JP2016535710A - 万能型部品リフト装置、アセンブリ、及び電子デバイス製造方法 - Google Patents

Abstract

電子デバイス製造システムの部品を移動するための万能型部品リフト装置が提供される。万能型部品リフト装置は、軌道、軌道に沿って可動な台車、及び台車に連結するように適合されたリフト装置を含み、リフト装置は、車輪付き基部、リフト部分、及び部品に連結するように適合されたブームを含む。電子デバイス処理システム及びその部品を移動する方法が、複数の他の態様に即して説明される。【選択図】図１７

Description

関連出願
本出願は、２０１３年１０月２３日出願の「ＵＮＩＶＥＲＳＡＬ ＣＯＭＰＯＮＥＮＴ ＬＩＦＴ ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ，ＡＳＳＥＭＢＬＩＥＳ，ＡＮＤ ＭＥＴＨＯＤＳ ＦＯＲ ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ ＤＥＶＩＣＥ ＭＡＮＵＦＡＣＴＵＲＩＮＧ」（代理人整理番号第２１４１９／ＵＳＡ Ｌ号）と題する米国特許仮出願第６１／８９４，８７３号から優先権を主張し、あらゆる目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込まれている。

本発明は電子デバイス製造に関する。

半導体デバイス製造設備（ＦＡＢ）などの従来の電子デバイス製造システムは、比較的近接して配備された多数のツールを含み得る。各部品が大きいのみならず重いため、そのようなシステムの運用は容易ではない。従来、様々な設備メーカーが各ツールに特化した部品リフトを提供することが典型的であるので、ＦＡＢには多種類のリフトが混在することがあり、最終的にＦＡＢのコストがかさみ複雑さが増すこととなる。

従って、ＦＡＢの部品を効率的かつ正確に移動する装置、アセンブリ、及び方法が望まれる。

一態様では、部品リフトアセンブリが提供される。部品リフトアセンブリは、一以上の軌道（ｔｒａｃｋ）、一以上の軌道に沿って可動な一以上の台車（ｔｒｕｃｋ）、一以上の台車に連結するように適合され、且つ、車輪付き基部と、リフト部分と、部品に連結するように適合されたブームとを含む、リフト装置、を含む。

別の態様では、電子デバイス処理システムが提供される。電子デバイス処理システムは、フロア上に配置され且つ各々がＦＡＢ部品を含む複数の基板処理ツールと、ＦＡＢ部品のうちの一以上を持ち上げるか又は下降させるように適合された一以上のリフトアセンブリとを備え、該リフトアセンブリは、一以上の軌道、一以上の軌道の各々に沿って可動な台車、及び台車に連結するように適合されたリフト装置を備え、該リフト装置が、車輪付き基部と、車輪付き基部に連結されたバーチカルリフトと、バーチカルリフトの可動部分に連結され、且つ一以上のＦＡＢ部品に連結するように適合されたブームとを含む。

別の態様では、電子デバイス処理システムの内部の部品を移動する方法が提供される。本方法は、台車を含む軌道を設けること、当該軌道の上方にリフト装置を配置すること、リフト装置を台車に連結すること、リフト装置のブームを部品に連結すること、ブームを動かすことによって部品を持ち上げること、及び、リフト装置をモノレール軌道に沿って所望の位置へ移動させること、を含む。

本発明の上記の実施形態及びその他の実施形態により、多数の他の態様が提供される。本発明の実施形態の他の特徴及び態様は、以下の詳細な説明、添付の特許請求の範囲、及び添付の図面から、より完全に明らかとなるであろう。

ある実施形態による複数の部品リフトアセンブリを含む電子デバイス製造システムの斜視図である。 ある実施形態による部品リフトアセンブリのリフト装置の斜視図である。 ある実施形態による連結されたリフト装置を含むデュアルリフトアセンブリの斜視図である。 ある実施形態による、軌道上で可動な台車に連結されたデュアルリフトアセンブリの斜視図である。 ある実施形態によるリフト装置の斜視図であり、格納された構成を示している。 ある実施形態による関節ブーム構成を有するリフト装置の上面図である。 ある実施形態による代替的な関節式リフト装置の斜視図である。 ある実施形態による代替的な関節式リフト装置の斜視図である。 ある実施形態によるデュアルリフト装置の斜視図である。 ある実施形態によるブームリフトの台車への連結部の部分断面の側面図である。 ある実施形態による台車の斜視図である。 ある実施形態による、フロア部分と部品リフトアセンブリの部分との分解図である。 ある実施形態による、複数の部品リフトアセンブリを含む電子デバイス製造システムの別の斜視図である。 ある実施形態による、フロア構造に取り付けられた部品リフトアセンブリの床下に取り付けられた軌道の部分側面図である。 ある実施形態による、代替的なフロア構造に取り付けられた部品リフトアセンブリの床下に取り付けられた軌道の部分側面図である。 ある実施形態による、複数の部品リフトアセンブリを含む電子デバイス製造システムの別の斜視図であり、２つの異なるリフト高さに配置されて示されている。 ある実施形態による、スタビライザを含む部品リフトアセンブリの部分分解図である。 ある実施形態による、フロア構造内の部品リフトアセンブリの一部分の側面図である。 ある実施形態による、電子デバイス処理システムの部品の移動方法のフロー図である。 ある実施形態による部品リフトアセンブリの代替的な実施形態の斜視図である。 ある実施形態による部品リフトアセンブリの代替的な実施形態の側面図である。 ある実施形態によるリフト装置の代替的な実施形態の部分側面図である。 ある実施形態によるリフト装置の代替的な実施形態の部分端面図である。 ある実施形態による部品リフトアセンブリの台車の代替的な実施形態の斜視図である。 ある実施形態による部品リフトアセンブリの台車の代替的な実施形態の上面図である。 ある実施形態による台車の代替的な実施形態の端面図である。 ある実施形態による、モジュール式タイル構成及びアクセスタイルを含む軌道の代替的な構成の斜視図である。 ある実施形態による軌道のタイルの斜視図である。 ある実施形態による軌道のタイルの端面図である。

一態様で、本発明の実施形態は、部品リフトアセンブリを提供する。部品リフトアセンブリは、ＦＡＢなどの電子デバイス処理システム１００内で、ＦＡＢの部品を動かす（即ち、上げる、下げる、及び／又は並進させる）ために使用され得る。部品リフトアセンブリは、ＦＡＢの各ツール１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃにおいてモジュール式部品を用い得ることにより、異なるタイプのリフト数を低減する。ＦＡＢの各ツール１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃは、例えば種々のサプライヤから提供され得る。ツール１０１Ａ−１０１Ｃは、堆積、酸化、窒化、エッチング、研磨、洗浄、リソグラフィなどの任意の数の処理ステップを基板に対して実行するよう適合され得る。他の処理がそれらの中で実行されることもある。本書で使用する際、基板とは、半導体ウエハ、シリカ含有ウエハ、ガラスプレート、ガラスパネル、マスクなどといった電子デバイス又は回路部品を作るために使用される物品を意味する。

ＦＡＢの部品１０２Ａ−１０２Ｅを移動させるのに、一以上の部品リフトアセンブリ１０４が使用され得る。別の態様では、部品リフトアセンブリ１０４は、複数の共通の従属部品を用いるモジュール式である。従って、部品リフトアセンブリ１０４は柔軟性が高く調整可能である。

本発明の一以上の実施形態によれば、本明細書の図１−１５に示すように、部品リフトアセンブリ１０４が提供される。部品リフトアセンブリ１０４は、一以上の軌道１０８と、一以上の軌道１０８に沿って可動な台車１１０（図４、７、及び８）と、図示のブームリフトなどのリフト装置１０６とを含む。リフト装置１０６は台車１１０に連結するように構成され適合されている。

ここで図２を参照すると、図示の実施形態で、リフト装置１０６は、車輪付き基部１１２と、車輪付き基部１１２に連結されたリフト部分１１４と、動かそうとしている部品１０２Ａ−１０２Ｅに連結するように適合されたブーム１１６とを含む。

図２及び５Ａは、本発明の実施形態による部品リフトアセンブリ１０４と共に使用可能なリフト装置１０６の例示的なモジュール式実施形態の斜視図である。車輪付き基部１１２は、ＦＡＢのフロアと接触するように適合された３つ以上の車輪１１８を含み得る。車輪１１８は、基部１２１に連結された車輪レール１２０に取り付けられ得る。車輪レール１２０は基部１２１の側部から側部へと、又は前部から後部へと貫通して伸びていてよく、基部１２１を支持し得る。レベラが車輪付き基部１１２に含まれていてよく、フロアに対して、又は基部１１２と車輪レール１２０との間で作用し得、リフト装置１０６をレベリングするように又は更に支持するように動作可能であってよい。Ｔ字型トウ（牽引）ハンドル１２３が車輪付き基部１１２に連結され得る。オプションで、車輪付き基部１１２が、サーボモータなどのモータ駆動のドライブシステムによって軌道１０８に沿って駆動されてもよい。

図１、４、及び９で最もよく示すように、部品リフトアセンブリ１０４は、一以上の軌道１０８を含む。一以上の軌道１０８は、台車１１０を内部に捉えておくように適合された捕捉チャネル１０８Ｃを含み得るモノレールを含み得る。図示のように、捕捉チャネル１０８ＣはＣ字型断面を有し得る。台車の車輪１２４をチャネルの上部に近接するような（例えば、数ｍｍ）大きさとすることにより、台車１１０は捕捉チャネル１０８Ｃによって捕捉され得、これによりわずかな量の遊びのみがもたらされる。他の軌道形状が用いられてもよい。具体的には、軌道１０８が床下構成で取り付けられたモノレールを有してもよい。軌道１０８は軌道支持体に取り付けられ得るか、他の方法で懸架式フロア構造に取り付けられ得る。

図１、４、９、１０、及び１３に示すように、複数のモノレールを備えた一以上の軌道１０８が互いに実質的に平行な向きで提供され得る。１つの軌道１０８が、各ツールの間に存在するか、各ツールに沿って存在するか、又はそれらの両方であり得る。幾つかの実施形態では、個別の軌道が提供され得る。

部品リフトアセンブリ１０４と共に使用可能な台車１１０の一実施形態が、図７及び図８に示されている。台車１１０は、台車フレーム１２２、及び、台車フレーム１２２に回転可能に連結されて軌道１０８（例えば、モノレール）と係合するように適合された、４つ以上の台車車輪１２４を含み得る。台車車輪１２４は、軌道１０８のそれぞれの上部部分及び底部部分に近接するようなサイズとされ得る。幾つかの実施形態では６つの台車車輪１２４が含まれ得る。その他の数の台車車輪１２４が使用されてもよい。台車フレーム１２２の各端部などに、側部車輪１２６が取り付けられ得る。側部車輪１２６は、軌道１０８の捕捉チャネル１０８Ｃ内の台車１１０の横方向の向きを維持することを助ける。側部車輪１２６は、軌道１０８のそれぞれの側部に近接するようなサイズとされ得る。４つの側部車輪１２６が示されているが、その他の数の側部車輪１２６が用いられてもよい。オプションで、軌道１０８で走行中の遊びを最小化するために、台車車輪１２４及び／又は側部車輪１２６が調整可能であるか、又は他の方法で補正（ｏｆｆｓｅｔ）可能であり得る。

図７に示すように、一以上の実施形態で、リフト装置１０６は台車１１０にロック可能であり得る。幾つかの実施形態では、リフト装置１０６は台車１１０から取り外し可能であり得る。ロック可能及び／又は取り外し可能であるというこの機能は、リフト装置１０６の２つ以上の台車係合特徴部１３０に係合するように構成され適合された２つ以上のリフト係合特徴部１２８によってもたらされ得る。リフト係合特徴部１２８は、台車フレーム１２２に形成された孔であり得る。台車係合特徴部１３０は、ピンなどであり得る。幾つかの実施形態で、台車係合特徴部１３０は、車輪付き基部１１２から伸長可能であり、車輪付き基部１１２から後退可能又はその内部へと格納可能であり得る。伸長及び後退は、ピボットラッチ、クランク、レバー、ハンドル車など（図示せず）の任意の適切な機構によって達成され得る。

ここで図２を参照すると、部品リフトアセンブリ１０４のリフト装置１０６は、車輪付き基部１１２に連結されたリフト部分１１４としてのバーチカルリフトを含み得る。リフト部分１１４は、車輪付き基部１１２に連結された固定部分１１４Ｓと、固定部分１１４Ｓに対して可動な可動部分１１４Ｍとを含み得る。可動部分１１４にブーム１１６が連結され得る。リフト部分１１４のリフト機構の動作により、ブーム１１６と、これに連結された任意の部品が上昇する。リフト機構は、ラックギア式伝動機などに連結された高耐久性バーチカルリフトモータであり得る。手動クランク又はポンプ型のリフト機構を含む任意の適切なリフト機構が用いられ得る。幾つかの実施形態で、可動部分１１４Ｍは固定部分１１４Ｓに対して入れ子状（ｔｅｌｅｓｃｏｐｅａｂｌｅ）であり得る。同様に、ブーム１１６が可動部分１１４Ｍから横方向に伸長可能であり得る。ブーム１１６はまた、可動部分１１４Ｍの垂直軸周囲で回転可能であり得る。

図１、３、４、及び６に示すように、幾つかの実施形態で、部品リフトアセンブリ１０５は、ツール（例えば、ツール１０１Ａ）の第１の側で第１の台車１１０に連結された第１のリフト装置１０６と、ツールの第２の側で第２の台車１１０に連結された第２のリフト装置１０６とを含み、ツールをまたぐように構成されていてよい。リフト装置１０６のそれぞれのブーム１１６は、ブリッジブラケット１３２を用いて連結され得る。他の適切な接続部がブーム１１６間で使用されてよい。

図９は、フロアアセンブリの様々な部分の分解図を示す。具体的には、複数のフロアタイル１３４Ｔ（幾つかのみ表示）で構成されたフロア１３４が、第１のフロア構造９５２及び第２のフロア構造９５４によって、フロア基部９５０から上昇され得る。フロア基部９５０は、コンクリート又は鋼とコンクリートとの組み合わせなど、任意の剛性の基部構造で作製され得る。第１のフロア構造９５２は、例えば、Ｉ字型の桁のグリッド状の剛性構造であり得る。第２のフロア構造９５４は、ファスナ及びブラケットなどにより第１のフロア構造９５２に機械的に連結され得る。第２のフロア構造９５４は、例えば、桁のグリッド状剛性構造であり得る。第２のフロア構造９５４は、フロア１３４を、特にフロアタイル１３４Ｔを支持するように動作する。第２のフロア構造９５４内の開口区域９５５が軌道１０８を受容し得る。幾つかの実施形態では、軌道１０８が第２のフロア構造９５４に連結され得る。他の実施形態では、軌道１０８が第１のフロア構造９５２に連結され得る。

これに加えて又はオプションで、図１１及び１２に示すように、軌道１０８が、軌道支持体１０５６によってフロア基部９５０に対し支持されてもよい。図１１及び１２は、床下に取り付けられた構成で（即ち、フロア１３４の下に）設けられている軌道１０８を含む、幾つかのフロア設置を示す。フロア支持体１０５８が、フロアのサブ支持体１０５４に（図１１）、又は、第１の及び第２のフロア構造９５２、９５４に（図１２）直接連結され得る。リフトボックス１０６０が含まれ得る。

図１０では別の電子デバイス処理システム１００を示す。電子デバイス処理システム１００は、フロア１３４上に配置された複数の基板処理ツール１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃを含み、各基板処理ツールは、設置のために移動されるか又は保守のために除去され得るＦＡＢ部品を含み得る。一以上の部品リフトアセンブリ１０４、１０５が設けられ得、ＦＡＢ部品のうちの一以上を持ち上げるか又は下降するよう適合され且つ動作可能である。部品リフトアセンブリ１０４、１０５は、一以上の軌道１０８の各々に沿って可動な台車１１０とともに、一以上の軌道１０８を含み得る。部品リフトアセンブリ１０４、１０５の各リフト装置１０６（例えば、図２及び７に示すリフト装置１０６）は、台車１１０に連結するように適合されている。上述のように、リフト装置１０６は、車輪付き基部１１２、車輪付き基部１１２に連結されたリフト部分１１４、及び、リフト部分１１４の可動部分１１４Ｍに連結され且つ一以上のＦＡＢ部品に連結するように適合されたブーム１１６を含み得る。部品リフトアセンブリ１０４、１０５で用いられる複数のリフト装置１０６の各々は同一であり得る。図示のように、一以上の軌道１０８はフロア１３４の下に取り付けられている。リフト装置１０６が取り除かれると、軌道１０８の上のフロアタイルが戻され得る。リフト装置１０６は、図５Ａに示す折り畳まれた構成で保管され得る。

図５Ｂはリフト装置５０６の別の実施形態を示す。この実施形態で、ブーム５１６は、複数のブーム部分（ブーム部分５１６Ａ−５１６Ｄ）を含むマルチピース構成を有する。図示の実施形態で、ブーム部分５１６Ｂ−５１６Ｄは、関節式に動き（即ち、図示のように水平面で互いに対して回転）し得る。一以上の実施形態で、ブーム５１６は、第１のブーム部分５１６Ａ及び第２のブーム部分５１６Ｂなど、互いに対して往復動する２つの部分を含み得る。これにより、ブーム５１６上の接続点が軌道１０８から横方向に離れるように移動され得る。ブーム５１６が関節機能を有する場合、関節ブーム部分の数は、１つのみ（例えば第３のブーム部分５１６Ｃ）、２つ（例えば第３のブーム部分５１６Ｃ及び第４のブーム部分５１６Ｄ）、或いは３つ以上であってもよい。所望に応じて、更なる関節ブーム部分が追加されるか、又は関節式ジョイントにおけるピボットピンを除去することにより取り除かれてもよい。

更に、図５Ｃ及び５Ｄに示すように、他のタイプのヒンジジョイント及び関節機能を有するリフト装置５０６Ｃ、５０６Ｄが提供され得る。例えば、図５Ｃは、Ｘ軸周囲で関節動するブーム部分５１６Ｅを有したリフト装置５０６Ｃを示す。図５Ｄに示すリフト装置５０６Ｄは、ブーム部分５１６ＦがＺ軸（例えば、垂直軸）周囲で関節動することを可能にするヒンジジョイントを有するブームを含み得る。しかしながら、他の実施形態では、Ｙ軸又は任意の所望の水平軸周囲で関節動し得る。幾つかの実施形態では、ブーム部分間に球形ジョイントが含まれてもよい。移動されるべき部品をブーム部分に接続するのに、フック、ケーブル、チェーン、プレートなどの任意の適切なアタッチメントが使用されてよい。

図１３−１５は、基板処理ツール１０１Ａ−１０１Ｃ、及び複数のリフトアセンブリ１４０４を含む製造システム１３００を示す。リフトアセンブリ１４０４は先述したものと同様、リフト装置１４０６、台車１１０、及び軌道１０８を含む。この実施形態のリフト装置１４０６は、複数のスタビライザ１４７０を含む。スタビライザ１４７０は、クランク１４７２又は他の適切な機構によって、フロア１３４と係合するために下降され得る。

本発明のある実施形態による、電子デバイス処理システムの部品を移動する方法１６００が、図１６に提供される。方法１６００は、１６０２で台車（例えば、台車１１０）を含む軌道（例えば、軌道１０８）を設けること、１６０４で軌道上方にリフト装置（例えば、リフト装置１０６、５０６Ｃ、５０６、１４０６）を配置すること、１６０６でリフト装置を台車に連結すること、１６０８でリフト装置のブーム（例えば、ブーム１１６、５１６Ｅ、５１６Ｆ）を部品（例えば、基板処理ツール１０１Ａ−１０１Ｃの部品）に連結すること、１６１０でブームを動かすことにより部品を持ち上げること、及び、１６１２でリフト装置を軌道に沿って所望の位置に移動させること、を含む。

図１７−２１Ｂは、部品リフトアセンブリ１７０４及びその様々な部分の別の実施形態を示す。図１７及び１８Ａで最もよく示すように、部品リフトアセンブリ１７０４は、軌道１７０８、軌道１７０８に沿って可動な台車１７１０、及び台車１７１０に連結するように適合されたリフト装置１７０６を含む。先述したように、リフト装置１７０６は、車輪付き基部１７１２、リフト部分１７１４、及び、部品が移動（例えば、設置又は除去）され得るようツール（図示せず）の部品に連結するように適合されたブーム１７１６を含み得る。ブーム１７１６は複数のブーム部分を含み得、関節機能を有し得る。先と同様、リフト部分１７１４は車輪付き基部１７１２に連結されており、リフト部分１７１４は、車輪付き基部１７１２に連結された固定部分１７１４Ｓと、固定部分１７１４Ｓに対して可動な可動部分１７１４Ｍとを含み、ブーム１７１６が可動部分１７１４Ｍに連結されている。可動部分１７１４Ｍは、例えば固定部分１７１４Ｓ上に形成されたラック上で上下に動き得る。持ち上げを行うために、リフト装置１７０６中に内蔵され得る適切なモータが用いられてよい。

この実施形態で、軌道１７０８は複数のタイル１７７４（幾つかのみ表示）で作製されていてよい。軌道１７０８は複数の軌道区域を含み得、それらの幾つかは互いに交差し得る。交差する２つの軌道が図１７に示されている。しかしながら、例えばツール間で、ツールの側部に沿って、一以上のツールの端部で、及びその他の向き、又はそれらの組み合わせで、任意の数の軌道区域が使用されてよいことを理解されたい。各軌道区域は、複数のタイル１７７４で作製され得る。各タイル１７７４は軌道支持体１７５６（幾つかのみ表示）によって支持され得る。軌道支持体１７５６は、フロア基部９５０などのフロアに連結されるか、又は第１の支持構造９５２などの他の中間構造に連結され得る。図示のように、各タイル１７７４は、４つの軌道支持体１７５６によってこれら支持体のコーナーなどにおいて直接的に支持される。タイル１７７４は列で配置されて軌道１７０８を形成し得、各タイル１７７４はボルトなどのファスナによって４つの軌道支持体１７５６に連結され得る。既存の高床式（ｅｌｅｖａｔｅｄ）フロア構造（図示せず）のうち幾らかの部分が、タイル１７７４及び軌道支持体１７５６の設置を可能にするために切り取られてよい。タイル１７７４は、例えば、既存の高床式フロアと同一平面上に設置され得る。

図２１Ａ−２１Ｂはタイル１７７４の一実施形態を示す。タイル１７７４は上面２１７５を含み、この上をリフト装置１７０６の車輪１８８０が走行する（図１８Ｃを参照）。タイル１７７４はスロット２１７６を含み、これらは離間されたＴスロットであり得る。スロット２１７６は、タイル１７７４の端から端まで伸び得る。台車１７１０の台車車輪１９２４がスロット２１７６内を走行し得る。台車１７１０の側部車輪１９２６（図１９Ａを参照）がスロット２１７６内を走行し得る。従って、台車１７１０は軌道１７０８内で保持され得、横方向の動き、垂直方向の動き、及び傾斜／揺動（ｔｉｐｐｉｎｇ／ｒｏｃｋｉｎｇ ｍｏｔｉｏｎ）が制限され得る。しかしながら、台車１７１０はスロット２１７６内で軸方向に前後に動き得る。タイル１７７４は、一端に、隣接したタイル１７７４の端部の孔内に受容される一以上のピン２１７７を含み得る。この方式で、スロット２１７６は、タイル１７７４からｎｅｘｔ隣接するタイルまで位置合わせされ得る。他の適切な位置合わせ手段が用いられてもよい。タイル１７７４を軌道支持体１７５６に締結するためのファスナ（図示せず）を受容するために、皿穴２１７８が設けられ得る。

図１７及び２０に示すように、アクセスタイル１７７４Ａなどの１つのタイルがアクセスドア１７５７を含み得る。軌道１７０８が高床式フロアによって囲まれているので、アクセスドア１７５７が上昇され得、台車車輪１９２４をスロット２１７６に挿入することによって、一以上の台車１７１０が軌道１７０８に設置されることを可能にする。

図１９Ａ−１９Ｃに示すように、この実施形態で、台車１７１０は台車フレーム１９２２を含み得、ここに台車車輪１９２４と側部車輪１９２６が連結され且つ回転可能であり得る。台車車輪１９２４は、スロット２１７６の水平部分に係合し走行し得る。側部車輪１９２６は、スロット２１７６の垂直部分に係合し走行し得る。台車車輪１９２４及び側部車輪１９２６は、金属、硬質ゴム、熱可塑性エラストマ、ウレタン、及びこれらの組み合わせなど任意の適切な硬度の材料で作製され得る。他の車輪タイプが使用されてもよい。

台車１７１０の上部側は、リフト装置１７０６の一以上の台車係合特徴部１８３０と係合するように適合された、一以上のリフト係合特徴部１９２８を含み得る。この実施形態で、リフト係合特徴部１９２８は２つの棚部（ｓｈｅｌｖｅｓ）であり得、これらは図１８Ｃに示すように、相補形状の台車係合特徴部１８３０を受容するように構成され得る保持チャネル１９７８を形成し得る。リフト装置１７０６が横方向に移動できないように、又は軌道１７０８に対して感知可能なほど傾斜／揺動しないように、リフト装置１７０６を軌道に拘束することによって、リフト係合特徴部１９２８は台車係合特徴部１８３０と協働して、リフト装置１７０６を軌道１７０８に沿った直線運動に拘束し、それによりリフト装置１７０６を安定化して軌道１７０８に固定する。

台車１７１０は、台車１７１０を軌道１７０８上に設置することを支援するように構成された一以上のハンドル１９２５を含み得る。台車１７１０は一以上の端部に、リフト装置１７０６の下で台車１７１０が動くことを制限するための緩衝停止部１９２７を含み得る。図示の溝などの、一以上の二次的なリフト係合特徴部１９２８Ｓが台車１７１０に含まれてもよく、台車１７１０とリフト装置１７０６とが軌道１７０８に沿ってのみ共に移動し得るよう、台車１７１０をリフト装置１７０６に接続し軌道１７０８の方向にロックするように構成され得る。ばね付勢されたラッチボルトなど、任意の適切な二次な台車係合特徴部１８３０Ｓが用いられてもよい。

ここで図１８Ｂ及び１８Ｃを参照すると、リフト装置１７０６（一部分のみ示す）は、一以上の牽引ハンドル１８２３が連結された車輪付き基部１７１２を含み得る。この実施形態で、車輪付き基部１７１２は、荷重車輪１８８０と格納可能車輪１８１８との両方を含む。荷重車輪１８８０は台車車輪１９２４と共に、リフト装置１７０６によって部品を持ち上げることに起因する垂直方向の荷重及びモーメントを担う。格納可能車輪１８１８は、リフト装置１７０６が軌道１７０８から離れるように移動される際に更なる安定性をもたらすために使用され得る。

前述の説明は、本発明の単なる例示的な実施形態を開示している。本発明の範囲内に該当する、上記で開示された装置、システム及び方法の変形例は、当業者には容易に明らかになるだろう。そのため、本発明は例示的な実施形態に関連して開示されているが、他の実施形態も、以下の特許請求の範囲によって定義されるように、本発明の範囲内に該当しうると理解されるべきである。

Claims (15)

1. 一以上の軌道、
   前記一以上の軌道に沿って可動な一以上の台車、及び
   前記一以上の台車に連結するように適合され、且つ、車輪付き基部と、リフト部分と、部品に連結するように適合されたブームとを含む、一以上のリフト装置
   を備えた、部品リフトアセンブリ。
2. 前記一以上の軌道が捕捉チャネルを含むモノレールを備え、前記捕捉チャネルはその内部に台車を捉えておくように適合されている、請求項１に記載の部品リフトアセンブリ。
3. 前記一以上の軌道が、床下構成で取り付けられたモノレールを備える、請求項１に記載の部品リフトアセンブリ。
4. 前記一以上の軌道が複数のタイルを備える、請求項１に記載の部品リフトアセンブリ。
5. 前記一以上の台車が、台車フレームと、前記台車フレームに回転可能に連結されて前記一以上の軌道に係合するように適合された、４つ以上の台車車輪とを備える、請求項１に記載の部品リフトアセンブリ。
6. 前記一以上の台車が、一以上の側部車輪を備える、請求項１に記載の部品リフトアセンブリ。
7. 前記一以上の台車が、台車フレームと、前記台車フレームに回転可能に連結された台車車輪及び側部車輪とを備え、前記台車車輪及び前記側部車輪が、タイル内に形成されたスロット内を走行するように構成されている、請求項１に記載の部品リフトアセンブリ。
8. 前記一以上の台車が、前記リフト装置の２つ以上の台車係合特徴部と係合するように適合された２つ以上のリフト係合特徴部を備える、請求項１に記載の部品リフトアセンブリ。
9. 前記車輪付き基部が、前記一以上の台車のうちの１つの台車の２つ以上のリフト係合特徴部と係合するように適合された２つ以上の台車係合特徴部を備える、請求項１に記載の部品リフトアセンブリ。
10. 前記一以上のリフト装置が、前記車輪付き基部に連結されたリフト部分であって、前記車輪付き基部に連結された固定部分と、前記固定部分に対して可動な可動部分とを含むリフト部分、及び、前記可動部分に連結された前記ブームを含む、請求項１に記載の部品リフトアセンブリ。
11. 前記ブームが複数のブーム部分を含む、請求項１０に記載の部品リフトアセンブリ。
12. 前記複数のブーム部分のうちの少なくとも幾つかが関節機能を有する、請求項１１に記載の部品リフトアセンブリ。
13. 第１の台車に連結された第１のリフト装置と、第２の台車に連結された第２のリフト装置とを備え、前記第１のリフト装置及び前記第２のリフト装置のそれぞれのブームがブリッジブラケットを用いて連結される、請求項１に記載の部品リフトアセンブリ。
14. フロア上に配置され且つ各々がＦＡＢ部品を含む、複数の基板処理ツールと、
    前記ＦＡＢ部品のうちの一以上を持ち上げるか又は下降させるように適合された、一以上のリフトアセンブリと
    を備えた、電子デバイス処理システムであって、前記リフトアセンブリが、
    一以上の軌道、
    前記一以上の軌道の各々に沿って可動な台車、及び
    前記台車に連結するように適合されたリフト装置、を備え、前記リフト装置が、車輪付き基部と、前記車輪付き基部に連結されたバーチカルリフトと、前記バーチカルリフトの可動部分に連結され、且つ前記一以上のＦＡＢ部品に連結するように適合されたブームとを含む、システム。
15. 電子デバイス処理システムの部品を移動する方法であって、
    台車を含む軌道を設けること、
    前記軌道の上方にリフト装置を配置すること、
    前記リフト装置を前記台車に連結すること、
    前記リフト装置のブームを前記部品に連結すること、
    前記ブームを動かすことによって前記部品を持ち上げること、及び
    前記リフト装置を前記軌道に沿って所望の位置へ移動させること
    を含む、方法。

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