JP6219595B2 - 荷重制御装置 - Google Patents
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Claims (5)
- シリンダと、
前記シリンダ内に遊嵌される、一端で対象物を押圧するロッドと、
前記ロッドの他端に連結されるとともに内部に圧力室を画成する被駆動部材と、
前記被駆動部材を前記シリンダの軸方向に線形駆動するリニア駆動部と、
対象物に一定の荷重を与えるために、その一定の荷重に基づく一定量の圧縮流体を前記圧力室内に供給して前記ロッドに荷重を与えるレギュレータと、
前記圧力室内の圧力変化を検出する圧力センサと、
検出された圧力変化と前記圧力室の底面積とから、前記ロッドの付加する荷重の変化分を計算する荷重計算部と、
前記被駆動部材を変位させて、前記荷重計算部により計算された荷重の変化分を相殺するように前記リニア駆動部を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする荷重制御装置。 - 前記リニア駆動部がボイスコイルモータであることを特徴とする請求項1に記載の荷重制御装置。
- 前記シリンダと前記ロッドとの隙間に前記レギュレータから圧縮流体が供給されて空気軸受が構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の荷重制御装置。
- 前記シリンダおよび前記ロッドが非円形断面を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の荷重制御装置。
- 前記ボイスコイルモータを収容するハウジングの底部にケーブルプラグが取り付けられ、該ケーブルプラグに接続されたケーブルから前記ボイスコイルモータのコイルに電流が供給されることを特徴とする請求項2に記載の荷重制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013105055A JP6219595B2 (ja) | 2013-05-17 | 2013-05-17 | 荷重制御装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013105055A JP6219595B2 (ja) | 2013-05-17 | 2013-05-17 | 荷重制御装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2014224590A JP2014224590A (ja) | 2014-12-04 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6219595B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4059650A1 (en) * | 2021-03-16 | 2022-09-21 | Newfrey LLC | Welding gun with a displacement measuring system |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07241766A (ja) * | 1994-03-03 | 1995-09-19 | Nikon Corp | 研磨ヘッド |
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JP4515508B2 (ja) * | 2008-02-12 | 2010-08-04 | キヤノンマシナリー株式会社 | ワーク実装装置 |
JP4966394B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2012-07-04 | 藤倉ゴム工業株式会社 | 荷重付与装置 |
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2013
- 2013-05-17 JP JP2013105055A patent/JP6219595B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP4059650A1 (en) * | 2021-03-16 | 2022-09-21 | Newfrey LLC | Welding gun with a displacement measuring system |
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JP2014224590A (ja) | 2014-12-04 |
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