TW201417940A - 精密工作機械 - Google Patents

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Hiroshi Utimura
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Toshiba Machine Co Ltd
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Abstract

本發明是針對構成為在機床(10)上豎立設置的立柱(14)設有可上下方向移動的主軸頭(20)，於立柱(14)的內部形成有溫控後之冷卻水儲水空間的精密工作機械，於立柱(14)的下部具有冷卻水導入至上述儲水空間用的取水口(38a、38b)，於立柱(14)的上部具有冷卻水導出至外部用的排水口(40)，在比排水口(40)還高的位置設有立柱內之空氣排出用的排氣孔(49)。

Description

精密工作機械
本發明是關於精密工作機械，特別是關於透鏡等光學零件成型模具等超精密加工用的精密工作機械。
近年，已開發有對需要高度之加工精度的零件例如光學相關機器的反射鏡或透鏡等成型用精密模具進行高精度加工之立型、橫型、門型的精密工作機械或者車床等精密工作機械。
例如以門型工作機械為例進行說明時，門型工作機械，乃一種由橫樑水平架設在機床上兩側所立設之左右立柱上藉此形成為具有門型之立柱的工作機械。該工作機械，於左右立柱之間設有工作台，於橫樑設有保持著主軸頭且可移動的滑件。
先前的門型工作機械，一般為大型且長尺形之工件加工執行用的大型工作機械，但近年來，已開發有可執行高精度加工之小型的門型精密工作機械。利用該門型精密工作機械，對精密機械相關之精密零件或光學相關機器的零件製造所使用的精密模具進行加工。
例如：就反射鏡或透鏡等光學零件成型使用之模具的加工而言，對於模具表面要加工成高精度的鏡面，則需要亞微米級或納米級的超精密水準的精度。當對具有如此高精度之鏡面的模具進行加工時，由於加工完成時間必然變長，因此就需要使加工開始至加工結束為止之間的環境溫度變化不會影響到加工精度。此外，對於立型或橫型的精密工作機械或車床也會產生相同的要求。
一般而言，工作機械，基於馬達或引導面的發熱或室溫的變動，都會造成機床或立柱產生熱變形，因此對於熱變形所採用的施行對策乃於立柱或機床設有流動冷卻水的配管。例如：立柱冷卻所使用的先前技術可例舉有例如日本特開平5-309536號公報、特開平6-126564號公報所記載的立柱冷卻構造。
門型精密工作機械或立型精密工作機械的形態，其工具的切入方向(Z軸)，是與立柱相同為垂直方向，當立柱受到溫度變動的影響而熱變形時，則加工精度會立刻降低，無法獲得鏡面般的超精密加工。
以往，精密工作機械，其與其他的加工機相同具備有冷卻裝置對軸驅動用的馬達或引導面等之發熱部供應冷卻水，也有執行使冷卻水一部份循環在立柱內的對策，但由於只能冷卻立柱的一部份，因此該對策就超精密加工而言其效果不大。
為了解決該問題，所施行的對策是將精密工作機械設置在恆溫室，或控制精密工作機械包圍用之罩蓋 內部的溫度。但是，上述恆溫室，對於工作機械本身產生的熱或環境溫度變化造成的立柱熱位移未必能夠控制達到足以進行超精密加工的程度。再加上，該等恆溫控制設備非常昂貴亦是問題。
本來，立柱就不是預定做為水箱利用的構造物，因此於該立柱的內部僅只放入冷卻水還是難以使立柱的熱度穩定。
本發明之目的，在於提供一種不需追加設備就能夠使最容易受到環境溫度變化影響的立柱或機床有效穩定熱度，即使在惡劣環境下還是能夠實現超精密加工的精密工作機械。
此外，本發明之目的，又在於提供一種可更進一步提昇立柱兼為裝滿有冷卻水之水箱時的冷卻效果，不拘環境溫度變化造成的變動能夠使立柱的熱度穩定且有效抑制熱位移，能夠實現超精密加工的精密工作機械。
為了達成上述目的，本發明，具備：機床；豎立設置在上述機床上的立柱；及設置在上述立柱且設置成可朝上下方向移動的主軸頭，上述立柱，具備區隔有儲水空間的內部構造，該儲水空間形成溫控後之冷卻水的儲水槽。
此外，本發明，具備：機床；豎立設置在上述機床上的立柱；及設置在上述立柱且設置成可朝上下方向移動的主軸頭，上述立柱，具備區隔有儲水空間的內部構造，該儲水空間形成溫控後之冷卻水的儲水槽，於上述立柱的下部具有冷卻水導入至上述儲水空間用的取水口，於上述立柱的上部具有冷卻水導出至外部用的排水口，在比上述排水口還高的位置設有上述立柱內之空氣排出用的排氣孔。
10‧‧‧機床
11‧‧‧引導面
12‧‧‧工作台
14‧‧‧門型立柱
15‧‧‧立柱
16‧‧‧橫樑
17‧‧‧滑件
18‧‧‧引導面
20‧‧‧主軸頭
22‧‧‧主軸
30‧‧‧傾斜隔板
31‧‧‧傾斜隔板
32‧‧‧傾斜隔板
33‧‧‧傾斜隔板
36a‧‧‧第1冷卻水儲水區劃
36b‧‧‧第2冷卻水儲水區劃
36c‧‧‧第3冷卻水儲水區劃
36d‧‧‧第4冷卻水儲水區劃
36e‧‧‧第5冷卻水儲水區劃
36f‧‧‧第6冷卻水儲水區劃
36g‧‧‧第7冷卻水儲水區劃
38a、38b‧‧‧取水口
40‧‧‧排水孔
41‧‧‧傾斜隔板30的預鑄孔
42‧‧‧傾斜隔板31的預鑄孔
43‧‧‧傾斜隔板30的預鑄孔
44‧‧‧傾斜隔板32的預鑄孔
45‧‧‧傾斜隔板33的預鑄孔
46‧‧‧傾斜隔板32的預鑄孔
47‧‧‧預鑄孔
48‧‧‧預鑄孔
49‧‧‧排氣孔
50‧‧‧冷卻水溫控裝置
51‧‧‧配管
52‧‧‧逆止閥
53‧‧‧排水配管
54‧‧‧冷卻水回收用配管
55‧‧‧冷卻水槽
56a、56b‧‧‧水位感測器
57‧‧‧回水配管
70‧‧‧本體
71‧‧‧管狀壁
72‧‧‧主軸驅動單元
74‧‧‧冷卻水儲藏區劃
75‧‧‧冷卻水入口
76‧‧‧冷卻水出口
80‧‧‧冷卻水儲藏區劃
84‧‧‧機床
85‧‧‧滑件
86‧‧‧工作台
87‧‧‧立柱
88‧‧‧主軸頭
90‧‧‧主軸
91‧‧‧取水口
92‧‧‧冷卻水儲水區劃
93‧‧‧排水孔
94‧‧‧排氣孔
X‧‧‧X軸
Y‧‧‧Y軸
Z‧‧‧Z軸
第1圖為表示應用本發明之門型精密工作機械的立體圖。
第2圖為門型精密工作機械之門型立柱的正面圖。
第3圖為第2圖所示之門型立柱的縱剖面圖。
第4圖為門型精密工作機械之冷卻水系統的系統圖。
第5圖為本發明第2實施形態之精密工作機械的主軸頭剖面圖。
第6圖為本發明第2實施形態之精密工作機械的機床剖面圖。
第7圖為表示本發明第3實施形態之門型精密工作機械的冷卻水系統之系統圖。
[發明之實施形態]
以下，一邊參閱附圖一邊針對本發明之精密工作機械的實施形態進行說明。
第1實施形態
第1圖為表示應用本發明的門型精密工作機械。第1圖中，參閱符號10表示機床。於該機床10上，沿著引導面11設有可朝前後方向移動的工作台12。參閱符號14表示門型立柱的全體。該門型立柱14，由機床10上配置在工作台12左右之垂直豎立的立柱15和水平架設在該立柱15、15間的橫樑16所構成。
該實施形態中，門型立柱14，其是立柱15、15和橫樑16為一體構造的鑄造物。該門型立柱14的細部構造將於下述詳細說明。
於橫樑16的上面，設有沿著引導面18可朝左右方向移動的滑件17。於該滑件17保持著主軸頭20，於該主軸頭20設有朝上下方向移動的主軸22。該門型精密工作機械，乃一種對工件施行亞微米級或納米級之超精密加工的機械。主軸22，由高速空氣軸承支撐著，構成為最大限度能夠120000/分相當之超高速旋轉。
上述構成的門型精密工作機械中，X軸為工作台12移動控制用的軸，Y軸為滑件17移動控制用的 軸，利用X軸和Y軸執行工具其在水平面上的位置。Z軸為執行主軸22上下方向定位用的軸，主要是控制工具的切入量。
就門型精密工作機械的形態而言，是於移動在橫樑16之引導面18的滑件17上執行主軸22之上下方向的定位，該引導面18成為上下方向即Z軸上之定位的所謂基準面。另一方面，於門型立柱14，由於引導面18和放置在工作台12上的工件之間的高低差大，因此當門型立柱14構成用的立柱15或橫樑16產生熱變形時，工具之Z軸上的定位精度就會受到大的影響。以亞微米單位或納米單位執行超精密加工時，至鏡面加工等之最終加工結束為止需要長時間。於該期間，從工作機械的各部會持續產生熱，溫度環境會逐漸變化，因此就算溫度變動所造成門型立柱14其極微小的變形，也會大幅影響到定位精度。
本實施形態中，為了將門型立柱14保持成穩定的熱度狀態，是於門型立柱14的內部形成有以下所述的冷卻水儲水空間，以使門型立柱14的本體本身兼為溫控後之冷卻水儲水用的冷卻水儲水槽。
於此，第2圖為表示門型立柱14的正面圖，第3圖為表示門型立柱14的剖面圖。
該實施形態的門型立柱14，其是立柱15、15和橫樑16成為一體構造的鑄造物。門型立柱14的內部，形成為空心的同時分成複數的空間區劃，於該空間區劃形成有冷 卻水儲水空間。就該實施形態而言，門型立柱14的內部，利用剛性確保用的傾斜隔板30、31、32、33以左右對稱的狀態區劃出7個冷卻水儲水區劃即第1至第7冷卻水儲水區劃36a至36g。
於左右之立柱15的下部，形成有分別連通於第1冷卻水儲水區劃36a、第7冷卻水儲水區劃36g的取水口38a、38b。該取水口38a、38b，如下述所示，還兼為從立柱15內排出冷卻水用的排水口，因此以設置在立柱15之盡可能下面的位置為佳。
相對於此，在橫樑16中央部的高位置形成有連通於第4冷卻水儲水區劃36d的排水孔40。該排水孔40的位置，以相對取水口38a、38b位於盡可能高的位置設置在接近橫樑16上面的位置為佳。
第1冷卻水儲水區劃36a和第2冷卻水儲水區劃36b經由傾斜隔板30的預鑄孔41形成為連通著，第2冷卻水儲水區劃36b和第3冷卻水儲水區劃36c經由傾斜隔板31的預鑄孔42形成為連通著。第3冷卻水儲水區劃36c和第4冷卻水儲水區劃36d經由傾斜隔板30的預鑄孔43形成為連通著。同樣地，第4冷卻水儲水區劃36d和第5冷卻水儲水區劃36e經由傾斜隔板32的預鑄孔44形成為連通著。第5冷卻水儲水區劃36e和第6冷卻水儲水區劃36f經由傾斜隔板33的預鑄孔45形成為連通著，第6冷卻水儲水區劃36f和第7冷卻水儲水區劃36g經由傾斜隔板32的預鑄孔46形成為連通著。
本實施形態中，以分別連同於被區劃在橫樑16內部之第3至第5冷卻水儲水區劃36c、36d、36e的狀態設有排氣孔49。該排氣孔49位於比排水孔40還高的位置。
另，如第2圖所示，於門型立柱14的正面，基於鑄造上的需求而形成有預鑄孔47、48，但該等預鑄孔47、48由罩蓋閉塞著。
其次，第4圖為表示門型精密工作機械的冷卻水循環系統圖。第4圖中，參閱符號50為控制冷卻水溫度成指定之一定溫度的冷卻水溫控裝置。該冷卻水溫控裝置50，其和門型立柱14的取水口38a、38b乃由配管51連接著。於該佩管51，設有防止冷卻水從門型立柱14往冷卻水溫控裝置50逆流的逆止閥52。此外，從配管51分岐出可使冷卻水從門型立柱14排出的排水配管53。
另一方面，從設置在門型立柱14上部的排水孔40延伸出來的冷卻水回收用配管54，形成為延伸至冷卻水槽55。該冷卻水槽55，是可讓從門型立柱14溢出的冷卻水積蓄保存的水槽。該實施形態中，於冷卻水槽55，設有冷卻水之水量監視用的水位感測器56a、56b。水位感測器56a偵測水位的下限，水位感測器56b偵測水位的上限。冷卻水槽55和冷卻水溫控裝置50由回水配管57連接著，藉此使積蓄在冷卻水槽55的冷卻水以指定流量返回至冷卻水溫控裝置50。
另針對冷卻水，雖然可以使用水，但以使用 水中已經溶解有例如precisefluid 2001(商品名)、JX日鑛日石能源股份公司製所示的工作機械溫度控制用之水溶性冷卻液的冷卻水為佳。使用該冷卻水時可提高冷卻水的熱交換性能，此外還能夠提昇防蝕效果。
本實施形態之精密工作機械，其構成如以上所示，其次，針對該精密工作機械的作用及效果進行說明。
第4圖中，對於門型立柱14，從冷卻水溫控裝置50經過配管51輸送有一定溫度的冷卻水。冷卻水，乃從位於門型立柱14下部的取水口38a、38b導入至門型立柱14內部，使第1至第7冷卻水儲水區劃36a至36g的各個區劃裝滿冷卻水。接著，從位於最上位的冷卻水儲水區劃36d經過排水孔40溢出的冷卻水，是經過冷卻水回收用配管54回收至冷卻水槽55。積蓄在該冷卻水槽55的冷卻水，是由冷卻水溫控裝置50冷卻成一定溫度後再送至門型立柱14。
本實施形態中，為了讓溫控管理成一定溫度的冷卻水裝滿在門型立柱14的內部，於門型立柱14的上部另外設有排氣孔49有別於排水孔40。如此一來，隨著冷卻水的水面逐漸上升在門型立柱14內部，就會使空氣逐漸從排氣孔49排出，因此就能夠在不承受空氣壓力的狀態下使冷卻水於門型立柱14內部裝滿至排水孔40的高度為止。再加上，由於排水孔40設置在門型立柱14的上部，因此就能夠使門型立柱14的內部全體都儲存有冷卻 水。
如此一來，根據本實施形態時，所呈現的狀態是區劃遍及門型立柱14之內部全體的第1冷卻水儲水區劃36a至第7冷卻水儲水區劃36g內時常儲存有保持成指定溫度的冷卻水，換句話說，門型立柱14本身全體可做為已溫控之冷卻水的水箱。
再加上，於門型立柱14的內部，冷卻水會產生對流，溫度漸高的冷卻水會逐漸上升，從排水孔40排出至冷卻水槽55。於該期間，冷卻水也會從冷卻水溫控裝置50持續供應至門型立柱14的內部。如此一來，藉由在門型立柱14的上部設有排水孔40，就能夠抑制門型立柱14內部之冷卻水的溫度上升能夠提昇冷卻效果，不依賴環境溫度的變化就能夠使門型立柱14的溫度管理成一定。
再加上，於本實施形態中，為了讓門型立柱14的內部時常儲存有一定量的冷卻水，構成有可將從排水孔40溢出的冷卻水一旦先回收至冷卻水槽55，再從該冷卻水槽55送至冷卻水溫控裝置50的循環系統。溢出的冷卻水先積蓄在冷卻水槽55，則門型立柱14的內部就能夠時常儲存有一定量的冷卻水。接著，於該實施形態中，就冷卻水槽55而言，乃利用冷卻水之水位偵測用的水位感測器56a、56b監視冷卻水的水位。當冷卻水的水位低於下限位置時就會由水位感測器56b檢測出，反之，當冷卻水的水位高於上限位置時就會由水位感測器56a檢測 出，因此就能夠事先防止冷卻水不足或冷卻水溢滿。
如以上所述，根據本實施形態時，即使精密工作機械為具備有工具之切入方向(Z軸)為垂直方向，且工件和橫樑16之引導面18的距離大，容易受溫度變動影響之門型立柱14的門型精密工作機械，但基於門型立柱14的內部時常裝滿已溫控的冷卻水，且從立柱下部之取水口38a、38b導入的冷卻水會從立柱上部所設置的排水孔40溢出以提昇冷卻效果，因此就能夠以非局部性使門型立柱14全體的熱度狀態長時間保持成一定，有助於實現工件加工成高精度之鏡面等加工費時之納米級的超精密加工。
再加上，相較於工作機械設置在恆溫室內的形態或設有要對工作機械包圍用之罩蓋內的溫度進行控制的裝置，本實施形態乃利用門型立柱本來的構造，因此就不需追加設備，就能夠以低成本使最容易受到環境溫度變化影響的立柱避免溫度變動的影響獲得穩定的熱度。
第2實施形態
其次，一邊參閱第5圖一邊針對本發明之第2實施形態進行說明。該第2實施形態，其為一種除了第1圖之門型精密工作機械的門型立柱14形成有冷卻水儲水區劃以外，連同主軸頭20的內部及機床10的內部也都形成有裝滿已溫控之冷卻水的冷卻水儲藏區劃之實施形態。
第5圖中，主軸頭20構成用之長方體形狀的 本體70，其為一體構造且空心的鑄造物。於其中央部，形成有管狀壁71，該管狀壁71的內側，形成為主軸22支撐用之高速空氣軸的安裝孔或形成為已組入有伺服馬達之主軸驅動單元72的安裝孔。此外，於主軸頭20之本體70的內部，管狀壁71的外側為冷卻水儲藏用的冷卻水儲藏區劃74，由第5圖所示之冷卻水溫控裝置50控溫成一定溫度的冷卻水乃從冷卻水入口75供應。另外，於主軸頭20的本體70，形成有冷卻水出口76，從該冷卻水出口76導出的冷卻水，是經由冷卻水槽55回到冷卻水溫控裝置50。
上述的第2實施形態中，針對主軸頭20，也是活用其本體70為鑄造物的特性，於內部設有冷卻水儲藏區劃74，因此就能夠以低成本使機械當中為大發熱源的主軸頭20全體有效保持成一定的溫度。
另，於本實施形態中，如第6圖所示，在機床10的內部也同樣由隔板形成有複數的冷卻水儲藏區劃80。對該等冷卻水儲藏區劃80從未圖示之入口孔也供應有由冷卻水溫控裝置50溫控管理成一定溫度的冷卻水，此外冷卻水也經過未圖示之出口孔所連接的配管，經由冷卻水槽55回到冷卻水溫控裝置50。如上述，基於機床10內部的冷卻水儲藏區劃74裝滿有控溫成一定溫度的冷卻水，因此就能夠使機床10全體有效保持成一定溫度。
第3實施形態
接著，一邊參閱第7圖一邊針對本發明之第3實施形態進行說明。該第3實施形態，為本發明應用在橫型精密工作機械的實施形態。另，對於與第4圖之第1實施形態相同的構成要素標示相同的參閱符號以省略其詳細說明。
第7圖中，參閱符號84表示機床。於該機床84上，設有可朝前後方向移動的滑件85。此外，於滑件85上，設有可朝左右方向移動的工作台86。於設置在機床84的立柱85，保持著可上下移動的主軸頭88，於該主軸頭88水平支撐著主軸90。
於本實施形態的橫型精密工作機械中，活用立柱87為鑄造物的特性，於其內部區隔有複數的冷卻水儲水區劃92，經過設置在立柱87下部的取水口91導入有從冷卻水溫控裝置50送來的冷卻水。接著，與第1實施形態相同，為了讓立柱87的內部時常儲存有一定量的冷卻水，構成有可將從排水孔93溢出的冷卻水一旦先回收積蓄在冷卻水槽55，再從該冷卻水槽55送至冷卻水溫控裝置50的循環系統。此外，有別於排水孔93，在高於排水孔93的位置另外設有排氣孔94。
如上述所示，有別於排水孔93，在高於排水孔93的位置另外設有排氣孔94，因此就能夠在不承受空氣壓力的妨礙使冷卻水裝滿在立柱87內部全體直到排水孔40的高度為止。再加上，使冷卻水從設置在立柱87上部的排水孔93溢出可提昇冷卻效果，因此就能夠以非局部性使立柱87全體的熱度狀態長時間保持成一定，有助 於實現工件加工成高精度之鏡面等加工費時的超精密加工。
另，於該第3實施形態中，以橫型精密工作機械的立柱構成為水箱的例子為揭示的形態，但對於主軸被支撐成垂直之立型精密工作機械的立柱也可同樣構成為水箱。
此外，針對立型或橫型精密工作機械，也可如第2實施形態所示，於主軸頭及機床的內部形成有冷卻水的儲藏區劃。
以上，針對本發明相關的精密工作機械以最佳實施形態為例子進行了說明，但本發明除了應用在鑄造物形成的立柱或主軸頭以外，還可應用在由鈑金構造物形成的立柱或主軸頭。此外，本發明還可應用在精密車床的機床等。
15‧‧‧立柱
16‧‧‧橫樑
30‧‧‧傾斜隔板
31‧‧‧傾斜隔板
32‧‧‧傾斜隔板
33‧‧‧傾斜隔板
36a‧‧‧第1冷卻水儲水區劃
36b‧‧‧第2冷卻水儲水區劃
36c‧‧‧第3冷卻水儲水區劃
36d‧‧‧第4冷卻水儲水區劃
36e‧‧‧第5冷卻水儲水區劃
36f‧‧‧第6冷卻水儲水區劃
36g‧‧‧第7冷卻水儲水區劃
41‧‧‧傾斜隔板30的預鑄孔
42‧‧‧傾斜隔板31的預鑄孔
43‧‧‧傾斜隔板30的預鑄孔
44‧‧‧傾斜隔板32的預鑄孔
45‧‧‧傾斜隔板33的預鑄孔
46‧‧‧傾斜隔板32的預鑄孔
49‧‧‧排氣孔

Claims (14)

  1. 一種精密工作機械，具備：機床；豎立設置在上述機床上的立柱；及設置在上述立柱且設置成可朝上下方向移動的主軸頭，其特徵為：上述立柱，具備區隔有儲水空間的內部構造，該儲水空間形成溫控後之冷卻水的儲水槽。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載的精密工作機械，其中，上述立柱，由下述構成的門型立柱形成，該門型立柱構成為於豎立設置在上述機床上之左右兩側的立柱水平架設有橫樑，上述立柱和橫樑的內部由隔板區隔形成有複數的冷卻水儲藏空間。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載的精密工作機械，其中，上述機床，具備區隔有儲水空間的內部構造，該儲水空間形成溫控後之冷卻水的儲水槽。
  4. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載的精密工作機械，其中，上述主軸頭，具備區隔有儲水空間的內部設備，該儲水空間形成溫控後之冷卻水的儲水槽。
  5. 一種精密工作機械，具備：機床；豎立設置在上述機床上的立柱；及設置在上述立柱且設置成可朝上下方向移動的主軸 頭，其特徵為，上述立柱，具備區隔有儲水空間的內部構造，該儲水空間形成溫控後之冷卻水的儲水槽，於上述立柱的下部具有將冷卻水導入至上述儲水空間用的取水口，於上述立柱的上部具有將冷卻水導出至外部用的排水口，在比上述排水口還高的位置設有將上述立柱內之空氣排出用的排氣孔。
  6. 如申請專利範圍第5項所記載的精密工作機械，其中，又具備有冷卻水循環系統，該冷卻水循環系統具有：從上述排水口溢出之冷卻水回收用的冷卻水槽；及對從上述冷卻水箱取得之冷卻水的溫度加以控制，將溫控後的冷卻水送出至上述取水口的冷卻水溫控裝置。
  7. 如申請專利範圍第6項所記載的精密工作機械，其中，於上述冷卻水槽，設有積蓄之冷卻水的水位偵測用的水位感測器。
  8. 如申請專利範圍第6項所記載的精密工作機械，其中，於連接上述取水口和上述冷卻水溫控裝置的配管，設有防止冷卻水往上述冷卻水溫控裝置逆流的逆止閥。
  9. 如申請專利範圍第5項所記載的精密工作機械，其中，上述立柱，由下述構成的門型立柱形成，該門型立柱構成為在豎立設置於上述機床上之左右兩側的立柱水平架設有橫樑，上述立柱和橫樑的內部由隔板區隔形成有複數的冷卻水儲藏空間。
  10. 如申請專利範圍第9項所記載的精密工作機械，其中，上述門型立柱，其上述立柱和上述橫樑為一體構造的鑄造物。
  11. 如申請專利範圍第2項或第9項所記載的精密工作機械，其中，上述複數的冷卻水儲水空間，由傾斜的隔板區隔形成。
  12. 如申請專利範圍第2項或第9項所記載的精密工作機械，其中，於上述左右的立柱之間設有可朝前後方向(X軸方向)移動的工作台，於上述橫樑設有可朝左右方向(Y軸方向)移動的滑件，於上述滑件設有主軸頭，該主軸頭具有可朝上下方向(Z軸方向)移動之主軸。
  13. 如申請專利範圍第1項或第5項所記載的精密工作機械，其中，上述精密工作機械，為在機床上豎立設置的1個立柱設有可朝上下方向移動之主軸頭的立型或橫型精密工作機械。
  14. 如申請專利範圍第1項或第5項所記載的精密工作機械，其中，上述冷卻水，為水中已溶解有工作機械溫度控制用之水溶性冷卻液的冷卻水。
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