TW302350B - - Google Patents

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五、發明説明（) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本發明係有鼷於濺射塗覆的玻璃及其製造方法。本發 明更特定的係有鼷於用作建築用玻璃之可熱處理和有离度 可見光透過率和優異紅外能量反射特性的濺射塗覆之玻璃 ，並其製備的玀特方法。 建築用之平板玻璃，諸如用「浮動」法製造的，要在 其上創造出陽光支配的塗覆，兩種較主要的技術是熱解法 和磁子嫌射塗覆法。以前的濺射塗覆法所經驗之缺黏是塗 層易於被磨除（邸缺乏耐久性），並且用於形成多層平板 建築物窗戶之聚封閉劑常會破壤塗覆物。結果也破壤平板 間之封閉，使有害之凝結物積聚其間。另一方面，濺射塗 覆與大部分熱解塗覆料比較，前者之歴來優酤在於能獲得 低發射率值和高可見光透遇率之性能。後者此二特性在某 些建築用玻璃中可能是最必須獲得的。 術語「發射率」舆「透光率」乃在技術上都能了解的 ，在此亦按照其熟知的意義使用。因此，例如，在此所用 術語「透光率」意為陽光透過率，它包括可見光透遇率、 紅外能量透過率、和紫外線透過率。總陽光能鼉透過率一 般Μ這些數值之加榷平均為其特點。對應於逭些透過率， 本文所報告之可見光透遇率之特擻在於檷準照明劑C技術 (10° obs.,除非另有註明）在380〜720nm;紅外線是800 〜2100na;紫外線乃300〜400nia;和總陽光為300〜2100ΠΒ 。然而，對於發射率，所使用的是特定之紅外範围（即， 2,500〜40,00011«)，討論如下。 藉已知習用之技術來置度可見光透遇率。例如，使用 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 訂 線 本紙張尺度逍用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 一分光光度計，諸如Becknan 5240 (Becknan Sci. Inst. Corp.)，可獲得在各波長之透遇光譜曲線。使用ASTM E-308「用CIE鑲条計算物醱顔色之方法」（Annual Book of ASTM Standards，卷14.02)來計算可見光透遇率。如希 望，可Μ使用較預定為少的波長點。量度可見光透過率的 其它技術是使用一分光計，諸如工業用之Spectragard的 分光光度計，由Pacific Scientific Corporation裂造的 。此裝置能直接量度並報告出可見光透遇率。 「發射率（E>是在給定之波長中吸收光和反射光之量 度或特撤。通常以下式表之：

對建築物而言，發射塞值在紅外光譜的所諝「中點 值J是相當重要的，有時也稱為「逸區域」，即約為 2,500-40,ΟΟΟηβ。因此，在此所用的術語「發射率」乃 指在此紅外範圈測量的發射率值 ，如由 Primary Glass Manufacturers ’ Counc i 1 在爲題 “ Test Method for Measuring and Calculating Emittance of Architectural Flat Glass Products Using Radiometric Measurements ”中所提出的，在1991 Proposed ASTM Standard中所闡 明的測量紅外能置M計算發射率。逭一檷準及其規定编入 本文的參考中。在此檫準中，半球狀發射率（Eh)能分成許 多組分，其一是其正交發射率（E„>組分。 用來計算逭類發射率值之數據的真正累積是按習愼的 ，可藉使用有“VW”附件的Becknan 4260型號分光光度計 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（2丨0X297公釐） ---------^丨裝------訂-----Η線 ' - r ^ { (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央橾準局負工消费合作社印製 五、發明説明（） (B e c k n a n S c i e n t i f i c I n s t · C 〇 r p .)。此分光光度計測董 反射率對波長（即，正交發射率，E„)，從此可用前面提 到的1991 Proposed ASTM Standard來計算半球狀發射率 (Eh)，ASTM Standard编入本文之參考中。 在此所用另一術語是“片型霣阻”。片型霣阻（Rs>乃 在技術上為人熟知，在此也使用其熟知的意義。一般而言 ，此術語乃指在一玻璃底材上層狀醱条之任何平方上，有 電流通過此層狀體糸時之電阻（單位為歐姆）。片型霄阻 乃此靥狀反射紅外能量程度之指示，所Μ當舆發射率同用 是在許多建築用玻璃中很重要的特性量度。“片型霣阻” 能用一四點探針歐姆計方便地測得，諸如用四點霣阻率探 針和一 Magnetron Instruuents Corp.磁子頭，型 800，由 Signatone Corp. of Santa Clara, California 製造。 如上所述，對於許多建築上之需要，希望能有一盡可 能低的發射率和Rs，使玻璃窗能將投射於玻璃上的紅外能 量能基本上反射。一般而言，“低E” （邸低發射率）玻 璃是被視為其半球狀發射率（Eh)是低於約0.16,而其正交 發射率（E„)是低於約0.12的那些玻璃。同時，片型霣阻 (Rs)因此理想地是低於約12歐姆/平方。逋類玻《要能被 市壜接受，通常要求能盡量透過可見光，用Illuiinant C 技術測董厚度約為2-6m«之玻璃透光率，通常約為76%或 Μ上。 在此所用「抗化學性」之測定是藉將物體的2”x 5”試 (請先W讀背面之注意事項41填寫本頁) .裝· 、·ιτ 線 本紙張尺度逍用中國國家標率（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 6 經濟部中央樣準局負工消費合作社印製 30^330 Α7 Β7 五、發明说明（） 樣在約500 cc的5 %HC1中煮沸1小時（即，約220°F)。 在煮沸約1小時後，在物體上沒有直徑超過約0.003”之針 孔時，被視為通遇此試驗。 在此所用「耐久性」是藉Μ下二法中之一來測量；第 一是一習用之Taber磨蝕機試驗，用一4”x 4”試樣和將500 克重量分別連於二傾C.S. 10F磨輪上，磨輪轉動100-300 轉。耐磨性也可用 Pacific Scientific Abrasion Tester U”尼龍刷*加150克重量，M500周期循琛刷過塗覆層， 所用的試驗是6”xi7”）。在二健試驗中，當用肉眼在可 見光下觀察，基本上無可察覺的刮痕時，視爲通過了試驗 ，稱此物體為耐久的。另一較不主觀的評估是測量試樣未 磨的部分和磨損的部分之可見光透過率的變化，並用一數 值（例，降低％)表示透光率之降低。藉降低之一數值極 限，可Μ建立一「通過」或「不通過」之檷準（例，超過 20%定為一艏限度）。 在本發明中所用的術語「可熱處理」與我們以前的專 利案件及應用案件，等，中所用的有以下方面之不同。本 發明和我們以前的專利案件中，此術語假定（而仍然假定 )在熱處理後，在均勻性上（並在理想的實讎中之抗化學 性和機械耐性上）可播得一被接納之產品。在我們Μ前的 專利案件，等，中的*理想實體中，期望其隈光支配性能 (包括顔色）在熱處理過程中無重大的改變。在本發明中 ，術語「可熱處理J的另一方面並不必須包括逭一限制， 為了能與它配合的其它產品（例，未經熱處理的）的特性 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Α4规格（2丨〇父297公釐） 7 (請先Μ讀背面之注意Ϋ項-«填寫本頁) 訂 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作杜印裝 五、發明説明（） 相配，在某些實體中可以期望陽光支配性能有顯著的改變 。然而在本發明中，其至終的陽光支配性能是預設並預期 的。當然，熱處理必須對產品在熱處理前之均勻性（和/ 或在理想實體中之機械耐性和抗化學性）不產生任何顧著 程度之相反效果（除非熱處理在此程度中能改良這些特性 )。 用磁子濺射塗覆多層金属和/或金屬氧化物或氮化物 至浮動玻瑰Η來創造建築用玻瑰之技術已為人熟知，也有 人嚐試並報告了許多已知金羼的互換和組合（例如，Ag、 Au等）、氧化物和氮化物（包括Si3N« )。逭些技術可以 採用平板的或管狀的靶，或二者之結合，和多靶區域來 逹成其預期的結果。在本發明中所用的理想儀器之代表， 且在技術上爲已知的，是Airco Corporation出售的磁子 濺射塗覆機。此可市購的設備分別揭露於美國專利案第 4,356,073和4,422,916號中。這些專利之揭露編入本文的 參考中。 特別是》己知可Μ應用上述Airco*!射塗覆機來生產 具層狀體条之建築用玻璃，從玻瑱（例，檷準浮動玻璃） 向外的次序如下： Si3N«//Ni ： Cr/Ag/Ni :Cr/Si3N* 其中，在操作中發現Ni: Cr合金是對應80/ 20重量的Ni/ Cr (即，錁鉻合金）*而在報告中，其中兩錁鉻層約為7 A厚，也指明Ag層約70A厚（除了也有指出銀可能約為100 A厚），而SiaN*是相對地厚（例如，底塗層約為320A， (請先聞讀背面之注項再填寫本頁) .裝. 訂 線 本紙张尺度逋用中國國家揉準（CNS > A4規格（2!0X297公釐） 8 五、發明説明（） A7 B7 而表塗層約為450A)。兩錁絡層一起調整，使其基本上 厚度相等。在逭方面，已知可藉在準備工作中調整在塗覆 機中有两的參數來一起調整逭些錁絡層厚度Μ改良黏附力 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 第1圏示闌明如上提出的典型Airco濺射塗覆檐，可 用來生產此已知的Airco產品，在第2園中有所說明。參 考Fig.1，區域1，2, 3, 4和5,是由矽（Si>管狀《(t 和tls-3D>製成，在1〇〇%Νβ大氣中進行期射。通常匾域3 用平板靶“P” ，是用來製作中間三層，即Ni:Cr/Ag/ Ni : Cr。在區域3中使用100%氬氣。 雖然此玻璃塗覆層能獲得良好之機械耐性和抗化學性 (即，塗覆層是耐刮的、耐磨的、和具化學S定性），因 此，當與熱解塗覆層比較時，在逭些特性方面播得重要的 改進，但在其它實用之特性上，短缺了對低-E建築玻瑰所 通常預期的紅外反射率和可見光透過率之程度。例如，在 第2圈中所示產品，至少3m·厚之玻璃，其可見光透遇率 (111. C 10° obs.> 通常只約爲 76%，£1>約 0.20-0.22 ,而 E„约為0.14-0. 17。這二棰發射率值都相當高。另外，测 得之片型霣阻<RS>相當高15.8歐姆/平方（能被接纳的值 是小於約12.0)。 更者，第2_之玻璃被證明為非熱處理的，因此它不 能彎曲、煅煉、或熱增強而對塗覆層或底材不產生炱面的 影鬱。這是因為當餵層經受熱處理時變為不連績並產生空 隙。結果因為銀層變為不均勻使發射率大大升离；化學抗 I ϋ 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注f項再填寫本Κ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 9 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、發明説明（ 性極差；透光率也大大升高。 因此，雖然耐久性顯著改良，而逭些塗覆層也證明可 與習用之封閉劑相容，但對許多現代建築物用途而言，陽 光支配性質和可熱處理性是不理想的。 因此，使用第1圖的設備和大氣，葙控制速度和濺射 操作之電能，如前所述，已知的Arico方法製得一層狀體 条，諸如在Μ前技術中第2圔所W明的。在此第2圈中所 示的，底材理想的是一片厚度約2··-6··之玻璃，一般用 已知的浮動法製成，並使用在此法中歴來所用的典型之納 鈣石英組合物。在區域1-2中，所形成的第一低塗層1主 要成分為SUN*。它的檷稱厚度約爲325 Α。區域卜2基本 上在100%Na中進行。其次，區域3所使用的基本上爲100 %氬大氣，首先製得一相當厚（例7A)的80/ 20錁鉻合 金的層3，繼而是一相笛不連續的鎇層5，它的不連績性 表示在空隙7上。在此相同的匾域3中，在銀上再施以同 樣厚（例，7 A )的80/ 20錁絡層9。二錁鉻層基本上爲 相同的厚度。然後在匾域4-5施KSi3N«頂層11，因增強電 能使其厚度比低塗層1為厚（例，約450A厚）。此玻璃 有較低之陽光支配性能，如上所述。 在第2 _中所述的谊値Airco層狀讎糸外，在一些專 利案和科學文獻中報告了具紅外反射和其它能支配光的含 銀和/或Ni : Cr層狀的其它塗覆靥。例如，參閲在美國專 利案3,682,528和4,799,745揭霉的Fabry-Perot過濾齦和 其它早期塗覆層和技術（和Μ前技術中所討論的和/或其 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 10 — II I I I I I 裝 I I 訂—— —線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（) 中所引述的）。也可參閲許多專利中所創作的介電的金屬 夾層結構，包括，例如美國專利案第4, 179, 181 ; 3,698,946 ;3,978,273; 3,901,997;和 3,889,026，造只是其中的 一些。雖然已知或報告了逭類塗覆層，但相信在本發明Μ 前，這些以前技術之掲露中沒有一件是教導或逹成能使用 這高度生產性的濺射塗覆方法，且同時可»得的玻璃不僅 接近或相等於熱解塗覆層之耐久性，且邇能同時播得優異 之陽光支配性能。 在建築和汽車設計中，金羼和金屬氧化物塗覆的玻璃 受人歡迎也是眾所週知的。如在專利案和其它文獻眾多的 報告中，這類玻璃，通常藉操縱塗覆的層狀龌条可以播得 相當被接納的反光率、透光率、發射率、抗化學性、和耐 久性，也能有預期的顔色。在這方面可參閲，例如，美國 專利案第 3,935,351; 4,413,877; 4,462,883; 3,826,728 ;3,681,042; 3,798,146;和 4,594,137，這只是其中的 一小部分。 其它Μ前技術中的Airco塗覆玻璃有Airco“Aircool 72或76”基本上包括從玻瑰底材向外的下列各層：SnOa/ Al/Ag/Al/SnOe。雖然可熱處理，這些塗覆玻璃是相當 軟並缺乏耐久性。 近年來，受歡迎的塗覆玻璃導出許多喵試要獲得塗覆 的玻璃物體，在熱處理Μ前，它能被塗覆，之後，能經熱 處理而不會Α面改變塗覆或玻璃本身的性質（即，最後的 玻璃物件）。 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 11 ---------裝------訂-----叫線 (請先Μ讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局貝工消費合作杜印裝 Α7 Β7 五、發明説明（) 例如，這理由之一是在一件已經彎曲的玻璃上要能達 成均勻塗覆是極度困難的。已經熟知，如果在一平玻璃表 面上加以塗覆，然後再彎曲，比較預先已彎曲的玻琪，可 用相當簡單的技術獲得一均勻的塗層。對建築物、汽車和 家用玻璃，這是真確的。 過去已發展出一些技術來製造塗覆的可熱處理的玻璃 物龌，然後，藉煅煉、彎曲、或所諝的「熱強化」技術來 進行熱處理。一般而言，許多這些前述的塗覆物體（諸如 第2圖中的物件）不能由較高的升溫情況作熱處理來獲得 較經濟的彎曲、煅煉和/或熱強化（例，1150T-1450T) 。簡言之，這類技術的困難在於箱要保持溫度約為1100T 或更低來獲取其熱處理性而不致炱面地影響塗覆層或其底 材。此後者情況，即對塗覆或其底材不具任何實質上負面 影«，在此至終的含意是，也與上述所定義的同等的意思 ，即在本文中所用的術語「可熱處理性」。 關於此方面，美國専利案第5, 188,887號揭露了一些 前有技術的塗覆讎条，如在本專利中定義的它們是可熱處 理的，因為它們能在前述的較高的升高溫度中成功地熱處 理，雖然經遇煅煉、彎曲、或熱強化，仍播得所預期的結 果。一般而言，這些Μ前技術的塗覆組合物在一層狀體条 中具均勻性，此層狀醱条是使用一金羼層、一含高錁量之 合金，在其理想形態中，是所謂的Haynes 214之合金，它 基本上含有 75.45% Ni，4.00% Fe，16.00% Cr，0.04% C ，4.50%A1，和0.01%Y(為重量％)。用高錁含麗合金， 本紙張尺度適用中困國家揉準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 12 ~Ί裝 I I I 訂 I 線 * · { { (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（ 諸如Haynes 214，和在其上加塗化學計量的氧化錫（SnOa) ，無論單獨或與其它塗覆層（諸如有相同化學計量氧化錫 底塗層和/或在頂層SnOa和高含量錁合金之間的鋁中間層 )，發現在升溫熱處理玻璃物件，從約1150T-1450T， 從約2-30分鐘，基本上可Μ達到不會使顔色、機械耐性、 發射率、反射率或透光力減退。因此，這些組合物比Μ前 的可熱處理體糸有顯著之改良，Μ前可熱處理的«条如在 下列專利案中所揭露的：4,790,922; 4,816,034 ; 4,826,525 ;4,715,879 ;和 4,857,094。 除了前面提到專利案中所揭露的Μ外，也已知有LeyboId 播風玻璃體糸TCC-2000。此體条已在美國専利第5,201,926 號中有一般性的揭露。在此醱条中，臁用了四或五層金屬 和金羼氧化物來製得一濺射塗覆之玻璃，它在溫度高至1100 T時有某些熱處理性，它可用作製造彎曲或不彎曲播風玻 璃之預塗覆玻璃，只要在熱處理時加Μ短時間的限制。從 玻璃底材向外的各層，通常包括第一層氧化錫、第二層錁 /鉻合金（通常約為80/ 20)、第三層銀、第四層錁/絡 合金、和第五層氧化錫。在相對低的熱處理溫度和時間的 上限之外，結果之塗層是相當軟，也呈現不能被接纳的低 抗化學特性，因為它們缺乏耐久性，所Μ實際上只能用於 播風叠合玻璃的内表面。美國專利第5,201,926號進一步 揭露了在此鱧条中的較上和/或較下層除了氣化錫Μ外尚 可Μ是二氧化矽、氧化鋁、氧化妲、氧化锆或它們的混合 物。本專利也陳逑了銀層可Μ是銀或至少含50%重量銀之 銀合金。所報告的各靥厚度分別為（從玻璃向外）35η»、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） 13 I {—^1 裝—— 訂— — I I I 線 (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局貞工消费合作社印装 A7 B7 五、發明説明（) 2nm、20nm、2nai和 35nm〇 在美國専利案第5,229,194號中，由於商售較本主題 發明存楢日期早一年多的早期文件揭露了甚至比在美國專 利第5, 188,887號更有顯箸進步的一可熱處理濺射塗覆層 。在那發明中發現可播得在濺射塗覆玻璃的可熱處理（在 該文中對該術語之定義）有獨特的結果，特別是用於車輛 的「皤密」車窗，如果金屬錄或高含量金羼錁合金層被分 離層之錁氧化物或錁気化物或高含量錁合金的低塗層和表 塗層所包園，並用進一步的氧化物表塗覆，諸如SnOa、ZnO 、TiCU或其氧化物合金。提到矽也適用於作為金颶的含錁 層上的第一表塗層。前述之美國專利案第5, 229, 194號编 入此作爲參考。 由美國專利第5,229,194號所掲露的上述之層狀鱧糸 證明為特別可熱處理和抗磨損的。然而，雖然開始時發現 一些體条是具抗化學性的，但某些疆条在大量生產時發現 不能通過相當強烈的一小時5% HC1煮沸之化學抗性試驗 (上面討論遇）。然而，它們的紅外及UV反射特性卻十分 優異，能用於相當寬的範園。然而更者，對「皤密」車窗 所預期的低可見光透過值卻證明太低，不能真正適用於玻 璃窗或建築物或住宅之玻瑰片，逋些需要高可見光透過率 。因此，濺射塗覆機在塗覆用作「皤秘」窗之玻璃片後， 當要執行建築用或住宅用塗覆玻璃的生產定單時，塗覆機 必須停工為了能組成一新的成層體条。如果可以避免埴樣 的停工在經濟效應上將是一顯著進步。 本紙張尺度適用中Η國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ΤΆ I 裝 訂—— —叫線 - - t t (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 翁 A7 B7 >曰申請的，我們共同擁有、待決的應 中，題爲「离操作、耐久的、低-E 法」中，掲露了某些獮特的濺射塗覆層狀 J和住宅用途上有》特的可應用性，因為不 的化學和檐械耐久性，也有良好的陽光支配 性能。& I糸能被視為「低-E」玻璃（塗覆的），因為 它們的半球狀發射率（E-)通常約低於0.16，而它們的正交 發射率（E„)通常約低於0·12。用其它方法澜量，它們的片 型電阻理想地約低於10.50歐姆/平方。另外，對正常的 玻璃厚度（例，2·β-6·β )，可見光透過率理想地約為78 %或以上（與某些理想的實醱，如前述美國專利5,229, 194 號的可熱處理的「皤密J窗層狀醱条*是約小於22-23%) Ο 在前述待決的應用糸列第07/ 876,350號，現為美國 專利第_號的發明，在此编入本文作為參考，此發 明獲得了獮特的低-Ε、高可見透光率值（Τ>78%，Εη<0.12 ，等），且它具良好化學耐久性（通過了联格的5 %HC1 煮沸試驗），和抗磨損性，應用一成層體条，在一傾第一 五層實體中，一般包括（從玻璃底材向外）一底塗層Si3N« 、一第一層錁或錁合金（例錁絡）、一層銀、一第二層錁 或錁合金、和一表塗層SUN«。在某些其它理想體糸中， 從玻璃底材向外的層狀體条主要包括：Si3N«/Ni : Cr/Ag /Ni : Cr/Ag/Ni : Cr/Si3N«。這個七層體糸較前述五 層龌条呈現較高之耐磨和抗刮特性。然而，在各體糸中，

本紙張尺度適用中國國家樑準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - H mil I —裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項wp填寫本頁) 鲤濟部中央標準局貝工消費合作社印製

3〇-S〇Q A7 B7 五、發明説明（） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 理想之1^:(：1*層是錁鉻合金，邸80/ 20重量之“/(：1*，而 其中大部分鉻形成絡的《化物，因為Ni/Cr曆乃在含氮大 氣中形成。 不幸地，這些耐久的、低-E、离可見透光的玻璃層狀 體条被證實爲非熱處理的。相倍此非熱處理性乃由於金羼 的銀層在熱處理中由於不滴滬而變為不連纗性，在本情況 中是因為周園的Ni: Cr層在熱處理中不足以保持銀層之連 續性。因此，逋些在其它方面有優黏的層狀《条不能用於 Μ後要經熱處理，例如煅煉、熱強化和彎曲的層狀玻璃。 且不幸地，為獲得所預期的低-Ε效果，必須使用銀層。 在逭方面要記住的是某些建築用、住宅用和汽車用的 塗覆玻璃需經煅煉、彎曲或熱強化。最引起注意的是，在 建築装置中，常需要同時使用可熱處理的「锻、等J 玻瓌和前述条列07/876,350的非熱處理玻此，具 有特街[(顔色、發射率、片型«阻、等）之熱處理玻璃基 本上能與前述条列07/ 876,350的非熱處理玻璃相配合之 生產需要升高，因而二者能一起使用，例如在同一建築物 上並列使用。 於1993年8月5日申請的我們共同擁有、待決的應用条 列08/ 102,281號，在此编入本文作為參考，掲鼉了一優 異的可熱處理的玻璃層狀體条。這鴒層狀靄条一般包括多 重粂族靥狀醴条，其中各匐都包括使用級射塗覆靶和大氣 Μ形成其組份層，Si3N*和Ni/Cr和/或其氧化物的層。 在糸列08/ 102,281號中所敘述的濺射塗覆物件經熱處理 請 备 面 之 注 旁 裝 訂 線 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -16 16 Α7 Β7 經濟部中央揉準局属工消费合作社印褽 五、發明説明（) 後是優異的，但它們不呈現基本上相似於或基本上相配於 那些在前述糸列07/ 876,350中所描述之非熱處理玻璃的 光學特撖（顔色、發射率、反光性、等）。無論如何，即 使它不符合那些經熱處理後基本上能與其它不經熱處理形 成的玻璃相配合的髓糸，但因爲它的成層有共同形態》並 與本發明的玻璃和876,350型的那些玻璃有共通性，在濺 射塗覆操作中只需作最少的變更，因此仍然可Μ生產。這 是我們目前發明的顯著的特點及發現。 事實上，我們本發明的一重要發現也因而成爲頋著的 方面，在下將有更完整的陳述，乃在於滿足長期以來的需 要，即對濺射塗覆操作做最少的調整而能在彈性範國内生 產其它濺射塗覆產物，而每棰產品都有些不同，因此可滿 足不同範圍顧客之不同需要。例如，下面會有更進一步說 明，在一典型的靶30, Airco濺射塗覆機使用矽、Ni/Cr 、和Ag靶，本發明目檷指望能在單一操作中簡單調整《射 塗覆機之參數來生成汽車工業中所需之產品（例，塗覆的 玻璃片嗣後彎成擂風玻瑰、等），如在条列08/ 102,281 中所揭露的；建築工業（建築物）之產品，如在条列876,350 中非煅煉的產品和建築（建築物）和汽車工業的產品，是 可煅煉和可彎曲的，且在光學上能與’ 350型的產品相配， 如在本發明中揭露的。 因此顯然在技術上存在需要有一«射塗覆玻璃層狀》 糸，它在熱處理（煅煉、彎曲、等）Μ後具光學特性是與 前述待決糸列07/ 876,350而現為美國専利第_號 (請先閲讀背面之注意事項-»填寫本頁) -裝.

、tT 線 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐} 17 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、發明説明（) 的低-E非熱處理塗覆玻璃基本上相配或基本上相似的；而 更理想地是能舆逭些前述不經熱處理玻璃有相同操作來製 造，無需將濺射塗覆操作關閉。本發明目的之一是在技術 上滿足這一及其它需要，只要有下述之掲露，對技術工匠 是清楚明白的。 在此所用術語「Si3N4」意思是形成一般性的氮化矽 *並不必須有精確化學計量之氮化矽，也非所形成的層中 全部只包含氮化矽，因在某些情況中所使用的靶可能添加 小量的其它元素，諸如鋁，因此它會在層狀元素中出現， 或爲其本身氮化物出現。因此，在此所用的術語「Si3N*」 是代表包括基本上為矽之«化物層之縮寫。 在此所用的術語「錁鉻合金」有類似的愴況，它的一 般意思是代表包括錁和絡某些結合的一層，至少有一些部 分是它的金屬形態，雖然有一些可能已被氧化。相似地， 術語「銀」意思是該層基本上包括金羼銀，但也可能包含 低濃度之其它某些元素，但並不會A面影«醱糸整龌中銀 的蓮作特性。 一般而言，本發明滿足了技術中上述的需要，它提供 一可熱處理的塗覆之玻璃物件，玻璃物件上有一濺射塗覆 的層狀體糸，它包括的是從玻璃向外：（a) —第一層SUN* ，其厚度約為350-450A ; (b) —第一層錁或錁鉻合金，其 厚度約大於20A ; (c>—層銀，其厚度約為50-120A ; (d) 一第二層錁或錄絡，其厚度至少約7A;和（e) —第二層 Si 3 N*，其厚度約為450-550 A ;當玻璃是透明玻璃，其厚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝_ 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 18 五、發明説明（ A7 B7 度約為2.5-3.5B1B時，此塗覆的玻璃物件在熱處理以後有 下列特性： 透光率（111. C 10° 〇bs.> 片型電阻（Rs) 發射率，正交的（En> 發射率，半球狀的（Eh) 約 76-78% 小於約 12 〇hBS/sq_ 小於約0. 12 小於約0. 16 在理想的實鳢中，此玻璃物讎（產品）呈現了如上定 義的“抗化學性”和“耐久性”。在某些進一步理想的實 體中，當層狀髅的玻瑀底材是透明的，在熱處理前，它具 下列特性： 透光率（I11 . C 10° 〇bs.) 片型霄阻（Rs) 發射率，正交的（E„) 發射率，半球狀的（Eh〉 在其它某些理想資觼中 約 70-7396 小於約 15.0 oh*s/sq· 小於約0. 16 小於約0.20 正交發射率（E„)在熱處理以 經濟部中夬橾準局貝工消費合作社印«. 前約為0.15或以下（例，0.14)，在熱處理Μ後約為0.11 或以下（例，0.10);半球狀發射率（Eh>在熱處理Μ前低 於約0.18 (例0.17)，而在熱處理Μ後小於約0.14 (例0.13 );相鄰於底材的SUN*之厚度約為375Α，而另一層SiaN* 的厚度約為500 A。本發明進一步的某些理想實讎中，第 一濺射塗覆的錁或錁絡層之厚度約爲另一錁或錁鉻層厚度 之約三倍；而第一濺射塗覆的錁或錁鉻饜約為20-50A厚 ，第二濺射塗覆的錁或錁鉻層約為7-15A厚。在本發明進 —步某些理想《条中，颼射塗覆的層狀讎条主要包括上述 ----------^------、1T------漆·- ί ί (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 19 B7 五、發明説明（ 五層，而銀靥厚度約為75A厚。 本發明進一步滿足了技術中上述的痛要，它為在玻瓌 底材上提供了生成可熱處理的、薄的、耐久的、陽光支配 層狀鼸条的一方法*其步》包括：在含《大氣中濺射 塗覆一底塗層Si3N*; (b)在含情性氣《大氣中»射塗覆 一第一層鍊或錁絡合金，此第一錁或錄絡層至少約為20 A 厚；<c)在含惰性大氣中期射層銀（<〇在含情性大氣中濺射 塗覆一第二層錁或鐮鉻合金，此第二層錁或錁絡約為7-15 A厚；（e>在含«大氣中《射塗覆一外塗層Si 3N4; Μ後 將塗覆玻璃熱處理；當玻璃底材是透明玻璃並有厚度為2. 5-3.5 〇»，經熱處理後之灞射塗覆玻璃具下列恃性： 透光率（111. C 10° obs.) 約 76-7896 片型霣阻（R*) 約小於12 ohas/sq. 發射率，正交的（En) 約小於0.12 發射率，半球狀的（Eh) 約小於0.16 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明的某些理想實讎之熱處理是遘自煅煉、彎曲、 或熱強化。本發明進一步的某些理想實鼸中熱處理步驟包 括，将塗覆的玻璃加熱至溫度約為11507-14507至少五 分嫌，此後熄滅來锻煉它，加熱與熄滅的步班有足夠長的 時間可Μ煅煉玻瑱。本發明進一步的某些理想實《中，塗 覆之玻瓌加熱至某一溫度有足夠長的時間，賦予玻璃物饅 可彎曲性，然後在可彎曲的情況下將玻璃彎曲至預期的形 狀。在本發明進一步的某些理想實«中*濺射塗覆是在彼 此隔離的多値區域中進行，其中藉濺射塗覆形成Si, Ν4層 之步《至少在二分離®域中進行，各自處於基本上含有約 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 20 Ο Α7 Β7 經濟部中央揉準局負工消费合作社印裝 五、發明説明（） 之步骤至少在二分離匾域中進行，各自處於基本上含有約 80%気和約20%氬的大氣中，而其中形成鍊或錁絡層和銀 層的步驟是在同一匾域中進行；獷射塗覆在相同匾域中進 行，其大氣基本上包括下列之一 ：（a>基本上100%氬氣； 和（b>約95%氬和約5 %氧。 本發明進一步滿足技術中上述之需要，它提供連繡生 產至少兩棰濺射塗覆的玻瓌物鼸之方法，此兩玻璃物臞至 少在一偁陽光支配性能上彼此有實質上之不同，或在對熱 處理性上分別為可能與不可能之差別，或二者兼具，在各 玻璃物件上的濺射塗覆包括多層的濺射塗覆層，因而形成 一濺射塗覆體条，它包括Si3N«和一銳/鉻組分，步班包 括： (a>提供一濺射塗覆機，在多棰大氣屆域裝置中有多 棰靶，使能在一第一玻瑰物《上產生一第一層狀《糸，其 中基本上所有靶和區域都用於生產第一層體糸； <b)用步骤（a)中的裝置，在第一玻璃物件上濺射塗 覆第一層狀體条； (c) Μ後，改變步驟（a)的装置，並不增加或取代眾 多靶中任何一艏，也不需加大或減小大氣區域的大小，提 供的裝置是能在第二玻璃物體上產生一第二層狀醱糸，因 此基本上所有靶和區域都用來生產第二層狀體条；和 (d) 此後，用步驟（c>中所提供的裝置，在第二玻璃 物體上濺射塗覆第二驪狀體条。 本發明的某些理想實讎中，濺射塗覆機包括約30掴(靶 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） 21 II I 裝 線 - - ( ί (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 或較少，和約6個大氣區域或較少。本發明進一步在某些 理想實體中，濺射塗覆的玻璃物體中只有一儀是可熱處理 的，但它經過加熱處理後，二種濺射塗覆的玻瑰物體基本 上有相同的陽光支配特性，如由可見透光率、顔色、和發 射率所定義的。本發明進一步的某些理想實體，可熱處理 的濺射塗覆的玻璃物體在加熱處理前，它在可見光透過率 、顔色、或發射率所定義的陽光支配特性中至少有一項在 實質上是不同的。 本發明進一步滿足了技術中如上述的需要，藉熱處理 塗覆的玻璃物體，它提供使一可熱處理的濺射塗覆玻璃物 體之至少一種陽光支配性能轉變至一預選程度的方法，其 步驟包括： (a) 在一玻璃底材上藉濺射塗覆生產一可熱處理的塗 覆玻瓌物體*從底材向外的層狀體糸包括： (1 ) 一第一 SiaN« 層； (U)—第一錁或錁絡合金層； (m〉一銀層； (iv)—第二錁或錁鉻合金層； (v >—第二 Si3N«層。 (b) 熱處理濺射塗覆的玻璃物體，使之從可見光透過 率、發射率、或顔色的隈光支配特性其中至少一個有顯著 的改變，當底材是約2.5eB-3.5i«m厚之透明玻璃時，熱處 理後結果之塗覆玻璃物鼸具有下列特性： 透光率（111· C 10° obs.) 約大於7696 本紙张尺度逍用中國國家標率（CNS ) A4规格（210X297公釐） 22 ---------^丨裝------訂-----叫線 (請先聞讀背面之注項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印裝 五、發明説明（ 發射率，正交的（En) 約小於0.12 發射率，半球狀的（Eh) 約小於0.16 在本發明的某些理想實體中，當底材是厚度約為2. -3.5··的透明玻璃時，熱處理前的濺射塗覆的玻璃具下列 特性： 透光率（111 · C 10° Obs.) 約為 70-73% 片型18阻（·^〉 約小於15.0 ohms/sq. 發射率，正交的（En) 約小於0.16 發射率，半球狀的（Eh) 約小於0.20 在本發明進一步的某些理想實體中，熱處理前的£„約 爲0.14 ;熱處理後的半球醱發射率（Eh>約小於0.14，而熱 處理前則約為〇. 17。 現Μ對應的某些資體來說明本發明，並參考所附圏示 ，其中： 第1圖為Airco儀器之圖示說明，它可使用於本發明 的應用中（而它與在第2画的Μ前技術應用中所使用的不 同）0 第2圓是前有技術Airco塗覆玻璃物鼸層狀讎条之部 分側剖面圖。 第3·是本發明一實讎的部分側剖面圖。 參照第1圖，其中閫明一習用之磁子濺射塗覆機，諸 如上面指出的Airco設備。在本發明應用中的五傾區域》 理想地用1-5表之，雖然也可使用任何數字（例，6〉。塗 覆層是按次序施於玻璃G上，它按箭頭「A」的方向前進 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --------- Γ { (請先閏讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家揉率（CNS ) Α4规格（210X297公釐） A7 B7_ 五、發明説明（） 。區域1包含六艏可旋轉的管狀靶 t 1 - 6 9理想地爲砂（S 1 ) (例Si添加約3-5% (重量）A1作導電用）。區域2含另 6個相同Si材料的管狀靶t7-ia區域4和5有相似的形態 ，各分別另含有6個管狀靶tia-a«和tBe-3D，也是相同的 Si材料。各値匾域1，2，4，5理想地使用三個（3)陰 極（未示出）*其中各陰極操作可旋轉矽（Si)靶中之二個。 中間區域3是由三個平面靶？^：» (即，分別為编號31 、16、和33)，或六锢旋轉的管狀靶，或由它們的組合所 組成，為製迨如第3圖所示的五層塗覆體糸之三個中間層 。當然，區域3的靶也可用來製造如第2圖所示的前有技 術Airco層狀體糸的三個中間層、或条列編號07/ 876,350 的五層非熱處理塗覆玻璃的三個中間層、和前述糸列纗號 08/ 102,281的可熱處理層。 在下面各例中將有更詳細的敘述，在相同的濺射塗覆 機内，無需更改靶或期閉濺射塗覆機，只箱在臃射塗覆機 的預定匾域内調整電能量和大氣，這三種不同玻璃可按任 何次序一値接一値連續製造。 藉在濺射塗覆技術上為人熟知的習用設備，在操作中 以適合之簾“C”將區域1-5分隔及用於兩端，如此可在各 區域内建立一給定的、受控制的大氣。 第3圖說明本發明的一可熱處理的塗覆玻璃，可用第 1圖的設備來製成。如圖示，在一浮動玻璃底材G (厚度 約)上形成五層。可用任何類型或大小的浮動玻 璃底材（例，透明的，緣色的，等）。例如*可用厚度約 -24 - I α 装 —II —訂 II —Ι0Ί ^ (請先閲讀背面之注意事項再壤寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（) 為2·5ι»β-3.5»μ»之透明玻瑰作爲玻»底材G。 第一層101是Si3N«(氮化矽），是在區域1-2中形成 ，理想地使用約80% 和約20% Ar的大氣。具S擇性地， 在某些情況中，可將基本上為100%Na («)大氣引入匾 域1-2内。在匾域1-2中的K力理想地維持於約2.0-3·〇Χ 10·3 Torr (最理想的約為2·0撤米）。 當使用一厚度約2.5mii-3.5B·之透明玻璃底材時，塗 覆玻璃的可見光透過率在經過匾域1後約為86-90%，經 過匾域2後約為8卜84%。 以後，在區域3中形成金靥層103、105和107。匾域 3中理想的處理氣醴基本上為100%氬，維持壓力約爲1-2 微米。具灌擇性地，在區域3中可Μ引入少量之0» (例， 約5-10%)。在本實龌中，平板βΡ, (31)理想地為80/20 錁絡合金，但如希望，也可以是錁或其它Μ錁爲底之合金 〇 相倍經由靶Pi所形成的層103之厚度對本發明的某些 實釀而言是重要的部分。對照如第2園所示的檷準之前有 技術Airco塗覆玻璃物體，和共有的應用条列07/ 876,350 中所述的五層塗覆玻璃，發現在某些情形下，Μ因數約爲 2-4 (例，約3)來改變鍊-絡底塗層，结果之塗覆玻瓌能 由習用的熱處理方法（例，煅煉，等）進行熱處理而不致 對玻瑰物鼸的均勻性有負面的彩《，且結果有預期的和預 定的陽光支配性能。在逋方面，令人訝異地發現，在本發 明的理想實讎中，起始的未熱處理塗覆光學性（顔色、發 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 25 ----------^------1Τ------0 - ( ( (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央揉準局負工消費合作社印製 五、發明説明（） 射率、反射率、透光率、等）在熱處理中都能固有地調整 ，因而在熱處理後的同樣光學性能舆在共有条列07/876,350 中所述的五層不經熱處理塗覆玻璃的那些性能幾乎能完全 相配。 在逭方面發現了只有較下面的鎳或錁鉻層103需增厚 。令人驚訝的，增厚較上面的錁或鍊絡層107並不能產生 可熱處理的產品；兩層皆增厚之結果是可Μ熱處理，但結 果的可見光透過率太低，不能與876,350玻瑰的光學性相 配。 爲此续故，較下面的鎳底層103濺射塗覆的厚度要大 於20Α (理想者約30-50Α，更理想約為45Α )。藉簡單 地增加對靶匕的霉能至超遇用於經由靶Ρ3 <33>生產較上 層鍊底雇107的電能之約二至三倍，就可方便地逹成。在 相似情況中，本發明的較下面錁或錁絡塗覆層施加於玻璃 底材上，也可藉使用糸列號07/ 876,350濺射塗覆機之設 備，只要增加靶Pi的電能董約2至3倍。依照本發明，結 果製得一塗覆的玻璃物讎，它與07/ 876,350的五層塗覆 玻璃不同，因為本發明的較下面鎳或錁路層比07/ 876,350 的實質上爲厚（例，厚度約為2-3倍）。 經靶Ρ»施於較下面的錁底層103以後，對應的陰極（ 未示）形成一銀底層105。用平面銀靶Ρβ(16>來生成逭銀 層105至厚度約為50-120Α (顯然也可使用旋轉的管狀靶 )。理想的銀層105厚度約為75Α。本實鼸之銀（Ag)^b 前述糸列编號07/ 876,350的稍薄些。再次，只需調整《 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝.

.IT 線 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公嫠） 26 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7___ 五、發明説明（） 能（比07/ 876,350的靶Pa2ig能稍減）。 其次，以生成第一錁或錁鉻層103的相同方法來生成 另一實質上為純金羼的80/ 20錁絡合金（或其它錁底的〉 層107,而此層107實質上比加厚的錁或錁鉻層103較薄。 理想的鍊鉻層107厚度約為9-15A，但也可以更薄（例， 約7A)。本發明的第二錁或錁絡層和07/ 876,350中的 生成條件及厚度基本上彼此相似。 本發明的一個理想實體是較下面的或第一錁鉻層103 約為45A厚和較上面的或第二錁鉻餍107約為15A®。因 此，較下錁絡層103的厚度和較上錁絡層107的厚度之理想 比例約為3 ·· 1。 用平面靶(33)來形成較上面錁鉻層107,加於第二 錁絡靶P3的電能約為加於第一錁鉻靶1\的«能之1/2至1/3 ，而基本上與07/ 876,350用於第二錁或錁絡靶能 相似。從區域3移出後，層狀體基本上包括«化矽/鍊-鉻/銀/鍊-鉻，當所用的玻瑰底材是透明的，厚度約為 2.5auB-3.5mm時，它具可見光透過率約為52-54%。 塗覆的玻璃繼鑛移入區域4，其中的處理氣《可Μ是 基本上100%気或更理想是気和氬之混合物（例，80%氣 和20%氬）。本發明的區域1、2、4和5理想地可與糸 列07/ 876, 350用Μ製造五層非熱處理塗覆玻璃的濺射塗 覆機裝置的區域1、2、4和5相似。如同匾域1-2，在 區域4-5中之壓力理想地維持於2.0-3.0父10-31'〇1*1*(理 想地約為2.0徹米）。 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -27 - I , 裝 灯~'^. • * 1 t (请先閱讀背面之注^^項再填寫本X ) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（) 在®域4-5中，用相似於生成氮化矽底塗層1〇1之法生 成一氮化矽（SUNO的上層或表塗層109。通常表塗気化砂 層109較底塗«化矽層101稍厚，如在糸列07/ 876,350中 所討論的。例如，較下的気化矽圈101理想的生成厚度約 爲350-450A (最理想約375A)，而較上的氮化矽層109 理想的生成厚度約為450-550A (最理想約500A)。 雖然本發明的気化矽底塗層和表塗層101和109的厚度 間或與前有技術Airco產品（參第2画）的厚度相同，本 發明的理想實體中，此塗覆玻璃的各Si3N4層比在第2圔 中所示的Airco產品增厚了，以求基本上與07/ 876,350塗 覆玻璃的厚度相等。只要增加截射塗覆櫬匾域1-2和4-5的 電能約20%或Μ上就可獲得較离的厚度。匾域4-5的抗反 射SUN*層分別提高了玻璃的可見光透遇率至約為61-66% 和 70-73%。 结果的層狀鏝条之耐久性輿第的Airco層狀鼸条 幾乎相同，（即，它的抗刮性稍低一些，但仍通過了耐久 性之澜試）。结果的層狀體条呈現顯著超優之發射率、透 過率、熱處理性、和片型電阻，逭是與第2圓中所示前有 技術Airco塗覆玻璃物件的那些性能比較的。它也具抗化 學性。 在熱處理Μ前，第3 Η的塗覆玻璃之理想實驩之可見 光透遇率約爲70-73% ;片型電阻約為0.16或以下（更理 想者約為14.0-14.5歐姆）；Ε»約爲0.14-0.16; Eh小於約 0.20 (例，約0_17)。 本紙張尺度逋用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 28 I I I 裝— — I I I I 訂— I I 線 • · f f (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 五、發明説明（） 然而，經熱處理以後（例*煅煉、轚曲、熱強化、等 )，第3圖的塗覆玻瑀之理想實髁具可見透過率大於約76 %，片型霣阻小於約12 ohms (理想者低於約10.5-11.0 ohs) ;Ε»小於約0.12(理想者約為0.10-0.11);而Eh 小於約0.16 (理想者約0.14或Μ下）。 可能的熱處理是，例如，在685t：處理約5分鏟；在 665t：的遇期性處理約16分鏟；或以任何其它習用之煅燒 爐來處理。 本發明的Si 3N*層有各自的厚度，厚度可Μ經「橄細 調整」使塗覆的玻瑱物讎具經控制的顔色、抗化學性、抗 刮性、和抗反光性。 從本發明上述可Μ淸楚明白本發明的，08/ 102,281 的、和07/ 876,350的塗覆玻瑰物鼸可在同一濺射塗覆機 中建續生產，只痛調整預定區域中適當之霣能和大氣。如 此，可克服為了需要生產其它產品而將生產07/ 876,350 非熱處理的低-Ε塗覆玻璃的濺射塗覆機期閉之困難，所需 要生產的其它產品有：（1 )一熱處理塗覆玻瑰，它在經熱 處理後，呈現的光學性能基本上能與07/ 876,350的非熱 處理塗覆玻璃的光學性能相配♦•或（u )08/ 102,281的熱 處理塗覆玻《。只要從07/ 876,flfl的覼射塗*機裝置上 增加靶卩1的電能約2-3倍或降低電能約5-15%，或 反之，當改變塗覆區3的氣龌混合物，便可Μ無痛關閉嫌 射塗覆機而用同一櫬器生產本發明如第3圈所逑之可熱處 理塗覆的玻璃物《。此方法將在下述例1中有更詳細的說 I —— I I I I I I I 裝 I I I I 訂— I 線 - - ( ί (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家梂準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） -29 - 29 經濟部中央揉準局®c工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 明0 本發明上逑理想實鼸使人能將一熱處理塗覆的玻璃物 件與那些非熱處理的玻璃物件在光學性能上相配。本發明 之一顬著優點是熱處理塗覆的玻璃，例如在第3画中所敍 述的，可Μ在煅煉前塗覆和切割。如此，使生產者可将未 切割的塗覆可熱處理玻璃儲備，它具備在經熱處理後基本 上能與其它具高度優點，諸如07/ 876,350的非熱處理玻 瑰的光學性質相配。因此，實用中可將二類未切割的玻璃 儲備，當從顧客接到多棰訂單要求不同大小的可熱處理（ 例，煅煉）的玻璃，其光學性質基本上與其它訂單中07/ 876,350的非熱處理玻璃的光學性質相配時，製造商只需 從一般存貨中灌出非熱處理的和本發明的可熱處理的塗覆 玻璃，切割成所需要的大小，熱處理那可熱處理的玻璃片 ，立即將所有訂貨送至顧客手中，無裔等待接到訂單才生 產製造。到目前為止，只有非熱處理的，但高度有用的塗 覆醱糸07/ 876,350是方便的，因而存在著為完成訂單的 時間延後及存貨的困難。當然，那是因為當訂單中要求一 些需經熱處理的玻璃（例，煅燒和/或彎曲），也可能同 時需要切割成與非熱處理玻瑰不同尺寸的玻瑰，因此或者 要大量貯存預切成各種大小的未塗覆的玻瑱，或者顧客必 須等待從一般存貨中取出（1)預切割的，（2>有些煅燒的 ，和（3)此後全部塗覆的玻璃。本發明的出現，可以保持 有兩棰（或多棰）不同的層狀鱧糸之塗覆玻璃的存貨。當 接到混合的訂單時，可以快速滿足顧客之需要，因爲塗覆 本紙張尺度逋用中國國家揲準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 30 ---------^丨裝------订-----叫線 - - _ 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（ 步驟早已完成。 本發明將藉下列諸例分別加Μ閫明： 例1 一典型的前有技術Airco塗覆的玻璃物爨（“STD”） 藉第2圖例示，本發明的一塗覆玻璃物鱧藉第3圖例示， 和07/ 876,350的一非熱處理塗覆玻璃用如第1園的濺射 塗覆機製成。在本例中，本發明的可熱處理塗覆的玻璃和 876,350非熱處理塗覆的玻璃在同一濺射塗覆機内連鳙生 產0 本發明的塗覆玻璃物體之製造如下。 太玆明 一3.20UD厚的透明玻璃底材G傳送經遇第1圓的 Ai rco 濺射塗覆機，它的各區藉已知方式的簾/賺分隔。線性速 度為320時/分嫌。提供慣常的預洗和後洗（未顳示）。 透明的浮動玻瑰底材G通過匾域1，區內之處理氣醴保持 於壓力為2.0撤米（2·〇χ ΙΟ·3 Torr)，它是80¾«和20 %氬之混合物。區域1的全部3値陰極（未顯示），各傾 都有2個可旋轉的矽靶，其上操作的電能設定於能在靶< U-e)上沉積一層氮化矽（Si3N4)，其厚度是足以使玻瑰 物龌的可見光透過率降至87.5%。 然後玻璃移經區域2，其中的處理氣體為80% 1和20 %Ar，壓力爲2.1X10·3 Torr。區域2中的三傾陰棰，各 有二個可旋轉的矽靶，其上操作的電能設定於能在玻璃物 鱧上沉積第二層気化矽<Si3N*)，進一步使物體的可見透 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 31 — — II γ 裝— I 訂 I— 線 * - ( { (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) M濟部中夹棵率肩貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（) 光率降爲82.3%。 玻璃繼繙移入匾域3内，其中的處理氣黼爲100%氬 ，維持壓力為1·5撖米（1.5X10-3 Torr)。使用三掴陰 極，各爲單一的平面靶（P^Pa)，其中第一（PJ和第三（P3> 平面靶爲80-20錁-鉻合金，而第二（Ρ·)是一銀«。對第一 錁-鉻靶（ΡΟ的電能設定爲3.57仟瓦。對銀《的電能為7.1 仟瓦，它足以在塗覆玻璃上形成一層銀，其片型«阻（Rs) ，以習用的四頸探計量得約為每平方上14歃姆。對第三錁 絡靶（Pd的霣能為1.33仟瓦。此層狀鼸，現包括《化矽 (Si3N«)/錁-鉻/銀/鍊-鉻，具可見光透遇率為53.0%。 玻璃繼繡移入區域4，其中的處理氣醍爲80%N,和20 %Ar，而E力為2.1X10·* Torr。三癘陰極，各有二值可 旋轉的矽靶，操作的霣能設定是能沉稹一層氮化矽（SUN«) ，它是一抗反光層，将玻璃物鼸之可見透光率提升至64.5 然後*玻瓖移入匾域5，其內之處理氣黼為80%Ν·和 20% Ar，壓力為2·1Χ 103 Torr。三鹤陰極，各有二匍可 旋轉的矽靶，操作的«能設定於在玻璃底材上沉稹最後一 層《化矽。此抗反射層使玻璃物釅之可見透光率升至71.09 %。如此完成了本例之塗覆層狀龌糸。 本發明的最後靥狀體条主要包括：從透明玻璃底材向 外的一約375A厚之SiN*層、一約45A厚之NiCr層、一約 75A厚之銀層、一約15A之第二NiCr層、和最後一約450 A厚之第二Si 3N*層。 . 裝 訂 線 • - ( ( (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度遑用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 32 - 32 A7 B7 五、發明説明（ 然後，此塗覆之玻瑰物體在6651C ( 1229T)作16分 鐘坡道遇期之熱處理。 電能、壓力、和靶參數列於下表： 裝 訂 線 --- f f (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 33 本紙張尺度逍用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（ 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 to 蒯 m \D 0〇 —nI U1 U1 UD to DO h—* M 菡 P3 (33) ?a (16) Pi (31) Γ+- 10 — r*" 一 〇 Γ Γ r+* r r*~ r+- Γ C+- m 1.33 7. 10 Ol X X Uri 〇 l>0 oo OJ to o X X VsD OO o Η--» 韦 359 438 405 X X 433 432 428 443 X X 417 432 425 452 陰極伏特 3.78 H-* 0〇 vD —>3 X X CTn I—* 0〇 \〇 VJ1 H-* X X OO t—* H—* OO to OO 0> o OO h-J· 1 ·5 x 10—3 Torr 1. 5 X l〇-3 Torr 1 5 x 10·3 Torr 2. 1 X Hr 3 Torr 2.1 x 10'3 Torr 2.1 x 10'3 Torr 2.1 x 10'3 Torr 2.1 x 10'3 Torr 2.1 x 10'3 Torr 2.0 x 10'3 Torr 2.0 x l〇-3 Torr 2.0 x ΙΟ'3 Torr 2.0 x ΙΟ'3 Torr 2·0 x 10_3 Torr 2.0 x 10'3 Torr 闹 100% Ar 100¾ Ar 100¾ Ar 80¾ N./20% Ar 80% N./20X Ar 80¾ Na/20X Ar 80% Na/20% Ar 80¾ N*/20% Ar 80¾ N./20% Ar 80¾ Ns/20% Ar 80¾ Na/20% Ar 80% Na/203： Ar 80¾ N./20% Ar 80¾ N2/20S： Ar 80¾ Na/20% Ar 處理氣體重量比率 (钭蹓s^ll^鯓瞄寤莽) {難雜渐= 320 ρί\φ鄺) -.!裝 訂 線 . - ( ( (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中繭國家橾準（CNS〉Α4規格（210Χ297公釐） 34 A7 五、發明説明（ 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 U1 鼦 链 r Η—* ι«—1 1—» Μ 葙 r+- ω α r+* M (β •9 a <r*- K r+· M 9i rt- M 9 r·- •0 泰 rf- •0 <ύ Μ •0 r+· to <-+· •0 o CH~ (0 m QO OJ Q〇 s£> Cs> Ο UJ νΧ> V^i οι KjJ 0〇 〇 OO Μ 444 439 420 436 435 438 410 436 417 435 432 437 陰極伏特 0〇 〇〇 0〇 0〇 〇 υ-ϊ —j 0〇 N> 〇 〇〇 v-o 0〇 0〇 σ·' 〇〇 ΟΙ 0〇 DO oo CT' OO 〇 12.1 X 10-3 Torr 1 2.1 x ΙΟ'3 Torr 2.1 x 10'3 Torr 1_ 2.1 x l〇-3 Torr 2.1 x l〇-3 Torr 2. 1 x 10·3 Torr 2.1 χ ΙΟ'3 Torr 2.1 χ ΙΟ'3 Torr 2.1 χ 10'3 Torr 2.1 χ ΙΟ'3 Torr 2.1 χ 10'3 Torr 2.1 χ ΙΟ'3 Torr 圃 80% N./20% Ar 80% Ns/20% Ar 80% N./20% Ar 80% N./20X Ar 80¾ N./20X Ar 80¾ N./20X Ar 80¾ Ν./ 20% Ar 80¾ Na/20% Ar 80¾ Na/20% Ar 80% N„/20% Ar 80¾ N2/202 Ar 80¾ Na/20% Ar 處理氣體重量比率 唞一 (醸) (钭賧a^lR躲®薪苹) (镞皤砘=320 Di/冰霾) t 裝 訂 ^線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 35 A7 B7 五、發明説明（ I»诰07/87HR0的韭》處揮塗砷迪 向靶Ι\-Ρ3的«能和區域3的大氣加Μ調整後，在3.2 厚的透明浮動玻璃底材上製成条列號07/ 876,350的五 層非熱處理的塗覆玻璃。 經遇區域1和2的07/ 876,350玻璃之可見光透過率 分別為87.596和82.3%。在匾域3的濺射塗覆金靨晒後， 玻*的透光率為56.1% (相對的，本發明的塗覆玻璃為53.0 %)。經過區域4和5後玻璃的可見光透遇率分別為69.3 %和77.2%。 生產07/ 876,350玻璃的加工條件如下。 ----------^------1Τ------i - - ( f (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 36 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 五、發明説明（） A7B7 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 蒯 ο-ϊ to Η- 链 Μ 0〇 4^ '〇0 DO to 1—* (—* 菡 7 "Τ3 <~h Η» r*- Η* C+- 一 Γ Γ Γ+- Γ Γ*~ c-*- r f+ c+· (33) (16) (31) Μ 一 α m Η—* ι—* Ι>0 ts> OJ UJ U) 私 Ο ro \〇 X X LTI --3 Ο ΟΟ UJ to ο X X \D \Ω OJ OO OJ Ο Η-» Μ w uj -si 办 ο X X 办 私 CO 办 X X 4^. I—» 私 N) 办 U1 菡 οι to ΟΟ U) U1 CO 办 to -^Ι -0 ΟΟ OO OO 〇〇 0〇 X X ON Η-* ΟΟ \〇 Κ-* cr^ U1 X X I—* >—* CO 1—» o 1—k m Η-* Η-» Η-» to DO DO to CO CO 00 CO N> DO to CO VJI \J\ )-—* H-* Η-» 1—* Η-* ο ο 〇 〇 o o X X X X X X X X X X X X X X X 阚 Ο 1 U ㈠ t—* ο 1 U >—3 Η-* Ο ι ω —3 Η-* ο 1 U —3 Η-* Ο 6» Η-1 ο 1 <ύ —9 (--* ο 1 ω -β Η-^ ο ι U •—9 Η-^ ο 1 U —3 I—1 ο 1 (ώ -β Η-* ο t U •—3 1~~^ o 1 u —3 h—* o 1 (—* o t u —9 Η-» o * u Ο 气 Ο —ί Ο Ο Ο 气 Ο 气 Ο or r Ο ο •-J —ί Ο 1 〇 o or r o U1 U1 0〇 οο ΟΟ ΟΟ οο ΟΟ ΟΟ ΟΟ oo oo oo OO 躲 ο ο ο ο s-e ο ο ο ο ο ο ο o o a-e o o ω rm ζ 之 ζ 之 2： 22： 之 2： z m Μ \ Μ \ •θ \ Μ \ 10 \ •0 \ Μ \ Ν \ Μ \ 10 \ Μ \ H \ M \ M V N V 雕 \ VJ1 \ U1 \ U1 \ οο \ DO 、 CO \ CO to CO \ DO to \ K> X DO ' CS^ ' DO llnril 卿 ο ο ο a^e ο Ο ο a-e ο ο δ-5 ο 3^ Ο ο a-e o o o δ-« o _ > 3> 3> > > > > > 3> D> > 3> > > ΓΓ (07x876,350味鑛器澇躲猫睬細铤癍3新瞄薪有) (镰»砘=320尽/冰鄰) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 37 五、發明説明（ 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 n 4： 晒 m H-* 1—* 1> 1—* 菡 ω 〇 Γ*- w (0 r*- M 0D <r*~ K •4 r+ M 9) (H- M 01 f-t- M r*· n u r*- M •3 r+* M 一 <-+ •0 o r*· M ιβ m 'sD 0〇 CTv QO OJ \Ω 私 to Ο U1 OJ r Ol 0〇 \P to o 〇 0〇 444 i 439 420 436 ! 435 438 410 436 417 435 432 437 陰極伏特i 0〇 0〇 0〇 0〇 OJ 0〇 IS^ o 0〇 OJ 〇〇 0〇 ON 0〇 U1 so 0〇 OJ to 〇〇 0〇 私 〇 〇 m to h—* CO — DO h-* IS) ►—* to H-* — to t—» to H-* to 1—» N) t—1 to H-* to 1—* X X X X X X X X X X X X 88 ο I o 1 H-* o 1 — o I H-* o 1 h—k o f — o 1 h—* o 1 1—k 〇 1 — o 1 t—* o » h—* o 1 3 Torr 3 Torr 3 Torr 3 Torr 3 Torr 3 Torr 3 Torr 3 Torr 3 Torr 3 Torr 3 Torri 3 Torr & 80¾ 80¾ 〇〇 o δ-? 80% 0〇 o 80% 80¾ 80¾ 80% 0〇 o 807. 0〇 o m Λ* rRS m 酿 hnrii 哪 _ Ns/ 20% 2E N \ DO 〇 z: •a \ N> 〇 s-e 2K M \ CO o e \ CO o M \ DO 〇 S-? Z to \ CO o N,/ 20% 2： M \ DO 〇 z to \ oo o =2S M \ to o s-e 2： H \ to o 3> > > D> > > > 3> 3> □> > 规 2 (07\〇〇76,350WH雏缕鞠瞄隊鎇鵁癍3挪瞄薪苹) (缩陈砘=320 ϋί/φ® ) , 裝 訂 7~各- ( { (請先Η讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 38 A7 B7 五、發明説明（） 從上列表1和2可見，07/ 876,350的非熱處理塗覆 玻瑰和本發明的可熱處理塗覆玻璃可Μ在同一濺射塗覆機 中一掴接一備連續生產，只需調整區域3的霣能和氣«參 數。不需更換靶，而區域1、2、4和5也無需更改。 另外可以調整對靶FS和？3的霣能至2.30仟瓦來生產07 / 876,350的濺射塗覆，使製得的下面和上面的Ni : Cr層 皆約為7 A厚。 08/ 102,281可熱處理的塗覆玻璃，因它有Si3N4，錁 絡等層狀體条，也可用上述的濺射塗覆機連續生產，只要 調整至適當的電能量和濺射塗覆檐的大氣。例如，可Μ關 閉Ρ»的霣能，和在匾域3中用95%Ar/ 5 %08大氣，壓力 為1.5X10-3 Torr。如此藉調整濺射g覆機至適當之電能 量，可製得08/102,281的可熱處理塗覆的玻璃，它 基本上包括一層狀鼸条，從底材向外: Cr/ Si3N* 〇 前有抟術（“STD”）形成 第2國的前有技術（“STD”）Airco玻瓌物臁之形成 如下。 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製 在形成“STD ”前有技術之塗覆玻璃物體，在區域1 、2、4和5中的靶（1-111和1：1»-3。）是Airco管狀添加鋁 的矽（SU靶（t丨-〃和七丨s-3n>。靶Pi (31)和P3 (33)是平 面的，重董比率為80%Ni和20%Cr的靶。靶P8 (16)也是 平面的，但為銀（Ag>。所用的透明浮動玻璃底材G是習用 的納妈石英浮動玻91，由Guardian Industries Corp.裂 39 (請先W讀背面之注意事項典填寫本頁) 本紙張尺度遑用中國國家橾率（CNS ) A4规格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（） 造的，厚度為3·!»。所用的線速度為345时/分鏟。在區域 1-2和4-5中的壓力維持於2.5X 10_3 Torr。在逭些匾域内 使用100%Na大氣。在匾域3中維持K力爲2.〇x 10·3 Torr ，並使用100%氬（Ar)大氣。 结果的塗覆玻瑰物《I之靥狀釅糸是從底材G向外*基 本上包括：約325A厚之Si3N*底塗層；約7 A之第一NiCr (錁鉻）β ;約70A厚之銀層；約7 A厚之第二NiCr層； 約450 A厚之表塗Si 3 N*層。對各靶所供應的《能如下： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 線 經濟部中央梯率局貝工消費合作社印製 4U - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 五、發明説明（ A7 B7 弄3 STD” 匾域 1-5) 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 匾 域 靶编號U) 安培（A) 電能（仟瓦） 1 1 80 2 80 3 80 4 80 5 80 6 80 2 7 80 8 80 9 80 10 80 11 80 12 80 3 31 3.8 1.5 16 18.4 8.1 33 3.8 1.5 4 19 135 20 105 21 125 22 125 23 105 24 25 5 25 125 26 120 27 50 28 110 29 110 30 80 ---------t-------ΐτ------.ii --- { ( (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逍用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 41 - 41 3ϋ2ύ〇0 A7 B7 五、發明説明（ (結果之比較） 靥狀賻备 片型18阻（Rs) (敢杻/平方） 透過率（正交的） Ε,η 本發明 (例1 > (熱處理前） 本發明 (例1 > (約1229T 16分鏟坡道 週期熱處理後） w STD，， (無熱處理） 14. 10. 15. (結果之比較） 15 11 • 16 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) «狀鏘备 m导来播渦銮 玻璃鑭反射率 (R ) 薄禊侧反射率 fR ) Y = 71.09¾ 9.68¾ -2.67 -6.77 Y = 3.373； ah = 0.70 -7.45 本發明 (例1 ) (熱處理前） (111. C 10° obs.) ah 本發明 (例1 ) (熱處理後） Y = 76.08X Y = :8.602 (111. C 10° obs.) ah = =-2.19 bh = =-8.09 h h Yab

• o 9 3 1 I 8 經濟部中央橾率局貝工消費合作社印製 “STD” (例1 > (無熱處理） Y = 76.45% Y = 8.26¾ Y = 5.09¾ (111. C 10° obs.) an = -3.25 an = -1.76 bh = -9.88 bh = -6.95 07/876,350(例 1 > (無熱處理〉 Y = 76.5¾ Y = 8.65¾ (111. C 10。 obs.) an = -1.80 bn = -8.0 γ h h a b

% ο ο ο · 8 5 1 • 1χ 5 0 I 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 42 五、發明説明（） A7 B7 上列表4和5W明了本發明塗覆玻璃輿示於第2圓的 前有技術戍^<；〇產品<<510”塗覆玻瓖物讎和07/ 876,350 非熱處理低-E塗覆玻瓌的比較结果。從表4可見，本發明 之可熱處理塗覆玻璃物臞經熱處理後，其Ε»和Rs比前有技 術“STD”玻《的願著降低。必須記住，“STD”玻瑱是非 熱處理的。表5說明“STD”玻瑱和本發明的塗覆玻璃物 龌有明顯不同之光學特性。從表5看出，本發明的塗覆玻 璃物醱經熱處理後，其反射率Y、反射的顔色和bh 、片型霣阻R*和發射率£„，與条列07/ 876,350的五層塗 覆玻璃之上述性能是十分相似和基本上相配的。 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 本例揭露了依照本發明生成另一可熱處理的塗覆玻》 物黼，如下。 一3.2ββ厚之透明玻璃底材G由傳送機傅送經過如第1 圔的Airco濺射塗覆機，其線速度爲320吋/分鐘，各匾域 Μ習用形式的簾/牆分隔。底材G進行經過區域1，其中 的處理氣釅雒持於2.0Χ10-3 Torr，乃80%Ν·和20% Ar之 混合物。區域1的三傾陰棰（未示出）之操作電能之設定 如下表中所示。各陰極有二値可旋轉的矽靶。 然後玻璃移入區域2，其中處理氣體是80%Na和20% Ar之混合物，但壓力維持於1.5X10 3 Torr。 玻褒繼續進入區域3中，其中處理氣*是l〇〇90Ar， 壓力維持於1.5X10-3 Torr。在區域3中用三隹平面靶（ FS-P3)，其中第一和第三（PdnP3>是80-20錁-絡合金（鍊 I n n 装 訂 線•-- ( ( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） 43 A7 ____B7_ 五、發明説明（） 絡），而第二（P,)是一銀（Ag)靶。 然後玻璃移入區域4-5，各匾中用六雇可旋轉Si«, 和三值對應之陰極。在匾域4和匾域5中的處理氣膿是80 %N«和20%Ar，壓力分別维持於2.0X 10_3 Torr和2. IX 10'3 Torr 〇 區域1的Si3N4層是濺射塗覆至其厚度是Μ將玻璃之 可見透光率降為89.0%。匾域2之Si3N«層則将玻璃之可 見透光率降爲82.1%，而匾域3金屬靥使可見透光率降爲 53.8%。區域4和5之SUN*靥則使可見透光率分別升至 62.0%和72· 2%。本例之通域1-5處理條件列於下表6中 I II I 裝 訂 線 - ί ί (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央梂準局貝工消费合作社印製 本紙張尺度逍用中困國家標準（CNS ) M规格（2丨0X297公釐） A7 B7 五、發明説明（ co 晒筠 經濟部中央標準局貝工消費合作社印策 游 oo —a ON ΟΊ U1 UJ CO CO t—* H-* m -σ r*- C+- r·- r <r*~ Γ r*~ r rt- r*· •a e m H-* U) VJJ ON '•W 1—* — X X to sD to OJ N) to OO υ-> to to >x> CO OO υο to to 0〇 丰 CT' U1 v^> OO \D Ul o —J U> 私 M 游 υι) 各 私 Ol) 么 办 如 4^. \-〇 m ON o X X t>o v£> U1 o CO 1—k o 1—* o oo to to o sD CO OO *<1 o H-* OO ro o X X CT' UD Ui ON U) CT' ON \j} U1 ON ON VJL) CTv ON • 〇 VJl as OO CO L71 H-* OJ oo H-fc 葫 t—k I—k H-* ►—* — i—* 1—* ►—* h-^ to to CO OO to to U1 Ό1 ΟΊ Ol KJ\ i^Jl U1 o o o 〇 o o X X X X X X X X X X X X X X X m 1—k o 1—» 〇 ►—» o 1—» o H-* o h-* o l·—* o o 1—* o H-k o j—* o H-* o 1—* o t—* o t—k o u u ω w u u ω u u u ω u Q u u *-3 -H —3 —3 •—3 ^-3 ㈠ ㈠ ·—i o O O O o O O 〇 〇 o Ο o o o o «-t hj •t 气 气 卜* -( -t 气 >-t •t •n ·-* ·-( *-i -* I—* 1—* 0〇 0〇 0〇 OO o〇 0〇 oo OO oo OO 〇〇 OO m 〇 〇 〇 o o o o O o ο o o o o 強 〇 〇 o s-e a^c i^€ s^e 之 z z a= z a= z z 2C z m > 3> 3> M \ M \ to \ M \ H \ n \ ·» \ 10 \ e \ as \ ta \ n \ 酿 ts> N> N> K> CO to CO Cs> OO K) IS) iwn o o o 〇 o o o o o o o o _ s^e s-e a-« > D> > D> 3> > > > > 3> 3» > cF m (銮2 51麻瞄蔌莽) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 45 A7 五、發明説明（ 經濟部中央梂準局貝工消費合作社印製 晒 1—^ 1—* H-» 1—* 餹 r^· U 〇 r*· •8 (S r»· 10 ep r*~ M C+- 10 0) r»- 10 9 r+* 10 «k r·*· 10 u r*~ 10 •0 r·" n ** r*~ Κ» o r»- N* 0) m o U1 H-k υα 〇s U1 UJ 0〇 UJ Η-» 〇〇 〇> 各 X Ui 丰 Μ 446 431 433 419 425 433 438 457 460 431 X 436 陰極伏特 —J CT> 0〇 •<1 ON ON U1 VJ1 -0 H-^ 0〇 -4 \sD ts> oo -v] OO 0〇 X OO 〇 o m 2.1 x ΙΟ—3 Torr 2. 1 x 10—3 Torr 2.1 x 10'3 Torr 2.1 x 10'3 Torr 2.1 x 10'3 Torr 2.1 x 10'3 Torr 2.0 x 10'3 Torr 2.0 x 10'3 Torr 2.0 x 10'3 Torr 2.0 x 10"3 Torr 2.0 x 10"3 Torr 2.0 x 10'3 Torr m d- 80% N./20% Ar 80¾ Ne/20% Ar 80% N./20% Ar 80X N„/20% Ar 80¾ Ν,/203： Ar 80% NB/20S! Ar 80% N./20? Ar 80% N./20% Ar 80% N./20Z Ar 80% N./20% Ar 80% Ν,/20% Ar 80¾ N./20X Ar 處理氣體重量比率 mR (瞄) (銮2N·麻瞄寤卒) 裝 訂 線 厂 < ( ( (請先閱讀背面之注意事項-#填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 46 五、發明説明（ A7 B7 例2的塗覆玻璃物羅經1229T 16分鐘坡道迪期之熱處 理後，具可見光透過率（111. C 10° obs.)為77.7%，片 型電阻（Rs〉為10.3 ohas/sq。同樣地，本例經熱處理的 玻璃有下列光學特性： 玻麄《反射蛮（D Y = 7.49% ah = -1.57 bh = -8.94 蕕鱒砭射盅 所聖 Y - 3.41 上f a· b. 0.28 -9. 16 鋰濟部中央標率局貝工消费合作社印製 本發明之塗覆玻璃物體也具“耐久性”和“抗化學性 ”。依照本發明在上述例1和2中所形成的產物之抗化學 性經Μ物_的2”X5”試樣在約500 cc的5%HC1中煮沸1 小時（約220A)來測試。在此一小時煮沸後若無顯示有 直徑超過0.003”之針孔的，就視為“通過”此試驗。依照 本發明在例1和2中所形成的塗覆玻《物*在熱處理前和 各以下列熱處理（a> 685Ό ( 1265A) 5分鐘；（b) 465Ό ( 1229T)坡道通期16分鐘；和（c)在檷準煅燒爐中熱處 理之後，皆“通過”此項抗化學性試驗。 本發明例1和2的塗覆玻璃之“耐久性”在熱處理前 和後Μ—習用的Taber磨蝕機在4”X 4”產品試樣上，Μ 500 克重量各連於兩傾C.S. 10F磨損輪上，Μ100次轉動來測 試。Μ肉眼在可見光下觀察，基本上無可見的刮痕出現， 就被視為“通過”此試驗，而產品也被視為是耐久的。例 1和2的塗覆玻璃物鼸在熱處理前和後皆“通過”此項耐 久性测試。 I —— I I I I I 裝— I I I I I 訂— I I I I I 線- (^ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -47 - 47 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印策 五、發明説明（） 從Μ上二例可見，只要將Airco第2圓之前有技術塗 覆玻璃之較下錁底（或錁鉻）層（或条列07/ 876,350的 較下錁或錁鉻層）加厚（約3倍），結果之塗覆玻瑰物鱺 是既能熱處理，又在熱處理後有“低-E ”（En<0.12)。加 厚較下錁（或錁鉻）層之另一未預料的後果是熱處理Μ後， 結果之塗覆玻璃物體有理想之光學特性，它與07/ 876,350 "低-E”非熱處理塗覆玻璃物體的特性基本上相合。 07/ 876,350的上述“低-Ε”玻璃物體之層狀«条與 本發明的層狀醱条是十分相似，除了在本發明中較下的錁 底層加厚和銀層稍減薄。因此，本發明的一傕方面是加厚 非熱處理“低-Ε”塗覆玻瑰物體的至少一層（因而創造出 一“不同的”層狀體糸和玻璃物《 *如在本文所定義的） ，就能創造出一塗覆的玻璃物《，它是：（a)可熱處理的 (例，煅煉、彎曲、熱強化、等）；和（b)經熱處理後具 光學特性（例，顔色、En、等）與原來的非熱處理“低-E ”塗覆玻璃物讎之特性基本上相配。 本發明上述之方面可應用於不同的“低-E”玻璃。例 如，07/ 876,350的七層非熱處理低-E玻璃也能按照本發 明使之相配。例如，依照本發明的教導，將這t層層狀體 糸之第一濺射塗覆的錁底層加厚，可製出一 “不同”的觸 狀體条和玻璃物髏；其結果是一可熱處理的塗覆玻璃物體 ，當它經熱處理後，具光學特性舆非熱處理七層“低-E” 塗覆玻瓖物體的特性基本上相合。 經提出上述掲露，對技術工人而言，許多其它形態、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4规格（210X297公釐） 48 ----------1------ir------A - ' _ { (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（） 改變和改良皆爲顯而易見的。這類形態、改變和改良因此 被視為乃本發明的一部分，其範围可由下列申請專利部分 所決定。 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項4填寫本頁) 經濟部中央標準局貞工消費合作社印製 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐）

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 & >1 π 六/申請專利範圍 第83109182號專利申請案申請專利範圍修正本 修正日期：85年10月 1. 一種可熱處理的塗覆玻璃物黼，它具一濺射塗覆的 層狀《条，從玻瓖向外，在其上包括： <a> —第一層SUN*，其厚度約爲350-450Α ; (b〉一第一層錁或錁鉻*其厚度大於20A ; (c> 一層銀，其厚度約為50-120A ; (d) —第二層鐮或錁鉻*其厚度至少約7A; (e〉一第二層SUN*，其厚度約為450-550A ;而其中 該塗覆玻璃物蠢中該玻璃是厚度約爲2.5-3.5··的透 明玻班時，經熱*理後具下述特撖： 透光率（111. C 10° obs.) 約 76-78% 片型18阻<R*) 小於約12 oh«s/sq. 發射率，正交的（Eb> 小於約0.12 發射率，半球狀的（E-> 小於約0.16。 2. 依據申請専利範園第1項之玻璃物驩，在熱處理Μ前 ，其正交發射率（Ε„)約為0. 15或Μ下，熱處理Μ後， 約為0.11或Μ下；而其中該半球狀發射率（Ε-)，在熱 處理Μ前約小於0.18,在熱處理以後約小於0.14。 3. 依撇申請專利範蘭第1項之玻璃物體，其中第一 Si 3Ν« 層之厚度約為375Α，而第二Si3N·層之厚度約為500 A ° 4. 依據申諝專利範園第3項之玻璃物醱，其中銪層約75 A厚。 5. 依據申請專利範園第1項之玻璃物釅，其中第一雔射 塗覆的錁或錁絡層厚度約為第二鍊或錁鉻層摩度之約 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装- 訂 經濟部中央揉準局負工消费合作社印製 50 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 三倍。 6. 依據申請專利範醑第5項之玻璃物讎，其中第一鍊或 錁絡雇約20-50A厚，而第二錁或錁絡層約7-15厶厚。 7. 依據申請專利範園第1項之玻璃物K，其中該層狀鼸 条基本上包括該五曆，且該濺射塗覆的物腰是耐久的 和抗化學性的。 8. —種連鳙生產至少兩種灞射塗覆的玻瓖物鼸之方法， 它們在至少一値陽光支配特性上，在它們分別能與不 能經熱處理上，或此二方面，彼此間有實質上的差異 *在各玻璃物讎上該覼射的塗覆包括許多覼射塗覆層 ，因而形成一《射塗覆釀条，包括SUN*和一錁/絡 組分，步明包括： U)提供一濺射塗覆機它設有多重大氣區域，其中有 眾多靶，爲在一第一玻瑰物體上生產一第一層狀 鼸条，其中實質上所有該《和S域都用於生產該 第一層狀鼸条， <b>用步骤U)所提供的設備來灑射塗覆第一層狀鼸 条至該第一玻璃物釅上； 經濟部中央揉準局属工消費合作社印裂 ----:-----^ 农-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (c) 此後，改變重量（a>的設備，但不增加或取代任 何該眾多的靶，也不需增大或滅小該大氣匾域的 大小，提供的設備乃在一第二玻璃物黼上製造一 第二層狀饅条，因此，基本上所有該些靶和區域 均用於裂迪該第二層狀體条，和 (d) 此後，使用步《(c)所提供的設備，在該第二玻 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) ‘V»規格（210X297公釐） 51 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 璃物鼸上灞射塗覆第二靥狀臁糸》 9.依據申請專利範園第8項之方法，其中該黷射塗覆機 包括約30®或少於30僮靶，和約6傾或少於6値大氣 區域。 10. 依據申請專利範蘭第8項之方法，其中只有一fi該» 射塗覆的玻璃物黼是可熱處理的*但當它經熱處理後 *兩個該塗覆玻璃的玻璃物鼸基本上有相同的隈光支 配特性，逭些特性由可見光透遇率、顔色和發射率所 定義。 11. 依據申請専利範園第10項之方法，其中該可熱處理濺 射塗覆的玻瓌物羅在熱處理Μ前基本上有相異的限光 支配特性，即由可見光透遇率、顔色、或發射率中至 少一値來定義。 12. 依據申請專利範園第11項之方法，其中該可熱處理的 濺射塗覆的玻璃物豔在其上黷射塗覆成一層狀黼条， 從玻璃向外，它包括： U) —第一 具厚度約爲 350-450Α ; (b> —第一層錁或鍊絡，具厚度大於20A ; (c) 一層銀，具厚度約爲50-120A ; <d) —第二靥鍊或鍊絡，具厚度至少約7A ; (e) —第二；BSi3N*，具厚度約爲 450-550A ; 當該玻璃是透明的，並具厚度約爲2.5-3. 5ι·，該塗 覆的玻璃物讎在熱處理後》具下述特性： 逋光率（111. C 10° obs.) 約 76-78% 本纸張尺度逋用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 A8 B8 C8 D8 小於約 12 ohms/sq. 小於約0.12 小於約0. 16。 申請專利範圍 片型電阻（R，） 發射率，正交的（E„> 發射率，半球狀的（Eh) 13·依鐮申請專利範圍第12項之方法，其中當該玻璃是透 明的，具其厚度約黑2.5ib-3.5db，該可熱處理濺射 塗覆的玻璃物鼸在熱處理前具下列特性： 透光率（111. C 10° 〇bs.) 約 70-73% 片型電阻（1^*〉 約小於15.0 ohns/sq. 發射率，正交的（En> 約小於0. 16 發射率，半球狀的（Eh> 約小於0.20。 14. 依據申請專利範園第13項之方法，其中該第一»射塗 覆的玻璃物讎是非熱處理的，並在其上篇射塗覆一層 狀《糸，基本上包括下列各層：從玻璃向外，Si3l /Ni : Cr/Ag/Ni : Cr/SiaN« ;而其中當該玻璃是 透明的，且其厚度約為2.5ai-3.5··，該第一玻璃物 臞具下列特性： 透光率（111 . C 10e obs.> 片型霣阻（R*> 發射率，正交的（En> 發射率，半球狀的（Eh) 15. 依據申請專利範園第14項之方法，其中二β該《射塗 覆的玻褒物醱是抗化學性的和耐久的。 16. 依據申請專利範園第10項之方法，它包括在該層狀體 糸上《射塗覆後的進一步熱處理該可熱處理的濺射塗 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） m 1^1^1 ^^^1 n —^n —an m n^i mr B^IB—、一 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 約大於76% 約小於 12 ohas/sq. 約小於0. 12 約小於0.16。 53 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 覆的玻瑭物tt之步朦*該熱處理包括將該可熱«理的 濺射塗覆之玻璃物錶加熱至租度約1150"F-1450°F， 時間超過約5分瞳，並思滅該玻瓖物鼸一段時間，並 使其溫度是足Μ煅煉該玻璃物體的。 17. 依據申請專利範園第10項之方法，它包括在該層狀醱 条上灞射塗覆後進一步熱處理該可熱處理的灌射塗覆 的玻《物鐮之步該熱處理包括將該可熱處理的濺 射塗覆玻璃物體加熱至一温度，並有足夠長的時間， 賦予該玻瓖物羅可彎性*此後在該玻》可彎的情況中 将之彎成預期的形狀。 18. —種在一玻璃底材上生成一熱處理的、薄的、耐久的 、陽光支配的靥狀讎条之方法，包括下列步*: U)在一含*大氣中濺射塗覆一底塗層SiaN4; (b>在一含情性氣醍之大氣中濺射塗覆一第一層錁或 錁絡，該第一鍊或錁絡靥至少約爲20A厚； (c>在一含惰性氣黼之大氣中濺射塗覆一層銀； (d>在一含惰性氣讎之大氣中級射塗覆一第二層錁或 錁絡，該第二層鍊或鍊絡約爲7-15A厚； 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 丨 — I 11 11 I J ^ n 11 n 1.1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (e)在一含《大氣中》射塗覆一表塗層Si3N*;且以 後 熱處理該塗覆的玻璃；當該玻璃底材是透明玻璃，其 厚度約為2.5-3.5··時，經該熱處理後，該熱處理的 、濺射塗覆的玻瑱具下列特性： 透光率（111. C 10° obs.) 約 76-7896 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央揉準局另工消費合作社印製 bI C8 D8 々、申請專利範圍 H型霣阻（R*) 小於約12 ohms/sq. 發射率，正交的（En) 小於約0.12 發射率，半球狀的（Eh) 小於約0.16。 19. 依據申請專利範匾第18項之方法，其中該熱處理是選 自煅煉、彎曲或熱強化。 20. 依據申請專利範圍第19項之方法，其中該熱處理步》 包括將塗覆玻璃加熱至粗度約爲1150T-1450T來加 以煅煉，此後熄滅它，加熱及熄滅的步驟皆有足夠長 的時間來煅煉該玻璃。 21. 依據申請專利範園第19項之方法，其中塗覆的玻璃是 加熱至一租度和一足夠長的時間，Μ賦予該玻*物鱧 可彎曲性，此後在該玻璃可*條件中將之《成預期的 形狀。 22. 依據申請專利範围第18項之方法，其中該灞射塗覆是 在一彼此隔離的多楢匾域中進行，而其中藉濺射塗覆 生成低塗層和表塗層SiaN*的步嫌是在至少二籲分離 B域中進行，各籲大氣是基本上含約80%Na和約20% Ar，而其中生成錁或錁鉻層及銀層的步骤是在同一值 域中進行，而其中在該相同B域中進行的«射塗覆是 在基本上含下列中之一棰大氣中進行：（a)實質上為 100%Ar;和（b)約 95%Ar 和約 5%0«。 23. 依據申請專利範園第18項之方法，其中該底塗SiaN« 層約為350-450A厚，和該表塗Si3N4)l約爲450-550 A厚° 本紙張尺度遑用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----^—.---;裝-----.—訂—-----^ .i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 55 經濟部中央標準局WC工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 24. 依據申請専利範園第23項之方法，其中該底塗Si 3N< 層灑射塗覆至厚度約爲375A，而該表塗Si3N«層濺 射塗覆至厚度約為500A。 25. 依據申請專利範園第18項之方法，其中只有單一層銀 層，該銀層具厚度約為50-120A *而其中該第一層錁 或鍊絡之厚度約為第二錁或錁絡層厚度之三倍。 26. 依據申請專利範園第18項之方法，其中該第一錁或錁 鉻層約爲20-50A厚，而該第二錁或錁絡層約為7-15 A厚。 27. 依據申請專利範園第18項之方法，其中塗覆的玻璃經 該熱處理後，其片型霣阻（Rs>約為11歃姆/平方，或 以下，其正交發射率（En>約為0. 11或Μ下。 28. —棰將一可热處理、期射塗覆的玻璃之至少一俪陽光 支配性質藉熱邂理該塗覆的玻璃物體轉化至一預遘擇 程度之一方法，其步驟包括： <a)在一玻璃底材上期射塗覆以裂造一可熱處理的塗 覆玻谪物讎*從底材向外有： (1 > 一第一 Si3N4 觸； (11) 一第一鍊或錁絡層； U >—銀層； (iv)—第二鍊或錁絡層；和 (v〉一第二 Si3N*li ; (b)熱《理該塗覆的玻璃物體，因此明顯地改變遘自 可見光透過率、發射率或顔色中的至少一個隔光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 -訂 -56 " 申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 支配特性；和 其中，當底材是約為2.5-3.5··厚的透明玻璃時，該 结果之塗覆玻璃物黼經該熱處理後有下列特性： 透光率（111. C 10° 〇bs.) 大於約7696 片型霄阻（Rs) 小於約12 ohis/sq . 發射率，正交的（En) 小於約0. 12 發射率，半球狀的<Eh) 小於約0.16。 29. 依據申請專利範園第28項之方法，其中，當該底材是 厚度約為2· 5-3.5b«之透明玻璃時，該濺射塗覆的玻 瓖在熱處理前有下列特性： 透光率（111. C 10° obs.) 片型霣阻（Rs) 發射率，正交的（En) 發射率，半球狀的 30. 依據申請專利範園第29項之方法，其中該熱處理後之 該E-是小於約0.11，而其中該Ε»在熱處理前約爲0.14 ，和其中該熱處理後之該半球狀發射率（E«J是小於約 0.14，而在該熱處理前則約為0.17。 31. 依據申請専利範園第29項之方法，其中該熱處理步» 包括煅煉該灌射塗覆的玻璃物體。 32. 依據申請專利範園第29項之方法，其中該第一鍊或錁 絡層約爲20-50A厚，和該第二錁或錁路層約為7-15 A厚。 33·依據申誚專利範園第32項之方法，其中該銀層約&75 約 70-73% 小於約 15.0 ohis/sq. 小於約0. 16 小於約0.20。 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ‘裝. I.訂 57 ^02850、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 A厚，該第一 SUN*層約爲350-450A厚，而該第二 Si3N* 層約為 450-550A 厚。 34.依據申請専利範圍第32項之方法，其中該第一錁或錁 鉻層約為45A厚，而該第二錁或錁絡層約為15A厚。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· --訂 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 58