KR20160132381A - 도포 장치 및 도포 방법 - Google Patents

Abstract

드로잉 도포의 속도의 고속화가 가능한 도포 장치 및 도포 방법을 제공하기 위해, 도포 장치가, 토출 장치와, 공작물 테이블과, 구동 장치와 제어부를 포함하고, 토출 장치가, 토출 부재에 의해 액실 내의 액체 재료에 관성력을 부여하여 복수의 토출구로부터 동시에 토출하고, 도포 대상물 상에서 복수의 액적을 형성하고, 복수의 토출구가 직선인 노즐 배치선을 따라 노즐에 배치되고, 노즐 배치선을 묘화선의 묘화 방향과 일치시키고, 복수의 토출구로부터, 토출된 복수의 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄되기 전에 접촉하지 않고, 또한 노즐 배치선을 따라 착탄된 액체 재료가 도포 대상물 상에서 결합하도록 액체 재료를 토출하여 선형 도포를 행하는 도포 장치로 한다.

Description

도포 장치 및 도포 방법{APPLICATION DEVICE AND APPLICATION METHOD}

본 발명은, 직선을 따라 배열된 복수의 토출구를 가지는 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것이다.

전자 부품 등의 제조 공정에서 액체 재료를 분배하는 장치로서, 왕복 이동하는 플런저에 의해 액체 재료를 토출하는 토출 장치(디스펜서)가 알려져 있다. 이 토출 장치는, 예를 들면, 공작물 테이블과 수평 방향으로 상대 이동되면서, 공작물(work-object)에 원하는 도포를 행하는 용도로 사용된다.

액체 재료를 노즐로부터 이격시킨 후에 공작물에 착탄(着彈)시키는 종래의 토출 장치로서는, 예를 들면, 노즐에 연결되는 출구 부근에 밸브 시트를 가지는 유로 내에, 플런저 로드의 측면이 비접촉으로 설치되고, 플런저 로드의 선단이 밸브 시트를 향해 이동하고 밸브 시트와 맞닿음으로써, 노즐로부터 액체 재료를 액적(液滴)의 상태로 토출시키는 것이 있다(특허 문헌 1).

또한, 급속 전진하는 플런저를 밸브 시트에 접촉시키지 않고 급격하게 정지시켜 액체 재료를 비산(scattering)시키는 기술로서는, 출원인이 제언한, 선단면이 액체 재료에 밀접한 액체 재료 토출용 플런저를 고속 전진시키고, 이어서, 플런저 구동 수단을 급격 정지시켜, 액체 재료에 관성력을 인가하여 액체 재료를 토출시키는 액체 재료의 토출 방법 및 장치가 있다(특허 문헌 2, 3).

또한, 유체 채널 출구와 연통한 복수의 노즐 출구를 가지는 분출 노즐과, 밸브 시트에 선택적으로 접촉 가능하게 유체 채널 내에 가동적으로 설치된 밸브 부재를 포함하고, 밸브 부재가 밸브 시트와의 접촉 시에, 상기 복수의 노즐 출구로부터 복수의 액적을 동시에 신속하게 분출시키는 데 충분한 운동량을 상기 유체 채널 출구 내의 액체 재료에게 부여하는 젯팅 디스펜서(jetting dispenser)가 제안되어 있다(특허 문헌 4).

특허 문헌 1 : 일본공표특허 제2001-500962호 공보 특허 문헌 2 : 일본공개특허 제2003-190871호 공보 특허 문헌 3 : 일본공개특허 제2005-296700호 공보 특허 문헌 4 : 일본공개특허 제2007-167844호 공보

전자 기기 등의 제조 비용의 삭감을 실현하기 위하여, 드로잉 도포(drawing application)의 속도를 고속화하는 것이 요구되고 있다.

특허 문헌 4에 개시되는 젯팅 디스펜서는, 복수의 토출구를 가지는 노즐을 개시하지만, 주로 플럭스층의 형성을 염두에 두고 있고, 드로잉 도포를 행하는 순서에 대해서는 전혀 언급되어 있지 않다. 또한, 특허 문헌 4는, 디스펜서의 작동 속도를 느리게 하여 고품질을 목표로 하는 점(동일 문헌 단락[0007] 참조)에서도, 드로잉 도포의 고속화에 이바지하는 기술을 제공하는 것이 아니라고 할 수 있다.

본 발명은, 드로잉 도포의 속도를 고속화하는 것을 가능하게 하는 도포 장치 및 도포 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

도포 방법에 관한 본 발명은, 도포 장치를 사용하여 도포 대상물 상에 묘화선(描畵線)을 선형 도포하는 방법에 있어서, 상기 도포 장치가, 토출 장치와, 도포 대상물을 탑재하는 공작물 테이블과, 토출 장치와 공작물 테이블을 상대 이동시키는 구동 장치와, 토출 장치 및 구동 장치의 동작을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 토출 장치가, 액체 재료를 토출하는 복수의 토출구를 가지는 노즐과, 상기 복수의 토출구와 복수의 토출 유로를 통하여 연통하는 액실(液室)과, 상기 액실 내의 액체 재료에 접촉하는 토출 부재를 포함하고, 상기 토출 부재에 의해 상기 액실 내의 액체 재료에 관성력을 부여하여 상기 복수의 토출구로부터 동시에 토출하고, 도포 대상물 상에서 복수의 액적을 형성하는 것, 상기 복수의 토출구가, 직선인 노즐 배치선을 따라 상기 노즐에 배치되는 것, 상기 노즐 배치선을 상기 묘화선의 묘화 방향과 일치시키는 것, 상기 복수의 토출구로부터, 토출된 복수의 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄되기 전에 접촉하지 않고, 또한 상기 노즐 배치선을 따라 착탄된 액체 재료가 도포 대상물 상에서 결합하도록 액체 재료를 토출하여 선형 도포를 행하는 것을 특징으로 한다.

상기 도포 방법에 관한 본 발명에서는, 상기 제어부가, 상기 토출 장치와 상기 공작물 테이블을 일정한 속도 V_c를 유지하여 노즐 배치선과 동일한 방향으로 상대 이동시키면서, 상기 토출된 복수의 액체 덩어리 중 적어도 하나가, 직전에 토출된 도포 대상물 상의 액체 재료에 결합하여 묘화선을 형성하도록, 상기 토출 장치와 상기 공작물 테이블의 상대 이동 속도에 따라 토출 타이밍을 일정한 간격 T_c로 하여 선형 도포를 행하는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 방법에 관한 본 발명에서는, 상기 토출 부재의 추진력을 조절함으로써, 상기 토출된 복수의 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄되기 전에 접촉하지 않고, 또한 상기 노즐 배치선을 따라 착탄된 액체 재료가 도포 대상물 상에서 결합하도록 액체 재료를 토출하는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 방법에 관한 본 발명에서는, 상기 복수의 토출 유로가, 상기 복수의 토출 유로의 각 중심선이 상기 노즐의 중심선과 교차하도록, 경사를 가지고 배치되고, 토출구와 도포 대상의 거리 h를 조절함으로써, 액적 사이의 거리를 조절하는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 방법에 관한 본 발명에서는, 상기 복수의 토출구의 모두가, 상기 노즐 배치선 상에 배치되는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 방법에 관한 본 발명에서는, 상기 복수의 토출구가 전부 동일한 형상이며, 등피치(equal pitch)로 배치되는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 방법에 관한 본 발명에서는, 상기 복수의 토출구가 짝수개의 토출구로 이루어지고, 2개의 대형 토출구와, 2개의 소형 토출구를 포함하고, 토출구의 모두가 상기 노즐 배치선 상에 배치되는 것, 및 상기 소형 토출구와 상기 대형 토출구가 상기 노즐 배치선을 따라 교호적(交互的)으로 배치되는 것, 또는 상기 복수의 토출구가 짝수개의 토출구로 이루어지고, 2개의 대형 토출구와, 2개의 소형 토출구 그룹을 포함하고, 상기 대형 토출구의 모두가 상기 노즐 배치선 상에 배치되는 것, 상기 소형 토출구 그룹과 상기 대형 토출구가 상기 노즐 배치선을 따라 교호적으로 배치되는 것, 및 상기 소형 토출구 그룹이, 상기 노즐 배치선에 대하여 대칭으로 배치된 복수의 소형 토출구로 구성되는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 방법에 관한 본 발명에서는, 상기 토출 장치 또는 상기 공작물 테이블이, 회전 기구(機構)를 포함하고, 상기 회전 기구에 의해, 상기 노즐 배치선을 상기 묘화선의 묘화 방향과 일치시키는 것을 특징으로 해도 되고, 여기서 바람직하게는, 상기 선형 도포가, 제1 방향으로 연장되는 직선형 도포선과 제1 방향과 상이한 제2 방향으로 연장되는 직선형 도포선을 포함하는 도포 패턴에 따라 행해지는 것을 특징으로 한다.

상기 도포 방법에 관한 본 발명에서는, 상기 노즐이, 상기 토출 장치에 대하여 착탈 가능하게 고정되어 있고, 상기 토출 장치가, 상기 노즐 배치선의 방향이 상기 토출 장치에 대하여 일정하게 되도록 상기 노즐을 장착 가능하게 하는 위치 결정 기구를 가지는 것을 특징으로 해도 된다.

도포 장치에 관한 본 발명은, 토출 장치와, 도포 대상물을 탑재하는 공작물 테이블과, 토출 장치와 공작물 테이블을 상대 이동시키는 구동 장치와, 토출 장치 및 구동 장치의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 도포 장치에 있어서, 상기 토출 장치가, 액체 재료를 토출하는 복수의 토출구를 가지는 노즐과, 상기 복수의 토출구와 복수의 토출 유로를 통하여 연통하는 액실과, 상기 액실 내의 액체 재료에 접촉하는 토출 부재를 포함하고, 상기 토출 부재에 의해 상기 액실 내의 액체 재료에 관성력을 부여하여 상기 복수의 토출구로부터 동시에 토출하고, 도포 대상물 상에서 복수의 액적을 형성할 수 있는 토출 장치로서, 상기 복수의 토출구가, 직선인 노즐 배치선을 따라 상기 노즐에 배치되는 것, 상기 제어부가, 상기 노즐 배치선을 묘화선의 묘화 방향과 일치시킨 상태에서, 상기 복수의 토출구로부터, 토출된 복수의 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄되기 전에 접촉하지 않고, 또한 상기 노즐 배치선을 따라 착탄된 액체 재료가 도포 대상물 상에서 결합하도록 액체 재료를 토출하여 선형 도포를 행하는 것을 특징으로 한다.

상기 도포 장치에 관한 본 발명에서는, 상기 제어부가, 상기 토출 장치와 상기 공작물 테이블을 일정한 속도 V_c를 유지하여 노즐 배치선과 같은 방향으로 상대 이동시키면서, 상기 토출된 복수의 액체 덩어리 중 적어도 하나가, 직전에 토출된 도포 대상물 상의 액체 재료에 결합하여 묘화선을 형성하도록, 상기 토출 장치와 상기 공작물 테이블의 상대 이동 속도에 따라 토출 타이밍을 일정한 간격 T_c로 하여 선형 도포를 행하는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 장치에 관한 본 발명에서는, 상기 제어부가, 상기 토출 부재의 추진력을 조절함으로써, 상기 토출된 복수의 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄되기 전에 접촉하지 않고, 또한 상기 노즐 배치선을 따라 착탄된 액체 재료가 도포 대상물 상에서 결합하도록 액체 재료를 토출하는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 장치에 관한 본 발명에서는, 상기 복수의 토출 유로가, 상기 복수의 토출 유로의 각 중심선이 상기 노즐의 중심선과 교차하도록, 경사를 가지고 배치되어 있는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 장치에 관한 본 발명에서는, 상기 복수의 토출구의 모두가, 상기 노즐 배치선 상에 배치되는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 장치에 관한 본 발명에서는, 상기 복수의 토출구가 전부 동일한 형상이며, 등피치로 배치되는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 장치에 관한 본 발명에서는, 상기 복수의 토출구가 짝수개의 토출구로 이루어지고, 2개의 대형 토출구와, 2개의 소형 토출구를 포함하고, 토출구의 모두가 상기 노즐 배치선 상에 배치되는 것, 및 상기 소형 토출구와 상기 대형 토출구가 상기 노즐 배치선을 따라 교호적으로 배치되는 것, 또는 상기 복수의 토출구가 짝수개의 토출구로 이루어지고, 2개의 대형 토출구와 2개의 소형 토출구 군을 포함하고, 상기 대형 토출구의 모두가 상기 노즐 배치선 상에 배치되는 것, 상기 소형 토출구 그룹과 상기 대형 토출구가 상기 노즐 배치선을 따라 교호적으로 배치되는 것, 및 상기 소형 토출구 그룹이, 상기 노즐 배치선에 대하여 대칭으로 배치된 복수의 소형 토출구로 구성되는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 장치에 관한 본 발명에서는, 상기 토출 장치 또는 상기 공작물 테이블이, 회전 기구를 포함하고, 상기 제어부가, 상기 회전 기구에 의해, 상기 노즐 배치선을 상기 묘화선의 묘화 방향과 일치시키는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 장치에 관한 본 발명에서는, 상기 구동 장치가, 상기 토출 장치와 상기 공작물 테이블을 상대적으로 직선 이동할 수 있는 1축 구동 기구를 포함하고, 상기 노즐 배치선이 상기 1축 구동 기구의 구동 방향과 일치하게 배치되는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 장치에 관한 본 발명에서는, 상기 노즐이, 상기 토출 장치에 대하여 착탈 가능하게 고정되어 있고, 상기 토출 장치가, 상기 노즐 배치선의 방향이 상기 토출 장치에 대하여 일정하게 되도록 상기 노즐을 장착 가능하게 하는 위치 결정 기구를 가지는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 도포 장치에 관한 본 발명에서는, 상기 토출 장치가, 상기 액실보다 소경(小徑)이며 , 선단부가 액실 내를 진퇴 이동하는 플런저와, 상기 플런저를 진퇴 이동시키는 플런저 왕복 이동 장치와, 상기 액실에 액체 재료를 공급하는 액체 공급 장치를 포함하고, 상기 플런저의 선단부의 측면과 상기 액실의 내측벽이 비접촉인 상태에서 플런저를 진출 이동 및 진출 정지함으로써 액체 재료에 관성력을 부여하여 상기 복수의 토출구로부터 동시에 토출하는 것을 특징으로 해도 된다.

본 발명에 의하면, 드로잉 도포의 속도를 고속화하는 것이 가능해진다.

또한, 토출의 타이밍을 일정한 간격 T_c로서 선형 도포를 행함으로써, 토출량 정밀도 및 토출 위치 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다.

또한, 토출 유로가 경사를 가지는 구성을 포함하는 본 발명에 의하면, 토출구와 도포 대상물의 거리를 조절함으로써, 동시에 토출된 액적 사이의 거리를 조절하는 것이 가능해진다.

도 1은, 제1 실시 형태예의 도포 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는, 제1 실시 형태예의 토출 장치의 주요부 측면 단면도이다.
도 3은, 제1 실시 형태예의 노즐 부재의 (a) 저면도, (b) 측면 단면도이다.
도 4는, 제1 실시 형태예에서의 1회의 토출 공정을 나타낸 도면이며, (a)는 토출된 액적이 도포 대상물에 착탄되기 전의 시점을 나타내고, (b)는 토출된 액적이 도포 대상물에 착탄된 시점을 나타내고, (c)는 착탄 후, 매우 짧은 시간이 경과한 시점을 나타내고, (d)는 (c)의 시점으로부터, 매우 짧은 시간이 경과한 시점을 나타내고, (e)는 (d)의 시점으로부터, 매우 짧은 시간이 경과한 시점을 나타내고 있다.
도 5는, 제1 실시 형태예의 도포 장치에 의한 복수회의 토출 공정을 나타낸 도면이며, (a)는 제1 발사 직후의 시점을 옆쪽으로부터 본 도면, (b)는 제2 발사 직후의 시점을 옆쪽 및 위쪽으로부터 본 도면, (c)는 제3 발사 직후의 시점을 옆쪽 및 위쪽으로부터 본 도면, (d)는 제4 발사 직후의 시점을 옆쪽 및 위쪽으로부터 본 도면, (e)는 제５ 발사 직후의 시점을 옆쪽 및 위쪽으로부터 본 도면이다.
도 6은, 비상 중에 2개의 액적이 결합한 경우를 설명하는 측면도이며, (a)는 액체 덩어리가 토출된 직후의 시점을 나타내고, (b)는 (a)의 시점으로부터, 매우 짧은 시간이 경과한 시점을 나타내고, (c)는 동시 토출된 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄된 시점을 나타내고 있다.
도 7은, 제2 실시 형태예의 노즐 부재의 (a) 저면도, (b) 측면 단면도이다.
도 8은, 제3 실시 형태예의 노즐 부재의 저면도이다.
도 9는, 제3 실시 형태예에서 동시 토출된 4개의 액적이 결합하는 모양을 상면에서 본 이미지 도면이다.
도 10은, 제4 실시 형태예의 노즐 부재의 저면도이다.
도 11은, 제4 실시 형태예에서 동시 토출된 6개의 액적이 결합하는 모양을 상면에서 본 이미지 도면이다.
도 12는, 제５ 실시 형태예의 노즐 부재의 (a) 측면 단면도 및 (b) 토출구와 공작물의 거리와 액적 사이의 거리의 관계를 설명하는 측면도이다.
도 13은, 도포 대상물에 착탄된 2개의 액적이, 도포 대상물 상에서 결합하지 않는 경우의 도포 방법의 설명도이며, (a)는 1회째의 토출, (b)은 2회째의 토출, (c)은 3회째의 토출, (d)은 4회째의 토출을 나타내고 있다.

이하에서는, 본 발명의 실시 형태예를 도면을 참조하면서 설명한다.

<<제1 실시 형태예>>

<도포 장치>

도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 실시 형태예의 도포 장치(200)는, 토출 장치(1)와, 가대(架臺)(201)와, 도포 대상물(207)을 탑재하는 공작물 테이블(202)과, 토출 장치와 공작물 테이블을 X 방향으로 상대 이동시키는 X 구동 장치(203)와, 토출 장치와 공작물 테이블을 Y 방향으로 상대 이동시키는 Y 구동 장치(204)와, 토출 장치와 공작물 테이블을 Z 방향으로 상대 이동시키는 Z 구동 장치(205)와, 토출 장치(1) 및 XYZ 구동 장치(203, 204, 205)의 동작을 제어하는 제어 장치(206)를 포함하고 있다.

그리고, X 방향은 평면에서의 한 방향을, Y 방향은 평면에서의 X 방향과 직교하는 방향을, Z 방향은 평면과 직교하는 방향을 의미하는 것으로 한다.

본 실시 형태예에서는, X 구동 장치 및 Y 구동 장치의 이동 방향이 수평 방향, Z 구동 장치의 이동 방향이 연직 방향으로 되도록 구성하고 있지만, 이외의 이동 방향으로 하는 것도 가능하다. 또한, X 구동 장치, Y 구동 장치 및 Z 구동 장치 전부를 필요로 하는 것은 아니고, 예를 들면, 도포 패턴이 일방향의 직선만으로 이루어지는 경우에는, 일방향으로 이동시키는 구동 장치만(X 구동 장치 또는 Y 구동 장치만)을 배치함으로써, 본 발명의 도포를 행할 수 있다.

<토출 장치>

도 2에 나타낸 바와 같이, 토출 장치(1)의 본체는, 본체 상부(2)와, 본체 하부(3)를 포함하여 구성된다.

본체 상부(2)는 중심을 관통하는 관통공(21)과 피스톤실(22, 23)을 가지고, 관통공(21) 및 피스톤실에는 플런저(10)가 삽통(揷通)된다. 플런저(10)는 가늘고 긴 원기둥 막대이며, 피스톤(11)을 관통하고 있다. 피스톤(11)은 측 주위면에 환형의 실링 부재(12)가 설치된 원반형의 부재이다. 피스톤(11)은, 원기둥형의 피스톤실을 하측 챔버(22)와 상측 챔버(23)로 기밀하게 분단하고, 피스톤실 내를 슬라이딩하면서 상하 이동한다. 피스톤(11)은 플런저(10)와 연결되어 있고, 피스톤(11)이 상하 이동함에 따라 플런저(10)도 상하 이동한다. 이하에서는, 플런저(10)가 아래쪽으로 이동하는 경우를 진출 이동이라 하고, 플런저(10)가 위쪽으로 이동하는 경우를 후퇴 이동이라 하는 경우가 있다.

피스톤(11)은, 상측 챔버(23) 내에 배치된 탄성 부재(13)에 의해 아래쪽으로 가압되어 있다. 하측 챔버(22)의 측면에는, 전자(電磁) 전환 밸브(16)와 연통하는 하방 통기구(24)가 설치되어 있고, 하측 챔버(22)의 바닥면에는, 플런저(10)가 삽통되는 환형의 실링 부재(26)가 설치되어 있다. 전자 전환 밸브(16)는, 하방 통기구(24)를 에어 공급원(19)과 연통하는 제1 위치와 하방 통기구(24)를 외기(外氣)와 연통하는 제2 위치를 가지고 있다. 전자 전환 밸브(16)가 제1 위치에 있을 때, 에어 공급원(19)으로부터 공급된 가압 에어가 레귤레이터(18)를 통하여 하방 통기구(24)에 공급되고, 플런저 선단면(103)이 액실의 바닥면(412)으로부터 멀어진다. 전자 전환 밸브(16)가 제2 위치에 있을 때, 피스톤(11)은 탄성 부재(13)의 가압력에 의해 아래쪽으로 이동하고, 피스톤(11)이 아래쪽으로 이동하는 것과 함께 플런저(10)가 진출 이동한다. 이로써, 플런저 선단면(103)이 액실의 바닥면(412)에 착좌하고, 플런저(10)에 의해 추진력이 부여된 액실 내의 액체 재료가, 토출구(51, 52)로부터 토출된다.

그리고, 플런저(10)의 진출 이동을, 플런저 선단면(103)이 액실의 바닥면(412)에 착좌하기 직전에 정지시킴으로써 액실 내의 액체 재료에 추진력을 부여하여 토출하도록 구성해도 된다. 플런저 선단면을 착좌시키지 않고 액적을 토출하는 토출 장치로서는, 예를 들면, 출원인이 WO2008/108097공보, 일본공개특허 제2013-081884에서 개시하는 것이 있다.

본 실시 형태예에서는, 액실 내의 액체 재료에 관성력을 부여하는 토출 부재로서 플런저(10)를 사용하는 구성을 예시했지만, 토출 부재는 이에 한정되지 않는다. 본 발명의 토출 부재에는, 예를 들면, 토출구와 연통하는 액실 내에, 가동 밸브체, 정전형(靜電型) , 압전형(壓電型) 등의 액추에이터, 다이어프램 및 강제 변형 수단[예를 들면, 구타 해머 및 솔레노이드 등과 로드(rod)의 조합, 고압 유체], 버블 발생용 히터 등의 압력을 발생시키는 기구도 포함된다.

플런저(10)의 아래쪽에 위치하는 선단부(101)가, 액실 내를 진퇴 이동을 반복함으로써 액체 재료가 연속 토출된다. 플런저(10)가 진퇴 이동을 하는 동안, 플런저의 선단부의 측면(102)이 액실의 내측벽(411)에 접촉하는 일은 없다[도 3의 (b) 참조]. 본 실시 형태예에서는, 플런저 선단면(103)을 반구형으로 구성하고 있지만, 플런저 선단면(103)의 형상은 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 평면이나 토출구와 동심 또한 동수(同數)의 돌기가 부착된 평면으로 해도 된다.

플런저(10)의 후퇴 위치는, 스토퍼(14)에 의해 규정된다. 스토퍼(14)의 위치는, 마이크로미터(15)를 회전함으로써 조절할 수 있다.

본체 상부(2)의 하단에는 본체 하부(3)가 접합되어 있다. 본체 하부(3)는 중심을 관통하는 관통공(31)을 가지고, 관통공(31)에는 플런저(10)가 삽통된다. 관통공(31)은 액실(41)과 연통하고 있으나, 관통공(31)의 하단에는 환형의 실링 부재(32)가 설치되어 있으므로, 액실 내의 액체 재료가 관통공(31)에 역류하는 일은 없다. 액실(41)은 상하로 연장되는 원기둥형 공간이며, 상측 부분에서 액체 재료가 공급되는 공급로(33)와 연통되어 있다. 공급로(33)는, 장착 부재(4)에 설치된 액체 이송로(42)를 통하여 액체 이송 부재(6)의 액체 이송로(61)와 연통된다. 본 실시 형태예에서는, 공급로(33), 액체 이송로(42) 및 액체 이송로(61)를 수평으로 구성하고 있지만, 각도를 설정하여 구성하는 것도 당연히 가능하다.

도 3의 (a)에 나타낸 바와 같이, 노즐 부재(5)는, 직선인 노즐 배치선(20) 상에 설치된 직경이 동일한 원형의 제1 토출구(51) 및 제2 토출구(52)를 가지고 있다. 제1 토출구(51) 및 제2 토출구(52)의 직경 D₁은, 예를 들면, 수㎛∼수㎜이며, 바람직하게는 수십㎛∼수백㎛이다. 제1 토출구(51) 및 제2 토출구(52)의 형상은 예시한 원형에 한정되지 않고, 예를 들면, 노즐 배치선(20)을 따라 신장되는 타원형으로 하는 것이 개시된다. 복수의 토출구의 형상 내지 배치 패턴은, 노즐 배치선(20)을 협지(sandwich)하여 대칭인 형상을 구성하도록 하는 것이 바람직하다. 이것은, 노즐 부재(5)의 하단이 평면이 아니고, 요철(凹凸)이 있는 형상인 경우에도 적용된다.

제1 토출구(51)와 제2 토출구(52)의 최근접 거리[제1 토출구(51)의 우측단과 제2 토출구(52)의 좌측단의 거리] L₁은, 어떠한 경우에도 직경 D₁보다 크게 설정되고, 예를 들면, D₁의 2∼10배로 설정된다. 바꾸어 말하면, 복수의 토출구가, 직선인 노즐 배치선을 따라 노즐 부재에 배치되고, 또한 도포 대상물에 착탄된 액체 재료가 결합하여 도포선을 형성하는 거리이다.

토출 장치(1)를 도포 장치(200)에 탑재할 때는, 노즐 배치선(20)이, 묘화선의 묘화 방향과 일치하도록 배치한다. 공작물 테이블(202) 또는 토출 장치(1)에 θ방향(공작물 테이블의 수직선을 중심으로 한 회전 방향)으로 회전하는 회전 기구를 설치하고, 노즐 배치선(20)을 묘화선의 묘화 방향과 동적으로 일치 가능하게 해도 된다. 여기서, 노즐 배치선(20)을 묘화선의 묘화 방향과 일치시키는 것의 의의는, 바꾸어 말하면, 묘화선 상에 노즐 배치선을 투사했을 때, 묘화선과 노즐 배치선의 방향이 일치하는 것, 또는 액체 재료의 토출 방향에 대하여 직각인 평면에, 노즐 배치선(20)과 묘화선의 정사영(正射影)을 한 경우에, 노즐 배치선(20)과 묘화선의 방향이 일치하는 것이다. 또한 바꾸어 말하면, 토출구로부터 토출되는 액체 재료의 토출 방향을 포함하는 평면에 묘화선이 있는 것이다. 이것은, 도포 대상물의 표면이 평면이 아닌 경우나 경사져 있는 경우에도 적용할 수 있다.

여기서, 본 실시 형태예에서의 액체 재료의 토출 방향이란, 보다 정확하게는, 공작물 테이블과 토출 장치의 상대 이동을 정지하여 토출한 경우에서의 액체 재료의 토출 방향을 의미한다. 본 실시 형태예와 같이, 액체 재료의 토출 방향이 연직 방향과 같은 경우에는, 상기한 액체 재료의 토출 방향에 대하여 직각으로 되는 선은, 수평면 상의 선으로 된다.

다른 편에서, 도포 패턴이, 절곡 지점(地点)을 가지는 복수의 직선으로 구성되는 경우에는, 공작물 테이블(202) 또는 Z축 구동 장치(205)에 θ방향으로 회전하는 회전 기구를 설치하는 것이 필수로 된다. 예를 들면, 도포 패턴이 사각형이며, 사각형의 하나의 정상점(頂点)이 도포 개시점 및 도포 종료점으로 되는 경우, 절곡 지점은 3개로 된다. 회전 기구는, 예를 들면, 공지의 서보 모터를 사용하여 구성할 수 있다.

또한, 도포 패턴이, 직선부를 가지는 경우에는, 직선부의 방향이 X 방향 또는 Y 방향에 일치하도록 도포 대상물을 공작물 테이블(202)에 배치하고, 또한 노즐 배치선(20)이 직선부와 동일한 방향으로 되도록 배치한다. 이로써, 직선부의 도포 시에 X 구동 장치(203) 또는 Y 구동 장치(204) 중 어느 한쪽만을 구동하여 도포하는 것이 가능해지고, 보다 양호한 정밀도로 도포선을 도포 형성하는 것이 가능해진다.

즉, XYZ 구동 장치(203, 204, 205)가, 토출 장치(1)와 공작물 테이블(202)을 상대적으로 직선 이동할 수 있는 1축 구동 장치(X 구동 장치 또는 Y 구동 장치)를 포함하는 경우에는, 노즐 배치선(20)이 상기 1축 구동 장치의 구동 방향(X 방향 또는 Y 방향)과 일치하도록 배치하는 것이 바람직하다. 이와 같은 배치는, 상기한 회전 기구를 갖지 않는 경우에 특히 유효하다.

도 3의 (b)에 나타낸 바와 같이, 제1 토출구(51)는, 세경(細徑)의 제1 토출 유로(54) 및 대경(大徑)의 토출 유로(57)를 통하여 액실(41)과 연통하고 있다. 또한, 제2 토출구(52)는, 세경의 제2 토출 유로(55) 및 대경의 토출 유로(57)를 통하여 액실(41)과 연통하고 있다. 제1 토출 유로(54) 및 제2 토출 유로(55)는 동일한 형상이며, 모두 중심축이 연직 방향에 있다.

제1 토출 유로(54) 및 제2 토출 유로(55)는, 대경의 토출 유로(57)를 설치하지 않고, 직접 액실(41)에 연통하도록 구성해도 된다. 또한, 액실(41)에 직접 연통하는 제1 토출 유로(54) 및 제2 토출 유로(55)를, 독립된 각 2개의 세경의 유로 및 대경의 유로에 의해 구성해도 된다.

평면인 노즐 부재(5)의 하단면에 설치된 제1 토출구(51) 및 제2 토출구(52)는 아래쪽으로 개구되어 있고, 노즐 부재(5)의 하단면이 수평(액체 재료의 토출 방향에 대하여 직각인 방향)으로 배치된 상태에서, 이들의 토출구로부터 액체 재료가 적하된다.

노즐 부재(5)는, 상단에 플랜지부(58)를 가지고 있고, 이 플랜지부(58)에서 장착 부재(4)에 지지된다. 장착 부재(4)는, 노즐 부재(5)를 지지한 상태에서 본체 하부(3)에 나사 결합되고, 또는 나사 등의 고정구에 의해 착탈 가능하게 고정된다. 노즐 부재(5)는, 장착 부재(4)에 의해 착탈 가능하게 장착되므로, 토출구의 직경 및 최근접 거리가 상이한 복수의 노즐 부재(5)를 용도에 따라 교환하는 것도 용이하다. 노즐 부재(5)를 장착 및 분리하기 위한 태양(態樣)은 한정되지 않지만, 노즐 배치선(20)의 방향 및 위치를 토출 장치(1)에 대하여 일정하게 되도록 장착 가능하게 하는 위치 결정 기구를 설치하는 것이 바람직하다. 위치 결정 기구로서는 공지의 위치 결정 기구를 사용할 수 있고, 예를 들면, 노즐 부재(5) 또는 본체 하부(3) 측의 부재의 일부[예를 들면, 핀, 볼록부, 절결(切缺)]가 다른 쪽의 부재에 끼워맞추어져 위치 결정되는 구성이나, 별도로 준비된 부재(예를 들면, 핀이나 나사)를 사용하여 위치 결정하는 구성을 예로 들 수 있다.

장착 부재(4)의 측면에는 액체 이송 부재(6)가 설치된다. 액체 이송 부재(6)의 상면에는, 액체 저장 용기(7)가 연결되어 있다. 액체 저장 용기(7)는, 에어식 디스펜서(8)를 통하여 에어 공급원(9)으로부터 가압 에어를 공급받는다. 그리고, 에어 공급원(9)으로부터 공급되는 가압 에어는, 대기 이외의 가스(예를 들면, 질소 가스)인 경우도 있다.

<XYZ 구동 장치>

XYZ 구동 장치(203, 204, 205)는, 예를 들면, 공지의 XYZ축 서보 모터와 볼나사를 구비하여 구성되며, 토출 장치(1)의 토출구(51, 52)를 공작물의 임의의 위치에, 임의의 속도로 이동시키는 것이 가능하다. XYZ 구동 장치(203, 204, 205)의 동작은, 제어 장치(206)에 의해 제어된다.

<제어 장치>

제어 장치(206)는, 처리 장치, 도포 프로그램을 저장한 기억 장치 및 입력 장치를 포함하여 구성되며, 예를 들면, 퍼스널 컴퓨터나 프로그래머블 컨트롤러 등을 사용할 수 있다. 제어 장치(206)는, 가대(201)에 전부가 내장되는 경우도 있다면, 일부가 가대(201)의 외부에 설치되고, 유선 또는 무선에 의해 접속되는 경우도 있다. 제어 장치(206)는, 입력 장치로부터 도포 패턴, 도포 기준 위치, 상대 이동 속도, 토출 타이밍, 플런저 진퇴 속도를 포함하는 도포 제어 데이터를 수신하고, 기억 장치에 기억한다. 처리 장치는, 기억 장치에 기억된 도포 제어 데이터를 판독하고, 다음에 설명하는 도포 동작을 실행한다.

<도포 동작>

도포 장치(200)에 의한 도포 동작은, X 방향, Y 방향 또는 경사 방향(X 방향 또는 Y 방향과 각도를 구성하는 방향)으로 선형 도포(드로잉 도포)를 행하는 것으로서, 다음과 같이 행해진다.

도 4의 (a)는, 노즐 부재(5)의 토출구(51, 52)로부터, 액적(151, 152)이 토출되고, 도포 대상물(공작물)에 착탄되기 전의 시점을 나타내고 있다. 본 도면에 나타낸 바와 같이, 본 발명에서는, 토출된 액체 재료가 공작물 상에서 액적의 상태로 되는 것이 전제로 된다. 여기서, 토출구(51, 52)로부터 토출된 액체 재료는, 토출구로부터 분단된 후에 물방울을 형성해도 되고, 공작물에 접촉된 후에 토출구와 분단되어 도포 대상물 상으로 물방울을 형성해도 된다. 본 명세서에서는, 토출구로부터 토출되어, 토출구로부터 분단되기 전의 액체 재료와, 토출구로부터 토출된 후에 분단되어, 공작물에 착탄되기 전의 액적을 합하여 「액체 덩어리」라고 호칭하는 경우가 있다.

액체 재료가 공작물에 접촉된 후에 토출구와 분단되고, 도포 대상물 상에서 물방울을 형성하는 도포 방법에 대해서는, 예를 들면, 출원인이 WO2008/146464에서 개시하고 있다. 액체 재료가 도포 대상물에 접촉된 후에 토출구와 분단되기 위해서는, 공작물 접촉 전의 토출구(노즐)와 연결된 상태의 액체 재료의 높이 h₀와 비교하여, 토출구와 공작물의 거리 h₁을 몇배 미만으로 토출 동작을 행하는 것이 바람직하고, 토출구와 공작물의 거리 h₁을 h₀의 2배 미만(h₀< h₁< h₀×2)으로 설정하는 것이 더욱 바람직하다.

도포 대상물 상의 근접 위치에 착탄된 2개의 액적이 신속하게 확산되어 결합하기 위해서는, 일정 이상의 추진력을 액적에 부여할 필요가 있다. 그러나, 실험의 결과, 종래의 제트식 토출 장치에서 토출된 액적에는, 착탄 후의 신속한 결합을 실현하는데 충분한 추진력이 부여되어 있는 것이 확인되었다.

상기에 더하여 중요한 것은, 동시 토출된 복수의 액체 덩어리가, 착탄 전에 접촉 또는 결합하지 않는 것이다. 착탄 전에 액적이 접촉 또는 결합하면 액적이 커지고, 원하는 도포 패턴을 실현할 수 없게 되기 때문이다. 즉, 도 6에 나타낸 바와 같이, 비상 중에 2개의 액적이 결합해 버리면 착탄면이 원형으로 되므로, 이 착탄 액에 일부 중첩되도록 같은 크기의 액적을 착탄시키지 않으면 선형 도포를 행할 수없게 된다(실질적으로는, 하나의 토출구에 의한 도포 작업과 동일하게 됨). 복수의 토출구로부터 동시 토출된 복수의 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄되기 전에 접촉하지 않고, 또한 노즐 배치선(20)을 따라 착탄된 착탄액을 도포 대상물 상에서 결합하도록 토출하기 위한 조건은, 액재(液材)의 종류나 토출 장치의 구성 등의 작업 환경에 따라 상이하므로, 작업 환경마다 각 요소의 조건을 변경하면서 토출을 반복하는 작업으로부터 찾아낼 필요가 있다. 이 작업을 행함에 있어서, 고려해야 할 주요한 요소로서는, 토출구 사이의 거리, 토출구의 구멍의 크기, 액체 재료의 점도, 토출 부재의 추진력의 크기가 예시된다(이들 이외의 요소를 조절하는 것도 당연히 가능함). 또한, 후술하는 제５ 실시 형태예에서 설명하는 바와 같이, 토출구와 도포 대상물의 거리의 조절에 의하여, 조건 설정을 하는 것도 유효하다.

도 4의 (b)는, 동시 토출된 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄된 시점을 나타내고 있다. 본 도면에 나타낸 바와 같이, 2개의 토출구(51, 52)로부터 토출된 액체 재료는, 착탄 시에는 서로 비접촉의 위치 관계에 있다. 바꾸어 말하면, 복수의 토출구로부터 토출된 액체 재료는 토출구와 동수의 액적을 형성하고, 서로 비접촉인 채로 도포 대상물에 착탄된다.

도 4의 (c)는, 동시 토출된 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄된 후, 매우 짧은 시간이 경과한 시점을 나타내고 있다. 본 도면에 나타낸 바와 같이, 원형으로 착탄된 액적은 도포 대상물 상에서 확산되어, 2개의 원이 접촉하고 결합을 개시한다.

도 4의 (d)는, 도 4(c)의 시점으로부터, 매우 짧은 시간이 경과한 시점을 나타내고 있다. 본 도면에 나타낸 바와 같이, 접촉된 2개의 원의 결합이 더 진전되고, 폭 방향(도면 중 상하 방향)의 홈이 얕아진다. 즉, 도포 대상물 상에서의 2개의 액적의 결합은, 비상 중에서의 2개의 액적의 결합과는 상이하고, 노즐 배치선(20) 방향으로 신장되는 가늘고 긴 형상을 형성하도록 작용한다(2개의 액적이 합체해도 상면에서 볼 때 원형으로 되지 않음).

도 4의 (e)는, 도 4의 (d)의 시점으로부터, 매우 짧은 시간이 경과한 시점을 나타내고 있다. 본 도면에 나타낸 바와 같이, 2개의 원이 완전히 결합하여 도포 폭의 불균일이 없어지고, 노즐 배치선(20)과 동일 방향으로 연장되는 직선형의 가늘고 긴 도포 패턴이 형성된다.

도 4의 (a)∼도 4의 (e)는, 1회의 토출에 의해 소정 길이(최소 단위)의 선형 도포를 행하는 공정을 나타낸 것이며, 이 공정을 반복함으로써 원하는 길이의 도포선을 형성하는 것이 가능해진다.

도 5의 (a)∼도 5의 (e)는, 복수회의 토출에 의해 선형 도포를 행하는 공정을 나타낸 것이다.

도 5의 (a)는, 제1 발사 직후의 시점을 옆쪽으로부터 본 도면이다.

도 5의 (b)는, 제2 발사 직후의 시점을 옆쪽 및 위쪽으로부터 본 도면이다. 이 시점에서는, 제1 발사에 관련된 2개의 액적은 도포 대상물 상에서 결합을 개시하고 있다.

도 5의 (c)는, 제3 발사 직후의 시점을 옆쪽 및 위쪽으로부터 본 도면이다. 이 시점에서는, 제1 발사에 관련된 2개의 액적의 결합은 더 진전되고, 제2 발사에 관련된 2개의 액적은 도포 대상물 상에서 결합을 개시하고 있다.

도 5의 (d)는, 제4 발사 직후의 시점을 옆쪽 및 위쪽으로부터 본 도면이다. 이 시점에서는, 제1 발사에 관련된 2개의 액적은 완전히 결합하고, 제2 발사에 관련된 2개의 액적의 결합은 더 진전되고, 제3 발사에 관련된 2개의 액적은 도포 대상물 상에서 결합을 개시하고 있다.

도 5의 (e)는, 제５ 발사 직후의 시점을 옆쪽 및 위쪽으로부터 본 도면이다. 이 시점에서는, 제1 발사 및 제2 발사에 관련된 액적은 완전히 결합하고, 제3 발사에 관련된 2개의 액적의 결합은 더 진전되고, 제4 발사에 관련된 2개의 액적은 도포 대상물 상에서 결합을 개시하고 있다.

이와 같이, 본 실시 형태예에서는, 2개의 액체 덩어리를 동시에 토출하는 사이클을 반복함으로써, 원하는 도포선을 형성할 수 있다. 여기에 말하는 도포선에는, 도포된 액체 재료의 폭 방향(길이 방향의 사이드 에지)에 요철(凹凸)이 없는 도 4의 (e)와 같은 직선형 도포선뿐 아니라, 도 4의 (c)나 도 4의 (d)에 개시되는 폭 방향으로 요철이 있는 도포선도 포함된다. 액체 재료의 점도가 상대적으로 높은 경우에는, 도포선의 폭 방향으로 요철이 남는 경우도 있지만, 예를 들면, 접합 시에 눌려 찌그러지는 접착제의 도포의 경우와 같이, 폭 방향으로 요철이 있는 도포선에서도 목적을 달성할 수 있는 경우는 있다. 단, 폭 방향의 요철은 기포의 원인으로 되므로, 홈의 양이 확산 후의 액적의 반경의 1/3 이하로 되도록 제어하는 것이 바람직하다.

그리고, 도포선은 도포 대상물(공작물)의 표면에 일정하게 형성된 막이 아니고, 표면에 융기하도록 형성된 선이다.

본 발명은, 복수의 토출구를 가지는 노즐을 사용하여, 토출 장치와 공작물 테이블을 일정한 속도 V_c로 상대 이동시키면서, 토출의 타이밍을 일정한 간격 T_c로 하여 선형 도포를 행할 수 있게 하고 있는 점에 특별한 효과가 있다고 할 수 있다. 바꾸어 말하면, 본 발명에서는, 토출 장치와 공작물 테이블을 일정한 속도로 상대 이동시키면서, 플런저 로드에 일정한 왕복 동작을 반복시키면서 선형 도포를 행하는 것을 가능하게 하고 있다. 토출의 타이밍을 일정한 간격 T_c로 함으로써 토출량이 일정하게 되어, 토출량 정밀도나 토출 위치 정밀도가 향상된다. 이 때의 간격 T_c는, 복수의 토출구로부터 동시 토출된 복수의 액체 덩어리 중 적어도 하나가, 직전에 토출된 도포 대상물 상의 액체 재료(착탄액)에 결합하여 선형의 도포 패턴을 형성하는 간격으로 하는 것이 바람직하다. 그리고, 직전에 토출된 액체 재료와의 결합은, 착탄과 동시에 되는 경우가 있다면, 착탄 후의 짧은 시간을 거쳐 행해지는 경우도 있다. 전자는, 직전에 토출된 액체 재료가 도포 대상물 상에서 이미 확산되어 있는 경우에 생기는 것이 많다.

바람직한 간격 T_c의 일례로서, V_c×T_c가, 인접하는 토출구 사이의 거리로 되는 간격으로 하는 것을 들 수 있다. 이와 같은 간격으로 설정한 경우, 토출된 복수의 액체 덩어리가 결합하여 생긴 선부(B)와 그 직전에 토출된 복수의 액체 덩어리가 결합하여 생긴 선부(A)의 도포 대상물 상에서의 결합 상태를, 선부(A)를 구성하는 복수의 액체 덩어리의 결합 상태 및 선부(B)를 구성하는 복수의 액체 덩어리의 결합 상태와 동일하게 할 수 있고, 이로써 균일한 직선을 형성하는 효과를 기대할 수 있기 때문이다.

도 13은, 도포 대상물에 착탄된 2개의 액적이, 도포 대상물 상에서 결합하지 않는 경우의 도포 방법의 설명도이다. 본 도면 중, 직선으로 나타낸 것이, 각 회의 토출에서의 토출구(51)의 위치이다.

1회째의 토출로 토출된 2개의 액적(실선 및 망점으로 도시)이 결합하지 않기 때문에, 2회째의 토출에서는, 1회째에 토출된 2개의 액적의 사이가 연락(連絡)되도록 2개의 액적(점선 및 망점으로 도시)의 토출을 행하는 것이 필요해진다. 3회째의 토출에서는, 토출된 액적의 중첩 상태가 모든 장소에서 동일하게 되도록, 2회째에 토출된 진행 방향 측(우측)의 액적과 중첩되도록 2개의 액적(실선 및 사선으로 도시)의 토출을 행하는 것이 필요해진다. 4회째의 토출에서는, 2회째의 토출과 마찬가지로, 3회째에 토출된 2개의 액적의 사이가 연락되도록 2개의 액적(점선 및 사선으로 도시)의 토출을 행하는 것이 필요해진다.

이와 같이, 도 13의 도포 방법에서는, 토출 장치와 공작물 테이블을 일정한 속도로 상대 이동시킨 경우, 토출의 타이밍을 바꾸지 않으면 안된다는 과제가 생긴다. 한편, 토출 장치와 공작물 테이블의 상대 이동 속도를 바꾸면, 액적의 착탄 위치의 제어가 어려워진다는 과제가 생긴다.

이상에서 설명한 제1 실시 형태예의 도포 장치 및 도포 방법에 의하면, 2개의 액체 덩어리를 동시에 토출하여 선형 도포를 행하므로, 하나의 액체 덩어리를 중첩하여 선형 도포를 행하는 경우와 비교하여, 도포 속도를 2배 정도 고속화하는 것이 가능해진다. 이 선형 도포의 고속화는 직선을 도포할 때 특히 유리하고, 예를 들면, 도포 패턴이 1 또는 복수의 직선만으로 구성되는 경우에 현저한 고속화 효과를 나타낸다.

또한, 복수의 토출구를 가지는 노즐을 사용하여, 토출 장치와 공작물 테이블을 일정한 속도로 상대 이동시키면서, 토출의 타이밍을 일정한 간격으로 하여 고정밀도의 선형 도포를 행하는 것이 가능해진다.

<<제2 실시 형태예>>

제2 실시 형태예는, 토출 장치(1)의 노즐 부재(5)가 등피치로 배치된 3개의 토출구를 가지는 점에서 제1 실시 형태예와 상이하고, 그 외의 구성은 제1 실시 형태예와 같다. 이하에서는 제1 실시 형태예와 공통되는 구성에 대해서는 설명을 생략하고, 상이한 구성에 대하여 설명을 행하는 것으로 한다.

도 7의 (a)에 나타낸 바와 같이, 노즐 부재(5)는, 직선인 노즐 배치선(20) 상에 설치된 직경이 동일한 원형의 제1 토출구(51), 제2 토출구(52) 및 제3 토출구(53)를 가지고 있다. 제1 토출구∼제3 토출구(51∼53)의 직경 D₁은, 제1 실시 형태와 동일하다. 제1 토출구(51)와 제2 토출구(52)의 최근접 거리[제1 토출구(51)의 우측단과 제2 토출구(52)의 좌측단의 거리] L₁과, 제2 토출구(52)와 제3 토출구(53)의 최근접 거리[제2 토출구(52)의 우측단과 제3 토출구(53)의 좌측단의 거리] L₂는 같은 길이이다. L₁ 및 L₂는, 어떠한 경우에도 직경 D₁보다 크게 설정되고, 예를 들면, D₁의 2∼10배로 설정된다. 토출 장치(1)를 도포 장치(200)에 탑재할 때는, 노즐 배치선(20)이 원하는 묘화선(직선)의 방향과 일치하도록 배치한다. 제1 실시 형태와 마찬가지로, 공작물 테이블(202) 또는 토출 장치(1)에 회전 기구를 설치하고, 회전 기구에 의해 토출구의 방향을 동적으로 조정해도 된다.

도 7의 (b)에 나타낸 바와 같이, 제1 토출구∼제3 토출구(51∼53)는, 제1 토출 유로(54), 제2 토출 유로(55) 및 제3 토출 유로(56) 및 대경의 토출 유로(57)를 통하여 액실(41)과 연통하고 있다. 제1 토출 유로∼제3 토출 유로(54∼56)는 동일 형상이며, 모두 중심축이 연직 방향에 있다. 즉, 제1 토출 유로∼제3 토출 유로(54∼56)는, 수직 방향으로 평행하게 설치되어 있다.

제2 실시 형태예에 의하면, 한 번의 토출로 세 방울분의 길이의 도포선을 형성하는 것이 가능해진다. 또한, 본 실시 형태에서는 등피치로 배치된 3개의 토출구를 가지는 노즐 부재를 개시했지만, 4개 이상의 동일 형상의 토출구를 등피치로 배치한 노즐 부재로도 동일한 효과가 얻어진다.

<<제3 실시 형태예>>

제3 실시 형태예는, 토출 장치(1)의 노즐 부재(5)가 등피치로 배치된 4개의 토출구를 가지는 점에서 제1 실시 형태예 및 제2 실시 형태예와 상이하고, 그 외의 구성은 제1 실시 형태예 및 제2 실시 형태예와 동일하다. 이하에서는 제1 실시 형태예 및 제2 실시 형태예와 공통되는 구성에 대해서는 설명을 생략하고, 상이한 구성에 대하여 설명을 행하는 것으로 한다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 노즐 부재(5)는, 직선인 노즐 배치선(20) 상에 설치된 큰 원형의 제1 토출구(71) 및 제2 토출구(72), 작은 원형의 제3 토출구(73) 및 제4 토출구(74)를 가지고 있다. 제1 토출구(71) 및 제2 토출구(72)의 직경 D₁은, 예를 들면, 수십㎛∼수㎜이다. 제3 토출구(73) 및 제4 토출구(74)의 직경 D₂는, 직경 D₁의 1/2∼1/10이며, 예를 들면, 수㎛∼수백㎛이다. 큰 원형의 토출구와 작은 원형의 토출구는, 노즐 배치선(20) 상에 교호적으로, 실질적으로 등간격으로 배치되어 있다.

제1 토출구(71)와 제2 토출구(72)의 최근접 거리[제1 토출구(71)의 우측단과 제2 토출구(72)의 좌측단의 거리] L₁의 중간 지점에 제3 토출구(73)가 배치된다. 제1 토출구(71)와 제3 토출구(73)의 최근접 거리 L₂는, 어떠한 경우에도 직경 D₁보다 크게 설정되고, 예를 들면, D₁의 2∼10배로 설정된다. 제4 토출구(74)는, 제2 토출구(72)에 대하여, 제3 토출구(73)와 대칭으로 설치된다. 즉, 제2 토출구(72)와 제4 토출구(74)의 최근접 거리 L₃은, L₂와 동일하다. 토출 장치(1)를 도포 장치(200)에 탑재할 때는, 노즐 배치선(20)이 원하는 묘화선(직선)의 방향과 일치하도록 배치한다. 제1 실시 형태와 마찬가지로, 공작물 테이블(202) 또는 토출 장치(1)에 회전 기구를 설치하고, 회전 기구에 의해 토출구의 방향을 동적으로 조정해도 된다.

도 9는, 제1 토출구∼제4 토출구(71∼74)로부터 동시에 토출된 4개의 액체 덩어리가, 착탄하여 도포 대상물 상에서 확산하는 모양의 이미지도이다. 제1 토출구∼제4 토출구(71∼74)로부터 동시에 토출된 4개의 액적(171∼174)은, 도 9의 상단에 나타낸 바와 같이, 착탄 시에는 서로 독립된 상면에서 볼 때 원형의 물방울이다. 도 9의 중단에 나타낸 바와 같이, 착탄 후 매우 짧은 시간이 경과하면, 4개의 액적(171∼174)은 각각 확산되어, 결합을 개시한다. 여기서, 2개의 보조 액적(173∼174)은, 기본 액적(171∼172)의 결합을 촉진시키도록 작용한다. 최종적으로는, 도 9의 하단에 나타낸 바와 같이, 4개의 원이 완전히 결합하여 도포 폭의 불균일이 없어지고, 노즐 배치선(20)과 동일 방향으로 연장되는 직선형의 가늘고 긴 도포 패턴이 형성된다.

그리고, 각 토출구는 원형으로 하는 것이 바람직하지만, 본 발명의 효과는 원형 이외의 형상에서도 얻을 수 있다. 또한, 토출구가 여러가지 크기의 구멍으로 구성되는 경우, 적어도 가장 큰 토출구는 동일 형상이며 같은 크기로 구성하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 복수의 크기의 구멍의 토출구를 동일 형상이며 같은 크기의 토출구 그룹의 조합(도 8, 10 참조)에 의해 구성한다.

이상과 같이, 2개의 보조 액적(173∼174)은, 기본 액적(171∼172)의 결합을 촉진시키도록 작용한다.

<<제4 실시 형태예>>

제4 실시 형태예는, 토출 장치(1)의 노즐 부재(5)가 여섯 개의 토출구를 가지는 점에서 제1 실시 형태예 내지 제3 실시 형태예와 상이하고, 그 외의 구성은 제1 실시 형태예 내지 제3 실시 형태예와 동일하다. 이하에서는 제1 실시 형태예 내지 제3 실시 형태예와 공통되는 구성에 대해서는 설명을 생략하고, 상이한 구성에 대하여 설명을 행하는 것으로 한다.

도 10에 나타낸 바와 같이, 노즐 부재(5)는, 직선인 노즐 배치선(20) 상에 설치된 직경이 동일한 큰 원형의 제1 토출구(81) 및 제2 토출구(82)와, 노즐 배치선을 따라 배치된 직경이 동일한 작은 원형의 제3 토출구(83), 제4 토출구(84), 제5 토출구(85) 및 제6 토출구(86)를 가지고 있다. 제3 토출구(83) 및 제4 토출구(84)는 노즐 배치선(20)을 협지하여 대칭으로 배치되고, 제5 토출구(85) 및 제6 토출구(86)는 노즐 배치선(20)을 협지하여 대칭으로 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 제1 토출구∼제6 토출구(81∼86)는, 노즐 배치선(20)에 대하여 대칭으로 배치되어 있다. 또한, 바꾸어 말하면, 복수의 토출구가, 복수의 큰 원형의 토출구와 복수의 작은 원형의 토출구 그룹을 포함하고, 큰 원형의 토출구의 모두가 노즐 배치선(20) 상에 배치되고, 작은 원형의 토출구 그룹과 큰 원형의 토출구가 교호적으로 배치되고, 작은 원형의 토출구 그룹은 노즐 배치선(20)을 협지하여 대칭으로 배치된 복수의 작은 원형의 토출구로 구성되어 있다.

제1 토출구(81) 및 제2 토출구(82)의 직경 D₁은, 예를 들면, 수십㎛∼수㎜이다. 제3 토출구(83), 제4 토출구(84), 제5 토출구(85) 및 제6 토출구(86)의 직경 D₂는, 직경 D₁의 1/2∼1/10이며, 예를 들면, 수㎛∼수백㎛이다.

제1 토출구(81)와 제2 토출구(82)의 최근접 거리[제1 토출구(81)의 우측단과 제2 토출구(82)의 좌측단의 거리] L₁의 중간 지점에서 노즐 배치선(20)과 직교하는 직선 상에 제3 토출구(83) 및 제4 토출구(84)가 배치된다. L₁의 중간 지점에서 노즐 배치선(20)과 직교하는 직선과 제1 토출구(81) 및 제2 토출구(82)의 최근접 거리 L₂(=L₁×1/2)는, 어떠한 경우에도 직경 D₁보다 크게 설정되고, 예를 들면, D₁의 2∼10배로 설정된다.

제5 토출구(85) 및 제6 토출구(86)가 배치되는 노즐 배치선(20)과 직교하는 직선과 제2 토출구(72)의 최근접 거리 L₃은, L₂와 동일하다. 토출 장치(1)를 도포 장치(200)에 탑재할 때는, 노즐 배치선(20)이 원하는 묘화선(직선)의 방향과 일치하도록 배치한다. 제1 실시 형태와 마찬가지로, 공작물 테이블(202) 또는 토출 장치(1)에 회전 기구를 설치하고, 회전 기구에 의해 토출구의 방향을 동적으로 조정해도 된다.

그리고, 본 실시 형태예와 같이 대형의 토출구와 소형의 토출구를 가지는 경우에는, 대형의 토출구로부터 토출되는 액체 재료의 토출 방향을 포함하는 평면에 묘화선이 있도록 각 토출구를 배치함으로써, 노즐 배치선(20)을 묘화선의 묘화 방향과 일치시켜도 된다.

직경이 동일한 작은 원형의 제3 토출구∼제6 토출구(83∼86)는, 제1 토출구 및 제2 토출구(81, 82)의 결합부를 원활하게 하기 위한 보조적인 액체 재료를 공급하기 위한 보조 토출구로서 기능한다.

도 11은, 제1 토출구∼제6 토출구(81∼86)로부터 동시에 토출된 여섯개의 액체 덩어리가, 착탄하여 도포 대상물 상에서 확산하는 모양의 이미지도이다. 제1 토출구∼제6 토출구(81∼86)로부터 동시에 토출된 여섯개의 액적(181∼186)은, 도 11의 상단에 나타낸 바와 같이, 착탄 시는 서로 독립된 상면에서 볼 때 원형의 물방울이다. 도 11의 중단에 나타낸 바와 같이, 착탄 후 매우 짧은 시간이 경과하면, 여섯개의 액적(181∼186)은 각각 확산되어, 결합을 개시한다. 최종적으로는, 도 11의 하단에 나타낸 바와 같이, 여섯개의 원이 완전히 결합하여 도포 폭의 불균일이 없어지고, 노즐 배치선(20)과 동일 방향으로 연장되는 직선형의 가늘고 긴 도포 패턴이 형성된다.

이상과 같이, 4개의 보조 액적(183∼186)은, 기본 액적(181∼182)의 결합 시에 생기는 폭 방향의 홈을 신속하게 해소하도록 작용한다. 그리고, 본 실시 형태에서도 각 토출구는 원형으로 하는 것이 바람직하지만, 원형에 한정되지 않는다.

<<제５ 실시 형태예>>

제５ 실시 형태예는, 토출 장치(1)의 노즐 부재(5)의 구성이 제1 실시 형태예 내지 제4 실시 형태예와 상이하고, 그 외의 구성은 제1 실시 형태예 내지 제4 실시 형태예와 동일하다. 이하에서는 제1 실시 형태예 내지 제4 실시 형태예와 공통되는 구성에 대해서는 설명을 생략하고, 상이한 구성에 대하여 설명을 행하는 것으로 한다.

도 12의 (a)에 나타낸 바와 같이, 제５ 실시 형태예의 노즐 부재(5)는, 도면부호 5a로 나타내는 상측 부재와 도면부호 5b로 나타내는 하측 부재로 구성된다. 상단에 플랜지부(58)를 가지고 있고, 이 플랜지부에서 장착 부재(4)에 지지된다. 하측 부재(5b)는 상측 부재(5a)의 하단에 나사 결합되고, 또는 나사 등의 고정구에 의해 착탈 가능하게 고정된다. 하측 부재(5b)는, 상측 부재(5a)에 착탈 가능하게 장착되므로, 토출구의 직경 및 거리, 또는 토출구의 분출 각도가 상이한 복수의 하측 부재(5b)를 용도에 따라 교환하는 것도 용이하다. 하측 부재(5b)를 상측 부재(5a)에 고정시킬 때, 하측 부재(5b)의 방향을 상측 부재(5a)에 대하여 일정하게 하기 위한 위치 결정 기구를 설치하는 것이 바람직하다. 위치 결정 기구로서는 공지의 위치 결정 기구를 사용할 수 있고, 예를 들면, 하측 부재(5b) 또는 상측 부재(5a)의 일부(예를 들면, 핀, 볼록부, 절결)가 다른 쪽의 부재에 끼워맞추어져 위치 결정되는 구성이나, 별도로 준비된 부재(예를 들면, 핀이나 나사)를 사용하여 위치 결정하는 구성을 들 수 있다.

제1 토출구(91)는, 직선형의 제1 토출 유로(93) 및 대경의 토출 유로(95)를 통하여 액실(41)과 연통하고 있다. 또한, 제2 토출구(92)는, 직선형의 제2 토출 유로(94) 및 대경의 토출 유로(95)를 통하여 액실(41)과 연통하고 있다. 제1 토출 유로(93) 및 제2 토출 유로(94)는 동일 형상이며, 모두 노즐 부재의 중심축(59)에 대하여 같은 각도로 경사져 있다. 제1 토출 유로(93)의 중심축과 노즐 부재의 중심축(59)이 구성하는 각도 A₁과 제2 토출 유로(94)의 중심축과 노즐 부재의 중심축(59)이 구성하는 각도 A₂는 같고, 예를 들면, A₁=A₂〈 45°로 설정된다.

본 실시 형태예에서는, 액체 재료의 토출 방향은 중심축(59)의 방향으로서 생각된다.

제５ 실시 형태예에서는, 토출구와 공작물의 거리 h를 Z 구동 장치(205)로 조절함으로써, 동시 토출된 2개의 액체 덩어리의 거리를 조절할 수 있다. 도 12의 (b)는, 토출구와 공작물의 거리가 h_a인 경우와 h_b인 경우의 액적의 거리(중첩 상태)의 이미지도이다. 본 도면으로부터 알 수 있는 바와 같이, 토출구와 공작물의 거리 h를 가깝게 하면 액적 사이의 거리는 멀어지고, 거리 h를 멀리하면 액적 사이의 거리는 작아진다. 단, 본 실시 형태예에서도, 동시 토출된 복수의 액적이, 착탄 전에 접촉 또는 결합하지 않도록 거리 h를 설정하는 것이 중요하다.

이상에서 설명한 제５ 실시 형태예의 도포 장치 및 도포 방법에 의하면, 토출구와 공작물의 거리 h를 조절함으로써, 착탄된 2개의 액적의 거리 내지 중첩 상태를 조절할 수 있다. 따라서, 습도나 실온 등의 분위기 환경의 상이에 의한 액적의 거리 내지 중첩 상태의 상이에 적절히 대응할 수 있다.

토출구의 수는 예시한 2개에 한정되지 않고, 3개 이상이어도 된다. 토출구의 수가 홀수개인 경우에는, 중심에 위치하는 토출구에는 경사를 설정하지 않고, 중심으로부터 같은 거리에 위치하는 쌍으로 되는 토출구를 노즐 부재의 중심축에 대하여 같은 각도로 경사지게 한다.

그리고, 토출구와 공작물의 거리 h를 매우 작은 거리로 설정하는 경우에는, 각 토출구의 분출 각도를 노즐 부재의 중심축으로부터 이격되는 방향(방사형)으로 설정하고, 공작물 상에서 액적을 결합시키는 것도 가능하다.

[산업 상의 이용 가능성]

본 발명은, 공업용 그리스(grease), 납땜 페이스트, 은 페이스트, 각종 접착제(UV 경화형, 에폭시계, 핫멜트계 등), 크림 납땜에 대한 적용은 물론이고, 용제(0.8cps 정도)와 같은 저점성 재료에서 고점성 재료(1,000,000cps 정도)까지의 액체 재료를 적용할 수 있다.

1: 토출 장치, 2: 본체 상부, 3: 본체 하부, 4: 장착 부재, 5: 노즐 부재, 6: 액체 이송 부재, 7: 액재 저장 용기, 8: 에어식 디스펜서, 9: 에어 공급원, 10: 플런저, 11: 피스톤, 12: 실링 부재, 13: 탄성 부재, 14: 스토퍼, 15: 마이크로미터, 16: 전자 전환 밸브, 17: 전환 밸브 제어부, 18: 감압 밸브(레귤레이터), 19: 에어 공급원, 20: 노즐 배치선, 21: 관통공, 22: 하측 챔버, 23: 상측 챔버, 24: 하측 통기구, 25: 상측 통기구, 31: 관통공, 32: 실링 부재, 33: 공급로, 41: 액실, 42: 액체 이송 로, 51: 제1 토출구, 52: 제2 토출구, 53: 제3 토출구, 61: 액체 이송로, 71: 제1 토출구, 72: 제2 토출구, 73: 제3 토출구, 74: 제4 토출구, 81: 제1 토출구, 82: 제2 토출구, 83: 제3 토출구, 84: 제4 토출구, 85: 제5 토출구, 86: 제6 토출구, 91: 제1 토출구, 92: 제2 토출구, 101: 플런저의 선단부, 102: 플런저의 선단부의 측면, 103: 플런저 선단면, 200: 도포 장치, 201: 가대, 202: 공작물 테이블, 203: X 구동 장치, 204: Y 구동 장치, 205: Z 구동 장치, 206: 제어 장치, 213: X 방향, 214: Y 방향, 215: Z 방향, 207: 도포 대상물(공작물), 411: 액실의 내측벽, 412: 액실의 바닥면

Claims (23)

1. 도포 장치를 사용하여 도포 대상물 상에 묘화선(描畵線)을 선형 도포하는 방법에 있어서,
   상기 도포 장치가,
   토출 장치;
   도포 대상물을 탑재하는 공작물 테이블;
   상기 토출 장치와 공작물 테이블을 상대 이동시키는 구동 장치; 및
   상기 토출 장치 및 구동 장치의 동작을 제어하는 제어부
   를 포함하고,
   상기 토출 장치가,
   액체 재료를 토출하는 복수의 토출구를 가지는 노즐;
   상기 복수의 토출구와 복수의 토출 유로를 통하여 연통하는 액실(液室); 및
   상기 액실 내의 액체 재료에 접촉하는 토출 부재
   를 포함하고,
   상기 토출 부재에 의해 상기 액실 내의 액체 재료에 관성력을 부여하여 상기 복수의 토출구로부터 동시에 토출하여, 도포 대상물 상에서 복수의 액적을 형성하고,
   상기 복수의 토출구가, 직선인 노즐 배치선을 따라 상기 노즐에 배치되고,
   상기 노즐 배치선을 상기 묘화선의 묘화 방향과 일치시키고,
   상기 복수의 토출구로부터, 토출된 복수의 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄되기 전에 접촉하지 않고, 또한 상기 노즐 배치선을 따라 착탄된 액체 재료가 도포 대상물 상으로 결합하도록 액체 재료를 토출하여 선형 도포를 행하는,
   도포 방법.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제어부가, 상기 토출 장치와 상기 공작물 테이블을 일정한 속도 V_c를 유지하여 노즐 배치선과 동일한 방향으로 상대 이동시키면서, 상기 토출된 복수의 액체 덩어리 중 적어도 하나가, 직전에 토출된 도포 대상물 상의 액체 재료에 결합하여 묘화선을 형성하도록, 상기 토출 장치와 상기 공작물 테이블의 상대 이동 속도에 따라 토출 타이밍을 일정한 간격 T_c로 하여 선형 도포를 행하는, 도포 방법.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 토출 부재의 추진력을 조절함으로써, 상기 토출된 복수의 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄되기 전에 접촉하지 않고, 또한 상기 노즐 배치선을 따라 착탄된 액체 재료가 도포 대상물 상에서 결합하도록 액체 재료를 토출하는, 도포 방법.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 복수의 토출 유로가, 상기 복수의 토출 유로의 각 중심선이 상기 노즐의 중심선과 교차하도록, 경사를 가지고 배치되고,
   상기 토출구와 도포 대상의 거리 h를 조절함으로써, 액적 사이의 거리를 조절하는, 도포 방법.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 복수의 토출구의 모두가, 상기 노즐 배치선 상에 배치되는, 도포 방법.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 복수의 토출구가 전부 동일한 형상이며, 등피치(equal pitch)로 배치되는, 도포 방법.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 복수의 토출구가 짝수개의 토출구로 이루어지고, 2개의 대형 토출구와, 2개의 소형 토출구를 포함하고, 토출구의 모두가 상기 노즐 배치선 상에 배치되고,
   상기 소형 토출구와 상기 대형 토출구가 상기 노즐 배치선을 따라 교호적으로 배치되는, 도포 방법.
8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 복수의 토출구가 짝수개의 토출구로 이루어지고, 2개의 대형 토출구와 2개의 소형 토출구 그룹을 포함하고, 상기 대형 토출구의 모두가 상기 노즐 배치선 상에 배치되고,
   상기 소형 토출구 그룹과 상기 대형 토출구가 상기 노즐 배치선을 따라 교호적으로 배치되고,
   상기 소형 토출구 그룹이, 상기 노즐 배치선에 대하여 대칭으로 배치된 복수의 소형 토출구로 구성되는, 도포 방법.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 토출 장치 또는 상기 공작물 테이블이 회전 기구를 포함하고,
   상기 회전 기구에 의하여, 상기 노즐 배치선을 상기 묘화선의 묘화 방향과 일치시키는, 도포 방법.
10. 제9항에 있어서,
    상기 선형 도포가, 제1 방향으로 연장되는 직선형 도포선과, 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향으로 연장되는 직선형 도포선을 포함하는 도포 패턴에 따라 행해지는, 도포 방법.
11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 노즐이, 상기 토출 장치에 대하여 착탈 가능하게 고정되어 있고,
    상기 토출 장치가, 상기 노즐 배치선의 방향이 상기 토출 장치에 대하여 일정하게 되도록 상기 노즐을 장착 가능하게 하는 위치 결정 기구를 가지는, 도포 방법.
12. 토출 장치, 도포 대상물을 탑재하는 공작물 테이블, 상기 토출 장치와 공작물 테이블을 상대 이동시키는 구동 장치, 및 상기 토출 장치 및 구동 장치의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 도포 장치에 있어서,
    상기 토출 장치가,
    액체 재료를 토출하는 복수의 토출구를 가지는 노즐;
    상기 복수의 토출구와 복수의 토출 유로를 통하여 연통하는 액실; 및
    상기 액실 내의 액체 재료에 접촉하는 토출 부재를 포함하고,
    상기 토출 부재에 의해 상기 액실 내의 액체 재료에 관성력을 부여하여 상기 복수의 토출구로부터 동시에 토출하고, 도포 대상물 상에서 복수의 액적을 형성할 수 있는 토출 장치로서,
    상기 복수의 토출구가, 직선인 노즐 배치선을 따라 상기 노즐에 배치되고,
    상기 제어부가, 상기 노즐 배치선을 묘화선의 묘화 방향과 일치시킨 상태에서, 상기 복수의 토출구로부터, 토출된 복수의 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄되기 전에 접촉하지 않고, 또한 상기 노즐 배치선을 따라 착탄된 액체 재료가 도포 대상물 상에서 결합하도록 액체 재료를 토출하여 선형 도포를 행하는,
    도포 장치.
13. 제12항에 있어서,
    상기 제어부가, 상기 토출 장치와 상기 공작물 테이블을 일정한 속도 V_c를 유지하여 노즐 배치선과 동일한 방향으로 상대 이동시키면서, 상기 토출된 복수의 액체 덩어리 중 적어도 하나가, 직전에 토출된 도포 대상물 상의 액체 재료에 결합하여 묘화선을 형성하도록, 상기 토출 장치와 상기 공작물 테이블의 상대 이동 속도에 따라 토출 타이밍을 일정한 간격 T_c로 하여 선형 도포를 행하는, 도포 장치.
14. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    상기 제어부가, 상기 토출 부재의 추진력을 조절함으로써, 상기 토출된 복수의 액체 덩어리가 도포 대상물에 착탄되기 전에 접촉하지 않고, 또한 상기 노즐 배치선을 따라 착탄된 액체 재료가 도포 대상물 상에서 결합하도록 액체 재료를 토출하는, 도포 장치.
15. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 토출 유로가, 상기 복수의 토출 유로의 각 중심선이 상기 노즐의 중심선과 교차하도록, 경사를 가지고 배치되어 있는, 도포 장치.
16. 제12항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 토출구의 모두가, 상기 노즐 배치선 상에 배치되는, 도포 장치.
17. 제12항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 토출구가 전부 동일한 형상이며, 등피치로 배치되는, 도포 장치.
18. 제12항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 토출구가 짝수개의 토출구로 이루어지고, 2개의 대형 토출구와, 2개의 소형 토출구를 포함하고, 토출구의 모두가 상기 노즐 배치선 상에 배치되고,
    상기 소형 토출구와 상기 대형 토출구가 상기 노즐 배치선을 따라 교호적으로 배치되는, 도포 장치.
19. 제12항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 토출구가 짝수개의 토출구로 이루어지고, 2개의 대형 토출구와, 2개의 소형 토출구 그룹을 포함하고, 상기 대형 토출구의 모두가 상기 노즐 배치선 상에 배치되고,
    상기 소형 토출구 그룹과 상기 대형 토출구가 상기 노즐 배치선을 따라 교호적으로 배치되고,
    상기 소형 토출구 그룹이, 상기 노즐 배치선에 대하여 대칭으로 배치된 복수의 소형 토출구로 구성되는, 도포 장치.
20. 제12항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 토출 장치 또는 상기 공작물 테이블이 회전 기구를 포함하고,
    상기 제어부가, 상기 회전 기구에 의해, 상기 노즐 배치선을 상기 묘화선의 묘화 방향과 일치시키는, 도포 장치.
21. 제12항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동 장치가, 상기 토출 장치와 상기 공작물 테이블을 상대적으로 직선 이동 가능한 1축 구동 기구를 포함하고,
    상기 노즐 배치선이 상기 1축 구동 기구의 구동 방향과 일치하여 배치되는, 도포 장치.
22. 제12항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 노즐이, 상기 토출 장치에 대하여 착탈 가능하게 고정되어 있고,
    상기 토출 장치가, 상기 노즐 배치선의 방향이 상기 토출 장치에 대하여 일정하게 되도록 상기 노즐을 장착 가능하게 하는 위치 결정 기구를 가지는, 도포 장치.
23. 제12항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 토출 장치가,
    상기 액실보다 소경(小徑)이며, 선단부가 액실 내를 진퇴 이동하는 플런저;
    상기 플런저를 진퇴 이동시키는 플런저 왕복 이동 장치; 및
    상기 액실에 액체 재료를 공급하는 액체 공급 장치를 포함하고,
    상기 플런저의 선단부의 측면과 상기 액실의 내측벽이 비접촉인 상태에서 플런저를 진출 이동 및 진출 정지함으로써 액체 재료에 관성력을 부여하여 상기 복수의 토출구로부터 동시에 토출하는, 도포 장치.

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