JP2012057776A - 電気・油圧リニアサーボ弁 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】弁スプール2を駆動する電磁リニアモータ装置として、弁スプール2の両端部にそれぞれボイスコイル形リニアモータ10A、10Bを装備した電気・油圧リニアサーボ弁。弁スプール2の両端部にはそれぞれのリニアモータの可動コイル15A、15Bが直結され、これらの可動コイル15A、15Bは弁スプール2と軸方向移動の往復について一体移動する。両方の可動コイル15A、15Bは、励磁によって生じる軸方向推力が弁スプール2に対して同一方向に加算的に作用するように制御アンプにより互いに同期して励磁される。
【選択図】図1
Description
2:弁スプール
3:弁スリーブ
4A,4B:スプール端部固定ネジ
5A,5B:ダイアフラム
7A,7B:弁ボディ端板
8A,8B:押さえリング
9A,9B:回り止めピン
10A,10B:ボイスコイル形リニアモータ
11A,11B,31:E形ヨーク
12A,12B,32:外側ヨーク部
13A,13B,33:中央ヨーク部
14A,14B,34:永久磁石界磁
15A,15B,35:可動コイル
16a,16B:可動コイルボビン
17:位置センサ貫通孔
18:位置センサコイル
19:位置センサコア
20:制御アンプ
Claims (4)
- 予め定められた数と配置で形成されたポートを有する弁ボディと、該弁ボディ内の弁スリーブ内を軸方向に沿って予め定められた位置へ移動することにより弁スリーブに設けられた複数のポートの開閉及びポート同士の連絡を切り換える弁スプールと、該弁スプールを弁スリーブ内で軸方向移動させる電磁リニアモータ装置とを備えた電気・油圧リニアサーボ弁において、
前記電磁リニアモータ装置として、弁スプールの一端側に配置された第1のボイスコイル形リニアモータと、該弁スプールの他端側に配置された第2のボイスコイル形リニアモータとを備え、
第1と第2のボイスコイル形リニアモータは、それぞれ、外側ヨーク部と中央ヨーク部とを有する縦断面E形ヨークと、外側ヨーク部の内周面に配置された永久磁石界磁と、外側ヨーク部と中央ヨーク部との間の間隙に前記永久磁石界磁に囲まれるように配置されて前記弁スプールと軸方向移動の往復について一体移動する筒型の可動コイルとを備え、
第1と第2のボイスコイル形リニアモータには、それぞれの可動コイルの励磁による軸方向推力が前記弁スプールに対して同一方向に加算的に作用するように両可動コイルを互いに同期して励磁する制御アンプが接続されていることを特徴とする電気・油圧リニアサーボ弁。 - 前記弁スプールの軸方向変位位置を電気的に検出する位置センサが第1又は第2のボイスコイル形リニアモータのいずれか一方の中央ヨーク部の内部に配置され、前記制御アンプが該位置センサからの検出信号に基づいて前記両可動コイルへの励磁電流を位置サーボ制御することを特徴とする請求項1に記載の電気・油圧リニアサーボ弁。
- 前記弁スプールの両端部に、前記弁ボディ側から第1及び第2のボイスコイル形リニアモータ側への作動油の流入を遮断するダイヤフラムがそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電気・油圧リニアサーボ弁。
- 前記弁ボディ内で前記弁スリーブが軸方向に関して中央部の圧油入口ポート(P)を中心にしてその両側の一対の制御ポート(A,B)、これら一対の制御ポートの更に両外側の一対のタンクポート(T,T)、及びこれら一対のタンクポートの更に両外側の一対のドレンポートを有する対称的なポート配置を有すると共に、前記弁スプールが前記対称的なポート配置に対応して軸方向に関して対称的なランド・溝配置を有し、弁スプール両端部のダイヤフラムで仕切られた弁ボディ側空間が互いに前記ドレンポートに連通されていることを特徴とする請求項3に記載の電気・油圧リニアサーボ弁。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010204288A JP5462753B2 (ja) | 2010-09-13 | 2010-09-13 | 電気・油圧リニアサーボ弁 |
CN201110234370.8A CN102400971B (zh) | 2010-09-13 | 2011-08-16 | 电动·液压线性伺服阀 |
HK12107030.3A HK1166361A1 (en) | 2010-09-13 | 2012-07-18 | Electro/hydraulic linear servo vulve |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010204288A JP5462753B2 (ja) | 2010-09-13 | 2010-09-13 | 電気・油圧リニアサーボ弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012057776A true JP2012057776A (ja) | 2012-03-22 |
JP5462753B2 JP5462753B2 (ja) | 2014-04-02 |
Family
ID=45883500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010204288A Active JP5462753B2 (ja) | 2010-09-13 | 2010-09-13 | 電気・油圧リニアサーボ弁 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5462753B2 (ja) |
CN (1) | CN102400971B (ja) |
HK (1) | HK1166361A1 (ja) |
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2010
- 2010-09-13 JP JP2010204288A patent/JP5462753B2/ja active Active
-
2011
- 2011-08-16 CN CN201110234370.8A patent/CN102400971B/zh active Active
-
2012
- 2012-07-18 HK HK12107030.3A patent/HK1166361A1/xx unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102400971A (zh) | 2012-04-04 |
HK1166361A1 (en) | 2012-10-26 |
CN102400971B (zh) | 2015-09-09 |
JP5462753B2 (ja) | 2014-04-02 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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