JP7291117B2 - エネルギ出力装置を伴う噴射装置およびその制御方法 - Google Patents
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Description
[実施形態1]
粘性媒体の液滴を噴射するように構成されたソフトウェア制御式エジェクタにおいて、前記装置が、
出口を含み、前記出口を通って液滴を噴射するように構成されたノズルと;
前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されたエネルギ出力装置と;
命令プログラムを記憶するように構成されたメモリと;
前記噴射装置の噴射用出口を通して基板上に粘性媒体の一連の液滴を噴射するべく、既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって噴射装置のアクチュエータを制御するため、および
アクチュエータ制御シーケンスに基づくまたはこのシーケンスに依存する前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口を通して噴射された前記粘性媒体の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されたエネルギ出力装置を制御して、それにより、前記ノズルからの液滴の前記分断を制御するため、
に前記命令プログラムを実行するように構成されたプロセッサと;
を含んでいる、エジェクタ。
[実施形態2]
前記エネルギ出力装置が、前記粘性媒体の前記部分の音響起動に基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の前記部分の中に音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含んでいる;
実施形態1に記載の装置。
[実施形態3]
前記音響起動には、前記粘性媒体の前記部分のせん断減粘性を誘発することが含まれている、
実施形態2に記載の装置。
[実施形態4]
前記ノズルが、前記出口から前記装置の内部内へと延在する導管を含み、
前記音響トランスジューサが前記導管に位置しており、前記音響トランスジューサは、前記出口まで前記導管内を通過する粘性媒体に対して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている、
実施形態2に記載の装置。
[実施形態5]
前記エネルギ出力装置は、
光子圧力を通して前記粘性媒体の前記部分の中に運動量を付与すること、
前記粘性媒体の前記部分の少なくとも部分的蒸発を誘発すること、および
前記粘性媒体の前記部分の局部加熱を誘発すること;
のうちの少なくとも1つに基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の前記部分に衝突するレーザビームを発出するように構成されたレーザエミッタを含んでいる、
実施形態1に記載の装置。
[実施形態6]
前記レーザエミッタが、前記ノズルの外部に位置しており、前記レーザエミッタは、前記出口を通って前記ノズルから退出した前記粘性媒体の一部分に衝突するべく前記レーザビームを発出するように構成されている、
実施形態5に記載の装置。
[実施形態7]
前記エネルギ出力装置が、圧電素子を含み、前記ノズルの流量断面積の調整に基づいて前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されている、実施形態1に記載の装置。
[実施形態8]
前記エネルギ出力装置がヒータ素子を含み、発熱に基づいて前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中に前記エネルギ量子を誘導するように構成されている、
実施形態1に記載の装置。
[実施形態9]
液滴を噴射するために前記ノズルの前記出口まで前記ノズルを通って一定の体積の前記粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御し;かつ
前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中に前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御する;
ように構成された制御装置、
をさらに含む、実施形態1に記載の装置。
[実施形態10]
ノズルを通した粘性媒体の液滴の噴射を制御するための方法において、
噴射装置の噴射用出口を通して基板上に粘性媒体の一連の液滴を噴射するべく、既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって噴射装置のアクチュエータを制御するステップと;
前記ノズルの出口まで前記ノズルを通って前記一定の体積の前記粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御するステップと;
前記粘性媒体の前記体積の少なくとも別個の第2の部分を前記ノズルから分断させて液滴を形成するため、前記粘性媒体の前記体積の第1の部分に対してエネルギ量子を送出するようにエネルギ出力装置を制御するステップであって、ここで前記エネルギ出力装置ひいては前記ノズルからの液滴前記分断の前記タイミングを制御する前記ステップが、前記アクチュエータ制御シーケンスの前記タイミングに基づくかまたはこのタイミングに依存しており、これにより前記ノズルからの液滴の前記分断が制御されている、ステップと;
を含む方法。
[実施形態11]
前記エネルギ量子が、前記粘性媒体の前記体積の前記別個の第2の部分とは独立して、前記粘性媒体の前記体積の前記第1の部分に対して専ら送出される、
実施形態10に記載の方法。
[実施形態12]
前記エネルギ出力装置が音響トランスジューサを含み;
前記エネルギ出力装置を制御するステップは、前記粘性媒体の前記第1の部分の音響起動に基づいて前記体積の少なくとも前記別個の第2の部分を前記ノズルから分断させるために、前記ノズルを通って噴射された前記粘性媒体の前記第1の部分の中に音響信号を発出するように前記音響トランスジューサを制御するステップを含んでいる、
実施形態10に記載の方法。
[実施形態13]
前記体積の少なくとも前記別個の第2の部分を前記ノズルから分断させる前記ステップが、前記音響起動に基づいて前記粘性媒体の前記体積の前記第1の部分の中でせん断減粘性を誘発するステップを含む、実施形態12に記載の方法。
[実施形態14]
前記エネルギ出力装置がレーザエミッタを含み;
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、
光子圧力を通して前記体積の少なくとも前記第1の部分の中に運動量を付与するステップ、
前記体積の前記第1の部分の少なくとも部分的蒸発を誘発するステップ、および
前記粘性媒体の前記第1の部分の前記部分の局部加熱を誘発するステップ、
のうちの少なくとも1つに基づいて、前記体積の少なくとも前記別個の第2の部分を前記ノズルから分断させるため、前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の少なくとも前記第1の部分に衝突するレーザビームを発出するように前記レーザエミッタを制御するステップが含まれている、
実施形態10に記載の方法。
[実施形態15]
前記エネルギ出力装置が圧電素子を含み;
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、前記ノズルの流量断面積を調整するように前記圧電素子を制御するステップが含まれている、実施形態10に記載の方法。
[実施形態16]
前記エネルギ出力装置がヒータ素子を含み;
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、発熱に基づいて前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中に前記エネルギ量子を誘導するように前記ヒータ素子を制御するステップが含まれている、
実施形態10に記載の方法。
[実施形態17]
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で、前記体積の少なくとも前記第1の部分の中に前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御するステップが含まれている、
実施形態10に記載の方法。
[実施形態18]
粘性媒体の液滴を噴射するように構成された装置において:
噴射装置のアクチュエータであって、前記噴射装置の噴射用出口を通して基板上に粘性媒体の一連の液滴を噴射するために既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって制御されているアクチュエータと;
出口を含むノズルであって、前記出口の長手方向軸に沿って前記出口を通って移動する前記粘性媒体の体積に基づいて、液滴を噴射するように構成されているノズルと;
前記出口の前記長手方向軸と交差するようにエネルギ量子を誘導するように構成され、こうして前記粘性媒体の前記体積の少なくとも一部分の中に前記エネルギ量子を誘導するように構成されるようになっているエネルギ出力装置であって、ここで前記出口の前記長手方向軸と交差するようにエネルギ量子をいつ誘導すべきかの前記タイミングがアクチュエータ制御シーケンスに基づくかまたはこのシーケンスに依存しており、これにより前記ノズルからの液滴の前記分断を制御するような形で構成されている、エネルギ出力装置と;
を含む装置。
[実施形態19]
前記エネルギ出力装置が、前記出口の前記長手方向軸と交差する音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含む、
実施形態18に記載の装置。
[実施形態20]
前記ノズルが、前記出口から前記出口の前記長手方向軸に沿って前記装置の内部の中へと延在する導管を含み、
前記音響トランスジューサが、前記出口の前記長手方向軸に沿って前記導管内を通過する粘性媒体に対して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている、
実施形態19に記載の装置。
[実施形態21]
前記音響トランスジューサが、前記粘性媒体の前記体積の少なくとも一部分の音響起動に基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口の前記長手方向軸と交差する前記音響信号を発出するように構成されている;
実施形態19に記載の装置。
[実施形態22]
前記音響起動には、前記粘性媒体の前記部分のせん断減粘性を誘発することが含まれている、
実施形態21に記載の装置。
[実施形態23]
前記エネルギ出力装置が、前記出口の前記長手方向軸と交差するレーザビームを発出するように構成されたレーザエミッタを含む、
実施形態18に記載の装置。
[実施形態24]
前記レーザエミッタは、
光子圧力を通して前記粘性媒体の前記体積の少なくとも一部分の中に運動量を付与すること、
前記粘性媒体の前記体積の少なくとも前記部分の少なくとも部分的蒸発を誘発すること、および
前記粘性媒体の少なくとも前記部分の局部加熱を誘発すること、
のうちの少なくとも1つに基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口の前記長手方向軸と交差するレーザビームを発出するように構成されている、
実施形態23に記載の装置。
[実施形態25]
前記レーザエミッタが、前記ノズルの外部に位置しており、前記レーザエミッタは、前記出口を通って前記ノズルから退出する前記粘性媒体の一部分に衝突するべく前記レーザビームを発出するように構成されている、
実施形態24に記載の装置。
[実施形態26]
前記エネルギ出力装置が圧電素子を含み、前記出口の前記長手方向軸と交差する機械的信号を発出するように構成されている、実施形態18に記載の装置。
[実施形態27]
前記エネルギ出力装置がヒータ素子を含み、前記出口の前記長手方向軸と交差する熱信号を発出するように構成されている、実施形態18に記載の装置。
[実施形態28]
液滴を噴射するために前記ノズルの前記出口まで前記ノズルを通って前記粘性媒体の前記体積を移動させるべく粘性媒体供給部を制御し;かつ
前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で前記出口の前記長手方向軸と交差するように前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御する;
ように構成された制御装置、
をさらに含む、実施形態18に記載の装置。
[実施形態29]
ノズルを通した粘性媒体の液滴の噴射を制御するための方法において、
噴射装置の噴射用出口を通して基板上に粘性媒体の一連の液滴を噴射するべく、既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって噴射装置のアクチュエータを制御するステップと;
前記出口の長手方向軸に沿って前記ノズルの出口まで前記ノズルを通って前記一定の体積の前記粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御するステップと;
前記粘性媒体の前記体積の別個の第2の部分が前記出口を通って前記ノズルから退出した時点で、前記粘性媒体の前記体積の第1の部分の中にエネルギ量子が送出されるような形で前記出口の前記長手方向軸と交差するようにエネルギ量子を創出するべくエネルギ出力装置を制御するステップであって、ここで前記エネルギ出力装置ひいては前記ノズルからの液滴前記分断の前記タイミングを制御する前記ステップが、前記アクチュエータ制御シーケンスの前記タイミングに基づくかまたはこのタイミングに依存しており、これにより前記ノズルからの液滴の前記分断が制御されている、ステップと;
を含む方法。
[実施形態30]
前記エネルギ量子が、前記粘性媒体の前記体積の前記別個の第2の部分とは独立して、前記粘性媒体の前記体積の前記第1の部分に対して専ら送出される、
実施形態29に記載の方法。
[実施形態31]
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で前記出口の前記長手方向軸と交差するように前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御するステップが含まれている、
実施形態29に記載の方法。
Claims (14)
- 粘性媒体の液滴を噴射するように構成された装置において:
ハウジングと;
アクチュエータと;
出口を含むノズルであって、前記アクチュエータが、前記ハウジング内の粘性媒体の体積を、前記ノズルを通って移動させて、前記体積が出口の外部に配置されるように、かつ、前記体積の第1の部分が、前記体積の第2の部分を前記ノズル内の前記粘性媒体の残余分に連結するフィラメントを形成するように、構成されており、前記第1の部分は、破断される前記フィラメントと、前記ノズルのキャビティ内の粘性媒体の体積とを含み、前記第2の部分は、前記フィラメントの破断により噴射される液滴に対応する、ノズルと;
を含み、前記装置はさらに、
前記アクチュエータとは別個のエネルギ出力装置であって、前記フィラメントの中に機械的エネルギ量子を送出し、前記第2の部分を前記ノズルから破断させて液滴を形成するように構成された、エネルギ出力装置と;
を含む装置。 - 前記エネルギ出力装置が、前記粘性媒体の音響起動によって、前記ノズルからの前記第2の部分の破断を制御するために前記フィラメントの中に送出される音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含んでいる;
請求項1に記載の装置。 - 前記装置が、せん断減粘性である粘性媒体を噴射するように構成され、
前記音響起動が、前記フィラメントの前記粘性媒体のせん断減粘性を誘発するように構成されている、
請求項2に記載の装置。 - 前記ノズルが、前記出口から前記装置の内部内へと延在する導管を含み、
前記音響トランスジューサが前記導管に位置しており、前記音響トランスジューサは、前記出口まで前記導管内を通過する粘性媒体に対して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている、
請求項2に記載の装置。 - 前記エネルギ出力装置は、
前記フィラメントに衝突して、光子圧力を通して前記フィラメントの前記粘性媒体の中に運動量を付与するレーザビームを発出するように構成されたレーザエミッタを含んでいる、
請求項1に記載の装置。 - 前記レーザエミッタが、前記ノズルの外部に位置している、
請求項5に記載の装置。 - 前記エネルギ出力装置が、圧電素子を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記アクチュエータの動きと前記エネルギ出力装置の作動とを制御するように構成された制御装置、
をさらに含む、請求項1に記載の装置。 - ノズルを通した粘性媒体の液滴の噴射を制御するための方法において:
アクチュエータを制御して前記粘性媒体の体積を前記ノズルの出口から移動させるステップであって、前記体積が前記出口の外側に配置されるように、かつ、前記体積の第1の部分が前記体積の第2の部分を前記ノズル内の粘性媒体の残余分に接続するフィラメントを形成するように、前記アクチュエータを制御して前記粘性媒体の体積を前記ノズルの出口から移動させるステップと;
前記アクチュエータとは別個のエネルギ出力装置を制御するステップであって、機械的エネルギ量子をフィラメントに送出し、前記第2の部分を前記ノズルから破断させて液滴を形成する、ステップと;
を含み、
前記第1の部分は、破断される前記フィラメントと、前記ノズルのキャビティ内の粘性媒体の体積とを含み、前記第2の部分は、前記フィラメントの破断により噴射される液滴に対応する、方法。 - 前記機械的エネルギ量子が、前記粘性媒体の前記体積の第2の液滴とは独立して、前記フィラメントに対して専ら送出される、
請求項9に記載の方法。 - 前記エネルギ出力装置が音響トランスジューサを含み;
前記エネルギ出力装置を制御するステップは、前記フィラメントの前記粘性媒体の音響起動に基づいて前記第2の液滴を前記ノズルから破断させるために、前記フィラメントの中に音響信号を発出するように前記音響トランスジューサを制御するステップを含んでいる、
請求項9に記載の方法。 - 前記装置が、せん断減粘性である粘性媒体を噴射するように構成され、前記音響起動が、前記フィラメントの前記粘性媒体の中でせん断減粘性を誘発するように構成されている、
請求項11に記載の方法。 - 前記エネルギ出力装置がレーザエミッタを含み;
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、
光子圧力を通して前記フィラメントの前記粘性媒体の中に運動量を付与するため、前記フィラメントに衝突するレーザビームを発出するように前記レーザエミッタを制御するステップが含まれている、
請求項9に記載の方法。 - 前記エネルギ出力装置が圧電素子を含み;
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、前記ノズルの流量断面積を調整するように前記圧電素子を制御するステップが含まれている、
請求項9に記載の方法。
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