JP5759058B1 - 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 260
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 323
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 16
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 10
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 10
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
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- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Description
ドを用いることも可能であるが、これらは粘性の高い液体を吐出あるいは滴下することが困難である。例えば、UV硬化樹脂等の高粘度樹脂液材、Agペースト等の高粘度金属ペーストを、ナノリットルオーダーあるいはピコリットルオーダーで吐出、滴下することが困難である。
ノズルの流体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量流体を流出させる微量流体流出方法(以下、「本発明の第1方法」と呼ぶ。)は、
流体送出機構から、流体を一定の第1流量で連続して送り出し、送り出された流体を、流体供給路を介して、前記ノズルに向けて流し、
前記流体送出機構から、前記流体供給路を経由して、前記ノズルの前記流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出し、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体通路から外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整して、一定の第2流量で連続して排出される前記流体分岐流を形成して、
前記ノズルの前記流体流出口から前記微量流体を一定の第3流量で連続して流出させ、
前記ノズルのノズル内通路の途中に流体分岐路を接続して前記流体分岐流を形成し、
前記流体分岐流に配置した流量調整弁によって、前記流体分岐流の流量を調整することを特徴としている。
ノズルの流体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量流体を流出させる微量流体流出方法(以下、「本発明の第2方法」と呼ぶ。)は、
流体送出機構から流体を一定の第1流量で断続して送り出し、送り出された流体を、流体供給路を介して、前記ノズルに向けて流し、
前記流体送出機構から、前記流体供給路を経由して、前記ノズルの前記流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出し、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体通路から外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整して、前記液体送出機構から断続して送り出される流体の断続送出に同期して、一定の第2流量で断続して排出される前記流体分岐流を形成して、
前記ノズルの前記流体流出口から、前記断続送出に同期して、一定の第3流量で断続して前記微量流体を流出させることを特徴としている。
た前記微量流体の断続流を微小で一定の第3流量で流出させることができる。これにより、流体塗布対象の媒体表面に、微小径のドットを連続して形成することができる。
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに流体を供給する流体供給管と、
所定の加圧状態の流体を、前記流体供給管を介して前記ノズルに向けて供給する流体供給機構と、
前記流体送出機構から、前記流体供給管を経由して、前記ノズルの流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出する流体分岐路と、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体分岐路を介して外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整する調整機構と、
を有していることを特徴としている。
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに流体を供給する流体供給管と、
所定の加圧状態の流体を、前記流体供給管を介して前記ノズルに向けて供給する流体供給機構と、
前記流体供給機構から、前記流体供給管を経由して、前記ノズルの流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出する流体分岐路と、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体分岐路を介して外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整する調整機構と、
を有しており、
前記流体分岐路は、前記ノズルのノズル内通路の途中に接続した流体分岐管であり、
前記調整機構は、前記流体分岐管に配置した流量調整弁であることを特徴としている。
図1は、本発明を適用した実施の形態1に係る液体ディスペンサの全体構成図である。液体ディスペンサ1は、液体ディスペンサ用微小径ノズル2(以下、単に「ノズル2」と呼ぶ場合もある。)と、このノズル2を3軸方向に移動させる移動機構3と、ノズル2に対向配置されたワークステージ4とを備えている。液体送出機構5から、液体供給管6を介して、ノズル2に液体が供給される。
されている。液体排出口22はノズル口21よりも大径の開口部としてある。
4の側を移動させて液体の塗布を行うことも勿論可能である。
図5は、本発明を適用した実施の形態2に係る液体ディスペンサの液体通路の部分を示す説明図である。実施の形態2の液体ディスペンサ100の全体構成は、図1の液体ディスペンサ1と同様であるので、それらの説明を省略する。液体ディスペンサ100は、液体ディスペンサ1とは、液体分岐路が、液体送出機構から送出された液体をノズルに供給する液体供給路の途中に形成されている点で相違している。
かに傾斜した方向に延びている。
図6(a)は、参考例に係る液体ディスペンサの液体通路の部分を示す説明図である。本例の液体ディスペンサ200の全体構成は、図1の液体ディスペンサ1と同様であるので、それらの説明は省略する。液体ディスペンサ200は、液体ディスペンサ1とは、液体分岐路が、液体送出機構の容積形ポンプ内に組み込まれている点で相違している。
る。液体分岐路209を介して排出される液体は液体回収部211に回収可能である。
分岐路303を介して排出される液体排出量をΔV2とすると、液体排出量ΔV2を液体吐出量ΔV1に比べて多くなるように設定すれば、微量の液体を供給できる。
上記の実施の形態は、液体を塗布する場合の例である。液体として、半田ペースト、フィラー入り樹脂、スラリー等の液体を用いることができる。特に、本発明は、粘性の高い液体を流出させるために適している。
3 ノズル移動機構、4 ワークステージ、5 液体送出機構、6 液体供給管、
7 液体貯留タンク、8 容積形ポンプ、9 液体分岐管、10 調整機構、
10a 流量調整弁、11 液体回収部、12 コントローラー、13 液体、
13a 液体軸流、13b 液体分岐流、20 ノズル本体、21 ノズル口、
22 液体排出口、23 ノズル内通路、23a 先端通路部分、23b 後端、
23c テーパー状通路部分、23d 後端、23e 後側通路部分、
100 液体ディスペンサ、106 液体供給路、106a 上流側液体供給路、
106b 下流側液体供給路、109 液体分岐路、110 調整機構、
110a ニードル弁、113 液体、113a 液体、113b 液体分岐流、
120 ノズル、121 ノズル口、122 液体排出口、123 ノズル内通路、
200 液体ディスペンサ、202 ノズル、205 液体送出機構、
206 液体供給管、207 液体貯留タンク、208 容積形ポンプ、
209 液体分岐路、210 調整機構、211 液体回収部、
215 ポンプハウジング、216 偏心ねじ、217 雌ねじ部、
218 キャビティ、219 吸入口、220 モータ、221 吐出口、
222 液体排出口、223 ノズル内通路、224 ノズル口、
300 プランジャポンプ、301 シリンダ、302 プランジャ、
303 液体分岐路
Claims (7)
- ノズルの流体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量流体を流出させる微量流体流出方法であって、
流体送出機構から、流体を一定の第1流量で連続して送り出し、送り出された流体を、流体供給路を介して、前記ノズルに向けて流し、
前記流体送出機構から、前記流体供給路を経由して、前記ノズルの前記流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出し、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体通路から外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整して、一定の第2流量で連続して排出される前記流体分岐流を形成して、
前記ノズルの前記流体流出口から前記微量流体を一定の第3流量で連続して流出させ、
前記ノズルのノズル内通路の途中に流体分岐路を接続して前記流体分岐流を形成し、
前記流体分岐流に配置した流量調整弁によって、前記流体分岐流の流量を調整することを特徴とする微量流体流出方法。 - ノズルの流体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量流体を流出させる微量流体流出方法であって、
流体送出機構から流体を一定の第1流量で断続して送り出し、送り出された流体を、流体供給路を介して、前記ノズルに向けて流し、
前記流体送出機構から、前記流体供給路を経由して、前記ノズルの前記流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出し、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体通路から外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整して、前記流体送出機構から断続して送り出される流体の断続送出に同期して、一定の第2流量で断続して排出される前記流体分岐流を形成して、
前記ノズルの前記流体流出口から、前記断続送出に同期して、一定の第3流量で断続して前記微量流体を流出させることを特徴とする微量流体流出方法。 - 前記流体供給路の途中に流体分岐路を接続して前記流体分岐流を形成し、
前記流体分岐路に配置した流量調整弁によって、前記流体分岐流の流量を調整する請求項2に記載の微量流体流出方法。 - 前記ノズルのノズル内通路の途中に流体分岐路を接続して前記流体分岐流を形成し、
前記流体分岐流に配置した流量調整弁によって、前記流体分岐流の流量を調整する請求項2に記載の微量流体流出方法。 - 請求項2に記載の微量流体流出方法により、微量流体を流出する微量流体ディスペンサであって、
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに流体を供給する流体供給管と、
所定の加圧状態の流体を、前記流体供給管を介して前記ノズルに向けて供給する流体供給機構と、
前記流体供給機構から、前記流体供給管を経由して、前記ノズルの流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出する流体分岐路と、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体分岐路を介して外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整する調整機構と、
を有していることを特徴とする微量流体ディスペンサ。 - 前記流体分岐路は、前記流体供給管の途中に接続した流体分岐管、または、前記ノズルのノズル内通路の途中に接続した流体分岐管であり、
前記調整機構は、前記流体分岐管に配置した流量調整弁である請求項5に記載の微量流体ディスペンサ。 - 請求項1に記載の微量流体流出方法により、微量流体を流出する微量流体ディスペンサであって、
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに流体を供給する流体供給管と、
所定の加圧状態の流体を、前記流体供給管を介して前記ノズルに向けて供給する流体供給機構と、
前記流体供給機構から、前記流体供給管を経由して、前記ノズルの流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出する流体分岐路
と、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体分岐路を介して外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整する調整機構と、
を有しており、
前記流体分岐路は、前記ノズルのノズル内通路の途中に接続した流体分岐管であり、
前記調整機構は、前記流体分岐管に配置した流量調整弁であることを特徴とする微量流体ディスペンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014260709A JP5759058B1 (ja) | 2014-03-11 | 2014-12-24 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014047886 | 2014-03-11 | ||
JP2014047886 | 2014-03-11 | ||
JP2014156397 | 2014-07-31 | ||
JP2014156397 | 2014-07-31 | ||
JP2014260709A JP5759058B1 (ja) | 2014-03-11 | 2014-12-24 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015084350A Division JP5856332B1 (ja) | 2014-03-11 | 2015-04-16 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5759058B1 true JP5759058B1 (ja) | 2015-08-05 |
JP2016032803A JP2016032803A (ja) | 2016-03-10 |
Family
ID=53887582
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014260709A Active JP5759058B1 (ja) | 2014-03-11 | 2014-12-24 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
JP2015084350A Active JP5856332B1 (ja) | 2014-03-11 | 2015-04-16 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015084350A Active JP5856332B1 (ja) | 2014-03-11 | 2015-04-16 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5759058B1 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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-
2014
- 2014-12-24 JP JP2014260709A patent/JP5759058B1/ja active Active
-
2015
- 2015-04-16 JP JP2015084350A patent/JP5856332B1/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016032805A (ja) | 2016-03-10 |
JP2016032803A (ja) | 2016-03-10 |
JP5856332B1 (ja) | 2016-02-09 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150602 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150604 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5759058 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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