JP2857061B2 - 動圧軸受を用いたスピンドル装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、工作機械等において工
具もしくは被加工物をスピンドル主軸に保持して回転す
るスピンドル装置に係り、詳細には、気体又は液体の流
体エネルギをタービンによってスピンドル主軸の回転動
力に変換するスピンドル装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、研削盤等の工作機械に用いられる
スピンドル装置では、工具あるいは被加工物が固定され
るスビンドル主軸を転がり軸受で回転自在に支承すると
共に、このスビンドル主軸に対してプーリ及びベルトか
らなる動力伝達系を介してモータの回転動力を伝達する
ものが一般的であった。

【０００３】しかしながら、近年では被加工物に対する
高精密加工の要請から小型で且つ主軸回転数の高いスピ
ンドル装置が必要とされており、ベルトによってモータ
とスピンドル主軸を結合する従来のスピンドル装置で
は、このような小型化及び高速化の要求に十分に応える
ことかできなかった。また、従来のスピンドル装置では
スピンドル主軸の回転数を高速化した場合に、スピンド
ル主軸を支えている転がり軸受に振動あるいは焼きつき
が発生し、スピンドル主軸の回転数を高精密加工に十分
な速度にまで高めることができなかった。

【０００４】そこで、このような小型化及び高速化の要
請に応えるものとして、スピンドル主軸をタービンで駆
動するスピンドル装置が提案されている。例えば、特開
平４−２５６５７１号公報所載の研削スピンドルでは、
タービンブレードを備えたタービンホイール（スピンド
ル主軸に相当）に砥石を形成し、上記タービンブレード
に加圧流体を噴きつけてタービンホイールを回転させる
と共に、上記加圧流体を共用した静圧軸受で上記タービ
ンホイールの回転を支承しており、ベルトやプーリ等の
大がかりな動力伝達系を設けることなく、コンパクトな
装置構成でタービンホイールに高速回転を与える与える
ことができるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述のように
タービンを用いてスピンドル主軸を駆動すると、スピン
ドル主軸の回転数はこれに作用する回転抵抗に応じて著
しく変動するので、その値を常に一定に制御するのが難
しいという問題点があった。例えばこのスピンドル装置
を研削盤に使用する場合、スピンドル主軸の回転数は被
加工物から砥石へ作用する研削抵抗の変化に伴い変動
し、また、砥石が被加工物から離れると急激に高くなっ
てしまう。このため、タービンによってスピンドル主軸
に回転を与えるスピンドル装置ではその主軸回転数を一
定に保つことができず、このことは被加工物を精密加工
する際の大きな障害となっていた。

【０００６】また、工作機械のスピンドル装置は被加工
物の切削粉や潤滑液が飛散する雰囲気中で使用されるた
め、スピンドル主軸の回転を支承する軸受はその内部が
周辺雰囲気に対して高いシール性を有していることが必
要である。しかし、従来使用されてきた転がり軸受ある
いは静圧軸受はこのシール性が十分ではなく、軸受内部
に塵芥が侵入してその耐久性が著しく低下するという問
題点があった。

【０００７】本発明はこのような問題点に鑑みなされた
ものであり、その目的とするところは、タービンによっ
てスピンドル主軸に回転を与えると共に、その主軸回転
数を自在に調整することが可能なスピンドル装置を提供
することにある。

【０００８】また、本発明の他の目的は、スピンドル主
軸の回転を支承する軸受の耐久性を高めて、半永久的に
使用することが可能なスピンドル装置を提供することに
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のスピンドル装置は、ハウジングと、タービ
ン翼が形成されたスピンドル主軸と、このスピンドル主
軸を上記ハウジングに対して回転自在に支承するラジア
ル動圧軸受と、上記ハウジングに対するスピンドル主軸
の軸方向の移動を規制する一対のスラスト動圧軸受とを
備え、上記ラジアル動圧軸受の両端に夫々スラスト動圧
軸受を配設してこれら動圧軸受の軸受隙間を連通連結さ
せると共に、上記ラジアル動圧軸受にはポンプアウト型
のヘリングボーン状溝を、上記スラスト動圧軸受にはポ
ンプアウト型のスパイラル状溝を形成し、また、上記ハ
ウジングには上記ラジアル動圧軸受の軸受隙間に作動流
体を供給する流体供給路を開設すると共に、この流体供
給路を流れる作動流体の流量を調整し上記スピンドル主
軸の回転数を制御する回転数制御弁を設けたことを特徴
とするものである。

【００１０】本発明では上記回転数制御弁を開閉して流
体供給路を流れる作動流体の流量を調整すると、後述す
る作用によってスピンドル主軸の回転数を制御すること
ができる。このとき、上記回転数制御弁は任意に操作し
て差し支えないが、スピンドル主軸の回転数を常に一定
に保つという観点からすれば、スピンドル主軸の回転数
を検出する速度検出手段を設け、検出したスピンドル主
軸の回転数に基づいて上記回転数制御弁を開閉するのが
好ましい。

【００１１】

【作用】本発明によれば、上記ラジアル動圧軸受にはポ
ンプアウト型のヘリングボーン状溝が形成される一方、
上記スラスト動圧軸受にはポンプアウト型のスパイラル
状溝が形成され、また、上記ラジアル動圧軸受の軸受隙
間はその両端に配設されたスラスト動圧軸受のそれと互
いに連通連結されているので、タービン翼に加圧流体が
噴きつけられてスピンドル主軸が回転すると、ラジアル
動圧軸受の軸受隙間に存在する作動流体はスラスト動圧
軸受の軸受隙間に流れ込み、更にスラスト軸受の外周側
から軸受外に排出される。

【００１２】このとき、流体供給路に設けた回転数制御
弁を開放しておくと、ハウジングの流体供給路からラジ
アル動圧軸受に流れ込む作動流体の流入量と、スラスト
軸受の軸受隙間から排出される作動流体の流出量とが平
衡し、各動圧軸受の軸受隙間に動圧が発生する。これに
より、スピンドル主軸は極僅かな回転抵抗でハウジング
に支承される。

【００１３】一方、流体供給路に設けた回転数制御弁を
序々に絞っていくと、スラスト軸受の軸受隙間から排出
される作動流体の流出量に対して、流体供給路からラジ
アル動圧軸受に流れ込む作動流体の流入量が少なくな
り、ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受の軸受隙間
は負圧となる。これにより、各動圧軸受ではその軸受隙
間が減少し、スピンドル主軸の回転抵抗が増加する。上
記回転数制御弁の絞り量が大きい程、軸受隙間に発生す
る負圧も大きくなるので、スピンドル主軸の回転抵抗も
大きくなる。

【００１４】従って、本発明では流体供給路に設けた回
転数制御弁の絞り量を変化させると、スピンドル主軸の
回転抵抗が回転数制御弁の絞り量に応じて変化し、必要
に応じてこれを増減することができる。

【００１５】また、本発明によれば、ラジアル動圧軸受
のヘリングボーン状溝及びスラスト動圧軸受のスパイラ
ル状溝はいずれもポンプアウト型に形成されており、作
動流体は流体供給路からラジアル動圧軸受に吸い込まれ
た後にスラスト動圧軸受の外周から排出されるので、流
体供給路以外から軸受内に作動流体が吸引されることが
なく、被加工物の研削粉や潤滑油等が軸受内に侵入する
のを防止することができる。

【００１６】

【実施例】以下、添付図面に基づいて本発明のスピンド
ル装置を詳細に説明する。図１は本発明を適用した研削
加工用スピンドル装置の第一実施例を示すものである。
同図において符号１がスピンドル主軸であり、その両端
にはホルダ３，３を介して一対の研削加工用砥石２，２
が固定されている。また、上記スピンドル主軸１にはタ
ービンロータ５が固定されており、このタービンロータ
５はラジアル動圧軸受６及び一対のスラスト動圧軸受
７，７を介してハウジング８に支承されている。上記砥
石３，３はこのタービンロータ５を両側から挟むように
配置されており、スピンドル主軸１の両端に螺合する止
めナット９によって軸方向に移動不能に固定されてい
る。

【００１７】また、上記タービンロータ５は、上記ハウ
ジング８に対して回転自在に支承される軸受部５ａと、
タービン翼４が立設されたタービン基部５ｂとから構成
されている。図２に示すように、ハウジング８には加圧
流体の噴出路１０が形成されており、この噴出路１０か
ら噴きだした加圧流体が上記タービン翼４に当たってタ
ービンロータ５を回転させるようになっている。

【００１８】上記タービン基部５ｂには上記ハウジング
８と相俟って上記噴出路１０を形成するサポート部材１
１が隣接している。このサポート部材１１には光ファイ
バーケーブル１２が取り付けられており、タービン基部
５ｂに形成したラダーパターン１３の反射光を検出し、
その検出信号を回転数検出部１４へ送出するように構成
されている。そして、上記回転数検出部１４は光ファイ
バーケーブル１２の検出信号に基づき、タービンロータ
５の回転数を演算する。

【００１９】一方、上記ラジアル動圧軸受６は上記ター
ビンロータ５の軸受部５ａと、この軸受部５ａと所定の
軸受隙間（例えば、５μｍ）を保持して上記ハウジング
８に焼き嵌めされた外輪１５とから構成されており、上
記軸受部５ａの周面には図３に示すようなヘーリング・
ボーン状パターンを有する動圧発生用溝１６が形成され
ている。この動圧発生用溝１６はタービンロータ５が正
回転（矢線Ａ方向）したときに、軸受隙間に存在する作
動流体を軸受部５ａの両端方向へ排出する所謂ポンプア
ウト型に形成されており、その溝深さは１０μｍ、軸方
向に沿った溝の長さＬｇは軸受部５ａの長さＬの０．６
倍とした。

【００２０】また、上記スラスト軸受７は、所定の軸受
隙間（例えば、５μｍ）を保持して上記外輪１５の軸方
向端面と上記砥石ホルダ３あるいは上記タービン基部５
ｂとを対向させて構成されており、上記外輪１５の軸方
向端面には図４に示すようなスパイラル状パターンを有
する動圧発生用溝１７が形成されている。この動圧発生
用溝１７はタービンロータ５が正回転（固定された外輪
１５に対して矢線Ｂ方向）したときに、軸受隙間に存在
する作動流体を外輪１５の外周方向へ排出する所謂ポン
プアウト型に形成されており、その溝深さは１５μｍで
ある。尚、この動圧発生用溝１７は図５に示すように外
輪１５の外周側にのみ開放されたスパイラル状パターン
であっても良いし、これとは逆に外輪１５の内周側にの
み開放されたスパイラル状パターンであっても良い。

【００２１】上記タービンロータ５及び外輪１５にはア
ルミナ焼結体のセラミクス材を用い、上記ヘーリングボ
ーン状溝１６及びスパイラル状溝１７の加工は溝加工面
に樹脂製マスクを貼り付け、Ａｌ₂Ｏ₃砥粒を用いたショ
ットブラストにより行った。

【００２２】上記外輪１５が焼き嵌めされたハウジング
８の内周面には円周方向に沿ってリング状溝１８が形成
されており、このリング状溝１８内の雰囲気はハウジン
グ８に穿設された流体供給路１９によって外気と連通連
結されている。また、上記外輪１５には上記リング状溝
１８とラジアル動圧軸受６の軸受隙間を連通連結する吸
気口２０が半径方向に貫通しており、ハウジング８外の
空気が上記リング状溝１８及びこの吸気口２０を通して
をラジアル動圧軸受６の軸受隙間に導入されるようにな
っている。尚、上記吸気口２０は外輪１５の円周方向に
沿って１２０°の等間隔で３箇所に形成されている。

【００２３】また、上記流体供給路１９にはハウジング
８内に吸い込んだ外気から塵芥や湿分を取り除くフィル
ター２１と、上記リング状溝１８及び吸気口２０を通し
てラジアル動圧軸受６の軸受隙間に取り込まれる空気の
流量を調整する回転数制御弁２２とが装着されている。
上記フィルター２１はラジアル動圧軸受６の軸受隙間に
塵芥が詰まるのを防止するため、そのメッシュの粗さが
軸受隙間の１／３以下のものを用いた。一方、上記回転
数制御弁２２は弁制御部２３によって制御されており、
弁制御部２３は上記回転数検出部１４によって演算され
たタービンロータ５の回転数に基づいて回転数制御弁２
２の絞り量を決定する。この回転数制御弁２２としては
電磁弁を用いて良く、その場合には単位時間当たりのオ
ン・オフ回数で流量を調整することができる

【００２４】以上のように構成された本実施例のスピン
ドル装置において、加圧流体がタービン翼４に噴きつけ
られてスピンドル主軸１に固定されたタービンロータ５
が回転すると、上記ラジアル軸受６及びスラスト軸受７
の軸受隙間に動圧が発生し、スピンドル主軸１は空気潤
滑膜によって非接触でその回転を支承される。

【００２５】このときに回転数制御弁２２が開放されて
いると、ラジアル動圧軸受６及びスラスト動圧軸受７の
夫々の軸受隙間にはポンプアウト型の動圧発生用溝１
６，１７に対応した圧力分布の動圧が発生する。このた
め、スピンドル主軸１の回転に対しては殆ど回転抵抗が
作用せず、スピンドル主軸１を容易に高速で回転させる
ことができる。

【００２６】一方、上記回転数制御弁２２を絞ると、ラ
ジアル動圧軸受６及びスラスト動圧軸受７の夫々の軸受
隙間は負圧傾向が高まり、発生する動圧効果が低下す
る。すなわち、スピンドル主軸に作用する負荷によって
は軸受隙間が極小となり、固体間に摩擦力が生じて回転
抵抗が大きくなる。また、軸受隙間を形成している部材
の形状によっては、これら部材が負圧に吸引されて弾性
変形を生じ、上記軸受隙間が小さくなる。動圧軸受にお
ける回転抵抗は軸受隙間に大きさに依存しているので、
このようにして軸受隙間が小さくなると、軸受隙間を形
成している固体間の摩擦係数は増加し、その値は、損傷
を起こすことなく擦れ合うことが可能な固体表面の最大
摩擦係数の０．１倍程度にまで達する。

【００２７】本願発明者らが実験したところによれば、
回転数制御弁２２の絞り量を変えることにより、スラス
ト動圧軸受７の軸受隙間を１〜５μｍの間で変化させる
ことができ、スピンドル主軸の回転抵抗を１〜１００倍
程度の間で任意に調整することができた。また、動圧発
生用溝１６，１７の深さや長さ、スピンドル主軸１の回
転数等によって軸受隙間に発生する負圧の大きさは異な
るので、動圧軸受の設計によっては上記範囲外の幅広い
範囲で回転抵抗を得ることも可能であろう。

【００２８】更に、本実施例では検出したスピンドル主
軸１の回転数に基づいて上記回転数制御弁２２の絞り量
が制御されるので、常に一定の回転数でスピンドル主軸
１を回転させることができる。すなわち、砥石２，２に
よる研削加工の最中に、砥石２，２に作用する研削抵抗
が減少してスピンドル主軸１の回転数が増加すると、弁
制御部２３によって回転数制御弁２２が絞られ、ラジア
ル動圧軸受６及びスラスト動圧軸受７からスピンドル主
軸１に対して作用する回転抵抗が増加するのである。従
って、スピンドル主軸１の回転数と回転数制御弁２２の
絞り量とを対応させたルックアップテーブルを予め弁制
御部２３のメモリに格納しておけば、スピンドル主軸１
の回転数を常に一定に保つことができる。

【００２９】図６は本発明の第二実施例を示すものであ
る。この実施例に係るスピンドル装置は前述の第一実施
例のスピンドル装置と略同位置の構成を備えているが、
砥石ホルダ３と外輪１５との間にスラスト板２４を配設
した点においてのみ第一実施例と異なる。

【００３０】上記スラスト板２４はドーナッツ状に形成
され、その内径にはタービンロータ５がラジアル動圧軸
受６の軸受隙間と同一の隙間を有して遊嵌している。ス
ラスト板２４の砥石ホルダ３側の面には第一実施例で外
輪１５の軸方向端面に形成したものと同じスパイラル状
の動圧発生用溝２５が形成される一方、外輪１５側の面
は表面粗さ２μｍ程度の平面に形成されている。また、
上記スラスト板２４と面した外輪１５の軸方向端面も表
面粗さ２μｍ程度の平面に形成されている。そして、上
記スラスト板２４は外輪１５に接する一方、砥石ホルダ
３とは所定の軸受隙間（例えば、５μｍ）を保持して対
向している。すなわち、この実施例にけるスラスト動圧
軸受７は互いに対向する上記スラスト板２４及び上記砥
石ホルダ３で構成されている。

【００３１】そして、このように構成された本実施例の
スピンドル装置においても、加圧流体がタービン翼４に
噴きつけられてスピンドル主軸１が回転すると、上記ラ
ジアル軸受６及びスラスト軸受７の軸受隙間に動圧が発
生し、スピンドル主軸１は空気潤滑膜によって非接触で
その回転を支承される。

【００３２】このときに回転数制御弁２２が開放されて
いると、スラスト板２４とホルダ３とが形成するスラス
ト軸受７の軸受隙間には動圧が発生し、スラスト板２４
が外輪側に押し付けられ、スラスト板２４とホルダ３と
を非接触の状態に保ってスピンドル主軸１が回転する。
このため、スピンドル主軸の回転に対しては回転抵抗が
殆ど作用しない。

【００３３】一方、上記回転数制御弁２２を絞ると、第
一実施例で説明したようにスラスト動圧軸受７の軸受隙
間は負圧となるので、タービンロータ５に遊嵌している
スラスト板２４はホルダ３の方向へ極僅かに変位し、ス
ラスト板２４とホルダ３との軸受隙間は回転数制御弁２
２を開放した場合に比較して数μｍ程度小さくなる。こ
のとき、スラスト板２４の変位量は数μｍ程度なので、
接触圧は弱まるものの、外輪１５とスラスト板２４とは
以前接触状態を保っている。従って、スラスト板２４と
外輪１５との接触状態を保持したまま、スラスト板２４
とホルダ３との軸受隙間が狭まり、スピンドル主軸１の
回転に対して作用する回転抵抗は増加する。

【００３４】この第二実施例によれば、回転数制御弁２
２を操作すると、スラスト板２４が軸方向に変位してス
ラスト軸受の軸受隙間が調整されるので、砥石ホルダ３
や外輪１５の弾性変形によって軸受隙間を調整していた
第一実施例に比較し、スラスト軸受の軸受隙間の調整を
円滑に行うことができ、回転数制御弁２２の絞り量が同
じ場合であっても第一実施例より大きな回転抵抗をスピ
ンドル主軸に与えることができる。

【００３５】次に、図７は本発明の第三実施例を示すも
のである。この実施例ではタービン翼３０が形成された
タービンロータ３１に砥石３２を設け、このタービンロ
ータ３１をラジアル動圧軸受３３及び一対のスラスト動
圧軸受３４を用いてクイル３５の周囲に回転自在に支承
している。

【００３６】上記ラジアル動圧軸受３３は、クイル３５
の周囲に固定された内輪３６とタービンロータ３１の軸
受部３１ａとで構成されており、上記軸受部３１ａの内
周面は所定の軸受隙間（例えば５μｍ）を保って内輪３
６に対向している。そして、上記内輪３６の外周面には
第一実施例で図３に示したのと同じ動圧発生用溝３７が
形成されている。

【００３７】また、上記スラスト軸受３４は、上記ター
ビンロータ３１の軸受部３１ａとタービンロータ３１を
挟むようにして上記クイル３５の周囲に固定された一対
のスラスト受板３８とで構成されており、軸受部３１ａ
の両側面は所定の軸受隙間（例えば５μｍ）を保ってス
ラスト受板３８，３８に夫々対向している。そして、上
記軸受部３１ａの両側面には第一実施例で図４に示した
のと同じ動圧発生用溝３９が形成されている。

【００３８】上記内輪３６及び一対のスラスト受板３
８，３８は、スラスト受板３８、内輪３６、スラスト受
板３８の順序でクイル３５の取付軸３５ａに嵌合され、
この取付軸３５ａに螺合する止めナット４０によってク
イルの基部３５ｂとの間に挟み込まれている。

【００３９】また、一方のスラスト受板３８には光ファ
イバーケーブル４１が取り付けられており、タービンロ
ータ３１の軸受部３１ａの側面に形成したスパイラル状
の動圧発生用溝３９の反射光を検出し、その検出信号を
回転数検出部４２へ送出するように構成されている。

【００４０】一方、上記クイル３５はその中空部３５ｃ
が加圧流体の導入路になっている。上記スラスト受板３
８，３８には上記クイル中空部３５ｃに連通するタービ
ンノズル４３が形成されており、中空部３５ｃ内の加圧
流体はこのタービンノズル４３を通してタービン翼３０
に噴きつけられる。また、上記クイル３５には中空部３
５ｃ内の加圧流体を上記ラジアル動圧軸受３３の軸受隙
間に供給する流体供給路４４が設けられており、この流
体供給路４４は上記内輪３６にを半径方向に貫通する吸
気口４５によってラジアル動圧軸受３３の軸受隙間と連
通している。

【００４１】上記流体供給路４４には加圧流体から塵芥
を取り除くフィルター（図示せず）と、上記内輪３６の
吸気口４５を通してラジアル動圧軸受３３の軸受隙間に
取り込まれる流体の流量を調整する回転数制御弁４６と
が装着されている。第一実施例と同様に、上記回転数制
御弁４６は弁制御部４７によって制御され、弁制御部４
７は上記回転数検出部４２が演算したタービンロータ３
１の回転数に基づいて回転数制御弁４６の絞り量を決定
する。

【００４２】そして、以上のように構成された本実施例
のスピンドル装置においても、回転数制御弁４６によっ
てラジアル動圧軸受３３の軸受隙間に供給される作動流
体の流量を絞っていくと、ラジアル動圧軸受及びスラス
ト動圧軸受の軸受隙間に負圧が発生し、特にスラスト動
圧軸受においてその軸受隙間が減少するので、タービン
ロータの回転抵抗が増加する。また、回転数制御弁を開
放しているときは、ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧
軸受の軸受隙間における作動流体の流量がタービンロー
タの回転数に見合った適正な量となるので、これら動圧
軸受の軸受隙間に負圧が発生することはなく、タービン
ロータは極僅かな回転抵抗で回転する。

【００４３】従って、この実施例でも回転数制御弁の絞
り量を変更することによってタービンロータの回転抵抗
を適宜増減することができ、タービンロータの回転数を
容易に制御することができる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明のスピ
ンドル装置によれば、流体供給路に設けた回転数制御弁
の絞り量を変化させることにより、スピンドル主軸の回
転抵抗を必要に応じて増減することができるので、この
回転数制御弁の絞り量を任意に調整することにより、ス
ピンドル主軸の回転数を制御することが可能となる。

【００４５】また、本発明によれば、流体供給路以外か
ら軸受内に作動流体が流入することがなく、このスピン
ドル装置を工作機械の主軸に用いても被加工物の研削粉
や潤滑油等が軸受内に侵入することがないので、スピン
ドル主軸の回転を支承する軸受の破損を防止することが
でき、耐久性の高いスピンドル装置を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のスピンドル装置の第一実施例を示す
概略図である。

【図２】 第一実施例に係るスピンドル装置のタービン
翼を示す側面図である。

【図３】 第一実施例に係るラジアル動圧軸受のヘリン
グボーン状溝のパターンを示す図である。スパイラル状
溝のパターンを示す図である。

【図４】 第一実施例に係るスラスト動圧軸受のスパイ
ラル状溝のパターンを示す図である。

【図５】 第一実施例に係るスラスト動圧軸受に利用可
能な他のスパイラル状溝のパターンを示す図である。

【図６】 本発明のスピンドル装置の第二実施例を示す
概略図である。

【図７】 本発明のスピンドル装置の第三実施例を示す
概略図である。

【符号の説明】

１…スピンドル主軸、４…タービン翼、６…ラジアル動
圧軸受、７…スラスト動圧軸受、８…ハウジング、１６
…ヘリングボーン状溝、１７…スパイラル状溝、１９…
流体供給路、２２…回転数制御弁

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ハウジングと、タービン翼が形成された
   スピンドル主軸と、このスピンドル主軸を上記ハウジン
   グに対して回転自在に支承するラジアル動圧軸受と、上
   記ハウジングに対するスピンドル主軸の軸方向の移動を
   規制する一対のスラスト動圧軸受とを備え、 上記ラジアル動圧軸受の両端に夫々スラスト動圧軸受を
   配設してこれら動圧軸受の軸受隙間を連通連結させると
   共に、上記ラジアル動圧軸受にはポンプアウト型のヘリ
   ングボーン状溝を、上記スラスト動圧軸受にはポンプア
   ウト型のスパイラル状溝を形成し、また、上記ハウジン
   グには上記ラジアル動圧軸受の軸受隙間に作動流体を供
   給する流体供給路を開設すると共に、この流体供給路を
   流れる作動流体の流量を調整し上記スピンドル主軸の回
   転数を制御する回転数制御弁を設けたことを特徴とする
   スピンドル装置。
2. 【請求項２】 上記スピンドル主軸の回転数を検出する
   速度検出手段を備えると共に、検出したスピンドル主軸
   の回転数に基づいて上記回転数制御弁を開閉することを
   特徴とする請求項２記載のスピンドル装置。