JPH089133B2 - 移動体の静圧案内装置 - Google Patents
移動体の静圧案内装置Info
- Publication number
- JPH089133B2 JPH089133B2 JP63248862A JP24886288A JPH089133B2 JP H089133 B2 JPH089133 B2 JP H089133B2 JP 63248862 A JP63248862 A JP 63248862A JP 24886288 A JP24886288 A JP 24886288A JP H089133 B2 JPH089133 B2 JP H089133B2
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- JP
- Japan
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- pressure
- static pressure
- reducing valve
- set value
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- Prior art date
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は機械類特に工作機械の重切削を行う場合に好
適な移動体の静圧案内装置に関する。
適な移動体の静圧案内装置に関する。
従来の技術 工作機械においては移動体の滑らかな案内により正確
な位置決め制御を可能とする静圧ガイドが頻繁に用いら
れている。一般には移動体を完全に浮上させる完全形静
圧ガイドと半浮上させる滑りガイドとが個々に使用され
ている。
な位置決め制御を可能とする静圧ガイドが頻繁に用いら
れている。一般には移動体を完全に浮上させる完全形静
圧ガイドと半浮上させる滑りガイドとが個々に使用され
ている。
発明が解決しようとする課題 重切削の場合には完全浮上の静圧ガイドの方法では案
内剛性が不足してびびり現象が発生するため半浮上滑り
ガイドの方法に切換える必要があるが、最適な自動切換
えが行われていなかった。
内剛性が不足してびびり現象が発生するため半浮上滑り
ガイドの方法に切換える必要があるが、最適な自動切換
えが行われていなかった。
本発明は従来の技術の有するこのような問題点に鑑み
なされたもので、その目的とするところは切削状態を監
視し、重切削時にびびりが発生する前に完全浮上の静圧
状態からスラスト方向の減衰性が高い半浮上滑りガイド
に自動で切換える移動体の静圧案内装置を提供しようと
するものである。
なされたもので、その目的とするところは切削状態を監
視し、重切削時にびびりが発生する前に完全浮上の静圧
状態からスラスト方向の減衰性が高い半浮上滑りガイド
に自動で切換える移動体の静圧案内装置を提供しようと
するものである。
課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明は、工作機械のベッ
ドの案内面に沿って移動可能に載置された移動体の案内
装置であって、上下方向の重荷重を受ける案内面に静圧
軸受を設け、圧力流体供給源から該静圧軸受のパッドに
圧油を供給する油路に完全浮上の静圧を発生する油圧と
する高圧用減圧弁と半浮上の静圧を発生する油圧とする
低圧用減圧弁とを介在させ、該高圧用減圧弁・低圧用減
圧弁を選択する電磁切換弁を設け、運転中の移動体の振
動を検出して振動電圧を出力する振動センサを移動体に
設け、該振動センサの振動電圧の出力値が予め設定した
第１設定値V1より小であれば前記高圧用減圧弁を選択し
第１設定値V1より大で予め設定した第２設定値V2より小
であれば前記低圧用減圧弁を選択するように前記電磁切
換弁を作動させ第２設定値V2より大であれば加工を停止
させる制御回路を設けたものである。
ドの案内面に沿って移動可能に載置された移動体の案内
装置であって、上下方向の重荷重を受ける案内面に静圧
軸受を設け、圧力流体供給源から該静圧軸受のパッドに
圧油を供給する油路に完全浮上の静圧を発生する油圧と
する高圧用減圧弁と半浮上の静圧を発生する油圧とする
低圧用減圧弁とを介在させ、該高圧用減圧弁・低圧用減
圧弁を選択する電磁切換弁を設け、運転中の移動体の振
動を検出して振動電圧を出力する振動センサを移動体に
設け、該振動センサの振動電圧の出力値が予め設定した
第１設定値V1より小であれば前記高圧用減圧弁を選択し
第１設定値V1より大で予め設定した第２設定値V2より小
であれば前記低圧用減圧弁を選択するように前記電磁切
換弁を作動させ第２設定値V2より大であれば加工を停止
させる制御回路を設けたものである。
作用 振動センサの出力が第１設定値と第２設定値の間の大
きさとなったとき制御装置が切換弁を切換えて高圧油の
供給を低圧油の供給とし上下方向の完全形静圧を半浮上
滑り案内とするものである。
きさとなったとき制御装置が切換弁を切換えて高圧油の
供給を低圧油の供給とし上下方向の完全形静圧を半浮上
滑り案内とするものである。
実施例 以下第１図にもとづき説明する。図示しない例えば公
知のマシニングセンタ等のテーブル１は下面に設けた案
内凸部1aにおいてベッド２の案内部2aに案内され、下面
中央に取付けた雌ねじ４がベッド２に回転のみ可能に支
持された送りねじ３に螺合されて移動制御される。テー
ブル１の案内凸部1aは上下の案内面に長手方向の数個所
に静圧パット６が形成されていてベッド２の案内部2aと
僅かの隙間が対設して完全浮上形静圧ガイドとされてい
る。また一方の案内凸部1aの両側面には静圧パット５が
形成されていて案内部2aと僅かの隙間で対設していて完
全形静圧ガイドとされている。そしてこの静圧ガイド5,
6に圧油を供給する油圧装置は、モータ７で駆動される
可変容量形油圧ポンプ８からフイルタ9,一方向弁10を介
して油路11より高圧用減圧弁12を経て油路13からテーブ
ル１の油路14に接続され両側面の静圧パット５に接続さ
れている。また油路11より低圧用減圧弁15が３ポート２
位置切換電磁弁16を経て油路17がテーブル１の油路18に
接続され続いて静圧パット６に接続されている。この切
換電磁弁16は、また高圧用減圧弁12とも接続されるよう
になっている。そしてテーブル１には振動センサ19設け
られていて制御装置20により予めテーブル１の加振実験
により決定した完全浮上の静圧状態の範囲を示す設定値
V1，びびりが激しく切削中止の限界を示す設定値V2にも
とづき切換電磁弁16を制御するようになされている。
知のマシニングセンタ等のテーブル１は下面に設けた案
内凸部1aにおいてベッド２の案内部2aに案内され、下面
中央に取付けた雌ねじ４がベッド２に回転のみ可能に支
持された送りねじ３に螺合されて移動制御される。テー
ブル１の案内凸部1aは上下の案内面に長手方向の数個所
に静圧パット６が形成されていてベッド２の案内部2aと
僅かの隙間が対設して完全浮上形静圧ガイドとされてい
る。また一方の案内凸部1aの両側面には静圧パット５が
形成されていて案内部2aと僅かの隙間で対設していて完
全形静圧ガイドとされている。そしてこの静圧ガイド5,
6に圧油を供給する油圧装置は、モータ７で駆動される
可変容量形油圧ポンプ８からフイルタ9,一方向弁10を介
して油路11より高圧用減圧弁12を経て油路13からテーブ
ル１の油路14に接続され両側面の静圧パット５に接続さ
れている。また油路11より低圧用減圧弁15が３ポート２
位置切換電磁弁16を経て油路17がテーブル１の油路18に
接続され続いて静圧パット６に接続されている。この切
換電磁弁16は、また高圧用減圧弁12とも接続されるよう
になっている。そしてテーブル１には振動センサ19設け
られていて制御装置20により予めテーブル１の加振実験
により決定した完全浮上の静圧状態の範囲を示す設定値
V1，びびりが激しく切削中止の限界を示す設定値V2にも
とづき切換電磁弁16を制御するようになされている。
振動電圧を示す第２図、制御のフローを示す第３図に
もとづき作用を説明する。制御装置20からは切換信号の
出力なく切換電磁弁16はＩ位置にあって可変容量油圧ポ
ンプ８の圧油は高圧用減圧弁12により設定された高圧に
て油路13及び17よりテーブル１の油路14,18を介して静
圧パット5,6に供給されていて完全浮上の静圧ガイドと
なっている。
もとづき作用を説明する。制御装置20からは切換信号の
出力なく切換電磁弁16はＩ位置にあって可変容量油圧ポ
ンプ８の圧油は高圧用減圧弁12により設定された高圧に
て油路13及び17よりテーブル１の油路14,18を介して静
圧パット5,6に供給されていて完全浮上の静圧ガイドと
なっている。
切削開始を指令する。ステップS1において切削中止か
を判断しNOであればステップS2において振動検出電圧ｄ
を測定検出する。ステップS3において検出した振動電圧
ｄが完全浮上の静圧状態の範囲を示す第１設定値V1に対
しｄ＞±V1であるかを判断する。NOであればステップS4
において、制御装置20の出力が零で切換え電磁弁16がＩ
位置でなければＩに切換え完全浮上の静圧ガイド状態と
してステップS2に戻る。ステップS3においてYESであれ
ばステップS5において振動検出電圧ｄがびびりによる切
削限界電圧V2に対しｄ＞±V2であるかを判断する。NOで
あればステップS6において振動検出電圧ｄが第１設定値
V1と第２設定値V2の間となるよう制御装置20の出力が電
磁切換弁16を制御してII位置に切換え油路17を低圧用減
圧弁16に接続し半浮上滑り案内の状態としてステップS1
に戻る。ステップS5においてYESであればびびりが激し
くてステップS7において切削を停止する。ステップS8に
おいて制御装置20の出力が零で切換電磁弁16がＩ位置に
なければＩ位置に切換える。ステップS9において上下方
向が完全浮上の静圧ガイド状態となる。ステップS1にお
いてYESであればステップS8に移行する。
を判断しNOであればステップS2において振動検出電圧ｄ
を測定検出する。ステップS3において検出した振動電圧
ｄが完全浮上の静圧状態の範囲を示す第１設定値V1に対
しｄ＞±V1であるかを判断する。NOであればステップS4
において、制御装置20の出力が零で切換え電磁弁16がＩ
位置でなければＩに切換え完全浮上の静圧ガイド状態と
してステップS2に戻る。ステップS3においてYESであれ
ばステップS5において振動検出電圧ｄがびびりによる切
削限界電圧V2に対しｄ＞±V2であるかを判断する。NOで
あればステップS6において振動検出電圧ｄが第１設定値
V1と第２設定値V2の間となるよう制御装置20の出力が電
磁切換弁16を制御してII位置に切換え油路17を低圧用減
圧弁16に接続し半浮上滑り案内の状態としてステップS1
に戻る。ステップS5においてYESであればびびりが激し
くてステップS7において切削を停止する。ステップS8に
おいて制御装置20の出力が零で切換電磁弁16がＩ位置に
なければＩ位置に切換える。ステップS9において上下方
向が完全浮上の静圧ガイド状態となる。ステップS1にお
いてYESであればステップS8に移行する。
効果 本発明は上述のとおり構成されているので次に記載す
る効果を奏する。
る効果を奏する。
びびり発生前に上下の静圧ガイドを完全浮上の状態か
ら半浮上滑り案内の状態に自動的に切換えられスラスト
方向の減衰性が向上し軸受剛性を高めることができる。
このため軽切削から重切削までびびらない広範囲の切削
加工が可能となる。
ら半浮上滑り案内の状態に自動的に切換えられスラスト
方向の減衰性が向上し軸受剛性を高めることができる。
このため軽切削から重切削までびびらない広範囲の切削
加工が可能となる。
第１図は本発明の静圧ガイドの油圧回路図、第２図は振
動センサの振動電圧の図、第３図は制御のフローを示す
図である。 １…テーブル、２…ベッド 5,6…静圧パット 12…高圧用減圧弁、15…低圧用減圧弁 19…振動センサ、20…制御装置
動センサの振動電圧の図、第３図は制御のフローを示す
図である。 １…テーブル、２…ベッド 5,6…静圧パット 12…高圧用減圧弁、15…低圧用減圧弁 19…振動センサ、20…制御装置
Claims (1)
- 【請求項１】工作機械のベッドの案内面に沿って移動可
能に載置された移動体の案内装置であって、上下方向の
重荷重を受ける案内面に静圧軸受を設け、圧力流体供給
源から該静圧軸受のパッドに圧油を供給する油路に完全
浮上の静圧を発生する油圧とする高圧用減圧弁と半浮上
の静圧を発生する油圧とする低圧用減圧弁とを介在さ
せ、該高圧用減圧弁・低圧用減圧弁を選択する電磁切換
弁を設け、運転中の移動体の振動を検出して振動電圧を
出力する振動センサを移動体に設け、該振動センサの振
動電圧の出力値が予め設定した第１設定値V1より小であ
れば前記高圧用減圧弁を選択し第１設定値V1より大で予
め設定した第２設定値V2より小であれば前記低圧用減圧
弁を選択するように前記電磁切換弁を作動させ第２設定
値V2より大であれば加工を停止させる制御回路を設けた
ことを特徴とする移動体の静圧案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63248862A JPH089133B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 移動体の静圧案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63248862A JPH089133B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 移動体の静圧案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0295529A JPH0295529A (ja) | 1990-04-06 |
| JPH089133B2 true JPH089133B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=17184530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63248862A Expired - Fee Related JPH089133B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 移動体の静圧案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH089133B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2954405B2 (ja) * | 1991-10-16 | 1999-09-27 | キヤノン株式会社 | ワーク保持構造 |
| US6362369B2 (en) | 1997-11-25 | 2002-03-26 | Nihon Nohyaku Co., Ltd. | Phthalic acid diamide derivatives fluorine-containing aniline compounds as starting material, agricultural and horticultural insecticides, and a method for application of the insecticides |
| CN102189412A (zh) * | 2011-05-13 | 2011-09-21 | 东北大学 | 一种主动控制闭式静压导轨 |
| CN103317360B (zh) * | 2013-05-20 | 2016-11-23 | 西安交通大学 | 一种公共供油轨道的高精度静压回转工作台 |
| JP6886259B2 (ja) * | 2016-09-06 | 2021-06-16 | キヤノン株式会社 | 形成装置、及び物品製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58146717A (ja) * | 1982-02-20 | 1983-09-01 | Okuma Mach Works Ltd | ハイブリツト方式の静圧ガイド |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP63248862A patent/JPH089133B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0295529A (ja) | 1990-04-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |