CN110997227B - 移动体引导装置 - Google Patents

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Abstract

移动体引导装置向支撑体的引导面(12)与移动体的滑动面(10)之间供给润滑油来引导移动体，该移动体引导装置在移动体的滑动面设有以环绕部(18)包围周围的润滑油兜部(20)，沿着环绕部的内侧形成有闭环状的油槽(19)，利用至少部分地在油槽开口的润滑油返回通路(28)将润滑油兜部之中的前部与后部连通，随着移动体的移动，滞留在移动方向的后部的润滑油朝移动方向的前部流动。

Description

移动体引导装置
技术领域
本发明涉及被使用在机床的进给轴等上的移动体引导装置。
背景技术
被使用在机床的进给轴等上的引导装置在支撑体的引导面上引导移动体的滑动面。一般来讲，引导装置中有动压滑动引导方式、静压引导方式、局部负荷补偿滑动引导方式等。本发明涉及依靠局部负荷补偿滑动引导方式的移动体引导装置。
在专利文献1、2中公开了以下移动体引导装置：在被支撑体的引导面引导的移动体的滑动面上，设有多个由环绕部包围周围的润滑油兜部，由润滑油返回管路使润滑油兜部之中的前部和后部连通，以便当移动体移动时，使滞留在移动体的移动方向的后部的润滑油流向移动方向的前部。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2007－175840号公报
专利文献2：日本特开2013－091142号公报
发明内容
发明所要解决的课题
根据专利文献1、2所公开的引导装置，伴随于移动体的移动，在润滑油兜部内的后方滞留的润滑油经过润滑油返回管路而流向润滑油兜部内的前方，因而，可防止在润滑油兜部内局部的压力上升，降低了从滑动面向外部流出的润滑油的量。
然而，例如专利文献1、2的引导装置在移动体的负荷变大了的场合，依然存在无法防止润滑油泄漏的问题。本发明以解决这样的现有技术的问题为技术课题，目的在于提供进一步防止或降低了润滑油泄漏的引导装置。
用于解决课题的方案
为了达成上述的目的，根据本发明，提供一种移动体引导装置，该移动体引导装置向支撑体的引导面与移动体的滑动面之间供给润滑油来引导移动体，其中，上述移动体引导装置具备：润滑油兜部，该润滑油兜部设在上述移动体的滑动面上并由环绕部包围周围，在该润滑油兜部之中的滑动面上形成有多个凹部，沿着上述环绕部的内侧形成有闭环状的油槽；润滑油返回通路，该润滑油返回通路在上述润滑油兜部的上述油槽中至少局部地开口，使上述润滑油兜部之中的前部与后部连通，以便随着上述移动体的移动，滞留在移动方向的后部的润滑油流向移动方向的前部；以及润滑油供给通路，该润滑油供给通路与上述润滑油返回通路连通，将从润滑油源被供给来的润滑油经过上述润滑油返回通路向上述润滑油兜部供给。
发明的效果
根据本发明，在润滑油兜部中，沿着环绕部的内侧形成闭环状的油槽，设有在该油槽至少局部地开口并将润滑油兜部之中的前部与后部连通的润滑油返回管通路，经过该润滑油返回管通路，随着上述移动体的移动，在移动方向的后部滞留的润滑油朝移动方向的前部流动，因而，可防止润滑油兜部内的润滑油越过环绕部地向外部泄漏。
附图说明
图1是具备根据本发明的移动体引导装置的机床的侧视图。
图2是根据图1的箭头A的机床的局部主视图。
图3是作为具备根据本发明的优选实施方式的引导装置的移动体而示出图1的机床的B轴基座的一部分的局部剖视图。
图4是作为具备根据本发明的优选实施方式的引导装置的移动体而示出图1的机床的B轴基座的滑动面的局部俯视图。
图5是滑动构件的俯视图。
图6是用于对根据本发明的优选实施方式的引导装置的作用进行说明的B轴基座的一部分的剖视图。
图7是用于对根据本发明的优选实施方式的引导装置的作用进行说明的B轴基座的一部分的剖视图。
图8是表示具备根据本发明的其他实施方式的引导装置的与图3同样的B轴基座的一部分的局部剖视图。
具体实施方式
参照图1、2，作为具备根据本发明的移动体引导装置的设备的一例，图示出了机床(特别是卧式加工中心)100。机床100具备被固定在工厂地板面上的作为支撑体的床身102，在该床身102的前方部分的上表面安装有作为移动体的B轴基座110，该B轴基座110能够经由Z轴进给机构而在前后方向(Z轴方向)移动。另外，在床身102的后方部分的上表面安装有立柱104，该立柱104能够经由X轴进给机构而在左右方向(X轴方向)移动。在立柱104的前面安装有主轴头106，该主轴头106能够经由Y轴进给机构而在上下方向(Y轴方向)移动，在该主轴头106上支撑有在末端部安装刀具T的主轴108，该主轴108能够以水平的旋转轴线Os为中心进行旋转。
在B轴基座110上支撑有B轴工作台(未图示)，该B轴工作台能够以铅直轴线为中心进行旋转进给((B轴方向的进给)。在B轴基座110内组装有作为B轴进给机构的伺服电机(未图示)。在B轴工作台的上表面安装有挡块等工件安装构件112，在该工件安装构件112的工件安装面112a安装工件W。
X轴进给机构具备：X轴引导装置，该X轴引导装置由在床身102的上表面在左右方向水平延伸设置的一对X轴导轨102a以及能沿该X轴导轨102a滑动地形成在立柱104的下表面上的滑动面构成；以及X轴进给装置，该X轴进给装置由在床身102内在X轴方向延伸设置的X轴滚珠丝杠(未图示)、安装于立柱104的下端部分并与上述X轴滚珠丝杠卡合的螺母(未图示)以及与上述X轴滚珠丝杠的一端连结并驱动该X轴滚珠丝杠旋转的X轴伺服电机122构成。
同样，Y轴进给机构具备：Y轴引导装置，该Y轴引导装置由在立柱104内铅直地延伸设置的一对Y轴导轨(未图示)以及能沿该Y轴导轨滑动地形成于主轴头106的滑动面构成；以及Y轴进给装置，该Y轴进给装置由在立柱104内在Y轴方向延伸设置的Y轴滚珠丝杠(未图示)、安装在主轴头106内并与上述Y轴滚珠丝杠卡合的螺母(未图示)以及与上述Y轴滚珠丝杠的一端连结并驱动该Y轴滚珠丝杠旋转的Y轴伺服电机124构成。
同样，Z轴进给机构具有：Z轴引导装置，该Z轴引导装置具备根据本发明的引导装置；以及Z轴进给装置，该Z轴进给装置具备在床身102内在Z轴方向延伸设置的Z轴滚珠丝杠114(图2)、安装于B轴基座110的下表面并与Z轴滚珠丝杠114卡合的螺母116(图2)、以及与上述Z轴滚珠丝杠的一端连结并驱动该Z轴滚珠丝杠旋转的Z轴伺服电机126。
X轴伺服电机122、Y轴伺服电机124、Z轴伺服电机126以及B轴伺服电机(未图示)由用于机床100的NC(Numerical Control即数控)装置130控制。NC装置130与在NC机床的技术领域一般所使用的NC装置同样地构成，包括：读取解释部(未图示)，其读取NC程序，进行解释而生成动作指令；插值部(未图示)，其对动作指令进行插值处理，生成X轴、Y轴、Z轴以及B轴的位置指令(脉冲位置指令)；伺服控制部(未图示)，其基于位置指令，将用于驱动机床的直线进给轴(X轴、Y轴、Z轴)以及旋转进给轴(B轴)的电流值，输出给机床100的X轴伺服电机122、Y轴伺服电机124、Z轴伺服电机126以及B轴伺服电机。
形成本发明的引导装置的Z轴引导装置包括：引导面12，该引导面12由在床身102的上表面在前后方向水平且相对于X轴导轨102a垂直地延伸设置的一对Z轴导轨102b形成；以及滑动面10，该滑动面10形成于B轴基座110，与引导面12接触而被引导。在实际的机床中，为了接受施加于B轴基座110的上下左右的力，Z轴导轨102b还具有下引导面12a以及侧部引导面12b，B轴基座110也具有与它们对应的滑动面110a、110b。
以下，将引导面12作为支撑体的引导面，将B轴基座110作为移动体，对本发明的一个实施方式进行说明。
参照图3，在B轴基座110上形成有：润滑油返回通路28，该润滑油返回通路28在滑动面10的润滑油兜部20的行进方向两端部开口；润滑油供给通路24，该润滑油供给通路24从润滑油源30起连通至润滑油返回通路28并用于朝润滑油兜部20供给润滑油；以及润滑油排出通路26，该润滑油排出通路26与润滑油返回通路28连通并经过润滑油返回通路28将润滑油兜部20内的润滑油排出。润滑油排出通路26与润滑油源30连接。在图3的例子中，作为移动体的B轴基座110具备两个润滑油兜部20，润滑油供给管路32分支而与两个润滑油供给通路24连接，润滑油排出管路34从两个润滑油排出通路26接收润滑油。
润滑油源30如图1所示那样具备：润滑油箱36，该润滑油箱36贮存经由润滑油排出通路26以及润滑油排出管路34从滑动面10回收来的润滑油；润滑油温度控制装置38，该润滑油温度控制装置38用于冷却润滑油而将温度控制成恒定；泵40，该泵40从润滑油箱36吸引润滑油，经由润滑油供给管路32向润滑油供给通路24压送润滑油；以及蓄压器42，该蓄压器42设在泵40的排出侧，将由泵40在润滑油中产生的脉动除去。在使用脉动少的泵或脉动影响不是问题的场合，也可以省略掉蓄压器42。润滑油温度控制装置38以及泵40由润滑油控制装置50控制。润滑油控制装置50例如可作为机床100的机床控制装置(未图示)的一部分来构成，与NC装置130协同工作。
另外，为了从润滑油源30向移动的B轴基座110连接润滑油供给管路32以及润滑油排出管路34，可在床身102以及B轴基座110的侧面配设接头118、120(图1)，由缆线导管等保护该接头118、120之间。可在润滑油供给管路32中配设由润滑油控制装置50控制的压力控制阀52。
另外，润滑油箱36可由分隔壁36c将内部空间分割成接收侧箱36a和供给侧箱36b，将新的润滑油以及来自润滑油排出管路34的润滑油贮存在接收侧箱36a，由润滑油温度控制装置38对贮存于该接收侧箱36a的润滑油进行温度调整并向供给侧箱36b贮存，由泵40从该供给侧箱36b将润滑油向引导装置供给。
参照图3～5，B轴基座110与作为支撑体的床身102的两个引导面12相对应地在B轴基座110的两侧部配设有滑动面10。图4示出了设置在B轴基座110的一方侧部的滑动面10，在滑动面10上，形成有呈矩形延伸设置且具有规定宽度的环绕部18和由环绕部18围绕的润滑油兜部20。在润滑油兜部20，形成有沿着环绕部18的内周形成的闭环状的油槽19、成为润滑油的油洼部的多个凹部22、以及第1和第2孔口44、46。另外，优选的是，润滑油兜部20内与环绕部18相同高度的表面23(图5)的面积为环绕部18的内侧的面积的15～50％，邻接的凹部22间连通，并且，邻接于油槽19的凹部22与该油槽19连通。为此，在本实施方式中，通过机械加工有规则地形成凹部22。
优选的是，油槽19具有半圆状或圆弧状的剖面的圆滑内面。另外，油槽19具有：相对于B轴基座110的移动方向(Z轴方向)垂直地延伸设置的第1和第2边部分19a、19b；以及相对于B轴基座110的移动方向(Z轴方向)平行地延伸设置的第3和第4边部分19c、19d。第1～第4边部分19a～19d连通，油槽19整体上形成矩形的闭环。
第1和第2孔口44、46在B轴基座110的移动方向(Z轴方向)相互分离地配置，形成为至少局部地在油槽19的第1和第2边部分19a、19b开口。另外，围绕润滑油兜部20的环绕部18形成为与润滑油兜部20之中的滑动面10大致相同的高度，其表面为与引导面12直接接触的滑动面，具有与滑动面10大致相同的平面度。另外，凹部22可通过刮刀加工等形成。凹部22与邻接的凹部22连通，润滑油能从一个凹部22朝邻接的凹部22流通。进而，为了获得所期望的平面度，也可以对环绕部18施加润滑油不从滑动面10流出的程度的细微的刮刀加工。
另外，在本实施方式中，如图4所示那样，两个环绕部18、润滑油兜部20、油槽19以及第1和第2孔口44、46在各滑动面10中在B轴基座110的长度方向(Z轴方向)相互分离地配置，两者间的中央部成为逃逸部37。逃逸部37适当地设置成容易获得滑动面10整体的平面度且没有偏摩擦。对于大型的移动体，也可以是在各滑动面10的三个部位设置环绕部18以及润滑油兜部20而在两个部位设置逃逸部37的结构。
进而，在本实施方式中，环绕部18、润滑油兜部20、油槽19以及第1和第2孔口44、46形成在被贴装于B轴基座110的薄板状的滑动构件14上。润滑油返回通路28经由形成于滑动构件14的第1和第2孔口44、46而至少局部地在油槽19开口。滑动构件14由耐摩耗性高且摩擦系数低的材料例如氟树脂形成为薄板状，例如可使用以TURCITE(ターカイト)或BEAREE(ベアリー)的商品名市售的轴承材料。
以下，参照图6、7对本实施方式的作用进行说明。
B轴基座110如图6中箭头Z1所示那样，在相对于床身102朝润滑油返回通路28的第1孔口44侧相对地移动时，润滑油兜部20内的润滑油如箭头L1所示那样，相对于B轴基座110朝润滑油返回通路28的第2孔口46侧相对地移动。由此，在润滑油兜部20内，关于B轴基座110的移动方向为后侧的第2孔口46侧相对地变成高压，第1孔口44侧变成低压。因此，对于从润滑油源30经由润滑油供给管路32向润滑油供给通路24供给的低温的润滑油，其一部分从第1孔口44以及有该第1孔口44开口的油槽19的第1边部分19a流入到润滑油兜部20内，其余部分朝着润滑油排出通路26在润滑油返回通路28内流通。
流入到润滑油兜部20内的润滑油朝着第2孔口46侧在润滑油兜部20内流通，从第2孔口46以及有该第2孔口46开口的油槽19的第2边部分19b经由润滑油排出通路26以及润滑油排出管路34向润滑油源30返回。当润滑油在润滑油兜部20内流通时，之前存在于润滑油兜部20内的因滑动而温度上升的润滑油，借助从第1孔口44新供给的低温的润滑油而经过第2孔口46从润滑油兜部20排出。在该润滑油的替换作用下，滑动面10以及引导面12被冷却。
B轴基座110如图7中箭头Z2所示那样，在相对于床身102朝润滑油返回通路28的第2孔口46侧相对地移动时，润滑油兜部20内的润滑油如箭头L2所示那样，相对于B轴基座110朝润滑油返回通路28的第1孔口44侧相对地移动。由此，在润滑油兜部20内，关于B轴基座110的移动方向为后侧的第1孔口44侧相对地变成高压，第2孔口46侧变成低压。因此，润滑油兜部20内的因滑动而温度上升的润滑油，从油槽19的第1边部分19a以及第1孔口44朝润滑油供给通路24流出，与来自润滑油供给通路24的低温的润滑油合流，温度降低了一些，流入到润滑油返回通路28内。在润滑油返回通路28内流通的润滑油的一部分，经由第2孔口46以及油槽19的第2边部分19b而流入到润滑油兜部20内，其余部分经由润滑油排出通路26以及润滑油排出管路34向润滑油源30返回。
当润滑油在润滑油兜部20内流通时，之前存在于润滑油兜部20内的温度上升的润滑油，借助从第2孔口46以及油槽19的第2边部分19b新供给的温度降低了一些的润滑油，经过第1孔口44从润滑油兜部20排出。在该润滑油的替换作用下，滑动面10以及引导面12被冷却。
当B轴基座110朝第1孔口44侧移动时，会有比朝相反方向的第2孔口46侧移动时更多的来自润滑油源30的润滑油向滑动面10供给，B轴基座110在Z轴方向往复移动，因而，关于B轴基座110的移动方向的润滑油供给量的不均匀性不是问题，可在反复进行规定加工处理的期间将滑动面10与引导面12之间的润滑油的温度控制成大致恒定。
形成在润滑油兜部20的油槽19的第1和第2边部分19a、19b具有实质地扩大第1、第2孔口44、46的开口面积的作用，可在润滑油兜部20的整个宽度区域供给或排出润滑油，可使润滑油迅速地遍布整个润滑油兜部20。
根据本实施方式，能够将滑动面10与引导面12之间的润滑油直接冷却，能够将滑动面10以及引导面12的发热区域直接冷却。另外，由于向形成于滑动面10的由环绕部18包围的润滑油兜部20供给润滑油，所以，从滑动面10与引导面12之间泄漏的润滑油量降低，循环的润滑油量也变少，例如为1000cm3/min。
另外，如上述那样，当移动体即B轴基座110如图6、7所示那样移动时，在润滑油兜部20内，第1孔口44侧或者第2孔口46侧变成高压，因而，润滑油从滑动面10的第1孔口44或者第2孔口46附近的两缘部泄漏。在本实施方式中，由于将闭环状的油槽19形成为沿着环绕部18的内侧，所以，可防止润滑油像这样从润滑油兜部20的两缘部泄漏。也就是，油槽19的表面圆滑而润滑油的流动阻力小，因而，在B轴基座110的移动方向延伸的油槽19的第3和第4边部分19c、19d，润滑油可流向低压侧，在润滑油兜部20中关于B轴基座110的移动方向为后侧的部分中的润滑油的压力增加得到抑制，由此，可防止润滑油超过环绕部18地从滑动面10的两缘部泄漏。
另外，在B轴基座110移动的期间，润滑油控制装置50对从NC装置130特别是NC装置130的伺服控制部被输入至Z轴伺服电机126的电流值进行监视。被输入至Z轴伺服电机126的电流值代表着被施加于B轴基座110的负荷。例如，若工件W的重量变大，则引导面12与滑动面10之间的表面压力增加，滑动面10相对于引导面12的滑动阻力增加，向驱动B轴基座110的Z轴伺服电机126输出的电流值也变大。于是，在润滑油供给管路32配设由润滑油控制装置50控制的压力控制阀52，并且，监视向Z轴伺服电机126输出的电流值，当该电流值超过规定阈值时，提高经由润滑油供给管路32向润滑油兜部20内供给的润滑油压力，可降低滑动面10相对于引导面12的滑动阻力。另外，若提高向润滑油兜部20内供给的润滑油的压力，则润滑油容易从滑动面10的两缘部泄漏，但即便在这样的场合，对于本发明，由于将油槽19形成为沿着环绕部18的内侧，所以，能够有效地防止润滑油的泄漏。另外，无论作用于移动体的负荷如何变化，都能将滑动面10的滑动阻力控制成恒定，因而，可提高加工精度，还能降低滑动面10的摩耗。
进而，虽然将引导面12作为支撑体的引导面，将B轴基座110作为移动体，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明并不限定于此，也可以应用于将在床身102的上表面在左右方向水平延伸设置的X轴导轨102a的上表面作为引导面并将立柱104作为移动体的X轴引导装置。在该场合，如图1所示那样，为了从润滑油源30连接移动的立柱104的润滑油供给管路以及润滑油排出管路，在床身102以及立柱104的侧面配设接头60、62，接头60与润滑油供给管路32以及润滑油排出管路34之间由润滑油供给分支管路64以及润滑油排出分支管路66连接，能够利用缆线导管等对接头60、62之间进行保护。能够配设由润滑油控制装置50控制的压力控制阀68。这样，即便在将本发明应用于X轴引导装置的场合，也能够与上述的Z轴引导装置的场合同样地发挥作用。另外，也能够将本发明应用于上下方向的Y轴引导装置。
对于已述的实施方式，作为检测作用在用作支撑体的床身102和用作移动体的B轴基座110之间的接触面即引导面12以及滑动面10上的表面压力的压力检测机构，具备NC装置130特别是其伺服控制部，并且，作为基于由该压力检测机构检测到的表面压力来控制向润滑油兜部20供给的润滑油的压力的压力控制机构，具备配设在润滑油供给管路32或者润滑油供给分支管路64中的压力控制阀52或者压力控制阀68。但是，本发明并不限定于此。
参照图8，图示出了本发明的再一实施方式。
在图8所示的实施方式中，压力检测机构能够具备被配置在B轴基座110与滑动构件14之间的片状的表面压力传感器。尤其是，如图8所示那样，能够在B轴基座110上贴装多个滑动构件14，在该多个滑动构件14与B轴基座110之间配设多个表面压力传感器70、72、74、76。另外，在图8的实施方式中，压力控制机构具备被设置在分支成两个的润滑油供给管路32中一方上的压力控制阀78。另外，在图8的例子中，润滑油控制装置50控制压力控制阀78，以便对配设在一方的滑动构件14与B轴基座110之间的两个表面压力传感器70、72的测定值进行平均计算，与配设在另一方的滑动构件14与B轴基座110之间的两个表面压力传感器74、76的测定值的平均值进行比较，向表面压力高的一方的滑动构件14所形成的润滑油兜部20供给的润滑油的压力变高。由此，例如，即便在工件W具有在Z轴方向长的形状并对一方的滑动构件14施加大负荷的场合，也能够降低作用于该滑动构件14的表面压力，在多个滑动构件14之间使得表面压力均匀化。即便在这样滑动构件14的负荷变大的场合，如已述那样，也能够防止润滑油超过环绕部18而泄漏。另外，即便在载置有超过了机床规格书所述的最大载置重量的工件并进行加工的场合，通过提高向润滑油兜部20供给的润滑油的压力，也能够紧急应对，而不会使滑动构件14的表面压力升高。
图8作为移动体示出了B轴基座110的例子，但本发明并不限定于此，图8所示的构成也可以在作为移动体为立柱104的场合应用。尤其是，在立柱104的场合，主轴头106以及主轴108沿着Z轴大幅向前方突出时，存在对前侧的X轴导轨102a作用大负荷的情形。在这样的场合，能够提高向被前侧的X轴导轨102a所形成的引导面支承的滑动面供给的润滑油的压力。这样，能够使前后的X轴导轨102a的滑动阻力均匀化。
附图标记说明
10滑动面；18环绕部；19油槽；20润滑油兜部；24润滑油供给通路；26润滑油排出通路；28润滑油返回通路；30润滑油源；44第1孔口；46第2孔口。

Claims (7)

1.一种移动体引导装置，该移动体引导装置向支撑体的引导面与移动体的滑动面之间供给润滑油来引导移动体，其特征在于，
上述移动体引导装置具备：
润滑油兜部，该润滑油兜部设在上述移动体的滑动面上并由环绕部包围周围，在该润滑油兜部之中的滑动面上形成有相互连通的多个凹部，沿着上述环绕部的内周以与邻接的上述多个凹部连通的方式形成有矩形的闭环状的油槽，该油槽具有相对于上述移动体的移动方向垂直地延伸设置的第1边部分和第2边部分以及相对于移动方向平行地延伸设置的第3边部分和第4边部分；
润滑油返回通路，该润滑油返回通路在上述润滑油兜部的上述油槽的上述第1边部分和上述第2边部分中至少局部地开口，使上述润滑油兜部之中的前部与后部连通，以便随着上述移动体的移动，滞留在移动方向的后部的润滑油流向移动方向的前部；
润滑油供给通路，该润滑油供给通路与上述润滑油返回通路连通，将从润滑油源被供给来的润滑油经过上述润滑油返回通路向上述润滑油兜部供给；以及
润滑油回收通路，该润滑油回收通路与上述润滑油返回通路连通，并且从上述润滑油兜部将润滑油经过上述润滑油返回通路向上述润滑油源回收。
2.如权利要求1所述的移动体引导装置，其特征在于，
上述润滑油源具备从上述润滑油回收通路接收润滑油的润滑油箱、以及从上述润滑油箱向上述润滑油供给通路排出润滑油的泵。
3.如权利要求2所述的移动体引导装置，其特征在于，
移动体引导装置具备对作用在上述支撑体与上述移动体之间的接触面上的表面压力进行检测的压力检测机构、以及基于由该压力检测机构检测出的表面压力对向上述润滑油兜部供给的润滑油的压力进行控制的压力控制机构。
4.如权利要求3所述的移动体引导装置，其特征在于，
上述压力检测机构基于向驱动上述移动体的伺服电机供给的电力间接地检测上述表面压力。
5.如权利要求3所述的移动体引导装置，其特征在于，
上述压力检测机构具备安装于上述移动体的表面压力传感器片。
6.如权利要求3所述的移动体引导装置，其特征在于，
在上述移动体的滑动面配设有多个上述润滑油兜部，在各润滑油兜部的附近配设有表面压力传感器片，控制向上述多个润滑油兜部分别供给的润滑油的压力，以便使由该多个表面压力传感器片检测的表面压力均等。
7.如权利要求1所述的移动体引导装置，其特征在于，
按以下方式形成上述多个凹部：上述润滑油兜部内与上述环绕部相同高度的表面为上述环绕部的内侧的面积的15～50％。
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