JPH0615557A - スタンパーの研磨方法 - Google Patents
スタンパーの研磨方法Info
- Publication number
- JPH0615557A JPH0615557A JP17568892A JP17568892A JPH0615557A JP H0615557 A JPH0615557 A JP H0615557A JP 17568892 A JP17568892 A JP 17568892A JP 17568892 A JP17568892 A JP 17568892A JP H0615557 A JPH0615557 A JP H0615557A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- tape
- stamper
- thickness
- polishing method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の研磨テープを用いるスタンパーの裏面
研磨方法において、スタンパーの裏面を半径方向でも円
周方向でも全面が均一な厚みにすることができる。 【構成】 複数の研磨テープを用いるスタンパーの裏面
研磨方法において、半径方向の厚みを均一にする幅の狭
い研磨テープ２と円周方向の厚みを均一にする幅の広い
研磨テープ３を使用する事を特徴とする。
研磨方法において、スタンパーの裏面を半径方向でも円
周方向でも全面が均一な厚みにすることができる。 【構成】 複数の研磨テープを用いるスタンパーの裏面
研磨方法において、半径方向の厚みを均一にする幅の狭
い研磨テープ２と円周方向の厚みを均一にする幅の広い
研磨テープ３を使用する事を特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は各種光ディスク基板を製
造する場合に必要なスタンパーの裏面研磨方法に関する
ものである。
造する場合に必要なスタンパーの裏面研磨方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】光ディスク基板を形成する場合に必要な
スタンパーの製造工程の１つである裏面研磨の方法には
ラッピング（ポリッシング）装置を使用し、研磨パッド
と研磨粉によりスタンパーの全面を一括して研磨する方
法がある。このラッピング（ポリッシング）方式はスタ
ンパー全面に荷重をかけながら研磨パッド上で自転及び
公転させることにより研磨する方法である。
スタンパーの製造工程の１つである裏面研磨の方法には
ラッピング（ポリッシング）装置を使用し、研磨パッド
と研磨粉によりスタンパーの全面を一括して研磨する方
法がある。このラッピング（ポリッシング）方式はスタ
ンパー全面に荷重をかけながら研磨パッド上で自転及び
公転させることにより研磨する方法である。
【０００３】またテープ研磨装置を使用し、研磨テープ
によりスタンパーの裏面を研磨する方法がある。このテ
ープ研磨方式はスタンパーを回転させながら研磨テープ
を部分的に押し当てて研磨する方法で、目の粗い荒用研
磨テープと目の細かい仕上用研磨テープの２種類のラッ
ピングテープを順々に使用する、という方式がこのタイ
プである。
によりスタンパーの裏面を研磨する方法がある。このテ
ープ研磨方式はスタンパーを回転させながら研磨テープ
を部分的に押し当てて研磨する方法で、目の粗い荒用研
磨テープと目の細かい仕上用研磨テープの２種類のラッ
ピングテープを順々に使用する、という方式がこのタイ
プである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ラッピング（ポリッシ
ング）方式では円周方向においては平面度の良好な研磨
が行えるが、半径方向においては内周か外周かに研磨量
が片寄ったりして研磨が一定でなかった。また全面を一
度に研磨するため電鋳による厚みの分布を調整して同一
厚みにすることも不可能であった。
ング）方式では円周方向においては平面度の良好な研磨
が行えるが、半径方向においては内周か外周かに研磨量
が片寄ったりして研磨が一定でなかった。また全面を一
度に研磨するため電鋳による厚みの分布を調整して同一
厚みにすることも不可能であった。
【０００５】一方、テープ研磨方式では半径方向に厚み
ムラがあっても厚い部分の研磨時間を長くすることによ
って厚みを均一にすることができるが、円周方向の厚み
を調整することができなかった。
ムラがあっても厚い部分の研磨時間を長くすることによ
って厚みを均一にすることができるが、円周方向の厚み
を調整することができなかった。
【０００６】本発明はテープ研磨方式を改良することに
より、全面が均一な厚みになるような研磨方法を提供す
るものである。
より、全面が均一な厚みになるような研磨方法を提供す
るものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】スタンパーの裏面を研磨
する方法としてテープ研磨方式を改良したもので、幅，
及び目の粒子の異なる研磨テープを２種類以上使用す
る。図１（ａ）〜（ｃ）において研磨テープ２はテープ
幅が研磨領域よりも狭いものでスタンパーの半径方向に
移動することができる。また研磨テープ３はテープ幅が
スタンパーの直径とほぼ同じ幅を有しており、必要に応
じてこれも半径方向に動くことができる。
する方法としてテープ研磨方式を改良したもので、幅，
及び目の粒子の異なる研磨テープを２種類以上使用す
る。図１（ａ）〜（ｃ）において研磨テープ２はテープ
幅が研磨領域よりも狭いものでスタンパーの半径方向に
移動することができる。また研磨テープ３はテープ幅が
スタンパーの直径とほぼ同じ幅を有しており、必要に応
じてこれも半径方向に動くことができる。
【０００８】
【作用】幅の狭い研磨テープとテープ幅がスタンパーの
直径とほぼ同じぐらいの幅の広い研磨テープを使用し、
研磨テープを半径方向に動かすことによって、電鋳され
たスタンパーに厚み分布があった場合でも、幅の狭い研
磨テープは半径方向、幅の広い研磨テープは円周方向の
厚みを均一にし、全面にわたって厚み分布のない均一な
スタンパーを得ることが出来る。
直径とほぼ同じぐらいの幅の広い研磨テープを使用し、
研磨テープを半径方向に動かすことによって、電鋳され
たスタンパーに厚み分布があった場合でも、幅の狭い研
磨テープは半径方向、幅の広い研磨テープは円周方向の
厚みを均一にし、全面にわたって厚み分布のない均一な
スタンパーを得ることが出来る。
【０００９】
【実施例】図１（ａ）〜（ｃ）に本発明の実施例を示
す。情報の記録された面に保護コートしたスタンパー１
を裏面を上にして回転テーブル６に真空吸着，中央部ネ
ジ止め，磁力による吸着等の方法で取り付ける。スタン
パー１は回転テーブル６によって６０〜６００ｒｐｍの
速度で回転する。
す。情報の記録された面に保護コートしたスタンパー１
を裏面を上にして回転テーブル６に真空吸着，中央部ネ
ジ止め，磁力による吸着等の方法で取り付ける。スタン
パー１は回転テーブル６によって６０〜６００ｒｐｍの
速度で回転する。
【００１０】回転しているスタンパー１の上面に幅の狭
い研磨テープ２と幅の広い研磨テープ３を押し付ける。
各々のテープユニットはテープ巻取りリール４と加圧ロ
ール５からなっており、研磨作業と共にテープ巻取りリ
ール４が回転し、常に新しいテープ面が供給される。幅
の狭い研磨テープ２は半径方向に移動することが出来、
スタンパーの内周部が厚い場合は内周部での研磨時間を
長くすることによって半径方向の厚みを均一にする。幅
の広い研磨テープ３加圧ロール５によって長い線状でス
タンパー１に押し付ける。これによってスタンパー１の
周方向における厚みの分布を減少させて均一な厚みのス
タンパーを得ることができる。この幅の広い研磨テープ
３も必要に応じて半径方向に移動することにより、さら
に均一な厚みを持ったスタンパーを得ることができる。
目の粗い荒用研磨テープを先にセットしておいて十分な
研磨を終えれば目の細かい仕上げ用研磨テープにセット
しなおせば、短時間で精度の高い仕上がり面の平滑なス
タンパーを得ることができる。
い研磨テープ２と幅の広い研磨テープ３を押し付ける。
各々のテープユニットはテープ巻取りリール４と加圧ロ
ール５からなっており、研磨作業と共にテープ巻取りリ
ール４が回転し、常に新しいテープ面が供給される。幅
の狭い研磨テープ２は半径方向に移動することが出来、
スタンパーの内周部が厚い場合は内周部での研磨時間を
長くすることによって半径方向の厚みを均一にする。幅
の広い研磨テープ３加圧ロール５によって長い線状でス
タンパー１に押し付ける。これによってスタンパー１の
周方向における厚みの分布を減少させて均一な厚みのス
タンパーを得ることができる。この幅の広い研磨テープ
３も必要に応じて半径方向に移動することにより、さら
に均一な厚みを持ったスタンパーを得ることができる。
目の粗い荒用研磨テープを先にセットしておいて十分な
研磨を終えれば目の細かい仕上げ用研磨テープにセット
しなおせば、短時間で精度の高い仕上がり面の平滑なス
タンパーを得ることができる。
【００１１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、スタンパ
ーの裏面研磨方法において、スタンパーの半径方向と円
周方向、共に仕上り面が良好で平滑で均一な厚さが得ら
れる。
ーの裏面研磨方法において、スタンパーの半径方向と円
周方向、共に仕上り面が良好で平滑で均一な厚さが得ら
れる。
【図１】この発明の実施例を示す上面図（ａ）、Ａ方向
からの側面図（ｂ）、Ｂ方向からの側面図（ｃ）であ
る。
からの側面図（ｂ）、Ｂ方向からの側面図（ｃ）であ
る。
１ スタンパー ２ 幅の狭い研磨テープ ３ 幅の広い研磨テープ ４ テープ巻取りリール ５ 加圧ロール ６ 回転テーブル ７ 回転テーブル回転方向 ８ 研磨テープ進行方向 ９ テープユニット移動方向
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の研磨テープを用いるスタンパーの
裏面研磨方法において、半径方向の厚みを均一にする第
１の研磨テープと円周方向の厚みを均一にする第２の研
磨テープを用いることを特徴とするスタンパーの裏面研
磨方法。 - 【請求項２】 上記研磨テープで、半径方向の厚みを均
一にする第１の研磨テープはテープの幅が狭く、円周方
向の厚みを均一にする第２の研磨テープはテープの幅が
広いことを特徴とする請求項１記載のスタンパーの裏面
研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17568892A JPH0615557A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | スタンパーの研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17568892A JPH0615557A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | スタンパーの研磨方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0615557A true JPH0615557A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=16000505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17568892A Pending JPH0615557A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | スタンパーの研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0615557A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7628274B2 (en) | 2004-12-28 | 2009-12-08 | Prairie Dog Co., Ltd. | Cake-shaped decorative accessory made of a towel in a cup |
| US9054703B2 (en) | 2009-05-29 | 2015-06-09 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Device for detecting drive current of PWM load device, drive current detection method, fault detection device, and fault detection method |
-
1992
- 1992-07-02 JP JP17568892A patent/JPH0615557A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7628274B2 (en) | 2004-12-28 | 2009-12-08 | Prairie Dog Co., Ltd. | Cake-shaped decorative accessory made of a towel in a cup |
| US9054703B2 (en) | 2009-05-29 | 2015-06-09 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Device for detecting drive current of PWM load device, drive current detection method, fault detection device, and fault detection method |
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