JP2016034638A - 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 393
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 63
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 claims description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Description
容積形ポンプの吐出口から送り出される液体を前記ノズルに供給する液体供給路を形成し、
前記容積形ポンプのポンプ室内において前記吐出口に向けて送り出される前記液体の一部を、前記吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路を形成し、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で連続して液体を送り出す動作を行わせることによって、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で連続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で送り出される液体送出流を形成して、
前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で連続して流出させることを特徴としている。
容積形ポンプの吐出口から送り出される液体を前記ノズルに供給する液体供給路を形成し、
前記容積形ポンプのポンプ室内において前記吐出口に向けて送り出される前記液体の一部を、前記吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路を形成し、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で断続して液体を送り出す動作を行わせることによって、断続して送り出される液体の断続送出に同期して、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で断続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で断続して送り出される液体送出流を形成して、
前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で断続して流出させることを特徴としている。
前記ポンプ室の内周面に開口している流路部分、
前記ポンプ室の前記内周面に沿って摺動して液体の送り出し動作を行う摺動部材に形成した流路部分、および、
前記ポンプ室の前記内周面と前記摺動部材の間に形成した流路部分
のうちのいずれか一つを備えた構成とすることができる。
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに液体を供給する液体供給路と、
所定の加圧状態の液体を、ポンプ室から吐出口を介して前記液体供給路に供給する容積形ポンプと、
前記容積形ポンプの内部に形成され、前記ポンプ室内において前記吐出口に向かう前記液体の一部を当該吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路と、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で連続して液体を送り出す動作を行わせることによって、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で連続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で送り出される液体送出流を形成して、前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で連続して流出させる動作制御を行う制御部と
を有していることを特徴としている。
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに液体を供給する液体供給路と、
所定の加圧状態の液体を、ポンプ室から吐出口を介して前記液体供給路に供給する容積形ポンプと、
前記容積形ポンプの内部に形成され、前記ポンプ室内において前記吐出口に向かう前記液体の一部を当該吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路と、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で断続して液体を送り出す動作を行わせることによって、断続して送り出される液体の断続送出に同期して、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で断続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で断続して送り出される液体送出流を形成して、前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で断続して流出させる動作制御を行う制御部と
を有していることを特徴としている。
前記ポンプ室の内周面に開口している分岐路部分、
前記ポンプ室の前記内周面に沿って摺動して液体の送り出し動作を行う摺動部材に形成した分岐路部分、および、
前記ポンプ室の前記内周面と前記摺動部材の間に形成した分岐路部分
のうちのいずれか一つを備えていればよい。
Claims (6)
- 液体塗布対象の媒体表面に対して所定のギャップを開けて上側から対峙させたノズルの液体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量液体を流出させる微量液体流出方法であって、
容積形ポンプの吐出口から送り出される液体を前記ノズルに供給する液体供給路を形成し、
前記容積形ポンプのポンプ室内において前記吐出口に向けて送り出される前記液体の一部を、前記吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路を形成し、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で連続して液体を送り出す動作を行わせることによって、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で連続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で送り出される液体送出流を形成して、
前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で連続して流出させることを特徴とする微量液体流出方法。 - 液体塗布対象の媒体表面に対して所定のギャップを開けて上側から対峙させたノズルの液体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量液体を流出させる微量液体流出方法であって、
容積形ポンプの吐出口から送り出される液体を前記ノズルに供給する液体供給路を形成し、
前記容積形ポンプのポンプ室内において前記吐出口に向けて送り出される前記液体の一部を、前記吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路を形成し、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で断続して液体を送り出す動作を行わせることによって、断続して送り出される液体の断続送出に同期して、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で断続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で断続して送り出される液体送出流を形成して、
前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で断続して流出させることを特徴とする微量液体流出方法。 - 前記液体分岐路は、
前記ポンプ室の内周面に開口している流路部分、
前記ポンプ室の前記内周面に沿って摺動して液体の送り出し動作を行う摺動部材に形成した流路部分、および、
前記ポンプ室の前記内周面と前記摺動部材の間に形成した流路部分
のうちのいずれか一つを備えている請求項1または2に記載の微量液体流出方法。 - 液体塗布対象の媒体表面に対して所定のギャップを開けて上側から対峙させたノズルの液体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量液体を流出させる微量液体ディスペンサであって、
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに液体を供給する液体供給路と、
所定の加圧状態の液体を、ポンプ室から吐出口を介して前記液体供給路に供給する容積形ポンプと、
前記容積形ポンプの内部に形成され、前記ポンプ室内において前記吐出口に向かう前記液体の一部を当該吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路と、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で連続して液体を送り出す動作を行わせることによって、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で連続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で送り出される液体送出流を形成して、前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で連続して流出させる動作制御を行う制御部と
を有していることを特徴とする微量液体ディスペンサ。 - 液体塗布対象の媒体表面に対して所定のギャップを開けて上側から対峙させたノズルの液体流出口から、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量液体を流出させる微量液体ディスペンサであって、
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに液体を供給する液体供給路と、
所定の加圧状態の液体を、ポンプ室から吐出口を介して前記液体供給路に供給する容積形ポンプと、
前記容積形ポンプの内部に形成され、前記ポンプ室内において前記吐出口に向かう前記液体の一部を当該吐出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて前記ポンプ室から外部に排出する液体分岐路と、
前記容積形ポンプを駆動して、前記ポンプ室内において前記吐出口に向けて一定の第1流量で断続して液体を送り出す動作を行わせることによって、断続して送り出される液体の断続送出に同期して、前記液体分岐路を通って、一定の第2流量で断続して排出される液体分岐流を形成すると共に、前記吐出口から前記液体供給路に、一定の第3流量で断続して送り出される液体送出流を形成して、前記ノズルの前記液体流出口から前記微量液体を一定の前記第3流量で断続して流出させる動作制御を行う制御部と
を有していることを特徴とする微量液体ディスペンサ。 - 前記液体分岐路は、
前記ポンプ室の内周面に開口している分岐路部分、
前記ポンプ室の前記内周面に沿って摺動して液体の送り出し動作を行う摺動部材に形成した分岐路部分、および、
前記ポンプ室の前記内周面と前記摺動部材の間に形成した分岐路部分
のうちのいずれか一つを備えている請求項4または5に記載の微量液体ディスペンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015175678A JP5922289B2 (ja) | 2014-07-31 | 2015-09-07 | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014156397 | 2014-07-31 | ||
JP2014156397 | 2014-07-31 | ||
JP2015175678A JP5922289B2 (ja) | 2014-07-31 | 2015-09-07 | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015087320A Division JP5856335B1 (ja) | 2014-07-31 | 2015-04-22 | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016034638A true JP2016034638A (ja) | 2016-03-17 |
JP5922289B2 JP5922289B2 (ja) | 2016-05-24 |
Family
ID=55269220
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015087320A Active JP5856335B1 (ja) | 2014-07-31 | 2015-04-22 | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ |
JP2015175678A Active JP5922289B2 (ja) | 2014-07-31 | 2015-09-07 | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015087320A Active JP5856335B1 (ja) | 2014-07-31 | 2015-04-22 | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5856335B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5856335B1 (ja) * | 2014-07-31 | 2016-02-09 | エンジニアリングシステム株式会社 | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5759058B1 (ja) * | 2014-03-11 | 2015-08-05 | エンジニアリングシステム株式会社 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
JP5856335B1 (ja) * | 2014-07-31 | 2016-02-09 | エンジニアリングシステム株式会社 | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DK350584A (da) * | 1984-07-18 | 1986-01-19 | Arne Bent Sjoegren | Blandepumpe til effektiv blanding (homogenisering) af to eller flere vaesker (luftarter) med et konstant, men regulerbart, blandingsforhold |
-
2015
- 2015-04-22 JP JP2015087320A patent/JP5856335B1/ja active Active
- 2015-09-07 JP JP2015175678A patent/JP5922289B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP5759058B1 (ja) * | 2014-03-11 | 2015-08-05 | エンジニアリングシステム株式会社 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
JP5856332B1 (ja) * | 2014-03-11 | 2016-02-09 | エンジニアリングシステム株式会社 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
JP5856335B1 (ja) * | 2014-07-31 | 2016-02-09 | エンジニアリングシステム株式会社 | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5856335B1 (ja) | 2016-02-09 |
JP2016034634A (ja) | 2016-03-17 |
JP5922289B2 (ja) | 2016-05-24 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R250 | Receipt of annual fees |
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