JPS6195842A - 荷重補償案内面を備えた機械 - Google Patents

荷重補償案内面を備えた機械

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JPS6195842A
JPS6195842A JP21809384A JP21809384A JPS6195842A JP S6195842 A JPS6195842 A JP S6195842A JP 21809384 A JP21809384 A JP 21809384A JP 21809384 A JP21809384 A JP 21809384A JP S6195842 A JPS6195842 A JP S6195842A
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JP
Japan
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sliding
pressure
moving body
sliding faces
signal
Prior art date
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Pending
Application number
JP21809384A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadashi Rokkaku
正 六角
Yoshihiro Yuzaki
湯崎 芳啓
Sadamu Takahashi
定 高橋
Masaaki Nemoto
根本 政明
Toshiaki Tamaru
田丸 敏昭
Masahiro Matsue
松江 正博
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP21809384A priority Critical patent/JPS6195842A/ja
Publication of JPS6195842A publication Critical patent/JPS6195842A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/38Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
    • B23Q1/385Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports in which the thickness of the fluid-layer is adjustable

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば工作機械等の荷重補償案内面を備えた
機械に関する。
〔従来の技術と発明が解決しようとする問題点〕従来、
この種の荷重補償案内面を備えた機構においては相対移
動する2個の物体のすベシ面方式として、両物体の移動
を円滑するために、両物体間に流体または気体を強制的
に供給する方式のものが知られている。
すなわち、前者のものは例えば流体軸受にみられるよう
に両物体間に加圧流体を送り込み、この流体の圧力によ
りて回転する軸を支持するもので、その構成上、軸受か
ら流出した流体の回収が非常に煩雑なことで、例えば工
作機械等では切削水等の他の流体に混入するという欠点
がある。
また、後者のものは両物体間に気体を送り込み移動を円
滑するもので、その構成上、気体の圧縮性によって、例
えば移動物体に衝撃が加わった場合、両物体間の動剛性
が低下することで、工作機械の摺動面等に適さず一部の
特殊用途に限定されるものである。
このため、近時では案内面に供給する圧力流体の背圧、
案内接触面の電気抵抗または変位検出器による電気量を
用いて、案内面に作用する荷重に応じて生じるすべり面
間の接触面圧を検出し、この接触面圧に応じて該すベシ
面間に所定の圧力流体を供給する案内面を有した方式の
ものが考えられている。この場合、圧力流体の流量は例
えば自動調圧弁によって調整されて、上記接触面圧を所
定の値に制御し、移動体の重量の一部を圧力流体の浮力
で、残りの部分を基台物体によって保持するようになっ
ている。
しかしながら、上記各方式のものではいずれのものも、
すべり面間が接触している状態における接触面圧を検出
することで、基台物体と移動体との間の変位量がすベシ
面の面粗さのレベルの数ミクロンの極微小量としてしか
表われないために、検出の際、感度を高くしなければな
らず、その構成が複雑となり、高価となるという問題を
有している。また、これによれば、いずれのものも、す
べり面の面粗さ、平面度などの加工精度の影響を受は易
く、精度的に信頼性及び安定性が悪いという問題も有し
ている。
〔問題点を解決するだめの手段及び作用〕この発明は上
記の事情に鑑みてなされたもので、閘易な構成で、かつ
可及的に位置決め精度を向上し得るようにした荷重補償
案内面を備えた機械を提供することを目的とする。
すなわち、この発明は送りモータの入力電流に送シ方向
の正負の符号を乗じた値を所定時間積分し、基台物体と
移動体とのすべり面間の摺動抵抗を検出する検出手段と
、この検出手段の検出に応動して前記基台物体と移動体
とのすべυ面間に圧力流体を供給する調整手段とを具備
することによって、初期の目的を達成したもの7 であ
る。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例について図面を参照して説明
する。
第1図及び第2図はそれぞれこの発明による荷重補償案
内面を備えた機械における圧力流体の調整手段及びこの
調整手段を制御する検出手段を示すものである。
すなわち、第1図において、10は図示しなメ加工物が
積載される移動体である。この移動体IOは基台物体1
1の案内面12に案内されて送りモータ13(第2図参
照)によって駆動される図示しない送り機構を介して摺
動位置決めされるもので、該案内面12との間には所定
量の圧力流体が供給される。この圧力流体は例えば空圧
源14から供給される加圧空気がレギュレータ15で所
定の圧力に調圧された後、気体導管17.18を介して
それぞれ電磁切換弁19.20に供給される。この電磁
切換弁19゜20はそれぞれ、各ソレノイド21.22
が励磁されていない状態で、上記気体導管17.18が
絞り弁23.24を介して気体導管25.26に接続さ
れ、各ソレノイド21.22が励磁された状態では上記
気体導管17.18がそれぞれ気体導管27.28に接
続されるようになっている。そして、上記気体導管25
.26及び27.28はそれぞれ気体導管29に接続さ
れ、この気体導管29は上記移動体10に穿設された給
気孔101,102を介してそれぞれ摺動部のポケット
30.31に加圧空気供給可能に連結される。
ここで、上記ポケッ’p30.31に供給された加圧空
気は移動体10と案内面12との接触面における面粗さ
及びきさげ面等で形成される微小な隙間を通って、その
一部が移動体10の外周部から大気中に流出され、残シ
は移動体10に穿設されたポケット32及び排気孔10
3を介して大気中に流出するようになっている。
また、第2図において、33は上記送りモータ13のオ
ンオフ信号34及び上記加工物(図示せず)を加工する
た、めの図示しない主軸モータのオンオフ信号35が入
力される判別回路である。こt判別回路33は入力する
オンオフ信号34及び35に応動してダート開信号36
、リセット信号37、クロック開始信号38及び出力指
令信号39をそれぞれr−’) 40、積分器41、ク
ロック42及びROMシーケンサ43に出力する。すな
わち、上記判別回路33はオンオフ信号34及び35が
オン及びオフ状態でダート信号36及びクロック開始信
号38を出力し、オフ及びオン状態で出力指令信号39
を出力するもので、上記送・りそ−夕13からのオンオ
フ信号34がオフ状態において、常にリセット信号37
を出力するようKなっている。
ここで、上記ゲート40は上記送りモータ13に供給さ
れるモータ電流値信号44が検出器45を介し7て入力
されると共に、上記送りモータ13の速度符号信号46
が入力されるものでその出力端は符号乗算回路47を介
して上記積分器41に接続される。そして、積分器41
は上記リセット信号37によって出力が零にリセットさ
れるもので、その出力端がA/D変換器48を介して上
記クロ、り42からのクロックツ臂ルス信号49の入力
される上記ROMシーケンサ43tlC接続される。こ
のROMシーケンチ43は上記クロック42のクロック
パルス信号49をカウントし、上記判別回路33からの
出力指令信号39を入力した時点で、上記A/D変換器
48の出力をクロックパルス信号490カウント数で除
した値に応じて上記電磁切換弁19.20のソレノイド
21.22にそれぞれソレノイド励磁信号50を出力す
るようになりている。
すなわち、上記荷重補償案内面を備えた機械は移動体1
0に積載された図示しない加工物を交換する場合、移動
体10を停止せしめ、新しい別の加工物を積載した後、
加工位置まで移動させるようになっている。その際、上
記移動体10の移動に伴って、送りモータ13からのオ
ンオフ信号34がオン状態となり、上記加工用の図示し
ない主軸モータからのオンオフ信号35がオフ状態にあ
ることで、判別回路33はダート開信号36及びクロッ
ク開始信号38を出力する。すると、これに応動してグ
ー)40が開かれるため積分器41は検出器45からの
モータ電流値信号44と上記送りモータ13の速度符号
信号46との積を入力して積分動作を開始する。一方、
この際ROMシーケンサ43はクロック42からのクロ
ックツ4ルス49をカウントして積分時間を記録する。
次に、上記移動体10の移動が停止され、上記オンオフ
信号34がオフ状態となると、上記判別回路33はまず
出力指令信号39を出力し、続いてリセット信号37を
出力する。すると、上記ROMシーケンサ43はA/’
D変換器48の出力レベルを上記クロックパルス49の
カウント数で除した値に応じてソレノイド励磁信号50
を電磁切換弁19.20の各ソレノイド21.22に出
力する。
ここで、上記移動体10はすペシ案内面の一方の材質を
例えばテフロン系の摺動部材とし、潤滑油を間欠給油し
ているものとすると、その摺動抵抗がいわゆるクーロン
摩擦によるものが支配し、潤滑油の粘性による項が小さ
くなって、該摺動抵抗が速度に殆んど依存せず一定とな
る。
このため、上記送シモータ13の″電流値は上記移動体
10の発進・停止時を除くと、上記摺動抵抗に略比例す
る。すなわち、上記移動体IQはその送り速度が第3図
(a)に示すように立上り及び立下り時間teでそれぞ
れ加減速制御が行なわれ、このときの上記送りモータ1
3の電流値は同図(b)に示すように加速時の立上り、
減速時の立下シを含む平均値が図中斜線で示すようにキ
ャセルし合い、発進・停止の1サイクルにおける電流値
の平均が略摺動抵抗に比例することとなる◎したがって
、上記A/D変換器48の出力レベルを上記クロック・
ぐルス49のカウント数で除した値は発進・停止の1サ
イクルにおける摺動抵抗の平均値となるものである。
ところで、上記主軸モータ(図示せず)のオ    ′
ンオ7信号35はその主軸回転時、例えば切削力が移動
体10に対して上記摺動抵抗以外の負荷力として上記送
り、モータ13に付与するのを防止するため上記ダート
40を閉状態に制御し、かつ上記移動体10の移動時、
上記主軸モータ(図示せず)が回転した場合にも、上記
出方指令信号39の出力を停止せしめ、上記ROMシー
ケンサ43からのソレノイド励磁信号5oの出力を停止
させるものである。
そして、上記ソレノイド励磁信号5Qが入力される電磁
切換弁19.20の各ソレノイド21.22は該ソレノ
イド励磁信号50によってオン/オフ制御され、上記移
動体10と基台物体11の案内面12との間に空圧源1
4からの加圧空気をすべり面間が所定の状態に接触する
ように供給制御する。この場合、電磁切換央19.20
は絞り弁23.24以外の管路抵抗を零と仮定すると、
レギュレータ15と気体導管29との間の管路抵抗Rは
4レベルに設定可能となり、ポケット3.0.31の圧
力を4レベルに設定することとなる。すなわち、上記絞
り弁23.24の抵抗をそれぞれRa、Rbとすると、
上記電磁切換弁19.20は各ソレノイド21゜22が
ともにオン状態で管路抵抗R=Q、オンーオフ状態で管
路抵抗R=Ra、オフーオン状服で管路抵抗R= Rh
 、  ともにオフ状態で管路抵抗上記ポケット30.
31の圧力を4レベルに調整する。
ここで、上記ROMシーケンサ43からのソレノイド励
磁指令信号50はクロックパルス49のカウント数が所
定値以上に連判しないと、上記出力指令信号39を受け
ても出力しないようにROMシーケンサ43の図示しな
いロジック回路が組まれている。というのは、実稼動時
、非常に小さな移動量で、上記移動体の発進・停止を行
なう場合、第3図(b)のモータ電流値が加速時及び減
速時の電流値のピークが接近しすぎて精度のよい積分が
できなくなるのを防止するためである。
また、上記荷重補償案内面を備えた機械は上記移動体1
0の積載す、る加工物の重量が大きく変わる場合、加工
物交換のために、移動体IQを充分のストロークで移動
されるので、その際基台物体11の案内面12とのすべ
り面間の加圧空気の流量再調整を行なうようになってい
る。
なお、この発明は上記実施例に限ることなく、 ゛その
外、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種雅の変形を実
施し得ることは云う迄もないことでめる。
〔発明の効果〕
以上詳述したように、この発明によれば送りモータの入
力電流に送り方向の正負の符号を乗じた値を所定時間積
分し、基台物体と移動体とのすべり面間の摺動抵抗を検
出する検出手段と。
この検出手段の検出に応動して前記基台物体と移動体と
のすべり面間に圧力流体を供給する調整手段とを設け、
すベシ面間の摺動抵抗に応じて圧力流体の流量調整を行
なって、すべり面間が接触した状態で接触面圧を小さく
するように構成したので、案内面の動剛性を損うことな
く、摺動摩擦を小さくし得るもので、可及的に高精度な
位置決めを行ない得るようにした荷重補償案内面を備え
た機械を提供することができる。
また、上記荷重補償案内面を備えた機械はすべり面間の
接触面圧をモータ電流から検出するように構成している
ので、すべり面の面粗さ及び平面度等による影響が無く
なり、可及的に信頼性及び安定性を向上し得るものであ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図はそれぞれこの発明の一実施例に係る
荷重補償案内面を備えた機械の要部を示す回路構成図、
第3図゛はこの発明による荷重補償案内面を備えた機械
の特性を示す特性図である。 10・・・移動体・、11・・・基台物体、12・・・
案内面、13・・・送りモータ、14・・・空圧源、1
5・・・レギュレータ、17.1g、25.26,27
゜28.29・・・気体導管、19.20・・・電磁切
換弁、21.22・・・ソレノイド、23.24・・・
絞り弁、30,3V、32・・・ポケット、33・・・
判別回路、34.35・・・オンオフ信号、36・・・
r−ト開信号、37・・・リセット信号、38・・・ク
ロック開始信号、39・・・出力指令信号、40・・・
ゲート、4ノ・・・積分器、42・・・クロック、43
・・・ROMシーケンサ、44・・・モータ電流値信号
、45・・・検出器、46・・・速度符号信号、47・
・・符号乗算回路、48・・・A/D変換器、49・・
・クロックパルス信号、50・・・ソレノイド励磁信号

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 移動体を送りモータによって駆動される送り機構を介し
    て基台物体上に摺動位置決めしてなる荷重補償案内面を
    備えた機械において、前記送りモータの入力電流に送り
    方向の正負の符号を乗じた値を所定時間積分し、前記基
    台物体と移動体とのすべり面間の摺動抵抗を検出する検
    出手段と、この検出手段の検出に応動して前記基台物体
    と移動体とのすべり面間に圧力流体を供給する調整手段
    とを具備したことを特徴とする荷重補償案内面を備えた
    機械。
JP21809384A 1984-10-17 1984-10-17 荷重補償案内面を備えた機械 Pending JPS6195842A (ja)

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ID=16714517

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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