JP5856335B1 - 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ - Google Patents
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Abstract
Description
から吐出あるいは流出し、その後はノズル内の液体圧力が一時的に下がるので、液体の吐出あるいは流出が不安定になる。これが繰り返されてしまい、連続して一定の微細幅で線画等を描くことができない。また、ノズルに対する塗れ上がりにより塗布量が不安定になってしまう。
容積形ポンプの吐出口から送り出される液体を前記ノズルに供給する液体供給路を形成し、
前記容積形ポンプのポンプ室内において前記吐出口に向けて送り出される前記液体の一部を、前記吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路を形成し、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で連続して液体を送り出す動作を行わせることによって、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で連続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で送り出される液体送出流を形成して、
前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で連続して流出させることを特徴としている。
容積形ポンプの吐出口から送り出される液体を前記ノズルに供給する液体供給路を形成し、
前記容積形ポンプのポンプ室内において前記吐出口に向けて送り出される前記液体の一部を、前記吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路を形成し、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で断続して液体を送り出す動作を行わせることによって、断続して送り出される液体の断続送出に同期して、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で断続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で断続して送り出される液体送出流を形成して、
前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で断続して流出させることを特徴としている。
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに液体を供給する液体供給路と、
所定の加圧状態の液体を、ポンプ室から吐出口を介して前記液体供給路に供給する容積形ポンプと、
前記容積形ポンプの内部に形成され、前記ポンプ室内において前記吐出口に向かう前記液体の一部を当該吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路と、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で連続して液体を送り出す動作を行わせることによって、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で連続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で送り出される液体送出流を形成して、前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で連続して流出させる動作制御を行う制御部と
を有していることを特徴としている。
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに液体を供給する液体供給路と、
所定の加圧状態の液体を、ポンプ室から吐出口を介して前記液体供給路に供給する容積形ポンプと、
前記容積形ポンプの内部に形成され、前記ポンプ室内において前記吐出口に向かう前記液体の一部を当該吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路と、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で断続して液体を送り出す動作を行わせることによって、断続して送り出される液体の断続送出に同期して、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で断続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で断続して送り出される液体送出流を形成して、前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で断続して流出させる動作制御を行う制御部と
を有していることを特徴としている。
貯留タンク5の液体6を液体供給路7に送り出す容積形ポンプ8を備えている。
けられる。ポンプ内分岐路部分11、ポンプ外分岐路部分12から構成される液体分岐路10を介して排出される液体は液体回収部14に回収可能である。
とする。この場合には、定量吐出容量が1000ナノリットルの容積形ポンプ8を駆動して、その1/10の100ナノリットルの定量吐出を行うことのできるポンプが実質的に得られる。この結果、微小径のノズル2から一定の微小量(第3流量)の液体を精度良く、連続して、あるいは断続的に、流出させることが可能になる。
プランジャ、32a ヘッド部分、23b 中心シャフト部分、33 液体分岐路、33A 液体分岐路、33B 液体分岐路、35 ポンプ室、36 ポンプ外分岐路部分、37 流量調整弁
Claims (4)
- 液体塗布対象の媒体表面に対して所定のギャップを開けて上側から対峙させたノズルの液体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量液体を流出させる微量液体流出方法であって、
容積形ポンプの吐出口から送り出される液体を前記ノズルに供給する液体供給路を形成し、
前記容積形ポンプのポンプ室内において前記吐出口に向けて送り出される前記液体の一部を、前記吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路を形成し、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で連続して液体を送り出す動作を行わせることによって、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で連続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で送り出される液体送出流を形成して、
前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で連続して流出させ、
前記液体分岐路は前記ポンプ室の内周面に開口している流路部分を備え、
前記液体分岐路に配置した流量調整弁によって、前記液体分岐路の前記第2流量を調整することを特徴とする微量液体流出方法。 - 液体塗布対象の媒体表面に対して所定のギャップを開けて上側から対峙させたノズルの液体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量液体を流出させる微量液体流出方法であって、
容積形ポンプの吐出口から送り出される液体を前記ノズルに供給する液体供給路を形成し、
前記容積形ポンプのポンプ室内において前記吐出口に向けて送り出される前記液体の一部を、前記吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路を形成し、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で断続して液体を送り出す動作を行わせることによって、断続して送り出される液体の断続送出に同期して、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で断続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で断続して送り出される液体送出流を形成して、
前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で断続して流出させ、
前記液体分岐路は前記ポンプ室の内周面に開口している流路部分を備え、
前記液体分岐路に配置した流量調整弁によって、前記液体分岐流の前記第2流量を調整することを特徴とする微量液体流出方法。 - 液体塗布対象の媒体表面に対して所定のギャップを開けて上側から対峙させたノズルの液体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量液体を流出させる微量液体ディスペンサであって、
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに液体を供給する液体供給路と、
所定の加圧状態の液体を、ポンプ室から吐出口を介して前記液体供給路に供給する容積形ポンプと、
前記容積形ポンプの内部に形成され、前記ポンプ室内において前記吐出口に向かう前記液体の一部を当該吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路と、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で連続して液体を送り出す動作を行わせることによって、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で連続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で送り出される液体送出流を形成して、前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で連続して流出させる動作制御を行う制御部と
を有しており、
前記液体分岐路は前記ポンプ室の内周面に開口している分岐路部分を備え、
前記液体分岐路には、前記液体分岐流の前記第2流量を調整する流量調整弁が配置されていることを特徴とする微量液体ディスペンサ。 - 液体塗布対象の媒体表面に対して所定のギャップを開けて上側から対峙させたノズルの液体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量液体を流出させる微量液体ディスペンサであって、
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに液体を供給する液体供給路と、
所定の加圧状態の液体を、ポンプ室から吐出口を介して前記液体供給路に供給する容積形ポンプと、
前記容積形ポンプの内部に形成され、前記ポンプ室内において前記吐出口に向かう前記液体の一部を当該吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路と、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で断続して液体を送り出す動作を行わせることによって、断続して送り出される液体の断続送出に同期して、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で断続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で断続して送り出される液体送出流を形成して、前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で断続して流出させる動作制御を行う制御部と
を有しており、
前記液体分岐路は前記ポンプ室の内周面に開口している分岐路部分を備え、
前記液体分岐路には、前記液体分岐流の前記第2流量を調整する流量調整弁が配置されていることを特徴とする微量液体ディスペンサ。
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