DK0902729T3 - Fremgangsmåde og indretning til belægning af pladeformige informations-lagringsmedier - Google Patents

Fremgangsmåde og indretning til belægning af pladeformige informations-lagringsmedier

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DK0902729T3 DK97915440T DK97915440T DK0902729T3 DK 0902729 T3 DK0902729 T3 DK 0902729T3 DK 97915440 T DK97915440 T DK 97915440T DK 97915440 T DK97915440 T DK 97915440T DK 0902729 T3 DK0902729 T3 DK 0902729T3
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Klaus Weber
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
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