TW300314B - - Google Patents

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Α7 Β7 五、發明説明（1 ) 發明之背景 本發明，係用Μ控制複數電力使用系統之動作的装置 及使用此裝置之控制方法，使用於半導體晶圓等被處理體 實施所需處理之處理裝置等。 一般而言，對於半導體晶圓或LCD基板等之被處理體 ，實施氧化處理，或形成擴散層、矽氧化瞑、矽氮化膜等 ，或在實腌等離子區處理時，係使用各種熱處理装置或等 離子區處理裝置。 通常，對於晶圓或LCD基板將所需處理為了依順序實 施使製品完成，係準備複數個同種或異種之處理装置，並 且為了使總處理量提高，使此等之各處理装置以並聯性動 作。對於晶圓或LCD基板等，係主要進行熱處理或等離子 區處理，所以各處理裝置係消費較多量之電力。而且，對 此等用Μ供應電力之電力供應源係較為昂高*所Μ由1台 之電力供應源在所容許範圍內儘可能供應電力於更多台數 之處理裝置*藉此成為儘可能減少電力供應源之使用台數 〇 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 (請先閱对背面之注意事項再填^..頁) 但是，使用各處理裝置所消費電力，係其裝置正在運 轉之間，經常並非固定，藉由處理之態樣，而且、1個之 處理（製法：recipe)係由多數之步驟所成立，所以由於其 步驟消費電力也迴然不同。譬如，Μ熱處理裝置為例，在 移載到晶圓之晶圓舟皿時則消費電力係不必要很大，但預 定處理爐之處理溫度，譬如昇溫至1 ο ο ο υ時則必須最大之 電力。而且，各處理裝置係其相互間之管理則一般而言係 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS〉Α4規格（210Χ297公釐） 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 A 7 _ 五、發明説明（2 ) 不進行。而發生處理指令則成為依順序將預定之步驟實行 下去。 如此，對應於正在實行處理之步驟種類而使用電力也 不同，但正維持複數處理装置之電力供應的電力供應源之 電力供應量超過容許電力則使保護電路等動作而會遮斷電 力之供應。如此之電力供應遮斷，但在某步驟之實行中發 生，則將該時處理中之被處理體做為製品有可能成為不能 使用。因此，必須避免急剌之電力供應的遮斷。 因此，先前，係將連接於1個電力供應源之處理装置 的名數，加以相當的減少而對於容許輸出電力採取很大限 度（剩餘），不得不確保其安全性。 因此，將電力供應源之設置台數不得不多於必要以上 ，所以引起處理裝置全部成本的提高。又、譬如由於雷擊 等一旦發生停電之後，在罨力供應復原之時，則各處理装 置一起Μ最大動力用K開始昇溫操作到預定之保持溫度為 止，所以該情形也同時大霣之電力被消费，而維持必要之 電力供應會成為不足。 特別是，在最近，用Μ防止對被處理體之自然氧化膜 的附著等目的正在開發著處理爐可Μ高速昇溫及高速降溫 之高速昇溫處理裝置。該高速昇溫處理装置，係在昇溫時 消費非常大的電力，譬如對於先前裝置在昇溫時使用40KW /小時之電力消費，但Κ該高速昇溫處理装置卻成為70KW /小時之電力消費，因此，將如此之處理装置加Μ連接於 複數台1個之電力供應源，則會有容易超過容許輸出電力 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

B7 A λ發明説明（3 ) 之虜，希望能儘快解決上述之問題。 本發明，係著眼於如Μ上持有先前之電力糸統之動作 控制的問題，而將此有效加Κ解決所創作者。本發明之目 的，係提供複數電力使用系統之動作控制装置及使用其装 置之動作控制方法•將複數電力使用系统酌量全體之電力 使用費•可Μ有效加Μ管理。 發明之要首 本發明，係為了解決上述之問題，在動作控制装置及 使用該裝置之動作控制方法中設於電力供應系統在複數電 力使用系统由1個電力供應源用Κ供應電力可Κ決定依存 於外信號是否可Κ動作進行。並具備有：輸出電力檢測部 ，用以檢测由前述電力供應源所輸出之電力；及、比較控 制部，將該輸出罨力檢测部之檢測值及預先所設定之基準 值加以比較並將顯示比較结果之比較信號供應於前述複數 電力使用糸統而做為前述外部信號加Μ輸出；而前述檢測 值超過前述基準值則反應於此使前述比較信號能顯示動作 不許可狀態所構成者。 本發明*係如Μ上之構成*所以由電力供應源之輸出 電力.*係Κ輸出電力檢測部所檢測，而該檢測值Κ比較控 制部與基準值做比較。該基準值，係對應於包含在上述電 力供應源最大容許輸出電力某程度之刺餘值。 因此*檢測值比基準值更小時，則因為輸出電力量有 剩餘，所Μ比較信號係顯示動作許可狀態做為信號所輸出 。相反地，檢測值比基準值更大時，則因為輸出電力量已 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（4 ) 經無剩餘，所Μ比較信號係顯示動作不許可狀態做為信號 所輸出。 在此，係各電力使用系統，譬如半導體晶圓之處理裝 置等，一般而言為了提高使用者汎用性在進行動作之起動 時及製法中實行各步驟時*所設定程序可Μ用Μ參考外部 信號。因此•若使上述比較信號能參考於動作之起動時或 所需之步驟開始時，則在輸出電量無剩餘時（動作不許可 狀態）係停止動作之起動•或、停止步驟之開始成為等待 狀態。 而且，在其他電力使用糸统中完成了處理，或移行到 電力使用量少的步驟，並在輸出電霣產生剩餘時（動作許 可狀態）·則成為迄今為止等待狀態之步驟或成為開始動 作。 在此，做為基準值，將改變電平之複數種類基準值加 以準備，使對應於分別之比較信號能輸出放著，則在多階 段成為可以控制各電力使用系統。譬如，對應於低基準值 之比較信號，係製法之複數措施内，將使用電力最大之步 驟在開始之時能做為參考*另外，對應於高基準值之比較 信號，係電力使用量並非很多之措施開始時，或在其電力 使用糸統之動作起動開始時能使參考即可。 藉由如此之本發明構成，將各電力使用糸铳之動作做 為全體電力消費，但對於霣力供應源不要過度可Μ成為有 效之管理。 圖式之簡單說明 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 _B7_五、發明説明（5 ) 第1画係設於搜數電力使用系統之本發明動作控制装 置之構成圖； 第2圖係顯示使用本發明之動作控制装置用以構成轚 力使用系統之1個處理的各步驟說明圖r 第3圖係顯示第2圖所示實行各步驟時之使用電童的 圖解； 第4圖係顯示使用1個基準值時之本發明動作控制裝 置的圖解； 第5圖係顯示輸出電力及第1比較信號之關係的圖解 » 第6圖係顯示罨力用系铳（處理裝置）之動作流程圖； 第7圖係顯示使用2個基準值時之本發明動作控制装 置之動作流程圖； 第8圖係顯示輸出電力及第7圖所示第1及第2比較 信號之闞係的圖解。 較佳實施例之詳细說明 K下，將有關本發明複數電力使用系統之動作控制装 置及使用其裝置之動作控制方法一實陁例根據附上圖面加 Μ詳述。 第1圖係設於複數電力使用系統之動作控制裝置構成 圖，第2圖係用以構成電力使用系統1個處理之各步嫌說 明園，第3圖顯示第2圖所示實行各步驟時之電力使用量 的圖解。 首先、對於電力供應糸統加以說明，則如第1圖所示 (請先閱讀背面之注意事項再填产.々頁) •裝' 、1Τ 線 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -8 - 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A7 __ _B7^ 五、發明説明（6 ) ，對於1個電力供應源2，係複數，在第1圖所示之例中 係5個電力使用糸統，譬如半導體晶画處理装置 4 A〜4 E通 過電力供應線6M並聯連接著，並對應於此等之各處理装 置4A〜4E的要求成為能用以供應電力。因此，上述電力供 應源2，係可Μ供應最大電力容量，即、具有最大容許輸 出電力，而超過其容量則成為不能輸出。 各處理装置4 Α〜4 Ε，係如前述，對於半導體晶圓為了 實施同種或異種之處理，所Μ做為同種或異種之裝置所構 成。譬如、做為此等之處理裝置，則有等離子區處理裝置 ，熱氧化處理装置，熱擴散處理装置，CVD處理装置、高 速昇溫熱處理装置等按照使用者之必要成為適當組合所使 用。 因此，一般而言，各處理装置，係藉由分別所内藏之 微電腦等之控制部*成為能控制其動作。應處理内容，所 謂製法係預先被程序化並記憶於微電腦等，而接照該製法 進行半導體晶圓之處理。而且，同一或不同之製法係對應 於各處理装置並Μ個別記憶於控制部等。為了用Μ實行1 個處理之製法，通常，係由複數之步驟所構成，而對懕其 步驟電力使用量也變成不同。 在此，舉一例，在高速昇溫熱處理装置中之晶圓氧化 處理做為一製法加Μ說明。如第2圖所示在進行晶圓氧化 處理，係依順序經由：裝置本身之空轉步驟；及、到晶圓 之晶圓舟皿的移載步驟；及、舟皿搬入步驟，將晶圓舟皿 搬入到處理晡内；及、高速昇溫步驟，將搬入到處理爐内 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 之晶圓使用加熱器用以急速昇溫到預定之處理溫度為止； 及、氧化步驟，將晶圓維持於處理溫度之狀態下加以引進 處理氣體等而用Μ進行實際氧化處理；及、高速降溫步驟 ，使處理後之晶圓急速降溫；及、舟皿搬出步驟*將晶圓 舟皿由處理爐加以搬出；及、移載到卡匣步驟，將處理完 成之晶圓由晶圓舟皿取出用Μ移載到晶圓卡匣所簧行，又 再度，成為返回到空轉狀態。 賁行上述各步驟時之電力使用Μ，係如第3圖所示， 在上述處理例之倩形，係在高速昇溫步驟中消費最大之電 力。 將如此之製法使用程序組成時，係將使用者之汎用性 加以考慮而在處理乃至製法開始時及各步驟開始時依存於 外部信號並做為可Μ用以決定是否可Μ動作之進行。在未 輸入外部信號時，當然、動作係成為能直接進行。 又、第1圖所示之各處理装置係4Α〜4Ε，則分別藉由 内藏之控制部以個別獨立所控制著，無闞於其他處理装置 之動作狀態，而處理係依被指令之順序所實行下去。 但是，在如此之狀況下，有時、譬如在幾個之處理装 置中在做為必要最大使用電力步驟做為進行處理，則在電 力供應源2係被要求最大容許電量Μ上之輸出電力，並產 生不能對應於此時。因此，在如此之情形，為了適切用Μ 控製各處理装置之動作進行，所Μ設置本發明之動作控制 裝置，而輸出電力在比預定值更小時，則使各處理装置之 動作進行以獨自個別加以控制。另外，在輸出電力成為預 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -10 -

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 定值Μ上時，則輸出電力成為比再度預定值更小為止，在 新的步驟將進行動作加Μ控制為停止，做為全體輸出電力 不要超過最大容許電量。 具體而言•第1圖所示之本發明動作控制装置8，其主 要構成係具有：輸出電力檢測部10,用Μ檢測由電力供應 源2所輸出之電力；及、比較控制部12,將該檢測值及預 先所設定之基準值加Κ比較並用Μ輸出顯示比較结果之比 較信號。 在輸出電力檢測部10,係將流通電力供應線6之電流 及供應電壓等藉由檢測器14加Μ檢測。該檢測结果，係藉 由内藏於檢測部10之A/D變換器10等變換為數據信號，供 應到比較控制部12。 該比較控制部12,係藉如藉由微電腦等所構成，而在 本實施例係設有第1及第2之比較控制器16Α、16Β。在各 比較控制器16Α、16Β，係設定著不同值之第1及第2基準 值18Α、18Β，並分別成為Μ内藏之比較器20Α、20Β與上述 檢測值加以比較。該情形，在該檢測值比基準值更小時， 則比較信號能變化為顯示動作容許狀態。相對地，則檢測 值與基準值相等，或超過此之倩形*則能變化為顯示動作 不許可狀態，而此等之狀態係Μ信號之低、髙使對應。 而且，對方之值比較結果*所輸出各比較信號2 0Α’、 20Β’係在各處理裝置4Α〜4Ε做為外部信號所供應•並Μ各 處理装置所開始動作時或將特定步驟加Μ開始時做為外部 信號成為被參考。因此，做為比較控制部12,係譬如可Μ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^ 訂 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（9 ) 使用三菱電櫬製之要求監視控制裝置（商品名稱）。 該情形，做為第1基準值，係譬如要設定成為相當於 僅比電力供應源2之最大容許電虽在各處理装置4A〜4E内 做為必要最大消費電力之步骒電力使用量之量更低值•並 使對此所輸出第1比較信號20 A’能參照於各處理裝置之最 大使用步驟的開始時。 又、做為第2基準值，係為了做為比上逑第1基準值 ，8A更缴和控制•所Μ設定為比第1基準值18A更大值且 比最大容許電量更小值，譬如能使做為參照於各處理装置 之動作開始時。 堪有、Μ本實施例，係設有第1及第2基準值18Α、 18Β，並使第1及第2比較信號20Α’、20Β’能做為輸出。 可是，為了將控制簡單化而省略第2基準值18Β及第2比 較信號20Β’，僅Κ第1基準值18Α及第1比較信號20Α’做 為構成也可。 其次，對於使用如Μ上所構成之本發明動作控制装置 之動作控制方法加Μ說明。 首先、為了容易理解其内容將第1圖所示之各處理装 置4Α〜4Ε做為同一處理装置，譬如做為高速昇溫熱處理装 置，在各步驟内，將需要最大消費電力之步驟做為高速昇 溫步驟，並將該時之使用電力假定為7 QKW。因此，各處理 裝置Μ同時做為簧行高速昇溫步驟則在此成為必要最大350 KW(70KWX 5台）之電力。 對此，將電力供應源2可以輸出最大容許電力霣假定 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-12 - 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（10 ) 為270KW，則第1基準值18A，係認定僅剩餘處理装装置1 台份之最大消費電力步驟使用電力之7QKW，譬如設定為200 KW。又、第2基準值18B，係為了比此用K更緵和控制譬 如設定為2 5QKW。又、第2基準值18B，也比上述最大容許 電1更少係理所當然。 又、如第2圖所示，第1比較信號20 A’，係在實行高 速昇溫步驟之直前做為外部信號所參照，而第2比較信號 20B’，係動作之起動時，即、由空轉狀態在開始移載晶圓 至舟皿之步驟直前所參照程序上，加以假定預先所設定之 程序。 因此，首先、做為簡單之控制方法，係省略著第2基 準值18B及第2比較信號20B’，而僅對於使用第1基準值1 8A及第1比較信號20A’時加Μ說明。 首先，第1圖所示各處理装置4 Α〜4Ε，係以個別電源 所投入，而各裝置在個別控制下Μ獨自動作，並且、僅對 應步驟開始事做為外部信號加以參照第1比較信號之狀態 ，在此成為應實行對應步驟或應期待之判斷。 其間，在動作控制装置8 *係檢測著霄力供應源2之 輸出電力並經常被監視著，根據基檢测值決定著第1比較 信號20Α’之狀態。其次•根據第4圖所示流程圖將本發明 之動作控制装置之動作加以說明。又、第5圖係顯示該時 之輸出電力及第1比較信號之關係，而第1比較信號低時 ，係顯示動作容許狀態，高時係顯示動作不許可狀態，又 、根據時間之經過，輸出電力舍變動下去。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 13 A 7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印製 五、發明説明（11 ) 在第4圓中，投入著控制装置之電源，則K第1圖所 示輸出電力檢測部10檢測著電路2之輸出霣力（S1)，而該 檢測值係用比較控制部12之第1比較器20A與第1基準值 18A(2DQKW)做比較（S2)。又，在此*係省略第2基準值等 Ο 因此，先前之檢測值在比第1基準值18A更小時，（N0) ，則由意味著電力有剩餘將第1比較信號20A’做為低，顯 示動作許可狀態做為信號加Μ輸出（S3)。該情形係如後述 ，許可著對高速昇溫步驟之步驟的進行。 相對地，先前之檢測值係在第1基準值18ΑΚ上時 (YES) ·則由意味著電力無剩餘將第1比較信號20Α’做為 高，顯示動作不許可狀態將信號加Μ輸出（S4)。該情形， 係停止著對高速昇溫步驟之進行•成為待機狀態，因此在 第5圖中，點Ρ1係顯示電力使用量成為比第1基準值更大 而第1比較信號2Q A ’由低轉為高之時刻。又、相反地，點 P2係顯示電力使用量比第1基準值成為更小而第1比較信 號20A’由高轉為低之時刻。 該一連串之動作係進行到中斷動作控制裝置之控制電 源為止（參考圖4S5)，装置之電源中斷則成為終了。 其次、將該時之處理裝置的動作Ml個處理装置為例 如以說明。第6係顯示該時處理裝置之動作流程圖。 首先，在此投入處理裝置之電源（S1)，則進入空轉吠 態，將是否應開始動作Μ外部信號之存在加Μ確認（S2)。 因此，在動作起動時，則外部信號係未被參照所Κ成為Ν0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .4. 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 ___B7_ 五 ' 發明説明（12 ) 狀態使動作加以起動。又、如後述使用第2比較信號時， 則在此成為YES並移行到步驟S3。 而且，在S2若成為NO狀態為了簧行預定之做法，首先 *將其步驟數η被初期設定為0(S4)，其次，將該步驟數η 加Μ 1個增加份（S5)，而移行到下次之處理。 接著，判斷外部信號是否存在（S6)，在NO狀態時，則 其對應之步驟Μ實際進行處理。該步驟*係到處理完成為 止，譬如該步驟係到晶圓舟皿之移載步驟時，係進行移載 處理到完成為止（S8)。 完成該對應步驟之處理，則接著，判斷全步驟是否完 成（S9)，全步驟在完成時（YES)，則成為終了。可是在NO 狀態時，則返回到S5而步驟數η被增加份1個，並移行到 下次之步驟。 Κ如此* 1個製法之各步驟係依順序進行並移行到高 速昇溫步驟，則在此係先行於步驟的開始，如前述能使外 部信號參照組成，所以在S6係成為YES吠態。其次、外部 信號，即、在此係使第1比較信號2QA’判斷是否在動作許 可狀態（低）或是否在動作許可狀態（髙）（S1Q)。在動作許 可狀態（YES)時，則在其他處理裝置不須使用過多電力， 而顯示電力刺餘狀態，所K照原樣*對應步驟之處理，在 此係成為實行著高速昇溫處理（S7)。 相對地，在S1Q比較信號係在動作不許可狀態（高）時 ，則在電力供應源顯示電力無剩餘，所以對應之步驟係中 止開始處理，並加Μ待機到成為動作許可狀態為止（S11) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) *1Τ -15 - A7 B7 五、發明説明（13 ) 0 如此，全體電力使用量減少*在比第1基準值更小狀 況下（動作許可狀態），係開始著各步驟之處理，則不在待 櫬狀態加Μ進行處理。可是，全體電力使用霣變大，成為 第1基準值Μ上則第1比較信號係成為動作不許可狀態。 在維持該狀態之間，之後，則面對於新的高速昇溫步驟之 處理裝置的動作*係在此停止進行而成為待機狀態。還有 、在其他處理裝置中*對於高速昇溫度驟以外之步驟，係 依順序進行處理。 因此，可Μ有效用Μ控制各霄力使用系統之動作，而 電力供應源2可Μ防止將最大容許量以上之輸出電盪由電 力使用系統側所要求。 其次，不僅第1基準值及第2比較信號，對於使用第 2基準值及第2比較信號時之動作，也參考第7画所示流 程圖及第8圓加Κ說明。 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填β") 如前述，在此第2基準值，係顯示著缓和基準值，而 對應於此之第2比較信號20Β’係如第8圖所示，輸出電力 超過第2基準值之250KW變化時如點Ρ3、Ρ4所示由低變化 為高或相反由高變化為低。 如前述僅使用1種比較信號時，則可Κ使消費電力大 的步驟進行圼待機狀態，但消費電力小的步驟進行係會被 容許。其结果，此等之步驟集合複数個則產生超過最大容 許霄量之虡，所Μ可以加以防止。 如此複數，譬如藉由使用2個之比較信號，不僅可以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X29*7公釐） -16 - A7 B7_ 五、發明説明（14 ) 咀止大的消費電力之步驟進行，而小的消費電力之步.班進 行也成為可以依據條件加以阻止。在此，則第2比較信號 20B’·係由空轉狀態在進行處理動作之起動時能加以參照 所装配時為例加說明（參考第2圖）。 第8圖中，在PI- P2之間•係阻止高速昇溫步驟新的 進行，又、在P3 - P4之間，係連處理動作之起動也成為被 阻止。 在此，將該時之第1及第2比較信號20A’、2QB’之 狀態根據第7圖加以說明。與第6圖所示流程圖同樣使用 輸出電力檢測部10檢測著電源2之輸出（S1)，而該檢測值 用比較控制部12賴由第1基準18A及第2基準值18B所比較 (S2)。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 在此，檢測值比值小的第1基準值18A(200KW)更小時 ，則第1及第2比較信號20A、20B’皆做為動作許可狀態 (低）被輸出（S3)。又、檢測值係在第1基準值18AM上第 2基準值18B(2 5QKW)以下時，則第1比較信號18A係做為 動作不許可狀態（高）被輸出，而第2比較信號18B係做為 動作許可狀態（低）被輸出（S4)。進而，檢測值比第2基準 值更大時（第8圖中之P3 — P4間），則第1及第2比較信號 18A、18B，皆做為動作不許可狀態（高）被輸出（S5)。 而且•如此之動作，係成為控制裝置之電源中斷為止 重複進行著（S6)。 其次，將該時之本發明所適用處理装置之動作，依據 第6圖加以說明。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 17 - A7 ___B7_ _ 五、發明説明（15 ) 首先，在處理装置之電源投入後（S1)，空轉狀態時， 實際上，按照某製法將動作又Μ起動時，判斷是否外部信 號存在（S2)。在此，係與先前說明之情形不同，將第2比 較信號2QB’能加以參照組成著程序所以圼YES狀態，其次 判斷該比較信號是否在動作許可狀態（S3)。 在此使用電量很少並比2 5 0 KW更小時，則第2比較信 號係成為動作許可狀態（低）並移行到S4，而如前述之動作 以具體性加K起動並按照製法進行晶圓之處理。 相對地，在S3之判斷结果，使用電董很多在250WKM 上時，則第2比較信號係成為動作不許可信號（高），並停 止動作之起動成為待機狀態（S12)。該待機狀態，係在第 2比較信號成為動作許可狀態之前被維持著。 以後之處理流程，係與前述同樣，高溫昇溫步驟之進 行動作，係在第1比較信號20 A之狀態下成為被控制（S1) 。因此，在第8圖所示P 1 - P 2之間，係限制著高消費電力 步驟（高速昇溫步驟）之新的開始，進行、在P3- P4之間， 係連動作之起動也被禁止，而成為維持著空轉狀態。藉由 使用如此2種比較信號，可Μ在動作之控制態樣持有寬幅 。在該情形，係可Μ連動作之起動也禁止，所以可以確實 防止電力供應源2之輸出電力成為過大而超過最大容許電 量。 又、Μ本實Sfe例，將第2比較信號在動作起動時能加 以參照裝配成程序，但並不限定於此，譬如，一連串之步 驟内*在第2消費電力多的步驟加Μ開始時能參照也可， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 A7 --------B7___ Λ '發明説明（16) 而不管其態樣如何。又、使用3Μ上之比較信號也可。 又、上述之第1及第2基準值的值等 > 係只不過顯示 一例為理所當然。特別是，用Μ決定第1基準值之值，係 如前述對於電力供應源2之最大容許電量至少比相當於各 處理装置之最大消費電力步驟的量採取設定為稍微大些之 餘量為較佳。譬如前逑之例情形，係對於最大容許電量270 KW，比最大消費電力步驟之7QKW稍微大些，譬如採取80KW 程度之餘量，若M 19QO程度設定第1基準值即可。 又、在上述之賨施例，係取半導體晶圓為例做了說明 。但並大限定於此，其他被處理體，譬如用Μ處理L CD基 板之處理装置也可以適用本發明。 如Μ上之說明，若依據本發明電力使用系統之動作控 制裝置及使用其裝置之動作控制方法，則可Μ發揮如下之 優異的作用效果。 換言之，可Μ—邊監視複數電力使用糸統之全體使用 電力，一邊可以在每個電力使用系統中用Μ控制處理之進 行狀況。因此•在使用電力量多時各電力使用糸統中將最 大消費電力之步驟新的開始加Μ停止而可以圼待機狀態， 所Μ可以防止使用最大容許電力Μ上之霄力，將電力使用 糸統可Μ有效加Κ管理同時加以防止電力遮斷之產生可Μ 提高總處理量。又、將電力使用系铳由於可Μ有效加以管 理，所Μ霣力供應源之使用台數也可Μ減少，可以用以抑 制設備質。進而，藉由使用基準電平不同複數之比較信號 ，在控制態樣可Μ持有寬幅，將電力遮斷之產生可Κ進一 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19 - rlL-------辦衣-------1T------^ . f < (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（17 ) 步有效加Μ防止。 元件標號對照 2 .. .·電力供應源 16Α· .· ·第1比較控制器 6 .. ..電力供應線 16Β. ...第2比較控制器 8 .. ..動作控制裝置 18Α. ...第1基準值 10 .. •.輸出電力檢測部 18Β. ...第2基準值 10Α. ...A/D變換器 20Α、 2 0 Β----比較器 12 .. ..比較控制部 20Α， 、20Β’----比較信號 14 .. ..檢測器 Ρ1〜 Ρ4____點 -20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

1. 經濟部中央梂準局員工消費合作社印製 A8 B8 ^003j. 4 D8 k、申請專利範圍 -1.一種複數電力使用系統之動作控制裝置，係在複數電 力使用系統可Μ用K決定依存於外部信號是否可以動 作之進行，並設於電力供應系統用Μ供應由1個電力 供應源之電力，其構成係具備有： 輸出電力檢測部•用Μ檢測由前述電力供應源所 輪出電力；及 . 比較控制部·將該輸出電力檢測部之檢測值及預 先所設定之基準值加以比較並將顯示比較结果之比較 信號供應於前述複數電力使用系統而做為前述外部信 號加以輸出； 而前述檢測值係反應於超過前述基準值而前述比 較信號係能顯示動作不許可狀態著。 2. 如申請專利範圍第1項之複數電力使用系統之動作控 制裝置*其中前述各電力使用系統係具有在動作中分 別電力使用量不同之複數步驟，並在開始最需要使用 電力步驟之直前根據前述外部信號能用Μ決定是否可 Μ進行所構成者。 3. 如申請專利範圍第1項之複數電力使用系統之動作控 制裝置，其中前述比較控制部係對應於設定值之不同 複數基準值並用Μ输出複數種類之比較信號，同時前 述複數比較信號係在分別開始前述動作中之不同步驟 的直前做為前述外部信號能被參照所構成者。 4. 一種複數電力使用糸統之動作控制方法，係在複數電 力使用系統可以用Μ決定依存於外部信號是否可Μ動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） -21 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

   經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 作之進行並用K供應由1個電力供應源之電力，其構 成係其有： 用K檢测由前述電力供應源之輸出電力的製程； 將該檢測值及預先所設定之基準值加Μ比較用以 輸出顯示該比較结果之比較信號的製程；及 將前述比較信號用;W供應在前述各電力使用糸統 做為前述外部信號的製程； 而前述檢測值係反應於超過前述基準值而前述比 較信號係能顯示動作不許可吠態者。 5. 如申請專利範圍第4項之複數電力使用系統之動作控 制方法，其中前述電力使用糸統係具有在動作中分別 電力使用量不同之複數步驟，並在開始最箱要使用電 力步驟之直前根據前述外部信號能用以決定是否可Μ 進行所構成者。 6. 如申請專利範圃第5項之複數電力使用糸統之動作控 制方法*其中前述比較信號係對應於不同複數基準值 所形成複數種類，同時該複數比較信號係在分別開始 前述動作中之不同步驟的直前做為前述外部信號能加 Μ參照所構成者。 7. 如申請專利範圍第6項之複數電力使用糸統之動作控 制方法，其中前述複數比較信號之一係為了判斷是否 用Μ開始動作而做為前述外部信號能被參照所構成者 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Μ規格（2ΐ〇χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂