JPH0295529A - 移動体の静圧案内方法 - Google Patents
移動体の静圧案内方法Info
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- JPH0295529A JPH0295529A JP24886288A JP24886288A JPH0295529A JP H0295529 A JPH0295529 A JP H0295529A JP 24886288 A JP24886288 A JP 24886288A JP 24886288 A JP24886288 A JP 24886288A JP H0295529 A JPH0295529 A JP H0295529A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は機械類特に工作機械の重切削を行う場合に好適
な移動体の静圧案内方法に関する。
な移動体の静圧案内方法に関する。
従来の技術
工作機械においては移動体の滑らかな案内により正確な
位置決め制御を可能とする静圧ガイドが頻繁に用いられ
ている。一般には移動体を完全に浮上させる完全形静圧
ガイドと半浮上させる滑りガイドとが個々に使用されて
いる。
位置決め制御を可能とする静圧ガイドが頻繁に用いられ
ている。一般には移動体を完全に浮上させる完全形静圧
ガイドと半浮上させる滑りガイドとが個々に使用されて
いる。
発明が解決しようとする課題
重切削の場合には完全浮上の静圧ガイドの方法では案内
剛性が不足してびびり現象が発生するため半浮上滑りガ
イドの方法に切換える必要があるが、最適な自動切換え
が行われていなかった。
剛性が不足してびびり現象が発生するため半浮上滑りガ
イドの方法に切換える必要があるが、最適な自動切換え
が行われていなかった。
本発明は従来の技術の有するこのような問題点に鑑みな
されたもので、その目的とするところは切削状態を監視
し、重切削時にびびりが発生する前に完全浮上の静圧状
態からスラスト方向の減衰性が高い半浮上滑りガイドに
自動で切換える移動体の静圧案内方法を提供しようとす
るものである。
されたもので、その目的とするところは切削状態を監視
し、重切削時にびびりが発生する前に完全浮上の静圧状
態からスラスト方向の減衰性が高い半浮上滑りガイドに
自動で切換える移動体の静圧案内方法を提供しようとす
るものである。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するために本発明の移動体の静圧案内方
法は移動体を静圧で案内する機械において、負荷による
移動体の振動状態を監視し、振動が設定値またはそれ以
上となったとき完全静圧案内状態から半浮上滑り案内状
態に切換えるものである。
法は移動体を静圧で案内する機械において、負荷による
移動体の振動状態を監視し、振動が設定値またはそれ以
上となったとき完全静圧案内状態から半浮上滑り案内状
態に切換えるものである。
作用
振動センサの出力が第１設定値と第２設定値の間の大き
さとなったとき制御装置が切換弁を切換えて高圧油の供
給を低圧油の供給とし上下方向の完全形静圧を半浮上滑
り案内とするものである。
さとなったとき制御装置が切換弁を切換えて高圧油の供
給を低圧油の供給とし上下方向の完全形静圧を半浮上滑
り案内とするものである。
実施例
以下第１図にもとづき説明する０図示しない例えば公知
のマシニングセンタ等のテーブル１は下面に設けた案内
凸部１ａにおいてベツド２の案内部２ａに案内され、下
面中央に取付けた雌ねじ４がベツド２に回転のみ可能に
支持された送りねじ３に螺合されて移動制御される。テ
ーブルｌの案内凸部１ａは上下の案内面に長手方向の数
個所に静圧パント６が形成されていてベツド２の案内部
２ａと僅かの隙間が対設して完全浮上形静圧ガイドとさ
れている。また一方の案内凸部１ａの両側面には静圧パ
ント５が形成されていて案内部２ａと僅かの隙間で対設
していて完全形静圧ガイドとされている。そしてこの静
圧ガイド５，６に圧油を供給する油圧装置は、モータ７
で駆動される可変容量杉油圧ポンプ８からフィルタ９．
一方向弁ｌＯを介して油路１１より高圧用減圧弁１２を
経て油路１３からテーブル１の油路１４に接続され両側
面の静圧パット５に接続されている。また油路１１より
低圧用減圧弁１５が３ボ一ト２位置切換電磁弁１６を経
て油路１７がテーブル１の油路１８に接続され続いて静
圧パット６に接続されている。この切換電磁弁１６は、
また高圧用減圧弁１２とも接続されるようになっている
。そしてテーブルｌには振動センサ１９が設けられてい
て制御装置２０により予めテーブル１の加振実験により
決定した完全浮上の静圧状態の範囲を示す設定値Ｖ ｌ
＋ びびりが激しく切削中止の限界を示す設定値ｖ
２にもとづき切換電磁弁１６を制御するようになされて
いる。
のマシニングセンタ等のテーブル１は下面に設けた案内
凸部１ａにおいてベツド２の案内部２ａに案内され、下
面中央に取付けた雌ねじ４がベツド２に回転のみ可能に
支持された送りねじ３に螺合されて移動制御される。テ
ーブルｌの案内凸部１ａは上下の案内面に長手方向の数
個所に静圧パント６が形成されていてベツド２の案内部
２ａと僅かの隙間が対設して完全浮上形静圧ガイドとさ
れている。また一方の案内凸部１ａの両側面には静圧パ
ント５が形成されていて案内部２ａと僅かの隙間で対設
していて完全形静圧ガイドとされている。そしてこの静
圧ガイド５，６に圧油を供給する油圧装置は、モータ７
で駆動される可変容量杉油圧ポンプ８からフィルタ９．
一方向弁ｌＯを介して油路１１より高圧用減圧弁１２を
経て油路１３からテーブル１の油路１４に接続され両側
面の静圧パット５に接続されている。また油路１１より
低圧用減圧弁１５が３ボ一ト２位置切換電磁弁１６を経
て油路１７がテーブル１の油路１８に接続され続いて静
圧パット６に接続されている。この切換電磁弁１６は、
また高圧用減圧弁１２とも接続されるようになっている
。そしてテーブルｌには振動センサ１９が設けられてい
て制御装置２０により予めテーブル１の加振実験により
決定した完全浮上の静圧状態の範囲を示す設定値Ｖ ｌ
＋ びびりが激しく切削中止の限界を示す設定値ｖ
２にもとづき切換電磁弁１６を制御するようになされて
いる。
振動電圧を示す第２図、制御のフローを示す第３図にも
とづき作用を説明する。制御装置２０からは切換信号の
出力なく切換電磁弁１６は■位置にあって可変容量油圧
ポンプ８の圧油は高圧用減圧弁１２により設定された高
圧にて油路１３及び１７よりテーブル１の油路１４．１
８を介して静圧パーｚ）５．６に供給されていて完全浮
上の静圧ガイドとなっている。
とづき作用を説明する。制御装置２０からは切換信号の
出力なく切換電磁弁１６は■位置にあって可変容量油圧
ポンプ８の圧油は高圧用減圧弁１２により設定された高
圧にて油路１３及び１７よりテーブル１の油路１４．１
８を介して静圧パーｚ）５．６に供給されていて完全浮
上の静圧ガイドとなっている。
切削開始を指令する。ステップＳ１において切削中止か
を判断しＮｏであればステップＳ２において振動検出電
圧ｄを測定検出する。ステップＳ３において検出した振
動電圧ｄが完全浮上の静圧状態の範囲を示す第１設定値
ｖ１に対しｄ〉±Ｖであるかを判断する。Ｎｏであれば
ステップＳ４において、制御装置２０の出力が零で切換
え電磁弁１６が！位置でなければ■に切換え完全浮上の
静圧ガイド状態としてステップＳ２に戻る。ステップＳ
３においてＹＥＳであればステップＳ５において振動検
出電圧ｄがびびりによる切削限界電圧Ｖ、に対しｄ〉±
ｖ３であるかを判断する。
を判断しＮｏであればステップＳ２において振動検出電
圧ｄを測定検出する。ステップＳ３において検出した振
動電圧ｄが完全浮上の静圧状態の範囲を示す第１設定値
ｖ１に対しｄ〉±Ｖであるかを判断する。Ｎｏであれば
ステップＳ４において、制御装置２０の出力が零で切換
え電磁弁１６が！位置でなければ■に切換え完全浮上の
静圧ガイド状態としてステップＳ２に戻る。ステップＳ
３においてＹＥＳであればステップＳ５において振動検
出電圧ｄがびびりによる切削限界電圧Ｖ、に対しｄ〉±
ｖ３であるかを判断する。
ＮＯであればステップＳ６において振動検出電圧ｄが第
１設定値ｖｌと第２設定値ｖ８の間となるよう制御装置
２０の出力が電磁切換弁１６を制御して■位置に切換え
油路１７を低圧用減圧弁１６に接続し半浮上滑り案内の
状態としてステップＳ１に戻る。ステップＳ５において
ＹＥＳであればびびりが激しくてステップＳ７において
切削を停止する。ステップＳ８において制御装置２０の
出力が零で切換電磁弁１６が１位置になければ１位置に
切換える。ステップＳ９において上下方向が完全浮上の
静圧ガイド状態となる。ステップＳ１においてＹＥＳで
あればステップＳ８に移行する。
１設定値ｖｌと第２設定値ｖ８の間となるよう制御装置
２０の出力が電磁切換弁１６を制御して■位置に切換え
油路１７を低圧用減圧弁１６に接続し半浮上滑り案内の
状態としてステップＳ１に戻る。ステップＳ５において
ＹＥＳであればびびりが激しくてステップＳ７において
切削を停止する。ステップＳ８において制御装置２０の
出力が零で切換電磁弁１６が１位置になければ１位置に
切換える。ステップＳ９において上下方向が完全浮上の
静圧ガイド状態となる。ステップＳ１においてＹＥＳで
あればステップＳ８に移行する。
効果
本発明は上述のとおり構成されているので次に記載する
効果を奏する。
効果を奏する。
びびり発生前に上下の静圧ガイドを完全浮上の状態から
半浮上滑り案内の状態に自動的に切換えられスラスト方
向の減衰性が向上し軸受剛性を高めることができる。こ
のため軽切削から重切削までびびらない広範囲の切削加
工が可能となる。
半浮上滑り案内の状態に自動的に切換えられスラスト方
向の減衰性が向上し軸受剛性を高めることができる。こ
のため軽切削から重切削までびびらない広範囲の切削加
工が可能となる。
第１図は本発明の静圧ガイドの油圧回路図、第２図は振
動センサの振動電圧の図、第３図は制御のフローを示す
図である。 ｌ・・テーブル ２・・ベツド ５．６・・静圧パット
動センサの振動電圧の図、第３図は制御のフローを示す
図である。 ｌ・・テーブル ２・・ベツド ５．６・・静圧パット
Claims (1)
- （１）移動体を静圧で案内する機械において、負荷によ
る移動体の振動状態を監視し、振動が設定値またはそれ
以上となったとき完全静圧案内状態から半浮上滑り案内
状態に切換えることを特徴とする移動体の静圧案内方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63248862A JPH089133B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 移動体の静圧案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63248862A JPH089133B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 移動体の静圧案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0295529A true JPH0295529A (ja) | 1990-04-06 |
| JPH089133B2 JPH089133B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=17184530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63248862A Expired - Fee Related JPH089133B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 移動体の静圧案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH089133B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05104388A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-04-27 | Canon Inc | ワーク保持構造 |
| US6559341B2 (en) | 1997-11-25 | 2003-05-06 | Nihon Nohyaku Co., Ltd. | Phthalic acid diamide derivatives, fluorine-containing aniline compounds as starting material, agricultural and horticultural insecticides, and a method for application of the insecticides |
| CN102189412A (zh) * | 2011-05-13 | 2011-09-21 | 东北大学 | 一种主动控制闭式静压导轨 |
| CN103317360A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-09-25 | 西安交通大学 | 一种公共供油轨道的高精度静压回转工作台 |
| JP2018041811A (ja) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び物品製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58146717A (ja) * | 1982-02-20 | 1983-09-01 | Okuma Mach Works Ltd | ハイブリツト方式の静圧ガイド |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP63248862A patent/JPH089133B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58146717A (ja) * | 1982-02-20 | 1983-09-01 | Okuma Mach Works Ltd | ハイブリツト方式の静圧ガイド |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05104388A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-04-27 | Canon Inc | ワーク保持構造 |
| US6559341B2 (en) | 1997-11-25 | 2003-05-06 | Nihon Nohyaku Co., Ltd. | Phthalic acid diamide derivatives, fluorine-containing aniline compounds as starting material, agricultural and horticultural insecticides, and a method for application of the insecticides |
| CN102189412A (zh) * | 2011-05-13 | 2011-09-21 | 东北大学 | 一种主动控制闭式静压导轨 |
| CN103317360A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-09-25 | 西安交通大学 | 一种公共供油轨道的高精度静压回转工作台 |
| JP2018041811A (ja) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び物品製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH089133B2 (ja) | 1996-01-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |