor |
JPH07284715A (ja) * | 1994-04-15 | 1995-10-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理液塗布装置及び処理液塗布方法 |
JP3420900B2 (ja) * | 1996-10-21 | 2003-06-30 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 塗布液塗布方法 |
-
1996
- 1996-05-15 DE DE19619678A patent/DE19619678C1/de not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-03-26 AT AT97915440T patent/ATE192361T1/de not_active IP Right Cessation
- 1997-03-26 KR KR1019980705941A patent/KR100283162B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-03-26 IL IL12437897A patent/IL124378A/en not_active IP Right Cessation
- 1997-03-26 CA CA002237719A patent/CA2237719C/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-03-26 JP JP9540421A patent/JPH11510737A/ja active Pending
- 1997-03-26 EP EP97915440A patent/EP0902729B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-26 DE DE59701588T patent/DE59701588D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-03-26 DK DK97915440T patent/DK0902729T3/da active
- 1997-03-26 WO PCT/EP1997/001536 patent/WO1997043051A1/de active IP Right Grant
- 1997-03-26 ES ES97915440T patent/ES2147671T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-26 US US09/180,734 patent/US6203849B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-05-10 TW TW086106254A patent/TW389898B/zh active
-
2000
- 2000-07-31 GR GR20000401759T patent/GR3034067T3/el not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IL124378A (en) | 2004-01-04 |
JPH11510737A (ja) | 1999-09-21 |
DE19619678C1 (de) | 1997-11-20 |
KR100283162B1 (ko) | 2001-09-22 |
CA2237719C (en) | 2003-12-30 |
GR3034067T3 (en) | 2000-11-30 |
CA2237719A1 (en) | 1997-11-20 |
ES2147671T3 (es) | 2000-09-16 |
EP0902729A1 (de) | 1999-03-24 |
US6203849B1 (en) | 2001-03-20 |
ATE192361T1 (de) | 2000-05-15 |
KR19990082213A (ko) | 1999-11-25 |
DE59701588D1 (de) | 2000-06-08 |
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IL124378A0 (en) | 1998-12-06 |
WO1997043051A1 (de) | 1997-11-20 |
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