KR20160074665A - 전자 디바이스 제조를 위한 범용 컴포넌트 리프트 장치, 조립체들, 및 방법들 - Google Patents

전자 디바이스 제조를 위한 범용 컴포넌트 리프트 장치, 조립체들, 및 방법들 Download PDF

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제프리 씨. 허진스
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Abstract

전자 디바이스 제조 시스템들의 컴포넌트들을 이동시키기 위한 범용 컴포넌트 리프트 장치가 설명된다. 범용 컴포넌트 리프트 장치는 트랙, 트랙을 따라 이동 가능한 트럭, 및 트럭에 커플링되도록 이루어진 리프트 장치를 포함하고, 리프트 장치는 바퀴달린 베이스, 리프트 부분, 및 컴포넌트에 커플링되도록 이루어진 붐을 포함한다. 많은 다른 양태들로서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템들 및 전자 디바이스 프로세싱 시스템들의 컴포넌트들을 이동시키는 방법들이 설명된다.

Description

전자 디바이스 제조를 위한 범용 컴포넌트 리프트 장치, 조립체들, 및 방법들{UNIVERSAL COMPONENT LIFT APPARATUS, ASSEMBLIES, AND METHODS FOR ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING}
관련 출원
[0001] 본 출원은, 2013년 10월 23일에 출원된, "UNIVERSAL COMPONENT LIFT APPARATUS, ASSEMBLIES, AND METHODS FOR ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING" 라는 명칭의 미국 가 출원 제 61/894,873 호(대리인 문서 제 21419/USA L 호)에 대한 우선권을 주장하고, 이로써, 상기 출원은, 모든 목적들을 위해, 인용에 의해 본원에 포함된다.
[0002] 본 발명은 전자 디바이스 제조에 관한 것이다.
[0003] 반도체 디바이스 제조 설비들(FAB들)과 같은 종래의 전자 디바이스 제조 시스템들은, 상대적으로 아주 근접하여 배열된 다수의 툴들을 포함할 수 있다. 그러한 시스템들을 서비싱하는(servicing) 것은, 대형 크기뿐만 아니라, 컴포넌트들의 무게에 근거하여, 쉽지 않다. 통상적으로, 다양한 장비 제조업자들은 전형적으로, 툴-특정(tool-specific) 컴포넌트 리프트들을 제공하고, 그래서 FAB들은 large mix의 리프트 유형들을 가질 수 있는데, 이는 궁국적으로 FAB의 최종 비용 및 복잡성을 증대시킨다.
[0004] 따라서, FAB들의 컴포넌트들의 효율적이고 정밀한 이동을 위한 장치, 조립체들, 및 방법들이 요구된다.
[0005] 일 양태에서, 컴포넌트 리프트 조립체가 제공된다. 컴포넌트 리프트 조립체는, 하나 또는 그 초과의 트랙들, 하나 또는 그 초과의 트랙들을 따라 이동 가능한 하나 또는 그 초과의 트럭들, 및 하나 또는 그 초과의 트럭들에 커플링되도록 이루어진 하나 또는 그 초과의 리프트 장치를 포함하고, 하나 또는 그 초과의 리프트 장치는, 바퀴달린(wheeled) 베이스, 리프트 부분, 및 컴포넌트에 커플링되도록 이루어진 붐을 포함한다.
[0006] 다른 양태에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템이 제공된다. 전자 디바이스 프로세싱 시스템은, 플로어(floor) 상에 포지셔닝된 복수의 기판 프로세싱 툴들 ― 기판 프로세싱 툴들 각각은 FAB 컴포넌트들을 포함함 ―, FAB 컴포넌트들 중 하나 또는 그 초과를 리프팅하거나 하강시키도록(lower) 이루어진 하나 또는 그 초과의 리프트 조립체들을 포함하고, 하나 또는 그 초과의 리프트 조립체들은, 하나 또는 그 초과의 트랙들, 하나 또는 그 초과의 트랙들 중 각각의 트랙을 따라 이동 가능한 트럭, 및 트럭에 커플링되도록 이루어진 리프트 장치를 포함하며, 리프트 장치는, 바퀴달린 베이스, 바퀴달린 베이스에 커플링된 수직 리프트, 및 수직 리프트의 이동 가능한 부분에 커플링되고 하나 또는 그 초과의 FAB 컴포넌트들에 커플링되도록 이루어진 붐을 포함한다.
[0007] 다른 양태에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템의 컴포넌트를 이동시키는 방법이 제공된다. 방법은, 트럭을 포함하는 트랙을 제공하는 단계, 트랙 위에 리프트 장치를 포지셔닝하는 단계, 리프트 장치를 트럭에 커플링하는 단계, 리프트 장치의 붐을 컴포넌트에 커플링하는 단계, 붐을 이동시키는 것에 의해 컴포넌트를 리프팅하는 단계, 및 리프트 장치를 모노레일 트랙을 따라서 원하는 위치로 이동시키는 단계를 포함한다.
[0008] 본 발명의 이러한 그리고 다른 실시예들에 따라, 많은 다른 양태들이 제공된다. 본 발명의 실시예들의 다른 특징들 및 양태들은 이하의 상세한 설명, 첨부된 청구항들, 및 첨부한 도면들로부터 더 완전하게 자명해질 것이다.
[0009] 도 1은, 실시예들에 따른, 다수의 컴포넌트 리프트 조립체들을 포함하는 전자 디바이스 제조 시스템의 사시도를 예시한다.
[00010] 도 2는, 실시예들에 따른, 컴포넌트 리프트 조립체의 리프트 장치의 사시도를 예시한다.
[00011] 도 3은, 실시예들에 따른, 커플링된 리프트 장치를 포함하는 이중 리프트 조립체의 사시도를 예시한다.
[00012] 도 4는, 실시예들에 따른, 트랙들 상에서 이동 가능한 트럭들에 커플링된 이중 리프트 조립체의 사시도를 예시한다.
[00013] 도 5a는, 실시예들에 따른, 보관되는 구성(stored configuration)으로 도시되는, 리프트 장치의 사시도를 예시한다.
[00014] 도 5b는, 실시예들에 따른, 관절형(articulating) 붐 구성을 포함하는 리프트 장치의 평면도를 예시한다.
[00015] 도 5c 및 5d는, 실시예들에 따른 대안적인 관절형 리프트 장치의 사시도들을 예시한다.
[00016] 도 6은, 실시예들에 따른 이중 리프트 장치의 사시도를 예시한다.
[00017] 도 7은, 실시예들에 따른, 트럭에 대한 붐 리프트의 연결의 부분적으로 단면-절개된 측면도를 예시한다.
[00018] 도 8은, 실시예들에 따른 트럭의 사시도를 예시한다.
[00019] 도 9는, 실시예들에 따른, 컴포넌트 리프트 조립체의 부분들 및 플로어 부분들의 분해도를 예시한다.
[00020] 도 10은, 실시예들에 따른, 다수의 컴포넌트 리프트 조립체들을 포함하는 전자 디바이스 제조 시스템의 다른 사시도를 예시한다.
[00021] 도 11은, 실시예들에 따른, 플로어 구조에 장착된 컴포넌트 리프트 조립체의, 언더-플로어 장착식(under-floor mounted) 트랙의 부분 측면도를 예시한다.
[00022] 도 12는, 실시예들에 따른, 대안적인 플로어 구조에 장착된 컴포넌트 리프트 조립체의, 언더-플로어 장착식 트랙의 부분 측면도를 예시한다.
[00023] 도 13은, 실시예들에 따른, 2개의 상이한 리프트 높이들에 포지셔닝되어있는 것으로 도시되는, 다수의 컴포넌트 리프트 조립체들을 포함하는 전자 디바이스 제조 시스템의 다른 사시도를 예시한다.
[00024] 도 14는, 실시예들에 따른, 스태빌라이저들을 포함하는 컴포넌트 리프트 조립체의 부분 분해도를 예시한다.
[00025] 도 15는, 실시예들에 따른, 플로어 구조 내의 컴포넌트 리프트 조립체의 부분의 측면도를 예시한다.
[00026] 도 16은, 실시예들에 따른, 컴포넌트를 이동시키는 방법의 흐름도를 예시한다.
[00027] 도 17은, 실시예들에 따른 컴포넌트 리프트 조립체의 대안적인 실시예의 사시도를 예시한다.
[00028] 도 18a는, 실시예들에 따른 컴포넌트 리프트 조립체의 대안적인 실시예의 측면도를 예시한다.
[00029] 도 18b는, 실시예들에 따른 리프트 장치의 대안적인 실시예의 부분 측면도를 예시한다.
[00030] 도 18c는, 실시예들에 따른 리프트 장치의 대안적인 실시예의 부분 단면도를 예시한다.
[00031] 도 19a-19b는, 각각, 실시예들에 따른 컴포넌트 리프트 조립체의 트럭의 대안적인 실시예의 사시도 및 평면도를 예시한다.
[00032] 도 19c는, 실시예들에 따른 트럭의 대안적인 실시예의 단면도를 예시한다.
[00033] 도 20은, 실시예들에 따른, 모듈형 타일 구성 및 액세스 타일을 포함하는 트랙의 대안적인 구성의 사시도를 예시한다.
[00034] 도 21a-21b는, 각각, 실시예들에 따른 트랙의 타일의 사시도 및 단면도(end view)를 예시한다.
[00035] 일 양태에서, 본 발명의 실시예들은 컴포넌트 리프트 조립체를 제공한다. 컴포넌트 리프트 조립체는, FAB과 같은 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)에서, FAB의 컴포넌트들을 이동시키기 위해(즉, 상승시키고(raise), 하강시키고(lower), 그리고/또는 병진운동시키기(translate) 위해) 사용될 수 있다. 컴포넌트 리프트 조립체는 FAB의 각각의 툴(101A, 101B, 101C)에서 모듈형 컴포넌트들을 활용할 수 있고, 이로써, 상이한 유형들의 리프트들의 개수를 줄인다. FAB의 각각의 툴(101A, 101B, 101C)은, 예를 들어, 상이한 공급기에 의해 제공될 수 있다. 툴들(101A-101C)은, 증착, 산화, 질화, 에칭, 폴리싱, 세정, 또는 리소그래피, 등과 같은 임의의 개수의 프로세스 단계들을 기판들에 대해 수행하도록 이루어질 수 있다. 다른 프로세스들이 또한, 기판에서 수행될 수 있다. 본원에서 사용되는 바와 같은 기판들은, 전자 디바이스들 또는 회로 컴포넌트들을 만드는 데에 사용되는, 반도체 웨이퍼들, 실리카-함유 웨이퍼들, 유리 플레이트들, 유리 패널들, 또는 마스크들, 등과 같은 물품들(articles)을 의미할 것이다.
[00036] 하나 또는 그 초과의 컴포넌트 리프트 조립체들(104)은, FAB의 컴포넌트들(102A-102E)을 이동시키는 데에 사용될 수 있다. 다른 양태에서, 컴포넌트 리프트 조립체(104)는, 다수의 공통 하위컴포넌트들(common subcomponents)을 활용하는 모듈형이다. 따라서, 컴포넌트 리프트 조립체(104)는 매우 융통성있고(flexible) 조정 가능하다(adjustable).
[00037] 하나 또는 그 초과의 본 발명의 실시예들에 따르면, 본원에서 도 1-15에 도시된 바와 같은 컴포넌트 리프트 조립체(104)가 제공된다. 컴포넌트 리프트 조립체(104)는, 하나 또는 그 초과의 트랙들(108), 하나 또는 그 초과의 트랙들(108)을 따라 이동 가능한 트럭(110)(도 4, 7 및 8), 및 도시된 붐 리프트와 같은 리프트 장치(106)를 포함한다. 리프트 장치(106)는 트럭(110)에 커플링되도록 구성되고 이루어진다.
[00038] 이제 도 2를 참조하면, 도시된 실시예에서, 리프트 장치(106)는, 바퀴달린 베이스(112), 바퀴달린 베이스(112)에 커플링된 리프트 부분(114), 및 이동시키려는 컴포넌트(102A-102E)에 커플링되도록 이루어진 붐(116)을 포함한다.
[00039] 도 2 및 5a는, 본 발명의 실시예들에 따른, 컴포넌트 리프트 조립체(104)와 사용 가능한 리프트 장치(106)의 예시적인 모듈형 실시예의 사시도들 예시한다. 바퀴달린 베이스(112)는, FAB의 플로어와 접촉하도록 이루어진 셋 또는 그 초과의 바퀴들(118)을 포함할 수 있다. 바퀴들(118)은, 베이스(121)에 커플링된 바퀴 레일들(120)에 장착될 수 있다. 바퀴 레일들(120)은, 베이스(121)를 통해, 측면으로부터 측면으로 또는 앞으로부터 뒤로 연장될 수 있고, 베이스(121)를 지지할 수 있다. 바퀴달린 베이스(112)에 레벨러들(levelers)이 포함될 수 있고, 레벨러들은 베이스(112)와 바퀴 레일들(120) 사이에서 또는 플로어에 대하여(against) 작용할 수 있으며, 리프트 장치(106)를 추가로 지지하거나 레벨링하도록 공작 가능할(operational) 수 있다. T-형상의 견인 핸들들(tow handles; 123)이, 바퀴달린 베이스(112)에 커플링될 수 있다. 선택적으로, 바퀴달린 베이스(112)는, 서보 모터등과 같은 모터-구동식 구동 시스템에 의해, 트랙(108)을 따라 구동될 수 있다.
[00040] 도 1, 4 및 9에 가장 잘 도시된 바와 같이, 컴포넌트 리프트 조립체(104)는 하나 또는 그 초과의 트랙들(108)을 포함하고, 하나 또는 그 초과의 트랙들(108)은, 캡쳐링 방식의(captured) 채널(108C)을 포함할 수 있는 모노레일들을 포함할 수 있으며, 캡쳐링 방식의 채널(108C)은, 트럭(110)을 캡쳐링 방식의 채널에 캡쳐링하도록 이루어진다. 캡쳐링 방식의 채널(108C)은, 도시된 바와 같이, C-형상 단면을 포함할 수 있다. 트럭(110)은, 채널의 정상부로부터 아주 근접하도록(예를 들어, 수 mm) 크기가 정해진 트럭 바퀴들(124)을 가짐으로써, 캡쳐링 방식의 채널(108C)에 의해 캡쳐링될 수 있고, 이로써, 오직 약간의 플레이(slight amount of play)만이 제공된다. 다른 트랙 형상들이 사용될 수 있다. 특히, 트랙(108)은, 언더-플로어 구성으로 장착되는 모노레일을 가질 수 있다. 트랙(108)은 트랙 지지부들에 장착될 수 있거나, 그렇지 않으면, 부양식(suspended) 플로어 구조에 장착될 수 있다.
[00041] 도 1, 4, 9, 10 및 13에 도시된 바와 같이, 복수의 모노레일들을 포함하는 하나 또는 그 초과의 트랙들(108)은 서로 실질적으로 평행한 배향으로 제공될 수 있다. 하나의 트랙(108)은 각각의 툴 사이에, 각각의 툴에 나란히(alongside), 또는 양자 모두의 방식으로 놓일 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 개별적인(individual) 트랙이 제공될 수 있다.
[00042] 컴포넌트 리프트 조립체(104)와 사용 가능한 트럭(110)의 하나의 실시예가 도 7 및 도 8에 도시된다. 트럭(110)은, 트럭 프레임(122), 및 트럭 프레임(122)에 회전 가능하게 커플링되고 트랙(108)(예를 들어, 모노레일)과 맞물리도록(engage) 이루어진 넷 또는 그 초과의 트럭 바퀴들(124)을 포함할 수 있다. 트럭 바퀴들(124)은, 트랙(108)의 각각의 정상부 및 바닥부 부분들과 아주 근접하도록 크기가 정해질 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 6개의 트럭 바퀴들(124)이 포함될 수 있다. 다른 개수들의 트럭 바퀴들(124)이 사용될 수 있다. 측면 바퀴들(126)이 트럭 프레임(122)에, 예컨대, 트럭 프레임(122)의 각각의 단부들에 장착될 수 있다. 측면 바퀴들(126)은, 트랙(108)의 캡쳐링 방식의 채널(108C) 내에서, 트럭(110)의 사이드-투-사이드(side-to-side) 배향을 유지하는 것을 돕는다. 측면 바퀴들(126)은, 측면 바퀴들(126)이, 트랙(108)의 각각의 측면 부분들과 아주 근접하도록 크기가 정해질 수 있다. 4개의 측면 바퀴들(126)이 도시되지만, 다른 개수들의 측면 바퀴들(126)이 사용될 수 있다. 선택적으로, 트럭 바퀴들(124) 및/또는 측면 바퀴들(126)은 편심적으로(eccentrically) 조정 가능할 수 있거나, 그렇지 않으면, 트랙(108)에서 라이딩할(riding) 때, 플레이를 최소화하도록 오프셋될 수 있다.
[00043] 하나 또는 그 초과의 실시예들에서, 도 7에 도시된 바와 같이, 리프트 장치(106)는 트럭(110)에 록킹 가능할(lockable) 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 리프트 장치(106)는 트럭(110)으로부터 탈착 가능할(detachable) 수 있다. 록킹 가능하고 그리고/또는 탈착 가능한 이러한 기능성은, 리프트 장치(106) 상의 둘 또는 그 초과의 트럭 맞물림 피쳐들(engagement features; 130)과 맞물리도록 구성되고 이루어진 둘 또는 그 초과의 리프트 맞물림 피쳐들(128)에 의해 제공될 수 있다. 리프트 맞물림 피쳐들(128)은 트럭 프레임(122)에 형성된 홀들일 수 있다. 트럭 맞물림 피쳐들(130)은 핀들(pins) 등일 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 트럭 맞물림 피쳐들(130)은 바퀴달린 베이스(112)로부터 연장 가능할 수 있고, 그리고 바퀴달린 베이스(112)로부터 또는 바퀴달린 베이스(112) 내로 후퇴 가능할(retractable) 수 있다. 연장 및 후퇴는 임의의 적합한 메커니즘, 예컨대, 피봇팅 래치(pivoting latch), 크랭크, 레버, 또는 핸드 휠(hand wheel) 등(도시되지 않음)에 의해 달성될 수 있다.
[00044] 이제 도 2를 참조하면, 컴포넌트 리프트 조립체(104)의 리프트 장치(106)는, 바퀴달린 베이스(112)에 커플링된 리프트 부분(114)과 같은 수직 리프트를 포함할 수 있다. 리프트 부분(114)은 바퀴달린 베이스(112)에 커플링된 고정 부분(114S), 및 고정 부분(114S)에 대해 이동 가능한 이동 가능한 부분(114M)을 포함할 수 있다. 붐(116)은 이동 가능한 부분(114)에 커플링될 수 있다. 리프트 부분(114)의 리프트 메커니즘의 동작은 붐(116) 및 임의의 커플링된 컴포넌트를 상승시킨다. 리프트 메커니즘은, 랙 앤 기어 트랜스미션(rack and gear transmission) 등에 커플링된 중하중용(heavy-duty) 수직 리프트 모터일 수 있다. 수동(manual) 크랭크 또는 펌프 유형 리프트 메커니즘을 포함하여, 임의의 적합한 리프트 메커니즘이 사용될 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 이동 가능한 부분(114M)은 고정 부분(114S)에 대해 신축 가능할(telescopeable) 수 있다. 유사하게, 붐(116)은, 이동 가능한 부분(114M)으로부터 측방향으로(laterally) 연장 가능할 수 있다. 붐(116)은 또한, 이동 가능한 부분(114M)의 수직축을 중심으로 회전 가능할 수 있다.
[00045] 몇몇 실시예들에서, 도 1, 3, 4 및 6에 도시된 바와 같이, 컴포넌트 리프트 조립체(105)는, 툴에 양쪽에 걸치기(straddle) 위해, 툴(예를 들어, 툴(101A))의 제 1 측 상의 제 1 트럭(110)에 커플링되는 제 1 리프트 장치(106), 및 툴의 제 2 측 상의 제 2 트럭(110)에 커플링되는 제 2 리프트 장치(106)를 포함하도록 구성될 수 있다. 리프트 장치(106)의 각각의 붐들(116)은 브릿지 브라켓(132)과 커플링될 수 있다. 붐들(116) 사이의 다른 적합한 연결부들이 사용될 수 있다.
[00046] 도 9는, 플로어 조립체의 다양한 부분들의 분해도를 예시한다. 특히, 복수의 플로어 타일들(134T)(몇몇은 레이블링됨(labeled))로 구성된 플로어(134)는, 제 1 플로어 구조(952) 및 제 2 플로어 구조(954)에 의해, 플로어 베이스(950)로부터 상승될 수 있다. 플로어 베이스(950)는 임의의 강성(rigid) 베이스 구성, 예컨대, 콘크리트(concrete) 또는 강(steel)과 콘크리트의 조합들로 구성될 수 있다. 예를 들어, 제 1 플로어 구조(952)는 I-빔들(I-beams)로 이루어진 강성 그리드형(grid-like) 구조일 수 있다. 제 2 플로어 구조(954)는, 예컨대, 파스너들(fasteners) 및 브라켓들에 의해, 제 1 플로어 구조(952)에 기계적으로 커플링될 수 있다. 예를 들어, 제 2 플로어 구조(954)는 빔들로 이루어진 강성 그리드형 구조일 수 있다. 제 2 플로어 구조(954)는, 플로어(134), 그리고 특히 플로어 타일들(134T)을 지지하도록 동작한다. 제 2 플로어 구조(954) 내의 개방 섹션들(955)은 트랙(108)을 수용할 수 있다. 몇몇 실시예들에서, 트랙(108)은 제 2 플로어 구조(954)에 커플링될 수 있다. 다른 실시예들에서, 트랙(108)은 제 1 플로어 구조(952)에 커플링될 수 있다.
[00047] 부가적으로, 또는 선택적으로, 도 11 및 12에 도시된 바와 같이, 트랙(108)은 트랙 지지부들(1056)에 의헤 플로어 베이스(950)에 대해 지지될 수 있다. 도 11 및 12는, 언더-플로어 장착식 구성으로, 즉, 플로어(134) 아래에 제공되는 트랙(108)을 포함하는, 여러 플로어 설치들(installations)을 예시한다. 플로어 지지부들(1058)은 플로어 하위-지지부(1054)(도 11) 또는 제 1 및 제 2 플로어 구조들(952, 954)(도 12)에 직접적으로 커플링될 수 있다. 리프트 박스(1060)가 포함될 수 있다.
[00048] 다른 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)이 도 10에 도시된다. 전자 디바이스 프로세싱 시스템(100)은, 플로어(134) 상에 포지셔닝된 복수의 기판 프로세싱 툴들(101A, 101B, 101C)포함하고, 기판 프로세싱 툴들 각각은, 설치하기 위해 이동될 수 있거나 서비스를 위해 제거될 수 있는 FAB 컴포넌트들을 포함한다. 하나 또는 그 초과의 컴포넌트 리프트 조립체들(104, 105)은, FAB 컴포넌트들 중 하나 또는 그 초과를 리프팅하거나 하강시키기 위해 제공될 수 있고, 이루어지며 동작 가능하다. 컴포넌트 리프트 조립체들(104, 105)은, 하나 또는 그 초과의 트랙들(108) 중 각각의 트랙을 따라 이동 가능한 트럭(110)이 있는 하나 또는 그 초과의 트랙들(108)을 포함할 수 있다. 컴포넌트 리프트 조립체들(104, 105)의 리프트 장치(106)(예를 들어, 도 2 및 7에 도시된 리프트 장치(106)) 각각은, 트럭(110)에 커플링되도록 이루어진다. 리프트 장치(106)는, 앞서 논의된 바와 같이, 바퀴달린 베이스(112), 바퀴달린 베이스(112)에 커플링된 리프트 부분(114), 및 리프트 부분(114)의 이동 가능한 부분(114M)에 커플링되고 하나 또는 그 초과의 FAB 컴포넌트들에 커플링되도록 이루어진 붐(116)을 포함할 수 있다. 컴포넌트 리프트 조립체들(104, 105)에서 사용되는 복수의 리프트 장치(106) 각각은 동일할 수 있다. 도시된 바와 같이, 하나 또는 그 초과의 트랙들(108)은 플로어(134) 아래에 장착된다. 일단 리프트 장치(106)가 제거되면, 트랙들(108) 위에 있는 플로어 타일들은 교체될 수 있다. 리프트 장치(106)는, 도 5a에 도시된 접힘(folded) 구성으로 보관될 수 있다.
[00049] 도 5b는, 리프트 장치(506)의 다른 실시예를 예시한다. 이러한 실시예에서, 붐(516)은, 복수의 붐 부분들(붐 부분들(516A-516D))을 포함하는 다수-피스(multi-piece) 구성을 포함한다. 도시된 실시예에서, 붐 부분들(516B-516D)은 관절로 이어질(articulate) 수 있는데, 즉, 도시된 바와 같이, 수평 평면에서, 서로에 대해 회전할 수 있다. 하나 또는 그 초과의 실시예들에서, 붐(516)은 서로에 대해 왕복 운동하는(reciprocate) 2개의 부분들, 예컨대, 제 1 붐 부분(516A) 및 제 2 붐 부분(516B)을 포함할 수 있다. 이는, 붐(516) 상의 연결점이, 트랙(108)으로부터 멀어지게 측방향으로 이동되는 것을 허용한다. 붐(516)이 관절 능력을 포함하는 경우, 관절형 붐 부분들의 개수는, (제 3 붐 부분(516C)와 같은) 오직 하나, (제 3 붐 부분(516C) 및 제 4 붐 부분(516D)과 같은) 둘, 또는 심지어 둘 초과를 포함할 수 있다. 부가적인 관절형 붐 부분들은, 관절 조인트(joint)에서의 피봇 핀의 제거에 의해, 원하는 대로 부가되거나 제거될 수 있다.
[00050] 게다가, 도 5c 및 5d에 도시된 바와 같이, 다른 유형들의 힌지 조인트들 및 관절 능력을 갖는 리프트 장치(506C, 506D)가 제공될 수 있다. 예를 들어, 도 5c는, X축을 중심으로 관절로 이어지는 붐 부분(516E)을 갖는 리프트 장치(506C)를 예시한다. 도 5d에 도시된 리프트 장치(506D)는, 붐 부분(516F)이 Z축(예를 들어, 수직축)을 중심으로 관절로 이어지도록 허용하는 힌지 조인트를 갖는 붐을 포함할 수 있다. 그러나, 다른 실시예들은 Y축 또는 임의의 원하는 수평축을 중심으로 관절로 이어질 수 있다. 몇몇 실시예들은 심지어, 붐 부분들 사이에 구형(spherical) 조인트를 포함할 수 있다. 이동될 컴포넌트를 붐 부분에 연결하기 위해, 후크(hook), 케이블, 체인(chain), 또는 플레이트, 등과 같은 임의의 적합한 부착부가 사용될 수 있다.
[00051] 도 13-15는, 기판 프로세싱 툴들(101A-101C) 및 다수의 리프트 조립체들(1404)을 포함하는 제조 시스템(1300)을 예시한다. 리프트 조립체들(1404)은, 리프트 장치(1406), 트럭(110), 및 트랙(108)을 포함하는, 앞서 설명된 리프트 조립체들과 유사하다. 리프트 장치(1406)의 이러한 실시예는, 다수의 스태빌라이저들(stabilizers; 1470)을 포함한다. 스태빌라이저들(1470)은, 플로어(134)와 맞물리도록, 크랭크들(1472) 또는 다른 적합한 메커니즘들에 의해 하강될 수 있다.
[00052] 본 발명의 실시예들에 따른 전자 디바이스 프로세싱 시스템의 컴포넌트를 이동시키는 방법(1600)은 도 16의 흐름도에 예시된다. 방법(1600)은, 1602에서, 트럭(예를 들어, 트럭(110))을 포함하는 트랙(예를 들어, 트랙(108))을 제공하는 단계; 1604에서, 리프트 장치(예를 들어, 리프트 장치(106), 506C, 506, 1406)를 트랙 위에 포지셔닝하는 단계; 1606에서, 리프트 장치를 트럭에 커플링하는 단계; 1608에서, 리프트 장치의 붐(예를 들어, 붐(116), 516E, 516F)을 컴포넌트(예를 들어, 기판 프로세싱 툴(101A-101C)의 컴포넌트)에 커플링하는 단계; 1610에서, 붐을 이동시킴으로써 컴포넌트를 리프팅하는 단계; 및, 1612에서, 리프트 장치를 트랙을 따라 원하는 위치로 이동시키는 단계를 포함한다.
[00053] 도 17-21B는, 컴포넌트 리프트 조립체(1704) 및 컴포넌트 리프트 조립체(1704)의 다양한 파트들의 다른 실시예를 예시한다. 도 17 및 18a에 가장 잘 도시된 바와 같이, 컴포넌트 리프트 조립체(1704)는, 트랙(1708), 트랙(1708)을 따라 이동 가능한 트럭(1710, 및 트럭(1710)에 커플링되도록 이루어진 리프트 장치(1706)를 포함한다. 앞서 설명되었던 바와 같은 리프트 장치(1706)는, 바퀴달린 베이스(1712), 리프트 부분(1714), 및 컴포넌트가 이동될 수 있도록(예를 들어, 설치되거나 제거될 수 있도록) 툴(도시되지 않음)의 컴포넌트에 커플링되도록 이루어진 붐(1716)을 포함할 수 있다. 붐(1716)은 다수의 붐 부분들을 포함할 수 있고, 관절 능력을 포함할 수 있다. 앞서와 마찬가지로, 리프트 부분(1714)은 바퀴달린 베이스(1712)에 커플링되고, 리프트 부분(1714)은, 바퀴달린 베이스(1712)에 커플링된 고정 부분(1714S), 및 고정 부분(1714S)에 대해 이동 가능한 이동 가능한 부분(1714M)을 포함하며, 붐(1716)은 이동 가능한 부분(1714M)에 커플링된다. 이동 가능한 부분(1714M)은, 예를 들어, 고정 부분(1714S) 상에 형성된 랙 상에서 상하로 이동할 수 있다. 리프팅을 달성하기 위해 적합한 모터들이 사용될 수 있고, 그러한 모터들은 리프트 장치(1706) 내에 내장될(built into) 수 있다.
[00054] 이러한 실시예에서, 트랙(1708)은 복수의 타일들(1774)(몇몇은 레이블링됨)로 구성될 수 있다. 트랙(1708)은 다수의 트랙 섹션들을 포함할 수 있고, 다수의 트랙 섹션들 중 몇몇은 서로 교차할 수 있다. 2개의 교차형 트랙 섹션들이 도 17에 도시된다. 그러나, 임의의 개수의 트랙 섹션들이, 예컨대, 툴들 사이에서, 툴들과 나란하게, 하나 또는 그 초과의 툴들의 단부에서, 그리고 다른 배향들로, 또는 전술한 내용의 조합들로 사용될 수 있음이 이해되어야 한다. 각각의 트랙 섹션은, 복수의 타일들(1774)로 각각 구성될 수 있다. 각각의 타일(1774)은 트랙 지지부들(1756)(몇몇은 레이블링됨)에 의해 지지될 수 있다. 트랙 지지부들(1756)은 플로어 베이스(950)와 같은 플로어에, 또는 제 1 지지 구조(952)와 같은 다른 중간 구조에 커플링될 수 있다. 도시된 바와 같이, 각각의 타일(1774)은, 4개의 트랙 지지부들(1756)에 의해, 예컨대, 각각의 타일(1774)의 코너들에서 직접적으로 지지될 수 있다. 타일들(1774)은, 트랙(1708)을 형성하기 위해, 행(row)으로 배열될 수 있고, 각각의 타일(1774)은, 볼트들, 등과 같은 파스너들에 의해, 4개의 트랙 지지부들(1756)에 커플링될 수 있다. 현존하는 높은(elevated) 플로어 구조(도시되지 않음)의 부분들은, 타일들(1774) 및 트랙 지지부들(1756)의 설치를 허용하기 위해, 컷아웃될(cut out) 수 있다. 예를 들어, 타일들(1774)은 현존하는 높은 플로어와 동일 평면 상에 설치될 수 있다.
[00055] 도 21a-21b는, 타일(1774)의 일 실시예를 예시한다. 타일(1774)은 상부 표면(2175)을 포함하고, 리프트 장치(1706)의 바퀴들(1880)은 상부 표면(2175) 상에서 라이딩할 것이다(도 18c 참고). 타일(1774)은 슬롯들(2176)을 포함하고, 슬롯들(2176)은 이격된 T-슬롯들일 수 있다. 슬롯들(2176)은 타일(1774)의 단부에서 단부로 연장될 수 있다. 트럭(1710)의 트럭 바퀴들(1924)은 슬롯들(2176)에서 라이딩할 수 있다. 트럭(1710)의 측면 바퀴들(1926)(도 19a 참고)은 슬롯들(2176)에서 라이딩할 수 있다. 이로써, 트럭(1710)은 트랙(1708) 내에서 유지될 수 있고, 사이드-투-사이드 운동, 수직 운동, 및 티핑(tipping)/로킹(rocking) 운동으로 제한될 수 있다. 그러나, 트럭(1710)은, 슬롯들(2176) 내에서, 축방향으로(axially) 앞뒤로 이동할 수 있다. 타일들(1774)은, 일 단부 상에서, 하나 또는 그 초과의 핀들(2177)을 포함할 수 있고, 그러한 핀들은, 다음(next) 인접한 타일(1774)의 단부의 홀들에 수용된다. 이러한 방식에서, 슬롯들(2176)은 타일(1774)에서 다음 인접한 타일로 정렬될 수 있다. 다른 적합한 정렬 수단이 사용될 수 있다. 타일들(1774)을 트랙 지지부들(1756)에 체결하기 위해 파스너들(도시되지 않음)을 수용하도록, 접시형(countersunk) 홀들(2178)이 제공될 수 있다.
[00056] 도 17 및 20에 도시된 바와 같이, 액세스 타일(1774A)과 같은 하나의 타일은, 액세스 도어(1757)를 포함할 수 있다. 높은 플로어에 의해 트랙(1708)이 둘러싸이기 때문에, 액세스 도어(1757)는 상승될 수 있고, 트럭 바퀴들(1924)을 슬롯들(2176) 내에 삽입하는 것에 의해, 하나 또는 그 초과의 트럭들(1710)이 트랙(1708) 상에 설치되는 것을 허용할 수 있다.
[00057] 이러한 실시예에서, 도 19a-19c에 도시된 바와 같은 트럭(1710)은 트럭 프레임(1922)을 포함할 수 있고, 트럭 프레임(1922)은 트럭 프레임(1922)에 커플링되어 트럭 프레임(1922) 상에서 회전 가능한 트럭 바퀴들(1924) 및 측면 바퀴들(1926)을 갖는다. 트럭 바퀴들(1924)은 슬롯들(2176)의 수평 부분과 맞물릴 수 있고, 수평 부분 상에서 굴러갈(run) 수 있다. 측면 바퀴들(1926)은 슬롯들(2176)의 수직 부분과 맞물릴 수 있고, 수직 부분 상에서 굴러갈 수 있다. 트럭 바퀴들(1924) 및 측면 바퀴들(1926)은 임의의 적합하게 단단한(hard) 재료, 예컨대, 금속, 경질 고무, 열가소성 엘라스토머, 우레탄, 또는 전술한 내용의 조합들, 등으로 구성될 수 있다. 다른 바퀴 유형들이 사용될 수 있다.
[00058] 트럭(1710)의 정상부 측은, 리프트 장치(1706) 상의 하나 또는 그 초과의 트럭 맞물림 피쳐들(1830)과 맞물리도록 이루어진 하나 또는 그 초과의 리프트 맞물림 피쳐들(1928)을 포함할 수 있다. 이러한 실시예에서, 리프트 맞물림 피쳐들(1928)은, 도 18c에 도시된 바와 같은 상보적(complementary)-형상 트럭 맞물림 피쳐(1830)를 수용하도록 구성될 수 있는 유지 채널(1978)을 형성하는 2개의 선반들일 수 있다. 리프트 맞물림 피쳐들(1928)은, 리프트 장치(1706)를 트랙(1708)을 따른 선형 운동으로 한정하기 위해, 또한, 리프트 장치(1706)가 트랙(1708)에 대하여 눈에 띄게(appreciably) 틸팅(tilt)/로킹할 수 없도록 또는 측방향으로 이동할 수 없도록 리프트 장치(1706)를 트랙에 속박시킴(tie)으로써, 트럭 맞물림 피쳐들(1830)과 상호 협력하고, 따라서 리프트 장치(1706)를 트랙(1708)에 고정시키고 안정화시킨다.
[00059] 트럭(1710)은, 트랙(1708) 상으로의 트럭(1710)의 설치를 지원하도록 구성된 하나 또는 그 초과의 핸들들(1925)을 포함할 수 있다. 트럭(1710)은, 리프트 장치(1706) 아래에서 트럭(1710)의 운동을 제한하기 위해, 하나 또는 그 초과의 단부들 상에 범퍼 정지부들(bumper stops; 1927)을 포함할 수 있다. 도시된 그루브와 같은 하나 또는 그 초과의 이차 리프트 맞물림 피쳐들(1928S)은, 트럭(1710) 상에 포함될 수 있고, 트럭(1710)을 리프트 장치(1706)에 트랙(1708) 방향으로 연결하고 고정시키도록 구성될 수 있으며, 이로써, 트럭(1710) 및 리프트 장치(1706)는 오직, 트랙(1708)을 따라서 함께로만 이동할 수 있다. 스프링-로딩형 래치 볼트(spring-loaded latch bolt), 등과 같은 임의의 적합한 이차 트럭 맞물림 피쳐(1830S)가 사용될 수 있다.
[00060] 이제 도 18b 및 18c를 참조하면, 리프트 장치(1706)(오직 부분만이 도시됨)는 바퀴달린 베이스(1712)를 포함할 수 있고, 바퀴달린 베이스(1712)는 바퀴달린 베이스(1712)에 커플링된 하나 또는 그 초과의 견인 핸들들(1823)을 갖는다. 이러한 실시예에서, 바퀴달린 베이스(1712)는 로드(load) 바퀴들(1880) 및 후퇴 가능한 바퀴들(1818) 양자 모두를 포함한다. 트럭 바퀴들(1924)을 포함하여 로드 바퀴들(1880)은, 리프트 장치(1706)에 의한 컴포넌트들의 리프팅에 기인한 수직 로드들 및 모멘트들을 운반한다. 후퇴 가능한 바퀴들(1818)은, 리프트 장치(1706)가 트랙(1708)을 떠나게 되는 경우, 추가적인 안정성을 제공하기 위해 사용될 수 있다.
[00061] 전술한 설명은 오직 본 발명의 예시적인 실시예들만을 개시한다. 본 발명의 범위 내에 있는 상기-개시된 장치, 시스템들, 및 방법들에 대한 수정들은 당업자에게 쉽게 자명할 것이다. 따라서, 본 발명은 예시적인 실시예들에 관하여 개시되었지만, 이하의 청구항들에 의해 정의되는 바와 같은 다른 실시예들이 본 발명의 범위 내에 있을 수 있다는 것이 이해되어야 한다.

Claims (15)

  1. 컴포넌트 리프트 조립체(component lift assembly)로서,
    하나 또는 그 초과의 트랙들(tracks);
    상기 하나 또는 그 초과의 트랙들을 따라 이동 가능한 하나 또는 그 초과의 트럭들(trucks); 및
    상기 하나 또는 그 초과의 트럭들에 커플링되도록 이루어진 하나 또는 그 초과의 리프트 장치를 포함하고,
    상기 하나 또는 그 초과의 리프트 장치는 바퀴달린(wheeled) 베이스, 리프트 부분, 및 컴포넌트에 커플링되도록 이루어진 붐(boom)을 포함하는,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 트랙들은, 캡쳐링 방식의(captured) 채널을 포함하는 모노레일(monorail)을 포함하고, 상기 캡쳐링 방식의 채널은 상기 캡쳐링 방식의 채널에 트럭을 캡쳐링하도록 이루어지는,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 트랙들은, 언더-플로어(under-floor) 구성으로 장착된 모노레일을 포함하는,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 트랙들은 복수의 타일들(tiles)을 포함하는,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 트럭들은, 트럭 프레임(frame) 및 상기 트럭 프레임에 회전 가능하게 커플링되고 상기 하나 또는 그 초과의 트랙들과 맞물리도록(engage) 이루어진 넷 또는 그 초과의 트럭 바퀴들을 포함하는,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 트럭들은 하나 또는 그 초과의 측면 바퀴들을 포함하는,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 트럭들은, 트럭 프레임 및 상기 트럭 프레임에 회전 가능하게 커플링된 트럭 바퀴들 및 측면 바퀴들을 포함하고, 상기 트럭 바퀴들 및 측면 바퀴들은 타일에 형성된 슬롯들에서 굴러가도록(run) 구성된,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 트럭들은, 리프트 장치 상의 둘 또는 그 초과의 트럭 맞물림 피쳐들(truck engagement features)과 맞물리도록 이루어진 둘 또는 그 초과의 리프트 맞물림 피쳐들(lift engagement features)을 포함하는,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 바퀴달린 베이스는, 상기 하나 또는 그 초과의 트럭들 중 트럭 상의 둘 또는 그 초과의 리프트 맞물림 피쳐들과 맞물리도록 이루어진 둘 또는 그 초과의 트럭 맞물림 피쳐들을 포함하는,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 하나 또는 그 초과의 리프트 장치는, 상기 바퀴달린 베이스에 커플링된 리프트 부분을 포함하고, 상기 리프트 부분은, 상기 바퀴달린 베이스에 커플링된 고정 부분, 및 상기 고정 부분에 대해 이동 가능한 이동 가능한 부분을 포함하고, 상기 붐은 상기 이동 가능한 부분에 커플링된,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 붐은 다수의 붐 부분들을 포함하는,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 붐 부분들 중 적어도 일부는 관절 능력(articulation capability)을 포함하는.
    컴포넌트 리프트 조립체.
  13. 제 1 항에 있어서,
    제 1 트럭에 커플링된 제 1 리프트 장치, 및 제 2 트럭에 커플링된 제 2 리프트 장치를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 리프트 장치의 각각의 붐들은 브릿지 브라켓과 커플링되는,
    컴포넌트 리프트 조립체.
  14. 전자 디바이스 프로세싱 시스템으로서,
    플로어(floor) 상에 포지셔닝된 복수의 기판 프로세싱 툴들 ― 기판 프로세싱 툴들 각각은 FAB 컴포넌트들을 포함함 ―;
    상기 FAB 컴포넌트들 중 하나 또는 그 초과를 리프팅하거나 하강시키도록(lower) 이루어진 하나 또는 그 초과의 리프트 조립체들을 포함하고,
    상기 하나 또는 그 초과의 리프트 조립체들은,
    하나 또는 그 초과의 트랙들;
    상기 하나 또는 그 초과의 트랙들 중 각각의 트랙을 따라 이동 가능한 트럭; 및
    상기 트럭에 커플링되도록 이루어진 리프트 장치를 포함하며,
    상기 리프트 장치는, 바퀴달린 베이스, 상기 바퀴달린 베이스에 커플링된 수직 리프트, 및 상기 수직 리프트의 이동 가능한 부분에 커플링되고 하나 또는 그 초과의 FAB 컴포넌트들에 커플링되도록 이루어진 붐을 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템.
  15. 전자 디바이스 프로세싱 시스템의 컴포넌트를 이동시키는 방법으로서,
    트럭을 포함하는 트랙을 제공하는 단계;
    상기 트랙 위에 리프트 장치를 포지셔닝하는 단계;
    상기 리프트 장치를 상기 트럭에 커플링하는 단계;
    상기 리프트 장치의 붐을 컴포넌트에 커플링하는 단계;
    상기 붐을 이동시키는 것에 의해 상기 컴포넌트를 리프팅하는 단계; 및
    상기 리프트 장치를 상기 트랙을 따라서 원하는 위치로 이동시키는 단계를 포함하는,
    전자 디바이스 프로세싱 시스템의 컴포넌트를 이동시키는 방법.
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