TW201544186A - 塗佈裝置及塗佈方法 - Google Patents

塗佈裝置及塗佈方法 Download PDF

Info

Publication number
TW201544186A
TW201544186A TW104107543A TW104107543A TW201544186A TW 201544186 A TW201544186 A TW 201544186A TW 104107543 A TW104107543 A TW 104107543A TW 104107543 A TW104107543 A TW 104107543A TW 201544186 A TW201544186 A TW 201544186A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
discharge
line
coating
nozzle arrangement
discharge ports
Prior art date
Application number
TW104107543A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI692379B (zh
Inventor
Kazumasa Ikushima
Original Assignee
Musashi Engineering Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Musashi Engineering Inc filed Critical Musashi Engineering Inc
Publication of TW201544186A publication Critical patent/TW201544186A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI692379B publication Critical patent/TWI692379B/zh

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0291Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work the material being discharged on the work through discrete orifices as discrete droplets, beads or strips that coalesce on the work or are spread on the work so as to form a continuous coating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C13/00Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0208Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
    • B05C5/0212Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
    • B05C5/0237Fluid actuated valves
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/26Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

提供一種塗佈裝置及塗佈方法,其成為可將畫線塗佈之速度加以高速化。 本發明之塗佈方法,係為使用塗佈裝置而在塗佈對象物上進行線狀塗佈描繪線之方法,其特徵在於:上述塗佈裝置係具備有吐出裝置、工件台、驅動裝置及控制部,上述吐出裝置係藉由吐出構件而對液室內之液體材料施加慣性力且自上述複數個吐出口同時地吐出,並在塗佈對象物上形成複數個液滴,複數個吐出口係沿著噴嘴配置線而配置在上述噴嘴,使上述噴嘴配置線與上述描繪線之描繪方向產生一致,且以被吐出之複數個液塊於著陸在塗佈對象物之前不產生接觸,且沿著上述噴嘴配置線所著陸之液體材料在塗佈對象物上產生結合之方式,自上述複數個吐出口吐出液體材料從而進行線狀塗佈。本發明之塗佈裝置係為實施相同塗佈方法之塗裝置。

Description

塗佈裝置及塗佈方法
本發明係關於一種具有沿直線排列之複數個吐出口之塗佈裝置及塗佈方法。
作為於電子零件等之製造步驟中對液體材料進行分配之裝置,已知一種藉由往返移動之柱塞而吐出液體材料之吐出裝置(點膠機(dispenser))。該吐出裝置例如使用於一方面於水平方向與工件台相對移動一方面對工件進行所希望之塗佈之用途。
作為使液體材料自噴嘴分離後著陸於工件上之習知之吐出裝置,例如具有一種裝置(專利文獻1),其藉由於在連絡於噴嘴之出口附近具有閥座之流路內非接觸式地配置柱塞桿之側面,且使柱塞桿之前端朝閥座移動而抵接於閥座,從而使液體材料以液滴之狀態自噴嘴吐出。
此外,作為使急速前進之柱塞不抵接於閥座而使其遽停以使液體材料飛射滴落之技術,具有申請人所提出之液體材料之吐出方法及裝置(專利文獻2、3),其使前端面密接於液體材料之液體材料吐出用柱塞高速前進,然後使柱塞驅動手段遽停,對液體材料施加慣性力而使液體材料吐出。
此外,還提出一種噴射式點膠機(專利文獻4),其具備:噴出噴嘴,其具有與流體通道出口連通之複數個噴嘴出口;及 閥構件,其可移動地設於流體通道內而可選擇性地接觸於閥座,於閥構件接觸於閥座時,將足以使複數個液滴自上述複數個噴嘴出口同時迅速地噴出之運動量供給於上述流體通道出口內之液體材料。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1:日本專利特表2001-500962號公報
專利文獻2:日本專利特開2003-190871號公報
專利文獻3:日本專利特開2005-296700號公報
專利文獻4:日本專利特開2007-167844號公報
為了實現電子機器之製造成本之削減,要求能使畫線塗佈之速度高速化。
專利文獻4揭示之噴射式點膠機,揭示了具有複數個吐出口之噴嘴,但其主要考慮助焊劑層之形成,對進行畫線塗佈之操作步驟無任何涉及。此外,於專利文獻4是以延遲點膠機之動作速度而追求高品質之方面看來(參照同文獻段落[0007]),亦可說其並非提供能幫助畫線塗佈之高速化之技術者。
本發明之目的在於提供一種塗佈裝置及塗佈方法,其可將畫線塗佈之速度高速化。
關於塗佈方法之本發明,係使用塗佈裝置而在塗佈對象物上進行線狀塗佈描繪線之方法,其特徵在於,上述塗佈裝置係 具備有:吐出裝置;工件台,其載置有塗佈對象物;驅動裝置,其使吐出裝置與工件台產生相對移動;及控制部,其對吐出裝置及驅動裝置之動作進行控制,上述吐出裝置係具備有:噴嘴,其具有吐出液體材料之複數個吐出口;液室,其經由複數條吐出流路而與上述複數個吐出口產生連通;及吐出構件,其與上述液室內之液體材料產生接觸,且藉由上述吐出構件而對上述液室內之液體材料施加慣性力且自上述複數個吐出口同時地吐出,並在塗佈對象物上形成複數個液滴;上述複數個吐出口係沿著直線之噴嘴配置線而配置在上述噴嘴;使上述噴嘴配置線與上述描繪線之描繪方向產生一致;且以被吐出之複數個液塊於著陸在塗佈對象物之前產生不接觸,且沿著上述噴嘴配置線所著陸之液體材料在塗佈對象物上產生結合之方式,自上述複數個吐出口吐出液體材料從而進行線狀塗佈。
上述塗佈方法之本發明中,其特徵亦可為:上述控制部係一方面使上述吐出裝置與上述工件台以保持一定之速度Vc之方式相對移動在與噴嘴配置線所相同之方向,一方面以上述被吐出之複數個液塊之至少一個為與之前剛被吐出之塗佈對象物上之液體材料產生結合而形成描繪線之方式而根據上述吐出裝置與上述工件台之相對移動速度而將吐出之時序當作為一定之間隔Tc從而進行線狀塗佈。
上述塗佈方法之本發明中,其特徵亦可為:藉由調節上述吐出構件之推進力,以上述被吐出之複數個液塊於著陸在塗佈對象物之前產生不接觸,且沿著上述噴嘴配置線所著陸之液體材料在塗佈對象物上產生結合之方式吐出液體材料。
上述塗佈方法之本發明中,其特徵亦可為:上述複數條吐出流 路係以上述複數條吐出流路之各中心線與上述噴嘴之中心線產生相交之方式被配置為具有傾斜,且藉由調節吐出口與塗佈對象之距離h,而對液滴間之距離進行調節。
上述塗佈方法之本發明中,其特徵亦可為:上述複數個吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上。
上述塗佈方法之本發明中,其特徵亦可為:上述複數個吐出口係任一者皆為相同之形狀且被配置為等間距。
上述塗佈方法之本發明中,其特徵亦可為:上述複數個吐出口係由偶數個吐出口所構成,且包含有二個大型吐出口及二個小型吐出口,吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上,並且上述小型吐出口及上述大型吐出口係沿著上述噴嘴配置線以交互之方式配置,或者,上述複數個吐出口係由偶數個吐出口所構成,且包含有二個大型吐出口及二個小型吐出口群,上述大型吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上,上述小型吐出口群及上述大型吐出口係沿著上述噴嘴配置線以交互之方式配置,並且,上述小型吐出口群係由相對於上述噴嘴配置線而以對稱對之方式所配置之複數個小型吐出口所構成。
上述塗佈方法之本發明中,其特徵亦可為:上述吐出裝置或者上述工件台係具備有旋轉機構,並藉由上述旋轉機構使上述噴嘴配置線與上述描繪線之描繪方向產生一致,其中較佳特徵亦可為:上述線狀塗佈係根據包含有延伸在第一方向之直線狀的塗佈線、及延伸在與第一方向為不同之第二方向之直線狀的塗佈線之塗佈圖案而進行。
上述塗佈方法之本發明中,其特徵亦可為:上述噴嘴係相對於 上述吐出裝置而以拆裝自如之方式被加以固定,上述吐出裝置係具有作為可安裝上述噴嘴的定位機構,以使上述噴嘴配置線之方向相對於上述吐出裝置而成為固定。
塗佈裝置之本發明,其具備有吐出裝置、載置有塗佈對象物之工件台、使吐出裝置與工件台產生相對移動之驅動裝置、及對吐出裝置及驅動裝置之動作進行控制之控制部,其特徵在於,上述吐出裝置係具備有:噴嘴,其具有吐出液體材料之複數個吐出口;液室,其經由複數條吐出流路而與上述複數個吐出口產生連通;及吐出構件,其與上述液室內之液體材料產生接觸,且藉由上述吐出構件而對上述液室內之液體材料施加慣性力且自上述複數個吐出口同時地吐出,並在塗佈對象物上形成複數個液滴,上述複數個吐出口係沿著直線之噴嘴配置線而配置在上述噴嘴,上述控制部係在使上述噴嘴配置線與描繪線之描繪方向產生一致之狀態下,以被吐出之複數個液塊於著陸在塗佈對象物之前不產生接觸,且沿著上述噴嘴配置線所著陸之液體材料在塗佈對象物上產生結合之方式,自上述複數個吐出口吐出液體材料從而進行線狀塗佈。
上述塗佈裝置之本發明中,其特徵亦可為:上述控制部係一方面使上述吐出裝置與上述工件台以保持一定之速度Vc之方式相對移動在與噴嘴配置線所相同之方向,一方面以上述被吐出之複數個液塊之至少一個為與之前剛被吐出之塗佈對象物上之液體材料產生結合而形成描繪線之方式而根據上述吐出裝置與上述工件台之相對移動速度而將吐出之時序當作為一定之間隔Tc從而進行線狀塗佈。
上述塗佈裝置之本發明中,其特徵亦可為:上述控制 部藉由調節上述吐出構件之推進力,以上述被吐出之複數個液塊於著陸在塗佈對象物之前不產生接觸,且沿著上述噴嘴配置線所著陸之液體材料在塗佈對象物上產生結合之方式吐出液體材料。
上述塗佈裝置之本發明中,其特徵亦可為:上述複數條吐出流路係以上述複數條吐出流路之各中心線與上述噴嘴之中心線產生相交之方式被配置為具有傾斜。
上述塗佈裝置之本發明中,其特徵亦可為:上述複數個吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上。
上述塗佈裝置之本發明中,其特徵亦可為:上述複數個吐出口係皆為相同之形狀且被配置為等間距。
上述塗佈裝置之本發明中,其特徵亦可為:上述複數個吐出口係由偶數個吐出口所構成,且包含有二個大型吐出口及二個小型吐出口,吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上,並且上述小型吐出口及上述大型吐出口係沿著上述噴嘴配置線以交互之方式配置,或者,上述複數個吐出口係由偶數個吐出口所構成,且包含有二個大型吐出口及二個小型吐出口群,上述大型吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上,上述小型吐出口群及上述大型吐出口係沿著上述噴嘴配置線以交互之方式配置,並且,上述小型吐出口群係由相對於上述噴嘴配置線而以對稱之方式配置之複數個小型吐出口所構成。
上述塗佈裝置之本發明中,其特徵亦可為:上述吐出裝置或者上述工件台係具備有旋轉機構,上述控制部係藉由上述旋轉機構使上述噴嘴配置線與上述描繪線之描繪方向產生一致。
上述塗佈裝置之本發明中,其特徵亦可為:上述驅動裝置係包 含有使上述吐出裝置及上述工件台以相對之方式可進行直線移動之單軸驅動機構,上述噴嘴配置線係被配置為與上述單軸驅動機構之驅動方向產生一致。
上述塗佈裝置之本發明中,其特徵亦可為:上述噴嘴係相對於上述吐出裝置而以拆裝自如之方式被加以固定,上述吐出裝置係具有作為可安裝上述噴嘴的定位機構,以使上述噴嘴配置線之方向相對於上述吐出裝置而成為固定。
上述塗佈裝置之本發明中,其特徵亦可為:上述吐出裝置係具備有:柱塞,其相對於上述液室為較小直徑,且前端部在液室內進行進退移動;柱塞往返移動裝置,其使上述柱塞進行進退移動;及送液裝置,其將液體材料供給至上述液室內;在上述柱塞之前端部之側面與上述液室之內側壁產生非接觸之狀態下,藉由使柱塞進行進出移動及進出停止,而對液體材料施加慣性力,且自上述複數個吐出口同時地吐出。
根據本發明,可將畫線塗佈之速度高速化。
並且,藉由將吐出之時序作為一定之間隔Tc而進行線狀塗佈,可提高吐出量精度及吐出位置精度。
而且,根據具備吐出流路具有傾斜之構成之本發明,藉由調節吐出口及塗佈對象物之距離,可對同時吐出之液滴間之距離進行調節。
1‧‧‧吐出裝置
2‧‧‧本體上部
3‧‧‧本體下部
4‧‧‧安裝構件
5‧‧‧噴嘴構件
5a‧‧‧上側構件
5b‧‧‧下側構件
6‧‧‧液體輸送構件
7‧‧‧液體貯存容器
8‧‧‧氣壓式點膠機
9‧‧‧氣體供給源
10‧‧‧柱塞
11‧‧‧活塞
12‧‧‧密封構件
13‧‧‧彈性構件
14‧‧‧止動器
15‧‧‧測微計
16‧‧‧電磁轉換閥
17‧‧‧切換閥控制部
18‧‧‧減壓閥(空氣調節器)
19‧‧‧氣體供給源
20‧‧‧噴嘴配置線
21‧‧‧貫通孔
22‧‧‧下側室
23‧‧‧上側室
24‧‧‧下側通氣口
25‧‧‧上側通氣口
26‧‧‧環狀密封構件
31‧‧‧貫通孔
32‧‧‧密封構件
33‧‧‧供給路徑
41‧‧‧液室
42‧‧‧液體輸送路徑
51‧‧‧第1吐出口
52‧‧‧第2吐出口
53‧‧‧第3吐出口
54‧‧‧第1吐出流路
55‧‧‧第2吐出流路
56‧‧‧第3吐出流路
57‧‧‧大徑吐出流路
58‧‧‧鍔部
59‧‧‧噴嘴構件之中心軸
61‧‧‧液體輸送路徑
71‧‧‧第1吐出口
72‧‧‧第2吐出口
73‧‧‧第3吐出口
74‧‧‧第4吐出口
81‧‧‧第1吐出口
82‧‧‧第2吐出口
83‧‧‧第3吐出口
84‧‧‧第4吐出口
85‧‧‧第5吐出口
86‧‧‧第6吐出口
91‧‧‧第1吐出口
92‧‧‧第2吐出口
93‧‧‧第1吐出流路
94‧‧‧第2吐出流路
95‧‧‧大徑吐出流路
101‧‧‧柱塞前端部
102‧‧‧柱塞前端部之側面
103‧‧‧柱塞前端面
151‧‧‧液滴
152‧‧‧液滴
171~174‧‧‧液滴
181~186‧‧‧液滴
200‧‧‧塗佈裝置
201‧‧‧架台
202‧‧‧工件台
203‧‧‧X驅動裝置
204‧‧‧Y驅動裝置
205‧‧‧Z驅動裝置
206‧‧‧控制裝置
207‧‧‧塗佈對象物(工件)
213‧‧‧X方向
214‧‧‧Y方向
215‧‧‧Z方向
411‧‧‧液室之內側壁
412‧‧‧液室之底面
圖1為顯示第一實施形態例之塗佈裝置之立體圖。
圖2為第一實施形態例之吐出裝置之要部側面剖視圖。
圖3為第一實施形態例之噴嘴構件之(a)仰視圖,(b)側面剖視圖。
圖4為顯示第一實施形態例中之一次之吐出步驟之圖,(a)顯示吐出之液滴著陸於塗佈對象物之前之時刻,(b)顯示吐出之液滴著陸於塗佈對象物之時刻,(c)顯示著陸後經過了短暫時間之時刻,(d)顯示自(c)時起經過了短暫時間之時刻,(e)顯示自(d)時起經過了短暫時間之時刻。
圖5為顯示第一實施形態例之塗佈裝置之複數次之吐出步驟之圖,(a)為自側面觀察第一發射後之時刻之圖,(b)為自側面及上方觀察第二發射後之時刻之圖,(c)為自側面及上方觀察第三發射後之時刻之圖,(d)為自側面及上方觀察第四發射後之時刻之圖,(e)為自側面及上方觀察第五發射後之時刻之圖。
圖6為說明二個液滴於飛翔中結合之情況之側視圖,(a)顯示液塊吐出後之時刻,(b)顯示自(a)時起經過了短暫時間之時刻,(c)顯示同時吐出之液塊著陸於塗佈對象物之時刻。
圖7為第二實施形態例之噴嘴構件之(a)仰視圖,(b)側面剖視圖。
圖8為第三實施形態例之噴嘴構件之仰視圖。
圖9為自上面觀察第三實施形態例中同時吐出之四個液滴所結合之狀態之想像圖。
圖10為第四實施形態例之噴嘴構件之仰視圖。
圖11為自上面觀察第四實施形態例中同時吐出之六個液滴所結合之狀態之想像圖。
圖12為說明第五實施形態例之噴嘴構件之(a)側面剖視圖、及(b)吐出口與工件之距離及液滴間之距離之關係之側視圖。
圖13為著陸於塗佈對象物之二個液滴於塗佈對象物上不結合之情況之塗佈方法的說明圖,(a)顯示第1次吐出,(b)顯示第2次吐出,(c)顯示第3次吐出,(d)顯示第4次吐出。
以下,一方面參照圖式一方面針對本發明之實施形態例進行說明。
《第一實施形態例》 <塗佈裝置>
如圖1所示,第一實施形態例之塗佈裝置200具備:吐出裝置1;架台201;載置塗佈對象物207之工件台202;使吐出裝置與工件台沿X方向相對移動之X驅動裝置203;使吐出裝置與工件台沿Y方向相對移動之Y驅動裝置204;使吐出裝置與工件台沿Z方向相對移動之Z驅動裝置205;及控制吐出裝置1及XYZ驅動裝置(203、204、205)之動作之控制裝置206。
再者,設X方向為平面中之一個方向,Y方向為平面中之與X方向正交之方向,Z方向為與平面正交之方向。
本實施形態例中,X驅動裝置及Y驅動裝置之移動方向為水平方向,Z驅動裝置之移動方向為鉛垂方向,但也可設定為此以外之移動方向。此外,X驅動裝置、Y驅動裝置及Z驅動裝置不一定全部需要,例如,塗佈圖案僅由一方向之直線構成之情況下,只要配置供朝一方向移動之驅動裝置(只有X驅動裝置或Y驅動裝置),即可進行本發明之塗佈。
<吐出裝置>
如圖2所示,吐出裝置1之本體具備本體上部2及本體下部3。
本體上部2具有貫通中心之貫通孔21及活塞室(22、23),柱塞10插通於貫通孔21及活塞室中。柱塞10係細長之圓柱棒,且貫通活塞11。活塞11係於側周面設置有環狀之密封構件12之圓盤狀之構件。活塞11係將圓柱狀之活塞室氣密性地分隔為下側室22及上側室23,一方面於活塞室內滑動一方面上下移動。活塞11係與柱塞10連結,隨著活塞11上下移動,柱塞10也上下移動。以下之說明中,有稱柱塞10朝下方之移動為進出移動,稱柱塞10朝上方之移動為後退移動之情形。
活塞11係藉由配置於上側室23內之彈性構件13而被附加朝下方之勢能。於下側室22之側面設置有與電磁轉換閥16連通之下側通氣口24,於下側室22之底面設置有供柱塞10插通之環狀密封構件26。電磁轉換閥16具有將下側通氣口24與氣體供給源19連通之第一位置、及下側通氣口24與外部空氣連通之第二位置。當電磁轉換閥16位於第一位置時,自氣體供給源19供給之加壓氣體經由空氣調節器18供給於下側通氣口24,柱塞前端面103自液室之底面412遠離。當電磁轉換閥16位於第二位置時,活塞11藉由彈性構件13之附加勢能力朝下方移動,於是柱塞10隨著活塞11朝下方移動之動作而進行進出移動。藉此,柱塞前端面103落座於液室之底面412,藉由柱塞10而被施加了推進力之液室內之液體材料,自吐出口(51、52)吐出。
再者,也可構成為藉由使柱塞10之進出移動於柱塞 前端面103落座於液室之底面412之前停止,對液室內之液體材料施加推進力而進行吐出。作為不落座於柱塞前端面而吐出液滴之吐出裝置,例如,具有申請人於WO2008/108097公報、特開2013-081884所揭示者。
本實施形態例中,例示了使用柱塞10作為對液室內之液體材料施加慣性力之吐出構件,但吐出構件不限於此。本發明之吐出構件還包含,例如使與吐出口連通之液室內,產生活動閥體、靜電式、壓電式等之致動器、隔膜及強制變形手段(例如,敲打錘及電磁閥等與桿之組合、高壓流體)、氣泡產生用加熱器、等之壓力之機構。
藉由位於柱塞10下方之前端部101,於液室內反複地進行進退動作,而連續地吐出液體材料。於柱塞10進行進退動作之期間,柱塞之前端部之側面102不會接觸於液室之內側壁411(參造圖3(b))。本實施形態例中,將柱塞前端面103構成為半球狀,但柱塞前端面103之形狀不限於此,例如,也可為平面或與吐出口同心且相同數量之附設突起之平面。
柱塞10之後退位置係藉由止動器14所規定。止動器14之位置可藉由旋轉測微計15進行調節。
於本體上部2之下端接合有本體下部3。本體下部3具有貫通中心之貫通孔31,貫通孔31供柱塞10插通。貫通孔31與液室41連通,但於貫通孔31之下端設置有環狀之密封構件32,因而液室內之液體材料不會朝貫通孔31逆流。液室41係上下延伸之圓柱狀之空間,於上方部分與供給液體材料之供給路徑33連通。供給路徑33係經由設於安裝構件4之液體輸送路徑42而與液體輸送構件6之液體輸送路徑61連通。本實施形態例中,將供給路徑 33、液體輸送路徑42及液體輸送路徑61水平地構成,當然也可設置角度而構成。
如圖3(a)所示,噴嘴構件5具有設置於直線之噴嘴配置線20上之同徑圓形之第1吐出口51及第2吐出口52。第1吐出口51及第2吐出口52之直徑D1,例如為數μm~數mm,較佳為數十μm~數百μm。第1吐出口51及第2吐出口52之形狀,不限例示之圓形,例如,揭示有沿噴嘴配置線20延伸之橢圓形。複數個吐出口之形狀或配置圖案,較佳為構成隔著噴嘴配置線20而對稱之形狀。這點也適用於噴嘴構件5之下端不是平面而具有凹凸之形狀之情況。
第1吐出口51及第2吐出口52之最接近距離(第1吐出口51之右端與第2吐出口52之左端之距離)L1,係設定為無論於何種情況下皆大於直徑D1,例如設定為D1之2~10倍。換言之,該距離是複數個吐出口沿直線之噴嘴配置線而配置於噴嘴構件,且著陸於塗佈對象物之液體材料結合而形成塗佈線之距離。
當將吐出裝置1搭載於塗佈裝置200時,噴嘴配置線20配置為與描繪線之描繪方向一致。也可於工件台202或吐出裝置1設置朝θ方向(以工件台之垂線為中心之旋轉方向)旋轉之旋轉機構,以使噴嘴配置線20與描繪線之描繪方向能動態地達成一致。其中,使噴嘴配置線20與描繪線之描繪方向一致之意義,換言之在於,於將噴嘴配置線投影於描繪線上時,描繪線與噴嘴配置線之方向一致,或者,對相對於液體材料之吐出方向呈直角之平面進行噴嘴配置線20與描繪線之正投影之情況下,噴嘴配置線20與描繪線之方向一致。進一步換言之,於包含自吐出口吐出之液體材料之吐出方 向之平面具有描繪線。這點也可應用於塗佈對象物不是平面之情況或傾斜之情況。
其中,本實施形態例中之液體材料之吐出方向,更正確而言係指將工件台與吐出裝置之相對移動停止而吐出之情況下之液體材料之吐出方向。如本實施形態例那樣,於液體材料之吐出方向與鉛垂方向相等之情況下,相對於上述液體材料之吐出方向呈直角之線,即為水平面上之線。
另一方面,於由具有彎曲部位之複數條直線構成塗佈圖案之情況下,必須於工件202或Z軸驅動裝置205設置朝θ方向旋轉之旋轉機構。例如,於塗佈圖案為四邊形且四邊形之一個頂點為塗佈開始點及塗佈結束點之情況下,彎曲部位為3個。旋轉機構例如可使用公知之伺服馬達構成。
此外,於塗佈圖案具有直線部之情況下,將塗佈對象物配置於工件202上以使直線部之方向與X方向或Y方向一致,且將噴嘴配置線20與直線部配置於相同方向。藉此,於直線部之塗佈時,只要驅動X驅動裝置203或Y驅動裝置204之任一者,即可進行塗佈,從而可更精度良好地塗佈形成塗佈線。
亦即,於XYZ驅動裝置(203、204、205)包含可使吐出裝置1與工件台202相對地直線移動之單軸驅動裝置(X驅動裝置或Y驅動裝置)之情況下,較佳為使噴嘴配置線20配置為與該單軸驅動裝置之驅動方向(X方向或Y方向)一致。此種配置對不具有上述旋轉機構之情況特別有效。
如圖3(b)所示,第1吐出口51係經由細徑之第1吐出流路54及大徑吐出流路57而與液室41連通。此外,第2吐出 口52係經由細徑之第2吐出流路55及大徑吐出流路57而與液室41連通。第1吐出流路54及第2吐出流路55係相同形狀,且其等中心軸皆位於鉛垂方向。
第1吐出流路54及第2吐出流路55也可構成為不設置大徑吐出流路57,而直接與液室41連通。此外,也可藉由獨立之各2條細徑流路及大徑流路,構成直接連通於液室41之第1吐出流路54及第2吐出流路55。
設於屬平面之噴嘴構件5之下端面之第1吐出口51及第2吐出口52,係朝下方開口,於噴嘴構件5之下端面配水平(相對於液體材料之吐出方向呈直角之方向)配置之狀態下,液體材料自這些吐出口滴落。
噴嘴構件5係於上端具有鍔部58,且以該鍔部58而支撐於安裝構件4。安裝構件4係於支撐噴嘴構件5之狀態下螺合於本體下部3或藉由螺絲等之固定件而可拆裝自如地固定。由於噴嘴構件5藉由安裝構件4而可拆裝自如地安裝,因而根據用途對吐出口之直徑及最接近距離不同之複數個噴嘴構件5進行交換之作業也變得容易。用以拆裝噴嘴構件5之方式雖無限制,但較佳為可設置定位機構,以使噴嘴配置線20之方向及位置相對於吐出裝置1能固定地安裝。作為定位機構可使用公知之定位機構,例如,可列舉噴嘴構件5或本體下部3側之構件之一部分(例如,銷、凸部、缺口)嵌合於另一構件而進行定位之構成、或使用另外準備之構件(例如,銷或螺絲)進行定位之構成。
於安裝構件4之側面固設有液體輸送構件6。液體輸送構件6之上面連結有液體貯存容器7。液體貯存容器7經由氣壓式點膠機 8而自氣體供給源9接收加壓氣體之供給。再者,自氣體供給源9供給之加壓氣體,也有為大氣以外之氣體(例如,氮氣)之情況。
<XYZ驅動裝置>
XYZ驅動裝置(203、204、205)例如具備公知之XYZ軸伺服馬達及滾珠螺桿,其可使吐出裝置1之吐出口(51、52)以任意之速度移動於工件之任意位置。XYZ驅動裝置(203、204、205)之動作,係藉由控制裝置206所控制。
<控制裝置>
控制裝置206具備處理裝置、儲存塗佈程式之記憶裝置及輸入裝置,例如,可使用個人電腦或可控程式控制器等。控制裝置206既可全部內建於架台201,也可一部分設置於架台201之外部,且藉由有線或無線連接。控制裝置206係自輸入裝置接收包含塗佈圖案、塗佈基準位置、相對移動速度、吐出時序、柱塞進退速度之塗佈控制數據,且記憶於記憶裝置。處理裝置係讀出記憶於記憶裝置之塗佈控制數據,執行後述之塗佈動作。
<塗佈動作>
塗佈裝置200之塗佈動作係於X方向、Y方向或傾斜方向(與X方向或Y方向構成角度之方向)進行線狀塗佈(畫線塗佈)者,其動作執行如下。
圖4(a)顯示自噴嘴構件5之吐出口(51、52)吐出液滴(151、152)且著陸於塗佈對象物(工件)之前之時刻。如同圖所示,本發明中, 以吐出之液體材料於工件上成為液滴之狀態之情況作為前提。其中,自吐出口(51、52)吐出之液體材料,既可於自吐出口分離之後形成液滴,也可於接觸於工件之後與吐出口分離,而於塗佈對象物上形成液滴。本說明書中,有時將自吐出口吐出且自吐出口分離之前之液體材料、及自吐出口吐出後被分離且著陸於工件上之前之液滴統稱為“液塊”。
關於液體材料接觸於工件之後才與吐出口分離而於塗佈對象物上形成液滴之塗佈方法,例如申請人於WO2008/146464中已有揭示。為了使液體材料於接觸於塗佈對象物之後與吐出口分離,較佳為將吐出口與工件之距離h1設定為比與工件接觸前之吐出口(噴嘴)連接之狀態之液體材料之高度h0之數倍小而進行吐出動作,更佳為將吐出口與工件之距離h1設定為小於h0之2倍(h0<h1<h0×2)。
為了使著陸於塗佈對象物上之接近位置之二個液滴迅速擴散結合,需要對液滴施加一定以上之推進力。經實驗之結果,確認到對於習知之噴射式吐出裝置中吐出之液滴,已施加有足以實現著陸後之快速結合之推進力。
上述以外,其中重要之處在於,同時吐出之複數個液塊於著陸前不接觸或不結合。這是因為若液滴於著陸前接觸或結合,則液滴變大,從而無法實現所希望之塗佈圖案。亦即,如圖6所示,若二個液滴於飛翔中結合,則著陸面變為圓形,因而若不使相同大小之液滴著陸而使其一部分與該著陸液重疊,就無法進行線狀塗佈(實質上,變得與一個吐出口所進行之塗佈作業相同)。由於用以吐出使自複數個吐出口同時吐出之複數個液塊於著陸於塗佈 對象物之前不接觸、且使沿噴嘴配置線20著陸之著陸液於塗佈對象物上結合之條件,係根據液體材料之種類或吐出裝置之構成等之作業環境而異,因而需要自一方面按作業環境等改變各要素之條件一方面重複地進行吐出之作業中尋找。每當進行該作業時,作為應予考慮之主要要素,例示有吐出口間之距離、吐出口之孔之大小、液體材料之黏度、吐出構件之推進力之大小(當然也可對這些以外之要素進行調節)。此外,如於後述之第五實施形態例所作之說明,藉由調節吐出口與塗佈對象物之距離,對進行條件設定也有效。
圖4(b)顯示同時吐出之液塊著陸於塗佈對象物之時刻。如同圖所示,自二個吐出口(51、52)吐出之液體材料,於著陸時相互處於不接觸之位置關係。換一種說法,自複數個吐出口吐出之液體材料,形成與吐出口相同數量之液滴,且相互非接觸地著陸於塗佈對象物。
圖4(c)顯示同時吐出之液塊著陸於塗佈對象物後經過了短暫時間之時刻。如同圖所示,呈圓形著陸之液滴於塗佈對象物上擴散,二個圓接觸並開始結合。
圖4(d)顯示自圖4(c)時起經過了短暫時間之時刻。如同圖所示,接觸之二個圓之結合進一步擴大,寬度方向(圖中上下方向)之凹陷變淺。亦即,塗佈對象物上之二個液滴之結合,與飛翔中之二個液滴之結合不同,其發揮形成向噴嘴配置線20方向延伸之細長形狀之作用(即使二個液滴合為一體,俯視時仍不會成為圓形)。
圖4(e)顯示自圖4(d)時起經過了短暫時間之時刻。如同圖所示,二個圓完全結合,而使塗佈寬度之不勻消失,形成朝與噴嘴配 置線20相同之方向延伸之直線狀之細長塗佈圖案。
圖4(a)至圖4(e)係顯示藉由一次之吐出而進行既定長度(最小單位)之線狀塗佈之步驟者,藉由重複地進行該步驟,可形成所希望之長度之塗佈線。
圖5(a)至圖5(e)係顯示藉由複數次之吐出而進行線狀塗佈之步驟。
圖5(a)為自側面觀察第一發射後之時刻之圖。
圖5(b)為自側面及上方觀察第二發射後之時刻之圖。此時,第一發射之二個液滴於塗佈對象物上開始進行結合。
圖5(c)為自側面及上方觀察第三發射後之時刻之圖。此時,第一發射之二個液滴之結合進一步擴大,第二發射之2個液滴於塗佈對象物上開始進行結合。
圖5(d)為自側面及上方觀察第四發射後之時刻之圖。此時,第一發射之二個液滴完全結合,第二發射之二個液滴之結合進一步擴大,第三發射之二個液滴於塗佈對象物上開始進行結合。
圖5(e)為自側面及上方觀察第五發射後之時刻之圖。此時,第一及第二發射之二個液滴完全結合,第三發射之二個液滴之結合進一步擴大,第四發射之二個液滴於塗佈對象物上開始進行結合。
如此,於本實施形態例中,藉由重複地進行同時吐出二個液塊之周期,可形成所希望之塗佈線。在此所稱之塗佈線,不僅僅為於塗佈之液體材料之寬度方向(長邊方向之側緣)無凹凸之如圖4(e)之直線狀之塗佈線,而且還包含於圖4(c)及圖4(d)所揭示之寬度方向具有凹凸之塗佈線。於液體材料之黏度相對較高之情況下,也有於塗佈線之寬度方向存在凹凸之情況,例如,如於貼合時 被壓扁之黏著劑之塗佈之情況,有時即使是於寬度方向具有凹凸之塗佈線中也可達成目的。但是,寬度方向之凹凸會造成氣泡之原因,因此較佳為將凹陷量控制於擴散後之液滴之半徑之1/3以下。
再者,塗佈線不是相同地形成於塗佈對象物(工件)之表面之膜,而是形成為隆起於表面之線。
本發明係於使用具有複數個吐出口之噴嘴,一方面使吐出裝置與工件台以一定之速度Vc相對移動,一方面將吐出之時序作為一定之間隔Tc而可進行線狀塗佈之點,可稱是特別有效。換一種說法,本發明中,可一方面使吐出裝置與工件台以一定之速度相對移動,一方面使柱塞桿重複地進行一定之往返動作而一方面進行線狀塗佈。藉由將吐出之時序作為一定之間隔Tc,可使吐出量變得固定,進而提高吐出量精度及吐出位置精度。此時之間隔Tc,以設定為自複數個吐出口同時吐出之複數個液塊之至少一個結合於前面剛吐出之塗佈對象物上之液體材料(著陸液)而形成線狀之塗佈圖案之間隔為較佳。再者,與前面剛吐出之液體材料之結合,既有與著陸同時進行之情況,也有於著陸後經過了短暫時間而進行之情況。前者多產生於前面剛吐出之液體材料於塗佈對象物上已經擴散之情況。
作為較佳間隔Tc之一例,可列舉出設定為Vc×Tc為相鄰之吐出口間之距離之間隔。這是因為於設定為此種間隔之情況下,可將吐出之複數個液塊所結合而形成之線部B與其前面剛吐出之複數個液塊所結合而形成之線部A之塗佈對象物上之結合狀態,與構成線部A之複數個液塊之結合狀態及構成線部B之複數個液塊之結合狀態設定為相同,藉此可期待形成均勻之直線之功效。
圖13為著陸於塗佈對象物之二個液滴於塗佈對象物上不結合之情況之塗佈方法之說明圖。同圖中,直線所示者係各次之吐出中之吐出口51之位置。
由於第1次吐出所吐出之二個液滴(以實線及網點圖示)不結合,因而於第2次吐出中需要進行二個液滴(以虛線及網點圖示)之吐出,以使其等與第1次吐出之二個液滴之間連絡。第3次吐出中需要進行2個液滴(以實線及斜線圖示)之吐出,以使其等與第2次吐出之行進方向側(右側)之液滴重疊,進而使吐出之液滴之重疊程度於全部之部位皆變得相同。第4次吐出中,與第2次吐出同樣地,需要進行二個液滴(以虛線及斜線圖示)之吐出,以使其等與第3次吐出之二個液滴之間連絡。
如此,圖13之塗佈方法中,於使吐出裝置與工件台以一定之速度相對移動之情況下,產生必須改變吐出時序之問題。另一方面,若改變吐出裝置與工件台之相對移動之速度,則產生液滴之著陸位置之控制困難之問題。
根據以上說明之第一實施形態例之塗佈裝置及塗佈方法,可同時吐出二個液塊而進行線狀塗佈,因此與將一個液塊重疊而進行線狀塗佈之情況比較,可將塗佈速度提高二倍左右之高速化。此線狀塗佈之高速化對於進行直線塗佈時特別有效,例如,於塗佈圖案由一條或者複數條之直線構成之情況下,可獲得顯著之高速化功效。
此外,使用具有複數個吐出口之噴嘴,一方面使吐出裝置與工件台以一定之速度相對移動,一方面將吐出之時序作為一定之間隔而可進行高精度之線狀塗佈。
《第二實施形態例》
第二實施形態例係於具有以等間距配置吐出裝置1之噴嘴構件5之三個吐出口之點與第一實施形態例不同,其他之構成與第一實施形態例同樣。以下之說明中,對與第一實施形態例共同之構成,省略說明,只對不同之構成進行說明。
如圖7(a)所示,噴嘴構件5具有設於屬直線之噴嘴配置線20上之同徑圓形之第1吐出口51、第2吐出口52及第3吐出口53。第1至第3吐出口(51~53)之直徑D1係與第一實施形態同樣。第1吐出口51與第2吐出口52之最接近距離(第1吐出口51之右端與第2吐出口52之左端之距離)L1,與第2吐出口52與第3吐出口53之最接近距離(第2吐出口52之右端與第3吐出口53之左端之距離)L2,為相同長度。L1及L2係設定為無論於何種情況下皆大於直徑D1,例如設定為D1之2~10倍。於將吐出裝置1搭載於塗佈裝置200時,將噴嘴配置線20配置為與希望之描繪線(直線)之方向一致。與第一實施形態同樣地,也可於工件台202或吐出裝置1設置旋轉機構,藉由旋轉機構來動態地調整吐出口之方向。
如圖7(b)所示,第1至第3吐出口(51~53)係經由第1吐出流路54、第2吐出流路55及第3吐出流路56暨大徑吐出流路57而與液室41連通。第1至第3吐出流路(54~56)係相同形狀,中心軸全部位於鉛垂方向。亦即,第1至第3吐出流路(54~56)係平行於垂直方向而設置。
根據第二實施形態例,藉由一次之吐出可形成3滴份之長度之塗佈線。此外,本實施形態中,揭示了具有以等間距配置之三個吐 出口之噴嘴構件,但於以等間距配置四個以上之相同形狀之吐出口之噴嘴構件中,也可獲得同樣之功效。
《第三實施形態例》
第三實施形態例係於具有以等間距配置吐出裝置1之噴嘴構件5之四個吐出口之點與第一及第二實施形態例不同,其他之構成與第一及第二實施形態例同樣。以下之說明中,對與第一及第二實施形態例共同之構成,省略說明,只對不同之構成進行說明。
如圖8所示,噴嘴構件5具有設於屬直線之噴嘴配置線20上之大圓形之第1吐出口71及第2吐出口72、小圓形之第3吐出口73及第4吐出口74。第1吐出口71及第2吐出口72之直徑D1,例如為數十μm~數mm。第3吐出口73及第4吐出口74之直徑D2為直徑D1之1/2~1/10,例如為數μm~數百μm。大圓形之吐出口與小圓形之吐出口,係於噴嘴配置線20上交互地且實質上等間隔地配置。
於第1吐出口71與第2吐出口72之最接近距離(第1吐出口71之右端與第2吐出口72之左端之距離)L1之中間地點配置有第3吐出口73。第1吐出口71與第3吐出口73之最接近距離L2係設定為無論於何種情況下皆大於直徑D1,例如設定為D1之2~10倍。第4吐出口74係相對於第2吐出口72而與第3吐出口73對稱設置。亦即,第2吐出口72與第4吐出口74之最接近距離L3係與L2相同。於將吐出裝置1搭載於塗佈裝置200時,將噴嘴配置線20配置為與希望之描繪線(直線)之方向一致。與第一實施形態同樣地,也可於工件台202或吐出裝置1設置旋轉機構,藉由旋 轉機構來動態地調整吐出口之方向。
圖9為自第1至第4吐出口(71~74)同時吐出之四個液塊著陸且於塗佈對象物上擴散之狀況之想像圖。自第1至第4吐出口(71~74)同時吐出之四個液滴(171~174),如圖9上段所示,著陸時為相互獨立之俯視圓形之液滴。如圖9中段所示,若著陸後經過了短暫時間,則四個液滴(171~174)分別擴散且開始結合。其中,二個輔助液滴173~174係發揮促進基本液滴171~172之結合之作用。最終,如圖9下段所示,四個圓完全結合而使得塗佈寬度之不勻消失,形成朝與噴嘴配置線20相同之方向延伸之直線狀之細長塗佈圖案。
再者,各吐出口之較佳設定為圓形,但於圓形以外之形狀中也可獲得本發明之功效。此外,於吐出口係由複數個大小之孔構成之情況下,較佳為至少最大之吐出口係以相同形狀且相同大小構成,更佳為,藉由相同形狀且相同大小之吐出口群之組合(參照圖8、圖10)構成複數個大小之孔之吐出口。
如上述,二個輔助液滴173~174係發揮促進基本液滴171~172之結合之作用。
《第四實施形態例》
第四實施形態例係於吐出裝置1之噴嘴構件5具有六個吐出口之點與第一至第三實施形態例不同,其他之構成與第一至第三實施形態例同樣。以下之說明中,對與第一至第三實施形態例共同之構成,省略說明,只對不同之構成進行說明。
如圖10所示,噴嘴構件5具有設於屬直線之噴嘴配 置線20上之同徑大圓形之第1吐出口81及第2吐出口82、與沿噴嘴配置線配置之同徑小圓形之第3吐出口83、第4吐出口84、第5吐出口85及第6吐出口86。第3吐出口83及第4吐出口84係隔著噴嘴配置線20對稱地配置,第5吐出口85及第6吐出口86係隔著噴嘴配置線20對稱地配置。換一種說法,第1至第6吐出口(81~86)係相對於噴嘴配置線20對稱地配置。再換一種說法,複數個吐出口包含複數個大圓形吐出口及複數個小圓形吐出口群,大圓形吐出口全部配置於噴嘴配置線20上,且小圓形吐出口群與大圓形吐出口交錯配置,小圓形吐出口群係由隔著噴嘴配置線20而對稱地配置之複數個小圓形吐出口構成。
第1吐出口81及第2吐出口82之直徑D1,例如為數十μm~數mm。第3吐出口83、第4吐出口84、第5吐出口85及第6吐出口86之直徑D2為直徑D1之1/2~1/10,例如為數μm~數百μm。
於第1吐出口81與第2吐出口82之最接近距離(第1吐出口81之右端與第2吐出口82之左端之距離)L1之中間地點且與噴嘴配置線20正交之直線上配置有第3吐出口83及第4吐出口84。於L1之中間地點上與噴嘴配置線20正交之直線與第1吐出口81及第2吐出口82之最接近距離L2(=L1×1/2)係設定為無論於何種情況下皆大於直徑D1,例如設定為D1之2~10倍。
與配置有第5吐出口85及第6吐出口86之噴嘴配置線20正交之直線與第2吐出口72之最接近距離L3係與L2相同。於將吐出裝置1搭載於塗佈裝置200時,將噴嘴配置線20配置為與希望之描繪線(直線)之方向一致。與第一實施形態同樣,也可於工件台202 或吐出裝置1設置旋轉機構,藉由旋轉機構來動態地調整吐出口之方向。
再者,於如本實施形態例那樣具有大型吐出口及小型吐出口之情況下,也可藉由以於包含自大型吐出口吐出之液體材料之吐出方向之平面上具有描繪線之方式配置各吐出口,而使噴嘴配置線20與描繪線之描繪方向一致。
同徑小圓形之第3至第6吐出口(83~86)係作為輔助吐出口而發揮作用,其用以供給使第1及第2吐出口(81、82)之結合部變得平滑之輔助液體材料。
圖11為自第1至第6吐出口(81~86)同時吐出之6個液塊著陸且於塗佈對象物上擴散之狀況之想像圖。自第1至第6吐出口(81~86)同時吐出之六個液滴(181~186),如圖11上段所示,著陸時為相互獨立之俯視圓形之液滴。如圖11中段所示,若著陸後經過了短暫時間,六個液滴(181~186)分別擴散且開始結合。最終,如圖11下段所示,六個圓完全結合而使得塗佈寬度之不勻消失,形成朝與噴嘴配置線20相同之方向延伸之直線狀之細長塗佈圖案。
如上述,四個輔助液滴183~186係發揮迅速消除基本液滴181~182之結合時所產生之寬度方向之凹陷之作用。再者,本實施形態中,各吐出口係設為圓形,但不限於圓形。
《第五實施形態例》
第五實施形態例中,吐出裝置1之噴嘴構件5之構成與第一至第四實施形態例不同,其他之構成與第一至第四實施形態例同樣。以下之說明中,對與第一至第四實施形態例共同之構成,省略說 明,只對不同之構成進行說明。
如圖12(a)所示,第五實施形態例之噴嘴構件5係由符號5a所示之上側構件及符號5b所示之下側構件所構成。上端具有鍔部58,且以該鍔部支撐於安裝構件4。下側構件5b係螺合於上側構件5a之下端或藉由螺絲等之固定件而可拆裝自如地固定。下側構件5b係可拆裝自如地安裝於上側構件5a,因此根據用途對吐出口之直徑及距離、或吐出口之噴出角度不同之複數個下側構件5b之交換也容易進行。較佳為可設置一定位機構,於將下側構件5b固定於上側構件5a時,用以將下側構件5b之方向相對於上側構件5a設定為固定。作為定位機構可使用公知之定位機構,例如,可列舉將下側構件5b或上側構件5a之一部分(例如,銷、凸部、缺口)嵌合於另一構件而進行定位之構成、或使用另外準備之構件(例如,銷、螺絲)進行定位之構成。
第1吐出口91經由直線狀之第1吐出流路93及大徑吐出流路95而與液室41連通。此外,第2吐出口92經由直線狀之第2吐出流路94及大徑吐出流路95而與液室41連通。第1吐出流路93及第2吐出流路94具有相同形狀,皆相對於噴嘴構件之中心軸59以相等角度傾斜。第1吐出流路93之中心軸與噴嘴構件之中心軸59所構成之角度A1、與第2吐出流路94之中心軸與噴嘴構件之中心軸59所構成之角度A2相等,例如設定為A1=A2<45度。
本實施形態例中,主要考慮將液體材料之吐出方向作為中心軸59之方向。
第五實施形態例中,藉由以Z驅動裝置205調節吐出 口與工件之距離h,可調節同時吐出之二個液塊之距離。圖12(b)為吐出口與工件之距離為ha之情況及hb之情況之液滴之距離(重疊程度)之想像圖。由同圖可知,若吐出口與工件之距離h靠近,則液滴間之距離變遠,若距離h遠離,則液滴間之距離變小。惟本實施形態例中,其重要之處也在於,將距離h設定為使同時吐出之複數個液滴於著陸前不接觸或不結合。
根據以上說明之第五實施形態例之塗佈裝置及塗佈方法,藉由調節吐出口與工件之距離h,可調節著陸之二個液滴之距離或重疊程度。藉此,可適宜地應對濕度或室溫等之氣氛環境之差異而引起之液滴之距離或重疊程度之差異。
吐出口之數量不限於例示之二個,也可為三個以上。於吐出口之數量為奇數個之情況下,不對位於中心之吐出口設置傾斜,而使位於距中心相同距離之成對之吐出口相對於噴嘴構件之中心軸以相等之角度傾斜。
再者,於將吐出口與工件之距離h設定為非常小之距離之情況下,也可將各吐出口之噴出角度設定於自噴嘴構件之中心軸分離之方向(放射狀),使液滴於工件上結合。
(產業上之可利用性)
本發明當然可應用於工業用潤滑脂、焊膏、銀膏、各種黏著劑(UV硬化型、環氧系、熱熔性系等)、焊劑,也可應用如溶劑(0.8cps左右)之低黏性材料乃至高黏性材料(1,00,000cps左右)之液體材料。
5‧‧‧噴嘴構件
151‧‧‧液滴
152‧‧‧液滴

Claims (23)

  1. 一種塗佈方法,其為使用塗佈裝置而在塗佈對象物上進行線狀塗佈描繪線之方法,其特徵在於,上述塗佈裝置係具備有:吐出裝置;工件台,其載置有塗佈對象物;驅動裝置,其使吐出裝置與工件台產生相對移動;及控制部,其對吐出裝置及驅動裝置之動作進行控制,上述吐出裝置係具備有:噴嘴,其具有吐出液體材料之複數個吐出口;液室,其經由複數條吐出流路而與上述複數個吐出口產生連通;及吐出構件,其與上述液室內之液體材料產生接觸,且藉由上述吐出構件而對上述液室內之液體材料施加慣性力且自上述複數個吐出口同時地吐出,並在塗佈對象物上形成複數個液滴;上述複數個吐出口係沿著直線之噴嘴配置線而配置在上述噴嘴;使上述噴嘴配置線與上述描繪線之描繪方向產生一致;且以被吐出之複數個液塊於著陸在塗佈對象物之前不產生接觸,且沿著上述噴嘴配置線所著陸之液體材料在塗佈對象物上產生結合之方式,自上述複數個吐出口吐出液體材料從而進行線狀塗佈。
  2. 如申請專利範圍第1項之塗佈方法,其中,上述控制部係一方面使上述吐出裝置與上述工件台以保持一定之速度Vc之方式相對移動在與噴嘴配置線所相同之方向,一方面以上述被吐出之複數個液 塊之至少一個為與之前剛被吐出之塗佈對象物上之液體材料產生結合而形成描繪線之方式而根據上述吐出裝置與上述工件台之相對移動速度而將吐出之時序當作為一定之間隔Tc從而進行線狀塗佈。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之塗佈方法,其中,藉由調節上述吐出構件之推進力,以上述被吐出之複數個液塊於著陸在塗佈對象物之前不產生接觸,且沿著上述噴嘴配置線所著陸之液體材料在塗佈對象物上產生結合之方式吐出液體材料。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之塗佈方法,其中,上述複數條吐出流路係以上述複數條吐出流路之各中心線與上述噴嘴之中心線產生相交之方式被配置為具有傾斜,且藉由調節吐出口與塗佈對象之距離h,而對液滴間之距離進行調節。
  5. 如申請專利範圍第1或2項之塗佈方法,其中,上述複數個吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上。
  6. 如申請專利範圍第1或2項之塗佈方法,其中,上述複數個吐出口係任一者皆為相同之形狀且被配置為等間距。
  7. 如申請專利範圍第1或2項之塗佈方法,其中,上述複數個吐出口係由偶數個吐出口所構成,且包含有二個大型吐出口及二個小型吐出口,吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上,並且上述小型吐出口及上述大型吐出口係沿著上述噴嘴配置線以交互之方式配置。
  8. 如申請專利範圍第1或2項之塗佈方法,其中,上述複數個吐出口係由偶數個吐出口所構成,且包含有二個大型吐出口及二個小 型吐出口群,上述大型吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上,上述小型吐出口群及上述大型吐出口係沿著上述噴嘴配置線以交互之方式配置,並且,上述小型吐出口群係由相對於上述噴嘴配置線而以對稱之方式所配置之複數個小型吐出口所構成。
  9. 如申請專利範圍第1或2項之塗佈方法,其中,上述吐出裝置或者上述工件台係具備有旋轉機構,並藉由上述旋轉機構使上述噴嘴配置線與上述描繪線之描繪方向產生一致。
  10. 如申請專利範圍第9項之塗佈方法,其中,上述線狀塗佈係根據包含有延伸在第一方向之直線狀的塗佈線、及延伸在與第一方向為不同之第二方向之直線狀的塗佈線之塗佈圖案而進行。
  11. 如申請專利範圍第1或2項之塗佈方法,其中,上述噴嘴係相對於上述吐出裝置而以拆裝自如之方式被加以固定,上述吐出裝置係具有作為可安裝上述噴嘴的定位機構,以使上述噴嘴配置線之方向相對於上述吐出裝置而成為固定。
  12. 一種塗佈裝置,其具備有吐出裝置、載置有塗佈對象物之工件台、使吐出裝置與工件台產生相對移動之驅動裝置、及對吐出裝置及驅動裝置之動作進行控制之控制部,其特徵在於,上述吐出裝置係具備有:噴嘴,其具有吐出液體材料之複數個吐出口;液室,其經由複數條吐出流路而與上述複數個吐出口產生連通;及吐出構件,其與上述液室內之液體材料產生接觸,且 藉由上述吐出構件而對上述液室內之液體材料施加慣性力且自上述複數個吐出口同時地吐出,並在塗佈對象物上可形成複數個液滴,上述複數個吐出口係沿著直線之噴嘴配置線而配置在上述噴嘴,上述控制部係在使上述噴嘴配置線與描繪線之描繪方向產生一致之狀態下,以被吐出之複數個液塊於著陸在塗佈對象物之前不產生接觸,且沿著上述噴嘴配置線所著陸之液體材料在塗佈對象物上產生結合之方式,自上述複數個吐出口吐出液體材料從而進行線狀塗佈。
  13. 如申請專利範圍第12項之塗佈裝置,其中,上述控制部係一方面使上述吐出裝置與上述工件台以保持一定之速度Vc之方式相對移動在與噴嘴配置線所相同之方向,一方面以上述被吐出之複數個液塊之至少一個為與之前剛被吐出之塗佈對象物上之液體材料產生結合而形成描繪線之方式而根據上述吐出裝置與上述工件台之相對移動速度而將吐出之時序當作為一定之間隔Tc從而進行線狀塗佈。
  14. 如申請專利範圍第12或13項之塗佈裝置,其中,上述控制部藉由調節上述吐出構件之推進力,以上述被吐出之複數個液塊於著陸在塗佈對象物之前不產生接觸,且沿著上述噴嘴配置線所著陸之液體材料在塗佈對象物上產生結合之方式吐出液體材料。
  15. 如申請專利範圍第12或13項之塗佈裝置,其中,上述複數條吐出流路係以上述複數條吐出流路之各中心線與上述噴嘴之中心線產生相交之方式被配置為具有傾斜。
  16. 如申請專利範圍第12或13項之塗佈裝置,其中,上述複數 個吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上。
  17. 如申請專利範圍第12或13項之塗佈裝置,其中,上述複數個吐出口係任一者皆為相同之形狀且被配置為等間距。
  18. 如申請專利範圍第12或13項之塗佈裝置,其中,上述複數個吐出口係由偶數個吐出口所構成,且包含有二個大型吐出口及二個小型吐出口,吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上,並且上述小型吐出口及上述大型吐出口係沿著上述噴嘴配置線以交互之方式配置。
  19. 如申請專利範圍第12或13項之塗佈裝置,其中,上述複數個吐出口係由偶數個吐出口所構成,且包含有二個大型吐出口及二個小型吐出口群,上述大型吐出口之任一者皆係配置在上述噴嘴配置線上,上述小型吐出口群及上述大型吐出口係沿著上述噴嘴配置線以交互之方式配置,並且,上述小型吐出口群係由相對於上述噴嘴配置線而以對稱之方式所配置之複數個小型吐出口所構成。
  20. 如申請專利範圍第12或13項之塗佈裝置,其中,上述吐出裝置或者上述工件台係具備有旋轉機構,上述控制部係藉由上述旋轉機構使上述噴嘴配置線與上述描繪線之描繪方向產生一致。
  21. 如申請專利範圍第12或13項之塗佈裝置,其中,上述驅動裝置係包含有使上述吐出裝置及上述工件台以相對之方式可進行直線移動之單軸驅動機構,上述噴嘴配置線係被配置為與上述單軸驅動機構之驅動方向產 生一致。
  22. 如申請專利範圍第12或13項之塗佈裝置,其中,上述噴嘴係相對於上述吐出裝置而以拆裝自如之方式被加以固定,上述吐出裝置係具有作為可安裝上述噴嘴的定位機構,以使上述噴嘴配置線之方向相對於上述吐出裝置而成為固定。
  23. 如申請專利範圍第12或13項之塗佈裝置,其中,上述吐出裝置係具備有:柱塞,其相對於上述液室為較小直徑,且前端部在液室內進行進退移動;柱塞往返移動裝置,其使上述柱塞進行進退移動;及送液裝置,其將液體材料供給至上述液室內;在上述柱塞之前端部之側面與上述液室之內側壁產生非接觸之狀態下,藉由使柱塞進行進出移動及進出停止,而對液體材料施加慣性力,且自上述複數個吐出口同時地吐出。
TW104107543A 2014-03-10 2015-03-10 塗佈裝置及塗佈方法 TWI692379B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-046978 2014-03-10
JP2014046978 2014-03-10

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201544186A true TW201544186A (zh) 2015-12-01
TWI692379B TWI692379B (zh) 2020-05-01

Family

ID=54071716

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109110844A TWI739365B (zh) 2014-03-10 2015-03-10 塗佈裝置及塗佈方法
TW104107543A TWI692379B (zh) 2014-03-10 2015-03-10 塗佈裝置及塗佈方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109110844A TWI739365B (zh) 2014-03-10 2015-03-10 塗佈裝置及塗佈方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10449565B2 (zh)
EP (1) EP3117909A4 (zh)
JP (1) JP6538649B2 (zh)
KR (1) KR102314565B1 (zh)
CN (1) CN106102933B (zh)
TW (2) TWI739365B (zh)
WO (1) WO2015137271A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI751925B (zh) * 2021-03-04 2022-01-01 大陸商業成科技(成都)有限公司 水膠塗布方法及其多點壓電式噴塗裝置
TWI790660B (zh) * 2021-06-18 2023-01-21 大陸商業成科技(成都)有限公司 免框膠式膠合結構之製作方法

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110000050A (zh) * 2013-12-06 2019-07-12 武藏工业株式会社 液体材料涂布装置
JP6452147B2 (ja) * 2015-01-19 2019-01-16 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出装置
CN105710003B (zh) * 2016-01-22 2018-09-11 京东方科技集团股份有限公司 一种物料涂布设备及其控制方法
JP6778426B2 (ja) * 2016-09-20 2020-11-04 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出装置
EP3524362A4 (en) 2016-10-07 2020-06-17 Musashi Engineering, Inc. DEVICE FOR DELIVERING A LIQUID MATERIAL HAVING A TEMPERATURE REGULATING DEVICE, DEVICE FOR ITS APPLICATION AND METHOD OF APPLICATION
JP2018192551A (ja) * 2017-05-16 2018-12-06 セイコーエプソン株式会社 制御装置、ロボットおよびロボットシステム
US11958072B2 (en) 2017-05-31 2024-04-16 Musashi Engineering, Inc. Liquid material application method and device for implementing said method
WO2019031358A1 (ja) * 2017-08-09 2019-02-14 株式会社資生堂 吐出容器、該吐出容器を有するカスタマイズ吐出システム、該吐出容器における吐出制御方法
JP7007394B2 (ja) * 2017-10-03 2022-01-24 堺ディスプレイプロダクト株式会社 ノズルアダプタ、ノズルアダプタセット、塗布装置および塗布システム
EP3705190B1 (en) 2017-11-02 2023-07-26 Musashi Engineering, Inc. Liquid material application device and application method
CN107774517A (zh) * 2017-11-29 2018-03-09 苏州特瑞特机器人有限公司 桌面型点胶机器人
EP3534416B1 (en) 2018-02-28 2022-06-22 Nichia Corporation Method of manufacturing light emitting device and light emitting device
CN111936239A (zh) * 2018-03-20 2020-11-13 武藏工业株式会社 液体材料吐出装置
CN108906548B (zh) * 2018-07-06 2021-08-24 Tcl华星光电技术有限公司 一种图形化膜层的制备方法、涂布装置
WO2020068381A1 (en) * 2018-09-24 2020-04-02 Nordson Corporation Nozzle and applicator system for fabric bonding
CN109395969A (zh) * 2018-11-26 2019-03-01 深圳市锐德精密科技有限公司 机械式喷射阀
WO2021003239A1 (en) * 2019-07-03 2021-01-07 Nordson Corporation Fluid dispenser with four degrees of freedom
CN111318420B (zh) * 2020-03-02 2021-05-25 紫光日东科技(深圳)有限公司 一种基于位置控制的喷射点胶方法
US20230095269A1 (en) 2020-03-11 2023-03-30 Musashi Engineering, Inc. Planar liquid film forming method and planar liquid film forming apparatus
CN114226164A (zh) * 2021-12-18 2022-03-25 惠州市信宇人科技有限公司 电极材料的涂布方法、精密程控式涂布供料的呑吐阀及其涂布头

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5747102A (en) 1995-11-16 1998-05-05 Nordson Corporation Method and apparatus for dispensing small amounts of liquid material
US6267266B1 (en) 1995-11-16 2001-07-31 Nordson Corporation Non-contact liquid material dispenser having a bellows valve assembly and method for ejecting liquid material onto a substrate
US6253957B1 (en) 1995-11-16 2001-07-03 Nordson Corporation Method and apparatus for dispensing small amounts of liquid material
JP4003273B2 (ja) 1998-01-19 2007-11-07 セイコーエプソン株式会社 パターン形成方法および基板製造装置
US20030121836A1 (en) 1998-05-01 2003-07-03 Lilie Glenn T. Solids raised screens
US6484885B1 (en) 1998-05-01 2002-11-26 Cpi Sales & Mfg., Inc. Solids raised screens
JP2004004803A (ja) * 2000-11-21 2004-01-08 Seiko Epson Corp 材料の吐出方法、及び吐出装置、カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、el装置の製造方法及び製造装置、並びに電子機器
JP2002221616A (ja) 2000-11-21 2002-08-09 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、el装置の製造方法及び製造装置、インクジェットヘッドの制御装置、材料の吐出方法及び材料の吐出装置、並びに電子機器
JP2003084125A (ja) * 2001-07-04 2003-03-19 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶表示装置の製造方法及び製造装置、el発光層配設基板の製造方法及び製造装置、el発光装置の製造方法及び製造装置、成膜方法及び成膜装置、電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器
AU2002337793A1 (en) * 2001-10-02 2003-05-12 Northwestern University Protein and peptide nanoarrays
TWI231774B (en) 2001-10-17 2005-05-01 Musashi Engineering Inc Delivering method and apparatus of liquid material
JP4225461B2 (ja) 2001-10-17 2009-02-18 武蔵エンジニアリング株式会社 液材の吐出方法およびその装置
EP1467868A4 (en) * 2002-01-02 2009-04-01 Jemtex Ink Jet Printing Ltd INK JET DEVICE
JP2003241208A (ja) * 2002-02-19 2003-08-27 Shibaura Mechatronics Corp 液晶滴下装置及び方法並びに液晶表示パネル製造装置
US7188919B2 (en) * 2002-07-08 2007-03-13 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge method and apparatus using individually controllable nozzles
WO2005009627A2 (en) 2003-07-14 2005-02-03 Nordson Corporation Apparatus and method for dispensing discrete amounts of viscous material
JP3891164B2 (ja) * 2003-10-15 2007-03-14 セイコーエプソン株式会社 吐出装置
JP4647229B2 (ja) 2004-04-06 2011-03-09 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料の吐出装置
US20070145164A1 (en) * 2005-12-22 2007-06-28 Nordson Corporation Jetting dispenser with multiple jetting nozzle outlets
JP2008055840A (ja) * 2006-09-01 2008-03-13 Canon Inc 一定方向へのみへプリントするシリアル型インクジェットプリンタ、もしくは、微小液滴配置装置
JP4356740B2 (ja) * 2006-11-29 2009-11-04 セイコーエプソン株式会社 配線パターン形成方法、デバイスおよび電子機器
KR101499597B1 (ko) * 2007-03-08 2015-03-06 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 액적 토출 장치 및 방법
TWI610824B (zh) * 2007-05-18 2018-01-11 Musashi Engineering Inc 液體材料之吐出方法及裝置
JP2009178627A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Seiko Epson Corp 薄膜形成方法、カラーフィルタの製造方法
JP5250539B2 (ja) * 2009-02-27 2013-07-31 富士フイルム株式会社 線描画方法
JP5638768B2 (ja) 2009-04-24 2014-12-10 武蔵エンジニアリング株式会社 ノズル回転機構およびそれを備える塗布装置
JP5460172B2 (ja) * 2009-08-11 2014-04-02 富士フイルム株式会社 線描画装置及び線描画方法
JP5599205B2 (ja) * 2010-03-17 2014-10-01 富士フイルム株式会社 インプリントシステム
US8753713B2 (en) * 2010-06-05 2014-06-17 Nordson Corporation Jetting dispenser and method of jetting highly cohesive adhesives
JP5685467B2 (ja) * 2010-09-16 2015-03-18 富士フイルム株式会社 パターン形成方法及びパターン形成装置
JP5779353B2 (ja) * 2011-01-19 2015-09-16 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料の塗布方法、塗布装置およびプログラム
TWI573629B (zh) * 2011-03-01 2017-03-11 斯克林集團公司 基板處理裝置及基板處理方法
JP5806868B2 (ja) * 2011-07-11 2015-11-10 武蔵エンジニアリング株式会社 液滴吐出装置および方法
JP6043556B2 (ja) * 2012-03-23 2016-12-14 理想科学工業株式会社 インクジェット印刷装置
JP2014037115A (ja) * 2012-08-20 2014-02-27 Riso Kagaku Corp インクジェット印刷装置
US9061531B2 (en) * 2013-11-15 2015-06-23 Memjet Technology Ltd. Modular printer having narrow print zone

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI751925B (zh) * 2021-03-04 2022-01-01 大陸商業成科技(成都)有限公司 水膠塗布方法及其多點壓電式噴塗裝置
TWI790660B (zh) * 2021-06-18 2023-01-21 大陸商業成科技(成都)有限公司 免框膠式膠合結構之製作方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3117909A4 (en) 2017-10-25
KR102314565B1 (ko) 2021-10-18
EP3117909A1 (en) 2017-01-18
JPWO2015137271A1 (ja) 2017-04-06
JP6538649B2 (ja) 2019-07-03
TW202031363A (zh) 2020-09-01
WO2015137271A1 (ja) 2015-09-17
CN106102933B (zh) 2021-03-12
TWI739365B (zh) 2021-09-11
KR20160132381A (ko) 2016-11-18
CN106102933A (zh) 2016-11-09
TWI692379B (zh) 2020-05-01
US20170066005A1 (en) 2017-03-09
US10449565B2 (en) 2019-10-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI692379B (zh) 塗佈裝置及塗佈方法
JP7098169B2 (ja) 液体材料塗布装置および塗布方法
JP7100373B2 (ja) 液体材料塗布方法および当該方法を実施するための装置
TWI606764B (zh) 材料沉積系統以及用於將材料沉積於基板上的方法
KR20060082839A (ko) 재료 분배 방법
JP5759058B1 (ja) 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ
JP7291117B2 (ja) エネルギ出力装置を伴う噴射装置およびその制御方法
JP7137614B2 (ja) 音響トランスジューサを伴う噴射装置およびその制御方法
TWI708348B (zh) 焊料凸塊形成裝置及流體吐出方法
TWI717320B (zh) 塗佈裝置及使用該裝置之滴下方法
US11858262B2 (en) Fluid ejector
WO2021182146A1 (ja) 面状液膜形成方法および面状液膜形成装置
TWI807095B (zh) 用於織物接合之噴嘴及施加器系統與接合織物的方法
JP6528476B2 (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP2023077156A (ja) 液体吐出装置および液体吐出方法