JPH07266186A - 工作機械の冷却装置 - Google Patents

工作機械の冷却装置

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JPH07266186A
JPH07266186A JP5726994A JP5726994A JPH07266186A JP H07266186 A JPH07266186 A JP H07266186A JP 5726994 A JP5726994 A JP 5726994A JP 5726994 A JP5726994 A JP 5726994A JP H07266186 A JPH07266186 A JP H07266186A
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temperature
liquid
cooling device
liquid temperature
compressor
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JP5726994A
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Hiroyuki Fujita
啓之 藤田
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Makino Milling Machine Co Ltd
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Makino Milling Machine Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 コストダウンを図るとともに、液温冷却装置
の寿命を延ばすことが可能な工作機械の冷却装置を提供
する。 【構成】 工作機械の主軸頭3の最大発熱量より小さい
冷却能力を有する液温冷却装置を複数台接続して主軸頭
3に液体を循環させ、大気温度を検知する基準温度検知
器23と、戻り液温を検知する液温検知器21と、液温
冷却装置9a〜9cの各圧縮機11a〜11cの各稼働
時間と各休止時間とをそれぞれ計測して積算する計時手
段と、液温が大気温度より小のときは、稼働時間の最も
長い圧縮機を識別してオフとし、液温が大気温度と等し
いかまたは大きいときは、休止時間の最も長い圧縮機を
識別してオンとするように、各圧縮機をオンオフ制御す
る温度制御装置10と、を備えて構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は工作機械の冷却装置に関
し、特に複数の液温冷却装置を接続して使用すると共
に、それらの液温冷却装置を均等に使用し、発熱部の温
度を一定に調節し制御する工作機械の冷却装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】工作機械の発熱部である例えば主軸装置
の冷却装置は、基本的には液温冷却装置内に設けた圧縮
機をオンオフ制御して冷却した液体を吐出し、その液体
を主軸装置に循環させて主軸装置の温度を一定温度に保
つ。この代表的な例として、特公昭46−19327号
公報に記載の油温制御装置がある。この油温制御装置
は、大気温度変化に係わらず循環油温度と大気温度の温
度差を絶えず一定となるよう、循環油温度の検出器と大
気温度の検出器とを設け、それらの検出器の測定した温
度差を一定に保つように、循環油の冷却器と加熱器とを
オンオフ制御する方式である。この冷却装置は1台でな
り、機械の発熱量に応じて発熱量が大なら大形に、発熱
量が小なら小形に多種設計製作される必要があり、標準
品で得られるスケールメリットを受けられないので割高
なものとならざるを得ない。。また熱変動を小とするた
めには短時間の周期で頻繁に圧縮機をオンオフする必要
があり、それゆえ圧縮機の寿命を短くするという問題が
ある。これらの問題を解決する、すなわち機械の発熱量
に対して広範囲の冷却能力をもたせることにより冷却装
置の種類を限定し、発熱量の低いときは冷媒ガスをバイ
パスすることにより同一頻度で圧縮機がオンオフしても
圧縮機の寿命を長くできる方式の冷却装置がある。この
冷却装置を以下に簡単に説明する。
【0003】図5は従来技術による工作機械の冷却装置
の原理図であり、(A)は構成図、(B)は冷却装置の
動作のタイムチャートである。図5の(A)に示すよう
に、従来技術による工作機械の主軸装置の冷却装置は、
主軸1を回転支持する主軸頭3内のベアリング5へ、主
軸頭内の油を循環ポンプ7でくみ揚げて液温冷却装置9
を介して循環供給する。主軸1の回転により熱せられた
ベアリング5を冷却する油は、主軸頭3内に一旦溜まり
回収され、液温冷却装置9で冷却された後、再びベアリ
ング5へ供給される。液温冷却装置9は圧縮機11を有
し、循環している冷媒ガスを圧縮する。冷媒ガスは第1
バイパス用バルブ13と第2バイパス用バルブ15によ
りバイパスされ冷媒ガスの冷却器8内への供給量を調節
する。ベアリング5へ供給される油の温度は、温度制御
装置30により制御される。大気やベッドなどの基準と
なる温度を検出する基準温度検知器23と発熱部である
主軸装置の代表温度として主軸頭3からの戻りの油の温
度を検出する油温検知器21とからそれぞれの温度に比
例した電気信号が温度制御装置30へ入力される。温度
制御装置30は基準温度と油温の温度差に応じて、圧縮
機11をオンオフする。なお第1バイパス用バルブ13
および第2バイパス用バルブ15は主軸頭3における発
熱量に応じて開閉される。
【0004】図5の(B)に示すタイムチャートにより
温度制御装置30の作用について簡単に説明する。本図
は横軸を時間、縦軸を、実線31で液温冷却装置9の圧
縮機11のオンオフ状態を示し、点線33で油温の温度
変化を示す。時刻t1からt2までは発熱量小、時刻t
2からt3までは発熱量中、時刻t3からt4までは発
熱量大のときのそれぞれのタイムチャートを示す。主軸
装置の発熱量が大のとき、第1バイパス用バルブ13を
閉かつ第2バイパス用バルブ15を閉に、発熱量が中の
とき第1バイパス用バルブ13を開で第2バイパス用バ
ルブ15を閉に、発熱量が小のとき第1バイパス用バル
ブ13を開かつ第2バイパス用バルブ15を開に、それ
ぞれ設定する。制御装置30は、油温が基準温度より大
のとき圧縮機11をオンにし、油温が基準温度以下のと
き圧縮機11をオフにして油温を一定に制御する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術によ
る工作機械の冷却装置は、冷媒ガスをバイパスするため
の経路の流量調整が微妙な上、再現性に乏しく、かつ冷
媒ガスのバイパス用バルブを開閉制御するため約0.5
°C程度の温度オフセットを設ける必要があり、バイパ
スが複数になり制御対象に対するバイパス用バルブの数
が増えると、制御対象の温度と基準温度との誤差が大き
くなるという問題がある。具体的に説明すると、図5の
(B)から発熱量大では基準温度より1°Cだけ高い温
度で制御対象の温度は制御される。
【0006】それゆえ、本発明は上記問題のない、すな
わち冷媒ガスのバイパスを不要とすることにより、バイ
パス経路の流量調整を不要とし、かつ制御対象の温度と
基準温度との温度誤差のない工作機械の冷却装置を提供
することを目的とする。標準の小容量用液温冷却装置を
複数台使用して小容量から大容量まで冷却できる冷却装
置とし、標準品を使用することによりスケールメリット
を生かしコストダウンを図ることを他の目的とする。ま
た、各液温冷却装置のオンオフ回数を均等化し、その寿
命を延ばすことを他の目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明による工作機械の冷却装置は、工作機械の発熱部に液
体を循環させて冷却する工作機械の冷却装置において、
前記発熱部の最大発熱量より小さい冷却能力を有し、複
数個接続して前記液体を冷却する液温冷却装置9a、9
b、9cと、基準温度を検知しその温度に相当する電気
信号を出力する基準温度検知器23と、前記発熱部の温
度に相当する電気信号を出力する発熱部温度検知器21
と、前記複数の液温冷却装置の各稼働時間と各休止時間
とをそれぞれ計測して積算する計時手段と、前記発熱部
の温度と前記基準温度との差温が所定値以上になると前
記複数の液温冷却装置を順次オンし、所定値を下回ると
前記複数の液温冷却装置を順次オフし、前記液温冷却装
置のオン動作は前記計時手段による休止時間の最も長い
ものから行われ、前記液温冷却装置のオフ動作は前記計
時手段による稼働時間の最も長いものから行われるよう
に前記各液温冷却装置をオンオフ制御する温度制御装置
と、から構成する。本発明の工作機械の冷却装置は前記
複数の液温冷却装置が直列接続であっても良いし、並列
接続であっても良い。
【0008】
【作用】本発明の工作機械の冷却装置は、1台でなく複
数の液温冷却装置を使用し、冷媒ガスバイパスを不要と
する構成としたので、制御対象の温度と基準温度との温
度誤差が減少し、かつバイパス経路の流量調整が不要と
なる。また本発明の冷却装置は、温度制御装置により、
液温冷却装置の各稼働時間と各休止時間とをそれぞれ計
測して積算する計時手段からのデータに基づき、各液温
冷却装置をオンオフ制御するので、複数の液温冷却装置
を時間的に均等に使用でき、1台の大形の液温冷却装置
のみで冷却する場合と比較して液温冷却装置のオンオフ
の回数が使用する複数の液温冷却装置に分散され個々の
液温冷却装置の寿命が延びる。
【0009】
【実施例】図1は実施例の直列形冷却装置の構成図であ
る。主軸1を回転支持する主軸頭3内のベアリング5
へ、主軸頭内の油を循環ポンプ7でくみ揚げて液温冷却
装置9a、9b、9cを介して循環供給する。主軸1の
回転により熱せられたベアリング5へ供給された油は、
主軸頭3内に一旦溜められ、回収されて3台の直列の液
温冷却装置9a、9b、9cで冷却された後、再びベア
リング5へ供給される。液温冷却装置9a、9b、9c
は各々の圧縮機11a、11b、11cを有し、各圧縮
機11a、11b、11cは各冷却器8a、8b、8c
へ冷媒ガスを送り各冷却器内を流れる油を冷却する。ベ
アリング5へ供給される油の温度は、温度制御装置10
により制御される。大気やベッドなどの基準となる温度
を検出する基準温度検知器23と発熱部である主軸装置
の代表温度として主軸頭3からの戻りの油の温度を検出
する油温検知器21とからそれぞれの温度に比例した電
気信号が温度制御装置10へ入力され、温度制御装置1
0は基準温度と油温の温度差に応じて、各圧縮機11
a、11b、11cをオンオフする。
【0010】図2は実施例の並列形冷却装置の構成図で
ある。主軸1を回転支持する主軸頭3内のベアリング5
へ、主軸頭内の油を循環ポンプ7でくみ揚げて液温冷却
装置9a、9b、9cを介して循環供給する。主軸1の
回転により熱せられたベアリング5の油は、主軸頭3内
に一旦溜められ、回収されて、3台の並列の液温冷却装
置9a、9b、9cで冷却された後、再びベアリング5
へ供給される。液温冷却装置9a、9b、9cは各々の
圧縮機11a、11b、11cを有し、各圧縮機11
a、11b、11cは各冷却器8a、8b、8cへ冷媒
ガスを送り各冷却器内を流れる油を冷却する。ベアリン
グ5へ供給される油の温度は、温度制御装置20により
制御される。大気やベッドなどの基準となる温度を検出
する基準温度検知器23と発熱部である主軸装置の代表
温度として主軸頭3からの戻りの油の温度を検出する油
温検知器21とからそれぞれの温度に比例した電気信号
が温度制御装置20へ入力され、温度制御装置20は基
準温度と油温の温度差に応じて、各圧縮機11a、11
b、11cをオンオフする。
【0011】図3は図1および図2で示した実施例によ
る冷却装置の動作のフローチャートである。本図におい
て、Sに続く数はステップ番号を示す。最初に工作機械
を使用する際、循環ポンプ7が運転開始され、主軸1を
回転する(ステップS1)。次に温度制御装置は主軸回
転数に応じて工作機械のNC装置からのSコードによ
り、低速モード、中速モード、高速モードを決定する
(ステップS2)。ここで低速モードとは発熱量が小の
ときのモードであり、3台の圧縮機を順次に1台づつ運
転するモードをいう。中速モードとは発熱量が中のとき
のモードであり、3台の圧縮機を順次に2台同時に運転
してはその内の1台を休止するモードをいう。高速モー
ドとは発熱量が大のときのモードであり、3台の圧縮機
を3台同時に運転しては順次に1台づつ休止するモード
をいう。次に温度制御装置は3台の圧縮機を決定された
モードに応じて順次起動する(ステップS3)。
【0012】次に温度制御装置は大気の温度として検出
される基準温度Tbと主軸頭から戻された油の温度Ts
とを比較し、戻り油温Tsが基準温度Tbより小さいと
きステップS5へ進み、等しいかまたは大きいときステ
ップS11へ進む(ステップS4)。3台の圧縮機の中
で稼働時間の最も長い圧縮機を識別し(ステップS
5)、その圧縮機をオフとし(ステップS6)、所定時
間(1〜3分)そのままオフとしステップS4へ戻る
(ステップS7)。
【0013】3台の圧縮機の中で休止時間の最も長い圧
縮機を識別し(ステップS11)、その圧縮機をオンと
し(ステップS12)、所定時間(1〜3分)そのまま
オンとしステップS14へ進み(ステップS13)、主
軸がオフとなり、循環ポンプがオフとなったか否かを判
別し、その判別結果がNOのときはステップS4へ戻
り、その判別結果がYESのときはステップS15へ進
み(ステップS14)、全ての圧縮機をオフとし(ステ
ップS15)、工作機械の使用を終了する。
【0014】なお、上述の稼働時間および休止時間は、
例えば温度制御装置内に各々の圧縮機に対する稼働時間
および休止時間を計測する積算タイマを設け、これらを
モニタして、全ての圧縮機の内、何れの圧縮機の稼働時
間が最も長いか、または休止時間が最も長いかを識別可
能なことは言うまでもない。またステップS7やステッ
プS13での待機は圧縮機がオンして冷えた油が主軸装
置へ循環する遅れ時間を考慮した時間である。
【0015】図4は図1および図2で示した実施例によ
る圧縮機の動作のタイムチャートであり、(A)は発熱
量が小、すなわち低速モード(例えば主軸回転数が30
00rpm未満)のとき、(B)は発熱量が中、すなわ
ち中速モード(例えば3000〜8000rpm)のと
き、(C)は発熱量が大、すなわち高速モード(例えば
8000rpm以上)のときの各タイムチャートであ
る。本図は横軸を時間、縦軸を、点線33で油温の温度
変化を示し、実線31a、31b、31cで液温冷却装
置の圧縮機11a、11b、11cのオンオフ状態を示
す。先ず、図4の(A)のタイムチャートについて説明
する。温度制御装置は大気の温度として検出される基準
温度Tbと主軸頭から戻された油の温度Tsとを比較
し、戻り油温Tsが基準温度Tbに等しいかまたは大き
いとき、圧縮機の中から休止時間の最も長い圧縮機11
aを識別してオンにし、次に戻り油温Tsが基準温度T
bより小さくなったとき、圧縮機の中から稼働時間の最
も長い圧縮機11aを識別してオフにし、次に戻り油温
Tsが基準温度Tbに等しいかまたは大きくなったと
き、圧縮機の中から休止時間の最も長い圧縮機11bを
識別してオンにし、次に戻り油温Tsが基準温度Tbよ
り小さくなったとき、圧縮機の中から稼働時間の最も長
い圧縮機11bを識別してオフにし、これを繰り返す。
本図の場合、圧縮機11a、11b、11cは順次1台
づつオンオフして運転する。
【0016】次に、図4の(B)のタイムチャートにつ
いて説明する。温度制御装置は大気の温度として検出さ
れる基準温度Tbと主軸頭から戻された油の温度Tsと
を比較し、戻り油温Tsが基準温度Tbに等しいかまた
は大きいとき、圧縮機の中から休止時間の最も長い圧縮
機11aと11bを識別して同時にオンにし、次に戻り
油温Tsが基準温度Tbより小さくなったとき、圧縮機
の中から稼働時間の最も長い圧縮機11aを識別してオ
フにし、次に戻り油温Tsが基準温度Tbに等しいかま
たは大きくなったとき、圧縮機11bをオンのまま圧縮
機の中から休止時間の最も長い圧縮機11cを識別して
オンにし、次に戻り油温Tsが基準温度Tbより小さく
なったとき、圧縮機の中から稼働時間の最も長い圧縮機
11bを識別してオフにし、次に油温が基準温度に等し
いかまたは大きくなったとき、圧縮機11cをオンのま
ま圧縮機の中から休止時間の最も長い圧縮機11aを識
別してオンにし、次に戻り油温Tsが基準温度Tbより
小さくなったとき、圧縮機の中から稼働時間の最も長い
圧縮機11cを識別してオフにし、これを繰り返す。本
図の場合、3台の圧縮機を順次に2台同時に使用しては
その内の1台を休止させて運転する。
【0017】最後に、図4の(C)のタイムチャートに
ついて説明する。温度制御装置は大気の温度として検出
される基準温度と主軸頭から戻された油の温度とを比較
し、戻り油温Tsが基準温度Tbに等しいかまたは大き
いとき、圧縮機11aと11bと11cとを同時にオン
にし、次に戻り油温Tsが基準温度Tbより小さくなっ
たとき、圧縮機の中から稼働時間の最も長い圧縮機11
aを識別してオフにし、次に戻り油温Tsが基準温度T
bに等しいかまたは大きくなったとき、圧縮機11bと
11cをオンのまま11aをオンに復帰し、次に戻り油
温Tsが基準温度Tbより小さくなったとき、圧縮機の
中から稼働時間の最も長い圧縮機11bを識別してオフ
にし、次に戻り油温Tsが基準温度Tbに等しいかまた
は大きくなったとき、圧縮機11cと11aをオンのま
ま11bをオンに復帰し、次に戻り油温Tsが基準温度
Tbより小さくなったとき、圧縮機の中から稼働時間の
最も長い圧縮機11cを識別してオフにし、次に戻り油
温Tsが基準温度Tbに等しいかまたは大きくなったと
き、圧縮機11aと11bをオンのまま11cをオンに
復帰し、これを繰り返す。本図の場合、3台の圧縮機を
同時に運転しては順次に1台づつ休止させて運転する。
本実施例では基準温度Tbと戻り温度Tsとが等しくな
るように温度制御したが、TbとTsとの差温が所定の
値に維持されるように温度制御しても良い。また、温度
制御する工作機械の発熱部は、主軸装置に限らず、工作
機械の各所に用いているモータ、加工液、コラム、ボー
ルネジ等種々のものがあるが、これらの発熱部の温度を
所定値に維持するのに本発明を適用できる。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の工作機械
の冷却装置によれば、冷媒ガスのバイパスを不要とする
構成としたことにより、バイパス経路の流量調整を不要
とし、かつ複数の液温冷却装置を使用するので制御対象
の温度と基準温度との温度誤差のない工作機械の冷却装
置が提供できる。また、標準の小容量用液温冷却装置を
複数台使用して、小容量から大容量までの発熱量を冷却
できる冷却装置としたので、標準品を使用することによ
りスケールメリットが得られ、コストダウンした工作機
械の冷却装置が提供できる。更に、各液温冷却装置のオ
ンオフ回数を均等化し、その寿命を延ばすことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の直列形冷却装置の構成図であ
る。
【図2】本発明の実施例の並列形冷却装置の構成図であ
る。
【図3】本発明の実施例による冷却装置の動作のフロー
チャートである。
【図4】本発明の実施例による圧縮機の動作のタイムチ
ャートであり、発熱量が(A)は小のとき、(B)は中
のとき、(C)は大のときの各タイムチャートである。
【図5】従来技術による工作機械の冷却装置の原理図で
あり、(A)は構成図、(B)は冷却装置の動作のタイ
ムチャートである。
【符号の説明】
1…主軸 3…主軸頭 5…ベアリング 7…循環ポンプ 8,8a,8b,8c…冷却器 9,9a,9b,9c…液温冷却装置 11,11a,11b,11c…圧縮機 13,15…バイパス用バルブ 10,20,30…温度制御装置 21…油温検知器(発熱部温度検知器) 23…基準温度検知器 31…圧縮機のオンオフ状態 33…油温温度変化

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 工作機械の発熱部に液体を循環させて冷
    却する工作機械の冷却装置において、 前記発熱部の最大発熱量より小さい冷却能力を有し、複
    数個接続して前記液体を冷却する液温冷却装置と、 基準温度を検知しその温度に相当する電気信号を出力す
    る基準温度検知器と、 前記発熱部の温度に相当する電気信号を出力する発熱部
    温度検知器と、 前記複数の液温冷却装置の各稼働時間と各休止時間とを
    それぞれ計測して積算する計時手段と、 前記発熱部の温度と前記基準温度との差温が所定値以上
    になると前記複数の液温冷却装置を順次オンし、所定値
    を下回ると前記複数の液温冷却装置を順次オフし、前記
    液温冷却装置のオン動作は前記計時手段による休止時間
    の最も長いものから行われ、前記液温冷却装置のオフ動
    作は前記計時手段による稼働時間の最も長いものから行
    われるように前記各液温冷却装置をオンオフ制御する温
    度制御装置と、を備えたことを特徴とする工作機械の冷
    却装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001300834A (ja) * 2000-04-18 2001-10-30 Makino Milling Mach Co Ltd 工作機械の温度制御方法及び装置
CN103522075A (zh) * 2012-07-05 2014-01-22 东芝机械株式会社 精密机床
JP7187618B1 (ja) * 2021-07-06 2022-12-12 株式会社牧野フライス製作所 工作機械の温度制御装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001300834A (ja) * 2000-04-18 2001-10-30 Makino Milling Mach Co Ltd 工作機械の温度制御方法及び装置
CN103522075A (zh) * 2012-07-05 2014-01-22 东芝机械株式会社 精密机床
US9511465B2 (en) 2012-07-05 2016-12-06 Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha Precision machine tool
US10252391B2 (en) 2012-07-05 2019-04-09 Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha Precision machine tool
JP7187618B1 (ja) * 2021-07-06 2022-12-12 株式会社牧野フライス製作所 工作機械の温度制御装置
WO2023282155A1 (ja) * 2021-07-06 2023-01-12 株式会社牧野フライス製作所 工作機械の温度制御装置

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