KR100283162B1 - 디스크형 데이터 저장 매체를 코팅시키는 방법 및 장치 - Google Patents

디스크형 데이터 저장 매체를 코팅시키는 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 코팅 노즐(1)을 통해 저장 매체(8)의 내부 영역에 도포되고 저장 매체(8)가 회전될 때 발생하는 원심력에 의해 분배되는 코팅제로 디스크형 데이터 저장 매체(8)를 코팅시키는 방법으로서, 신뢰할 수 있을 정도 및 보다 짧은 코팅 시간 및 보다 덜 복잡한 제조방법을 갖는 높은 코팅 비율, 및 코팅 노즐(1)이 코팅제 도포 지점(12)에 근접한 최초 이동에서 신속하게 이동하고, 제 2 이동(11)에서 도포 지점(12)으로 서서히 이동되는 경우에 보존을 달성하는 것이 가능하다. 본 발명의 장치는 본 발명의 방법을 만족시킨다.

Description

디스크형 데이터 저장 매체를 코팅시키는 방법 및 장치
기술 분야
본 발명은 하나 이상의 코팅 노즐을 통해 저장 매체의 내부 영역에 도포되어 저장 매체의 회전에 의해 발생된 원심력으로 인해 저장 매체의 내부 영역상에 분배되는 코팅제로 데이터 저장 매체를 코팅시키는 방법에 관한 것이다.
배경 기술
디스크 모양의 데이터 저장 매체의 예로는 콤팩트 디스크(CDs), 미니 디스크, 자기광학 디스크, CD-롬(ROMs), CR-Rs, 광 및/또는 비디오 디스크가 있다. 이하에서, 이들 디스크는 디스크형 데이터 저장 매체 또는, 간략하게, 저장 매체로 언급된다.
앞서 언급한 종류의 장치는 본 특허의 양수인에 의해 생산되고 보급되고 있다. 도 5는 본 발명의 장치의 각각의 스테이션에서의 코팅 및 건조 공정의 순서를 개략적으로 도시하고 있다.
서플라이 스테이션(1)은 디스크형 저장 매체(2)를, 서플라이 스테이션(1)에 의해 제공된 저장 매체(2)를 파지하여 상기 저장 매체를 공정 장치(8)의 코팅 스테이션(6,7)으로 수송하는 서플라이 스테이션(1)에 면한 그리퍼 아암(4,5)을 갖는 조작 장치(3)(도시된 구체예에서 소위 공정 컵 그리퍼)에 전달한다. 코팅제, 예를 들어 코팅 래커로 저장 매체(2)가 코팅된 후, 저장 매체(2)는 건조 스테이션과 면해있는 그리퍼 아암(10,11)을 사용하여 수용 지점(12)로 수송되며, 수송된 저장 매체는 건조 챔버(13)로 수송된다. 건조 공정 후에, 저장 매체(2)는 건조 챔버(13)로부터 제거되고, 추가의 그리퍼(15)가 저장 매체를 파지하여 수용 스테이션(16)으로 수송하는 건조 스테이션내의 위치(14)로 옮겨진다.
디스크형 데이터 저장 매체용의 상기된 코팅 장치는 그러한 저장 매체를 제조하는 데 매우 성공적으로 사용되었다.
본 발명의 목적은 디스크형 정보 저장 매체에 대해서 코팅 공정 및 장치를 개선시키고, 단위 시간 당 더 많은 코팅 단계를 제공하고, 더 신뢰할 수 있고, 더 적은 휴지 시간을 필요로 하고, 특히 코팅 스테이션에 대하여 감소된 제조 및 서비스 비용을 들게 하는 데에 있다.
앞서 언급된 방법을 기초로 하여, 이와 같은 문제점은 제 1 이동 단계에서 하나 이상의 코팅 노즐이 코팅제 도포 지점으로 신속하게 이동되고, 제 2 이동 단계에서는 도포 지점에 서서히 이동된다는 점에 있어 창의적으로 해소된다. 제 1의 빠른 이동에 있어, 코팅 노즐은 코팅제 도포 지점 근접부로 단시간 동안 이동되어 도포 공정을 가능한 한 단축시키며 방법의 효율을 증대시킨다. 그러나, 유압 구동 장치와 빠른 이동 상황에 있기 때문에, 코팅제가 저장 매체의 내부 영역내에 도포되는 지점에 코팅 노즐을 정확하게 위치시키는 것이 가능하지 않거나 비용이 많이 드는 경우에만 가능하다. 한편, 코팅 노즐이 선택된 최적의 도포 지점으로 향해서 내부 영역에 충분히 멀게 유도되지 않는 경우, 저장 매체의 바람직하지 않은 영역이 코팅되지 않은 채로 존재한다. 코팅 노즐이 내부 반경 방향으로 도포 최적 지점을 통해 제거될 때, 저장 매체를 조작하는데 사용되는 저장 매체의 내부 환형 부분 또는 내부 영역내 저장 매체의 삭제 부분의 내부 에지의 바람직하지 않은 코팅이 발생한다. 이것은 통상의 CDs와는 대조적으로 35mm의 내부 삭제 부분 대신에 단지 15mm 직경의 삭제 부분만을 갖는 현대적인 당해기술분야의 CDs에 특히 적합하다. 더욱이, CDs는 저장 매체의 반대편에서 환형 평면을 형성하는 내부 영역내 환형 그루브를 갖는다. 코팅 노즐이 제 1 신속 이동에 의해 환형 그루브 또는 환형 평면으로 이동되는 경우, 코팅제는 바람직하지 않은 그루브 또는 평면에 도포된다. 연속 회전 공정 동안에, 저장 매체의 표면상에 불균일 분포가 야기되며, 줄무늬화된 저장 매체의 표면을 가로질러 코팅제가 균일하지 않은 두께로 도포된다. 이러한 단점은 제 1 신속 이동 후에 도포 지점으로 서서히 움직이는 제 2 이동이 제공되는 본 발명의 특징으로 극복된다.
바람직하게는, 제 1 및/또는 제 2 이동 동안에 코팅 노즐이 이동되는 속도는 조정될 수 있다. 이와 같이, 각각의 공정 단계로의 제 1 및 제 2 이동 속도, 상이한 저장 매체 및/또는 코팅제를 개별적으로 조정하는 것이 가능하다.
보다 더 바람직한 구체예에 따르면, 제 1의 신속 이동은 저장 매체가 정지되어 있는 상태로 수행되고, 반면에 제 2의 느린 이동 동안에 저장 매체는 코팅 노즐이 선택된 도포 지점에 위치하는 경우에 코팅제가 곧바로 도포되어 저장 매체를 가로질러 회전될 수 있도록 이동된다. 이러한 방식으로, 코팅 공정을 더 단축시키는 것이 가능하다.
저장 매체(8)용 회전 가능한 지지체 및 저장 매체(8)를 가로질러 코팅제용 도포 지점(12)으로 이동시키기 위한 구동 장치(6,6)을 포함하는 하나 이상의 코팅 노즐(1)을 포함하여, 디스크형 데이터 저장 매체(8)를 코팅제로 코팅시키는 장치를 기초로 하여, 앞서 언급한 문제점은 구동 장치가 코팅 노즐의 제 1의 신속 이동을 위한 제 1 유압 실린더 및 제 2의 느린 이동을 위한 제 2 유압 실린더를 갖는 유압 배치라는 점에 있어 해소된다. 본 발명의 앞서 언급된 장점은 본 발명의 장치에도 또한 적용된다.
일반적으로, 코팅 노즐을 이동시키기 위한 구동 장치로서 구동 속도에 따라서 조절 가능한 스텝 모터를 사용하는 것이 가능하다. 그러나, 이러한 목적을 달성하기 위한 스텝 모터는 유압 배치 보다 복잡하면서 비싸기 때문에, 경제적으로는 유압 배치가 실질적인 장점을 제공한다.
본 발명의 바람직한 구체예에 따르면, 제 2 유압 실린더는 제 1 유압 실린더에 의한 구동 작동의 완결 후에 코팅 노즐의 구동을 유도한다. 제 2 유압 실린더가 제 2의 느린 이동 동안 제 1 유압 실린더와 반대로 작동되는 구체예가 특히 바람직하다. 이와 같이, 제 1 유압 실린더는 도포 지점 또는 그 바로 전방 지점으로의 코팅 노즐의 이동을 가능하게 하며, 이어서, 제 2 유압 실린더에 의해서 이동은 느려진다. 제 2 유압 실린더는 이러한 구체예에서는 제 1 유압 실린더에 대한 제동 실린더로서 작동된다.
제 1 및/또는 제 2 유압 실린더의 실린더 속도가 선택가능, 조정가능, 조절가능 및/또는 제어가능한 경우에 유리하다. 이와 같이 유리하게는, 제 1 및/또는 제 2 유압 실린더는 조정 가능한 유체 조절판을 포함한다.
본 발명은 도면을 참조하여 바람직한 구체예의 도움으로 하기에 기술될 것이다.
도면의 간단한 설명
도 1은 본 발명에 따른 장치를 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1의 장치를 90° 회전시킨 위치에서 본 도 1의 장치를 도시하는 도면이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 장치를 위에서 바라본 평면도이다.
도 4는 본 발명의 장치를 설명하기 위해 코팅시키려는 저장 매체를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 5는 전체 코팅 장치를 도시하는 개략도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 코팅 노즐(1)은 캐리지(3)에 의해 지지되는 지지 아암(2)에 연결된다. 캐리지(3)는 캐리지 가이드(4)상에서 미끄러지듯 움직일 수 있게 지지되고, 코팅 노즐(1)이 코팅시키려는 저장 매체(8)의 에지로부터, 코팅 노즐(1)이 작동되어 코팅제가 저장 매체(8)에 도포되는 도포 부위(12)(도 4 참조)로 이동되도록 개략적으로 도시된 이동 방향(7)내에서 유압 실린더(5,6)에 의해 가이드(4) 방향으로 이동된다.
유압 실린더(5,6) 중의 하나의 유압 실린더는 코팅 노즐(1)의 선형 반경 방향 이동이 중단되는 저장 매체위에서 소정의 도포 지점(12)에 도달할 때까지 늦춰지는 지점(10)으로 저장 매체(8)의 반경 방향 영역의 대부분을 가로지르는 코팅 노즐(1)의 신속 이동을 위해 제 1 유압 실린더로서 사용된다. 이러한 최종 이동 동안에 제 2 유압 실린더(6) 또는 (5)가 제 1 유압 실린더(5) 또는 (6)에 반대로 작동되어 제동 실린더로서 작동된다.
도 4는 저장 매체(8) 방향으로 코팅 노즐(1)의 이동을 개략적으로 도시하고 있다. 이러한 목적상, 코팅시켜려는 저장 매체(8), 예를 들어 CD는 코팅 공정 중에 비구상된 턴테이블 위에 놓여 있는 평면에서 도시된다. 저장 매체(8)는 처음에 정지되고, 코팅 노즐(1)은 유압 제 1 유압 실린더(5) 또는 (6)에 의해, 제동 실린더(6) 또는 (5)가 작동되고 제 1 유압 실린더(5 또는 6) 및 코팅 노즐(1)의 속도가 감소되는 지점으로 유도함으로써 저장 매체(8)의 중앙 지점을 향한 선형 이동(9)에 있어 반경 방향으로 이동된다. 코팅 노즐(1)이 지점(10)에 위치되는 시점, 즉 작동 시점에서 도시된 구체예에서, 제 2 유압 실린더(6 또는 5)는 코팅 노즐(1)의 선형 이동이 지점(10)과 도포 지점(12) 사이의 이동이 매우 느리기 때문에 매우 정확하게 정의되는 코팅제 도포 지점(12)를 향한 저장 매체(8)의 표면에 대하여 이동(11)하도록 회전된다. 코팅 노즐(1)이 도포 지점(12)에 도달하자 마자, 저장 매체가 이미 회전 상태에 있기 때문에 저장 매체(8)로의 코팅제 도포가 곧바로 시작되고, 코팅제는 균일하게 분배되고, 저장 매체의 표면을 가로질러 회전할 수 있다.
도 4에 개략적으로 도시된 바와 같이, 저장 매체(8)(여기서는 CD 형태로 도시됨)는 CD를 조작하기 위해 제공되는 컷아웃(13) 및 CD(8)의 코팅 대상 외측부(15)에 대하여 원형 그루브(16)에 의해 범위가 정해지는 내측 환형부(14)를 가지며, CD(8)의 다른 한면에는 원형의 상보적 투영을 갖는다.
본 발명의 방법 및 장치는 저장 매체(8)의 단순하면서도 정확한 코팅을 위해 최소의 장치 및 서비스 비용, 및 코팅 노즐(1)의 제 1의 신속 이동 및 후속하는 도포 지점(12)을 향한 느리면서 매우 정확한 이동을 제공함으로써 높은 생산 비율을 제공하여, 한편으로는 원형 그루브(16) 외측의 전체 영역을 신뢰할 수 있을 정도로 코팅시키고, 다른 한편으로는 코팅제가 그루브(16), 및 CD상에 줄무늬를 형성하는 상보적 투영을 오염시키는 것을 신뢰할 수 있을 정도로 방해한다. 또한, 어떠한 코팅제도 내측 환형부(14)상에 도포될 수 없어서 조종 장치가 코팅제로 오염되지 않을 것이다.
본 발명은 상기에서 바람직한 구체예를 들어 설명하였다. 그러나, 당업자라면 본 발명의 요지에서 일탈하지 않으면서 다수의 개발 및 구체예를 생각할 수 있을 것이다. 예를 들어, 제 1 유압 실린더(5 또는 6)를 반대로 작동시키는 제 2 제동 실린더(6 또는 5)를 코팅 노즐(1)이 지점(10)에 위치되는 시점에 제 1 유압 실린더의 이동을 대신하는 실린더로 대체하는 것이 가능하다.

Claims (8)

  1. 하나 이상의 코팅 노즐(1)에 의해 저장 매체(8)의 내부 영역에 도포되고 저장 매체(8)의 회전에 의해 발생한 원심력으로 인해 분배되는 코팅제로 디스크형 데이터 저장 매체(8)를 코팅시키는 방법으로서,
    코팅 노즐(1)이 제 1 이동(9)에 의해 코팅제 도포 지점(12)의 근접부(10)로 신속하게 이동하고, 제 2 이동(11)에 의해 도포 지점(12)으로 서서히 이동됨을 특징으로 하는 방법.
  2. 제 1항에 있어서, 코팅 노즐(1)이 제 1 이동(9) 및/또는 제 2 이동(11) 동안 이동하는 근접부가 조정될 수 있음을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 저장 매체(8)가 제 2 이동(11) 동안 회전됨을 특징으로 하는 방법.
  4. 저장 매체(8)용 회전 가능한 지지체, 및 저장 매체(8)를 가로질러 코팅제용 도포 지점(12)으로 이동하기 위해 구동 장치(5,6)를 포함하는 하나 이상의 코팅 노즐(1)을 포함하는, 디스크형 데이터 저장 매체(8)를 코팅제로 코팅시키는 장치로서,
    구동 장치(5,6)가 코팅 노즐의 제 1의 신속 이동을 위한 제 1 유압 실린더(5 또는 6) 및 제 2의 느린 이동을 위한 제 2 유압 실린더(6 또는 5)를 갖는 유압 배치임을 특징으로 하는 장치.
  5. 제 4항에 있어서, 제 1 유압 실린더(5 또는 6)에 의한 구동 작용의 완결 후 제 2 유압 실린더(6 또는 5)가 코팅 노즐(1)의 구동을 유도하는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제 4항에 있어서, 제 2의 느린 이동(12) 동안 제 2 유압 실린더(6 또는 5)가 제 1 유압 실린더(5 또는 6)와 정반대로 작동됨을 특징으로 하는 장치.
  7. 제 6항에 있어서, 제 2 유압 실린더(6 또는 5)가 제 1 유압 실린더(5 또는 6)용 제동 실린더로서 작동됨을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 4항 내지 제 7항 중의 어느 한 항에 있어서, 제 1 및/또는 제 2 유압 실린더(5 또는 6;6 또는 5)가 조정 가능한 유체 조절판을 포함함을 특징으로 하는 장치.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115350848A (zh) * 2022-08-19 2022-11-18 中诚惠容实业集团有限公司 一种水库坝体防腐施工装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6053675B2 (ja) * 1978-09-20 1985-11-27 富士写真フイルム株式会社 スピンコ−テイング方法
DE3044977C2 (de) 1979-11-30 1986-11-06 Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Magnetbeschichtungen
US4451507A (en) * 1982-10-29 1984-05-29 Rca Corporation Automatic liquid dispensing apparatus for spinning surface of uniform thickness
JPS6066500A (ja) 1983-09-22 1985-04-16 松下電器産業株式会社 部品装着装置
JP2666248B2 (ja) * 1985-08-03 1997-10-22 オリンパス光学工業株式会社 光学的情報記録再生装置
US5079043A (en) 1990-12-03 1992-01-07 The Perkin-Elmer Corporation Method for spraying a coating on a disk
KR100284556B1 (ko) * 1993-03-25 2001-04-02 다카시마 히로시 도포막 형성방법 및 그를 위한 장치
JPH07284715A (ja) 1994-04-15 1995-10-31 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 処理液塗布装置及び処理液塗布方法
JP3420900B2 (ja) * 1996-10-21 2003-06-30 大日本スクリーン製造株式会社 塗布液塗布方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11510737A (ja) 1999-09-21
DE19619678C1 (de) 1997-11-20
US6203849B1 (en) 2001-03-20
IL124378A0 (en) 1998-12-06
TW389898B (en) 2000-05-11
EP0902729A1 (de) 1999-03-24
CA2237719C (en) 2003-12-30
IL124378A (en) 2004-01-04
DK0902729T3 (da) 2000-09-25
KR19990082213A (ko) 1999-11-25
WO1997043051A1 (de) 1997-11-20
GR3034067T3 (en) 2000-11-30
ATE192361T1 (de) 2000-05-15
ES2147671T3 (es) 2000-09-16
CA2237719A1 (en) 1997-11-20
DE59701588D1 (de) 2000-06-08
EP0902729B1 (de) 2000-05-03

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