KR970011517B1 - 전기유압 서어보장치 - Google Patents

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KR970011517B1
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다께시 아이하라
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가부시기가이샤 니레꼬
구보다 가쓰도시
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Abstract

요약없음

Description

전기유압 서어보장치
도 1은 본 발명의 제 1 실시예를 표시하는 블록도.
도 2는 제 2 실시예를 표시하는 블록도.
도 3은 제 3 실시예를 표시하는 블록도.
도 4는 게인가변의 증폭기의 특성을 표시하는 도면.
도 5는 복수의 꺾인 특성을 지니는 증폭기의 특성을 표시하는 도면.
도 6은 제 4 실시예를 표시하는 유압회로도.
도 7 은 웨브감는 단부제어장치를 표시하는 도면.
도 8은 밸브의 개폐유압장치의 유압회로도.
도 9는 액시얼플랜저펌프를 사용한 유압실린더 구동장치를 표시하는 도면.
도 10은 통상적인 출력부의 회로도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 제어대상1a : 풀리는 리일
1b : 웨브2 : 유압작동기
3 : 유압펌프4 : 전기모우터
5 : 제어장치6,6a : 위치검출기
6b : 단부변위검출기7 : 회전속도계
8 : 유압탱크9 : 파일럿제어체크밸브
10 : 릴리이프밸브11 : 셔틀밸브
51 : 입력증폭기52 : 위치차동증폭기
53 : 가변전압증폭기54 : 전류증폭기
55 : 속도차동증폭기56 : 출력부
본 발명은 정·역(正·逆) 양방향으로 회전가능한 전기모우터에 의해 구동되는 유압펌프를 사용하는 작동기에 의한 위치제어, 조작단의 변위제어를 하는 전기유압 서어보장치에 관한 것이다.
유압실린더에 의하여 위치를 제어하는 것은 종래부터 행해지고 있어 많은 방법이 있다. 도 7은 띠형상체인 웨브를 리일에 당겨감는 때에 웨브의 단부를 가지런히 하여 당겨감는 제어장치를 표시하는 것이며, 웨브(100)의 단부의 변위를 포토헤드(101)로 검출하고, 이를 증폭기(102)로 증폭하여서 가동코일(103)을 여자한다. 가동코일(103)내에 이동할 수 있도록 설비된 영구자석 가동코일의 여자방향 및 강도에 응하여서 서어보밸브(105)내의 스풀(106)을 왕복운동시켜 서어보밸브를 작동한다. 유압펌프로부터의 압유는 서어보밸브(105)에 의해 절환되고 유압실린더(107)를 작동한다. 이 유압실린더(107)는 웨브단부의 변위가 소정치가 되도록 제어한다. 이 경우 유압펌프는 모우터에 의해 구동되고, 항상 유압을 서어보밸브에 가하고 있다.
도 8에 유압실린더(107)에 의하여 밸브의 개폐를 하는 장치로서, 밸브의 개방위치와 폐쇄위치간을 유압실린더로 왕복시켜 밸브의 개폐를 행하는 것이며, 개방위치 및 폐쇄위치에 제한스위치를 설비하고, 이 제한스위치의 신호에 의하여 유압펌프를 구동하는 모우터를 정회전 또는 역회전시킨다. 이 정·역회전에 의해 도 7에 표시한 것같은 서어보밸브(105)에 의한 압유(pressurized oil)의 흐름방향의 절환은 불필요하며, 또한 밸브의 개폐시에만 유압펌프(110)를 구동하면 좋다.
도 9는 액시얼플랜저펌프(112)에 의해 유압실린더(107)를 왕복구동하는 장치로서, 작은 관성의 DC 모우터(113)에 의해 액시얼플랜저펌프(112)의 경사판 (114)의 각도를 제어유압을 정역류와 속도제어를 행한다. 그 장치는 유압탱크(115)를 포함하고, 이 장치에는 서어보밸브를 불필요하고, 별도로 플랜저펌프 구동용 전원을 필요로 하나 펌프구동전력은 유압실린더 정지시에는 경부하로 작동시에만 부하가 크게 된다.
일본 특개소 61-206802호 공보에는 유압실린더의 피스톤의 위치를 검출하고, 이 검출치에서 마이크로 컴퓨터로 유압펌프를 구동하는 전기모우터의 정·역회전을 제어하는 기술이 표시되어 있다. 이 장치도 서어보밸브는 불필요하며, 전동기도 유압실린더 작동시에만 구동하면 좋다.
도 7에 표시한 서어보밸브(105)를 사용하는 장치는 서어보밸브가 필요한 것 및 서어보밸브(105)에 압유를 공급하는 유압펌프를 항상 구동하여 둘 필요가 있어 에너지의 손실 및 이에 의한 오일온도의 상승이나 부품의 마모가 많게 된다.
도 8에 표시한 장치는 도 7의 장치의 문제점은 해결하고 있으나, 전동기를 제한스위치의 신호에 의해 계전기를 개재하여서 정·역회전하고 있어 속도제어장치가 없기 때문에 정·역회전시 충격이 크다. 또, 정역절환접점계전기의 수명이 제한된다.
도 9에 표시한 액시얼플랜저펌프의 경사판각도에 의해 압유의 정역류와 속도제어를 행하는 방법은 성능적으로는 양호하나, 직류모우터(113)와 액시얼플랜저펌프(112)의 가격이 비싸고, 경제성이 문제이다.
일본 특개소 61-206802호 공보에서 표시된 장치는 유압실린더의 피스톤위치의 변위검출치에서 변위속도를 검출하여서 전기모우터의 정·역회전, 속도, 정지제어를 행하나 변위를 미분연산하여서 속도 데이터를 얻을 필요가 있어, 이와 같은 방법이면 변위검출기로 검출한 변위와 전기모우터의 회전속도 사이에는 연결부의 덜걱거림이나 관성에 의한 지연 등이 개재하기 때문에 정밀도가 나쁜 속도 데이터가 얻어지는 가능성이 크다. 이 때문에 정확한 위치제어가 어렵다. 그런데, 유압펌프를 정·역회전하는데 도 8, 도 9 및 일본 특개소 61-206802호 공보에 표시된 장치의 경우, 동작신호(목표치와 계측치와의 편차)가 영으로 유압펌프가 정지하고 있을때, 작은 편차가 들어와서 전기모우터가 회전되고 유압펌프가 회전을 개시할때는 유압이 상승하여서 동작실린더가 움직이기 시작하기 까지에는 전기모우터 및 유압펌프의 관성이나 오일의 압축성에 의해서 시간의 지연이 생기고 제어의 지연으로 되고, 또 이 지연에 의해 제어가 불안정으로 되기 쉽다. 따라서, 편차가 영의 부근에서는 작은 편차가 생길때에도 일정한 레벨의 출력을 유압펌프구동 전동모우터의 제어회로에 주는 것이 바람직하다.
또, 큰 편차에 대하여서 유압회로내의 유량이 크게 되면 관로저항에 의한 압력손실이 크게 되어 유압실린더의 피스톤에 가해지는 유압력이 저하한다. 이 때문에 큰 편차에 대하여서 빠른 응답으로 커다란 힘을 내기 때문에 게인을 크게할 필요가 있으나, 이와 같이 하면 작은 편차에 대하여서 제어가 불안정으로 된다. 이는 작은 편차에서는 유량이 작고 관로의 일손이 작고 피스톤에 가해지는 유압이 크므로 전체의 루프게인이 크게 되기 때문이다. 이 때문에 종래 도 7에 표시한 서어보밸브를 지니는 장치에 있어서는 서어보밸브에 비선형특성을 주어서 루프게인을 조정한 것이 있다.
일반적으로는 부하가 작은때는 루프게인이 크므로 제어장치의 게인이 작고, 부하가 큰때에는 제어장치의 게인을 크게 하면 좋은 경우가 많다. 이 때문에 시판의 PID 조절계에서는 신호입력의 크기에 따라서 PID의 파라미터를 변경하는 것도 있다. 또, 외란에 의한 변동에 대해서와, 설정변경에 대해서 구별하여서 PID의 파라미터를 자동선택하는 것과, AI(인공지능)을 사용하여서 자동적으로 동조를 하여서 PID 파라미터를 설정하는 것 등의 제어장치의 파라미터를 자동변경하는 것이 시판되고 있다. 따라서, 전기유압 서어보장치에 있어서도 이같은 조절계를 사용하면 양호한 제어가 기대할 수 있다. 그러나 이들의 장치는 복잡하고, 또한 고가이다.
따라서, 본 발명의 목적은 정·역 양방향으로 회전가능한 전기모우터가 한쪽 방향으로 회전되게 구동하는 유압펌프에 의하여 직접 조작되는 작동기로 제어대상의 위치제어를 하는 전기유압 서어보장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 제어대상의 위치제어를 정확하게 하는 수단을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 복잡하고 값비싼 장치를 부착하지 않고 안정하고 아주 양호한 최종제어수단을 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 제어대상의 위치제어용 유압작동기, 작동기를 직접 구동하는 유압펌프, 양방향으로 펌프를 회전시키는 전기모우터와, 회전방향의 출력과 원하는 위치와 모우터의 회전속도로부터 제어된 위치편차의 피이드백 출력에 따라 전기모우터의 구동력을 발생시키는 제어수단의 협동으로 이루어진다. 제어수단은 게인·가변증폭기를 더 포함하므로서 적당한 형상의 게인특성곡선을 기준으로 하여 원하는 값으로부터 제어된 값의 편차를 증폭시킨다.
본 발명의 몇가지 바람직한 구조를 첨부된 도면에 따라 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 제 1 실시예를 예시한 블록도이다. 도 1 에 있어서, 제어대상(1)은 유압작동기(2)의 작동으로 위치가 목표치를 갖도록 한다. 유압펌프(3)는 방향제어밸브의 개재없이 작동기(2)에 직접 연결되어서 정·역의 양 회전방향을 선택하여 압유의 유동방향을 변경시킨다. 정·역 양 방향으로 회전할 수 있는 전기모우터(4)는 유압펌프(3)를 직접 구동시킨다. 상기 모우터(4)는 제어장치(5)에 의하여 제어되며, 또 원하는 값에 관련하여 위치검출기(6)에 의하여 검출된 제어대상(1)의 실제위치의 피이드백값에 따라 전기모우터(4)의 구동력과 회전방향의 출력 및 회전속도계(7)에 의하여 측정된 전기모우터(4)의 회전속도를 발생시킨다.
상술한 장치의 동작방법을 설명하면 다음과 같다.
제어장치(5)에서 위치제어에 대한 원하는 값은 위치검출기(6)에 의하여 검출된 제어대상(1)의 실제위치와 위치차동증폭기(52)에 의하여 비교되는 출력값과 입력증폭기(51)에 의하여 채택되어 증폭된다. 이로부터 편차는 전류증폭기(54)에 의하여 증폭되고, 속도차동증폭기(55)로 공급되어 회전속도계(7)에 의하여 검출된 전기모우터(4)의 회전속도편차를 얻기 위하여 편차신호와 게인·가변전압증폭기(53)에 의하여 증폭된다. 위치편차만 기준으로 한 원하는 값의 근사치에는 제어시스템(1), 유압작동기(2), 유압펌프(3)와 전기모우터(4)의 관성모우먼트로 인하여 원하는 위치로부터 초과운동을 유도하기 때문에 속도편차는 전기모우터(4)를 감속시키는데 적용된다. 속도편차는 초과운동을 감소시켜서 정확한 위치제어를 달성한다.
출력부(56)는 전기모우터(4)에 회전방향과 구동력을 출력한다. 출력부(56)는 도 10에 도시된 바와 같이 종래의 회로도이고, 여기서 PWM(펄스폭변조) 제어회로(560)는 속도차동증폭기(55)로부터 입력신호를 기준으로 한 출력신호를 발생시킨다. 펄스배전기(561)는 하술하는 전원트랜지스터 Tr1∼Tr6의 모든 베이스에 대하여 PWM 신호를 제어신호로 분배한다. 베이스드라이버(562)는 이들 제어신호를 수신하여 전원트랜지스터 Tr1∼Tr6의 베이스를 구동하는 구동신호를 내보낸다. 교류전원장치 R, S와 T는 콘덴서(564)로 평활하게되는 정류기(563)에 의하여 직류로 변환된다. 전원트랜지스터 Tr1∼Tr6은 다이오드 D1∼D6와 병렬로 연결된다. 전원트랜지스터 Tr1∼Tr6로 흐르는 직류는 구동신호에 따라 전기모우터(4)를 구동하는 삼상전류 U, V와 W를 발생시키는 전원트랜지스터의 각 베이스로 절환된다.
도 4에 표시된 바와 같이 증폭방법은 게인·가변전압증폭기(53)로 할 수 있고, 여기서 출력은 편차입력에 비례하고 비례상수는 가변할 수 있다. 그러나, 도 5에 도시된 바와 같은 제어특성은 유압펌프(3)가 정·역 양 방향으로 회전하여 유압작동기(2)를 직접 구동하는 본 실시예에서 더 좋은 동작을 유도한다. 도 5에서 편차입력과 출력의 상호관계는 다수의 라인·세그먼트로 표시되고, 즉 편차입력이 영점부근의 -V1과 +V1사이에서는 작은 편차로 응답하도록 큰 게인을 생성하고, 편차입력이 V1과 V2(또는 -V1과 -V2)사이의 경우에서는 안정한 제어가 되도록 게인을 작게 설치한다. 편차입력이 V2이상 또는 -V2이하로 되는 것같은 값에 대해서는 급격한 응답을 필요로 하기 때문에 큰 게인으로 한다. 영점, 제 1 점(V1점과 -V1점), 제 2 점(V2점과 -V2점)에 있어서 게인의 기울기는 도 5에서 부채꼴로 표시하는 바와 같이 제어시스템(1)에 맞추어서 사전에 설정할 수가 있다. 다수의 라인·세그먼트의 특성을 갖는 증폭기의 장착으로 전기모우터(4), 유압펌프(3) 및 유압작동기(2)가 직결하므로써 생기는 결점을 제거하는 것이 가능하다.
본 발명의 제 2 실시예를 도 2에서 예시하였으며, 여기서는 풀리는 리일에서 풀려나온 웨브를 계속처리하기 위하여 감긴 웨브를 푸는 경우 웨브의 단부가 일정한 위치를 잡도록 풀리는 리일의 위치를 유압작동기(2)로 제어한다. 제 1 실시예와 다른 것은 실제로 가변할 수 있게 제어되는 웨부단부로서, 유압작동기(2)는 풀리는 리일을 구동하여 웨브단부를 간접적으로 제어하는 것이다. 웨브단부의 위치는 제어의 적분동작으로 측정되고, 반면에 유압작동기(2)에 의하여 구동되는 리일과 웨브단부의 양 위치는 제어의 비례동작으로 측정된다.
도 2에서는 도 1과 동일한 구성은 동일한 부호를 붙였다. 풀리는 리일(1a)로부터 웨브(1b)를 푸는데 있어서 유압작동기(2)로 풀리는 리일(1a)의 위치의 변위를 검출하는 것은 위치검출기(6a)로서, 풀리는 리일(1a)의 원하는 위치를 0변위로 하고, 한 방향에서와 반대편 방향에서 양(+)값과 음(-)값을 갖는다. 램프전원과 실리콘 광전다이오드(SPD)(이하 SPD라 함)는 이들 사이에 유지되는 웨브(1b)의 단부와 서로 직면하도록 배설되어 이루어진 단부변위검출기(6b)는 광통로를 커버하는 부분에 비례하는 SPD의 출력의 전압변화형태로 웨브(1b)의 단부의 변위를 검출한다. SPD에 의하여 발생되는 전압(Es)은 항상 양(+)값을 가지므로 사전에 SPD의 다른 단자에 역방향으로 바이어스전압(Eb)을 부가하여 둔다. 그러면 SPD의 출력은 E1=Es-Eb로 되어 전압(Eb)은 Eb=1/2Esmax로 되도록 조정하면 제로센터에서 양값 또는 음값을 출력한다.
상술한 장치의 동작방법을 설명하면 다음과 같다.
위치검출기(6a)에 의하여 검출된 풀리는 리일(1a)의 변위는 적절한 비례게인으로 증폭되어 입력증폭기(51)에 의하여 단부변위검출기(6b)의 출력(E1)의 증폭된 값에 역으로 가산된다. 총합은 가변전압증폭기(53)에 공급되어 제 1 실시예에서와 같은 동일한 동작으로 된다. 최종제어는 웨브단부변위와 실제 제어대상인 제 1 제어변위가 관련되는 장치에 적합한 비례게인에 의하여 증폭된 리일의 변위로서 달성될 수 있다. 전술한 제어의 비례동작에 대조적으로 적분동작은 영(0) 비례게인을 가지며, 즉 위치검출기(6a)의 검출값의 피이드백은 없다.
구조는 풀리는 리일의 제어에 관한 것이며 원하는 위치에서 이동웨브의 단부를 유지하는 안내로울의 제어에 유사하게 적용할 수 있다. 안내로울의 경우에 있어서 제어의 비례동작은 적분동작이 안정한 제어를 거의 이루지 못할때 사용된다.
도 3은 본 발명의 제 3 의 실시예를 표시하는 블록도이다. 제어대상은 제 2 실시예와 같으며, 상위점은 웨브(1b)의 양단부를 각기 단부변위검출기(6b)로 검출하고, 양 변위의 차를 잡는 것에 의해 웨브(1b)의 중심위치를 구하고, 웨브의 중심위치제어를 하는 것이다. 도 1과 도 2의 동일부호는 동일기능을 지니는 장치를 나타낸다. 단부변위검출기(6b)는 웨브(1b)의 양단부에 배치된 투광기와 이 투광기에 대향하여서 설비된 감광기(Cds)로 되어 있으며, 각 감광기에 기준전압(Vs)을 가하여 입력증폭기(51)에 보내고, 그 출력의 편차를 잡아 웨브(1b)의 중심위치의 편차가 얻어진다. 그 다음 공정은 제 2 실시예와 동일하다.
도 6은 본 발명의 제 4 실시예를 예시한 유압회로도이다. 이는 제 1 실시예에서와 같이 제어대상(1), 유압작동기(2), 유압펌프(3), 전기모우터(4), 제어장치(5) 및 위치검출기(6)를 포함한다. 유압펌프(3)를 오일탱크(8) 내측의 오일중에 설치하되 압유관과 복귀·오일관을 각각 배치하였으며, 상기 유입관의 유압은 복귀·오일관의 상기 체크밸브(9)를 제어한다. 릴리이프밸브(10)는 각 파일럿제어체크밸브(9)의 유압작동기(2)사이에 위치한다. 또한, 셔틀밸브(11)와 필터(12)는 오일관에 설치한다.
상술한 장치의 동작방법을 설명하면 다음과 같다.
전기모우터(4)의 회전방향과 동일한 방향으로 유압펌프(3)를 구동시킨다. 일반적으로, 회전펌프는 흡입쪽에서의 부압과 배출쪽에서의 정압을 각각 유도하므로 밀봉패킹의 밀봉능력은 회전방향에 따라서 방향변경시에 공기흡입과 오일누출을 일으키며, 이는 오일탱크(8)내측의 오일중에 유압펌프(3)를 설치하므로서 방지할 수 있다.
파일럿제어체크밸브(9)는 유압펌프(3)와 유압작동기(2)사이의 두 압유관에 각각 설치되고, 복귀·오일관의 파일럿제어체크밸브(9)는 압유관의 유압에 의하여 제어된다. 따라서, 유압작동기(2)는 불평형부하가 작동기(2)에 작용되거나 제어대상(1)의 위치가 고정위치를 유지하는데 필요할 때 폐쇄될 수 있다. 릴리이프밸브(10)를 파일럿제체크밸브(9)와 유압작동기(2)사이에 설비하여서 유압회로의 온도변화가 크게 되었을 때 릴리이프밸브의 작동에 의해 유압장치를 보호한다.
유압회로에서의 오일량은 단일 로드 실린더의 유압작동기(2)가 피스톤의 위치에 따라 실린더에서 오일체적의 변화와, 오일이 릴리이프밸브(10)에서의 배출 및 밀봉패킹으로부터 누출되기 때문에 변한다. 변화에 대한 오일의 주입과 배출은 탱크(8)내 오일의 셔틀밸브(11)로 행한다. 도 8에 도시된 바와 같이, 두 체크밸브는 셔틀밸브(11)에 설치될 수 있다.
여기서 서술한 본 발명의 특수구조에서 몇가지 분명한 변경이 이루어질 수 있으나 이러한 수정은 특허청구의 범위에 기재된 본 발명의 정신과 범위에 해당하며, 여기에 함유된 모든 물질은 예시된 것에 불과하고 본 발명의 범위를 한정시키는 것은 아니다.

Claims (11)

  1. (a) 제어대상의 위치를 제어하는 유압작동기와 ; (b) 상기 유압작동기를 구동하기 위하여 양 방향으로 회전할 수 있는 유압펌프와 ; (c) 상기 유압펌프를 구동하는 전기모우터와 ; (d) 상기 제어대상의 위치를 검출하는 위치검출기와 ; (e) 상기 전기모우터의 회전속도를 측정하는 회전속도계와 ; (f) 원하는 위치를 기준으로 한 상기 전기모우터의 구동력과 회전방향의 출력 및 상기 위치검출기에 의하여 검출된 위치의 피이드백 입력과 상기 회전속도계에 의하여 측정된 회전속도를 발생시키는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기유압 서어보장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 유압펌프는 유압펌프용 오일탱크내에 설치되는 것을 특징으로 하는 전기유압 서어보장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 파일럿제어체크밸브는 하나는 압유관이고 다른 하나는 복귀·오일관인 2개의 오일관에 각각 설치되고, 상기 유압관의 유압이 상기 복귀·오일관의 파일럿제어체크밸브를 제어하는 것을 특징으로 하는 전기유압 서어보장치.
  4. 청구항 3에 있어서, 릴리이프밸브가 압유관과 복귀·오일관중의 어느 하나에 설치되는 것을 특징으로 하는 전기유압 서어보장치.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 제어수단은 (a) 원하는 값으로부터 상기 위치검출기에 의하여 검출된 위치에 편차를 유도하는 위치·편차조작부와 ; (b) 예정된 모양의 게인특성곡선을 지닌 상기 위치·편차조작부의 출력을 증폭하는 게인·가변증폭기와 ; (c) 상기 게인·가변증폭기의 출력으로부터 상기 회전속도의 편차를 유도하는 속도·편차조작부와, (d) 상기 속도·편차조작부의 출력을 기준으로 하여 상기 전기모우터에 구동력과 회전방향을 공급하는 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기유압 서어보장치.
  6. 청구항 5에 있어서, 소망의 상기 게인특성곡선이 몇개의 라인·세그먼트로 표시되는 것을 특징으로 하는 전기유압 서어보장치.
  7. (a) 웨브를 이동하는 리일 또는 안내로울과 ; (b) 상기 리일 또는 안내로울의 위치를 제어하는 유압작동기와 ; (c) 상기 유압작동기를 구동하기 위하여 양 방향으로 회전할 수 있는 유압펌프와 ; (d) 상기 유압펌프를 구동하는 전기모우터와 ; (e) 상기 웨브의 단부변위를 검출하는 단부·변위검출기와 ; (f) 상기 리일 또는 안내로울의 변위를 검출하는 리일변위검출기와 ; (g) 상기 전기모우터의 회전속도를 측정하는 회전속도계와 ; (h) 소망의 게인으로 상기 리일 또는 안내로울의 변위를 증폭하는 게인·가변변위증폭기와 ; (i) 상기 게인·변위증폭기와 예정된 모양의 게인특성곡선을 갖는 상기 단부변위검출기의 출력의 합성값을 증폭시키는 게인·가변합성증폭기와 ; (j) 상기 회전속도계의 출력으로부터 상기 게인·가변합성증폭기의 출력편차를 유도하는 편차조작부와 ; (k) 상기 편차조작부의 출력을 기초로 하여 상기 전기 모우터에 구동력과 회전방향을 출력하는 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기유압 서어보장치.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 게인특성곡선이 몇개의 라인·세그먼트로 표시되는 것을 특징으로 하는 전기유압 서어보장치.
  9. 청구항 7 또는 청구항 8에 있어서, 유압펌프가 유압펌프용 오일탱크내에 설치되는 것을 특징으로 하는 전기유압 서어보장치.
  10. 청구항 7 또는 청구항 8에 있어서, 상기 파일럿제어체크밸브가 하나는 압유관이고, 다른 하나는 복귀·오일관인 두개의 오일관에 각각 설치되고, 상기 압유관의 유압이 상기 복귀·오일관의 파일럿제어체크밸브를 제어함을 특징으로 하는 전기유압 서어보장치.
  11. 청구항 10에 있어서, 상기 릴리이프밸브가 압유관과 복귀·오일관중 어느 하나에 설치되는 것을 특징으로 하는 전기유압 서어보장치.
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