KR101833560B1

KR101833560B1 - 유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법

Info

Publication number: KR101833560B1
Application number: KR1020127025585A
Authority: KR
Inventors: 미츠루 후루타; 미노루 요코타; 다카시 사사모리
Original assignee: 아사히 가라스 가부시키가이샤; 후지보홀딩스가부시끼가이샤
Priority date: 2010-03-30
Filing date: 2011-03-24
Publication date: 2018-02-28
Also published as: CN102844152B; CN102844152A; JPWO2011122454A1; KR20130018258A; WO2011122454A1; JP5640076B2; TW201139056A

Abstract

본 발명은, 자기 흡착형 시트(32)가 양면 접착 시트(34)를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서, 상기 양면 접착 시트는 시트 형상의 기재(38)와 상기 기재의 양면에 구비된 점착층(40, 42)으로 구성되고, 상기 점착층은 상기 기재의 동일면 내에서 각각 소정의 간극(B'''', B'''')을 두고 구비되며, 상기 기재의 양면에 구비된 점착층 간의 간극이 점착층의 적층 방향에 있어서 겹치지 않는 유리 기판 유지용 막체에 관한 것이다.

Description

유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법 {GLASS SUBSTRATE HOLDING FILM BODY, AND GLASS SUBSTRATE POLISHING METHOD}

본 발명은, 유리 기판을 가공할 때에, 유리 기판을 유지하는 유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법에 관한 것이다.

액정 디스플레이용으로 적용되는 유리 기판은, 그의 표면의 미소한 요철이나 굴곡이 화상에 왜곡을 부여하는 원인이 된다. 이로 인해, 그 미소한 요철이나 굴곡을 연마 장치로 제거함으로써, 원하는 평탄도를 갖는 유리 기판으로 가공된다. 이러한 연마 장치로서, 연마 정반에 부착된 연마 패드에, 연마 헤드에 유지된 유리 기판을 누름과 함께, 연마 정반 및 연마 헤드를 상대적으로 회전시켜서 유리 기판을 연마하는 연마 장치를, 본원 출원인이 특허문헌 1에서 개시하고 있다. 또한, 특허문헌 1의 연마 장치에서는, 연마 헤드에 설치되는 자기 흡착형 유지용 막체에 유리 기판을 흡착 유지시킴으로써, 유리 기판을 연마 헤드에 설치한다.

최근에는, 액정 디스플레이용 유리 기판의 대형화에 수반하여, 이 유리 기판을 연마 헤드에 흡착 유지시키기 위한 유지용 막체의 크기도 대형화하고 있다. 이 유지용 막체는, 다공질성 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착됨으로써 구성되고, 이 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지된다.

G10이라고 칭해지는 크기(3130mm×2880mm)의 마더 유리 기판을 연마 가공하는 경우, 그 크기의 유리 기판을 유지하는 유지용 막체의 제조에 있어서, 자기 흡착형 시트나 백 플레이트는, 거기에 대응한 크기의 제품을 기존의 제조 설비로 제조할 수 있다. 그러나, 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착하는 양면 접착 시트는 기존의 제조 설비에서는 단일 제품으로서 제조할 수 없고, 제조하는 경우에는 신규 설비 투자가 필요하여, 제조 비용이 증대한다는 문제가 있었다.

양면 접착 시트는, 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 기재의 양면에 접착제가 도포된 점착층을 구비하고 있다. 상기 기재에 대해서는, 기존의 제조 설비에서도 상기 G10 크기의 것을 제조할 수 있다. 그러나, 접착제의 도포 장치는, 도포 면적이 매우 넓은 것에 기인해서 기존의 설비에서는 대응할 수 없었다.

따라서, 종래에는, 기존의 크기의 양면 접착 시트를 적어도 2매 사용하여, 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착 유지하고 있었다.

자기 흡착형 시트로서는 특허문헌 2에 나타낸 바와 같이, 폴리우레탄 수지로 형성된 연질 플라스틱 시트로서의 폴리우레탄 시트를 예시할 수 있다. 특허문헌 2의 폴리우레탄 시트는, 그의 표면층에 미세한 다공이 형성되고, 표면층에 물 등의 액체를 포함시킴으로써, 표면층의 미세한 다공에 침입한 액체의 표면 장력에 의해 연마 정반에 연마 패드를 접착하는 것이다. 이 폴리우레탄 시트에 의해 유리 기판을 자기 흡착 유지할 수도 있기 때문에, 자기 흡착형 시트로서 사용되고 있다.

그런데, 복수매의 양면 접착 시트를 사용하는 종래의 유지용 막체에 있어서, 인접하는 양면 접착 시트의 단부끼리 간극 없이 부착하는 것은 어렵다.

도 8은, 자기 흡착형 시트(1)가 2매의 양면 접착 시트(2A, 2B)를 개재해서 백 플레이트(3)에 접착되고, 자기 흡착형 시트(1)에 유리 기판(G)이 흡착 유지된 유지용 막체(6)의 단면도가 도시되어 있다. 인접하는 양면 접착 시트(2A, 2B)의 단부끼리 간극 없이 부착하기 위해서, 양면 접착 시트(2A, 2B)의 단부끼리 약간 겹치도록 접착하면 그 겹쳐진 부분이 볼록 형상이 되고, 이것이 자기 흡착형 시트(1)를 개재해서 유리 기판(G)에 볼록 형상부(4)가 되어 전사된다. 볼록 형상부(4)가 전사된 상태에서 유리 기판(G)을 연마하면, 연마 후의 유리 기판(G)은, 이 볼록 형상부(4)로 된 부분이 도 9에 도시한 바와 같이, 반대로 오목 형상부(4A)가 되어 나타나므로, 가공 표면의 평탄성이 손상되어, 유리 기판(G)의 품질(평탄도)이 저하한다는 문제가 있었다.

이상의 문제를 해결하기 위해서, 대형 유리 기판을 원하는 평탄도로 연마하기 위해서는, 도 10에 도시한 바와 같이 두께 방향의 간극(A)과 면 방향의 간극(B)을 유지용 막체(6)에 갖게 하는 것이 필요하다.

간극(A, B)을 갖는 유지용 막체로서, 하기의 구성의 유지용 막체를 고려할 수 있다.

도 11에 도시한 바와 같이, 작은 크기의 유지용 막체(6, 6)를 동일면 내에서 소정의 간극(A', B')을 가지고 복수매 사용함으로써 큰 크기로 한 유지용 막체(7).

도 12에 도시한 바와 같이, 자기 흡착형 시트(1)를 단일 제품으로 하고, 양면 접착 시트(2C, 2D)를 동일면 내에서 소정의 간극(A'', B'')을 가지고 복수매 사용함으로써 큰 크기로 한 유지용 막체(8).

도 13에 도시한 바와 같이, 자기 흡착형 시트(1)를 단일 제품으로 하여, 양면 접착 시트(2E, 2F)를 동일면 내에서 소정의 간극(A''', B''')을 가지고 복수매 사용하고, 또한, 2장 겹침과 함께, 상하 2매의 각각의 양면 접착 시트(2E, 2F) 간의 간극(A''', B''')을 양면 접착 시트의 적층 방향에 있어서 겹치지 않는 구성으로 함으로써 큰 크기로 한 유지용 막체(9).

일본 특허 공개 제2004-122351호 공보 일본 특허 공개 제2007-7824호 공보

그러나, 도 11에 도시한 유지용 막체(7)에서는, 제작 오차를 감안하면 간극(B')을 작게 하는 것은 곤란하다. 따라서, 유지용 막체(7)에서는, 유지용 막체(7)의 두께만큼 큰 간극(A')과 간극(B')이 존재하기 때문에, 그 간극(A', B')의 위치에 대응하는 유리 기판에, 도 14에 도시한 바와 같이 볼록 형상부(4B)가 크게 나타난다. 따라서, 이 유지용 막체(7)에서는, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시키는 것은 어렵다.

또한, 도 12에 나타낸 유지용 막체(8)의 간극(A'')은, 도 11에 도시한 유지용 막체(7)의 간극(A')보다 자기 흡착형 시트(1)의 두께분만큼 작아지는 제작 오차를 감안하면 간극(B")을 작게 하는 것도 곤란하다. 또한, 연마 시에는 유리 기판과 연마 패드의 마찰 저항에 의해, 자기 흡착형 시트(1)가 면 방향으로 신장되기 때문에, 간극(B")이 커진다. 따라서, 이 유지용 막체(8)에서도, 유리 기판에 상기 볼록 형상부(4B)(도 14 참조)가 크게 나타나기 때문에, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시키는 것은 어렵다.

도 13에 나타낸 유지용 막체(9)는, 2장 겹쳐서 배치된 양면 접착 시트(2E, 2F)의 각각의 기재(2G, 2H)의 강도에 의해, 자기 흡착형 시트(1)의 면 방향의 신장을, 도 12에 나타낸 유지용 막체(8)보다 작게 억제할 수 있다. 그러나, 도 13에 도시한 바와 같이 양면 접착 시트(2E, 2F)를 2장 겹치면, 2개의 간극(A''')의 가산값이, 도 12의 유지용 막체의 간극(A'')의 2배가 되고, 또한, 제작 오차를 감안하면 간극(B''')을 작게 하는 것도 곤란하다. 따라서, 이 유지용 막체(9)에서도 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시키는 것은 어렵다.

본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있는 유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서, 상기 양면 접착 시트는 시트 형상의 기재와 상기 기재의 양면에 구비된 점착층으로 구성되고, 상기 점착층은 상기 기재의 동일면 내에서 소정의 간극을 두고 구비되며, 상기 기재의 양면에 구비된 점착층 간의 간극이 점착층의 적층 방향에 있어서 겹치지 않는 유리 기판 유지용 막체를 제공한다.

본 발명의 유지용 막체에 의하면, 연마 가공 시의 자기 흡착형 시트의 면 방향의 신장을, 자기 흡착형 시트와 동일한 크기의 양면 접착 시트의 기재에 의해 억제할 수 있다. 또한, 본 발명의 유지용 막체의 간극(B'''')은, 전술한 도 12, 도 13의 유지용 막체(8, 9)의 간극(B'', B''')과 대략 동일하다. 그러나, 본 발명의 유지용 막체의 간극(A'''')은, 기재의 양면에 구비된 점착층의 두께분만큼이므로, 도 11 내지 도 13의 유지용 막체(7 내지 9)의 간극(A' 내지 A''')보다 대폭 작아진다. 따라서, 본 발명의 유지용 막체에 의하면, 유지용 막체(7 내지 9)와 비교하여, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.

이러한 유지용 막체에 의해 유지되어 연마된 유리 기판은, 상기 간극이 전사되어 연마됨으로써, 그의 표면에 볼록 형상부가 형성된다. 그러나, 본 발명의 유지용 막체에 의하면, 상기 기재의 양면에 구비된 점착층 간의 상기 간극은, 점착층의 적층 방향에 있어서 겹치지 않기 때문에, 간극에 의한 전사량을 억제할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따르면, 유리 기판의 표면에 형성되는 볼록 형상부의 높이를 낮게 억제할 수 있으므로, 연마 후의 유리 기판의 품질이 더욱 한층 향상된다.

본 발명은, 대형 유리 기판을 흡착 유지하는 유지용 막체를 대상으로 하고 있다. 이로 인해, 본 발명의 1매의 자기 흡착형 시트 및 양면 접착 시트의 기재는 대형 유리 기판에 대응할 수 있는 치수인 것이다. 또한, 양면 접착 시트의 점착층은 기존의 도포 장치로 도포할 수 있는 최대 치수 이하이다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 유리 기판의 크기는 3130(mm)×2880(mm) 이상인 것이 바람직하다. 즉, 본 발명의 유지용 막체는, G10 크기라고 칭해지는 크기 이상의 크기의 유리 기판을 유지하고, 그 유리 기판을 연마한다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 유지용 막체의 크기는 3200(mm)×3000(mm) 이상인 것이 바람직하다. 상술한 G10 크기 이상의 유리 기판을 유지하기 위해서는, 3200(mm)×3000(mm) 이상의 크기를 갖는 유지용 막체를 사용하는 것이 바람직하다.

본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 유리 기판 유지용 막체에 의해 유리 기판을 흡착 유지하고, 상기 유리 기판의 피연마면을 연마 패드에 가압하여, 유리 기판의 피연마면을 필요한 평탄도로 연마하는 것을 포함하는 유리 기판의 연마 방법을 제공한다. 이에 의해, 본 발명에 따르면, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.

본 발명에 따르면, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.

도 1은 실시 형태의 유리 기판 유지용 막체가 적용된 유리 기판의 연마 장치의 사시도이다.
도 2는 실시 형태의 연마 장치의 주요부 구조를 도시한 확대 단면도이다.
도 3은 제1 실시 형태의 유지용 막체의 사시도이다.
도 4는 실시 형태의 유지용 막체의 단면도이다.
도 5는 실시 형태의 유지용 막체에 유리 기판이 흡착 유지된 단면도이다.
도 6은 간극을 두고 접착한 2매의 양면 접착 시트에 의해 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착한 단면도이다.
도 7은 유리 기판의 표면에 형성된 볼록 형상부의 설명도이다.
도 8은 2매의 양면 접착 시트의 단부를 겹쳐서 자기 흡착형 시트를 백 플레이트에 접착한 단면도이다.
도 9는 유리 기판의 표면에 형성된 오목 형상부의 설명도이다.
도 10은 유지용 막체의 간극을 설명하기 위해서 사용한 단면도이다.
도 11은 유지용 막체의 제1 비교예를 나타낸 단면도이다.
도 12는 유지용 막체의 제2 비교예를 나타낸 단면도이다.
도 13은 유지용 막체의 제3 비교예를 나타낸 단면도이다.
도 14는 유리 기판의 표면에 형성된 볼록 형상부의 설명도이다.

이하, 첨부 도면에 따라 본 발명에 관한 유리 기판 유지용 막체 및 유리 기판의 연마 방법의 바람직한 실시 형태에 대해서 설명한다.

도 1은 실시 형태의 유리 기판 유지용 막체가 적용된 유리 기판의 연마 장치(10)의 사시도를 도시하고 있다. 또한, 도 2에는, 연마 장치(10)의 주요부 구조를 도시한 확대 단면도를 도시하고 있다.

연마 장치(10)는, 직사각 형상으로 제조된 마더 유리 기판[예를 들어, 1변이 3130mm×2880mm(G10 크기) 이상, 두께 0.7mm](G)의 피연마면(A)을 액정 디스플레이용 유리 기판에 필요한 평탄도로 연마하는 연마 장치이다. 연마 장치(10)는, 유리 기판(G)을 유지용 막체(12)를 개재해서 그의 하면에 유지하는 연마 헤드(14)와, 알루미늄제의 플레이트(16)를 개재해서 연마 패드(18)를 그의 상면에 유지하는 연마 테이블(20)로 구성되어 있다. 마더 유리 기판(이하, 유리 기판이라고 함)(G)은 자기 흡착 작용이 있는 배킹재 등으로 이루어진 유지용 막체(12)에 유지됨과 함께, 연마 헤드(14)에 의해 피연마면(A)이 연마 패드(18)에 가압된다. 그 결과, 유리 기판(G)은 피연마면(A)이 필요한 평탄도로 연마된다. 유지용 막체(12)는 상기 크기의 대형 유리 기판(G)을 흡착 유지하기 위해서, 3200(mm)×3000(mm) 이상의 크기를 갖고 있는 것이 바람직하다. 또한, 유지용 막체(12)의 상세 구조에 대해서는 후술한다.

연마 중에는 도 2에 도시한 바와 같이, 연마 테이블(20)과 플레이트(16)에 관통 형성된 다수의 슬러리 공급 구멍(22A, 22B…)으로부터 산화세륨 수용액 등의 연마 슬러리가 연마 패드(18)의 하면측으로부터 공급되고 있다. 이에 의해, 연마 패드(18)가 연마 슬러리에 의해 침지된 상태로 된다. 이 상태에서 유리 기판(G)이 연마된다. 슬러리 공급 구멍(22A, 22B…)은 연마 테이블(20)과 플레이트(16)에 있어서 촘촘하고 또한 균일하게 형성되어 있다. 이로 인해, 연마 패드(18)에 연마 슬러리가 균일하게 공급되어 있다. 또한, 연마 패드(18)로서는, 예를 들어 발포 폴리우레탄 타입이나 스웨이드(Suede) 타입이 사용되고, 플레이트(16)에 접착되어 있다. 연마 패드(18)는 단일 구성으로도 좋지만, 유리 기판(G)의 크기에 대응해서 그 크기도 크기 때문에, 복수매의 분할 패드를 조합해서 1매의 연마 패드(18)로 해도 좋다. 또한, 연마 테이블(20)에는 다수의 흡인 구멍(24A, 24B…)이 관통 형성되어 있고, 이들 흡인 구멍(24A, 24B…)은 도시하지 않은 석션 펌프에 밸브를 개재해서 접속되어 있다. 따라서, 상기 밸브를 개방함으로써, 석션 펌프의 흡인력이 흡인 구멍(24A, 24B…)에 전달되므로, 플레이트(16)가 연마 테이블(20)의 상면에 흡착 유지된다. 상기 밸브를 폐쇄함으로써, 석션 펌프의 흡인력이 해제되므로, 연마 패드(18)의 유지 보수, 교환 시에 연마 테이블(20)로부터 연마 패드(18)를 플레이트(16)와 함께 제거할 수 있다.

도 1에 도시한 바와 같이 연마 헤드(14)의 상부 중앙에는, 스핀들(26)이 고정되고, 이 스핀들(26)에는 회전/승강 장치(28)가 연결되어 있다. 회전/승강 장치(28)는 연마 장치(10) 전체를 통괄 제어하는 제어부(30)에 의해, 유리 기판(G)의 연마에 적합한 회전 수 및 하강 동작(가압력)이 제어되고 있다.

도 3에는, 실시 형태의 유지용 막체(12)의 사시도가 도시되고, 도 4에는, 백 플레이트(36)를 제외한 실시 형태의 유지용 막체(12)의 단면도가 도시되어 있다. 또한, 도 5는 실시 형태의 유지용 막체(12)에 유리 기판(G)이 흡착 유지된 단면도가 도시되어 있다.

도 4에 도시한 바와 같이 유지용 막체(12)는, 1매의 자기 흡착형 시트(32)가 동일면 내에 배치된 1매의 양면 접착 시트(34)를 개재해서, 도 3의 알루미늄제의 백 플레이트(36)에 부착되어 구성된다. 이 자기 흡착형 시트(32)에 도 5에 도시한 바와 같이 유리 기판(G)이 흡착 유지된다.

자기 흡착형 시트(32)는, 특허문헌 2에 개시되어 있는 바와 같은 폴리우레탄 수지로 형성된 폴리우레탄 시트이며, 그의 두께는 약 1.1 내지 1.5mm인 것이 바람직하다. 이 폴리우레탄 시트는, 그의 표면층에 미세한 다공이 형성되고, 표면층에 물 등의 액체를 포함시킴으로써, 표면층의 미세한 다공에 침입한 액체의 표면 장력에 의해 유리 기판(G)을 흡착 유지할 수 있다.

양면 접착 시트(34)는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 등의 기재(38)와, 기재(38)의 양면에 접착제가 도포됨으로써 형성된 점착층(40, 42)으로 구성된다. 기재(38)의 두께는 약 75㎛인 것이 바람직하고, 점착층(40)의 두께는 약 50㎛인 것이 바람직하다. 또한, 자기 흡착형 시트(32)측의 점착층(40)보다 백 플레이트(36)측의 점착층(42)의 두께를 얇게 함으로써, 유리 기판(G)의 평탄도 향상에 기여할 수 있다.

도 3 내지 도 5에 도시한 유지용 막체(12)는, 1매의 자기 흡착형 시트(32)에 동일면 내에 양면 접착 시트(34)가 1매 배치되고, 양면 접착 시트(34)의 점착층(40)은, 소정의 간극(S1)을 두고 기재(38)에 도포됨과 함께, 점착층(42)도 마찬가지로 소정의 간극(S2)을 두고 기재(38)에 도포된다. 그리고, 이들 간극(S₁, S₂)은 점착층의 적층 방향에 있어서 겹치지 않도록 되어 있다. 이들 점착층(40, 42)은 기존의 도포 장치로 도포할 수 있는 최대 치수 이하이다.

상기와 같이 구성된 유지용 막체(12)에 의하면, 도 6에 도시한 바와 같이 간극(S₁)에 위치하는 자기 흡착형 시트(32)의 일부분(32a)이, 연마 시의 가압력 등에 의해 간극(S₁)에 인입된다. 그 결과, 간극(S₁)에 대응하는 자기 흡착형 시트(32)의 흡착면에 오목 형상부(32b)가 발생한다. 따라서, 그 오목 형상부(32b)에 흡착 유지되어 있는 유리 기판(G)의 일부분(G1)이 볼록 형상으로 변형되고, 유리 기판(G)의 피연마면에 오목 형상부(5a)가 발생한다. 오목 형상부(5a)가 발생한 상태에서 유리 기판(G)을 연마하면, 그 오목 형상부(5a)가 연마되지 않는다. 이로 인해, 오목 형상부(5a)가 되는 부분이 연마 후의 유리 기판(G)에 있어서 도 7에 도시한 바와 같이 볼록 형상부(5A)가 된다.

그러나, 유리 기판(G)의 표면에 형성되는 볼록 형상부(5A)의 높이(a)는, 도 9에 도시한 종래의 오목 형상부(4A)의 깊이(b), 및 도 14에 도시한 볼록 형상부(4B)의 높이(c)와 비교해서 그의 절대량이 작아지므로, 유리 기판(G)의 평탄성을 손상시키는 것은 아니다.

도 6에 도시한 바와 같이, 간극(S₂)에 위치하는 자기 흡착형 시트(32)의 일부분(32c)이, 연마 시의 가압력 등에 의해 간극(S₂)에 인입되는 방향으로 변형된다. 그 결과, 간극(S₂)에 대응하는 자기 흡착형 시트(32)의 흡착면에 오목 형상부(32d)가 생긴다. 따라서, 그 오목 형상부(32d)에 흡착 유지되어 있는 유리 기판(G)의 일부분(G₂)이 볼록 형상으로 변형되어, 유리 기판(G)의 피연마면에 오목 형상부(5b)가 생긴다. 오목 형상부(5b)가 생긴 상태에서 유리 기판(G)을 연마하면, 오목 형상부(5b)가 연마되지 않는다. 이로 인해, 오목 형상부(5b)로 된 부분이 연마 후의 유리 기판(G)에 있어서 도 7에 도시한 바와 같이 볼록 형상부(5B)가 된다.

그러나, 자기 흡착형 시트(32)의 일부분(32a)의 변형량은, 자기 흡착형 시트(32)의 일부분(32c)의 변형량보다 작다. 점착층(40)의 간극(S₁)은 직접 자기 흡착형 시트(32)의 발포 구조부의 미공과 접하고 있는 것, 및 그 발포 구조부 크기가 간극(S₁)의 크기에 가깝기 때문에, 점착층(40)이나 기재(38)를 개재해서 접하고 있는 간극(S₂)에 비해 자기 흡착형 시트(32)의 변형에 끼치는 영향이 적기 때문이다.

따라서, 유리 기판(G)의 표면에 형성되는 볼록 형상부(5B)의 높이(b)는, 볼록 형상부(5A)의 높이(a) 및 도 9에 나타낸 종래의 오목 형상부(4A)의 깊이(b)와 비교해서 그의 절대량이 대폭 작아진다. 32a의 변형량은, 유리 기판(G)의 평탄성을 손상시키는 것은 아니다.

실시 형태의 유지용 막체(12)에 의하면, 연마 후의 유리 기판(G)의 품질을 향상시킬 수 있다.

또한, 유지용 막체(12)의 백 플레이트(36)에는, 도 5에 도시한 바와 같이 시트 형상의 탄성 시트재(44)가 설치되고, 이 탄성 시트재(44)의 외주에는 복수의 걸림 부재(46A, 46B…)가 고정되어 있다. 유지용 막체(12)는 탄성 시트재(44)를 장설해서, 이들 걸림 부재(46A, 46B…)를 도 1의 연마 헤드(14)의 훅부(도시하지 않음)에 결합시킴으로써 연마 헤드(14)에 장착된다.

도 4 내지 도 6에 나타낸 소정의 간극(S₁, S₂)은 1.5±1.5mm로 설정되는 것이 바람직하고, 1.5±1.4mm로 설정되는 것이 바람직하다. 즉, 이들 실시 형태에서 규정하는 소정의 간극(S₁, S₂)은 0을 포함하고, 0 내지 3.0mm인 것이 바람직하다. 간극이 0인 경우에는, 연마 후의 유리 기판(G)에 전사에 의한 볼록 형상부(5A, 5B: 도 7 참조)가 발생하지 않고, 또한, 간극이 3.0mm이면, 유리 기판(G)에 전사에 의해 형성된 볼록 형상부(5A, 5B)는 디스플레이용 유리 기판(G)의 품질에 영향을 주지 않는다.

점착층(40, 42)의 두께는 각각 50㎛ 이하인 것이 바람직하고, 40㎛ 이하인 것이 더욱 바람직하며, 30㎛ 이하인 것이 특히 바람직하다.

또한, 도 4 내지 도 6에 나타낸 유지용 막체(12)는, 연마 가공 시의 자기 흡착형 시트(32)의 면 방향의 신장을, 자기 흡착형 시트(32)와 동일한 크기의 기재(38) 강도에 의해 억제할 수 있다.

한편, 대형 유리 기판을 원하는 평탄도로 연마 가공하기 위해서는, 도 10에서 설명한 바와 같이 두께 방향의 간극(A)과 면 방향의 간극(B)을 유지용 막체에 갖게 하는 것이 필요하다.

따라서, 도 4에 도시한 바와 같이 실시 형태의 유지용 막체(12)의 간극(B'''')은 도 12, 도 13에 나타낸 유지용 막체(8, 9)의 간극(B'', B''')과 대략 동일하지만, 실시 형태의 유지용 막체(12)의 간극(A'''')은, 기재(38)의 양면에 구비된 점착층(40, 42)의 두께분만큼이므로, 도 11 내지 도 13의 유지용 막체(7, 8, 9)의 간극(A' 내지 A''')보다 대폭 작아진다.

따라서, 실시 형태의 유지용 막체(12)에 의하면, 도 11 내지 도 13에 나타낸 유지용 막체(7, 8, 9)와 비교하여, 연마 후의 유리 기판의 품질을 향상시키는 것이 가능하게 된다.

본 발명을 상세하게 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 여러 변형이나 수정을 가할 수 있는 것은, 당업자에 있어서 명확하다.

본 출원은 2010년 3월 30일에 출원된 일본 특허 출원 제2010-077934호에 기초하는 것으로, 그의 내용은 여기에 참조로 포함된다.

<산업상 이용가능성>

1: 자기 흡착형 시트
2A 내지 2H: 양면 접착 시트
3: 백 플레이트
4: 볼록 형상부
4A: 오목 형상부
5: 오목 형상부
5A: 볼록 형상부
6, 7, 8, 9: 유지용 막체
10: 연마 장치
12, 112, 212: 유지용 막체
14: 연마 헤드
16: 플레이트
18: 연마 패드
20: 연마 테이블
22: 슬러리 공급 구멍
24: 흡인 구멍
26: 스핀들
28: 회전/승강 장치
30: 제어부
32: 자기 흡착형 시트
34, 34A, 34B: 양면 접착 시트
36: 백 플레이트
38: 기재
40, 42: 점착층
44: 탄성 시트재
46: 걸림 부재
G: 유리 기판

Claims

자기 흡착형 시트가 양면 접착 시트를 개재해서 백 플레이트에 부착되어 구성됨과 함께, 상기 자기 흡착형 시트에 유리 기판이 흡착 유지되는 유리 기판 유지용 막체에 있어서,
상기 양면 접착 시트는 시트 형상의 기재와 상기 기재의 양면에 구비된 점착층으로 구성되고,
상기 점착층은 상기 기재의 동일면 내에서 각각 소정의 간극을 두고 구비되며,
상기 기재의 양면에 구비된 점착층 간의 간극이 점착층의 적층 방향에 있어서 겹치지 않는 유리 기판 유지용 막체.
제1항에 있어서, 상기 유리 기판의 크기가 3130mm×2880mm 이상인 유리 기판 유지용 막체.
제2항에 있어서, 상기 유지용 막체의 크기가 3200mm×3000mm 이상인 유리 기판 유지용 막체.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 유리 기판 유지용 막체에 의해 유리 기판을 흡착 유지하고, 상기 유리 기판의 피연마면을 연마 패드에 가압하여, 유리 기판의 피연마면을 연마하는 것을 포함하는 유리 기판의 연마 방법.