JPH02221702A - 電気油圧サーボ装置 - Google Patents

電気油圧サーボ装置

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JPH02221702A
JPH02221702A JP1042513A JP4251389A JPH02221702A JP H02221702 A JPH02221702 A JP H02221702A JP 1042513 A JP1042513 A JP 1042513A JP 4251389 A JP4251389 A JP 4251389A JP H02221702 A JPH02221702 A JP H02221702A
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JP
Japan
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hydraulic
electric motor
speed
reel
deviation
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JP1042513A
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Takeshi Aihara
相原　猛
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Nireco Corp
Original Assignee
Nireco Corp
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分軒〕 本発明は、正逆回転可能な電動モータにより駆動される
油圧ポンプを使用するアクチュエータによる位置ｌＩＩ
御、操作端の変位制御を行う電気油圧サーボ装置に関す
る。
〔従来の技術） 油圧シリンダにより位置を制御することは従来から行わ
れており多くの方法がある。第７図は帯状体であるウェ
ブをリールに巻き取る際にウェブの端部を揃えて巻き取
る制御装置を示すものであり、ウェブの端部の変位をフ
ォトヘッドで検出し、これを増幅器で増幅してムービン
グコイルを励磁する。ムービングコイル内に移動できる
ように設けられた永久磁石はムービングコイルの励磁方
向および強さに応じてサーボパルプ内のスプールを往復
動させサーボパルプを作動する。油圧ポンプからの圧油
はサーボバルブにより切り換えられ、操作シリンダを作
動する。操作シリンダはウェブ端部の変位が所定値とな
るよう制御する。この場合油圧ポンプはモータにより駆
動され常に圧油をサーボバルブに加えている。
第８図は油圧シリンダにより弁の開閉を行う装置で、弁
の開位置と閉位置間を油圧シリンダで往復させ弁の開閉
を行うものであり、開位置および閉位置にリミットスイ
ッチを設け、このリミットスイッチの信号により油圧ポ
ンプを駆動するモータを正転または逆転させる。この正
逆転により第７図に示したようなサーボバルブによる圧
油の流れ方向の切り換えは不用となりかつ弁の開閉時の
み、油圧ポンプを駆動すればよい。
第９図はアキシャルプランジャポンプにより油圧シリン
ダを往復駆動する装置で、ミナーシャモータ（ＤＣプリ
ントモータ）によりアキシャルプランジャポンプの斜板
角度を制御油圧を正−逆流と速度制御を行う０本装置も
サーボバルブは必要なく、別にプランジ中ポンプ駆動用
の電源を必要とするが、ポンプ駆動電力は油圧シリンダ
停止時は軽負荷で作動時のみ負荷が大きくなる。
特開昭６１−２０６８０２号公報には、油圧シリンダの
ピストンの位置を検出し、この検出値よりマイクロコン
ビエータで油圧ポンプを駆動する電動モータを正逆回転
制御する技術が示されている。この装置もサーボバルブ
は不用であり、電動機も油圧シリンダ作動時のみ駆動す
ればよい。
〔発明が解決しようとする諜屈〕
第７図に示したサーボバルブを使用する装置はサーボバ
ルブが必要なことおよびサーボバルブに圧油を供給する
油圧ポンプを常に駆動しておく必要があり、エネルギー
の損失およびこれによる油温の上昇や部品の摩耗が多く
なる。
第８図に示した装置は、第７図の装置の問題点は解決し
ているが、電動機をリミットスイッチの信号によりリレ
ーを介して正逆転しており速度制御装置がないため正逆
転時衝撃が大きい。
また正逆切り換え接点リレーの寿命に制限される。
第９図に示したアキシャルプランジャポンプの斜板角度
により圧油の正逆流と速度制御を行う方法は性能的には
、良好であるがミナーシャモータ、アキシャルプランジ
ャポンプの価格が高く、経済性が問題である。
特開昭６１−２０６８０２号公報で示された装置は油圧
シリンダのピストン位置の変位検出値から、変位。
速度を検出して電動モータの正逆転、速度、停止制御を
行うが、変位を微分演算して速度データを得る必要があ
り、このような方法だと変位検出器で検出した変位と電
動モータの回転速度との間には連結部のガタや慣性によ
る遅れなどが介在するため、精度の悪い速度データが得
られる可能性が大きい、このため正確な位置制御が難し
い、ところで、油圧ポンプを正逆転する第８図、第９図
。
特開昭６１−２０６８０２号公報に示された装置の場合
、動作信号（目標値と計測値との偏差）が零で油圧ポン
プが停止しているとき、小さな偏差が入ってきて、電動
モータが回転し油圧ポンプが回転を開始する時は、油圧
が上昇して操作シリンダが動き出すまでには、電動モー
タおよび油圧ポンプの慣性や油の圧縮性によって時間遅
れが生じ、制御の遅れとなり、またこの遅れにより制御
が不安定になり易い。
従って偏差零の付近では小さな偏差が生じた時にも一定
のレベルの出力を油圧ポンプ駆動電動モータの制御回路
に与えることが望ましい。
また、大きい偏差に対して油圧回路内の流量が大きくな
ると、管路抵抗による圧損が大きくなり、操作シリンダ
のピストンに加えられる油圧力が低下する。このため、
大きい偏差に対して速い応答で大きい力を出すためゲイ
ンを太き（する必要があるがこのようにすると小さい偏
位に対して制御が不安定となる。これは小さい偏位では
流量が小さく管路の圧損が小さくピストンに加えられる
油圧が大きいので、全体のループゲインは大きくなるか
らである。このため、従来、第７図に示したサーボバル
ブを有する装置においては、サーボバルブに非線形特性
を与えてループゲインを調整したものがある。
一般には、負荷が小さいときはループゲインが大きいの
で制御装置のゲインを小に、負荷が大きい時は制御装置
のゲインを大きくするとよい場合が多い。
このために、市販のＰＩＤ１１節計では信号入力の大き
さに応じてＰＩＤのパラメータを変更するものもある。
また外乱による変動に対してと、設定変更に対してと区
別してＰＩＤのパラメータを自動選択するもの、ＡＩ（
人工知能）を使用して自動的にチューニングをしてＰＩ
Ｄパラメータを設定するものなど、制御装置のパラメー
タを自動変更するものが市販されている。従って電気油
圧サーボ装置においてもかかる調節計を用いれば良好な
制御が期待できる。しかしこれらの装置は複雑でかつ高
価である。
本発明の目的は、正逆回転可能な電動モーフにより駆動
される油圧ポンプを使用するアクチュエータによる位置
制御を行う電気油圧サーボ装置において、電動モータの
回転速度を直接フィードバックすることにより位置の正
確な制御を行い、さらにＰＩＤ調節針のような複雑高価
な装置を使うことなく、信号入力増幅器の入力と出力の
関係を複数の折線特性をもった調整可能なゲイン特性と
することにより、安定で追従性のよい電気油圧サーボ装
置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するため、本発明の電気油圧サーボ装置
は、油圧アクチュエータと、該アクチュエータを駆動す
る油圧ポンプと、該ポンプを正逆転駆動する電動モータ
と、前記アクチュエータにより駆動された制御対象の位
置を検出する位置検出器と、前記電動モーフの回転速度
を検出する速度検出器と、目標位置と前記制御対象の位
置と前記回転速度を入力し回転方向および駆動電力を前
記電動モータに出力する制御手段と、を備えたことを特
徴とするものである。また、前記油圧ポンプを該油圧ポ
ンプの油タンクの油中に配設するとよく、また、前記油
圧ポンプと前記油圧アクチュエータとの間の２本の油圧
ラインにそれぞれ逆止弁を設け、戻油ラインの逆上弁を
圧油ラインの油圧によるパイロット操作逆止弁とすると
よい、また、前記それぞれの逆止弁と前記油圧アクチュ
エータとの間の２本の油圧ラインの少な（とも一方にリ
リーフ弁を設けるとよい、さらに、前記制御手段が、前
記目標位置と前記制御対象の位置との偏差である位置偏
差を演算する位置偏差演算部と、該位置偏差を所望のゲ
インで増幅する可変増幅器と、該可変増幅器の出力と前
記回転速度との偏差である速度偏差を演算する速度偏差
演算部り、該速度偏差に基づき回転方向および駆動電力
を前記電動モータに出力する出力部とを備えるよう（、
こするとよい。また、前記可変増幅器が、所望の形状の
ゲイン特性曲線を設定できるようにするとよい。
また、本発明の電気油圧サーボ装置は、帯状体を移動す
るリールと、該リールの位置を調整する油圧アクチュエ
ータと、該アクチュエータを駆動する油圧ポンプと、該
ポンプを正逆転駆動する電動モータと、前記帯状体の端
部変位を検出する端部変位検出器と、前記リールの変位
を検出するリール変位検出器と、前記電動モータの回転
速度を検出する速度検出器と、前記リールの変位を所望
のゲインに増幅する可変リール変位増幅器と該可変リー
ル変位増幅器の出力と前記端部変位との合成値を所望の
ゲインに増幅する可変合成値増幅器と該可変合成値増幅
器の出力と前記回転速度との偏差を演算する偏差演算部
と該偏差演算部の出力に基ツき回転方向および駆動電力
を前記電動モータに出力する出力部とを有する制御手段
と、を倫えたことを特徴とするものである。また前記可
変合成値増幅器が、所望の形状のゲイン特性曲線を設定
できるようにするとよい。
〔作　用〕
制御対象の目標値と位置検出器で検出された検出位置と
の偏差によって電動モータの回転力向および駆動電力が
制御手段より出力され、電動モータが回転し、電動モー
タと接続した油圧ポンプより圧油がアクチュエータに送
られアクチュエータの作動により制御対象を駆動し、制
御対象を目標値に向けて移動する。しかるに制御対象、
アクチュエータ、油圧ポンプ、電動モータの慣性モーメ
のために、制御対象はその目標値を通り過ぎてしまう。
そこで回転速度検出器により電動モータの回転速度を検
出して、制御手段にフィードバンクし、駆動電力を低下
させると、回転速度は低下し、目標値を大きく行き過ぎ
ることがなくなり安定した制御となる。
電動モータの正逆転により油圧ポンプも正逆回転するが
、一般の回転形ポンプは、吸入側は負圧、吐出側は正圧
でシールバッキングはシール性能に方向性を生じ、正逆
転すると空気の吸込みと油もれを生じるので油圧ポンプ
を油圧タンク内の油中に設置してこれを防ぐことができ
る。
油圧ポンプと油圧アクチュエータとの間の２本の油圧ラ
インにそれぞれ逆止弁を設け、戻油ラインの逆止弁を圧
油ラインの油圧によりバイロフト操作逆止弁とすると、
油圧アクチュエータに不平衡負荷が加わっているとき、
又は制御対象の位置を一定に保持したい時に油圧アクチ
ュエータをロックすることができる。
そして、それぞれの逆止弁と、油圧アクチュエータとの
間の２本の油圧ラインの少なくとも一方にリリーフ弁を
設けることにより、油圧回路の温度変化が大きくなって
もリリーフ弁の作動により油圧装置の安全性が確保でき
る。
また、前記制御手段の内容として、位置偏差演算部で目
標位置と制御対象の検出位置との偏差を演算し、この偏
差を可変増幅器で制御対象に適したゲインで見曽幅し、
速度偏差演算部で、前記の増幅した出力と電動モータの
回転速度との偏差を演算し、出力部よりこの演算値に基
づき回転方向および駆動電力を出力する。
前記可変増幅器は位置偏差の大きさに応じた形状のゲイ
ン特性をあらかじめ設定することにより制御対象を最適
に制御できる。
帯状体をリールに巻き取り巻き反しする場合、帯状体の
端部が揃うようリールを油圧アクチュエータで制御する
ため端部変位検出器で基準値からの帯状体南部変位を検
出し、さらにリール変位検出器で基準値からのリール変
位を検出し、このリール変位を可変リール変位増幅器で
所望のゲインに増幅し、この増幅値と端部変位を合成し
２、可変合成値増幅器でこの合成入力値をその大きさに
適したゲインに増幅し、偏差演算部でこの増幅値と速度
検出器で検出した電動モータの回転速度との偏差を演算
し、出力部よりこの演算値に基づき回転方向および駆動
電力を出力する。電動モータはこの出力により油圧ポン
プを正逆転駆動し、油圧アクチュエータを作動させ、リ
ール位置を制御する。
前記可変合成値増幅器は、合成値の大きさに応じた形状
のゲイン特性をあらかじめ設定することにより帯状体の
端部を揃えてリールに巻き取ったり、不揃いに巻き取ら
れたリールからの巻き戻しを次の巻き取りで端部を揃え
て巻き取られるようにすることができる。
〔実　施　例〕
以下、本発明の実施例を第１図〜第５図を用いて説明す
る。
第１図は、第１実施例の電気油圧サーボ装置の構成を示
すブロック図である。
ｌは本実施例の＠御の目的となる制御対象、２は制御対
象１の位置が目標値となるよう作動する油圧アクチュエ
ータ、３はアクチュエータ２を駆動する油圧ポンプであ
り、正逆回転して圧油の送り方向を変換するので方向切
り換え弁を介することなくアクチュエータ２と直接に接
続する。４は電動モータで油圧ポンプ３と接合し、正逆
回転する。５は電動モータの制御装置、６は制御対象工
の位置を検出する位置検出器、７は電動モータ４の回転
速度を検出する速度検出器７である次に動作について説
明する。
制御装置５は、制御の目標位置を入力して入力アンプ５
１で増幅し、この値と位置検出器６から検出した制御対
象ｌの実位置との偏差を位置作動アンプ５２でとり、こ
れを可変電圧アンプ５３で増幅する。増幅方法として、
第４＠に示すように偏差入力に対して、比例した値を出
力し、この比例係数を可変とするのが普通であるが、本
実施のように油圧ポンプを正逆回転し、直接アクチュエ
ータを作動させる場合、「発明が解決しようとする課題
」の項で説明したように、適切でない、そこで、偏差入
力と出力の関係を第５図に示すように複数の折線特性を
持つものとする。
つまり、偏差入力が零点付近の−Ｖ、〜＋ｖＩ間では、
僅かの偏差にも応答するよう大きなゲインとし、偏差入
力がＶｌ　−Ｖｚ　　（−Ｖｔ　〜−Ｖｚ）間の場合は
安定した制御となるようゲインをゆるやかなものとし、
偏差入力が■８以上または−■２以下となるような大き
な値に対しては、急激な応答を必要とするため大きなゲ
インとする。これらの各ゲインは零点、第１点（Ｖｔ点
−７３点）。
第２点（ｙ８点＋　−Ｖ　１点）において勾配を第５図
で扇状に示すように、制御対象に合わせてあらかじめ設
定することができる。このような複数の折線特性を有す
る増幅器を用いることにより電動モータ、油圧ポンプ、
アクチュエータを直結することによって生じる不具合を
除去することが可能となる。可変電圧アンプ５３で電圧
増幅された偏差信号は、電流アンプ５４で電力増幅され
、速度検出器７で検出した電動モータ４の回転速度と速
度差動アンプ５５で偏差をとる。これは、位置偏差のみ
で目標値に近づけた場合、制御対象１、アクチュエータ
２、油圧ポンプ３、電動モータ４の慣性モーメントのた
め、目標値を通り過ぎてしまうので速度偏差により電動
モータ４を減速するようにするためである。この速度偏
差に基づき出力部で、正逆転方向と駆動電力を電動モー
タ４に出力する。
電動モータ４と接合された油圧ポンプ３は正逆回転し、
圧油を必要な方向および圧力で送り油圧アクチュエータ
２を作動させ、油圧アクチュエータ２によって制御対象
１がその位置を制御される。
次に第２実施例を第２図により説明する。
第２実施例は、巻き戻しリールから巻き出されたウェブ
を処理するためにウェブを巻き戻す場合で、端部が一定
の位置をとるようにリールの位置を油圧アクチュエータ
２で制御する。第１実施例との相違点は、最終制御対象
はウェブの端部であり、油圧アクチュエータ２は、ウェ
ブの巻かれたリールを駆動することによりウェブ端部を
間接的に制御することである。このため検出対象がウェ
ブの端部と油圧アクチュエータ２に駆動されるリールの
位置との２つになる。この場合に必ずしもリール位置検
出は必要とは限らすウェブ端部検出のみでもよい。
なお、第１図と同じ符号は同一機能の装置を示す、１ａ
は巻き戻しリールであり、ウェブｌｂの端部が不揃いの
状態で巻かれている。２は油圧アクチュエータで巻き戻
しリール１ａの位置を調整する。５ａは巻き戻しリール
ｌａの位置の変位を検出する位置検出器で、巻き戻しリ
ール１ａの最適位置を０変位とし、それより一方への変
位を（＋）変位３反対方向への変位を（−）変位として
検也する。６ｂはウェブの端部の変位を検出する端部変
位検出器で、ランプとシリコン・フォト・ダイオード（
ＳＰＤ）を対向させ、その間にウェブｌｂの端部が配設
され、ウェブｌｂの端部の変動によりランプ光の遮蔽さ
れる割合をＳＰＤより電圧として取り出し、この電圧の
変化よりウェブ１ｂの端部の変位を検出する。ＳＰＤの
発生する電圧をＥ、とすると、Ｅ３は正方向の電圧しか
発生しないので、あらかじめＳＰＤの一方の端子に逆方
向のバイアス信号Ｅ、を加えておく。するとＳＰＤの出
力はＥｌ−Ｅｓ　　Ｅｂとなり、Ｅｂ＝１／２Ｅ　ｍｍ
ｍｍとなるように調整すればＥ、はゼロセンタで正およ
び負の値を出力する。
次に動作について説明する。
位置検出器６ａで検出した巻き戻しリールｌａの位置変
位は適切な比例ゲインで増幅し反転され端部変位検出器
６ｂの出力Ｅｉが入力アンプ５１で増幅された値と加算
される。加算された値は可変電圧アンプ５３に入力され
、以降第１実施例と同一の動作となる。
最終制御目標値であるウェブ端部変位と、直接制御対象
であるリール変位とを合成するにあたり、装置に通した
比例ゲインで増幅したリール変位とすることにより適切
な制御が行える。但し、一般には巻き戻しリールの制御
では位置検出器６ａは不要であり、積分動作で制御する
。
第３図に第３実施例を示す。
制御対象は第２実施例と同じであり相違点はウェブ１ｂ
の両端部をそれぞれ端部変位検出器６ｂで検出し、両変
位の差をとることによりウェブｌｂの中心位置を求め、
ウェブの中心位置制御を行うことである。第１図、第２
図と同一符号は同一機能を有する装置を表す。
端部変位検出器６ｂは、ウェブ１ｂの両端に配置された
投光器と、この指先器に対向して設けられた受光ＦＪ（
ＣｄＳ）よりなり、各受光器に基準電圧ＶＳを加え、入
力アンプ５１に送り、その出力の偏差をとり、ウェブ１
ｂの中心位置の偏差が得られる。これ以降は第２実施例
と同一である。
第６図に第４実施例を示す。
制御対象ｌ、油圧アクチュエータ２．油圧ポンプ３、＠
動モータ４．制御装置５１位置検出器６は第１実施例の
場合と同じである。
８は油タンクであり、油圧ポンプ３は油タンク８内の油
中に配置する。９はパイロット操作逆止弁であり、戻油
ラインの逆止弁を圧油ラインの油圧により制御すると油
圧アクチュエータ２に不平衡負荷が加わった時、又は制
御対象１の位置を一定に保持したい時に油圧アクチュエ
ータ２をロックする。
ｌＯはリリーフ弁であり、それぞれのパイロット操作逆
止弁９と油圧アクチュエータ２との間に設けて油圧回路
の温度変化が太き（なったときリリーフ弁の作動により
油圧装置を保護する。１１はシャトル弁、１２はフィル
タである。
〔発明の効果〕
本発明によれば、油圧ポンプを正逆転作動させることに
より、油圧ポンプと油圧アクチュエータを直結すること
ができ、油圧ポンプ駆動電動モータの制御回路に電動モ
ータの回転速度をフィードバックして、良好な位置制御
が得られるのでサーボバルブなどが不用となり経済性が
良くスペースを小さくすることのできる電気油圧サーボ
装置を実現できる。また油圧アクチュエータ停止時はポ
ンプ駆動電力が不要でエネルギーが節約できる。
さらに入力信号を複数の折れ線ゲイン特性を有する増幅
器で増幅して制御信号とすることにより、平衡時に停止
している油圧ポンプの始動時の不惑帯を小さくして、し
かも微小入力信号に対しては安定に、大きい入力信号に
対しては速い応答で制御ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の第１実施例を示すブロック図、第２図
は第２実施例を示すブロック図、第３図は第３実施例を
示すブロックず、第４図はゲイン可変の増幅器の特性を
示す図、第５図は複数の折れ線ゲイン特性を有する増幅
器の特性を示す図、第６図は第４実施例を示す油圧回路
図であり、第７図はウェブ巻取端部制御装置を示す図、
第８図は弁の開閉用油圧装置の油圧回路図、第９図はア
キシャルプランジャポンプを用いた油圧シリンダ駆動装
置を示す図である。 １−−一制御対象　　　１ａ−一一巻き戻しリールｔｂ
−−−ウェブ　　２−ｍ−油圧アクチュエータ３−−−
油圧ポンブ　　　４−ｍ−電動モータ５−−−制御装置
　　　　５１−一一人カアンプ５２−−−位置差動アン
ブ　５３−−一可変電圧アンプ５４−−−電流アンプ　
　　５５−ｍ＝速度差動アンプ５６−−−出力部　　　
　６，６ａ−−一位置検出器６　ｂ−一一端部変位検出
器　７一−−速度検出器８−−−油圧タンク　９−パイ
ロット操作逆止弁１０−−−　リリーフ弁　　　１１−
一一シャトル弁１２−−−フィルタ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）油圧アクチュエータと、該アクチュエータを駆動
    する油圧ポンプと、該ポンプを正逆転駆動する電動モー
    タと、前記アクチュエータにより駆動された制御対象の
    位置を検出する位置検出器と、前記電動モータの回転速
    度を検出する速度検出器と、目標位置と前記制御対象の
    位置と前記回転速度を入力し回転方向および駆動電力を
    前記電動モータに出力する制御手段と、を備えたことを
    特徴とする電気油圧サーボ装置。
  2. （２）前記油圧ポンプを該油圧ポンプの油タンクの油中
    に配設したことを特徴とする請求項１記載の電気油圧サ
    ーボ装置。
  3. （３）前記油圧ポンプと前記油圧アクチュエータとの間
    の２本の油圧ラインにそれぞれ逆止弁を設け、戻油ライ
    ンの逆止弁を圧油ラインの油圧によるパイロット操作逆
    止弁としたことを特徴とする請求項１または２に記載の
    電気油圧サーボ装置。
  4. （４）前記それぞれの逆止弁と前記油圧アクチュエータ
    との間の２本の油圧ラインの少なくとも一方にリリーフ
    弁を設けたことを特徴とする請求項３記載の電気油圧サ
    ーボ装置。
  5. （５）前記制御手段が、前記目標位置と前記制御対象の
    位置との偏差である位置偏差を演算する位置偏差演算部
    と、該位置偏差を所望のゲインで増幅する可変増幅器と
    、該可変増幅器の出力と前記回転速度との偏差である速
    度偏差を演算する速度偏差演算部と、該速度偏差に基づ
    き回転方向および駆動電力を前記電動モータに出力する
    出力部とを備えたことを特徴とする請求項１〜４のいず
    れかに記載の電気油圧サーボ装置。
  6. （６）前記可変増幅器が、所望の形状のゲイン特性曲線
    を設定できることを特徴とする請求項５記載の電気油圧
    サーボ装置。
  7. （７）帯状体を移動するリールと、該リールの位置を調
    整する油圧アクチュエータと、該アクチュエータを駆動
    する油圧ポンプと、該ポンプを正逆転駆動する電動モー
    タと、前記帯状体の端部変位を検出する端部変位検出器
    と、前記リールの変位を検出するリール変位検出器と、
    前記電動モータの回転速度を検出する速度検出器と、前
    記リールの変位を所望のゲインに増幅する可変リール変
    位増幅器と該可変リール変位増幅器の出力と前記端部変
    位との合成値を所望のゲインに増幅する可変合成値増幅
    器と該可変合成値増幅器の出力と前記回転速度との偏差
    を演算する偏差演算部と該偏差演算部の出力に基づき回
    転方向および駆動電力を前記電動モータに出力する出力
    部とを有する制御手段と、を備えたことを特徴とする電
    気油圧サーボ装置。
  8. （８）前記可変合成値増幅器が、所望の形状のゲイン特
    性曲線を設定できることを特徴とする請求項７記載の電
    気油圧サーボ装置。
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