TW298572B - Workpiece carrier and the production method thereof - Google Patents

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經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 ) 發明之货景 1. 發明之範圍 本發明係有關一種待研磨工作物件之承載器，該待研 磨工作物件之表面係須被研磨至非常精確且均句地平整， 例如，半導體之晶圓，使用在半導體裝置中之中間層及金 靨線，記憶碟片，及一用於LCD之玻璃板；及一種製造該 承載器之方法。 2. 相關技越之說明 傳綠上，半等體晶圓，用於半導體裝置上之中間層及 金屬線，記憶碟，用於LCD之玻璃板，及同類產品，$表 面之研磨都必需精確且均句地Μ下列方式進行。 首先，將該待研磨工作物件，固定在一旋轉承載板上 ，其固定之方法則如（1)至（3)所述。而一人工皮革製之 研磨布則係被固定在該承載板相對側所設之旋轉板上，然 後再將含有研磨顆粒之研磨液送入該研磨布與該工作物件 間，並且讓該研磨布與該工作物件彼此相對地滑動。 (1) 蠘安装方法：在一金屬或陶磁製之承載板上塗抹 一層經過熱熔之蠘，然後將該蠘冷卻至蠘之軟化點，於是 便將該工作物件固定在該承載板上。 (2) 真空吸附方法：以機械加工方式在金屬或陶磁承 載板上形成多數個孔徑自0.5厘米至數厘米之孔洞，然後 Μ真空泵吸附方式，將工作物件吸附在該承載板上，真空 泵會將空氣由該承載板之後面及側面吸入，於是，工作物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 4 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（2 ) 件即被固定在該承載板上。 (3)無蠘安裝方法：承載板設置有一人工皮革式之聚 合物泡棉材料，該聚合物泡棉材料係以浸濕方式使其孔隙 內充滿水份，當水因為該工作物件之壓力擠壓，而由該等 孔隙内流出時，在該等孔隙內乃會產生負歷，而將工作物 件吸附住。利用孔隙内之負壓與水之表面張力之組合，該 工作物件便可Μ被固定在該承載板上。 然而Μ上所述之方法，卻會伴隨著以下之問題： (1) 蠘安裝方法 (a)在工作物件完成研磨後，用來將工作物件固 定在該承載板上之蠟，仍然會殘留在該承載板之後平 面處，而該殘留之撤則必需利用繁瑣之清洗方法來清 除之。 (b )工作物件不能被加熱至高於蠘之軟化點以上 溫度。 (c)膨或外來物質，如灰塵，如果混入蠘以後， 會被傳送至工作物件之表面，於是會在表面研磨作業 期間，在工作物件上形成波紋，進而降低了工作物件 之研磨品質。 (2) 真空吸附方法 (a)受到吸附之工作物件，在研磨期間，會在孔 洞之位置處形成部份擦曲，而當研磨作業结束後，工 作物件恢復至原來之狀態，其結果是，由擦曲狀態恢 復平整之區域，其表面研磨之效果不佳 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 5 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) (b)研磨液會經由工作物件與承《δ板，然後吸附 於孔洞處，最後被吸入真空栗内，進而造成真空栗之 故陣與腐触。 (3)無蠘安裝方法 因為聚合物材料之撓性，材料之本身很難將金靥 或陶磁材質承載板之剛性，利用所稱輪廊加工原理， 傳遞到工作物件之表面。 再者，所有Μ上所述之方法，都有一個問題，即 當工作物件相對於研磨布滑動時，乃會在該工作物件之外 周緣處形成應力集中現象，進而造成工作物件之外周緣處 形成了偏拉唇部，故乃會破壞該工作物件之平整性。 發明之綜述 本發明之特徵係提供一種工作物件之承載器，其係可 允許將該工作物件滑靠於一研磨塾，而該研磨塾則係被設 置在該承載器相對側所設之研磨板上者，其包括一具有可 透氣部之板片，經由該板片，空氣乃可朝向其所設之第一 表面吸附，Μ使該工件物件可以被固定並吸附在該第一表 面相反側之第二表面處，及一具有低透氣性且被設置在該 可透氣部外周緣之密封部，一設置在該板片外周緣上之承 載環，Μ防止工作物件之外緣因為研磨而受到偏拉；及一 設置在該板Η與該承載環間之货托環，以使該承載環與該 研磨墊可保持壓力接觸。 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 6 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. ,•11 線 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 2985V2 at B7 五、發明説明（4 ) 在本發明之一實施例中，該密封部係設置有防止研磨 液潑入該外周緣部份之措施，同時該第一平面之一部份， 並未與該工作物件接觸。 在本發明之一實施例中，該承載環係採用抗磨擦之合 成樹脂所製成，而且該承載環之平面係經過處理，Μ保持 平滑。 在本發明之一實施例中，該密封部係具有一突出部， ,同時該承載環及該货托環係設置在該突出部上。 在本發明之一實施例中，該贸托環係採用一種在受到 壓力時，係可在厚度方向呈可變形之材料所製成，其比率 由0.1%至20%,該壓力之範圍則在50至1000克/平方公分 〇 在本發明之一實施例中，進一步包括一設置在該承載 環及該货托環間之剛性插入環，俾用以固定該承載環之平 面，使其與研磨塾在相同之高度保持接觸，其中該工作物 件之平面亦與研磨墊保持接觸。 在本發明之一實施例中，該板片係採用多孔陶磁材料 所製成，而且該材料係可利用無機黏著劑以黏合陶磁顆粒 而成者。 在本發明之一實施例中，該陶磁顆粒之直徑為0.1厘 米，同時該無機黏著劑係含有砂。 根據本發明之另一特徵係提供一種用來製造工作物件 承載器之方法，其係可允許工作物件滑靠於一研磨墊，而 該研磨墊則係被設置在該承載器相對側所設之研磨板上， 本紙張又度適用中國國家樣筚（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） ---------批衣------1Τ------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 其係包括將樹脂射入一可透氣板之外周緣部，以形成一具 有較該透氣板其他部份更具低透氣性之密封部；切除部份 之密封部，Μ構成一突出部；及將一彈性可變形之货托環 及一承載器環設置在該突出部上等步驟。 根據本發明之一種承載装置，係包括一具有無數連續 孔隙之空氣及液體潑透陶磁板。待加工之工作物件係被放 置在該承載板之平面上，所以利用真空系統，例如真空泵 ，同時經由該承載板上所設之孔隙，即可將空氣由該承載 板之另一側吸入，Μ使該工作物件得以被吸附在該承載板 上。被供給至該工作物件與供該工作物件滑靠之研磨墊間 之研磨液並不會渗入該承載板未直接與該工作物作接觸之 部位，因為在該處之孔隙係已被密封起來了。由於所設置 之孔隙數目係多而充足，同時孔徑係小而均匀，甚至其分 佈亦非常均勻，所Μ工作物件在利用真空吸附法吸引工作 物件乃不會產生擦曲之現象。 由於承載環係非常靠近該工作物件，同時該承載環之 表面實際上係與該工作物件之表面同高，利用此種结構， 在研磨作業期間所產生之應力，便會集中在該承載環之外 周緣，而不會沿著工作物件之外周緣形成。於是，便不會 產生不必要之偏拉唇部，工作物件之平整性便獲得改善。 在一包括彈性菏托環之结構中，該费托環係設置在承 載板與承載環之間，而且該承載環係彈性地由該背托環所 支撐。當工作物件之厚度因為研磨而降低時，货托環便會 受到壓縮，進而使承載環維持在與工作物件表面相同之高 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 8 I 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) 度。 萬一工作物件之厚度，明顯地超過該承載器所設計研 磨工作物件之厚度，則在該承載環與货托環之間，乃可Μ 插入一剛性插入環。利用插入一厚度適中之插入環，該承 載環便可Μ維持在與工作物件表面相同之高度。 在該等结構中，可Μ利用開啟或關掉真空泉浦，而將 工作物件固定及吸附在承載板上，或由該承載板上取下來 。於是，用來固定及吸附工作物件之時間，便適當地縮短 了。此外，因為研磨液之渗透而造成真空糸統真空度之降 低與損壞，也都可以避免發生了。於是，真空糸統便更容 易地保養了。藉著改善由陶磁珠構成之承載環與承載板之 均句平堅度，工作物件之平整度，也得到了明顯地改菩。 以细部觀察，單位面積之平整度，外周緣面積之平整度， 及工作物件整個區域之平整度，都明顯地得到了改善。 於是，本發明以上所揭露之技術，可以得到以下之優 點（1)提供一承載器，使能利用簡單之操作方法，在短時 間内，即可以將工作物件固定及吸附在承載板上，或自該 承載板上取下來，及一種製造該承載器之方法；（2)提供 一種承載器，使能避免因研磨液滲入其他用來承載工作物 件之機器或設備所造成之損壞，進而使保養更為容易，及 其製造方法；及（3)提供一種承載器，使能改善工作物件 之平整度，及其製造方法。 本發明之此些與其他優點，在配合圖式，並閱謓 Μ下之詳细說明後，乃會變得更為明確 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 9 ---------^------1Τ------0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 圖式之簡要說明 第一圖：係本發明一範例所示承載器之部份剖視圖。 第二圖：係第一圖所示承載器與研磨板一起使用時之部份 剖視圖。 第三圖：係本發明一範例所示承載器使用承載板之平面圖 〇 第四A圖：係第三圖所示承載板沿著A-A’截線之剖視圖。 及 第四B圖：係第三圖所示承載板沿著B-B’截線之剖視圖。 較佳實施例之說明 以下，本發明將配合一非限制性之實施例，配合圖式 來說明。 參閱第一圖及第二圖所示，乃係本發明一範例用以承 載待研磨工作物件7所示承載器8之結構圖。例如該工作 物件7乃係為一如砂晶圓或一 SOI晶圓之半導體晶圓；一 一利用加熱予以氧化之半導體薄膜；一用在半導體裝置内 之中間層或金靥線；一記憶碟片；或一使用在LCD之玻璃 板。 如第一圖所示，該承載器8係包括一可透氣板9。該 可透氣板9,通常為圓形，其係設有一具頂面la之中央部 1及一於理想狀態下係由該中央部1之底部向上突起之環 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 10 I 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) 形突出部2,該可透氣板9係包括無數連鱭之孔隙9a (例 如，200孔隙/平方公分），該等孔隙除了都非常细小且 均句（例如，直徑1厘米）外，其分佈亦非常均句。而該 環形突出部2與該中央部1之外周緣部lb則係共同構成一 密封部3。 在該環狀突出部2上係設有一總成12,而該總成12則 係包括有一承載環4、一片狀插入環6及一货托環5。由 該總成12所圍起來之空間13即可供容置一工作物件7,即 如第二圖所示。該承載環4、宽托環5及插入環6最好都 經過加工，俾使其彼此之内周緣及外周緣可相互對齊。 該承載器8係根據第二圖所示之方式使用。 該承載器8除了係被反向設置在一研磨板10上所設之 研磨塾11上外，g亥承載環4之表面4a則係藉施於其整個面 積上之均匀壓力與該研磨墊11之表面保持壓力接觸，而該 工作物件7則係被放置在該中央部1之表面la處。故利用 真空泵浦或類似產品，使空氣經由該中央部1之孔隙9a向 上抽出，即可使該工作物件7被吸附在該可透氣板9之中 央部1處。而當研磨液被輸送至該工作物件7與該研磨墊 11之間時，該工作物件7與該研磨墊11乃Μ相互旋轉之方 式滑動，於是便可對該工作物件7之表面7a進行研磨作業 。該總成12係具有足夠的高度，俾用以將該表面4a定位在 與該表面7a相同之高度處。 第三圖係為可透氣板9之頂視圖，而第四A圖及第四 B圖則係分別為沿著第三圖A-A ’及B-B '截線之剖面圖。如 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2IOX297公釐） 11 ---------^------1T------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 2985V2 A7 A7 B7 五、發明説明（9 ) 第三圖、第四A圖及第四B圖所揭露者，該密封部3在沿 著B-B’截線處係具有較其餘區域更大之寬度，俾用以配合 該工作物件7所具有平整部之形狀。 該可透氣板9係可利用任何剛性且具有連讀孔隙之材 料所製成，例如，金靥，堅硬之合成樹脂或玻璃，而該可 透氣板9則係Μ採用陶磁製成者為佳。詳細地說，陶磁粉 末先燒結成陶磁顆粒（亦可稱為"陶磁珠"），然後，再 將該陶磁顆粒利用無機黏著劑黏合在一起。例如，先將鋁 粉燒结成直徑為0.1厘光之紹珠，然後再將該銘珠利用矽 質無機黏著劑黏合。以此種方式製成之可透氣板9乃可具 有無數之孔隙。理想之情況下，該可透氣板9對空氣與液 體之渗透性係需具有最低之可能阻力，而該理想之阻力則 為400毫米水銀柱。 該密封部3之形成乃係先將液態樹脂注入該突出部2 之孔隙9a及該可透氣板9所設中央部1之外周緣部lb内， 然後予Μ固化形成。利用此種方式形成之密封部3,其透 氣性則明顯地低於可透氣板9之其餘部份，甚至為零。該 密封部3最好成型在Μ上描述之部份，因此才不會直接與 該工作物件7之承載作業有關，該工作物件之承載則係由 該連續孔洞9a來負責。 承載器8可以利用Μ下方式來製造。 首先，製備碟形多孔板.；在板頂面要與工作物件7接 觸之面積範圍，先Μ膠帶貼起來；接下來，則將液態樹脂 由頂部注入透氣板，以形成密封部。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 12 ----------^------II------# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（10) 該理想之液態樹脂係如熱塑性聚合物溶液、熱塑性獎 、熱塑性聚合物熔液及由液態熱設定樹脂及硬化劑所組合 之混合物。一種黏度非常低之材料係經過該覆蓋膠帶之底 部，所Μ —種黏度非常高之材料乃不會潑入該孔隙9a中。 因此由液態熱設定樹脂及固化劑所組成之混合物，其黏度 則係在1,000至1,000,000泊（poise) 之範圍内，而且在 反應期間係以不會產生空氣者為佳。此種樹脂係包括：如 環氧樹脂、聚乙婦、聚酿類、氟化樹脂、聚嫌烴、聚氧化 甲稀及聚醯亞胺。而做為一種硬化劑，只要能夠硬化熱塑 性樹脂之硬化劑，都可以使用。 在密封部內之液態樹脂固化後，該覆蓋膝帶即可予以 撕去。而該孔隙板之頂部外周緣部份則係被切除成一環狀 ，於是便得到一具有中央部1及環形突出部2之可透氣板 9。而當該頂部外周緣被切除後，吾人即可將液態樹脂注 入該可透氣板9。 接下來，該货托環5、插入環6及承載環4即可利用黏 膠或類似產品將其安装在該中央部2上。於是該承載器8 便完成了組裝。 製造該承載環4之材料，係為一種具有低相對摩擦係 數之材料。該相對摩擦係數乃係利用該研磨板10或研磨塾 11與該承載環4接觸時之摩擦力來決定。適於製造該承載 環4之材料係包括氟化樹脂，聚蹄烴，聚氧化甲稀及聚醯 亞胺。而該承載環4在利用以上之材料製成後，係須再予 Μ處理，例如研磨。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X2517公釐） 13 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -a Τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（Π ) 贸托環5最好採用一種在受到50至1000克/平方厘米 之壓力壓擠時，會產生0.1至20%彈性變形之材料以製成 之，該等壓力通常為研磨所需之壓力。該等材料則係以受 到100至500克/平方厘米之壓力下，會產生1至10%之 變形者為佳。因該货托環5係需要很容易地被壓縮或彈回 ，因此，當工作物件7之厚度因為研磨而減少時，該承載 環4之表面4a亦可跟著改變，進而與該工作物件7之表面 7a保持相同之高度。然而，該背托環5也同時需要能夠抵 抗水平方向之擴張，即當該货托環5在受到垂直1S縮時所 產生之水平擴張。理想之材料包括一熱塑性彈性體，例如 聚亞胺脂、熱設定彈性體及不同的橡膠材料。特別係由彈 性體或橡膠材料所構成之泡棉材料者為最佳。 該插入環6係可製做成不同之厚度，Μ配合不同厚度 之工作物件。當一工作物件之厚度與另一工作物件之厚度 有著很大之不同時，便可以利用一厚度不同之插入環6來 取代原來之插入環6，進而使總成12之厚度達到適合之情 況。製造該插入環6之材料最好係剛性者，同時可Μ利用 研磨Μ製成不同之厚度。理想的材料包括環氧樹脂、聚酿 類及聚醯亞胺，並填充以玻璃纖維。 該承載環4在與該研磨墊11接觸之外周緣處，係可製 成圓角或磨圓。而該總成12之内徑則可等於或稍大於該工 作物件7之外徑。 由該保持環4、插入環5及窗托環6所構成之總成12 係可Μ利用膠帶，例如一種雙面膝帶，而將其固定至該突 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）

U (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（12 ) 出部2處。 (實施例） 以下，該承載器8將Μ —實際之範例來說明之 Δ. 製造 第一步驟： 利用直徑約為0.1厘米之絕珠製備成一厚度為20厘米 且直徑為50厘米之板片，其中該鋁珠則係採用Kyocera公 司所製造之Beads Chuck (註冊商標）。再於該板Μ之表 面中央部黏貼一於其一側面塗佈有黏膠之膠帶，該膝帶係 採用聚酷類薄膜所製成者，而且該薄膜乃係與直徑為200 厘光之矽晶圓者具有一致形狀。 第二步驟： 製備混有一定量硬化劑之環氧樹脂，該環氧樹脂之黏 桐度係為3000 cps/攝氏25度（使用Β-型旋轉式黏度計測 童）。再令該環氧樹脂由該板片之頂部流下，同時放置三 分鐘，以讓該樹脂渗入該板片内。然後，再Μ壓水輯將多 餘之樹脂清除。 第三步驟： 將該合成板片倒置在一具有離型性之平板上，同時置 入溫度為攝氏120度之爐中烤焙60分鐘，Μ使該環氣樹脂 硬化〇 第四步驟： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 15 I 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（13 ) 當該板片上之環氧樹脂完全硬化後，即可將該板片自 平板上取下，並將膝帶也一起撕下。 第五步驟： 將該板片頂部平面上所設環氧樹脂之毛邊清除掉。然 後再將該板片之部份切割成環形。詳细地說，該板片係由 頂部平面向下切割15厘米，再由外周緣朝中心切割25厘米 。此時該合成板Μ 9乃具有一中央部1及一由該中央部突 出之突出部（即突出部2)。 第六步驟： 以醋酸樹脂製備一承載環4，其内徑為200厘米，外 徑為250厘米，而厚度則為5厘米。在相對於表面4a之承 載環表面上係黏貼有一壓力敏感之雙面_帶。而與該承載 環4具有相同內徑與外徑，且其厚度為10厘米之货托環5 則係利用矽橡膝海棉所成型者，該背托環5之表面上亦設 置有一壓力敏感之雙面膠帶。另利用環氧樹脂、填充玻璃 纖維所製成之插入環6，其除了內徑與外徑係與該承載環 4及該背托環5相同外，其厚度則係約在650微米。而該 插入環6之表面上亦係貼有壓力敏感之雙面膠帶者。 第七步驟： 將該等雙面膠帶之離型紙撕去，即可在該板片9所設 突出部2之頂部平面2a處，逐一叠置該贸托環5、插入環 6及承載環4,於是該等環體便彼此地黏合在一起，同時 也被黏合到該板片9所設之突出部2處，Μ製成該承載器 8〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） 16 ! 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 使用晶圓： 2985/2 五、發明説明（14 ) B. 評估 (評估一） 由Μ上步驟所製成之承載器8係被安裝在一研磨機器 上，該機器並具有一'真空吸附機構（例如由Lap mas ter公 司所生產之LPG-2000型），同時一直徑為八英寸之晶圓， 則被放置在該中央部1之表面la處。而該晶圓則係利用該 真空機構將其吸附在該中央部1之狀態下，進而在Μ下之 條件下接受研磨。 而完成研磨之晶圓則係可顯示出令人滿意之特性，如 TTV (全部厚度變化）為0.3微米及STIR (現場全部指示 謓數）在15 nrn xl5 mm面積下為0.2微米者。其中該TTV 係為該需平整晶圓上某一部份最大厚度與最小厚度間之差 值。 使用單砂晶P(l〇〇)製成之八吋晶圓 ---------1------iT------# (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 第一次研磨 研磨布： 研磨液： 力： SUBA800 (SUB A為註冊商標） 由 Rode 1 N i tta Company所生產 NALC02350 由 Nalco Chemical Company 所生產 稀釋20倍 300克/平方公分 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 17 A7 B7 五、發明説明（15 研磨液數量： 時間： 第二次研磨 研磨布： 研磨液： 1000毫升/分鐘 15分鐘 壓力： 研磨液數量 時間： 第三次研磨 研磨布： 研磨液： MHS35A 由 Rode 1 N i 11 a Company 所生產 LS10 由Rodel Inc.所生產 稀釋13倍 150克/平方公分 500毫升/分鐘 5分鐘 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 壓力： 研磨液數量 時間： UR100 由Rodel Inc.戶万生產 LS11 由Rodel Inc.所生產 稀釋13倍 100克/平方公分 500毫升/分鐘 5分鐘 II--------參------1T------i (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）18 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 具有氧化薄膜之八吋砂晶圓 IC1000 由Rode 1 Inc.所生產 ILD1300 由Rodel Inc.所生產 500克/平方公司 500毫升/分鐘 3分鐘 A7 B7 五、發明説明（16 ) (評估二） 該合成承載器8係被安裝在LPG-2000研磨機器上，而 且一片包含有電路且由氧化薄膜層所覆蓋之八吋晶圓係被 固定在表面la上。而該晶圓則係利用真空機構將其吸附在 該中央部1之狀態下，進而在Μ下之條件下接受研磨。 完成研磨之晶圓係可顯示出令人滿意的特性，即在氧 化薄膜（非均句性）厚度相較於氧化薄膜（50ηιη)之厚度 範圍内，其斷差率係為2¾，而且該電路相較於其基層之平 整度係為5 ma。 使用晶圓： 研磨布： 研磨液： 懕力： 研磨液數量 時間： (評估三） 該合成承載器8係被安装在LPG-2000研磨機器上，而 且一片八吋之SOI晶圓係被固定在該表面la上。該SOI晶 圓係將兩片鏡面矽晶圓黏合在一起製成，然後再將其中之 一片晶圓研磨至僅有數微米之厚度。而該晶圓則係利用真 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0><297公釐） 19 ---------种衣------1T------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（Π ) 空機構將其吸附在該中央部1之狀態下，進而在Μ下之條 件下接受研磨。 完成研磨之晶圓係可顯示出令人滿意的特性，即，在 較厚晶圓厚度相較於較薄晶圓厚度（1微米）之斷差率係 5 % 〇 使用晶圓： 第一次研磨 研磨布： 研磨液： m力·· 研磨液數量 時間： 第二次研磨 研磨布： 研磨液： 八吋SOI晶圓 MHS35A 由 Rode 1 N 111 a Company 所生產 R0DEL2398 由Rodel Inc.戸/f生產 稀釋20倍 250克/平方公分 500毫升/分鐘 15分鐘 UR100 由Rodel Inc.戶/f生產 LS11 由Rode 1 Inc.所生產 稀釋13倍 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）20 ! 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 2985/2 100克/平方公分 500毫升/分鐘 5分鐘

A7 B7 五、發明説明（18 ) 壓力： 研磨液數量： 時間： (比較性範例一） 使用傳統之蠘安裝法，晶圓乃係依據下列方式進行研 〇 八吋晶圓除了係用蠘黏合在LPG -2000研磨機器所設之 陶磁板上外，該晶圓並係使用與評估一完全相同之條件下 進行研磨。最後完成之合成晶圓，其TTV係為0.8微米， 而STIR則為0.6微米，亦即其品質水準係與現今市埸上銷 售之晶圓者同。 (比較性範例二） 使用傳統之非蠘安裝法，晶圓乃係依據下列方式進行 研磨。 將一由Rodel Nitta Company製造之模板，安裝在LPG -2000研磨機器所設之陶磁板上，然後將一八吋晶圓安裝 在用純水浸濕之模板上，再將該晶圓Μ與評估一相同之條 件下進行研磨。完成加工之晶圓，其TTV為1.1微米，而 STIR則為0.9微米，所以其品質水準係與現今市場上銷售 之晶圓者同。 由以上描述之结果可Μ看出，利用本發明製造之承載 器，當晶圓在完成研磨後，係可得到了一更為均句之平整 度，亦即其品質水準，在使用TTV及STIR表示時係都優於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐） I 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 21 A7 B7 五、發明説明（19 ) 任何一種習知研磨方法所得到之结果 在不脫離本發明之精神與範圍下，對於熟知此項技藝 之人士而言，可以有各種不同變換實施。因此，本發明之 申請專利範圍不應僅限於前述之說明部份，而應做更寬之 解釋。 I — 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 22

Claims (1)

1. ABCD 經濟部中央標準局貞工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1. 一種工作物件承載器，其係可令工作物件滑靠於該承 載器反向所設研磨板之研磨墊上，該承載器包括： 一板片，該板片包含一可透氣部，當由該處將空氣朝 向第一表面吸入時，該工作物件乃可被固定且吸附在該第 一表面相反側之第二表面上；及一密封部，該密封部除了 具有較低之透氣性外，其並係被設置在該可透氣部之外周 緣處； 一承載環，該承載環係被設置在該板片之外周緣處， 俾用以防止該工作物件之外緣因研磨作業而形成偏拉現象 ;及 一背托環，該费托環係設置在該板片與該承載環間， 俾用以使該承載環與該研磨墊得Μ保持壓力接觸。 2. 如申請專利範圍第1項所述之承載器，其中該密封部 係置有防止研磨液渗入該外周緣部之措施，同時該第一表 之一部份係並未與該工作物件接觸者。 3. 如申請專利範圍第1項所述之承載器，其中該承載環 係採用抗磨擦之合成樹脂所製成，而且該承載環之表面係 經過處理，Μ保持其平滑。 4. 如申請專利範圍第1項所述之承載器，其中該密封部 係具有一突出部，而且該承載環及該货托環係被設置在該 突出部上。 5. 如申請專利範圍第1項所述之承載器，其中該货托環 係採用一種在受到大約50至1,000克/平方公分壓力時， 係可在厚度方向形成大約0.1%至20%變形比率之材料所製 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4说格（210Χ297公釐） 23 — II 裝 I n 訂 I ~~線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A8 B8 C8 D8 χ、申請專利範圍 成者。 6. 如申請專利範園第1項所述之承載器，其中進一步包 含一設置在該承載環及該背托環間之剛性插入環，俾與該 研磨墊接觸之承載環表面，得Μ被固定在與該研磨墊接觸 之工作物件表面之等高處。 7. 如申請專利範圍第1項所述之承載器，其中該板片係 利用無機黏著劑黏合陶磁顆粒而成之陶磁孔隙材料所製成 者。 8. 如申請專利範圍第7項所述之承載器，其中該陶磁顆 粒之直徑係為0.1厘米，而該無機黏著劑則含有砂。 9. 一種用以製造工作物件承載器之方法，其係可令工作 物件滑靠於該承載器反向所設研磨板之研磨墊上者，該方 包括下列之步驟： 將樹脂射入可透氣板之外周緣部，俾形成一具有較該 板片其他部位更具低透氣性之密封部； 切除該密封部之一部份，以形成一突出部；及 將一彈性可變形之菏托環及一承載環設置在該突出部 上。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 24 ---------^------^------.^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)