TW201740217A - 複製品原盤、複製品原盤的製造方法、物品及被成形體的製造方法 - Google Patents

複製品原盤、複製品原盤的製造方法、物品及被成形體的製造方法

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Abstract

本發明的複製品原盤10包括：基材層11；及形成於基材層11上且具有微細凹凸圖案的表面形狀體12，且表面形狀體12的軟化溫度高於基材層11的軟化溫度。

Description

複製品原盤、複製品原盤的製造方法、物品及被成形體的製造方法
本發明有關於一種複製品原盤、複製品原盤的製造方法、物品及被成形體的製造方法。 本申請案是主張於2016年5月9日在日本提出專利申請的日本專利特願2016-094103及於2016年8月23日在日本提出專利申請的日本專利特願2016-162922的優先權者，且將該之前的申請案的揭示全部併入至本說明書中供參考。
作為微細加工技術之一，有如下壓印技術：準備於表面形成有微細的凹凸圖案（微細凹凸圖案）的原盤，並將原盤的微細凹凸圖案按壓於樹脂片等，藉此將原盤的微細凹凸圖案轉印於樹脂片。壓印技術例如可用於用以防止在智慧型手機或輸入板（tablet）終端等的顯示器面板上反射的微細凹凸結構的形成等中。
先前，藉由壓印而形成微細結構體的被成形體為大致平面的顯示器面板等。然而，近年來，要求於具有立體的形狀的顯示器面板、相機等的透鏡面、汽車的各種量表的面板表面等立體的被成形體上形成微細結構體。
壓印中，通常準備具有與形成於被成形體的微細結構體相對應的微細凹凸圖案的原盤（主模具（master mold））。然後，製作轉印有主模具的微細凹凸圖案的原盤（複製品原盤），並使用該複製品原盤來進行微細凹凸圖案於被成形體上的轉印。
專利文獻1中揭示有如下技術：藉由將主模具的微細凹凸圖案轉印於環烯烴共聚物（Cyclo Olefin Copolymer，COC）等柔軟性聚合物箔（膜），而製作聚合物印模（複製品原盤），使用聚合物印模將微細凹凸圖案轉印於被成形體。聚合物印模由柔軟性聚合物箔形成，具有柔軟性，因此藉由加熱使膜軟化並對聚合物印模施加液體壓力，藉此可使聚合物印模追隨立體的被成形體的形狀變形。使追隨被成形體的形狀變形的聚合物印模密接於塗佈於被成形體上的光硬化性樹脂，對光硬化性樹脂照射光而使其硬化，藉此可於被成形體上形成微細結構體。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利第5276436號
[發明所欲解決的課題] 於專利文獻1中，藉由將主模具的微細凹凸圖案轉印於柔軟性聚合物箔而製作聚合物印模。即，專利文獻1中所揭示的聚合物印模（複製品原盤）為包含COC等柔軟性聚合物的單層膜。因此，於為了使聚合物印模追隨被成形體的形狀變形而對聚合物印模進行加熱時，有聚合物印模的凹凸部分亦軟化，微細凹凸圖案的形狀崩塌的情況。若產生此種複製品原盤的微細凹凸圖案的形狀的崩塌，則難以進行與主模具的微細凹凸圖案相對應的高精度的微細凹凸圖案的轉印。
鑒於如上所述的問題點而成的本發明的目的在於提供一種可防止複製品原盤中的微細凹凸圖案的崩塌且可抑制轉印精度的劣化的複製品原盤、複製品原盤的製造方法、物品及被成形體的製造方法。 [解決課題之手段]
為了解決所述課題，本發明的複製品原盤包括：基材層；及形成於所述基材層上且具有微細凹凸圖案的表面形狀體，且所述表面形狀體的軟化溫度高於所述基材層的軟化溫度。
另外，於本發明的複製品原盤中，較佳為所述基材層具有可撓性。
另外，於本發明的複製品原盤中，較佳為所述基材層與所述表面形狀體藉由包含一層以上的中間層而固著。
另外，於本發明的複製品原盤中，較佳為於所述表面形狀體的微細凹凸圖案的表面形成有脫模層。
另外，於本發明的複製品原盤中，較佳為所述表面形狀體包含無機化合物。
另外，於本發明的複製品原盤中，較佳為所述基材層的伸長率為10%以上。
另外，於本發明的複製品原盤中，較佳為包含具有大於所述微細凹凸圖案的高度的曲率半徑的曲面。
另外，為了解決所述課題，本發明的具有曲面的複製品原盤的製造方法包括：將所述複製品原盤加熱至所述基材層的軟化溫度以上的加熱步驟；及使所述經加熱的複製品原盤變形為具有大於所述微細凹凸圖案的曲率半徑的曲面的步驟。
另外，為了解決所述課題，本發明的物品是藉由利用如所述任一項所記載的複製品原盤的轉印或所述複製品原盤的貼附而形成微細結構體。
另外，為了解決所述課題，本發明的被成形體的製造方法為形成有微細結構體的被成形體的製造方法，且所述被成形體的製造方法包括：準備複製品原盤的步驟，所述複製品原盤具備基材層與形成於所述基材層上且具有與所述微細結構體相對應的微細凹凸圖案的表面形狀體，且所述表面形狀體的軟化溫度高於所述基材層的軟化溫度；將所述複製品原盤加熱至所述基材層的軟化溫度以上且低於所述表面形狀體的軟化溫度的溫度，而使所述複製品原盤追隨所述被成形體的形狀變形的步驟；及藉由利用所述複製品原盤的轉印或所述複製品原盤的貼附而將所述微細結構體形成於所述被成形體的步驟。 [發明的效果]
根據本發明的複製品原盤、複製品原盤的製造方法、物品及被成形體的製造方法，可防止複製品原盤中的微細凹凸圖案的崩塌且可抑制轉印精度的劣化。
以下，一面參照圖式一面對用以實施本發明的形態進行說明。再者，本發明並不僅限定於以下的實施形態，當然可在不脫離本發明的主旨的範圍內進行各種變更。另外，各圖中，相同的符號表示相同或同等的構成要素。
（複製品原盤的構成） 圖1是表示本發明的一實施形態的複製品原盤10的構成的一例的圖。
圖1所示的複製品原盤10具備基材層11與表面形狀體12。
基材層11為片狀的基材，為了追隨立體的被成形體的形狀變形，理想的是具有可撓性，且具有充分的伸長率（例如10%以上）。另外，為了追隨立體的被成形體的形狀變形，基材層11的厚度較佳為薄，以500 μm以下、更佳為100 μm以下為宜。再者，於本說明書中，所謂「具有可撓性」，是指可藉由人的手而彎曲且矯直。另外，於本說明書中，「伸長率」例如可藉由以下的方法來求出。
將成為測定對象的基材製成長度10.5 cm×寬度2.5 cm的短條狀而作為測定試樣。利用拉伸試驗機（奧拓格拉夫（Autograph）AG-5kNXplus，島津製作所股份有限公司製造）對所獲得的測定試樣的拉伸伸長率進行測定（測定條件：拉伸速度=100 mm/min；夾具間距離=8 cm）。於伸長率的測定中，測定溫度因基材的種類而不同，伸長率是於基材的軟化點附近或軟化點以上的溫度下進行測定。具體而言為10℃～250℃之間。例如，於基材為聚碳酸酯或聚碳酸酯/聚甲基丙烯酸甲酯（Polycarbonate/Polymethyl methacrylate，PC/PMMA）積層體的情況下，較佳為於190℃下進行測定。
基材層11例如包含聚甲基丙烯酸甲酯（Polymethyl methacrylate，PMMA）、聚碳酸酯（Polycarbonate，PC）、聚氯乙烯（Polyvinyl chloride，PVC）、聚乙烯醇（Polyvinyl alcohol，PVA）、聚乙烯（Polyethylene，PE）、非晶聚對苯二甲酸乙二酯（Amorphous Polyethylene terephthalate，APET）、聚苯乙烯（Polystyrene，PS）、三乙醯纖維素（Triacetyl cellulose，TAC）、環狀烯烴聚合物（環烯烴聚合物（Cyclo olefin polymer，COP））、聚對苯二甲酸乙二酯（Polyethylene terephthalate，PET）等。於考慮複製品原盤10的製造後的步驟的情況下，基材層11較佳為包含PMMA、PC、PVC、TAC等。
表面形狀體12以規定的厚度而形成於基材層11上，於表面形成有微細凹凸圖案。表面形狀體12包含藉由活性能量線而硬化的樹脂，例如丙烯酸酯單體、甲基丙烯酸酯單體等的聚合物。另外，表面形狀體12亦可包含無機化合物。此處，表面形狀體12包含如下材料，所述材料的軟化溫度高於基材層11的軟化溫度。再者，軟化溫度為膜軟化而利用加壓等進行變形的溫度，且為由動態黏彈性測定（動態力學分析（Dynamic Mechanical Analysis，DMA）測定）所得的儲藏彈性係數（E'）成為0.3 GPa以下的溫度。
根據本實施形態的複製品原盤10，表面形狀體12的軟化溫度高於基材層11的軟化溫度。因此，為了使複製品原盤10追隨立體的被成形體的形狀變形，即便於將基材層11加熱至其軟化溫度為止的情況下，表面形狀體12亦不軟化。因此，可防止表面形狀體12的微細凹凸圖案的崩塌，且可抑制轉印精度的劣化。
再者，複製品原盤10的構成並不限定於圖1所示的構成。例如，如圖2所示般，於基材層11與表面形狀體12之間呈大致平坦狀形成作為黏合劑層的中間層13，基材層11與具有微細凹凸圖案的表面形狀體12可藉由中間層13而固著。
另外，如圖3A所示般，亦可於基材層11上形成具有規定的厚度且具有微細凹凸圖案的中間層13，並以覆蓋中間層13的表面的方式形成表面形狀體12。另外，如圖3B所示般，中間層13亦可由多層形成。圖3B中，於基材層11上形成有大致平坦的中間層13-2，於中間層13-2上形成有具有規定的厚度且具有微細凹凸圖案的中間層13-1。而且，以覆蓋中間層13-1的表面的方式形成有表面形狀體12。
如圖2、圖3A、圖3B所示般，藉由設置中間層13，可提高基材層11與表面形狀體12之間的密接性或可提高光學特性。再者，中間層13例如包含PC、具有樹脂滲透性的丙烯酸酯單體、胺基甲酸酯系等的多官能寡聚物等。
另外，為了提高脫模性，亦可於表面形狀體12的表面形成包含含有氟或矽酮的丙烯酸單體的層或包含氧化物的層作為脫模層。再者，藉由於表面形狀體12的表面成膜氧化物，可更確實地防止表面形狀體12的微細凹凸圖案的變形。
（使用複製品原盤於被成形體上形成微細結構體的概略） 繼而，參照圖4A～圖4D對使用複製品原盤10形成微細結構體的概略進行說明。再者，以下，關於形成有微細結構體的被成形體，例如作為設為凸透鏡般的具有凸面者，並於其凸面形成微細結構體者進行說明。
首先，如圖4A所示般，製造具有與形成於被成形體的微細結構體相對應的微細凹凸圖案的主模具14。主模具14藉由壓印用主模具的已知的製造方法而製造。例如，於石英板上成膜抗蝕劑層，並按照所欲形成的微細凹凸圖案照射光（曝光）。繼而，於抗蝕劑層上塗佈顯影液，而對抗蝕劑層進行顯影，從而於抗蝕劑層形成與微細凹凸圖案相對應的抗蝕劑圖案。藉由將形成有抗蝕劑圖案的抗蝕劑層設為遮罩而進行蝕刻，從而於石英板上形成微細凹凸圖案。再者，主模具14並非板狀，亦可為輥狀。
繼而，使用主模具14，而製造如圖4B所示般的複製品原盤10。關於使用主模具14製造複製品原盤10，例如將未硬化的光硬化性樹脂嵌入於主模具14與基材層11之間，其後，對光硬化性樹脂照射光（紫外光）而使其硬化。藉由於主模具14與基材層11之間嵌入未硬化的光硬化性樹脂，主模具14的微細凹凸圖案轉印於未硬化的光硬化性樹脂。然後，藉由照射紫外光，於轉印有微細凹凸圖案的狀態下使光硬化性樹脂硬化，其後，使主模具14自經硬化的光硬化性樹脂脫模。藉由將經硬化的光硬化性樹脂設為表面形狀體12，可製造於基材層11上形成有具有微細凹凸圖案的表面形狀體12的複製品原盤10。
所述方法中，形成於表面形狀體12的微細凹凸圖案為使形成於主模具14的微細凹凸圖案反轉而成者。但是，並不限定於此，例如，亦可將主模具14的微細凹凸圖案轉印於另一轉印物，並將轉印於該轉印物的微細凹凸圖案轉印於未硬化的光硬化性樹脂，其後，使光硬化性樹脂硬化而形成表面形狀體12，藉此製造形成有具有與主模具14的微細凹凸圖案相同的微細凹凸圖案的表面形狀體12的複製品原盤10。
再者，如上所述，將主模具14按壓於未硬化的光硬化性樹脂，其後，代替使光硬化性樹脂硬化的方式（光轉印方式）而藉由使用熱硬化性樹脂的熱轉印方式，亦可製造複製品原盤10。製造複製品原盤10的步驟的詳細情況將於後敘述。
繼而，使複製品原盤10遠離主模具14後，對複製品原盤10進行加熱，如圖4C所示般，將複製品原盤10按壓於與被成形體的形狀一致的模具15。藉此，複製品原盤10追隨模具15的形狀即被成形體的形狀變形（預成形）。再者，將複製品原盤10以表面形狀體12與模具15相對向的方式按壓於模具15。圖4C所示的步驟（使複製品原盤10變形的步驟）的詳細情況將於後敘述。
繼而，如圖4D所示般，於被成形體16的表面塗佈未硬化的光硬化性樹脂17，並將追隨模具15（被成形體16）的形狀變形的複製品原盤10以表面形狀體12朝向光硬化性樹脂17的方式壓接於光硬化性樹脂17。藉由表面形狀體12壓接於未硬化的光硬化性樹脂17，表面形狀體12的微細凹凸圖案轉印於光硬化性樹脂17。然後，藉由對未硬化的光硬化性樹脂17照射光（紫外光）而使其硬化，從而於被成形體16上形成微細結構體。
（複製品原盤的製造步驟） 繼而，參照圖5A、圖5B對製造圖4B所示的複製品原盤10的步驟的詳細情況進行說明。再者，以下，對並非所述光轉印方式的如下方式進行說明，所述方式是藉由加熱而使樹脂軟化，將該經軟化的樹脂壓接於主模具14，藉此將形成於主模具14的微細凹凸圖案轉印於經軟化的樹脂的方式。
製造複製品原盤10的步驟大致區分而包括加熱步驟、轉印步驟及脫模步驟。
首先，如圖5A所示般，準備於基材層11上形成有大致平坦狀的樹脂層12a的積層體10a。樹脂層12a包含與表面形狀體12相同的材料。因此，樹脂層12a的軟化溫度高於基材層11的軟化溫度。
加熱步驟中，將積層體10a加熱至樹脂層12a軟化為止。作為加熱方法，有利用高溫體的接觸的傳導加熱、利用高溫流體的對流的對流加熱、紅外光（紅外線（Infrared Ray，IR））等的放射加熱等方法。
轉印步驟中，如圖5B所示般，將經加熱的樹脂層12a壓接於主模具14。藉由將經加熱的樹脂層12a壓接於主模具14，形成於主模具14的微細凹凸圖案轉印於樹脂層12a。作為將樹脂層12a壓接於主模具14的方法，有利用氣體或液體的流體加壓、將積層體10a的端部夾緊而壓接於主模具14的方法等。另外，加熱步驟中，將積層體10a加熱至樹脂層12a軟化為止。因此，軟化溫度為樹脂層12a的軟化溫度以下的基材層11亦軟化。因此，藉由使用真空成型、壓力成形、三維覆蓋法（Three dimension Overlay Method，TOM）成形等，基材層11仿照為主模具14的形狀，且可於樹脂層12a上轉印再現性更高的微細凹凸圖案。
脫模步驟中，將轉印步驟後的積層體10a加以冷卻，並使基材層11及樹脂層12a硬化。繼而，將主模具14遠離樹脂層12a。藉此，獲得於基材層11上將轉印有主模具14的微細凹凸圖案的樹脂層12a設為表面形狀體12的複製品原盤10。
（複製品原盤的變形） 繼而，參照圖6A～圖6E對使圖4C所示的複製品原盤10變形的步驟的詳細情況進行說明。再者，以下，對藉由上推成形而使複製品原盤10變形的步驟進行說明。
首先，如圖6A所示般，與被成形體16一致的形狀的模具15載置於平台21上。於平台21的周圍設置有側壁22，平台21設置為可沿著側壁22移動（於圖6A中，可上下移動）。於側壁22設置有用以支撐複製品原盤10的支撐部23，複製品原盤10藉由支撐部23而以與模具15相對向的方式被支撐。複製品原盤10以表面形狀體12與模具15相對向的方式被支撐。於支撐部23所支撐的複製品原盤10的與模具15相反的一側設置有由側壁22支撐且與平台21相對向的石英板24。石英板24可使光透過。以密封由平台21、側壁22及支撐部23所支撐的複製品原盤10包圍的區域25，且密封由石英板24、側壁22及支撐部23所支撐的複製品原盤10包圍的區域26的方式設置平台21、側壁22、支撐部23及石英板24。
將由支撐部23支撐的複製品原盤10加熱至基材層11的軟化溫度以上且低於表面形狀體12的軟化溫度的溫度。如上所述，表面形狀體12的軟化溫度高於基材層11的軟化溫度。因此，基材層11軟化，但表面形狀體12不軟化。因此，不會產生形成於表面形狀體12的表面的微細凹凸圖案的形狀的崩塌。
繼而，如圖6B所示般，進行區域25及區域26的抽真空。如上所述，平台21可沿側壁22上下移動。藉由將區域25抽真空，平台21朝向上方向（朝向支撐部23所支撐的複製品原盤10）移動。
平台21朝向上方向移動，如圖6C所示般，模具15向上推動支撐部23所支撐的複製品原盤10。藉由利用模具15向上推動，複製品原盤10沿模具15的形狀變形。但是，利用模具15的向上推動中，無法使模具15與複製品原盤10無間隙地密接，於模具15的端部附近，於模具15與複製品原盤10之間產生間隙27。
繼而，如圖6D所示般，於模具15向上推動複製品原盤10的狀態下，於區域26中導入壓縮空氣，而對複製品原盤10施加壓力。藉此，於模具15的端部附近，模具15與複製品原盤10亦密接。於該狀態下，藉由將複製品原盤10加以冷卻，並將複製品原盤10自支撐部23及模具15取下，如圖6E所示般，製作沿模具15的形狀變形的複製品原盤10。
（微細結構體於被成形體上的形成） 繼而，參照圖7A～圖7D對圖4D所示的將微細結構體形成於被成形體16的步驟的詳細情況進行說明。再者，以下，使用將微細結構體形成於立體形狀的被成形體16的例子進行說明。此處，所謂「立體形狀的被成形體」，是指包含具有大於形成於複製品原盤10的微細結構體（微細凹凸圖案）的高度的曲率半徑的曲面的被成形體。如上所述，複製品原盤10追隨被成形體16的形狀變形。因此，追隨被成形體16的形狀變形的複製品原盤10包含具有大於形成於複製品原盤10的微細結構體（微細凹凸圖案）的高度的曲率半徑的曲面。
將微細結構體形成於被成形體16的步驟大致區分而包括塗佈步驟、轉印步驟、光硬化步驟及脫模步驟。
塗佈步驟中，如圖7A所示般，於被成形體16的表面塗佈未硬化的光硬化性樹脂17。作為光硬化性樹脂17於被成形體16上的塗佈方法，可結合光硬化性樹脂17的黏度或被成形體16的形狀而使用噴霧塗佈、噴墨塗佈、分配器塗佈、浸漬塗佈、滴液吸移管滴加、旋轉塗佈等各種方法。為了被成形體16與光硬化性樹脂17的密接性的提高、光學特性的提高等，亦可於被成形體16與光硬化性樹脂17之間設置中間層。
轉印步驟中，如圖7B所示般，將複製品原盤10壓接於塗佈於被成形體16的光硬化性樹脂17。如上所述，複製品原盤10於表面形狀體12朝向被成形體16的狀態下，追隨模具15（被成形體16）的形狀變形。因此，藉由將該複製品原盤10壓接於被成形體16，表面形狀體12壓接於光硬化性樹脂17。藉由表面形狀體12壓接於光硬化性樹脂17，形成於表面形狀體12的微細凹凸圖案轉印於光硬化性樹脂17。
作為複製品原盤10於被成形體16（光硬化性樹脂17）上的壓接方法，有自基材層11側氣體或液體等的流體加壓、具有彈性的固體的壓接、利用輥的壓接等方法。
於光硬化步驟中，如圖7C所示般，於複製品原盤10壓接於光硬化性樹脂17的狀態下，對光硬化性樹脂17照射活性能量線而使其硬化。作為活性能量線，有自水銀燈、金屬鹵化物燈、紫外發光二極體（Light Emitting Diode，LED）等光源射出的光線。
再者，於複製品原盤10使活性能量線透過的情況下，只要自複製品原盤10側對光硬化性樹脂17照射活性能量線即可，另外，於被成形體16使活性能量線透過的情況下，只要自被成形體16側對光硬化性樹脂17照射活性能量線即可。
脫模步驟中，如圖7D所示般，使被成形體16與複製品原盤10遠離。於被成形體16的表面，轉印有複製品原盤10的表面形狀體12的微細凹凸圖案的光硬化性樹脂17硬化而形成微細結構體17a。如此，製造形成有微細結構體17a的被成形體16（物品）。
此處，於使被成形體16與複製品原盤10遠離時，需要使複製品原盤10的表面形狀體12不會脫落或使複製品原盤10不會破損。於本實施形態中，複製品原盤10為膜形狀，因此與現有的包含石英或金屬等的原盤相比較，容易柔軟地變形，因此於進行脫模時，破損的可能性小。另外，於膜狀的複製品原盤10進行脫模時，通常是自複製品原盤10的端部變形而逐漸遠離，亦可視需要使被成形體16變形或於複製品原盤10與被成形體16之間吹附空氣等流體而促進遠離。
再者，藉由貼合複製品原盤10與被成形體16，亦可將微細結構體形成於被成形體16。於該情況下，藉由於複製品原盤10的基材層11側塗佈接著劑等而貼附於被成形體16，可將微細結構體17a形成於被成形體16（將貼附於被成形體16的複製品原盤10本身設為微細結構體17a）。
另外，於所述實施形態中，分開說明使複製品原盤10追隨被成形體16的形狀變形的步驟與使用經變形的複製品原盤10而將微細結構體17a形成於被成形體16的步驟，但作為變形例，亦可一體地進行該些步驟。
以下，對變形例的複製品原盤10的變形及微細結構體17a於被成形體16上的形成進行說明。本變形例的複製品原盤10的變形及微細結構體17a於被成形體16上的形成是使用於參照圖6A～圖6E而說明的複製品原盤變形時所使用的、包含平台21、側壁22、支撐體23、石英板24等的裝置來進行。
首先，將塗佈有光硬化性樹脂17的被成形體16載置於平台21。另外，以表面形狀體12朝向被成形體16的方式，利用支撐部23支撐複製品原盤10。
繼而，進行區域25的抽真空，同時於區域26中導入壓縮空氣。藉由進行區域25的抽真空，平台21朝向上方向（朝向支撐部23所支撐的複製品原盤10）移動。伴隨平台21的移動，塗佈有光硬化性樹脂17的被成形體16向上推動支撐部23所支撐的複製品原盤10。如上所述，向上推動複製品原盤10中，於被成形體16與複製品原盤10之間產生間隙。於本變形例中，進行區域25的抽真空，同時於區域26中導入壓縮空氣。藉由導入壓縮空氣，對複製品原盤10施加壓力。因此，可使複製品原盤10與被成形體16無間隙地密接。
繼而，於進行區域25的抽真空同時於區域26中導入壓縮空氣的狀態下，自石英板24的上側照射光。如上所述，石英板24使光透過。因此，藉由亦以使光透過的方式形成複製品原盤10，對塗佈於被成形體16的光硬化性樹脂17照射光，從而光硬化性樹脂17硬化。
繼而，使被成形體16與複製品原盤10遠離。於被成形體16的表面，轉印有複製品原盤10的表面形狀體12的微細凹凸圖案的光硬化性樹脂17硬化而形成微細結構體17a。
迄今為止，對在具有凸面的被成形體16的凸面形成微細凹凸圖案的例子進行了說明，但並不限定於此，本發明亦可應用於被成形體具有凹面且於其凹面形成微細凹凸圖案的情況。以下，如圖8所示般，對在具有凹面的被成形體16A的凹面形成微細結構體17a（微細凹凸圖案）的例子進行說明。
再者，於凹面形成有微細結構體17a（微細凹凸圖案）的被成形體16A例如如圖8所示，可用作於液晶顯示器（Liquid Crystal Display，LCD）等的顯示體18的前面設置氣隙而安裝的頂板（蓋）。另外，被成形體16A亦可用作設置於觸控面板的內側（顯示體側）的防反射構件。再者，於圖8中，示出於顯示體18的前面亦形成有用以防反射的微細結構體19的例子。微細結構體19例如包含大致平坦地設置於顯示體18的前面上的三乙醯纖維素（TAC）膜等基底膜及設置於基底膜上的具有微細凹凸圖案的光硬化性樹脂（例如丙烯酸系紫外線硬化樹脂）等。微細結構體19的構成或形成方法等對於本領域技術人員而言為已知，另外，由於與本發明無直接關係，故省略說明。
首先，參照圖9A～圖9E對使複製品原盤10結合被成形體16A的形狀變形的步驟的詳細情況進行說明。再者，以下，對藉由上推成形而使複製品原盤10變形的步驟進行說明。另外，於圖9A～圖9E中，關於與圖6A～圖6E相同的構成，省略說明。
首先，如圖9A所示般，具有與被成形體16A的凹面的形狀一致的凹面的模具15A載置於平台21上。此處，模具15A以凹面與由支撐部23支撐的複製品原盤10相對向的方式被支撐。再者，複製品原盤10以表面形狀體12與模具15A相對向的方式被支撐。
繼而，將由支撐部23支撐的複製品原盤10加熱至基材層11的軟化溫度以上且低於表面形狀體12的軟化溫度的溫度。如上所述，表面形狀體12的軟化溫度高於基材層11的軟化溫度。因此，基材層11軟化，但表面形狀體12不軟化。因此，不會產生形成於表面形狀體12的表面的微細凹凸圖案的形狀的崩塌。
繼而，如圖9B所示般，進行區域25及區域26的抽真空。如上所述，平台21可沿側壁22上下移動。藉由將區域25抽真空，平台21朝向上方向（朝向支撐部23所支撐的複製品原盤10）移動。
平台21朝向上方向移動，如圖9C所示般，模具15A向上推動支撐部23所支撐的複製品原盤10。藉由利用模具15A向上推動，複製品原盤10沿模具15A的形狀（模具15A的凹面）變形。但是，利用模具15A的向上推動中，無法使模具15A與複製品原盤10無間隙地密接，於模具15A的端部附近，於模具15A與複製品原盤10之間產生間隙27。
繼而，如圖9D所示般，於模具15A向上推動複製品原盤10的狀態下，於區域26中導入壓縮空氣，而對複製品原盤10施加壓力。藉此，於模具15A的端部附近，模具15A與複製品原盤10亦密接。於該狀態下，藉由將複製品原盤10加以冷卻，並將複製品原盤10自支撐部23及模具15A取下，如圖9E所示般，製作沿模具15A的形狀變形的複製品原盤10。
繼而，參照圖10A～圖10D對在被成形體16A的凹面形成微細結構體的步驟的詳細情況進行說明。再者，於圖10A～圖10D中，關於與圖7A～圖7D相同的構成，標注相同的符號，並省略說明。
將微細結構體形成於被成形體16A的步驟大致區分而包括塗佈步驟、轉印步驟、光硬化步驟及脫模步驟。
塗佈步驟中，如圖10A所示般，於被成形體16A的凹面塗佈未硬化的光硬化性樹脂17。作為光硬化性樹脂17於被成形體16A上的塗佈方法，可結合光硬化性樹脂17的黏度或被成形體16A的形狀而使用噴霧塗佈、噴墨塗佈、分配器塗佈、浸漬塗佈、滴液吸移管滴加、旋轉塗佈等各種方法。為了被成形體16A與光硬化性樹脂17A的密接性的提高、光學特性的提高等，亦可於被成形體16A與光硬化性樹脂17之間設置中間層。
轉印步驟中，如圖10B所示般，將複製品原盤10壓接於塗佈於被成形體16A的光硬化性樹脂17。如上所述，複製品原盤10於表面形狀體12朝向被成形體16A的狀態下，追隨模具15A（被成形體16A）的形狀變形。因此，藉由將該複製品原盤10壓接於被成形體16A，表面形狀體12壓接於光硬化性樹脂17。藉由表面形狀體12壓接於光硬化性樹脂17，形成於表面形狀體12的微細凹凸圖案轉印於光硬化性樹脂17。
於光硬化步驟中，如圖10C所示般，於複製品原盤10壓接於光硬化性樹脂17的狀態下，對光硬化性樹脂17照射活性能量線（例如紫外光）而使其硬化。
脫模步驟中，如圖10D所示般，使被成形體16A與複製品原盤10遠離。於被成形體16A的表面，轉印有複製品原盤10的表面形狀體12的微細凹凸圖案的光硬化性樹脂17硬化而形成微細結構體17a。如此，製造形成有微細結構體17a的被成形體16A（物品）。
再者，亦可一體地進行使複製品原盤10追隨被成形體16A的形狀變形的步驟與使用經變形的複製品原盤10而將微細結構體17a形成於被成形體16A的步驟。
即，首先，藉由旋轉塗佈等而於被成形體16A的凹面塗佈光硬化性樹脂17。然後，將於凹面塗佈有光硬化性樹脂17的被成形體16A載置於圖6A～圖6D或圖9A～圖9D中所示的裝置的平台21。另外，以表面形狀體12朝向被成形體16A的方式，利用支撐部23支撐複製品原盤10。
繼而，進行區域25的抽真空，同時於區域26中導入壓縮空氣（真空差壓）。藉由進行區域25的抽真空，平台21朝向上方向（朝向支撐部23所支撐的複製品原盤10）移動。伴隨平台21的移動，塗佈有光硬化性樹脂17的被成形體16A向上推動支撐部23所支撐的複製品原盤10。如上所述，向上推動複製品原盤10中，於被成形體16A與複製品原盤10之間產生間隙。此處，進行區域25的抽真空，同時於區域26中導入壓縮空氣。藉由導入壓縮空氣，對複製品原盤10施加壓力。因此，可使複製品原盤10與被成形體16A無間隙地密接。
繼而，於進行區域25的抽真空同時於區域26中導入壓縮空氣的狀態下，自石英板24的上側照射光。如上所述，石英板24使光透過。因此，藉由亦以使光透過的方式形成複製品原盤10，對塗佈於被成形體16A的光硬化性樹脂17照射光，從而光硬化性樹脂17硬化。
繼而，使被成形體16A與複製品原盤10遠離。於被成形體16A的表面（凹面），轉印有複製品原盤10的表面形狀體12的微細凹凸圖案的光硬化性樹脂17硬化而形成微細結構體17a。
於所述本實施形態中，複製品原盤10具備基材層11與形成於基材層11上且具有微細凹凸圖案的表面形狀體12，且表面形狀體12的軟化溫度高於基材層11的軟化溫度。
因此，於為了使複製品原盤10變形而對複製品原盤10進行加熱的情況下，藉由以基材層11的軟化溫度以上且低於表面形狀體12的軟化溫度的溫度對複製品原盤10進行加熱，可僅使基材層11軟化而使複製品原盤10變形。另外，由於表面形狀體12不軟化，故不產生微細凹凸圖案的形狀的崩塌，可抑制由微細凹凸圖案的崩塌所造成的轉印精度的劣化。 [實施例]
繼而，列舉實施例及比較例而對本發明進一步具體說明，但本發明並不限制於下述實施例。
（主模具的製作） 首先，對主模具14的製作進行說明。
準備外徑為126 mm的玻璃製的基材（玻璃輥原盤）。於該玻璃輥原盤的表面，藉由浸漬法於玻璃輥原盤的圓柱面上將稀釋抗蝕劑塗佈為70 nm左右的平均厚度而形成抗蝕劑層，所述稀釋抗蝕劑是以稀釋劑將光阻劑稀釋成質量比1/10而成。繼而，將形成有抗蝕劑層的玻璃輥原盤搬送至曝光裝置，並對抗蝕劑層進行曝光，藉此將螺旋狀且於鄰接的三行軌道之間形成六方晶格圖案的潛影於抗蝕劑層中進行圖案化。具體而言，對應形成六方晶格狀的曝光圖案的區域照射0.50 mW/m的雷射光，而形成六方晶格狀的曝光圖案。
繼而，對玻璃輥原盤上的抗蝕劑層實施顯影處理，使經曝光的部分的抗蝕劑層溶解而進行顯影。具體而言，將未顯影的玻璃輥原盤載置於顯影機的轉盤上，連同轉盤一起旋轉，同時將顯影液滴加於玻璃輥原盤的表面，而對抗蝕劑層進行顯影。藉此，獲得抗蝕劑層呈六方晶格圖案開口的玻璃輥原盤。
繼而，使用輥蝕刻裝置，於CHF3 氣體環境中進行電漿蝕刻。藉此，於玻璃輥原盤的表面，僅對自抗蝕劑層露出的六方晶格圖案部分進行蝕刻，其他區域的抗蝕劑層成為遮罩而未被蝕刻，於玻璃輥原盤形成有橢圓錐形狀的凹部。於進行蝕刻時，藉由蝕刻時間而調整蝕刻量（深度）。最後，藉由氧灰化將抗蝕劑層去除，從而獲得具有凹形狀的六方晶格圖案的玻璃輥原盤（主模具）。
（複製品原盤的製作及變形） 使用以如上所述的方式獲得的玻璃輥原盤（主模具）來製作複製品原盤，並使所製作的複製品原盤追隨被成形體的形狀變形。以下，對實施例及比較例的複製品原盤的製造及複製品原盤的變形（預成形）進行說明。再者，關於軟化溫度，將以50 μm～200 μm的厚度所製作的膜狀樣品衝壓為40 mm×0.5 mm，藉由動態黏彈性測定裝置（德州儀器（TEXAS INSTRUMENTS）公司製造，製品名「羅米特裡斯系統分析儀（Rheometrics System Analyzer）-3（RSA-3）」）來測定動態黏彈性E'，並將成為動態黏彈性E'=0.3 GPa的溫度設為軟化溫度而測定。
（實施例1） 本實施例中，使用平均厚度為200 μm的PVC膜（軟化溫度84℃）作為基材層11。利用滴液吸移管於該PVC膜上滴加紫外線硬化性樹脂組成物（軟化溫度116℃）。紫外線硬化性樹脂組成物的組成中，酯丙烯酸酯（迪愛生（DIC）股份有限公司製造，製品名「SP-10」）為90質量份，氟丙烯酸酯單體（尤尼瑪泰克（Unimatec）公司製造，製品名「FAAC-6」）為10質量份。
繼而，使滴加有紫外線硬化性樹脂組成物的PVC膜與所述具有凹形狀的六方晶格圖案的玻璃輥原盤密接，使用金屬鹵化物燈自PVC膜（基材層）側以1500 mJ/cm2 的照射量照射紫外線，從而使紫外線硬化性樹脂組成物硬化。其後，使玻璃輥原盤遠離經硬化的紫外線硬化性樹脂組成物。藉由以上的處理，獲得於作為基材層11的PVC膜上形成有作為表面形狀體12的經硬化的紫外線硬化性樹脂組成物的複製品原盤。
繼而，使所獲得的複製品原盤追隨被成形體16的形狀變形。本實施例中，使用外徑為12.7 mm且F值為15的凸透鏡作為被成形體16，將變形時的製程溫度設為120℃，藉由上推成形而使複製品原盤變形。
（實施例2） 本實施例中，如圖3所示般，形成具有微細凹凸圖案的中間層13，製作於中間層13上形成有表面形狀體12的複製品原盤。具體而言，使用PMMA膜（軟化溫度102℃）作為基材層11。於該PMMA膜上形成包含PC（軟化溫度148℃）的層及包含紫外線硬化性樹脂（迪睿合（Dexerials）股份有限公司製造，製品名「SK1900」）（軟化溫度157℃）的層作為中間層。繼而，使形成有中間層的PMMA膜與玻璃輥原盤密接，使用金屬鹵化物燈自PMMA膜（基材層）側以1500 mJ/cm2 的照射量照射紫外線，從而使紫外線硬化性樹脂硬化。藉由該處理，形成具有微細凹凸圖案的中間層。然後，於具有微細凹凸圖案的中間層上形成無機化合物即氧化鎢層（軟化溫度1473℃）作為表面形狀體12，從而獲得複製品原盤。
繼而，使所獲得的複製品原盤追隨與實施例1相同的凸透鏡的形狀變形。再者，本實施例中，將變形時的製程溫度設為190℃，藉由上推成形而使複製品原盤變形。
（實施例3） 本實施例中，如圖2所示般，形成大致平坦的中間層13，製作於中間層13上形成有表面形狀體12的複製品原盤。具體而言，使用平均厚度為188 μm的PET膜（軟化溫度125℃）作為基材層11。於該PET膜上形成用以提高密接性的中間層（易接著層），並於該中間層上塗佈紫外線硬化性樹脂（迪睿合（Dexerials）股份有限公司製造，製品名「SK1900」）（軟化溫度157℃）。
繼而，使塗佈有紫外線硬化性樹脂的PET膜與玻璃輥原盤密接，使用金屬鹵化物燈自PET膜（基材層）側以1500 mJ/cm2 的照射量照射紫外線，從而使紫外線硬化性樹脂硬化。藉由以上的處理，獲得於作為基材層11的PET膜上形成有作為表面形狀體12的經硬化的紫外線硬化性樹脂的複製品原盤。
繼而，使所獲得的複製品原盤追隨與實施例1相同的凸透鏡的形狀變形。再者，本實施例中，將變形時的製程溫度設為160℃，藉由上推成形而使複製品原盤變形。
（比較例1） 本比較例中，使用平均厚度為100 μm的COC膜（軟化溫度128℃）作為基材層11。於該COC膜上形成具有微細凹凸圖案的單層基材（軟化溫度128℃）作為表面形狀體12，從而獲得複製品原盤。此處，本比較例中，作為基材層11的COC膜的軟化溫度與作為表面形狀體12的單層基材的軟化溫度相同。
繼而，使所獲得的複製品原盤追隨與實施例1相同的凸透鏡的形狀變形。再者，本實施例中，將變形時的製程溫度設為150℃，藉由0.1 MPa的真空差壓而使複製品原盤變形。
（比較例2） 本比較例中，使用PET膜（東洋紡織股份有限公司製造，製品名「考斯摩夏音（cosmoshine）A4300」）（軟化溫度184℃）作為基材層11。於該PET膜上，與實施例3同樣地形成用以提高密接性的中間層（易接著層），於該中間層上塗佈紫外線硬化性樹脂（迪睿合（Dexerials）股份有限公司製造，製品名「SK1900」）（軟化溫度157℃）。
繼而，使塗佈有紫外線硬化性樹脂的PET膜與玻璃輥原盤密接，使用金屬鹵化物燈自PET膜（基材層）側以1500 mJ/cm2 的照射量照射紫外線，從而使紫外線硬化性樹脂硬化。藉由以上的處理，獲得於作為基材層11的PET膜上形成有作為表面形狀體12的經硬化的紫外線硬化性樹脂的複製品原盤。
繼而，使所獲得的複製品原盤追隨與實施例1相同的凸透鏡的形狀變形。再者，本比較例中，將變形時的製程溫度設為220℃，藉由上推成形，藉由0.1 MPa的真空差壓而使複製品原盤變形。
對藉由所述實施例1～實施例3及比較例1、比較例2所製造的、經變形的複製品原盤的評價結果進行說明。
圖11A是藉由掃描式電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，SEM）對實施例1的複製品原盤的預成形前後的微細凹凸圖案拍攝而得的剖面拍攝圖。圖11B是實施例2的複製品原盤的預成形前後的微細凹凸圖案的剖面拍攝圖。圖11C是實施例3的複製品原盤的預成形前後的微細凹凸圖案的剖面拍攝圖。圖11D是比較例1的複製品原盤的預成形前後的微細凹凸圖案的剖面拍攝圖。圖11E是比較例2的複製品原盤的預成形前後的微細凹凸圖案的剖面拍攝圖。再者，於圖11A～圖11E中，複製品原盤的預成形後的拍攝圖像為凸透鏡的頂點部的拍攝圖像。
表1是表示實施例1～實施例3、比較例1、比較例2的複製品原盤的預成形前的微細凹凸圖案的高度、預成形後的微細凹凸圖案的高度、作為預成形前的微細凹凸圖案的高度與預成形後的微細凹凸圖案的高度的比的殘留率及變形後的複製品原盤的由目視所得的評價結果的圖。
[表1]
如圖11A～圖11C及表1所示般，實施例1～實施例3中，於預成形前後，微細凹凸圖案不會崩塌（殘留率高）地於複製品原盤轉印有微細凹凸圖案。即，於複製品原盤維持立體形狀的狀態下形成有微細凹凸圖案。
另一方面，如圖11D、圖11E及表1所示般，可知：比較例1、比較例2中，於預成形前後，微細凹凸圖案崩塌（殘留率小）。
另外，可知：實施例1～實施例3中，複製品原盤追隨被成形體的形狀變形（評價結果：「良好」），相對於此，比較例1、比較例2中，複製品原盤未追隨被成形體的形狀變形（評價結果：「不良」）。再者，所謂評價結果「良好」，是指於複製品原盤無褶皺或裂紋，且於整個曲面中，與模具相接的狀態。
繼而，使用實施例2的複製品原盤及比較例1的複製品原盤，將所述凸透鏡作為被成形體，而於凸透鏡上製作微細結構體，並對所製作的微細結構體的光學特性（反射率特性）進行評價。
關於微細結構體於凸透鏡上的形成，於凸透鏡上塗佈紫外線硬化性樹脂（迪睿合（Dexerials）股份有限公司製造，製品名「SK1120」），分別將實施例2及比較例1的複製品原盤壓接於該紫外線硬化性樹脂。然後，自基材層側以1500 mJ/cm2 的照射量照射紫外線，從而使紫外線硬化性樹脂硬化。其後，藉由使複製品原盤遠離，獲得形成有包含經硬化的紫外線硬化性樹脂的微細結構體的凸透鏡。
圖12A是表示使用實施例2的複製品原盤而形成的微細結構體的反射特性的圖。圖12B是表示使用比較例1的複製品原盤而形成的微細結構體的反射率特性的圖。
如圖12B所示般，使用比較例1的複製品原盤而形成的微細結構體中，反射率為4.2%左右，相對於此，使用實施例2的複製品原盤而形成的微細結構體中，反射率為0.5%左右，獲得良好的防反射光學特性。如上所述，比較例1的複製品原盤中，產生微細凹凸圖案的崩塌。因此，使用比較例1的複製品原盤而形成的微細結構體中，凹凸形狀亦崩塌，其結果認為：未獲得良好的反射率特性。另一方面，實施例2的複製品原盤中，基本上未產生微細凹凸圖案的崩塌。因此，使用實施例2的複製品原盤而形成的微細結構體中，亦無凹凸形狀的崩塌，其結果認為：獲得良好的反射率特性。
（實施例4） 如上所述，本發明不僅可應用於微細結構體在具有凸面的被成形體16的凸面上的形成中，亦可應用於微細結構體在具有凹面的被成形體16A的凹面上的形成中。本實施例中，於凹面形成微細結構體。再者，本實施例中，一體地進行使複製品原盤10追隨被成形體16A的形狀變形的步驟與使用經變形的複製品原盤10而將微細結構體17a形成於被成形體16A的步驟。
本實施例中，使用具有圓柱形狀的聚碳酸酯製的板作為被成形體16A。此種板例如可用作於LCD等的顯示體的前面設置氣隙而安裝的頂板（蓋）。所使用的被成形體16A的曲率半徑R為500 mm，曲率半徑R方向的長度為200 mm，寬度（深度）為140 mm。
首先，藉由旋轉塗佈而於被成形體16A的凹面塗佈未硬化的丙烯酸系紫外線硬化樹脂。旋轉塗佈是使被成形體16A以1000 rpm旋轉30秒來進行。
繼而，將於凹面塗佈有丙烯酸系紫外線硬化樹脂的被成形體16A載置於平台21上，利用旋轉泵進行區域25、區域26的抽真空直至0.1 MPa為止。藉由區域25、區域26的抽真空，將載置於平台21上的被成形體16A壓接於支撐部23所支撐的複製品原盤。再者，本實施例中，使用平均厚度為100 μm的PET膜（東洋紡股份有限公司製造，製品名「A4300」）作為複製品原盤（膜模具）。
繼而，於膜模具側即區域26側進行大氣加壓。藉此，可使膜模具與被成形體16A無間隙地密接。
繼而，於膜模具與被成形體16A密接的狀態下，自膜模具側照射紫外光。作為紫外光源，使用金屬鹵化物燈，以1000 mJ/cm2 的照射量照射紫外線。藉由照射紫外光，塗佈於被成形體16A的凹面的未硬化的丙烯酸系紫外線硬化樹脂硬化，其後，將膜模具自被成形體16A剝離。藉由所述處理，於被成形體16A的凹面形成間距為150 nm～230 nm且高度為200 nm～250 nm的微細結構體。
基於圖式及實施形態對本發明進行了說明，但要注意，對於本技術領域人員而言，基於本揭示容易進行各種變形或修正。因此，要留意，該些變形或修正包含於本發明的範圍內。
10‧‧‧複製品原盤 10a‧‧‧積層體 11‧‧‧基材層 12‧‧‧表面形狀體 12a‧‧‧樹脂層 13、13-1、13-2‧‧‧中間層 14‧‧‧主模具 15、15A‧‧‧模具 16、16A‧‧‧被成形體 17‧‧‧光硬化性樹脂 17a、19‧‧‧微細結構體 18‧‧‧顯示體 21‧‧‧平台 22‧‧‧側壁 23‧‧‧支撐部 24‧‧‧石英板 25、26‧‧‧區域 27‧‧‧間隙
圖1是表示本發明的一實施形態的複製品原盤的構成的一例的圖。 圖2是表示本發明的一實施形態的複製品原盤的構成的另一例的圖。 圖3A是表示本發明的一實施形態的複製品原盤的構成的又一例的圖。 圖3B是表示本發明的一實施形態的複製品原盤的構成的又一例的圖。 圖4A是表示使用圖1所示的複製品原盤形成微細結構體的概略的圖。 圖4B是表示使用圖1所示的複製品原盤形成微細結構體的概略的圖。 圖4C是表示使用圖1所示的複製品原盤形成微細結構體的概略的圖。 圖4D是表示使用圖1所示的複製品原盤形成微細結構體的概略的圖。 圖5A是表示製造圖4B所示的複製品原盤的步驟的一步驟的圖。 圖5B是表示製造圖4B所示的複製品原盤的步驟的一步驟的圖。 圖6A是表示使圖4C所示的複製品原盤變形的步驟的一步驟的圖。 圖6B是表示使圖4C所示的複製品原盤變形的步驟的一步驟的圖。 圖6C是表示使圖4C所示的複製品原盤變形的步驟的一步驟的圖。 圖6D是表示使圖4C所示的複製品原盤變形的步驟的一步驟的圖。 圖6E是表示使圖4C所示的複製品原盤變形的步驟的一步驟的圖。 圖7A是表示將圖4D所示的微細結構體形成於被成形體的步驟的一步驟的圖。 圖7B是表示將圖4D所示的微細結構體形成於被成形體的步驟的一步驟的圖。 圖7C是表示將圖4D所示的微細結構體形成於被成形體的步驟的一步驟的圖。 圖7D是表示將圖4D所示的微細結構體形成於被成形體的步驟的一步驟的圖。 圖8是表示使用本發明的一實施形態的複製品原盤而形成微細結構體的被成形體及其配置例的圖。 圖9A是表示為了將微細結構體形成於圖8所示的被成形體而使複製品原盤變形的步驟的一步驟的圖。 圖9B是表示為了將微細結構體形成於圖8所示的被成形體而使複製品原盤變形的步驟的一步驟的圖。 圖9C是表示為了將微細結構體形成於圖8所示的被成形體而使複製品原盤變形的步驟的一步驟的圖。 圖9D是表示為了將微細結構體形成於圖8所示的被成形體而使複製品原盤變形的步驟的一步驟的圖。 圖9E是表示為了將微細結構體形成於圖8所示的被成形體而使複製品原盤變形的步驟的一步驟的圖。 圖10A是表示將微細結構體形成於圖8所示的被成形體的步驟的一步驟的圖。 圖10B是表示將微細結構體形成於圖8所示的被成形體的步驟的一步驟的圖。 圖10C是表示將微細結構體形成於圖8所示的被成形體的步驟的一步驟的圖。 圖10D是表示將微細結構體形成於圖8所示的被成形體的步驟的一步驟的圖。 圖11A是實施例1的複製品原盤的預成形前後的微細凹凸圖案的剖面拍攝圖。 圖11B是實施例2的複製品原盤的預成形前後的微細凹凸圖案的剖面拍攝圖。 圖11C是實施例3的複製品原盤的預成形前後的微細凹凸圖案的剖面拍攝圖。 圖11D是比較例1的複製品原盤的預成形前後的微細凹凸圖案的剖面拍攝圖。 圖11E是比較例2的複製品原盤的預成形前後的微細凹凸圖案的剖面拍攝圖。 圖12A是表示使用實施例2的複製品原盤而形成的微細結構體的反射率特性的圖。 圖12B是表示使用比較例1的複製品原盤而形成的微細結構體的反射率特性的圖。
10‧‧‧複製品原盤
11‧‧‧基材層
12‧‧‧表面形狀體

Claims (10)

  1. 一種複製品原盤，其特徵在於包括：基材層；及形成於所述基材層上且具有微細凹凸圖案的表面形狀體，且 所述表面形狀體的軟化溫度高於所述基材層的軟化溫度。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的複製品原盤，其中所述基材層具有可撓性。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的複製品原盤，其中所述基材層與所述表面形狀體藉由包含一層以上的中間層而固著。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的複製品原盤，其中於所述表面形狀體的微細凹凸圖案的表面形成有脫模層。
  5. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的複製品原盤，其中所述表面形狀體包含無機化合物。
  6. 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的複製品原盤，其中所述基材層的伸長率為10%以上。
  7. 如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述的複製品原盤，其包含具有大於所述微細凹凸圖案的高度的曲率半徑的曲面。
  8. 一種複製品原盤的製造方法，其為如申請專利範圍第7項所述的複製品原盤的製造方法，且所述複製品原盤的製造方法包括： 將如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述的複製品原盤加熱至所述基材層的軟化溫度以上的加熱步驟；及 使所述經加熱的複製品原盤變形為具有大於所述微細凹凸圖案的曲率半徑的曲面的步驟。
  9. 一種物品，其是藉由利用如申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述的複製品原盤的轉印或所述複製品原盤的貼附而形成微細結構體。
  10. 一種被成形體的製造方法，其為形成有微細結構體的被成形體的製造方法，且所述被成形體的製造方法包括： 準備複製品原盤的步驟，所述複製品原盤具備基材層與形成於所述基材層上且具有與所述微細結構體相對應的微細凹凸圖案的表面形狀體，且所述表面形狀體的軟化溫度高於所述基材層的軟化溫度； 將所述複製品原盤加熱至所述基材層的軟化溫度以上且低於所述表面形狀體的軟化溫度的溫度，而使所述複製品原盤追隨所述被成形體的形狀變形的步驟；及 藉由利用所述複製品原盤的轉印或所述複製品原盤的貼附而將所述微細結構體形成於所述被成形體的步驟。
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