JPH11249746A

JPH11249746A - 流体圧サーボ機構およびその位置決め方法

Info

Publication number: JPH11249746A
Application number: JP4646698A
Authority: JP
Inventors: Yuichi Mori; 裕一森
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1998-02-27
Filing date: 1998-02-27
Publication date: 1999-09-17

Abstract

(57)【要約】【課題】シリンダのピストンの位置に応じて、サーボ
利得を一定になるようにして、安定したサーボ制御を行
う。【解決手段】サーボ利得を調整するための可変増幅器
２０を制御回路５と電磁弁３との間に設ける。増幅器２
０の利得は、ピストン１がシリンダ２の中央から端に近
づくほど連続的に減少するものとして、ピストン１を停
止させる目標位置ｘ₀に応じた利得を求める。あらかじ
めピストン１がシリンダ２の中央にあるときの位置サー
ボ利得、速度サーボ利得および加速度サーボ利得を決め
ておき、各サーボ利得に基づいてピストン１の現在位置
ｘにおける位置信号、速度信号および加速度信号を求め
て各信号を加算し、この加算信号に増幅器２０の利得を
掛けることにより制御信号を作り出し、この制御信号を
電磁弁３に出力して、ピストン１を目標位置ｘ₀に停止
させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、空気圧等の流体圧
を用いたサーボ機構に関し、例えば電化製品等の生産工
程の産業用ロボット等の自動化設備に使用される。

【０００２】

【従来の技術】物体を搬送して目標位置に停止させるた
めの自動制御システムとして、空気圧サーボ機構があ
る。空気圧サーボ機構は、電気信号や機械的操作量に従
って空気圧シリンダの位置や速度または力等を制御する
システムである。

【０００３】この空気圧サーボ機構の特徴は、取扱が簡
易であり、エネルギーの蓄積がタンク等で容易にできる
ことにある。そのため、コンパクトな装置で大きな出力
を制御でき、自動組立機械やロボットへの用途に適して
いる。また、空気圧サーボ機構ではサーボ系の冷却が自
動的に行われ、特別の冷却装置が要らないことも利点で
ある。

【０００４】図４に従来の空気圧サーボ機構を示す。こ
れは、摺動自在なピストン１を収納する空気圧シリンダ
２と、このシリンダ２に対する圧縮空気の供給および排
出を切換える電磁弁３と、ピストン１の位置を検出する
位置センサ４と、ピストン１を目標位置に停止させるた
めに位置センサ４からの出力信号に基づいて電磁弁３を
制御する制御回路５とから構成されている。

【０００５】ピストン１は、図示しないロッドに一体的
に接続され、ロッドはシリンダ２の外部に突出してロボ
ットハンド、移動テーブル等の負荷に連結されている。
また、位置センサ４には、ピストン１の移動に伴って移
動するスライダ６がワイヤ７により接続されている。

【０００６】空気圧シリンダ２の制御にはいくつかの方
法があるが、ここでは代表的な流量制御による方式を示
している。電磁弁３には磁石８とコイル９があって、コ
イル９に流れる電流の極性と大きさによりスプール１０
が左右に動くようになっており、空気の流れる方向およ
び流量を制御する。なお、１１はスプール１０を中立状
態に復帰させるためのばねである。

【０００７】そして、電磁弁３は５つの空気の出入口を
有しており、Ａポートはシリンダ２の第１シリンダ室１
２に連通され、Ｂポートはシリンダ２の第２シリンダ室
１３に連通され、Ｐポートは供給タンク１４に連通さ
れ、Ｒ₁ポートおよびＲ₂ポートは排気口とされ、大気中
に開放されている。電磁弁３の開閉がコイル９に流れる
電流に比例し、その開閉に応じて空気の流れる量が比例
するので、一般には５ポート電空比例流量制御弁と呼
ぶ。なお、図中、Ｐ_Aは第１シリンダ室１２の内部圧
力、Ｐ_Bは第２シリンダ室１３の内部圧力、Ｐ_tは供給す
る圧縮空気の絶対圧力、Ｐ_oは排気される空気の圧力で
ある。

【０００８】電磁弁３のコイル９に流れる制御電流（制
御信号）ｉと電磁弁３の断面積Ａとの関係を、図５の実
線で示す。このように、電磁弁３は、ｉ＝０の中立状態
で空気の出入りをゼロにするので不感帯を持った特性で
あるが、断面積Ａが小さいときは空気の粘性により流量
が減るために電磁弁３の有効断面積は実測断面積に比べ
て小さくなり、破線で示す特性になる。

【０００９】次に、ピストン１の位置決め動作について
説明する。図４では、電磁弁３のスプール１０が既に右
方向に動いた状態を表している。この状態では、コンプ
レッサによって供給タンク１４に蓄積された空気が、シ
リンダ２の第１シリンダ室１２に流れ込み、第２シリン
ダ室１３からは空気が流れ出て、大気中に放出される。
これにより、各シリンダ室１２，１３の内部圧力はＰ_A
＞Ｐ_Bとなり、ピストン１は図中右方向に移動する。

【００１０】コイル９に流れる電流を逆方向にすると、
図６（ａ）に示すようにスプール１０が左に動き、空気
は第２シリンダ室１３に流れ込み、第１シリンダ室１２
の空気は電磁弁３を通って大気中に放出され、ピストン
１は逆方向に移動する。コイル電流をゼロにすると、図
６（ｂ）に示すように電磁弁３は中立状態になり、各ポ
ートが閉じられ、空気の流入、流出は止まり、その結果
シリンダ２の内部圧力はＰ_A＝Ｐ_Bとなり、この平衡圧力
位置でピストン１は停止する。

【００１１】ここで、現在のシリンダ２のピストン１の
位置がｘで、目標とするピストン１の位置をｘ₀とす
る。なお、ｘ，ｘ₀は、シリンダ２の一端を基準にして
表している。電磁弁３のコイル９には距離（ｘ₀−ｘ）
に比例した電流を流してフィードバックをかける。この
距離が長いほどシリンダ２に流入、流出する空気の量が
多くなるので、ピストン１は目標位置ｘ₀に向かって素
早く移動する。目標位置ｘ₀に接近してくると、距離が
短くなり、コイル９の電流が次第に減り始め、シリンダ
２に出入りする空気も次第に減ってきて、やがてピスト
ン１が目標位置ｘ₀に達するとコイル電流がゼロとなっ
て、ピストン１は停止する。以上が、空気圧サーボ機構
の基本的な動作原理である。

【００１２】実際の空気圧サーボ機構では、（ｘ₀−
ｘ）に比例した電流を電磁弁３のコイル９に流すだけで
はサーボは不安定となるので、ピストン１の速度成分
（ｄｘ／ｄｔ）や加速度成分（ｄ²ｘ／ｄｔ²）を検出し
て、電磁弁３に対する制御信号に重畳させている。

【００１３】また、本願出願人による特願平９−３１５
７３２号には、シリンダの位置決め方法に関する先行技
術が開示されている。すなわち、現在位置から目標位置
までの距離により最適速度を計算し、その速度を基に速
度制御を行うことにより、目標位置手前までピストンを
最適に移動し制動する。さらに、現在速度に基づいて力
操作量を設定することにより、ピストンを停止する。

【００１４】さて、シリンダ２を水平方向に取付け、ピ
ストン１の移動が微少量Δｘであり、電磁弁の応答速度
がシリンダ２のピストン１の動きに比べて十分に速くて
制御電流と電磁弁３の有効断面積とが直線関係にあり、
機械系の摩擦力と空気の粘性抵抗が無視できる場合、空
気圧サーボの運動は次の３階の微分方程式で表される。

【００１５】

【数１】

【００１６】Ｋ_αはピストン１の加速度に対するサーボ
利得、Ｋ_vはピストン１の速度に対するサーボ利得、Ｋ_x
はピストン１の位置に対するサーボ利得、Δｘ₀はピス
トン１の目標位置である。Ω_nはシリンダ２を空気ばね
に見立てたときの共振周波数、Ｋはシリンダ径や負荷質
量などによって決まる係数で、それぞれ次の式で表され
る。

【００１７】

【数２】

【００１８】γ：比熱比（空気の場合は１．４０２）Ｒ：気体定数（空気の場合は２８７．０３［Ｊ／ｋｇ・
Ｋ］）Ｐ_t：圧縮空気の絶対圧力［Ｐａ］Ｔ_t：圧縮空気の絶対温度［Ｋ］Ｓ：シリンダ２の断面積［ｍ²］Ｍ：負荷質量［ｋｇ］Ｌ：シリンダ２の有効長［ｍ］ｘ₀：ピストン１の目標位置［ｍ］ η：平衡状態での各シリンダ室１２，１３の圧力比（＝
Ｐ_A／Ｐ_t＝Ｐ_B／Ｐ_t）ピストン１の移動距離が小さい範囲では（１）式が成り
立つが、移動距離が大きい場合でも目標位置ｘ₀にピス
トン１が接近してくると（１）式に近づいてくる。ηは
シリンダ２の内部圧力と供給圧の比であるが、シリンダ
２の第１，第２シリンダ室１２，１３の断面積が等し
く、水平にシリンダ２を取付けた場合は約０．８にな
る。例えば、供給圧力が相対圧力で５［ｋｇ／ｃｍ²］
で大気圧が１気圧の場合は、これを絶対圧力で表すと、
Ｐ_t＝５９１３００［Ｐａ］であるから、平衡状態では
Ｐ_A＝Ｐ_B＝４７３００［Ｐａ］となり、相対圧力では約
３．８［ｋｇ／ｃｍ²］となる。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】上記（２）、（３）式
からピストンの位置が変わるとΩ_nとＫの値も変化する
ことが判るが、従来の制御方式では、空気の圧縮性に起
因するこの特性の変化を考慮に入れずに、ピストンの位
置にかかわりなく位置に対するサーボ利得Ｋ_xを一定値
にしていた。そのため、ピストンがシリンダの端にある
ときと中央にあるときとでは、ループ利得Ｋ・Ｋ_xが変
化し、システムの応答特性が異なるという欠点があっ
た。特に、ピストンがシリンダの端に位置するとき、ル
ープ利得が大きくなりすぎ、最悪の場合にはサーボ制御
ができなくなることがあった。

【００２０】また、上記先行技術においても、シリンダ
の位置を考慮に入れた制御が行われておらず、ピストン
がシリンダの端にあるときにはうまく制御が行われない
おそれがある。

【００２１】本発明は、上記に鑑み、シリンダのピスト
ンの位置にかかわらず安定したサーボ制御を行うことが
できる空気圧サーボ機構の提供を目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明による課題解決手
段は、空気の圧縮性のためにシリンダのピストンの位置
によってサーボ特性（ループ利得や固有周波数）が変化
して、自動制御しにくくなるので、サーボ利得をピスト
ンの位置に応じて変化させることにより、シリンダの全
域にわたって安定したサーボ制御を行うものである。し
たがって、サーボ利得に対してピストンの位置の影響を
受けにくくするには、ピストンがシリンダの中央にある
ときにはサーボ利得を上げるようにし、ピストンがシリ
ンダの中央から離れるほどサーボ利得を下げるようにす
る。

【００２３】そこで、ピストンの位置によって変化する
サーボ特性を一定にするためには、ピストンの位置に応
じてサーボ利得を変化させる可変手段を設ける。この可
変手段により、ピストンがシリンダの中央にあるときの
サーボ利得に対して、ピストンがシリンダの端に近づく
ほどサーボ利得を小さくする。これにより、ピストンが
シリンダの端にあっても適切なサーボ制御を行うことが
でき、確実にシリンダを目標位置に停止させることがで
きる。

【００２４】具体的には、サーボ利得を調整するための
可変手段として増幅器を制御回路と電磁弁との間に設
け、増幅器の利得は、ピストンがシリンダの中央から端
に近づくほど連続的に減少するものとする。

【００２５】そして、あらかじめピストンがシリンダの
中央にあるときの位置サーボ利得、速度サーボ利得およ
び加速度サーボ利得を決めておき、ピストンを停止させ
る目標位置に対する増幅器の利得を求め、各サーボ利得
に基づいてピストンの現在位置における位置信号、速度
信号および加速度信号を求めて各信号を加算し、この加
算信号に増幅器の利得を掛け算することにより制御信号
を作り出し、この制御信号を電磁弁に出力して、電磁弁
を駆動することにより、目標位置がどこに設定されてい
てもピストンをその目標位置に確実に停止させることが
できる。

【００２６】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態の空気圧サーボ
機構を図１に示す。基本的な構成は、従来の技術に示し
たものと同じであるが、本実施形態では、サーボ利得を
ピストン１の位置により変化させ、シリンダ２の全域に
わたって安定したサーボ制御を行うために、ピストン１
の位置に応じてサーボ利得を変化させる可変手段とし
て、可変増幅器２０を制御回路５と電磁弁３との間に設
けている。

【００２７】制御回路５は、マイクロコンピュータ、メ
モリ等から構成され、位置センサ４により検出されたピ
ストン１の位置から位置信号を算出する位置増幅器２１
と、位置を時刻で微分して速度信号を算出するための速
度増幅器２２と、位置を時刻で２次微分して加速度信号
を算出するための加速度増幅器２３と、２つの微分回路
２４ａ，２４ｂと、位置信号、速度信号および加速度信
号を加算して可変増幅器２０に出力する加算器２５とを
有している。

【００２８】可変増幅器２０は、制御回路５から出力さ
れる電磁弁３への制御信号をピストン１の位置に応じて
増幅するもので、この増幅器２０の利得は、ピストン１
がシリンダ２の中央から端に近づくほど連続的に減少す
る特性を有している。

【００２９】すなわち、（２）、（３）式のΩ_nとＫに
おいて、ピストン１の目標位置ｘ₀の影響を受けるの
は、１／ｘ₀＋１／（Ｌ−ｘ₀）（４）の部分であるから、この部分を打ち消すことによってピ
ストン１の目標位置ｘ₀の相違による影響を減らすこと
ができる。

【００３０】上式はピストン１の目標位置ｘ₀がシリン
ダ２の中央、すなわちｘ₀＝Ｌ／２のときに最小とな
り、ｘ₀が０またはＬに近づくほど大きくなり、シリン
ダ２の両端で極大になる。実際のシリンダ２では、ピス
トン１が両端のいずれかにあるときでも配管部分には空
気が残るので、（４）式の値は有限値となる。

【００３１】したがって、空気圧サーボのループ利得Ｋ
・Ｋ_xに対してピストン１の目標位置ｘ₀の影響を受けに
くくするには、ピストン１がシリンダ２の中央にあると
きにはループ利得を上げるようにし、ピストン１がシリ
ンダ２中央から離れるほどループ利得を下げるようにす
ればよい。

【００３２】そこで、空気圧サーボ機構におけるサーボ
利得を上記のようにするために利得が可変可能な増幅器
２０が必要となる。増幅器２０は概ね上式の逆特性とな
ればよいので、ピストン１がシリンダ２の中央にあると
きに利得（増幅率）Ｇ＝１で、ピストン１がシリンダ２
の中央から離れるに従ってＧが１から次第に下がるもの
でよい。

【００３３】具体的には、上式の逆関数を求め、ｘ₀＝
Ｌ／２のときに値が１になるように係数に操作を加える
と、

【００３４】

【数３】

【００３５】となり、ｘ₀とＧの関係は図２に示すよう
に放物線となる。なお、上述したように、実際のシリン
ダ２では、ピストン１が両端のうちいずれかの端にある
ときには配管部分に空気が残るので、本発明を実施する
場合には増幅器２０の利得Ｇを完全にゼロにする必要は
ない。

【００３６】次に、ピストン１の位置決め方法を図３の
フローチャートに基づいて説明する。一般に、生産工程
の自動化設備では、負荷を予め決められた複数の位置へ
時間とともに移動させて行く制御を行うことが多いの
で、ここではそのような場合について説明する。

【００３７】まず、空気圧サーボによる位置に対するサ
ーボ利得Ｋ_xを予め決めておく。Ｋ_xはピストン１がシリ
ンダ２の中央にあるときの値とする。このＫ_xは大きい
ほど空気圧サーボの応答が速くなるが、あまり大きくす
ると電磁弁３の応答速度の影響を受けるため制限があ
り、実験的に求めることが多い。

【００３８】次に、速度と加速度に対するサーボ利得Ｋ
_v、Ｋ_αを次のように求める。

【００３９】Ｋ_xが小さい、すなわちＫ・Ｋ_x＜Ω_n ³のと
き、

【００４０】

【数４】

【００４１】Ｋ_xが大きい、すなわちＫ・Ｋ_x≧Ω_n ³のと
き、

【００４２】

【数５】

【００４３】（６）〜（９）式は（１）式と同様に空気
の粘性抵抗が無視できる場合に成立するので、実際に本
発明を実施するときには、Ｋ_αは（７）式または（９）
式で計算された値から粘性抵抗分を差し引いたものを用
いる。

【００４４】そして、ピストン１を停止させたい新しい
目標位置ｘ₀を入力する。この目標位置ｘ₀に対する可変
増幅器２０の利得（増幅率）Ｇを（５）式に基づいて計
算して、半導体メモリ等に記憶させる。ここで、目標位
置ｘ₀がシリンダ２の中央に設定されていると、増幅器
２０の利得Ｇ、すなわち空気圧サーボのサーボ利得は最
大となり、目標位置がシリンダ２の一端あるいは他端に
近くなるにつれて次第に小さくなる。

【００４５】位置センサ４によってピストン１の現在位
置ｘが検出されるので、この情報に基づいて位置増幅器
２１によって位置信号としてＫ_x・（ｘ₀−ｘ）を計算す
る。さらに、速度増幅器２２によって速度信号としてＫ
_v・ｄｘ／ｄｔ、加速度増幅器２３によって加速度信号
としてＫ_α・ｄ²ｘ／ｄｔ²も計算する。このとき、速度
信号は微分回路２４ａによる位置ｘを時刻ｔで微分した
もの、加速度信号は微分回路２４ａ，２４ｂによる位置
ｘを時刻ｔで２次微分したもので表現しているが、ディ
ジタル制御の場合、速度信号には、サンプリング時刻に
対して位置ｘの差分、加速度信号には、サンプリング時
刻に対して位置ｘの２次差分を計算して用いることは言
うまでもない。

【００４６】上記の計算された各信号を加算器２５によ
って加算して、加算信号ｉを算出する。この加算信号ｉ
に増幅器２０の利得Ｇを掛けて、制御電流（制御信号）
ｉ’を決める。そして、この制御電流ｉ’を電磁弁３の
コイル９に流して、フィードバックをかける。

【００４７】ピストン１は目標位置ｘ₀に向かって移動
していき、目標位置ｘ₀に到達したとき、停止信号が発
せられて電磁弁３への制御電流はゼロとなって、電磁弁
３は中立状態となる。しかし、ピストン１はすぐには停
止しないので、目標位置ｘ₀を行き過ぎる。

【００４８】そこで、再びピストン１の現在位置ｘに基
づいて位置信号、速度信号および加速度信号を計算し
て、これらを加算した加算信号に利得Ｇを掛けて制御電
流ｉ’を決める。このような制御をピストン１が目標位
置ｘ₀に停止するまで繰り返し続けられる。なお、ピス
トン１の停止位置は目標位置ｘ₀に一致させなくてもよ
く、許容範囲内に停止すればよい。その後、新しい目標
位置ｘ₀が設定されると、再び上記の自動制御が行われ
る。

【００４９】ところで、シリンダ２を水平ではなく垂直
に取付けたり、斜め方向に取付けた場合は、空気圧サー
ボの運動の微分方程式は（１）式に重力にかかわる項を
加えたものになる。増幅器２０の利得は（５）式のよう
な簡単な放物線関数にはならないが、ピストン１がシリ
ンダ２の中央付近にあるときの利得を最大値の１とし、
ピストン１がシリンダ２の端に近づくほど小さくなるよ
うに利得を決めればよい。

【００５０】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、本発明の範囲内で上記実施形態に多く
の修正および変更を加え得ることは勿論である。上記実
施形態では、可変増幅器の利得は、ピストンがシリンダ
の中央から端に近づくほど連続的に減少するように変化
させているが、断続的に減少するように変化させてもよ
い。

【００５１】また、シリンダを駆動する流体として、空
気以外に油圧、その他の気体、液体を利用して、流体圧
サーボ機構を構成してもよい。さらに、電磁弁の代わり
に、パイロット方式、機械方式、電磁方式と他の方式を
組み合わせた方式により流量、流れ方向を切換える切換
弁を使用してもよい。この場合、可変手段としては、パ
イロット弁等が使用される。

【００５２】

【発明の効果】以上の説明から明らかな通り、本発明に
よると、ピストンの位置に応じてサーボ利得が変化して
も、ピストンがシリンダの中央にあるときにはサーボ利
得を上げるようにし、ピストンがシリンダの中央から離
れるほどサーボ利得を下げるようにすることにより、ピ
ストンに位置にかかわりなくサーボ利得をほぼ一定にす
ることができる。したがって、シリンダの全域にわたっ
て安定したサーボ制御を行うことができ、ピストンを確
実に目標位置に停止することができる。

【００５３】これにより、流体圧サーボを用いた位置決
めシステムを作り上げることができ、自動化設備に使用
すれば生産効率の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態の空気サーボ機構の構成図

【図２】ピストンの位置とサーボ利得との関係を示す図

【図３】ピストンの位置決め制御のフローチャート

【図４】従来の空気サーボ機構の構成図

【図５】電磁弁の一般的な入出力特性を示す図

【図６】（ａ）作動状態の電磁弁を示す図、（ｂ）中立
状態の電磁弁を示す図

【符号の説明】

１ピストン２シリンダ３電磁弁４位置センサ５制御回路２０可変増幅器ｘピストンの現在位置ｘ₀ ピストンの目標位置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】移動自在なピストンを収納する流体圧シ
リンダと、該シリンダに対する流体の供給および排出を
切換える切換弁と、前記ピストンの位置を検出する位置
センサと、前記ピストンを目標位置に停止させるために
前記位置センサからの出力信号に基づいて前記切換弁を
制御する制御回路とを備え、前記ピストンの位置によっ
て変化するサーボ特性を一定にするために、前記ピスト
ンが前記シリンダの中央にあるときのサーボ利得を前記
ピストンが前記シリンダの端にあるときのサーボ利得よ
り大きくすることを特徴とする流体圧サーボ機構。
【請求項２】移動自在なピストンを収納する流体圧シ
リンダと、該シリンダに対する流体の供給および排出を
切換える切換弁と、前記ピストンの位置を検出する位置
センサと、前記ピストンを目標位置に停止させるために
前記位置センサからの出力信号に基づいて前記切換弁を
制御する制御回路と、前記ピストンの位置によって変化
するサーボ特性を一定にするために前記ピストンの位置
に応じてサーボ利得を変化させる可変手段とを備え、該
可変手段は、前記ピストンが前記シリンダの中央にある
ときのサーボ利得に対して、前記ピストンが前記シリン
ダの端に近づくほどサーボ利得を連続的に減少させるこ
とを特徴とする流体圧サーボ機構。
【請求項３】サーボ利得を調整するための可変手段と
して増幅器が制御回路と切換弁との間に設けられ、前記
増幅器の利得Ｇは、ピストンがシリンダの中央にあると
きの利得を１とした場合に、Ｇ＝４ｘ₀／Ｌ・（１−ｘ₀／Ｌ）ｘ₀：シリンダの端からピストンまでの距離Ｌ：シリンダの有効長とされ、前記増幅器は上記関係式に基づいて前記制御回
路からの切換弁に対する制御信号を変化させることを特
徴とする請求項１または２記載の流体圧サーボ機構。
【請求項４】移動自在なピストンを収納する流体圧シ
リンダと、該シリンダに対する流体の供給および排出を
切換える切換弁と、前記ピストンの位置を検出する位置
センサと、前記ピストンを目標位置に停止させるために
前記位置センサからの出力信号に基づいて前記切換弁を
制御する制御回路とを備えた流体圧サーボ機構におい
て、前記制御回路から出力される前記切換弁への制御信号を
前記ピストンの位置に応じて増幅する増幅器を設け、該
増幅器の利得は、前記ピストンが前記シリンダの中央か
ら端に近づくほど連続的に減少する特性を有し、あらかじめ前記ピストンが前記シリンダの中央にあると
きの位置サーボ利得、速度サーボ利得および加速度サー
ボ利得を決めておき、前記ピストンを停止させる目標位
置に対する前記増幅器の利得を求め、前記各サーボ利得
に基づいて前記ピストンの現在位置における位置信号、
速度信号および加速度信号を求めて各信号を加算し、こ
の加算信号と前記増幅器の利得とを乗算することにより
制御信号を作り出し、この制御信号を前記切換弁に出力
して、該切換弁を駆動して前記ピストンを目標位置に停
止させることを特徴とする流体圧サーボ機構の位置決め
方法。