JP3825737B2 - 精密位置決め装置及びこれを用いた加工機 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は位置決め装置に関し、特に、Z軸(垂直軸)方向への精密位置決め及び荷重制御を可能とする精密位置決め装置及びこれを用いた加工機に関する。
【0002】
【従来の技術】
Z軸方向に関する位置決め機能を持つ位置決め装置の応用例としては、例えばチップマウンタがある。これを図14を参照して説明する。
【0003】
図14において、チップマウンタは、Z軸送り装置100と、このZ軸送り装置100で昇降駆動されるホルダ支持装置200とを組み合わせて成る。Z軸送り装置100は、装置フレーム101にサーボモータ102を設置し、このサーボモータ102で鉛直方向に延びるボールネジ機構103を駆動するようにしている。ボールネジ機構103はスライダ104を有しており、スライダ104を装置フレーム101に設けたガイドレール105で案内するようにしている。
【0004】
ホルダ支持装置200は、ボールネジ機構103におけるスライダ104と反対側に、ホルダブラケット201を介して取り付けられている。ホルダ支持装置200はエアシリンダ202を有し、エアシリンダ202内には静圧空気軸受204を介してツールホルダ203が上下動可能に配置されている。つまり、静圧空気軸受204はエアシリンダ202に設けられている穴205から供給される圧縮空気を多孔質体で均一に分散させてツールホルダ203の下部を非接触状態にて支持する。
【0005】
また、エアシリンダ202に開口されている加圧ポート206及びバランス圧ポート208から供給される圧縮空気同士の差圧でツールホルダ203の上下動を位置決め制御するように構成されている。ツールホルダ203の下端部にはチップ300を保持するためのツール209が取り付けられている。
【0006】
基板保持ステージ400には、チップ300が実装されるべき基板401が搭載されている。なお、エアシリンダ202には移動高さを検出するための位置検出器210が設けられ、高さ位置のフィードバック制御に利用される(例えば特許文献1参照)。
【0007】
上記の装置は、精密位置決めを可能とするために、ボールネジ機構103によるZ軸送り装置100と、エアシリンダ203によるホルダ支持装置200との2つの駆動機構が必要である。
【0008】
一方、上記のような2つの駆動機構の組み合わせに代えて、リニアモータを駆動源として用いることが考えられる。しかし、チップマウンタのような場合、動きが激しいのでリニアモータにおける電磁石に発熱が生じてチップに悪影響を及ぼすおそれがあるので好ましくない。しかも、チップマウンタのようにZ軸方向の位置決め制御を行う場合、単に位置決め制御を行うだけでなく可動部の荷重制御(力制御)も必要であるが、リニアモータにおいて電流制御で荷重制御を実現するのは容易ではない。
【0009】
更に、本出願人は、上記ようなボールネジ機構による駆動機構やリニアモータによる駆動機構に代わる駆動源として、流体圧アクチュエータを提案している。図15を参照して、この流体圧アクチュエータは、ガイド軸414とこれに沿って移動可能なスライダ413とを含む。ガイド軸414とスライダ413との間にはシリンダ室が形成されると共に、このシリンダ室を移動方向に関して2つの圧力室416A、416Bに区画する受圧板417がスライダ413に設けられる。2つに区画された圧力室416A、416Bにそれぞれ、サーボ弁422A、422Bを介して圧縮空気を出入り可能にすることで2つの圧力室416A、416Bの差圧でスライダ413を駆動するようにしている。
【0010】
流体圧アクチュエータは更に、スライダ413の位置を検出するための位置センサ415と、2つのサーボ弁422A、422Bをそれぞれ制御するための2つのサーボアンプ421A、421Bと、位置センサ415からの位置検出信号を受けて2つのサーボアンプ421A、421Bに位置指令値を出力する制御演算装置420とを備えている。410は圧縮空気供給源である。
【0011】
制御演算装置420は、位置検出信号で示されるスライダ位置を微分してスライダ413の速度を算出すると共に、算出された速度を微分して加速度を算出するステップと、スライダ目標位置と、スライダ位置、スライダ速度、スライダ加速度を用いて2つのサーボアンプ421A、421Bへ出力すべき位置指令値を算出するステップと、算出されたそれぞれの位置指令値に対して、シリンダ室内における受圧板417の位置変化に起因する各圧力室416A、416Bの圧力変化分を補償する演算を行って、それぞれ補償された位置指令値を2つのサーボアンプ421A、421Bへ出力するステップとを実行する(例えば特許文献2参照)。
【0012】
【特許文献1】
特開2000−353725号公報(第3頁、図1)
【0013】
【特許文献2】
特願2001−98427号(第1−2頁、図1)
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、流体として空気を用いる空気圧アクチュエータは、高速、高推力が得られ、発熱作用が少ないという利点がある。しかし、上記のような構成のものは水平方向の駆動源には適しているが、鉛直方向、つまりZ軸方向の駆動源には適していない。また、高価なサーボ弁を2個必要とする。
【0015】
そこで、本発明の課題は、駆動源の機械的要素としてはエアシリンダ及び1つのサーボ弁でZ軸方向の高精度の位置決め制御と荷重制御とを実現できる精密位置決め装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、鉛直方向に延びるように固定配置される空圧シリンダと、該空圧シリンダ内に静圧軸受を介して非接触状態にてスライド可能に収容され、軸方向に延びる軸体を持つピストン体と、前記空圧シリンダ内で前記ピストン体のピストンヘッドを間にした一方の圧力室に定圧の空気を供給すると共に、他方の圧力室にはサーボ弁を介して空気の流量を制御して供給するための空圧回路と、前記一方及び他方の圧力室の圧力を検出するための第1、第2の圧力センサと、前記ピストン体の位置を検出するための位置センサと、前記位置センサからの位置検出信号と、位置指令値と、速度指令値と、加速度指令値とに基づいて前記サーボ弁を制御することで前記ピストン体の位置制御を行うと共に、前記第1、第2の圧力センサからの圧力検出信号と荷重指令値とを用いて前記サーボ弁を制御することで前記ピストン体の荷重制御を行う制御系とを備え、前記静圧軸受の空気圧源として前記一方の圧力室の空気が導入され、前記ピストン体には、前記静圧軸受に隣接した位置において該静圧軸受からの漏れ空気を導入し、該導入した漏れ空気を、前記空圧シリンダ外に位置している前記軸体の端部側から排出するための通路が設けられていることを特徴とする精密位置決め装置が提供される。
【0017】
本精密位置決め装置においては、前記制御系は、前記ピストン体が目標位置に達するまで前記位置制御を行う位置制御系と、前記目標位置に達すると切換えられて前記ピストン体を前記荷重指令値に基づく力で荷重制御する荷重制御系とを備える。
【0018】
本精密位置決め装置においてはまた、前記ピストン体はその中心軸部に前記軸体の端部側に向けて延びる孔を有すると共に、前記軸体の端部から前記孔内を前記ピストンヘッド側に向けて延びる被検出軸を有し、前記空圧シリンダの上部から前記孔に挿通された固定軸に前記位置センサ用のセンサヘッドが設けられると共に、該センサヘッドを通して前記固定軸内に前記被検出軸が挿通されることにより前記ピストン体内に前記位置センサが構成されている。
【0020】
本発明によればまた、上記のいずれかの精密位置決め装置を備えた加工機が提供される。
【0021】
【作用】
本発明によれば、位置決め制御と荷重制御とを行う駆動機構として、静圧軸受による非接触式のピストン体を内蔵した空圧シリンダと、空圧サーボ弁と、これを制御し得る精密制御装置とを用いることにより、簡素な機構で位置決め制御精度・荷重制御精度の向上を実現している。
【0022】
【発明の実施の形態】
図1、図2を参照して、本発明による精密位置決め装置の実施の形態について説明する。図1において、本精密位置決め装置は、図15で説明した流体圧アクチュエータを応用し、鉛直方向、つまりZ軸方向に延びるように固定配置される空圧シリンダ10と、空圧シリンダ10内に複数の静圧軸受21を介して非接触状態にてスライド可能に収容され、下方に延びるロッド22を持つピストン体20と、空圧回路40(図2参照)とを備える。空圧回路40は、空圧シリンダ10内でピストン体20のピストンヘッド23を間にした一方の圧力室、ここでは下側の圧力室10Aに定圧の圧縮空気を供給すると共に、他方の圧力室、ここでは上側の圧力室10Bにはサーボ弁30を介して流体の流量を制御して供給/排出することで圧力制御を行う。勿論、上側を定圧とし、下側にサーボ弁が接続されても良い。
【0023】
図2において、空圧回路40は、コンプレッサに接続した圧縮空気タンク41からの圧縮空気をレギュレータ42を通すことで定圧の圧縮空気を得るようにしている。また、サーボ弁30にはスプール位置を検出するためのスプール位置センサ31(図2では図示省略、図3参照)が設けられている。
【0024】
精密位置決め装置はまた、ピストン体20の位置制御、荷重制御のために必要な要素として、ピストン体20の位置を検出するための位置センサ50(図1)、圧力室10A、10Bの圧力を検出するための第1、第2の圧力センサ60A、60Bを備える。
【0025】
精密位置決め装置は更に、位置センサ50からの位置検出信号と、位置指令値と、速度指令値と、加速度指令値とに基づいてサーボ弁30を制御することでピストン体20の位置制御を行うと共に、第1、第2の圧力センサ60A、60Bからの圧力検出信号と荷重指令値を用いてサーボ弁30を制御することでピストン体20の荷重制御を行う制御系とを備える。荷重制御は力制御と呼ばれても良い。本制御系については後に詳しく説明する。
【0026】
本形態では、空圧シリンダ10の上部側面にサーボ弁30が設置され、空圧シリンダ10のヘッド部に設けられた通路10−1を経由して制御された圧力の圧縮空気が圧力室10B内に導入される。空圧シリンダ10は円筒形状であり、この場合、静圧軸受21は断面円形のピストンヘッド23の周方向に間隔をおいた複数箇所に設けられる。空圧シリンダ10が例えば断面四角形状である場合、静圧軸受21は、断面四角形のピストンヘッド23の4つの周面、つまり4箇所に設けられる。静圧軸受の空気圧源としては圧力室10Aの圧縮空気を利用するようにしている。このために、ピストンヘッド23には空気導入用の通路23−1と、圧縮空気を空圧シリンダ10内面に吹き出すための通路23−2(いずれも1本のみ図示)とが設けられている。
【0027】
本形態ではまた、ロッド22は2重円筒状であり、これも空圧シリンダ10の下部において複数の静圧軸受24を介して非接触状態にてスライド可能に支持されている。つまり、空圧シリンダ10の下部には図2で説明した空圧回路40の定圧側に接続されるポート10−2が設けられ、このポート10−2には圧力室10Aに圧縮空気を導入するための通路10−3が連通し、圧力室10Aにはまた圧縮空気をロッド22の外周面に吹き出すための通路10−4が連通するようにされている。静圧軸受21と同様、ロッド22が2重四角筒状であれば、静圧軸受24は4箇所に設けられる。
【0028】
ロッド22を2重筒状にしているのは、次の理由による。静圧軸受21には圧力室10B内の圧力とは異なる圧力室10A内の圧縮空気を用いているので、この圧縮空気の一部が圧力室10B内に漏れると位置及び荷重制御が不安定になる。このため、ピストンヘッド23の静圧軸受21に隣接した位置には静圧軸受21からの漏れ圧縮空気を2重筒内に導入するための通路10−5を複数本設けている。2重筒内に導入された漏れ圧縮空気はロッド22の下部に設けられた排気ポート22−1を通して排気される。
【0029】
本形態では更に、ピストン体20はその中心軸部にピストンヘッド23からロッド22の下部に至る孔20Aを有する。そして、空圧シリンダ10の上部から孔20Aに挿通された固定軸51を利用してピストン体20内に位置センサ50のセンサヘッド52が設置されている。ここでは、位置センサ50として磁気センサを用いている。簡単に説明すると、ロッド22の下部に上方に延びる被検出軸53が設けられてセンサヘッド52に挿通されている。被検出軸53には微小な定ピッチで溝が切られている。固定状態にあるセンサヘッド52に対し、被検出軸53はピストン体20と共に移動する。センサヘッド52は被検出軸53の移動に伴う溝数をカウントすることで移動量、つまり基準位置からの位置を検出する。
【0030】
次に、図3を参照して、本精密位置決め装置の制御系について説明する。本制御系は、パーソナルコンピュータ等で実現される制御演算装置60を有する。制御演算装置60と各センサはISAバス71、ISA拡張ユニット72を介して接続されている。詳しく説明すると、位置センサ31はセンサアンプ73、ISAバスボード74を介してISA拡張ユニット72に接続され、位置センサ50はセンサアンプ75、ISAバスボード76を介してISA拡張ユニット72に接続されている。第1、第2の圧力センサ60A、60Bは、それぞれA/Dボード77、78を介してISA拡張ユニット72に接続されている。また、サーボ弁30に対してはD/A(ディジタル/アナログ変換)ボード79、電流アンプ80を介して制御演算装置60からの制御信号が出力される。後述するように、制御演算装置60はスプール位置センサ31で検出されるサーボ弁30のスプール位置と位置センサ50で検出されるピストン体20の位置とを取り込んでピストン体20の位置制御を行うと共に、第1、第2の圧力センサ60A、60Bで検出される圧力を取り込んで荷重制御時の推力制御を行う。
【0031】
図4に制御演算装置60で行われる制御演算のブロック線図を示す。図4のプラント(ピストン系)PのノミナルモデルPn を次のように表わす。
【0032】
Pn (s)=Kn ・ωn 2 /s(s2 +ωn 2 ) (1)
Kn 、ωn はプラントの特性から決まる定数、sは微分器でありその乗数は微分の階数を表わす。図4のKs はサーボ弁30の特性から決まる定数である。
【0033】
以下に、図1、図2をも参照して制御演算装置60の動作を説明する。以下で、添え字k=0,1,・・・は、位置センサ50の検出信号に対して行われるサンプリングの各サンプリング周期のその変数のサンプル値を表わす。
【0034】
(1)圧縮空気タンク41からの空気をレギュレータ42で適当な圧力に調節し静圧軸受21に供給する。この静圧軸受21の圧縮空気によりピストン体20が空圧シリンダ10と非接触で移動可能な状態にする。
【0035】
(2)位置センサ50によりピストン体20の位置を検出しその位置情報を電気信号により出力する。位置センサ50により出力された信号は制御演算装置60に入力される。
【0036】
(3)制御演算装置60は位置センサ50からの検出信号に対してサンプリングを行い、以下で述べるような演算を行う。指令値u(k−1)と(2)で検出したピストン体20の位置x(k−1)からカルマンフィルタ61による演算を行い、次式からピストン体20の推定位置xep(k)、推定速度xev(k)、推定加速度xea(k)を得る。なお、kは現在のサンプル値、(k−1)は1サンプリング周期前のサンプル値を表わす。また、添え字にeを付す場合には、推定値を表すものとする。
【0037】
但し、a=−ωn 2 、b=Ks Kn ωn 2 、ΔSはサンプリング周期である。
【0038】
(4)ピストン体20の目標位置Xref (k)と算出されたピストン体20の位置推定値xep(k)、算出された速度推定値xev(k)、算出された加速度推定値xea(k)の各フィードバック値より指令値u(k)を計算する。
【0039】
u(k)=Kp {xref (k)−xep(k)}−Kv xev(k)
−Ka xea(k)
但し、Kp は比例ゲイン、Kv は速度ゲイン、Ka は加速度ゲインである。
【0040】
(5)1サンプリング周期前の指令値u(k−1)、スライダ推定速度xev (k−1)、推定加速度xea(k−1)と算出された現在の推定加速度xea(k)から次式のようにサーボ弁30の中立点の機差の補正値de (k)を計算する。
【0041】
de (k)=ue ´(k)−u´(k)
但し、ue ´(k)、u´(k)はそれぞれ、以下の数1、数2で与えられる。
【0042】
【数1】
【数2】
Tf は図4中の外乱オブザーバ62において次式で表わされるフィルタの時定数である。
【0043】
F(s)=1/(Tf s+1)
【0044】
(6)(4)で計算した指令値u(k)と(5)で計算したde (k)により電流アンプ80(図3)への指令値u(k)−de (k)を計算し、これを電流アンプ80に電気信号として出力する。
【0045】
(7)電流アンプ80は、指令値u(k)−de (k)に従い、サーボ弁30のスプール位置を制御する。サーボ弁30はレギュレータ42により適当な圧力に調節された圧縮空気が供給されており、サーボ弁30内のスプール位置により通過する流量が変動する。
【0046】
(8)サーボ弁30を通過した圧縮空気は圧力室10Bに供給される。圧力室10A、圧力室10Bの差圧がピストンヘッド23に作用しピストン体20を移動させる。
【0047】
(9)上記の(2)から(8)を繰り返し、ピストン体20を目標位置Xref に制御する。
【0048】
なお、u(0)、xep(0)、xev(0)、xea(0)、de (0)の初期値はすべて零とする。
【0049】
上記のように、ピストン体20の位置、速度、加速度を推定するために、本形態ではカルマンフィルタ61を適用している。また、サーボ弁30を使用した空気圧位置制御系では、サーボ弁30の中立点誤差が外乱となり定常位置偏差が生じる。この外乱を外乱オブザーバ62で推定し、打ち消すことで、定常位置偏差を補償している。そして、外乱オブザーバ62を適用することにより、フィルタF(s)の帯域での外乱やプラントのパラメータ変動に対するロバスト性を補償できる。
【0050】
いずれにしても、カルマンフィルタ61、外乱オブザーバ62を用いることにより、対象とする空気圧サーボ系の特性を(1)式のノミナルモデルに近付けることができる。
【0051】
上記のような制御によれば、カルマンフィルタ61、外乱オブザーバ62によりピストン体20の停止位置精度が改善される。このような制御は、ピストン体20をステップ状に動かし、停止位置精度だけを問題にする場合には十分である。しかし、ピストン体20の等速移動時のように目標値が連続的に変化する場合には定常速度偏差が生じるため、ピストン体20の駆動中の精度を問題にする場合には、上記の制御では不十分である。
【0052】
そこで、定常速度偏差を改善するための手法を以下に説明する。
【0053】
外乱オブザーバ62によって外乱(サーボ弁中立点誤差)が補正され、カルマンフィルタ61によって位置、速度、加速度が正確に推定されると、図4のブロック線図は図5のように書き替えられる。図5では、実際のサーボ弁30の特性から決まる定数Ks (サーボ弁ゲイン)は、制御演算装置60内で想定しているサーボ弁ゲインKsnと等しいものとし、プラント(ピストン系)の特性P(s)もノミナルモデルPn (s)と等しいものとしている。
【0054】
この場合、目標値xref から制御量xまでの閉ループ伝達関数は、
となる。但し、
A1 =KsnKn ωn 2 Ka
A2 =(1+KsnKn Kv )ωn 2
A3 =KsnKn ωn 2 Kp
である。
【0055】
定常速度偏差を低減するためには、図6に示すように、図4のブロック線図における目標値xref の入力部に上記の閉ループ伝達関数の逆モデルGc (s)-1を挿入すれば良い。このような逆モデルを挿入することによって、全体の伝達関数は理想的な1となり、定常速度偏差が改善される。
【0056】
なお、目標値xref に逆モデルGc (s)-1を乗算したものは次式で計算できる。
【0057】
但し、vref は目標値xref を1階微分した目標速度であり、aref は目標値xref を2階微分した目標加速度であり、jref は目標値xref を3階微分した目標ジャークである。
【0058】
したがって、離散化した指令値u(k)は、以下の数3で計算される。
【0059】
【数3】
図7は、上述した制御演算装置60における位置制御系の機能ブロック図を示す。ここでは、停止位置制度を改善するために、上述した位置制御系の構成要素に更に線形化補償部90を備えている。これは以下の理由による。つまり、ピストン体20は上下方向に動作するので、圧力室10A、10Bのピストンヘッド23の位置変化に起因する圧力変化分を補償する必要がある。この圧力変化は非線形性の強いモデルとなる。しかし、この非線形性モデルは微小範囲において線形化することが可能である。このことから、線形化補償部90は、この微小範囲での線形化モデルを使用することにより圧力変化分の補償を行うようにしている。
【0060】
実際の位置制御は、S字波形を入力波形の標準として用い、設定項目を開始位置x1(m)、終了位置x2(m)、停止時間ts(sec)、動作速度v(m/sec)とし、下記の位置算出式を用いて行われる。
【0061】
つまり、v≧0の時、
x=x1+(v/2){t−(Tt /2π)sin(2πt/Tt )}
v<0の時、
x=x2−(v/2){t−(Tt /2π)sin(2πt/Tt )}
但し、Tt =(2/v)(x2−x1)
【0062】
この時の位置、速度プロファイルは図8に示すようになる。
【0063】
本発明による制御演算装置60では、上述の位置制御系による位置制御に加えて荷重制御系により荷重制御を行うようにしている。つまり、制御演算装置60は、ピストン体20が目標位置に達するまで位置制御系による位置制御を行い、前記目標位置に達すると荷重制御系による荷重制御に切換えてピストン体20を荷重指令値に基づいて制御する。これはVP切換えと呼ばれ、以下に、これを説明する。
【0064】
図9は、制御演算装置60における荷重制御系の機能ブロック図を示す。図9に示された位置制御ブロックは図7で説明した位置制御系と考えて良く、この位置制御系と荷重制御系とを切換えるためのVP切換部95を備えている。
【0065】
図9において、荷重制御系においては、アクチュエータにおける圧力室10A側で検出される圧力に受圧面積を乗算して荷重(力)に変換する変換部A1と、圧力室10B側で検出される圧力に受圧面積を乗算して荷重(力)に変換する変換部A2との出力差を演算部C1でピストン荷重として算出する。演算部C2は、算出されたピストン荷重と荷重指令値との差分を推力指令値として算出する。
【0066】
Kfは荷重ループゲインであり、流量補償係数によりサーボ弁30の給気流量から排気流量を算出する。必要な排気流量を確保するために、サーボ弁30のスプールの移動距離をスプール位置指令変換係数Kより算出し、サーボ弁30のスプール位置指令値とする。
【0067】
VP切換部95は、目標位置への接地時に、位置制御ブロック、つまり位置制御系からのサーボ弁指令値と、上記荷重制御系により算出されたサーボ弁30のスプール位置指令値とを比較し、その大小により適切に位置制御系と荷重制御系との切換えを行う。
【0068】
位置制御と荷重制御(力制御)を連続して行うことのできる代表的な方法として以下の2種類の動作方法を示す。
【0069】
▲1▼S字+ランプ2段階切換え
これは、S字波形で目標位置の直前まで移動して停止、その後ランプ波形に切換えてゆっくり対象物へ接近する。この場合、あらかじめ指定の動作を行わせるため設定項目として、目標推力(N)、加圧時間(sec)、待機時間(sec)、切換位置(mm)を設定する。
【0070】
▲2▼S字+ランプ速度連続切換え
S字波形で目標位置付近まで移動するが、指定した速度になった時点でS字波形からランプ波形に切換えてゆっくり対象物へ接近する。この場合も上記▲1▼と同様に、設定項目として、目標推力(N)、加圧時間(sec)、待機時間(sec)、切換位置(mm)、切換速度(mm/sec)を設定する。
【0071】
上記のような位置制御、荷重制御(力制御)による位置、速度プロファイルを図10(a)、(b)に示す。
【0072】
以上説明した精密位置決め装置によれば、非接触な静圧軸受式のピストン体を備えた空圧シリンダとサーボ弁とそれを制御する制御演算装置とを用いて位置決め制御機能と荷重(力)制御機能とを同一装置で制御することを実現できるようにしたことにより、簡素な機構で位置決め制御精度・荷重制御精度の向上を図ることができる。
【0073】
具体的には、Z軸方向の駆動源としての性能が下記項目に関して改善される。
【0074】
同一装置で移動対象物(IC部品等のワーク)を高速移動させることができる。
【0075】
移動対象物を高精度に特定の位置に停止させることができる。
【0076】
移動対象物を決められた荷重で高精度に接地させることができる。
【0077】
移動対象物を決められた荷重で高精度に加圧することができる。
【0078】
図11に、力制御時の力ステップ応答計測結果と推力平均値及び誤差幅の計測例を示す。力ステップ応答の計測は条件▲1▼と条件▲2▼とで行われ、それぞれの条件において推力指令値と誤差幅が求められている。この計測結果によれば、荷重のばらつきが±数%〜±2%になっていることがわかる。
【0079】
一方、図12は、繰り返し位置決め精度の計測結果を示す。この計測結果によれば、繰り返し位置決め精度が±十数(μm)〜±5(μm)で、繰り返し位置決め精度は3σ値で0.34〜0.36(μm)となっていることがわかる。
【0080】
なお、上記の形態では、軸受として静圧軸受を用いているが、他の軸受でもよく、例えば低摩擦のメタルシール軸受等が適している。
【0081】
次に、本発明による精密位置決め装置を加工機に適用した場合の実施の形態について説明する。本発明による精密位置決め装置が適用される加工機は、Z軸駆動機構(上下駆動軸)を備える加工機全般、例えば半導体後工程における製造装置(ボンディング装置・ダイサ・ハンドラ)及び部品実装装置(チップマウンタ)、工作機械(マシニングセンタ・放電加工機・研削盤)、印刷機等の多岐にわたる。そして、上記各加工機におけるZ軸駆動機構として使用することにより、加工機の簡素化、制御性能の向上を図ることができる。
【0082】
具体的には、加工機としての性能が下記項目に関して改善される。
【0083】
Z軸駆動機構が簡素になり、小型化できる。その結果、Z軸駆動機構の振動、イナーシャが小さくなり、これに組み合わされるX−Y駆動機構を制御し易くなる。
【0084】
構成部品を減らすことができる。
【0085】
高速高精度な位置決めができる。
【0086】
高精度な加圧ができ、目標推力を出し易くなる。
【0087】
摺動部における摺動による劣化・発熱を回避できる。
【0088】
潤滑剤等の飛散を回避できる。
【0089】
メンテナンスが容易で、例えばZ軸駆動機構全体をそっくり交換できる。
【0090】
図13は、本発明による精密位置決め装置を図14で説明したようなチップマウンタに適用した場合の実施の形態を示す。図13において、固定のベースフレーム1に本精密位置決め装置がZ軸駆動機構として作用するように縦にして組み付けられる。ロッド22の下端にはワークとしてのチップ3を把持するための把持機構が備えられている。チップ3が実装されるべき基板4は、X軸駆動機構及びY軸駆動機構を持つ基板保持ステージ5に搭載されている。
【0091】
【発明の効果】
本発明によれば、非接触な静圧軸受式のピストン体を備えた空圧シリンダとサーボ弁とそれを制御する制御演算装置とを用いて位置決め制御機能と力(荷重)制御機能とを実現できるようにしたことにより、簡素な機構で位置決め制御精度・荷重制御精度の向上を図ることのできる精密位置決め装置及びこれを用いた加工機を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による精密位置決め装置の実施の形態の構造を示す縦断面図である。
【図2】本発明による精密位置決め装置における空圧回路を説明するための概略構成図である。
【図3】本発明による精密位置決め装置における制御演算装置と各種センサとの電気的接続関係を示した図である。
【図4】本発明による精密位置決め装置における制御演算装置で行われる定常位置偏差低減のための制御演算を説明するためのブロック線図である。
【図5】図4のブロック線図を簡略化した図である。
【図6】本発明による精密位置決め装置における制御演算装置で行われる定常位置偏差低減のための制御演算を説明するためのブロック線図である。
【図7】本発明による精密位置決め装置における制御演算装置の位置制御のための機能ブロック図である。
【図8】本発明による精密位置決め装置による位置制御時の位置及び速度プロファイルの一例を示した図である。
【図9】本発明による精密位置決め装置における制御演算装置の力制御のための機能ブロック図である。
【図10】本発明の精密位置決め装置による位置制御及び力制御時の位置及び速度プロファイルの一例を示した図である。
【図11】本発明の精密位置決め装置において力制御時の力ステップ応答計測結果と推力平均値及び誤差幅の計測例を示す。
【図12】本発明の精密位置決め装置における繰り返し位置決め精度の計測例を示す。
【図13】本発明による精密位置決め装置をチップマウンタに適用した場合の側面図である。
【図14】従来のチップマウンタの一例を示した側面図である。
【図15】本出願人により提案されている空気圧アクチュエータの構成を示した図である。
【符号の説明】
10 空圧シリンダ
10A、10B 圧力室
20 ピストン体
21、24 静圧軸受
22 ロッド
23 ピストンヘッド
30 サーボ弁
40 空圧回路
50 位置センサ
60A、60B 第1、第2の圧力センサ
Claims (4)
- 鉛直方向に延びるように固定配置される空圧シリンダと、
該空圧シリンダ内に静圧軸受を介して非接触状態にてスライド可能に収容され、軸方向に延びる軸体を持つピストン体と、
前記空圧シリンダ内で前記ピストン体のピストンヘッドを間にした一方の圧力室に定圧の空気を供給すると共に、他方の圧力室にはサーボ弁を介して空気の流量を制御して供給するための空圧回路と、
前記一方及び他方の圧力室の圧力を検出するための第1、第2の圧力センサと、
前記ピストン体の位置を検出するための位置センサと、
前記位置センサからの位置検出信号と、位置指令値と、速度指令値と、加速度指令値とに基づいて前記サーボ弁を制御することで前記ピストン体の位置制御を行うと共に、前記第1、第2の圧力センサからの圧力検出信号と荷重指令値とを用いて前記サーボ弁を制御することで前記ピストン体の荷重制御を行う制御系とを備え、
前記静圧軸受の空気圧源として前記一方の圧力室の空気が導入され、
前記ピストン体には、前記静圧軸受に隣接した位置において該静圧軸受からの漏れ空気を導入し、該導入した漏れ空気を、前記空圧シリンダ外に位置している前記軸体の端部側から排出するための通路が設けられていることを特徴とする精密位置決め装置。 - 請求項1に記載の精密位置決め装置において、前記制御系は、前記ピストン体が目標位置に達するまで前記位置制御を行う位置制御系と、前記目標位置に達すると切換えられて前記ピストン体を前記荷重指令値に基づく力で荷重制御する荷重制御系とを備えることを特徴とする精密位置決め装置。
- 請求項1あるいは2に記載の精密位置決め装置において、前記ピストン体はその中心軸部に前記軸体の端部側に向けて延びる孔を有すると共に、前記軸体の端部から前記孔内を前記ピストンヘッド側に向けて延びる被検出軸を有し、前記空圧シリンダの上部から前記孔に挿通された固定軸に前記位置センサ用のセンサヘッドが設けられると共に、該センサヘッドを通して前記固定軸内に前記被検出軸が挿通されることにより前記ピストン体内に前記位置センサが構成されていることを特徴とする精密位置決め装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の精密位置決め装置を備えたことを特徴とする加工機。
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