JP4593724B2 - 電力制御装置、電力制御方法及び熱処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は例えばヒータ等に供給する電力を制御する電力制御装置、電力制御方法及びこの電力制御装置を用いた熱処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造装置の一つに、熱処理をバッチ式で行う装置として縦型熱処理装置がある。
【0003】
図9は、従来の縦型熱処理装置とこれに組み合わせて用いられる電力制御装置を示した概略図であり、以下この装置の説明を行う。図中11は例えば石英からなる筒状の反応管11であり、下方側から多数の半導体ウエハ(以下ウエハという)が支持された図示しないウエハボートが収納される。反応管11の側方(周囲)は例えば3つのゾーンヒータ12a、12b、12cからなるヒータ12により囲まれており、前記反応管11とヒータ12とにより加熱炉13を形成している。各ゾーンヒータ12a、12b、12cの発熱量はこれらに接続する電力制御装置により調節され、こうして反応管11内のウエハの熱処理が行われる構成となっている。
【0004】
電力制御装置は、固定電圧の電源トランス(変圧器)15の一次側に設けられた電力供給源14から電源トランス15を介して各ゾーンヒータ12a、12b、12cへと電力を分配する構成となっており、電源トランス15の二次側に設けられる半導体スイッチ16のON、OFFのタイミングを制御することにより供給電力量の制御を行う。また電源トランス15と半導体スイッチ16との間には過電流保護装置(フューズ)17a、17b、17cが介設されている。
【0005】
ここで半導体スイッチ16に位相制御SCR(silicon controlled rectifier)を用いる方法と、ゼロクロス制御SCRを用いる方法とがあり、例えば前者は加熱炉13が例えば100℃/分程度の昇温速度を有する高速昇温型の炉の場合に、また例えば後者は加熱炉13が一般炉の場合に用いられる。位相制御SCRは1サイクル360度の中の任意のタイミングで電力供給のON、OFFを切り替えるため、高い分解能を得ることができる。一方のゼロクロス制御SCRは1サイクルごとのゼロボルト電圧の状態となるタイミングでスイッチのON、OFFを切り替える装置であり、電力周波数が例えば50Hzであれば1サイクルごとにON、OFF制御を行い、例えば1サイクル目をON、残りの49サイクルを全てOFFとすることで最大出力の2%(100%×1/50)となり、以後ONのサイクルを増やすことで2%ごとに2、4、6…100%まで50通りに電力供給量を変化させることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
高速昇温型に用いられるヒータは温度に対する抵抗値変化が大きく、このため安定した温度制御を行うためには高い分解能を有する位相制御SCRが好適である。しかしながら、この位相制御SCRは大きな高調波が出力されるという問題があり、このため位相制御SCRを用いた装置では大掛かりなアクティブフィルターなどを併用して前記高調波を取り除いている。このような高調波を除去するための装置は高価であるため、コスト的な問題も生じていた。
【0007】
一方、ゼロクロス制御SCRを用いた場合には、上述の位相制御SCRを用いた場合に比較して発生する高調波は小さいが、既述のように1サイクルごとにON、OFFの制御を行って電力供給量を調整するため、この電力供給量の分解能は電力周波数に依存することとなり、きめ細かな電力制御を行うことができない。このため上述の高速昇温型の加熱炉には採用しにくい。
【0008】
本発明は上述のような事情を鑑みてなされたものであり、その目的は高調波の発生を抑え、分解能の高い電力制御装置及びその方法を提供することにある。本発明の他の目的はこのような電力制御装置を用いることにより安定した温度制御を行うことのできる熱処理装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る電力制御装置は、抵抗発熱体からなるヒータを電力制御対象とする電力制御装置において、一次側に交流電力供給源が設けられると共に、二次側の一端側に端子部を備え、また他端側に複数の電圧タップを備えた電源トランスと、前記電源トランスの二次側の一端側の端子部に一端側が接続された電力制御対象と、前記複数の電圧タップと電力制御対象の他端側との間に設けられ、複数の電圧タップの中の一つを選択して電力制御対象の他端側に接続するためのスイッチ部と、前記ヒータの温度を検出する温度検出手段と、前記交流電力供給源の周波数の複数サイクルを一つの制御単位として当該複数サイクルの各サイクルに、選択された電圧タップを割り当てて、前記複数サイクルにより電圧タップの組み合わせパターンである切り替えパターンを形成し、温度設定値と前記温度検出手段により検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値に対応させて前記切り替えパターンが書き込まれた記憶部と、前記出力設定値をアドレスとして前記記憶部の中から切り替えパターンを読み出して、この切り替えパターンに基づいてスイッチ部を切替え制御するためのスイッチ制御部と、を備えてなることを特徴とする。
【0010】
また本発明に係る電力制御方法は、一次側に交流電力供給源が設けられると共に、二次側の一端側に端子部を備え、また他端側に複数の電圧タップを備えた電源トランスを用い、この電源トランスの二次側の一端側の端子部に一端側が接続された抵抗発熱体からなるヒータである電力制御対象の電力を制御する方法であって、前記ヒータの温度を検出する段階と、温度設定値と前記段階で検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値を発生させる段階と、前記出力設定値をアドレスとして前記記憶部の中から切り替えパターンを読み出して、この切り替えパターンに基づいて、前記複数の電圧タップと電力制御対象の他端側との間の接続を切替え制御する段階と、を含み、前記記憶部には、前記交流電力供給源の周波数の複数サイクルを一つの制御単位として当該複数サイクルの各サイクルに、選択された電圧タップを割り当てて、前記複数サイクルにより電圧タップの組み合わせパターンである切り替えパターンを形成し、温度設定値と前記温度検出手段により検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値に対応させて前記切り替えパターンが書き込まれていることを特徴とする。なお電源トランスの一次側に複数の電圧タップを設け、上述の発明と同様にしてこの電圧タップを選択することにより交流電力供給源から電源トランスに印加される電力を切り替えるようにしてもよい。
【0011】
以上の発明によれば高い制御分解能を得ることができるので、きめ細かな電力制御が行える。例えば電力制御対象に抵抗発熱体からなるヒータを用いた場合、抵抗値変化の高いヒータに対しても安定した温度制御を行うことができる。
【0012】
また本発明は、電源トランスの各タップ電圧が、電圧タップの選択により負荷電力が半分ずつ小さくなるように設定することが好ましく、このようにすることで論理回路が2進数で処理を行うことができるという利点がある。電源トランスの各タップ電圧は、電圧タップの選択により負荷電流、或いは負荷電圧が半分ずつ小さくなるように設定してもよく、この場合にも同様の効果がある。
【0013】
また前記スイッチ部の切り替え(複数の電圧タップと電力制御対象の他端側との間の接続の切り替えは)電源トランスの二次側の電圧波形がゼロボルトを交差したときに行うと共に、ONにするスイッチ部の順番を連続する2つのサイクル間の電圧の差がなるべく小さくなるように設定することが好ましく、このようにすることで急激な電圧変化により生じる高調波を抑えることができる。
【0014】
更に本発明に係る熱処理装置は、被処理体を熱処理するための反応容器と、一次側に交流電力供給源が設けられると共に、二次側の一端側に端子部を備え、また他端側に複数の電圧タップを備えた電源トランスと、前記反応容器を囲むように設けられ、前記電源トランスの二次側の一端側の端子部に一端側が接続された抵抗発熱体からなるヒータと、前記複数の電圧タップとヒータの他端側との間に設けられ、複数の電圧タップの中の一つを選択してヒータの他端側に接続するためのスイッチ部と、前記ヒータの温度を検出する温度検出手段と、前記交流電力供給源の周波数の複数サイクルを一つの制御単位として当該複数サイクルの各サイクルに、選択された電圧タップを割り当てて、前記複数サイクルにより電圧タップの組み合わせパターンである切り替えパターンを形成し、温度設定値と前記温度検出手段により検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値に対応させて前記切り替えパターンが書き込まれた記憶部と、前記出力設定値をアドレスとして前記記憶部の中から切り替えパターンを読み出して、この切り替えパターンに基づいてスイッチ部を切替え制御するためのスイッチ制御部と、を備えてなることを特徴とする。なお熱処理装置の発明においても、電源トランスの一次側に複数の電圧タップを設け、上述の発明と同様にしてこの電圧タップを選択することにより交流電力供給源から電源トランスに印加される電力を切り替えるようにしてもよい。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の実施の形態である電力制御装置を、半導体製造装置の一つである縦型熱処理装置に適用した例を示す概略図である。この縦型熱処理装置は、加熱炉2と、保持具であるウエハボート31と、このウエハボート31を昇降させるボートエレベータ32とを備えている。
【0016】
加熱炉2は、反応容器である例えば石英からなり、外管31aと内管31bとから構成される二重管構造の反応管21、この反応管21の側方周囲を囲むように設けられた抵抗発熱体からなるヒータ22などからなり、反応管21の底部にはガス供給管33及び排気管34が接続されている。反応管21の外管31aの内側から内管31bの天井部のガス穴31cを介して当該内管31bの中にガスが流れるようになっている。35は均熱用容器である。前記ウエハボート31は多数枚のウエハWを棚状に保持するように構成され、加熱炉2の下端の開口部を開閉する蓋体36の上に保温筒37を介して設けられており、ボートエレベータ32が昇降することにより加熱炉2に対しウエハボート31の搬入出が行われる。
【0017】
ヒータ22は複数、例えば上段、中段、下段の3つのゾーンヒータ22a、22b、22cに分割されており、交流電力供給源3から電力制御部4(4a、4b、4c)を介して夫々ゾーンヒータ22a、22b、22cへ電力が供給されるように構成されている。また例えば反応管21の外壁面の各ゾーンヒータ22a、22b、22cに対応する部位には例えば熱電対からなる温度検出手段25(25a、25b、25c)が設けられており、各電力制御部4a、4b、4cはこれら温度検出手段25(25a、25b、25c)の温度検出値に基づいてフィードバック制御を行う構成となっている。
【0018】
次に本実施の形態における主要部である電力制御部4について説明する。この実施の形態の具体的な構成は図3に示すが、その前にこの実施の形態の基本的な手法を図2を用いて説明しておく。図2中では、電力制御部4に相当する箇所はヒータ22及び交流電力供給源3を除く部分であり、また先に図1で示した3つの電力制御部4a、4b、4cは同様の構成を成すものであるため、ここでは電力制御部4の一つのみを取り上げて説明を行う。
【0019】
図2において、41は二次側に複数の電圧タップを備えた電源トランスであり、一次側に交流電力供給源3が接続されている。この電源トランス41の二次側は、一端側の端子部41aがヒータ22の一端側(端子部22a)へと接続され、他端側は4箇所の電圧タップ42(42a、42b、42c、42d)を有する。この電圧タップ42a〜42dは夫々配線43(43a、43b、43c、43d)を介してヒータ22の他端側(端子部22b)へと接続されており、この配線43a〜43dには夫々過電流保護のためのヒューズ44(44a、44b、44c、44d)と、前記ヒータ22へ電力供給を行う電圧タップを切り替えるための例えばサイリスタよりなるスイッチ部45(45a、45b、45c、45d)とが介設されている。また、スイッチ部45a〜45dには各々のON、OFFを制御するためのスイッチコントローラ50が接続されている。
【0020】
上記の各電圧タップ42a〜42dは、電源トランス41の一次側の巻き線と、電源トランス41の二次側に設けられた各電圧タップ42a〜42dの位置に応じた巻き線との巻き線比に応じた電圧が出力されるように構成されている。電圧タップ42a〜42dの各電圧は、定電力制御方式においては後述する電力制御において2進数で制御しやすいように負荷電力が100%、50%、25%、12.5%の順で半分となるように設定する。またこれと同様に定電流制御方式の場合には負荷電流を、定電圧制御方式の場合には負荷電圧を、100%、50%、25%、12.5%と順に半分となるように夫々設定する。
【0021】
定電力制御を例に具体的に説明すると、100Vを100%出力とした場合、電源トランス41の途中に設けられる3つの電圧タップ(42b〜42d)のうちn番目のタップ電圧Vnは以下の(1)式となる。ここでVmaxは100%電圧、Vdはヒューズ44、スイッチ部45、配線43による電圧降下分である。
Vn=(Vmax/√(2のn乗))+Vd … (1)
(1)式のVdを無視すれば、図2における各タップ電圧は50%出力の電圧が70.7V(n=1)、25%出力の電圧が50V(n=2)、12.5%出力の電圧が35.4V(n=3)となる。実際には上述のVdも加味してVnを決めることが望ましく、特に大電流で電圧降下の影響がある場合は、この電圧降下分だけトランス電圧を高くすることが好ましい。
【0022】
電圧タップ42a〜42dから延びる配線43a〜43dの電気的な接続のON、OFFはスイッチ部45a〜45dにより制御され、スイッチ部45a〜45dの切り替えのタイミングはゼロクロス制御と同様に電源トランス41の二次側電圧波形がゼロボルトを交差するとき(ゼロクロス)に行う。従って電力制御分解能は1サイクルだけで考えると、上述の例においては100%、50%、25%、12.5%の4種類しか使えない。そこでこの実施の形態では数サイクルを一つの制御単位として、その中でスイッチ部45a〜45dを切り替えることにより制御分解能を高くするようにしている。
【0023】
各スイッチ部45a〜45dの切り替えについては、出力設定値と一つの制御単位における各サイクル毎の電圧タップとを対応付けたパターンテーブルを前記スイッチコントローラ50内に予め格納しておき、出力設定値に応じた各サイクル毎の電圧タップ(これはスイッチ部45a〜45dに対応する)を読み出して、読み出されたスイッチ部45をONすることによって行われる。このような手法によれば、一つの制御単位における各サイクルに割り当てた電圧タップの組み合わせに応じて電力制御を行えるので制御分解能が高いという効果がある。
【0024】
以上説明した図2の構成例は本実施の形態の基本的な手法を説明するために掲げたが、以下に実際の装置により適した実施の形態を図3を参照しながら説明する。この例は定電力制御方式の電力制御装置であるが、ここではスイッチ制御の説明などの都合上、電源トランス41にその二次側の他端側として5つの電圧タップ42a〜42eを設けるものとし、図2で示した電力制御部4の場合と同様に電圧タップ42から延びる配線43(43a〜43e)にヒューズ44(44a〜44e)、スイッチ部45(45a〜45e)が介設されるものとする。以後、図3に示す実施の形態における電圧タップ42a〜42eの各出力は、上記の理由から大出力側から順に128%(113.1V)、64%(80V)、32%(56.6V)、16%(40V)、8%(28.3V)となるものとして説明を行う。
【0025】
また図1にて説明した温度検出手段25を図3では省略しているが、この温度検出手段の温度検出信号は電力制御部4(図1参照)内の温度コントローラ6(図3参照)と接続されており、温度コントローラ6にて温度検出値と温度目標値との比較結果が出力設定値として出力される。この出力設定値は例えば0〜100%の電力出力に対応した4−20mAの電流で出力される。
【0026】
スイッチコントローラ50は、温度コントローラ6からのアナログ信号である出力設定値をデジタル信号に変換するA/Dコンバータ51と、スイッチ部45の切り替えタイミングの基準信号を得るためのゼロクロス検出器52と、出力設定値に対応して各スイッチ部45a〜45eのON、OFFを切り替えを行うためのパターンテーブルを記憶するための記憶部であるパターンメモリ53と、前記パターンテーブルに基づいて生成されたスイッチ部45a〜45eのゲート信号を出力するゲートドライバ54と、データ処理部であるCPU55と、電力制御のプログラム等を格納しているROM56、及び作業メモリであるRAM57がバス58を介して接続されて構成されている。なおこの例ではゼロクロス検出器52、ゲートドライバ54、CPU55、ROM56及びRAM57はスイッチ制御部5に相当する。
【0027】
ここでパターンメモリ53に記憶されているパターンテーブルについて図4を用いて説明を行う。本実施の形態は電力制御対象の使用において問題が生じない程度に数サイクルの電圧をひとつの制御単位としてスイッチ部45の切り替えパターンを設定し、この切り替えパターンに応じて電力供給量の制御を行うものであり、ここでは8サイクルを1単位とする切り替えパターンを用いるものとする。図4に示すパターンテーブルは横方向に8サイクル分の切り替えパターンを、縦の行を1%間隔で1〜100%で表される各出力%に割り当てたものである。この出力%は、例えば上述した温度コントローラ6から出力される出力設定値に応じてCPU55が一の切り替えパターンを選択する際のインデックス(アドレス)に相当する。なおスイッチ部45の切り替えは図4の右側に示す第1サイクルから順次第8サイクルまで行うものとする。
【0028】
切り替えパターンと出力%との関係について具体的に説明すると、一の切り替えパターンには各サイクルごとにONにする一のスイッチ部45が設定されており、本実施の形態では7ビット信号を用いるものとすると、128通りの切り替えパターンを用意することができる。ここで図4のパターンテーブルの内部には、上記1単位(8サイクル)中での各サイクルにおける選択すべき電圧タップ42の各出力%が記載されており、実際のデータとしては、例えばその出力%が得られる電圧タップを選択するためのスイッチ部に相当する識別コードが記載される。
【0029】
もう少し詳しく説明すると、図3の例では電圧タップ42aを選択したときに最大出力が得られ、この最大出力の値を便宜上128%として割り当てることにすると、電圧タップ42bを選択したときの出力は電圧タップ42aを選択したときの半分なので、便宜上の出力は64%となり、同様に電圧タップ42c、42d、42eを選択したときには夫々32%、16%、8%となる。これら電圧タップ42a〜42eに割り当てた「%」は1サイクルで見た場合である。一方図4の縦列の出力%は1単位である8サイクル分の出力の最大値から見た値であり、8サイクル分の出力の最大値は、8サイクルの各サイクル全てにおいて電圧タップ42aを選択したときであって、その値は(8サイクル)×(この電圧タップ42aに割り当てた便宜上の出力%である128%)=1024%である。このことは8サイクル分の最大出力値に「1024」という数字を割り当てたことと同じであり、もしこの「1024」を8サイクル分の出力100%とするならば8サイクル分の出力1%は1024÷100=10.24になる。しかしこれでは電圧タップの組み合わせで各出力%の出力値が得られないことから、「1024」という値を128%と見ている。このようにすれば8サイクル分の出力1%は1024÷128=8になる。つまり8サイクルのうちの1サイクルだけ、1サイクルから見た8%の出力が得られる電圧タップ42eを選択しかつ残りの7サイクルを0%つまりどの電圧タップも選択しないようにすればよい。同様に8サイクル分の出力2%は、8サイクルのうちの2サイクルだけ8%の出力が得られる電圧タップを選択しかつ残りの6サイクルを0%とすればよいことになる。こうして切り替えパターンは例えば出力の小さなものから順に1番目では、第1サイクルはスイッチ部45a(出力8%)をON、第2〜第8サイクルはOFFとし8サイクルで合計8%出力、2番目では第1及び第2サイクルはスイッチ部45aをON、第3〜第8サイクルはOFF、とし8サイクルで合計16%出力となるように設定し、各切り替えパターンの8サイクルの合計出力が1%ずつ大きくなるようにする。なおここでいうスイッチ部45に対応する出力%(パターンテーブルの各サイクルに記載された出力%)とは、既述のように1サイクルにおける最大出力から見た数値である。
【0030】
そして、これを前記7ビット信号に割り当てて、7ビット信号のうち電力制御に必要な部分、例えば上述のようにして各切り替えパターンを出力1%刻みで対応させる場合には、1〜100%までの切り替えパターンを表す部分の信号を使用する。即ち7ビット信号で各サイクルの出力%を組み合わせると、1〜128%(8サイクルの合計分でいえば8%刻みで1〜1024%)でデータ上は作成することができ、そのうち1〜100%(8サイクルの合計分でいえば8%刻みで1〜800%)を使用しているのである。
【0031】
上述のようにして各切り替えパターンごとにどのスイッチ部45を何サイクル分ONにするかが決定される。この場合、一の切り替えパターン内において第1〜第8までの各サイクルに割り当てられるスイッチ部45のONの順番はどのような組み合わせであってもよいが、連続する2サイクル間で選択される電圧タップ42のタップ電圧の差がなるべく小さくなるように設定されることが好ましい。例えば出力97%に対応する切り替えパターンで第4〜第8までの各サイクルにおいてONにするスイッチ部45の順番は、128%、8%、128%、64%、128%という順番よりも128%、128%、64%、8%、64%の順番とした方が急激な電圧変化が避けられ、高次の高調波電流を小さくできる。また出力が小さい7%以下ではスイッチ部45e(出力8%)のみが選択されるため、「従来の技術」で説明したゼロクロス制御SCRと同じ動作になるが、電流が小さい領域なので高調波電流も小さくなる。
【0032】
続いてこのような実施の形態における作用について説明を行う。先ず、ウエハボート31上に多数のウエハWを棚状に保持して反応管21内に搬入し、ヒータ22に電力を供給して反応管21内を目標温度まで昇温し、その後処理ガス例えば酸素ガスを反応管21内に供給してウエハW上のシリコン膜を酸化し、シリコン酸化膜を形成する。ヒータ22の電力制御については温度検出手段25により検出される例えば反応管21の外壁温度の検出値が温度コントローラ6へと送信され、当該温度コントローラ6では温度目標値と、前記温度検出値との差を求めて既述のように4−20mAの電流で表される出力設定値(アナログ信号)として出力される。
【0033】
この出力設定値はA/Dコンバータ51にて7ビットのデジタル信号に変換され、CPU55は、この信号のデジタル値をアドレスとしてパターンメモリ53内のパターンテーブル(図4参照)から、対応する8サイクル分(1単位)に係るスイッチ部45(45a〜45e)のON、OFFのデータを読み出す。読み出されたデータは例えば出力20%であれば、1サイクル及び2サイクル目はスイッチ部45cがON、3サイクルから8サイクル目まではスイッチ部45dがONであるという内容に相当するものであり、一旦バッファメモリ例えばRAM57に書き込まれる。そしてゼロクロス検出器52により例えば電源トランス41の二次側電圧波形に基づいて電圧の位相0度を検出し、この検出信号が出力される度にCPU55の処理に割り込みをかけて、RAM57に記憶しておいた上述の読み出しデータの1サイクル目から順に各サイクルにおけるONすべきスイッチ部45に係るコード信号をゲートドライバ54に送り、ゲートドライバ54はこのコード信号に基づいて、対応するスイッチ部45(45a〜45e)にゲート信号を出力する。こうして前記パターンテーブルに書き込まれたスイッチ部45(45a〜45e)の切り替えパターン通りにスイッチ部が切り替えられ、出力設定値に応じた電力量がヒータ22に供給される。
【0034】
図5にデータが読み出される様子及び電圧波形を対応付けて模式的に示しておく。そして先の8サイクル分のデータ処理が終了すると、例えば終了後に温度コントローラ6から出力された出力設定値に応じた次の8サイクル分の切り替えパターンがパターンテーブルから読み出され、同様にしてゼロクロス検出器52からの検出信号により割込みがかかって、スイッチ部45からのON、OFF制御が行われる。
【0035】
従ってこのような実施の形態によれば、電源トランス41に複数の電圧タップ42を設け、数サイクルを一制御単位とする切り替えパターンに応じて出力制御を行うようにし、この切り替えパターンは各サイクルごとに使用する電圧タップ42を選択するように配列しているため、電圧タップの数と切り替えパターンのサイクル数とを自由に組み合わせることにより、電力制御の分解能を高くすることができる。
【0036】
なお一般的にヒータのように大きな熱容量を持っているものは数秒単位でゼロクロス制御により電力をON、OFFしても炉内部の温度変化は使用上問題のない大きさであり、この例では8サイクルを一つの制御単位としており、例えば50Hzの場合8サイクルは0.16秒であるから制御性については問題がない。
【0037】
このようにきめ細かい電力制御ができるので反応管21内の処理雰囲気を速やかに目標温度に安定化させることができるし、また温度の安定性も高く、均熱性の高い処理雰囲気を形成できる。更に制御分解能が高いことから、高速昇温型の加熱炉のように温度変化に対して抵抗値変化の高いヒータに対しても安定した温度制御を行うことができる。
【0038】
更に本実施の形態は、電圧タップ42の切り替えは電圧がゼロボルトを交差(ゼロクロス)するときに行われているため、「発明が解決しようとする課題」で位相制御について述べたような大きな高調波が発生しにくい。またパターンメモリ53には上述のように出力設定値に対応した例えば8サイクルごとの切り替えパターンを設けると共に、当該切り替えパターン内に配列されるONにするスイッチ部45の順番を連続する2つのサイクル間の電圧の差がなるべく小さくなるように設定しているため、急激な電圧変化により生じる高調波を抑えることができる。
【0039】
また本実施の形態では電源トランス41に設ける電圧タップ42はスイッチ部45の切り替えにより負荷電力が最大電力の1/2、1/4、1/8と以下半分ずつ小さくなるように設定されているので、論理回路で扱う2進数で制御しやすい。
【0040】
このように本実施の形態は少ない電圧タップでも電力制御の分解能を高くとることができるが、前記分解能を上げるには電圧タップの数を増やす方法を採ってもよいし、一の切り替えパターンにまとめるサイクル数を増やす方法を採ってもよい。例えば上述の実施の形態では一制御単位をなす切り替えパターンのサイクル数を8としたが、例えば熱容量の大きなヒータならば数10サイクルを一単位としても十分性能を発揮することができ、このように電力制御対象に応じてより分解能を上げることも可能である。
【0041】
以上の実施の形態では、電源トランス41の二次側に電圧タップを設けているが、図6に示すように電源トランス41の一次側に電圧タップ71(71a〜71d)を設けてもよい。この例では交流電力供給源3の一端側に電源トランス41の一端側の端子部70が接続されており、各電圧タップ71(71a〜71d)は夫々配線72(72a〜72d)及びスイッチ部73(73a〜73d)を介して交流電力供給源3の他端側に接続されている。
【0042】
このような実施の形態では、各スイッチ部73(73a〜73d)により選択された電圧タップ71(71a〜71d)の位置に応じた電圧が二次側から出力される。従って例えば定電力制御方式では、電圧タップ71a〜71dを夫々選択したときの負荷電力が例えば100%、50%、25%、12.5% と順に半分となるように設定することにより2進数で制御しやすくなる。このような実施の形態においても既述の図2の実施の形態のように例えば電圧タップ71を5個設けて、同様な制御を行ってもよいことは勿論である。
【0043】
更に本発明では一次巻線と二次巻線とを設けて両者を互に絶縁した電源トランス41に限られず、一次巻線と二次巻線とを共通にした、即ち一つの巻線に電源側及び負荷側の配線を接続するタイプのオートトランスを用いてもよい。このような実施の形態を図7及び図8に示しておく。図7の例はオートトランス8の二次側に電圧タップ42(42a〜42d)を設けた例であり、図8の例はオートトランス8の一次側に電圧タップ71(71a〜71d)を設けた例である。
【0044】
なおスイッチ部45、73の切り替えタイミングは、厳密にゼロクロスである必要はないが、ゼロ点からの位相のずれは、例えばスイッチ部45、73の切り替えを行った際に発生する高調波を例えば電力制御対象などに影響が生じない程度に抑えられるように設定する。
【0045】
更に電力制御対象は、本実施の形態で説明したヒータ22に限定されるものではなく、例えばモータのように電力を力に変換する装置であってもよし、例えばランプのような電力を光に変換する装置であってもよい。
【0046】
また本実施の形態は、電源トランス41に設ける電圧タップ42をスイッチ部45、73の切り替えにより負荷電流が最大電流の1/2、1/4、1/8と以下半分ずつ小さくなるように、または負荷電圧が最大電圧の1/2、1/4、1/8と以下半分ずつ小さくなるように設定すると共に、温度コントローラ6からの出力設定値を電圧設定値(あるいは電流設定値)とし、パターンテーブルの縦の列には最大電圧(あるいは最大電流)についての割合(%)を記載するようにしてもよい。この場合にも前述の実施の形態と同様に論理回路で扱う2進数で制御しやすいという利点がある。
【0047】
【発明の効果】
以上のように、本発明の電力制御装置によれば高調波の発生が抑えられ、高い制御分解能が得られる。また本実施の形態によれば処理雰囲気内の温度を安定して制御することができ、安定した熱処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電力制御装置を縦型熱処理装置に適用した実施の形態を示す全体図である。
【図2】上述実施の形態における電力制御部を説明するための概略説明図である。
【図3】前記電力制御部及びこれに含まれるスイッチコントローラの構造について説明する概略説明図である。
【図4】前記スイッチコントローラ内のパターンメモリの構造について説明した説明図である。
【図5】本発明に係る実施の形態における一の実施例について説明した説明図である。
【図6】本発明の他の実施の形態を示す概略説明図である。
【図7】本発明の更に他の実施の形態を示す概略説明図である。
【図8】本発明の更にまた他の実施の形態を示す概略説明図である。
【図9】従来発明に係る電力制御装置の概略説明図である。
【符号の説明】
W ウエハ
2 加熱炉
21 反応管
22 ヒータ
25 温度検出手段
3 交流電力供給源
31 ウエハボート
4 電力制御部
41 電源トランス
42 電圧タップ
43 配線
44 ヒューズ
45 スイッチ部
5 スイッチ制御部
51 A/Dコンバータ
52 ゼロクロス検出器
53 パターンメモリ
54 ゲートドライバ
6 温度コントローラ
Claims (14)
- 抵抗発熱体からなるヒータを電力制御対象とする電力制御装置において、一次側に交流電力供給源が設けられると共に、二次側の一端側に端子部を備え、また他端側に複数の電圧タップを備えた電源トランスと、前記電源トランスの二次側の一端側の端子部に一端側が接続された電力制御対象と、前記複数の電圧タップと電力制御対象の他端側との間に設けられ、複数の電圧タップの中の一つを選択して電力制御対象の他端側に接続するためのスイッチ部と、前記ヒータの温度を検出する温度検出手段と、前記交流電力供給源の周波数の複数サイクルを一つの制御単位として当該複数サイクルの各サイクルに、選択された電圧タップを割り当てて、前記複数サイクルにより電圧タップの組み合わせパターンである切り替えパターンを形成し、温度設定値と前記温度検出手段により検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値に対応させて前記切り替えパターンが書き込まれた記憶部と、前記出力設定値をアドレスとして前記記憶部の中から切り替えパターンを読み出して、この切り替えパターンに基づいてスイッチ部を切替え制御するためのスイッチ制御部と、を備えてなることを特徴とする電力制御装置。
- 抵抗発熱体からなるヒータを電力制御対象とする電力制御装置において、二次側に電力制御対象が設けられると共に、一次側の一端側に端子部を備え、また他端側に複数の電圧タップを備えた電源トランスと、前記電源トランスの一次側の一端側の端子部に一端側が接続された交流電力供給源と、前記複数の電圧タップと交流電力供給源の他端側との間に設けられ、複数の電圧タップの中の一つを選択して交流電力供給源の他端側に接続するためのスイッチ部と、前記ヒータの温度を検出する温度検出手段と、前記交流電力供給源の周波数の複数サイクルを一つの制御単位として当該複数サイクルの各サイクルに、選択された電圧タップを割り当てて、前記複数サイクルにより電圧タップの組み合わせパターンである切り替えパターンを形成し、温度設定値と前記温度検出手段により検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値に対応させて前記切り替えパターンが書き込まれた記憶部と、前記出力設定値をアドレスとして前記記憶部の中から切り替えパターンを読み出して、この切り替えパターンに基づいてスイッチ部を切替え制御するためのスイッチ制御部と、を備えてなることを特徴とする電力制御装置。
- 電源トランスの各タップ電圧は、電圧タップの選択により負荷電力が半分ずつ小さくなるように設定されていることを特徴とする請求項1または2記載の電力制御装置。
- 電源トランスの各タップ電圧は、電圧タップの選択により負荷電流が半分ずつ小さくなるように設定されていることを特徴とする請求項1または2記載の電力制御装置。
- 電源トランスの各タップ電圧は、電圧タップの選択により負荷電圧が半分ずつ小さくなるように設定されていることを特徴とする請求項1または2記載の電力制御装置。
- スイッチ部の切り替えは電源トランスの二次側の電圧波形がゼロボルトを交差したときに行われることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電力制御装置。
- 一次側に交流電力供給源が設けられると共に、二次側の一端側に端子部を備え、また他端側に複数の電圧タップを備えた電源トランスを用い、この電源トランスの二次側の一端側の端子部に一端側が接続された抵抗発熱体からなるヒータである電力制御対象の電力を制御する方法であって、前記ヒータの温度を検出する段階と、温度設定値と前記段階で検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値を発生させる段階と、前記出力設定値をアドレスとして前記記憶部の中から切り替えパターンを読み出して、この切り替えパターンに基づいて、前記複数の電圧タップと電力制御対象の他端側との間の接続を切替え制御する段階と、を含み、前記記憶部には、前記交流電力供給源の周波数の複数サイクルを一つの制御単位として当該複数サイクルの各サイクルに、選択された電圧タップを割り当てて、前記複数サイクルにより電圧タップの組み合わせパターンである切り替えパターンを形成し、温度設定値と前記温度検出手段により検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値に対応させて前記切り替えパターンが書き込まれていることを特徴とする電力制御方法。
- 一次側の一端側に端子部を備え、また他端側に複数の電圧タップを備えた電源トランスを用い、この電源トランスの一次側の一端側の端子部に交流電力供給源の一端側を接続し、前記電源トランスの二次側に接続された抵抗発熱体からなるヒータである電力制御対象の電力を制御する方法であって、前記ヒータの温度を検出する段階と、温度設定値と前記段階で検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値を発生させる段階と、前記出力設定値をアドレスとして前記記憶部の中から切り替えパターンを読み出して、この切り替えパターンに基づいて、前記複数の電圧タップと交流電力供給源の他端側との間の接続を切替え制御する段階と、を含み、前記記憶部には、前記交流電力供給源の周波数の複数サイクルを一つの制御単位として当該複数サイクルの各サイクルに、選択された電圧タップを割り当てて、前記複数サイクルにより電圧タップの組み合わせパターンである切り替えパターンを形成し、温度設定値と前記温度検出手段により検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値に対応させて前記切り替えパターンが書き込まれていることを特徴とする電力制御方法。
- 電源トランスの各タップ電圧は、電圧タップの選択により負荷電力が半分ずつ小さくなるように設定されていることを特徴とする請求項7または8記載の電力制御方法。
- 電源トランスの各タップ電圧は、電圧タップの選択により負荷電流が半分ずつ小さくなるように設定されていることを特徴とする請求項7または8記載の電力制御方法。
- 電源トランスの各タップ電圧は、電圧タップの選択により負荷電圧が半分ずつ小さくなるように設定されていることを特徴とする請求項7または8記載の電力制御方法。
- 複数の電圧タップと電力制御対象の他端側との間の接続の切り替えは電源トランスの二次側の電圧波形がゼロボルトを交差したときに行われることを特徴とする請求項7乃至11のいずれか一項に記載の電力制御方法。
- 被処理体を熱処理するための反応容器と、一次側に交流電力供給源が設けられると共に、二次側の一端側に端子部を備え、また他端側に複数の電圧タップを備えた電源トランスと、前記反応容器を囲むように設けられ、前記電源トランスの二次側の一端側の端子部に一端側が接続された抵抗発熱体からなるヒータと、前記複数の電圧タップとヒータの他端側との間に設けられ、複数の電圧タップの中の一つを選択してヒータの他端側に接続するためのスイッチ部と、前記ヒータの温度を検出する温度検出手段と、前記交流電力供給源の周波数の複数サイクルを一つの制御単位として当該複数サイクルの各サイクルに、選択された電圧タップを割り当てて、前記複数サイクルにより電圧タップの組み合わせパターンである切り替えパターンを形成し、温度設定値と前記温度検出手段により検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値に対応させて前記切り替えパターンが書き込まれた記憶部と、前記出力設定値をアドレスとして前記記憶部の中から切り替えパターンを読み出して、この切り替えパターンに基づいてスイッチ部を切替え制御するためのスイッチ制御部と、を備えてなることを特徴とする熱処理装置。
- 被処理体を熱処理するための反応容器と、一次側の一端側に端子部を備え、また他端側に複数の電圧タップを備えた電源トランスと、前記電源トランスの一次側の一端側の端子部に一端側が接続された交流電力供給源と、前記反応容器を囲むように設けられ、前記電源トランスの二次側に接続された抵抗発熱体からなるヒータと、前記複数の電圧タップと交流電力供給源の他端側との間に設けられ、複数の電圧タップの中の一つを選択して交流電力供給源の他端側に接続するためのスイッチ部と、前記ヒータの温度を検出する温度検出手段と、前記交流電力供給源の周波数の複数サイクルを一つの制御単位として当該複数サイクルの各サイクルに、選択された電圧タップを割り当てて、前記複数サイクルにより電圧タップの組み合わせパターンである切り替えパターンを形成し、温度設定値と前記温度検出手段により検出した温度検出値との偏差に応じた出力設定値に対応させて前記切り替えパターンが書き込まれた記憶部と、前記出力設定値をアドレスとして前記記憶部の中から切り替えパターンを読み出して、この切り替えパターンに基づいてスイッチ部を切替え制御するためのスイッチ制御部と、を備えてなることを特徴とする熱処理装置。
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