TW201527057A - 用於電子元件製造的萬用構件抬升裝置、組件及方法 - Google Patents

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Abstract

茲描述一種用於移動電子元件製造系統的構件的萬用構件抬升裝置。萬用構件抬升裝置包含一軌道；一台車，該台車可沿著該軌道移動；及一抬升裝置，該抬升裝置適於耦接於該台車，該抬升裝置包含一輪件基座、一抬升部，以及一懸臂，該懸臂適於耦接於該構件。正如許多其他態樣所述，茲描述移動電子元件處理系統的構件的電子元件處理系統與方法。

Description

用於電子元件製造的萬用構件抬升裝置、組件及方法 【相關申請】
本申請案主張2013年10月23日於美國提出申請之發明名稱為「用於電子元件製造的萬用構件抬升裝置、組件及方法」之第61/894,873號(律師案卷號21419/USA L)臨時申請案的優先權，該專利參考文獻在此係作為用於所有目的之引用參考使用。
本發明係關於電子元件製造。
傳統的電子元件製造系統(例如半導體元件製造設施(FABs))可包含多個工具，該等工具被安排成相對地靠近。維修這樣的系統是困難的，不只是因為大的構件尺寸，亦因構件的重量所致。傳統上，不同的裝置製造業者一般會提供工具專用的構件抬升器，以便FAB可具有大的抬升類型的組合，大的抬升類型的組合最終會增加了決算成本以及FAB的複雜度。
因此，將需要一種用於使FAB的構件能有效精確的移動的裝置、組件與方法。
在一個態樣中，茲提供一種構件抬升組件。該構件抬升組件包括：一個或更多個軌道；一個或更多個台車，該等台車可沿著該等一個或更多個軌道移動；及一個或更多個抬升裝置，該等抬升裝置適於耦接於該等一個或更多個台車，該等一個或更多個抬升裝置包含一輪件基座、一抬升部，以及一懸臂，該懸臂適於耦接於一構件。
在其他的態樣中，茲提供一種電子元件處理系統。該電子元件處理系統包含：複數個基板處理工具，該等基板處理工具位於一地板上，該基板處理工具之每一者包含半導體元件製造設施(FAB)構件，一個或更多個抬升組件，該等抬升組件適於將一個或更多個該等FAB構件抬升或下降，該等抬升組件包含：一個或更多個軌道；一台車，該台車可沿著該等一個或更多個軌道之每一者移動；以及一抬升裝置，該抬升裝置適於耦接於該台車，該抬升裝置包含一輪件基座、一垂直抬升器、一懸臂，其中該垂直抬升器耦接至該輪件基座，且該懸臂耦接至該垂直抬升器的一可移動部且適於耦接於該等一個或更多個FAB構件。
在其他的態樣中，茲提供一種移動一電子元件處理系統的一構件的方法。該方法包含以下步驟：提供一軌道，該軌道包含一台車；將一抬升裝置置於該軌道上方；將該抬升裝置耦接於該台車；將該抬升裝置的一懸臂耦接於該構 件；藉由移動該懸臂而將該構件抬升；以及將該抬升裝置沿著該單軌軌道移動至一所期望的位置。
茲提供許多根據本發明的這些和其他實施例的其它態樣。本發明的實施例的其它特徵和態樣將從以下詳細的描述、所附的申請專利範圍以及圖式中更充分明顯的揭露。
100‧‧‧電子元件處理系統
101A~C‧‧‧工具
102A~E‧‧‧構件
104‧‧‧構件抬升組件
105‧‧‧構件抬升組件
108‧‧‧軌道
106‧‧‧抬升裝置
110‧‧‧台車
112‧‧‧輪件基座
114‧‧‧抬升部
114M‧‧‧可移動部
114S‧‧‧固定部
116‧‧‧懸臂
118‧‧‧輪件
120‧‧‧輪軌
121‧‧‧基座
122‧‧‧台車框架
123‧‧‧牽引手把
124‧‧‧台車輪件
126‧‧‧側輪件
132‧‧‧橋形支架
108C‧‧‧捕獲通道
506‧‧‧抬升裝置
506C‧‧‧抬升裝置
506D‧‧‧抬升裝置
516A~D‧‧‧懸臂部
516F‧‧‧懸臂部
516E‧‧‧關節運動部
Z‧‧‧軸
X‧‧‧軸
128‧‧‧抬升接合特徵
130‧‧‧台車接合特徵
134‧‧‧地板
134T‧‧‧地磚
950‧‧‧地板基座
952‧‧‧第一地板結構
954‧‧‧第二地板結構
955‧‧‧開放區
1054‧‧‧地板子支撐座
1056‧‧‧軌道支撐座
1058‧‧‧地板支撐座
1060‧‧‧抬升器盒
1300‧‧‧製造系統
1404‧‧‧抬升組件
1406‧‧‧抬升裝置
1470‧‧‧穩定器
1472‧‧‧曲柄
1404‧‧‧抬升組件
1600‧‧‧方法
1602‧‧‧方法
1604‧‧‧方法
1606‧‧‧方法
1608‧‧‧方法
1610‧‧‧方法
1612‧‧‧方法
1704‧‧‧構件抬升組件
1706‧‧‧抬升裝置
1708‧‧‧軌道
1710‧‧‧台車
1712‧‧‧輪件基座
1714‧‧‧抬升部
1714M‧‧‧可移動部
1714S‧‧‧固定部
1716‧‧‧懸臂
1774‧‧‧地磚
1774A‧‧‧通路地磚
1756‧‧‧軌道支撐座
1757‧‧‧通路門
1818‧‧‧伸縮輪件
1823‧‧‧牽引手把
1880‧‧‧輪件
1830S‧‧‧台車接合特徵
1830‧‧‧台車接合特徵
1922‧‧‧台車框架
1924‧‧‧台車輪件
1925‧‧‧把手
1926‧‧‧側輪件
1927‧‧‧保險桿阻擋件
1928‧‧‧抬升接合特徵
1928S‧‧‧抬升接合特徵
1978‧‧‧通道
2175‧‧‧上表面
2176‧‧‧溝槽
2177‧‧‧銷
2178‧‧‧沉埋孔
第1圖繪示根據實施例的包含多個構件抬升組件的電子元件製造系統的透視圖。
第2圖繪示根據實施例的構件抬升組件的抬升裝置的透視圖。
第3圖繪示根據實施例的包含經耦接的抬升裝置的雙抬升組件的透視圖。
第4圖繪示根據實施例的耦接於可在軌道上移動的台車的雙抬升組件的透視圖。
第5A圖繪示根據實施例的經儲存的配置中所示的抬升裝置的透視圖。
第5B圖繪示根據實施例的包含進行關節運動的懸臂的配置的抬升裝置的俯視平面圖。
第5C與5D圖繪示根據實施例的可替代的進行關節運動的抬升裝置的透視圖。
第6圖繪示根據實施例的雙抬升裝置的透視圖。
第7圖繪示根據實施例的台車與懸臂抬升器的連接的部分剖面側視圖。
第8圖繪示根據實施例的台車的透視圖。
第9圖繪示根據實施例的構件抬升組件的部分與地板部分的分解圖。
第10圖繪示根據實施例的包含多個構件抬升組件的電子元件製造系統的另一個透視圖。
第11圖繪示根據實施例的安裝於地板結構的構件抬升組件的安裝於地板下方的軌道的部分側視圖。
第12圖繪示根據實施例的安裝於可替代的地板結構的構件抬升組件的安裝於地板下方的軌道的部分側視圖。
第13圖繪示根據實施例(所示為被置於兩個不同的抬升高度)的包含多個構件抬升組件的電子元件製造系統的另一個透視圖。
第14圖繪示根據實施例的包含穩定器的構件抬升組件的部分分解圖。
第15圖繪示根據實施例的地板結構內的構件抬升組件的部分的側視圖。
第16圖繪示根據實施例的移動構件的方法的流程圖。
第17圖繪示根據實施例的構件抬升組件的可替代的實施例的透視圖。
第18A圖繪示根據實施例的構件抬升組件的可替代的實施例的側視圖。
第18B圖繪示根據實施例的抬升裝置的可替代的實施例的部分側視圖。
第18C圖繪示根據實施例的抬升裝置的可替代的實 施例的部分端視圖。
第19A~19B圖分別繪示根據實施例的構件抬升組件的台車的可替代的實施例的透視圖與俯視圖。
第19C圖繪示根據實施例的台車的可替代的實施例的端視圖。
第20圖繪示根據實施例的包含模組化地磚結構與通路地磚的台車的可替代的配置的透視圖。
第21A~21B圖分別繪示根據實施例的台車的地磚的透視圖與端視圖。
在一個態樣中，發明的實施例提供構件抬升組件。構件抬升組件可被用在電子元件處理系統100中，例如在FAB中以將FAB的構件移動(即，提高、降低、和/或移動)。構件抬升組件可在FAB的工具101A、工具101B以及工具101C中之每一者上使用模組化構件，藉此降低不同類型的抬升器的數量。例如，每一個FAB的工具101A、工具101B、工具101C可由不同供應器所提供。工具101A-101C可適於在基板上執行任何數量的處理步驟，例如沉積、氧化、硝化、蝕刻、拋光、清洗、微影術，或類似處理。其他處理亦可被執行於其中。基板(如在此所使用)將意指用以製造電子元件或電路構件的物件，例如半導體晶圓、含矽晶圓、玻璃板、玻璃面板、遮罩或類似物件。
一個或更多個構件抬升組件104可被用以將FAB的構件102A-102E移動。在其他的態樣中，構件抬升組件104 係為模組化而利用多種常用子構件。因此構件抬升組件104具高可撓性與可調整性。
根據本發明的一個或更多個實施例，茲提供構件抬升組件104(如在此之第1~15圖所示)。構件抬升組件104包含一個或更多個軌道108、一台車(truck)110(第4、7與8圖)以及抬升裝置106(例如所示之懸臂抬升器)，其中台車110為可移動的，其可沿著一個或更多個軌道108移動。抬升裝置106被配置成且適於耦接至台車110。
此刻參考第2圖，抬升裝置106(在所示之實施例中)包含輪件基座112、抬升部114(耦接至輪件基座112)，以及懸臂116(適於耦接至意圖被移動之構件102A~102E)。
第2與5A圖繪示了根據本發明的實施例的抬升裝置106的範例性模組化實施例的透視圖，其中抬升裝置106可與構件抬升組件104一起使用。輪件基座112可包含三或更多輪件118，輪件118適於接觸地板或FAB。輪件118可被安裝至輪軌120，輪軌120耦接至基座121。輪軌120可以從一側至另一側或從前側至背側的方式延伸通過基座121且可支撐基座121。水平儀可包含在輪件基座112內且可對地板作用或作用於基座112與輪軌120之間且為可操作的以將抬升裝置106加以水平校準或進一步支撐抬升裝置106。T形牽引手把123可耦接至輪件基座112。可選地，輪件基座112可被經馬達驅動的驅動系統(例如伺服馬達，或類似馬達)沿著軌道108而驅動。
如第1、4與9圖的最佳示例，構件抬升組件104可 包含一個或更多個軌道108(可包含包括捕獲通道(captured channel)108C在內的單軌)，捕獲通道108C適於捕獲在其內的台車110。如所示，捕獲通道108C可包含C形剖面。台車110可被捕獲通道108C所捕獲因此僅提供少量的間隙，其中捕獲通道108C係藉由調整台車輪件124的尺寸使之相當接近通道的頂部(例如僅差幾釐米)來完成。其他軌道形狀可被使用。尤其是，軌道108可具有單軌，該單軌以地板下方的配置的方式安裝。軌道108可被安裝至軌道支撐，或另被安裝至懸吊的地板結構。
如第1、4、9、10以及13所示，一個或更多個軌道108包含複數個單軌且一個或更多個軌道108彼此可在實質平行的方向。一個軌道108可位於每個工具之間或與每個工具並排或兩者皆有。在一些實施例中，茲提供個別軌道。
第7與第8圖所示為可與構件抬升組件104一起使用的台車110的一個實施例。台車(truck)110可包含台車框架122與四個或更多個台車輪件124，台車輪件124可旋轉地耦接至軌道框架122且適於接合軌道108(例如單軌)。台車輪件124可調整尺寸以便位於接近軌道108的頂部與底部的各自的相鄰處。六個台車輪件124可被包含於一些實施例中。其他數量的台車輪件124可被使用。側輪件126可被安裝至台車框架122，例如在台車框架122各自的端部上。側輪件126有助於維持在軌道108的捕獲通道108C內的台車110的側邊對側邊方向。側輪件126可經尺寸調整以便位於接近軌道108的側邊部的各自的相鄰處。所示為四個側輪件126，但 其他數量的側輪件126可被使用。可選地，台車輪件124與/或側輪件126可為偏心可調整的或另外可被偏移以當在軌道108移動時盡量減少間隙。
在一個或更多實施例中(如第7圖所示)，抬升裝置106可閂鎖至台車110。在一些實施例中，抬升裝置106可從台車110拆卸下來。這個可閂鎖與/或可拆卸的功能可由兩個或更多個抬升接合特徵128所提供，抬升接合特徵128被配置成且適於與兩個或更多個抬升裝置106的台車接合特徵130接合在一起。抬升接合特徵128可為孔洞，該等孔洞形成於台車框架122內。台車接合特徵130可為銷或其他類似物。在一些實施例中，台車接合特徵130係可從輪件基座112延伸且伸縮或進入輪件基座112。延伸與伸縮可由任何合適的機構所完成，例如樞轉閂鎖、曲柄、槓桿、手輪或類似物(未示出)。
現參考至第2圖，構件抬升組件104的抬升裝置106可包含例如耦接至輪件基座112的抬升部114的垂直抬升器。抬升部114可包含固定部114S，固定部114S耦接至輪件基座112，且抬升部114包含可移動部114M，可移動部114M係相對於固定部114S可移動。懸臂116可耦接至可移動部114。抬升部114的抬升機構的操作將懸臂116以及任何經耦接的構件舉起。抬升機構可為高負載垂直抬升器馬達，高負載垂直抬升器馬達耦接至機架和齒輪傳動或類似物。任何合適的抬升機構(包含一手動曲柄或幫浦式抬升機構)可被使用。在一些實施例中，可移動部114M可為相對於固定部114S 是可伸縮的(telescopeable)。同樣地，懸臂116可從可移動部114M橫向延伸。懸臂116還可以是繞可移動部114M的垂直軸旋轉。
在一些實施例中(如第1、3、4和6圖所示)，構件抬升組件105可被建構成包含第一抬升裝置106，第一抬升裝置106耦接至在工具(例如，工具101A)的第一側上的第一台車110，且構件抬升組件105可被建構成包含第二抬升裝置106，第二抬升裝置106耦接至在工具(例如，工具101A)的第二側上的第二台車110，以便跨越該工具。抬升裝置106的各自的懸臂116可與橋形支架132耦接在一起。其他合適的介於懸臂116之間的連接可被使用。
第9圖繪示地板組件的不同部分的分解視圖。尤其是，地板134(由複數個地磚134T所組成(其中之一些有標記))可從地板基座950由第一地板結構952與第二地板結構954所抬升。地板基座950可由任何剛性基座結構所製成，例如混凝土或鋼筋與混凝土之組合。例如，第一地板結構952可為可以是I形樑的剛性網格狀結構。第二地板結構954可機械地耦接至第一地板結構952(例如藉由緊固件與支架)。例如，第二地板結構954可為可以是I形樑的剛性網格狀結構。第二地板結構954運作以支撐地板134，且特別是支撐地磚134T。第二地板結構954內的開放區955可接收軌道108。在一些實施例中，軌道108可耦接至第二地板結構954。在一些實施例中，軌道108可耦接至第一地板結構952。
此外(或可選地)，軌道108可相對於地板基座950 而由第11與12圖所示之軌道支撐座1056所支撐。第11與12圖繪示了一些地板裝置，包含軌道108，其以地板下方的配置的方式被提供，即地板134下方。地板支撐座1058可直接耦接至地板子支撐座1054(第11圖)，或耦接至第一地板結構952與第二地板結構954(第12圖)。抬升器盒1060可包含在內。
第10圖所示為另一個電子元件處理系統100。電子元件處理系統100包含複數個位於地板134上的基板處理工具101A、101B、101C，基板處理工具中之每一個包含FAB構件，該FAB構件可被移動以用於維修而安裝或移除。茲提供一個或更多構件抬升組件104、105，且構件抬升組件104、105適於且可操作以將一個或更多個FAB構件抬升或下降。構件抬升組件104、105可包含或更多軌道108，軌道108具有台車110，台車110可沿著一個或更多個軌道108中之每一者移動。構件抬升組件104、105的抬升裝置106(例如第2與7圖所示之抬升裝置106)中之每一者適於耦接至台車110。抬升裝置106可包含(如之前所討論的)輪件基座112、抬升部114，以及懸臂116，其中抬升部114耦接至輪件基座112，懸臂116耦接至抬升部114的可移動部114M且適於耦接至一個或更多個FAB構件。使用於構件抬升組件104、105內之複數個抬升裝置106之每一者可為相同的。如所示，一個或更多軌道108被安裝於地板134之下。一旦抬升裝置106被移除，軌道110上方之地磚可被取代。抬升裝置106可被儲存於第5A圖所示之折疊式配置內。
第5B圖繪示了抬升裝置506的另一個實施例。在這個實施例中，懸臂516包含多件式結構，包含複數個懸臂部(懸臂部516A~516D)。在所示之實施例中，懸臂部516B~516D可關節運動(也就是可在水平面上(如所示)相對於彼此旋轉)。懸臂516可包含(在一個或更多個實施例中)兩個部分，該等兩個部分可相對於彼此來回運動，例如第一懸臂部516A與第二懸臂部516B。這樣使懸臂516上的連接點從軌道108被橫向移除。假設懸臂516包含關節運動的能力，關節運動懸臂部的數量可包含只有一個(如第三懸臂部516C)、兩個(第三懸臂部516C與第四懸臂部516D)、或甚至大於兩個。額外的進行關節運動懸臂部可依所期望的藉由移除關節運動的關節上的樞軸的銷而增加或移除。
再者，如第5C與5D圖所示，茲提供具有其他類型的鉸鏈關節以及具有關節運動能力的抬升裝置506C、506D。例如，第5C圖繪示了抬升裝置506C，抬升裝置506C具有關節運動部516E，關節運動部516E對X軸進行關節運動。第5D圖所示之抬升裝置506D可包含懸臂，該懸臂具有鉸鏈關節，鉸鏈關節使懸臂部516F對Z軸(例如垂直軸)進行關節運動。然而，其他實施例可對Y軸或任何所期望的水平軸進行關節運動。一些實施例甚至可包含球形關節，該球形關節介於懸臂部之間。任何合適的連接可被使用以將待移除之構件連接至懸臂部，例如鉤、電纜、鏈、平板、或類似物。
第13~15圖繪示了製造系統1300，包含基板處理工具101A~101C以及多個抬升組件1404。抬升組件1404相 似於前述幾個元件，包含抬升裝置1406、台車110，以及軌道108。抬升裝置1406的這個實施例包含多個穩定器1470。穩定器1470可被曲柄1472或其他合適的機構下降以接合地板134。
茲提供根據第16圖的流程圖所示之本發明實施例的一種用於移動電子元件處理系統的構件的方法1600。方法1600包含(1602中)提供一軌道(例如軌道108)，軌道包含台車(例如台車110)；將抬升裝置(例如裝置106、506C、506、1406)定位1604中內的軌道上方；1606中將抬升裝置耦接至的台車；1608中將抬升裝置的懸臂(例如懸臂116、516E、516F)耦接至的構件(例如基板處理工具101A~101C的構件)；1610中藉由移動的懸臂將構件抬升；及1612中沿軌道將抬升裝置移動至所期望的位置。
第17~21B圖繪示了構件抬升組件1704的其他實施例與構件抬升組件1704的不同部分。如第17與18A圖的最佳示例所示，構件抬升組件1704包含軌道1708、可沿軌道1708移動的台車1710，以及適於耦接於台車1710的抬升裝置1706。抬升裝置1706(如前述)可包含輪件基座1712、抬升部1714，以及懸臂1716，懸臂1716適於耦接於工具(未示)的構件使構件被移動(例如安裝或移除)。懸臂1716可包含多個懸臂部且可包含關節運動的能力。正如以往，抬升部1714耦接於輪件基座1712，且抬升部1714包含耦接於輪件基座1712的固定部1714S，以及可相對於固定部1714S移動的可移動部1714M，以及耦接於可移動部1714M的懸臂 1716。例如，可移動部1714M可在支架上上下移動，支架形成於固定部1714S上。合適的馬達可被使用以完成抬升，該等馬達可被建立在抬升裝置1706中。
在此實施例中，軌道1708可由複數個地磚1774(其中一些有標記)所製成。軌道1708可包含多個軌道段，其中一些可與其他相交。第17圖所示為兩個相交軌道段，可理解的是任何數量的軌道段可被使用，例如介於工具之間的軌道段、與工具並排的軌道段、在一個或更多個工具的端部的軌道段，以及前述各者的其他方向或組合的軌道段。每一個軌道段可由複數個地磚1774所製成。每個地磚1774可由軌道支撐座1756(其中一些有標記)所支撐。軌道支撐座1756可耦接於地板，例如地板基座950，或其他中介結構，例如第一支撐結構952。如所示，每個地磚1774由四個軌道支撐座1756所支撐直接，例如在地磚1774的角落。地磚1774可被安排在列中以形成軌道1708且每個地磚1774可藉由緊固件(例如螺栓或類似物)耦接於四個地磚支撐座1756。現有的高架地板結構(未示)可被切割出來以允許地磚1774與軌道支撐座1756的安裝。例如，地磚1774可被安裝而與現有高架地板齊平。
第21A~21B圖繪示了地磚1774的一個實施例。地磚1774包含上表面2175，抬升裝置1706的輪件1880會在上表面2175上行駛(見第18C圖)。地磚1774包含溝槽2176，溝槽2176可與T形溝槽相間隔。溝槽2176可從地磚1774的一端延伸至地磚1774的另一端。台車1710的台車輪件1924 可行駛於溝槽2176中。台車1710的側輪件1926(見第19A圖)可行駛於溝槽2176內。據此，台車1710可被保留在軌道1708之內且可被限於側邊至側邊的運動、垂直運動，以及傾翻/搖擺運動。然而，台車1710可軸向地在溝槽中2176來回移動。地磚1774可包含一端上的一個或更多個銷2177，該端被容納在孔洞中，該孔洞位在下一個相鄰的地磚1774的一端。以此方式，溝槽2176可從地磚1774向下一個相鄰的地磚對準。其他合適的對準手段可被使用。茲提供沉埋孔2178以接收緊固件(未示)以將地磚1774緊固至軌道支撐座1756。
如第17與20圖所示，一個地磚(例如通路地磚1774A)可包含通路門1757。由於軌道1708由高架地板所圍繞，通路門1757可被抬升且允許一個或更多個台車1710藉由將台車輪件1924插入溝槽2176而被安裝在軌道1708上。
在這個實施例中，台車1710(如第19A~19C圖所示)可包含具有台車輪件1924以及側輪件1926的台車框架1922，其中側輪件1926耦接於台車框架1922且可在其上旋轉。台車輪件1924可接合於溝槽2176的水平部且運行在溝槽2176的水平部上。側輪件1926接合於溝槽2176的垂直部且運行在溝槽2176的垂直部上。台車輪件1924與側輪件1926可由任何合適的硬材料所製成，例如金屬、硬橡膠、熱塑性塑料彈性體、聚氨酯，上述各者的組合，或類似的材料。其它類型的輪件也可被使用。
台車1710的上側可包含一個或更多個抬升接合特徵1928，抬升接合特徵1928適於與抬升裝置1706上的一個 或更多個台車接合特徵1830接合在一起。在這個實施例中，抬升接合特徵1928可為兩個載架，載架形成維持通道1978，維持通道1978可被配置成用以接收互補形狀的第18C圖所示之台車接合特徵1830。抬升接合特徵1928與台車接合特徵1830合作以將抬升裝置1706限制成沿軌道1708線性移動(亦藉由將抬升裝置1706繫於軌道因而抬升裝置1706不能橫向移動或相對於軌道1708略微傾斜/晃動)，因此穩定抬升裝置1706與將抬升裝置1706固定至軌道1708。
台車1710可包含一個或更多個把手1925，把手1925被配置成協助台車1710安裝於軌道1708上。台車1710可包含保險桿阻擋件1927，保險桿阻擋件1927在一個或更多個端部上以將台車1710的移動限制在抬升裝置1706下方。一個或更多個次要抬升接合特徵1928S(例如所示溝槽)可被包含於台車1710上且被配置成將台車1710在軌道1708的方向上連接且閂鎖至抬升裝置1706，使得台車1710與抬升裝置1706僅可沿著軌道1708一起移動。任何事的次要台車接合特徵1830S可被使用，例如加載彈簧的鎖閂螺釘或類似物。
此刻參考第18B與18C圖，抬升裝置1706(僅示一部分)可包含輪件基座1712，其中一個或更多個牽引手把1823耦接至輪件基座1712。在此實施例中，輪件基座1712包含負載輪件1880以及伸縮輪件1818兩者。負載輪件1880與台車輪件1924一起承載著因抬升裝置1706所為之構件的抬升所致的垂直負載以及動量。當抬升裝置1706被移動離開軌道1708時，伸縮輪件1818可被使用以提供額外穩定度。
前面的描述僅公開本發明的示例實施例。上述公開的裝置、系統，以及方法的調整(其落入本發明的範圍之內)將是顯而易見的那些普通技術人員所熟知。因此，雖然本發明已經結合示例實施例而公開，但是應該理解的是，其他實施例可能落入(由所附申請專利範圍所限定的)本發明的範圍之內。
1704‧‧‧構件抬升組件
1706‧‧‧抬升裝置
1708‧‧‧軌道
1710‧‧‧台車
1712‧‧‧輪件基座
1714‧‧‧抬升部
1716‧‧‧懸臂
1774‧‧‧地磚
1774A‧‧‧通路地磚
1756‧‧‧軌道支撐座
1757‧‧‧通路門

Claims (20)

  1. 一種構件抬升組件，該構件抬升組件包括：一個或更多個軌道；一個或更多個台車，該等台車可沿著該等一個或更多個軌道移動；及一個或更多個抬升裝置，該等抬升裝置適於耦接於該等一個或更多個台車，該等一個或更多個抬升裝置包含一輪件基座、一抬升部，以及一懸臂，該懸臂適於耦接於一構件。
  2. 如請求項1所述之構件抬升組件，其中該等一個或更多個軌道包含一單軌，該單軌包含一捕獲通道(captured channel)，該捕獲通道適於捕獲在該捕獲通道內的一台車。
  3. 如請求項1所述之構件抬升組件，其中該等一個或更多個軌道包含一單軌，該單軌以地板下方的配置的方式安裝。
  4. 如請求項1所述之構件抬升組件，其中該等一個或更多個軌道包含複數個地磚。
  5. 如請求項1所述之構件抬升組件，其中該等一個或更多個台車包含一台車框架以及四個或更多個台車輪件，該等台車輪件旋轉地耦接於該台車框架且適於接合於該等一個或更多個軌道。
  6. 如請求項1所述之構件抬升組件，其中該等一個或更多個台車包含一個或更多個側輪件。
  7. 如請求項1所述之構件抬升組件，其中該等一個或更多個台車包含一台車框架以及台車輪件以及側輪件，該等側輪件旋轉地耦接於該台車框架，且該等台車輪件以及側輪件被配置成在形成於一地磚內的溝槽內移動。
  8. 如請求項1所述之構件抬升組件，其中該等一個或更多個台車包含兩個或更多個抬升接合特徵，該等抬升接合特徵適於與兩個或更多個台車接合特徵在該抬升裝置上接合在一起。
  9. 如請求項1所述之構件抬升組件，其中該輪件基座包含兩個或更多個台車接合特徵，該等台車接合特徵適於將兩個或更多個抬升接合特徵接合於該等一個或更多個台車的一台車上。
  10. 如請求項1所述之構件抬升組件，其中該等一個或更多個抬升裝置包含一抬升部，該抬升部耦接於該輪件基座，該抬升部包含一固定部、一可移動部，以及一懸臂，該固定部耦接於該輪件基座，且該可移動部可相對於該固定部移動，且該懸臂耦接於該可移動部。
  11. 如請求項10所述之構件抬升組件，其中該可移動部相對於該固定部是可伸縮的(telescopeable)。
  12. 如請求項10所述之構件抬升組件，其中該懸臂包含多個懸臂部。
  13. 如請求項12所述之構件抬升組件，其中該等多個懸臂部的至少一些包含進行關節運動的能力。
  14. 如請求項1所述之構件抬升組件，包含一第一抬升裝置以及一第二抬升裝置，該第一抬升裝置耦接於一第一台車且該第二抬升裝置耦接於一第二台車，且其中該等第一抬升裝置與第二抬升裝置的分別的懸臂與一橋形支架相耦接。
  15. 一種電子元件處理系統，該電子元件處理系統包含：複數個基板處理工具，該等基板處理工具位於一地板上，該基板處理工具之每一者包含半導體元件製造設施(FAB)構件；一個或更多個抬升組件，該等組件適於將一個或更多個該FAB構件抬升或下降，該等抬升組件包含：一個或更多個軌道；一台車，該台車可沿著該等一個或更多個軌道之每一者移動；以及一抬升裝置，該抬升裝置適於耦接於該台車，該抬升裝 置包含一輪件基座、一垂直抬升器、一懸臂，其中該垂直抬升器耦接至該輪件基座，且該懸臂耦接至該垂直抬升器的一可移動部且適於耦接於該等一個或更多個FAB構件。
  16. 如請求項15所述之電子元件處理系統，其中該等一個或更多個軌道包含複數個軌道以及複數個相同的抬升裝置，該等抬升裝置之每一者耦接於一軌道且沿著每個軌道移動。
  17. 如請求項15所述之電子元件處理系統，其中該台車包含兩個或更多個抬升接合特徵，該等抬升接合特徵適於與兩個或更多個台車接合特徵在該抬升裝置上接合在一起。
  18. 如請求項15所述之電子元件處理系統，其中該等一個或更多個軌道被安裝於該地板下方。
  19. 如請求項15所述之電子元件處理系統，其中該抬升裝置可從該台車拆卸下來。
  20. 一種移動一電子元件處理系統的一構件的方法，該方法包含以下步驟：提供一軌道，該軌道包含一台車；將一抬升裝置置於該軌道上方；將該抬升裝置耦接於該台車；將該抬升裝置的一懸臂耦接於該構件； 藉由移動該懸臂而將該構件抬升；以及將該抬升裝置沿著該軌道移動至一所期望的位置。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106629489A (zh) * 2017-01-18 2017-05-10 中信戴卡股份有限公司 一种夹盘拆卸转运装置
US11465843B2 (en) 2020-02-25 2022-10-11 Crown Equipment Corporation Materials handling vehicle and goods storage and retrieval system comprising mobile storage carts, transporters, and materials handling vehicles
US11465839B2 (en) 2020-02-25 2022-10-11 Crown Equipment Corporation System comprising a multilevel warehouse racking system comprising tote transfer zones, materials handling vehicles, and transporters, and methods of use thereof
CN111498704A (zh) * 2020-04-28 2020-08-07 王振川 一种车体式龙门起重机
CN113291989A (zh) * 2020-04-28 2021-08-24 阿里巴巴集团控股有限公司 可移动悬臂吊
TW202213597A (zh) * 2020-06-05 2022-04-01 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 基板處理設備、反應器移動器、及維修基板處理設備的反應器之方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3237798A (en) * 1962-10-04 1966-03-01 Delmar L Hampl Hydraulic load carrier
US3160115A (en) * 1963-02-25 1964-12-08 Si Handling Systems Tow truck system
GB1162405A (en) * 1967-08-26 1969-08-27 Mobile Lifting Services Ltd Improvements in or Relating to Mobile Lifting Equipment
US4227464A (en) * 1978-09-22 1980-10-14 Wallace Bernard E Gantries
AU666004B2 (en) 1992-06-09 1996-01-25 Gradash Pty Ltd Heavy equipment jack
FR2699581B1 (fr) * 1992-12-23 1995-02-24 Mirai Ind Structure pour la pose de câbles ou de canalisations sous un plancher.
US5575220A (en) * 1995-06-20 1996-11-19 Kone Wood Inc. Side roller assembly for gantry crane bridge wheels
US6450514B1 (en) * 1998-07-23 2002-09-17 Anthony Ronca Dolly for moving large sheets
CN1151910C (zh) * 1999-01-15 2004-06-02 阿西斯特技术公司 工件处理机器人
KR100364316B1 (ko) * 2000-04-12 2002-12-11 삼성전자 주식회사 작업물 용기의 무인이송장치와 이를 이용한 작업물 용기의전달방법
US20020025244A1 (en) * 2000-04-12 2002-02-28 Kim Ki-Sang Transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same
TW514618B (en) * 2000-04-12 2002-12-21 Samsung Electronics Co Ltd A transfer system and apparatus for workpiece containers and method of transferring the workpiece containers using the same
US6688838B2 (en) 2002-03-04 2004-02-10 Applied Materials, Inc. Cleanroom lift having an articulated arm
US20040191032A1 (en) 2002-07-19 2004-09-30 R. Foulke Development Company, Llc Bi-directional arm and storage system
JP4063781B2 (ja) * 2004-03-04 2008-03-19 株式会社ラインワークス 搬送装置
WO2007025199A2 (en) * 2005-08-26 2007-03-01 Flitsch Frederick A Multi-level cleanspace fabricator elevator system
JP4967318B2 (ja) 2005-11-18 2012-07-04 ムラテックオートメーション株式会社 ストッカ
KR100739632B1 (ko) * 2005-12-21 2007-07-13 삼성전자주식회사 반도체 모듈 테스트 설비
JP4867493B2 (ja) * 2006-06-16 2012-02-01 中西金属工業株式会社 コンベア装置
WO2010026404A1 (en) * 2008-09-02 2010-03-11 Titan Torque Services Limited Downhole tool protector apparatus and method
JP5569544B2 (ja) 2012-01-31 2014-08-13 株式会社安川電機 搬送ロボット
KR101270190B1 (ko) * 2012-11-13 2013-05-31 주식회사 삼덕티엘에스 포스트안전지지수단이 구비된 조립식 갠트리 크레인

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Publication number Publication date
JP2016535710A (ja) 2016-11-17
TWI708668B (zh) 2020-11-01
US20150110586A1 (en) 2015-04-23
CN105659374B (zh) 2019-10-01
US10071887B2 (en) 2018-09-11
KR102308847B1 (ko) 2021-10-01
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