CN107923418B - 气动的阀驱动装置 - Google Patents

Abstract

一种用于阀(2)、特别是真空阀的气动的阀驱动装置(1)，该阀驱动装置具有至少一个气动缸(3)，该气动缸带有至少一个可在该气动缸(3)中移动地安置的活塞(4)，且带有至少两个设置在该活塞(4)的彼此相对侧的气缸空腔(5、6)，其中，每个气缸空腔(5、6)分别与至少一个压力源连接，用于对相应的气缸空腔(5、6)加载压力，其中，压力源之一是恒定压力源(7)，用于给设置在所述活塞一侧的气缸空腔(5)加载以恒定压力，另一压力源是受调的压力源(8)，用于给设置在所述活塞(4)相对侧的气缸空腔(6)加载以可变地可调的压力。

Description

气动的阀驱动装置

技术领域

本发明涉及一种用于阀、特别是真空阀的气动的阀驱动装置，该阀驱动装置具有至少一个气动缸，该气动缸带有至少一个可在气动缸中移动地安置的活塞、且带有至少两个设置在活塞的彼此相对侧上的气缸空腔，其中，每个气缸空腔分别与至少一个压力源连接，用于对相应的气缸空腔加载压力。

此外，本发明还涉及一种用于运行这种气动的阀驱动装置的方法，也涉及一种带有至少一个这种气动的阀驱动装置的阀、特别是真空阀。

背景技术

就阀、特别是真空阀而言，通常采用气动的阀驱动装置，以便例如驱动关闭机构，以关闭和/或释放阀的阀开口。气动的阀驱动装置相比于液压的阀驱动装置具有如下优点：在不密封或者有缺陷时，不会出现严重的污染，而对于液压的阀驱动装置来说，就会因液压油漏出等而出现这种情况。出于这个原因，气动的阀驱动装置尤其对于真空技术中的阀来说是特别优选的。

在现有技术中，用于阀、特别是真空阀的气动的阀驱动装置如下地被设计：调节两个气缸空腔中的压力。这在调节技术上相当繁琐。

发明内容

本发明的目的是，提出上述类型的构造简单的气动的阀驱动装置。

为此，本发明针对上述的阀驱动装置提出，压力源之一是恒定压力源，用于给设置在活塞一侧的气缸空腔加载以恒定压力，另一压力源是受调的压力源，用于给设置在活塞相对侧的气缸空腔加载以可变地可调的压力。本文献范畴内的压力源系指用于给相应的气缸空腔加载压力的人造压力源。

因此简单地说，本发明的基本构思是，只有一个气缸空腔中的压力是受调的，而气动缸的位于活塞对面的气缸空腔则被加载以恒定的压力。如果借助于受调的压力源在活塞一侧把气缸空腔中的压力调节得很高，使得由此导致的作用到活塞上的力大于在相对侧的气缸空腔中由于在那里施加的恒定的压力而作用到活塞上的力，那么，活塞就相对于气动缸在一个方向上移动。相反，如果受调的压力源调整与其连接的气缸空腔中的压力，使得作用到活塞上的力小于由在另一气缸空腔中的恒定的压力作用到活塞上的力，那么，活塞就相对于气动缸在另一个方向上移动。通过由受调的压力源在一个气缸空腔中建立起来的相应的压力水平，从两侧作用到活塞上的力也可以抵消，从而活塞相对于气动缸固定在其位置上。因而可行的是，只利用一个受调的压力源既实现活塞相对于气动缸的两个移动方向，又实现静止状态。这里重要的是要注意，既能把气动缸固定在其位置上，而在所述相对运行时使得活塞移动。另一方面完全可行的是，把活塞固定在其位置上，而气动缸相对于活塞移动。这两种情况在本发明的气动的阀驱动装置上是可行的。通过活塞的在气动缸中和相对于气动缸的相对运行，一个气缸空腔中的容积在任何情况下都始终适度地增大，其程度与在对侧的气缸空腔中的下降相同，反之亦然。

这里谈到的气动的阀驱动装置也意味着，两个气缸空腔优选仅仅被加载以气态的压力介质。作为压力介质，例如可以采用压缩空气，但也可以采用另外的合适的气态的介质。

在优选的实施方式中，恒定压力源尽可能简单地设计。因此优选地，该恒定压力源不可调、且仅仅被设置和/或被设计用来给布置在活塞一侧的气缸空腔加载以恒定压力。为完整起见，需要指出，例如因突然的压力变化通过受调的压力源在一个气缸空腔中、也在另一个即与恒定压力源连接的气缸空腔中会短暂地出现压力波动。但这种压力波动恰恰并非因恒定压力源引起，而是因其它影响因素引起。恒定压力源被设置用来在活塞一侧持久地给气缸空腔加载以恒定的压力。在本发明的优选的设计方式中，恒定的压力在任何情况下都高于通常的大气压力和/或环境压力。优选地，由恒定压力源提供用来对布置在活塞一侧的气缸空腔加载的超压处于1bar至4bar、特别优选2bar至4bar的压力范围内。

原则上，作为用于调节一个气缸空腔中的压力的输入参数、即受调的压力源的调节参量，可以考虑各种不同的参数。然而在本发明的优选的设计方式中，考虑活塞相对于气动缸的位置，作为受调的压力源的调节参量。在这种意义下，本发明的优选的设计方式规定，气动的阀驱动装置具有调节器，该调节器带有位置确定装置，用于确定活塞相对于气动缸的位置，其中，该调节器根据该位置来调节受调的压力源。作为位置确定装置，考虑在现有技术中已知的、适合于确定物件位置的全部测量系统。为了仅仅提及一些例子，位置确定装置例如可以是无接触式的磁性的、电的、电磁的或光感的编码器，也可以是直线感应器。

该位置确定装置有益地测量移动的部件的位置。如上所述，该部件既可以是活塞，又可以是气动缸。可行的是，直接地测量位置，但也可以间接地测量位置。因而例如也可以间接地通过传动机构来确定位置。特别是当要测量活塞相对于方位固定的气动缸的位置时，适宜的是，替代地直接测量活塞的位置、与其固定地连接的构件比如从气动缸中伸出的活塞杆的位置。

在本发明的优选的设计方式中，气动的传动件具有至少一个系统压力输入端。该系统压力输入端例如可以是压缩空气管路等。在本发明的气动的阀驱动装置的特别优选的变型中，利用恰好一个系统压力输入端就足够了。因而例如可行的是，为了构造恒定压力源，使得系统压力输入端通过减压器与布置在活塞一侧的气缸空腔连接。完全可行的是，为了构造受调的压力源，所述的优选同一个系统压力输入端至少通过压力调节阀与布置在活塞相对侧的气缸空腔连接。

在有些实施例中，恒定压力源固定地与气动缸的一个气缸空腔连接，并且，受调的压力源固定地与气动缸的另一个气缸空腔连接，在所述实施例中，为了在活塞与气动缸之间的在一个方向上的相对运动，最多有在由恒定压力源施加的恒定压力与最小在受调压力源情况下调节出的压力之间的压差可供使用。对于相反方向上的相对运行，最多有在利用受调的压力源最大可调节出的压力与恒定压力源的恒定压力之间的压差可供使用。如果在两个方向上有相同的压差可供使用，那就可以选用或者设计恒定压力源，使得该恒定压力源大约提供可调压力源的最大压力的一半。

然而为了能够在两个移动方向上提供在恒定压力源与受调的压力源的最大压力之间的尽可能大的压差，优选的设计方式规定：气动的阀驱动装置具有至少一个切换阀，用于更换与相应的气缸空腔连接的压力源。由此可以实现的是，两个气缸空腔中的第一气缸空腔在切换阀的第一位置中与恒定压力源连接。于是在切换阀的这个切换位置中，第二气缸空腔与受调的压力源连接。如果把切换阀切换至另一切换位置，则第二气缸空腔与恒定压力源连接，而受调的压力源对第一气缸空腔加载。

对于有些阀、特别是真空阀而言，在其中关闭机构或受气动的阀驱动装置驱动的另一部件只需沿着直线来回移动，气动的阀驱动装置具有一个唯一的气动缸，该气动缸带有一个唯一的可在其中移动地安置的活塞，这通常就足够了。但是，例如当阀的关闭机构必须沿着两条彼此夹成角度的直线来回移动时，例如在所谓的L形阀中就是这种情况，本发明的气动传动件也可以具有多于一个的气动缸，该气动缸带有可在其中移动的活塞。对于这种阀，本发明的气动的阀驱动装置的优选设计方式可以规定：气动的阀驱动装置具有至少两个气动缸，这些气动缸各带有至少一个可在相应的气动缸中移动地安置的活塞，且各带有至少两个布置在相应活塞的彼此相对侧上的气缸空腔，其中，每个气缸空腔都分别与用于对相应的气缸空腔加载压力的至少一个压力源连接，且总有一个压力源是用于给布置在活塞一侧的气缸空腔加载以恒定压力的恒定压力源，而另一压力源是用于给布置在活塞相对侧的气缸空腔加载以可变地可调的压力的受调的压力源。也可以针对这种气动的阀驱动装置设置至少一个切换阀，例如以便使得始终都只有一个气动缸的气缸空腔与恒定压力源和受调的压力源连接。这在例如在L形阀中同时始终都只有一个气动缸工作时被提供。在这种设计方式中，也可以设置附加的切换阀，用于更换与相应的气缸空腔连接的压力源。

但是，如开篇已述，本发明不仅涉及气动的阀驱动装置，而且涉及具有至少一个根据本发明的气动的阀驱动装置的阀。该阀特别优选地是所谓的真空阀。真空阀是在真空技术中采用的阀。当实现了压力小于或等于0.001mbar(毫巴)的工作状态时，通常就是真空技术。这些工作状态是阀开口中的或者与阀开口连通的真空腔中的工作压力。真空阀是被设计用于这些压力范围和/或相应的相对于周围环境的差压的阀。但是，当被设计用于通常压力以下即1bar以下的压力时，就已经也可以普遍地说是真空阀了。

在根据本发明的阀的优选的设计方式中规定，气动的阀驱动装置驱动阀的至少一个关闭机构以封闭和/或释放阀的阀开口。在此，该关闭机构可以仅仅沿着直线来回地直线移动。但它完全也可以沿着两条相互间夹成角度的、优选垂直的直线在关闭位置与释放位置之间来回移动。

除了气动的阀驱动装置和阀之外，本发明还涉及一种用于运行本发明的气动的阀驱动装置和/或本发明的阀的方法。在这种根据本发明的方法中规定，借助于恒定压力源给布置在活塞一侧的气缸空腔加载以恒定的压力，优选同时地，借助于受调的压力源给布置在活塞相对侧的气缸空腔加载以可变地可调的压力。

换句话说，在根据本发明的方法中因而规定，在布置于活塞一侧的气缸空腔中，压力保持恒定，而优选同时地，在活塞的另一侧，在布置于那里的气缸空腔中，压力借助于受调的压力源予以调节。换句话说，根据本发明的方法因而规定，并非在活塞的两侧在相应的气缸空腔中调节压力。

本发明的方法的优选的设计方式规定，利用位置确定装置来确定活塞相对于气动缸的位置，受调的压力源被调节器根据如此确定的位置予以调节。同样在其它之处，上面针对本发明的气动的阀驱动装置所述的特征可以且有益地可应用于所述方法。尤其，同样适用的是，气动缸与活塞之间的相对位置的变化既可以通过活塞的移动来引起、又可以通过气动缸的移动而引起，以及可以通过这两者引起。

附图说明

下面借助附图说明来示范性地介绍根据本发明的阀驱动装置和阀的其它特征和细节。其中：

图1至3示出只带有一个气动缸的根据本发明的气动的阀驱动装置的不同变型；

图4和5示出各带有两个气动缸的根据本发明的气动的阀驱动装置的变型；和

图6至8示出不同的、非常示意性地示出的根据本发明的阀，在这些阀中可以采用根据本发明的气动的阀驱动装置。

具体实施方式

图1至3示出不同的实施例，在这些实施例中，根据本发明的气动的阀驱动装置1只有一个唯一的气动缸3形式的活塞-气缸单元，其带有可在其中移动地安置的活塞4。例如当在如下时候可以采用这种气动的阀驱动装置：关闭机构15只需沿着直线或者与其平行地直线地来回地移动，以便关闭和释放阀开口16，比如在非常示意性地示出的根据图6和7的阀中就是这种情况。

现在首先介绍根据图1的实施例。然后再阐述根据图2和3的实施例与根据图1的实施例之间的区别。撇开以后阐述的区别不看，根据图1的实施例的说明也可应用于根据图2和3的变型设计。

在图1中可清楚地看到，活塞4位于气动缸3的两个气缸空腔5和6之间。气缸空腔5被恒定压力源7加载以恒定的压力，而布置在活塞4的相对侧的气缸空腔6通过受调的压力源8被加载以可变地调节的压力。在该变型设计中，恒定压力源7由系统压力输入端11和减压器12的配合而形成。由恒定压力源7提供的恒定压力最好小于系统压力输入端11的系统压力。可调的压力源8由同一系统压力输入端11与压力调节阀13的配合而形成。为了调节压力调节阀13，设置了调节器9。活塞4相对于气动缸3的位置借助于位置确定装置10来确定。调节器9根据由位置确定装置10确定的位置调节受调的压力源8，进而调节气缸空腔6中的压力。在所示实施例中，活塞4的位置间接地通过活塞杆18的位置来确定。根据在气动缸3中的活塞4借助位置确定装置10测得的位置，受调的压力源8以如下方式调节气缸空腔6中的压力：使得活塞8在这里固定地设置的气动缸3中要么沿着所希望的方向移动、要么保持在其位置上。作为反压力，在此，由恒定压力源7在气缸空腔5中施加的反压力始终都作用到活塞4上。如果要移动活塞4，使得气缸空腔5的容积缩小，并且气缸空腔6的容积增大，那就必须借助受调的压力源8在气缸空腔6中产生相应的超压。为了在相反的方向上移动，在这种情况下，气缸空腔5的容积增大并且气缸空腔6的容积缩小，借助受调的压力源8把气缸空腔6中的压力调节到相应地小于气缸空腔5中的恒定压力的水平。为了使得活塞4、进而也使得活塞杆18保持位置，调节气缸空腔6中的压力，使得作用到活塞上的力4抵消。在活塞4相对于气动缸3移动时的加速过程和制动过程可以相应地通过所述调节根据在活塞4与气动缸3之间的相对位置予以调节，其方式为，分别在气缸空腔6中施加相应的压力。

在根据图1的变型设计中，为了使得活塞4朝向所述一个方向移动而可供使用的最大的差压由在气缸空腔6中最大可施加的压力与在气缸空腔5中的恒定压力之间的差来确定。用来使得活塞沿相反方向移动的最大可能的压差，由在气缸空腔5中施加的恒定压力与可在气缸空腔6中施加的最小压力之间的差来规定。因而在这种变型中，为了在两个方向上有相仿的差压可供使用，恒定压力源7的恒定压力必须被调节为，使得它大约等于借助可调的压力源8可调节出的最大压力的一半，其中，要分别考虑到由活塞杆18产生的不同表面积与活塞4的适配。

在图2的本发明的实施方式中，设置了同样受调节器9控制的切换阀14，利用该切换阀可以更换与相应的气缸空腔5和6连接的压力源。因而在切换阀14的图2中所示的切换位置，气缸空腔5借助于恒定压力源7被加载以恒定的压力，而气缸空腔6可借助受调的压力源8加载以可变地可调的压力。相反，如果把切换阀14带到另一切换位置，可调的压力源8就对气缸空腔5加载以可变地可调的压力，而气缸空腔6被恒定压力源7加载以恒定的压力。由此可以实现针对活塞4相对于气动缸3的两个移动方向，分别有在受调的压力源8的受调的压力与恒定压力源7的恒定压力之间的最大可能的压差可供使用。切换阀14在根据图2的变型中处于什么切换位置，这由调节器9优选同样根据活塞4相对于气动缸3的位置予以调节。

在图3中现在示出了本发明的一种变型，在该变型中，恒定压力源7和受调的压力源8并非借助唯一的系统压力输入端11被供应以系统压力。在根据图3的变型中，恒定压力源7具有自己的第二系统压力输入端17。撇开这里所示的实施例不看，在该第二系统压力输入端17与气缸空腔5之间也可以设置减压器12，就像头两个实施例中那样。但如果由系统压力输入端17提供使用的恒定压力等于所希望的压力水平，则可以放弃减压器12。受调的压力源8的压力调节阀13在该实施例中与系统压力输入端11连接。由系统压力输入端17提供使用的恒定压力最好小于由系统压力输入端11提供使用的系统压力。在其它之处，根据图3的该变型相应于根据图1的变型。

在图4中现在示出了气动的阀驱动装置1，它有两个气动缸3，这些气动缸各带有可在其中移动地安置的活塞4。在这些活塞上也分别有活塞杆18，这些活塞杆的位置借助相应的位置确定装置10来确定，从而也分别确定活塞4相对于气动缸3的位置。恒定压力源7分别给气动缸3的气缸空腔5加载以恒定的压力。通过受调的压力源8，可以在相应的气缸空腔6上加载可变地可调节的压力。利用由气缸空腔5和6中的压力和反压力所产生的力，相应的活塞4在相应的气动缸3中移动，或者保持在其位置上。这就像根据图1的第一实施例中那样工作，因此不必再次赘述。恒定压力源7和受调的压力源8也像根据图1的第一实施例中那样构造，因此也不必进一步描述。

为了在根据图4的实施例中能够分别单独地控制气动缸3，设置了附加的切换阀19。该切换阀在一个切换位置使得一个气动缸3的气缸空腔6与受调的压力源8连接，而在另一切换位置则使得另一个气动缸3的气缸空腔6与其连接。当前在切换阀19的相应的切换位置未与受调的压力源8连接的气缸空腔6，在该切换位置与气体出口20连接，该气体出口处于大气压力或外界压力。由此，其气缸空腔6恰好在该切换位置与气体出口20连接的那个气动缸3的相应活塞4，被气缸空腔5中的恒定压力保持在终止位置。因此同时可以始终都使得仅仅一个活塞4连同气动缸3移动，这满足了使得关闭机构15在图8中示意性地示出的所谓的L形阀内移动的要求。图4中所示的气动的阀驱动装置1因而特别良好地适合于驱动所谓的L形阀的关闭机构15。对受调的压力源8和切换阀19的调节，在根据图4的实施例中，通过调节器9根据借助于位置确定装置10确定的在活塞4与气动缸3之间的相对位置来进行。

在根据图4的实施例中规定，气动缸3位置固定地被固定，活塞4相对于它移动。如开篇所述，在所有其它实施例中也是这种情况，这当然也可以相反地规定。因而完全可以将活塞4固定在其位置上，而相应的气动缸3则相对于其移动。在这种情况下，于是适宜的是，利用位置确定装置10确定气动缸3的位置。

根据图5的实施例是根据图4和图2的实施例的组合。除了切换阀19外，在图5中，在通至每个气动缸3的气缸空腔5和6的输入管路上还有切换阀4，这些切换阀同样受调节器9控制，且符合针对图2已描述的目的：相应的活塞4能在两个移动方向上利用在恒定压力源7的恒定压力与受调的压力源8的最大可能的压力之间的最大可能的压差来移动。

在图6至8中现在示出了真空阀形式的更加非常示意性的阀2，在这些阀中，可以采用根据图1至5的根据本发明气动的阀驱动装置1。在所示实施例中，气动的阀驱动装置1在本发明的阀2中用于使得相应的关闭机构15在其关闭位置与其释放位置之间来回移动，在所述关闭位置，它将阀开口16封闭，在所述释放位置，它将阀开口16释放。为此在根据图6和7的实施例中，只需沿着一条直线来回移动。相应地，在图6和7中采用了根据图1至3的本发明的气动的阀驱动装置1。在图6和7中分别示出了释放位置，阀开口16在该释放位置打开。关闭机构15相应位于最大程度地缩进的释放位置。为了彻底封闭阀开口16，在图6中，借助于气动的阀驱动装置1使得关闭机构15向下行驶一定距离，从而密封件21密封地顶压到阀座24上。在图7中，楔形的关闭机构15被气动的阀驱动装置1向下移动一定距离，从而密封件21与阀座24接触。

图8非常示意性地示出所谓的L形阀形式的阀2。在此，借助于两个气动的阀驱动装置1使得板形的关闭机构15在其关闭位置、中间位置和图8中所示的释放位置之间来回移动。在平行于垂线的方向上，关闭机构15借助于在上面位于阀壳体22上的气动的阀驱动装置1在图8中所示的释放位置与中间位置之间移动，在所述中间位置关闭机构15已经遮盖阀开口16、但还没有顶压到密封件21上。关闭机构15在水平方向上以其阀座24顶压到密封件21上，这借助于另一气动缸3进行，该另一气动缸位于关闭机构15与支撑板23之间并起作用。如本已公知的那样，当关闭机构15以其阀座24顶压到密封件21上时，支撑板23用作支座。对于附图中示意性地示出的这种L形阀，可以采用根据图5和6的阀驱动装置1。

在图6至8中，只是概要地示出了阀驱动装置1的气动缸3、活塞4、气缸空腔5和6以及活塞杆18。气动的阀驱动装置1的余下的构件在图6至8中未示出。但如所述，它们可以像图1至5中所示那样设计。

附图标记清单

1 气动的阀驱动装置

2 阀

3 气动缸

4 活塞

5 气缸空腔

6 气缸空腔

7 恒定压力源

8 受调的压力源

9 调节器

10 位置确定装置

11 系统压力输入端

12 减压器

13 压力调节阀

14 切换阀

15 关闭机构

16 阀开口

17 第二系统压力输入端

18 活塞杆

19 切换阀

20 气体出口

21 密封件

22 阀壳体

23 支撑板

24 阀座

Claims (16)

1.一种用于阀（2）的气动的阀驱动装置（1），该阀驱动装置具有至少一个气动缸（3），该气动缸带有至少一个能够在该气动缸（3）中移动地安置的活塞（4），且带有至少两个设置在该活塞（4）的彼此相对侧上的气缸空腔（5、6），其中，每个气缸空腔（5、6）分别与至少一个压力源连接，用于对相应的气缸空腔（5、6）加载压力，其特征在于，压力源之一是恒定压力源（7），用于给设置在所述活塞（4）一侧上的气缸空腔（5）加载以恒定压力，另一压力源是受调的压力源（8），用于给设置在所述活塞（4）相对侧上的气缸空腔（6）加载以可变地可调的压力，

其中，所述气动的阀驱动装置（1）具有至少一个切换阀（14），用于更换被连接到相应的气缸空腔（5、6）上的压力源。

2.如权利要求1所述的气动的阀驱动装置（1），其特征在于，它具有调节器（9），该调节器带有位置确定装置（10），用于确定所述活塞（4）相对于所述气动缸（3）的位置，其中，所述调节器（9）根据该位置来调节所述受调的压力源（8）。

3.如权利要求1所述的气动的阀驱动装置（1），其特征在于，所述气动的阀驱动装置（1）具有至少一个系统压力输入端（11）。

4.如权利要求3所述的气动的阀驱动装置（1），其特征在于，所述气动的阀驱动装置（1）具有恰好一个系统压力输入端（11）。

5.如权利要求3所述的气动的阀驱动装置（1），其特征在于，为了构造所述恒定压力源（7），所述系统压力输入端（11）通过减压器（12）与布置在所述活塞一侧上的气缸空腔（5）连接，和/或，为了构造所述受调的压力源（8），所述系统压力输入端（11）至少通过压力调节阀（13）与布置在所述活塞相对侧上的气缸空腔（6）连接。

6.如权利要求5所述的气动的阀驱动装置（1），其特征在于，为了构造所述恒定压力源（7），所述系统压力输入端（11）通过减压器（12）与布置在所述活塞一侧上的气缸空腔（5）连接，和/或，为了构造所述受调的压力源（8），同一个所述系统压力输入端（11）至少通过压力调节阀（13）与布置在所述活塞相对侧上的气缸空腔（6）连接。

7.如权利要求1所述的气动的阀驱动装置（1），其特征在于，它具有至少两个气动缸（3），所述气动缸各带有至少一个能够在相应的气动缸（3）中移动地安置的活塞（4），且各带有至少两个布置在相应活塞的彼此相对侧上的气缸空腔（5、6），其中，每个气缸空腔（5、6）都分别与用于对相应的气缸空腔（5、6）加载压力的至少一个压力源连接，且其中总有一个压力源是用于给布置在所述活塞一侧上的气缸空腔（5）加载以恒定压力的恒定压力源（7），而其中总有另一压力源是用于给布置在所述活塞相对侧上的气缸空腔（6）加载以可变地可调的压力的受调的压力源（8）。

8.如权利要求1至7中任一项所述的气动的阀驱动装置（1），其特征在于，所述阀（2）是真空阀。

9.一种阀（2），具有至少一个根据权利要求1至7中任一项的气动的阀驱动装置（1）。

10.如权利要求9所述的阀（2），其特征在于，所述气动的阀驱动装置（1）驱动所述阀（2）的至少一个关闭机构（15）以封闭和/或释放所述阀（2）的阀开口（16）。

11.如权利要求9至10中任一项所述的阀（2），其特征在于，所述阀（2）是真空阀。

12.一种用于运行根据权利要求1至8中任一项的气动的阀驱动装置（1）的方法，其特征在于，借助于恒定压力源（7）给布置在活塞一侧上的气缸空腔（5）加载以恒定的压力，借助于受调的压力源（8）给布置在活塞相对侧上的气缸空腔（6）加载以可变地可调的压力。

13.如权利要求12所述的阀（2），其特征在于，借助于恒定压力源（7）给布置在活塞一侧上的气缸空腔（5）加载以恒定的压力，同时地借助于受调的压力源（8）给布置在活塞相对侧上的气缸空腔（6）加载以可变地可调的压力。

14.如权利要求12所述的方法，其特征在于，利用位置确定装置（10）来确定活塞（4）相对于气动缸（3）的位置，所述受调的压力源（8）被调节器（9）根据如此确定的位置予以调节。

15.一种用于运行根据权利要求9至11中任一项的阀（2）的方法，其特征在于，借助于恒定压力源（7）给布置在活塞一侧上的气缸空腔（5）加载以恒定的压力，借助于受调的压力源（8）给布置在活塞相对侧上的气缸空腔（6）加载以可变地可调的压力。

16.如权利要求15的方法，其特征在于，借助于恒定压力源（7）给布置在活塞一侧上的气缸空腔（5）加载以恒定的压力，同时地借助于受调的压力源（8）给布置在活塞相对侧上的气缸空腔（6）加载以可变地可调的压力。

Images